KR100630430B1 - 대면적 엘씨디 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후건조를 위한 오븐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐에 관한 것이다.

본 발명은, 로봇 암(Robot-Arm)이 일측 개방형 오븐(Oven)에 소성 또는 건조를 요하는 대면적 LCD 글라스를 투입한다. 그러면, 봉 형상의 가열수단이 내장된 발열수단이 발열하여 오븐 내부를 건조시킨다. 이와 동시에 외부로부터 공급되는 프로세스가스가 발열수단에 균일하게 형성된 통공을 통해 고르게 분출되어 글라스의 건조를 돕는 한편, 오븐 내부에 발생된 흄(Fume : 중금속을 가열했을 때 발생하는 증기가 공기 중의 산소와 결합하여 생성된 것)을 오븐 일측에 형성된 배출구로 배출한다. 따라서, 본 발명은 발열수단에 내장된 가열수단과 발열수단을 통해 분출되는 프로세스가스가 글라스 전체를 고르게 건조시킴과 동시에 특히 프로세스가스는 흄을 제거하게 된다.

이러한 본 발명은 봉 형상의 가열수단을 발열수단에 내장시켜 가열수단이 발열수단을 지지하도록 함으로써, 대면적 글라스의 건조를 위해 면적이 넓을 수밖에 없는 발열수단의 처짐 현상을 방지함과 동시에, 발열수단의 구조를 간소화함으로써, 발열수단의 제작ㆍ설치 및 유지 보수가 용이하도록 하는 한편, 발열수단의 두께를 현저히 슬림화할 뿐 아니라, 발열수단의 통공을 통해 고르게 분출되는 프로세스가스에 의해 글라스를 고르게 소성 또는 건조함으로써, 건조 효율을 향상시키게 된다.

Description

대면적 엘씨디 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐{An oven for bake or dry of wide LCD glass}

도 1은 종래 오븐에 적용되는 발열수단의 구조를 보인 단면도.

도 2는 종래 오븐의 구성을 보인 단면도.

도 3은 본 발명 중 핫프레이트의 세부 구성을 보인 측 단면도.

도 4는 본 발명 중 발열수단의 세부 구성을 보인 정 단면도.

도 5는 본 발명인 오븐의 전체 구성을 보인 단면도.

도 6의 a,b는 본 발명의 다른 실시예를 보인 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

10 : 발열수단 11 : 가열수단

12 : 통공 20 : 본체(오븐)

21 : 가열공간 22 : 지지수단

23 : 배출구

본 발명은 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐에 관한 것이다.

일반적으로, LCD 글라스는 표면의 가공 처리 상태 및 세척 상태에 따라 품질 및 수율이 결정된다고 해도 과언이 아니며, 그 만큼 LCD 글라스 표면의 처리 및 관리 상태가 중요하다는 것은 주지하는 바와 같다.

이와 같이 LCD 글라스의 표면에 화학물을 증착 또는 도포시킨 후, 소성하거나, 불순물을 세척 후 건조시키는 장치 중 하나로 오븐이 사용되고 있다.

전술한 오븐에는 발열수단이 하나 이상 탑제되어 있으며, 이러한 발열수단의 종래 구조를 살펴보면, 첨부 도면 도 1에서 보는 바와 같이, 열선(1)이 일정한 패턴(Pattern)으로 형성되고, 그 양면에 절연을 위한 운모(2 ; Mica)가 각각 적층되며, 전술한 운모(2) 외곽에 발열판인 알루미늄플레이트(3)가 적층된 구조로 이루어져 있다.

그러나, 이와 같은 발열수단의 경우, 대형화 추세에 있는 현재 LCD 글라스의 기술 동향에 비추어볼 때, 발열수단 역시 대형화 되어야 하나, 적층된 구성요소가 많아 두께가 두꺼워져 자중에 의해 처지게 되는 문제점이 있는 것이었다.

이를 보완하기 위해서는 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 보강파이프(4)를 발열수단의 하부면에 배열시켜 지지하도록 하는 구조로 이루어져 있어, 동일 용적를 갖는 오븐에서 발열수단의 단수 적어지게 되는 문제점이 있는 것이었다.

특히, 종래, 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같은 오븐의 경우, 열풍이 오븐의 각 단의 중앙에서 양측으로 분출되는 구조로 이루어져 있으나, 이는 열풍이 고르게 LCD 글라스로 전달되지 못하여 불균일하게 소성 또는 건조되는 문제점이 있는 것이었다.

상기와 같은 문제점을 고려하여 창출한 본 발명의 목적은 면적이 넓어져도 처지지 않는 발열수단을 제공하고, 발열수단의 설치 및 유지 보수가 용이하며, 고르게 LCD 글라스를 소성 또는 건조 시킬 수 있도록 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐을 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 대면적 LCD 글라스의 가열을 위한 오븐에 있어서, 일측으로부터 타측 방향으로 하나 이상 인서트되어 외부에서 전원을 공급받아 발열하는 가열수단과, 전술한 가열수단과 수평 방향으로 형성되면서 일측 면 방향으로 다수개의 구멍이 연통되어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출하는 하나 이상의 통공을 포함하여 전술한 가열수단으로부터 전도되는 열에 의해 발열하는 발열수단과; 소정의 부피를 갖는 본체 내측에 소정의 간격을 갖으며 적층되는 전술한 발열수단에 의해 형성되어, 인입되는 LCD 글라스를 수용하는 가열공간과; 전술한 가열공간에 구비되어 LCD 글라스를 지지하는 지지수단과; 전술한 가열공간 일측 방향에만 형성되어 LCD 글라스가 인/출입되도록 하고, 프로세스가스가 배출되도록 하는 배출구를 포함하여서 구성됨을 특징으로 한다.

이러한 본 발명은 로봇 암(Robot-Arm)이 일측 개방형 오븐(Oven)에 소성 또는 건조를 요하는 대면적 LCD 글라스를 투입한다. 그러면, 봉 형상의 가열수단이 내장된 발열수단이 발열하여 오븐 내부를 건조시킨다. 이와 동시에 외부로부터 공 급되는 프로세스가스가 발열수단에 균일하게 형성된 통공을 통해 고르게 분출되어 글라스의 건조를 돕는 한편, 오븐 내부에 발생된 흄(Fume : 중금속을 가열했을 때 발생하는 증기가 공기 중의 산소와 결합하여 생성된 것)을 오븐 일측에 형성된 배출구로 배출한다. 따라서, 본 발명은 발열수단에 내장된 가열수단과 발열수단을 통해 분출되는 프로세스가스가 글라스 전체를 고르게 건조시킴과 동시에 흄을 제거하게 된다.

이와 같이 되는 본 발명 중, 전술한 발열수단은 예컨대, 발열하면서 원적외선을 방사하는 IR플레이트일 수 있으며, 이는 금속산화물 또는 세라믹 재질로 되거나 이를 포함하는 것일 수 있다.

한편, 본 발명 중 전술한 발열수단에 포함되는 가열수단은 예컨대, 니켈 또는 크롬 등의 열선을 갖는 봉 형상의 히터일 수 있다.

여기서, 전술한 가열수단은 예컨대, 발열수단의 일측으로부터 타측으로 관통하여 설치될 수도 있다.

또한, 전술한 가열수단은 예컨대, 발열수단의 일측 중간 부분에 인서트될 수 있으며, 중간을 중심으로 양측에 대칭으로 다수개가 인서트될 수 있다.

여기서, 가열수단은 발열수단을 지지할 수 있는 것이면 어떠한 구조도 만족한다.

또한, 전술한 통공은 예컨대, 외부로부터 프로세스가스가 인입되는 단부로부터 타측 단부로 갈수록 직경이 좁아질 수도 있으며, 넓어질 수도 있다.

여기서, 통공의 직경 차이는 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분 출시킬 수 있도록 하는 것으로, 이를 위한 통공의 형성 구조는 어떠한 것이든 만족한다.

한편, 본 발명 중, 전술한 지지수단은 예컨대, 구형상의 석영일 수 있으며, 로봇암에 의해 입체적으로 이동될 수도 있다.

여기서, 지지수단의 형상과 재질은 LCD 글라스의 표면을 손상시키지 않으면서도, 난반사를 방지할 수 있는 것이면 어떠한 것이든 만족한다.

또 한편, 본 발명 중, 배출구는 예컨대, 본체에 설치되는 개폐수단에 의해 개폐될 수도 있으며, 이 경우 개폐수단에는 별도의 배출구멍이 형성될 수도 있다.

또 한편, 본 발명에서 건조와 흄 제거를 목적으로 사용하는 프로세스가스는 N2(질소)가스일 수 있으나, 이에 한정하지 않는다.

이와 같이 되는 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 3 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 일측으로부터 타측 방향으로 하나 이상 인서트되어 외부에서 전원을 공급받아 발열하는 가열수단(11)과, 전술한 가열수단(11)과 수평 방향으로 형성되면서 일측 면 방향으로 다수개의 구멍(12a)이 연통되어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출하는 하나 이상의 통공(12)을 포함하여 전술한 가열수단(11)으로부터 전도되는 열에 의해 발열하는 발열수단(10)과; 소정의 부피를 갖는 본체(20) 내측에 소정의 간격을 갖으며 적층되는 전술한 발열수단(10)에 의해 형성되어, 인입되는 LCD 글라스(G)를 수용하는 가열공간(21)과; 전술한 가열공간(21)에 구비되어 LCD 글라스 (G)를 지지하는 지지수단(22)과; 전술한 가열공간(21) 일측 방향에만 형성되어 LCD 글라스(G)가 인/출입되도록 하고, 프로세스가스가 배출되도록 하는 배출구(23)를 포함하여서 구성된다.

여기서, 본 발명의 발열수단(10)은 발열하면서 원적외선을 방사하는 IR플레이트로서, 금속산화물 또는 세라믹 재질로 되거나 이를 포함하는 것이다.

또한, 본 발명의 전술한 가열수단(11)은 발열수단(10)의 일측으로부터 타측으로 인서트되는 재질이 니켈/크롬으로 된 열선을 수용하는 봉 형상의 히터로서, 전술한 가열수단(11)은 전원이 공급되면 열선 자체의 전기저항에 의해 열이 발생되고, 발생된 열은 금속산화물 또는 세라믹을 포함한 발열수단(10)을 가열시켜 발열수단(10)이 원적외선을 방사시키도록 한다.

또한, 가열수단(11)은 대면적 LCD 글라스(G)에 적용되도록 대형화된 발열수단(10)이 자중에 의해 처지는 것을 최소화하도록 발열수단(10)을 지지한다.

그러나, 종래의 가열수단은 열선이 프린팅된 얇은 박판 형태의 열선플레이트로 이루어져 있어, 발열 온도가 높지 않을 뿐 아니라, 대형화된 발열수단의 처짐을 지지하지 못하여 전체적인 형상의 변형을 일으키고 있었다.

이때, 본 발명의 전술한 가열수단(11)은 발열수단(10)의 일측 중간 부분에 형성된 홀(Hole)에 인서트되는 것으로, 1개가 중간 부분에 인서트 될 수 도 있고, 중간 부분을 중심으로 양측에 대칭으로 2개 또는 그 이상이 인서트될 수 있다.

이는, 발열수단(10)의 발열 온도 및 처짐을 고려하여 선택적으로 적용한다.

또한, 전술한 통공(12)은 전체적으로 직경이 동일하게 하는 것이 바람직하 나, 직경의 차이를 두어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출시키는 것도 바람직하다.

한편, 전술한 지지수단(22)은 구형상의 석영을 적용하여 LCD 글라스(G)의 표면을 손상시키지 않도록 하면서 열의 난반사를 방지한다.

이때, 지지수단(22)은 별도의 로봇암에 의해 전후좌우 방향으로 사전에 설정된 제어루트에 따라 이동된다.

이와 같은 본 발명은 또한, 첨부 도면 도 6의 a), b)에서 보는 바와 같이, 전술한 통공(12)으로부터 발열수단(10)의 일측 방향으로 형성되는 구멍(12a)을 상부로 형성할 수도 있으며, 상하 양방으로 형성할 수 도 있다.

이와 같이 되는 본 발명은 봉 형상의 가열수단을 발열수단에 내장시켜 가열수단이 발열수단을 지지하도록 함으로써, 대면적 글라스의 건조를 위해 면적이 넓을 수밖에 없는 발열수단의 처짐 현상을 방지함과 동시에, 발열수단의 구조를 간소화함으로써, 발열수단의 제작ㆍ설치 및 유지 보수가 용이하도록 하는 한편, 발열수단의 두께를 현저히 슬림화할 뿐 아니라, 발열수단의 통공을 통해 고르게 분출되는 프로세스가스에 의해 글라스를 고르게 소성 또는 건조함으로써, 건조 효율을 향상시키는 효과를 얻는다.

Claims (12)

1. 대면적 LCD 글라스의 가열을 위한 오븐에 있어서, 일측으로부터 타측 방향으로 하나 이상 인서트되어 외부에서 전원을 공급받아 발열하는 가열수단(11)과, 전술한 가열수단(11)과 수평 방향으로 형성되면서 일측 면 방향으로 다수개의 구멍(12a)이 연통되어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출하는 하나 이상의 통공(12)을 포함하여 전술한 가열수단(11)으로부터 전도되는 열에 의해 발열하는 발열수단(10)과; 소정의 부피를 갖는 본체(20) 내측에 소정의 간격을 갖으며 적층되는 전술한 발열수단(10)에 의해 형성되어, 인입되는 LCD 글라스(G)를 수용하는 가열공간(21)과; 전술한 가열공간(21)에 구비되어 LCD 글라스(G)를 지지하는 지지수단(22)과; 전술한 가열공간(21) 일측 방향에만 형성되어 LCD 글라스(G)가 인/출입되도록 하고, 프로세스가스가 배출되도록 하는 배출구(23)를 포함하여서 구성됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
2. 제 1항에 있어서, 상기 발열수단(10)은 발열하면서 원적외선을 방사하는 IR플레이트로 구성됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
3. 제 2항에 있어서, 발열수단(10)인 IR플레이트는 금속산화물을 포함함을 특징 으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
4. 제 2항에 있어서, 발열수단(10)인 IR플레이트는 세라믹 재질을 포함함을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
5. 제 2항에 있어서, 발열수단(10)인 IR플레이트 자체가 금속산화물로 이루어짐을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
6. 제 2항에 있어서, 발열수단(10)인 IR플레이트 자체가 세라믹 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
7. 제 1항에 있어서, 상기 가열수단(11)은 발열수단(10)의 일측으로부터 타측으로 인서트되는 봉 형상의 히터로 구성됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
8. 제 7항에 있어서, 상기 가열수단(11)인 봉 형상의 히터 내에는 니켈재의 열 선이 인서트됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
9. 제 7항에 있어서, 상기 가열수단(11)인 봉 형상의 히터 내에는 크롬재의 열선이 인서트됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
10. 제 7항에 있어서, 가열수단(11)인 히터는 발열수단(10)에 하나 이상 인서트되어 구성됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
11. 제 1항에 있어서, 상기 통공(12)은 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출시키도록 프로세스가스가 공급되는 단부에서부터 타측방향으로 가면서 직경의 차이를 두어 구성됨을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.
12. 제 11항에 있어서, 상기 통공(12)의 직경은 단부에서 타측방향으로 가면서 점차적으로 적어짐을 특징으로 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐.

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