KR100625772B1 - Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator - Google Patents
Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator Download PDFInfo
- Publication number
- KR100625772B1 KR100625772B1 KR1020040100886A KR20040100886A KR100625772B1 KR 100625772 B1 KR100625772 B1 KR 100625772B1 KR 1020040100886 A KR1020040100886 A KR 1020040100886A KR 20040100886 A KR20040100886 A KR 20040100886A KR 100625772 B1 KR100625772 B1 KR 100625772B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- piezoelectric
- vibrator
- elastic body
- piezoelectric vibrator
- equal
- Prior art date
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 45
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 19
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 6
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 6
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 6
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M dilithium;hydroxide Chemical compound [Li+].[Li+].[OH-] XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920000592 inorganic polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 5
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2400/00—Loudspeakers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
- H04R7/04—Plane diaphragms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Multimedia (AREA)
Abstract
본 발명은 전체 음역에 대해 높은 음압을 가지며 이와 동시에 스테레오 음향을 구현할 수 있는 압전 진동자 및 이를 이용한 간단한 구조의 압전형 패널 스피커에 관한 것이다. 본 발명에 따른 압전 진동자는 탄성체와, 상기 탄성체의 일면에 부착되고 양면에 전극이 부착되는 복수의 압전체로 이루어져 전기적 신호를 기계적 진동으로 변환하는 다중 작용 진동자(Multi Acting Vibrator: MAV)와 ; 상기 다중 작용 진동자의 탄성체에 부착되어 기계적 진동을 외부에 전달하는 진동 전달용 탄성체를 포함하고, 상기 다중 작용 진동자를 구성하는 복수의 압전체에는 서로 다른 주파수 대역의 전기적 신호가 독립적으로 인가되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a piezoelectric vibrator having a high sound pressure for the entire sound range and at the same time realizing stereo sound, and a piezoelectric panel speaker having a simple structure. The piezoelectric vibrator according to the present invention comprises an elastic body and a plurality of piezoelectric bodies attached to one surface of the elastic body and attached to electrodes on both sides thereof, and a multi acting vibrator (MAV) for converting electrical signals into mechanical vibrations; And a vibration transmitting elastic body attached to the elastic body of the multi-acting vibrator to transmit mechanical vibrations to the outside, and electrical signals of different frequency bands are independently applied to the plurality of piezoelectric elements constituting the multi-acting vibrator. do.
또한, 상기 복수의 압전체는 단층 또는 복층 구조로 형성될 수 있으며, 복층 구조를 이루는 경우 각 층의 단면적과 형태가 같은 층을 적층하거나 혹은 단면적 또는 형태가 서로 다르게 적층될 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the plurality of piezoelectric elements may be formed in a single layer or a multilayer structure, and when the multilayer structure is formed, the layers having the same cross-sectional area and shape may be stacked or may be stacked differently.
다중 작용 진동자 (Multi Acting Vibrator), 압전 진동자, 압전형 스피커, 평판형 스피커, 스테레오 스피커 Multi Acting Vibrator, Piezoelectric Vibrator, Piezoelectric Speaker, Flat Panel Speaker, Stereo Speaker
Description
도 1은 종래의 압전 진동자의 종단면도와 저면도,1 is a longitudinal sectional view and a bottom view of a conventional piezoelectric vibrator,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전 진동자의 종단면과 저면도,2 is a longitudinal sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator according to an embodiment of the present invention;
도 3은 종래기술에 따른 상기 도 1의 압전 진동자와 본 발명에 따른 상기 도 2의 압전 진동자가 나타내는 음압을 비교하여 도시한 그래프,3 is a graph illustrating a comparison of sound pressures of the piezoelectric vibrator of FIG. 1 according to the related art and the piezoelectric vibrator of FIG. 2 according to the present invention;
도 4는 상기 도 2의 압전 진동자가 장착된 상태의 압전형 패널 스피커의 배면도와 측단면도,4 is a rear and side cross-sectional view of the piezoelectric panel speaker with the piezoelectric vibrator of FIG. 2 mounted thereon;
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 진동 조절용 탄성체가 부가된 압전 진동자의 종단면도와 저면도,5 is a longitudinal sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator to which an elastic body for vibration adjustment is added according to another embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 다중 작용 진동자가 탄성체를 기준으로 대칭적으로 형성된 압전 진동자의 종단면도와 저면도,6 is a longitudinal sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator in which a multi-acting vibrator is symmetrically based on an elastic body according to another embodiment of the present invention;
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 압전체의 수, 형태, 단면적이 변화된 압전 진동자들((a)~(e))의 평면도,7 is a plan view of the piezoelectric vibrators (a) to (e) in which the number, shape, and cross-sectional area of the piezoelectric body are changed according to still another embodiment of the present invention;
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 서로 다른 면적을 갖는 복수의 압전체가 복층 구조로 적층된 형태의 압전 진동자의 종단면도와 저면도이다.8 is a longitudinal cross-sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator having a plurality of piezoelectric bodies having a different area stacked in a multilayer structure according to another exemplary embodiment of the present invention.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **
100: 압전 진동자 110: 다중 작용 진동자100: Piezoelectric Oscillator 110: Multiple Action Oscillator
110a: 압전체 110b: 탄성체110a:
120: 진동 전달용 탄성체 120: elastic body for vibration transmission
120a: 진동 전달용 탄성체의 제 1 부분120a: first portion of the elastic body for vibration transmission
120b: 진동 전달용 탄성체의 제 2 부분 120b: second portion of the elastic body for vibration transmission
130: 진동 조절용 탄성체 200: 패널 스피커130: elastic body for vibration control 200: panel speaker
본 발명은 압전형 스피커 등에 사용되는 압전 진동자에 관한 것으로, 특히 서로 다른 주파수 대역의 전기적 신호가 독립적으로 인가되는 복수의 압전체와, 이러한 압전체에 부착되는 탄성체의 특별한 기하학적 형상을 통해 전체 음역에 대해 높은 음압을 가지며 이와 동시에 스테레오 음향을 구현할 수 있는 압전 진동자 및 이를 이용한 간단한 구조의 압전형 패널 스피커에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to piezoelectric vibrators used in piezoelectric speakers and the like. In particular, a plurality of piezoelectric bodies to which electrical signals of different frequency bands are independently applied, and a special geometrical shape of an elastic body attached to the piezoelectric elements, have high high-frequency ranges. The present invention relates to a piezoelectric vibrator having sound pressure and at the same time realizing stereo sound, and a piezoelectric panel speaker having a simple structure.
종래의 압전형 스피커에서는 진동 여진기로부터 발생된 진동이 음압이 낮고 공진 주파수가 3kHz 이상의 높은 부근에서 형성되어 높은 주파수에서 낮은 음압을 발생시키는 문제가 있다. 이를 해결하기 위하여 복수의 압전 진동자를 사용하는 방법들이 시도되었으나 높은 음압을 얻는 데는 성공하지 못해 현재 널리 사용되고 있지 못하는 실정이다.In the conventional piezoelectric speaker, the vibration generated from the vibration exciter has a low sound pressure and a resonance frequency is formed at a high vicinity of 3 kHz or more to generate a low sound pressure at a high frequency. In order to solve this problem, methods using a plurality of piezoelectric vibrators have been attempted, but have not been successful in obtaining high sound pressure and are not currently widely used.
음압을 높이기 위한 구조로서 US Patent 4,593,160과 같이 바이모프 타입의 직사각형 액추에이터 형태의 진동자를 사용하거나, 이와 유사하게 US Patent 5,632,841과 같이 응력을 받은 탄성체에 강유전 웨이퍼를 부착시켜 액추에이터를 제작하는 방법이 고안되었다. 또한, 여러 개의 진동자를 배치하거나, 진동 형태를 변형시키기 위해 압전체의 후방에 질량체를 장착시키는 구조 등도 제안되었으나 압전 스피커의 음압을 높이는 데는 크게 실효를 얻지 못하고 있다.As a structure for increasing sound pressure, a method of fabricating an actuator by using a bimorph-type rectangular actuator type vibrator such as US Patent 4,593,160 or similarly attaching a ferroelectric wafer to a stressed elastic body such as US Patent 5,632,841 has been devised. . In addition, a structure in which a mass body is mounted on the rear of the piezoelectric body in order to arrange a plurality of vibrators or to deform the vibration shape has been proposed, but it has not been very effective in increasing the sound pressure of the piezoelectric speaker.
또한, 압전 스피커와는 별개로 1970년대 bending transducer에서 진동 폭의 크기를 증대시키기 위한 구조에 대한 개념이 고안되어 액상을 원자화시키거나 분무하는 장치에 응용되기도 하였다(N, setter (2002). Piezoelectric Materials in Devices p.54 참조). In addition to the piezoelectric speaker, a concept of a structure for increasing the amplitude of vibration in a bending transducer in the 1970s was devised and applied to an apparatus for atomizing or spraying a liquid phase (N, setter (2002). in Devices p.54).
본 발명의 목적은, 전체 음역에 대해 균일하게 높은 음압을 갖고 이와 동시에 스테레오 음향을 구현할 수 있는 새로운 구조의 압전 진동자를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a piezoelectric vibrator of a novel structure which has a uniformly high sound pressure over the entire sound range and at the same time can realize stereo sound.
본 발명의 다른 목적은, 하나의 압전 진동자가 하나의 패널에 장착된 간단한 구조를 가지면서 스테레오 음향을 구현할 수 있는 압전형 패널 스피커를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a piezoelectric panel speaker capable of realizing stereo sound while having a simple structure in which one piezoelectric vibrator is mounted on one panel.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 요지는 다음과 같다.The gist of the present invention for achieving the above object is as follows.
(1) 탄성체와, 상기 탄성체의 일면에 부착되고 양면에 전극이 부착되는 복수의 압전체로 이루어져 전기적 신호를 기계적 진동으로 변환하는 다중 작용 진동자 와; 상기 다중 작용 진동자의 탄성체에 부착되어 기계적 진동을 외부에 전달하는 진동 전달용 탄성체를 포함하고,(1) a multi-acting vibrator composed of an elastic body and a plurality of piezoelectric bodies attached to one surface of the elastic body and attached to electrodes on both sides thereof to convert electrical signals into mechanical vibrations; It is attached to the elastic body of the multi-acting vibrator includes a vibration transmission elastic body for transmitting mechanical vibration to the outside,
상기 다중 작용 진동자를 구성하는 복수의 압전체에는 서로 다른 주파수 대역의 전기적 신호가 독립적으로 인가되는 것을 특징으로 하는 압전 진동자.Piezoelectric vibrator, characterized in that the electrical signals of different frequency bands are independently applied to the plurality of piezoelectric elements constituting the multi-acting vibrator.
(2) 상기 압전 진동자 전체의 축방향 단면 형상이 비대칭의 I 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(2) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the axial cross-sectional shape of the entire piezoelectric vibrator has an asymmetrical I shape.
(3) 상기 다중 작용 진동자는 상기 압전체의 다른 면에 부착되어 압전체의 진동 양상을 조절하기 위한 진동 조절용 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(3) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the multi-acting vibrator further includes a vibration adjusting elastic body attached to the other side of the piezoelectric body to adjust the vibration pattern of the piezoelectric body.
(4) 상기 다중 작용 진동자는 탄성체의 다른 쪽 면에 상기 복수의 압전체에 대응하는 또 다른 복수의 압전체가 더 구비된 형태인 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(4) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the multi-acting vibrator is provided with another plurality of piezoelectric bodies corresponding to the plurality of piezoelectric bodies on the other side of the elastic body.
(5) 상기 압전 진동자의 탄성체는 금속인 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(5) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the elastic body of the piezoelectric vibrator is metal.
(6) 상기 압전 진동자의 탄성체는 영률 10GPa 이상의 유기 또는 무기 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(6) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the elastic body of the piezoelectric vibrator is an organic or inorganic polymer material having a Young's modulus of 10 GPa or more.
(7) 상기 압전체는 에폭시에 의하여 상기 진동 전달용 탄성체 및 진동 조절용 탄성체에 부착되는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.(7) The piezoelectric vibrator according to the above (1), wherein the piezoelectric body is attached to the vibration transmitting elastic body and the vibration adjusting elastic body by epoxy.
(8) 상기 압전체는 압전성 물질로서 PZT(납 지르코늄 티타네이트계 물질) 다결정 세라믹 물질이거나,(8) the piezoelectric material is a PZT (lead zirconium titanate-based material) polycrystalline ceramic material as a piezoelectric material;
PMN-PT(납 마그네슘 나이오베이트 - 납 티타네이트계 물질), PZN-PT(납 아연 나이오베이트 - 납 티타네이트계 물질), PZT(납 지르코늄 티타네이트계 물질), PYN-PT(납 이터비움 나이오베이트 - 납 티타네이트계 물질) 및 PIN-PT(납 인듐 니아오베이트 - 납 티타네이트계 물질)로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나로서, 아래의 화학식 1과 화학식 2 중 어느 하나의 조성을 만족하는 강유전성 단결정 세라믹 물질인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 기재의 압전 진동자.PMN-PT (lead magnesium niobate-lead titanate-based material), PZN-PT (lead zinc niobate-lead titanate-based material), PZT (lead zirconium titanate-based material), PYN-PT (lead data Empty niobate-lead titanate-based material) and PIN-PT (lead indium niaobate-lead titanate-based material), the composition of any one of formulas (1) and (2) below A piezoelectric vibrator according to the above (1), characterized in that it is a satisfactory ferroelectric single crystal ceramic material.
[화학식 1][Formula 1]
s[L]-x[P]y[M]z[N]p[T]s [L] -x [P] y [M] z [N] p [T]
[P]는 산화납(PbO, PbO2, Pb3O4)이고,[P] is lead oxide (PbO, PbO 2 , Pb 3 O 4 ),
[M]은 산화 마그네슘 (MgO) 또는 산화 아연(ZnO)이고,[M] is magnesium oxide (MgO) or zinc oxide (ZnO),
[N]은 나이오비움 옥사이드(Nb2O5)이고,[N] is niobium oxide (Nb 2 O 5 ),
[T]은 산화 티탄(TiO2)이고,[T] is titanium oxide (TiO 2 ),
[L]은 리튬 탄탈레이트(LiTaO3), 리튬나이오베이트(LiNbO3), 리튬(Li), 리튬 산화물(Li2O) 또는 리튬 카보네이트(Li2CO3)이거나, 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 팔라디움(Pd), 로디움(Rh), 인디움(In), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 스트론티움(Sr), 스칸디움(Sc), 루쎄니움(Ru), 구리(Cu), 이트리움(Y) 및 이터비움(Yb)으로 이루어진 군 중에서 선택된 하나의 금속 또는 그의 산화물이고,[L] is lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3), lithium (Li), lithium oxide (Li 2 O), or lithium carbonate (Li 2 CO 3 ), or platinum (Pt), gold ( Au), silver (Ag), palladium (Pd), rhodium (Rh), indium (In), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), strontium (Sr), scandium ( Sc), ruthenium (Ru), copper (Cu), yttrium (Y), and iterium (Yb) is one metal selected from the group consisting of or oxides thereof,
x는 0.55 보다 크거나 같고 0.65보다 작거나 같고,x is greater than or equal to 0.55 and less than or equal to 0.65,
y는 0.09보다 크거나 같고 0.20보다 작거나 같고,y is greater than or equal to 0.09 and less than or equal to 0.20,
z는 0.09보다 크거나 같고 0.20보다 작거나 같고,z is greater than or equal to 0.09 and less than or equal to 0.20,
p는 0.01보다 크거나 같고 0.1보다 작거나 같고,p is greater than or equal to 0.01 and less than or equal to 0.1,
s는 0.01보다 크거나 같고 0.1보다 작거나 같다.s is greater than or equal to 0.01 and less than or equal to 0.1.
[화학식 2][Formula 2]
[1-x]Pb(Zn1/3,Nb2/3)-[x]PbTiO3,[1-x] Pb (Zn 1/3 , Nb 2/3 )-[x] PbTiO 3 ,
[1-y]Pb(Mg1/3,Nb2/3)-[y]PbTiO3 [1-y] Pb (Mg 1/3 , Nb 2/3 )-[y] PbTiO 3
[1-z]PbZrO3-[z]PbTiO3,[1-z] PbZrO 3- [z] PbTiO 3 ,
[1-l]Pb(Yb1/2,Nb1/2)O3-lPbTiO3 [1-l] Pb (Yb 1/2 , Nb 1/2 ) O 3 -lPbTiO 3
[1-m]Pb(In1/2,Nb1/2)O3-mPbTiO3 [1-m] Pb (In 1/2 , Nb 1/2 ) O 3 -mPbTiO 3
x는 0이거나 0.01보다 크거나 0.2보다 작고,x is 0 or greater than 0.01 or less than 0.2,
y는 0.1보다 크거나 0.4보다 작고,y is greater than 0.1 or less than 0.4,
Z는 0.4보다 크고 0.6보다 작고,Z is greater than 0.4 and less than 0.6,
l은 0.2보다 크고 0.8보다 작고,l is greater than 0.2 and less than 0.8,
m은 0.2보다 크고 0.8보다 작다. m is greater than 0.2 and less than 0.8.
(9) 상기 압전성 물질은 압전성 물질의 단층 또는 복층 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 (8) 기재의 압전 진동자.(9) The piezoelectric vibrator according to the above (8), wherein the piezoelectric material is composed of a single layer or a multilayer structure of piezoelectric material.
(9) 상기 복층 구조의 압전체는, 단면적과 형태가 동일한 층들로 적층된 구조이거나 단면적 또는 형태가 서로 다른 층들로 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 상기 (9) 기재의 압전 진동자.(9) The piezoelectric vibrator according to the above (9), wherein the piezoelectric body of the multilayer structure is a structure laminated with layers having the same cross sectional area and shape or a layer having different cross sectional areas or shapes.
(10) 상기 압전성 물질은 다결정 또는 단결정 물질이 벌크 또는 박막 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 (8) 기재의 압전 진동자.(10) The piezoelectric vibrator according to (8), wherein the piezoelectric material is a polycrystalline or single crystal material in bulk or thin film form.
(11) 상기 (1) 내지 (10) 중 어느 하나에 따른 압전 진동자를 구비한 압전형 패널 스피커.(11) A piezoelectric panel speaker provided with the piezoelectric vibrator according to any one of (1) to (10).
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 내용을 상세히 설명한다. 도면에서 동일 또는 유사한 도면 부호는 동일 또는 유사한 구성 요소를 지시하는 것으로 이해된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the contents of the present invention. In the drawings, the same or similar reference numerals are understood to indicate the same or similar components.
도 1은 본건 출원인이 선행하여 출원한 대한민국 특허출원 제2004-70101호에 개시된, 전체적으로 비대칭의 I 형상을 갖는 압전 진동자의 종단면도 및 저면도이다.1 is a longitudinal cross-sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator having an overall asymmetrical I shape disclosed in Korean Patent Application No. 2004-70101 filed previously by the present applicant.
상기 특허출원에 따른 압전 진동자의 경우, 압전 진동자(10) 전체의 축방향 단면 형상(압전 진동자 전체의 종단면 형상)을 비대칭의 I 형상으로 함으로써, 진동이 발생하는 압전 액츄에이터(11)로부터 진동 전달용 탄성체의 제 1 부분(12a) 쪽으로 단면적이 감소하기 때문에 진동의 폭을 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 다만, 이러한 압전 진동자는 종래의 진동자보다 높은 음압을 기대할 수 있지만, 패널 스피커에 적용할 경우 스테레오 음향 효과를 얻기 위해서는 스피커 패널에 복수의 압전 진동자를 부착하여야 하기 때문에 구성이 다소 복잡해지거나 투입되는 재료의 양이 증가하여 제품의 비용이 상승되는 문제가 있다. In the case of the piezoelectric vibrator according to the patent application, the axial cross-sectional shape of the entire piezoelectric vibrator 10 (the longitudinal cross-sectional shape of the entire piezoelectric vibrator) is an asymmetrical I shape, thereby transmitting vibration from the
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전 진동자(100)의 종단면도 및 저면도이다. 본 발명에 따른 압전 진동자는 전기적 신호를 기계적 진동으로 변환하기 위한 다중 작용 진동자(110)와 이에 부착되어 다중 작용 진동자(110)로부터 발생되는 기계적 진동을 외부로 전달하기 위한 진동 전달용 탄성체(120)를 포함하는 보다 단순한 구조로 이루어진다. 2 is a longitudinal sectional view and a bottom view of the
상기 선행출원에서와 마찬가지로, 본 발명의 경우에도 도 2의 압전 진동자(100) 전체, 즉 진동 전달용 탄성체(120)와 다중 작용 진동자(110) 전체의 축방향 단면형상이 대체로 비대칭의 영문 대문자의 I 형상을 갖는 것이 높은 음압을 형성하는데 있어 유리하다. 이에 따라 진동 전달용 탄성체의 제 1 부분(120a) 쪽으로 단면적이 감소하기 때문에 진동의 폭을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.As in the preceding application, in the case of the present invention, the axial cross-sectional shape of the entire
상기 다중 작용 진동자(110)는 압전체(110a, 110a´)와 압전체에 부착된 탄성체(110b)로 구성되는데 압전체(110a, 110a´)에는 외부로부터 전기적 신호를 수신하기 위한 전극이 부착되어 있으나, 이러한 전극은 본 발명에 따른 압전 진동자의 구조상의 특징을 명확히 하기 위해 이하의 도면에서와 마찬가지로 별도로 도시되어 있지는 않다. 전극에 대한 구성은 본 발명이 속하는 분야에서 이미 알려진 기술에 의해 구현될 수 있다.The
본 발명에 따른 압전 진동자는, 복수의 압전체(110a, 110a´)가 서로 분리되어 형성되어 있고 각각의 압전체에 대하여 서로 다른 주파수 대역의 전기적 신호가 독립적으로 인가되는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 서로 다른 음역의 음향을 동시에 발생시킴으로써 하나의 진동자를 이용하여 스테레오 음향을 발생시킬 수 있으며, 또한 어느 하나의 압전체(110a)에는 높은 주파수 신호를 인가하고 다른 압전체(110a´)에는 낮은 주파수 신호를 독립적으로 인가하여 전 음역에서 높은 음압을 얻을 수 있다. The piezoelectric vibrator according to the present invention is characterized in that a plurality of
도 3은 상기 선행 특허출원 제2004-70101호가 개시하고 있는 압전 진동자가 나타내는 음압과 본 발명에 따른 압전 진동자 나타내는 음압을 비교하여 나타낸 그래프로서, 본 발명에 따른 다중 작용 진동자(110)를 구비한 압전 진동자가 선행출원에 따른 압전 진동자에 비하여 전 음역에 걸쳐 대략적으로 15dB 이상 향상된 음압을 나타냄을 알 수 있다. 3 is a graph showing a comparison between the sound pressure represented by the piezoelectric vibrator disclosed in the above-mentioned prior patent application 2004-70101 and the sound pressure represented by the piezoelectric vibrator according to the present invention, and a piezoelectric device having a
또한, 바이모프 액츄에이터를 사용하지 않고 상기 탄성체(110b) 상에는 두 개의 압전체(110a, 110a´)가 서로 분리되어 형성되는 새로운 형태의 다중 작용 진동자(110)를 사용함으로써, 외부의 충격이나 장시간의 사용으로 인하여 압전체가 파손되는 문제점을 해결하였다.In addition, by using a new type of
도 4는 상기 도 2의 압전 진동자가 장착된 상태의 압전형 패널 스피커의 배면도와 측단면도이다. 진동 패널(200)의 가장자리 소정의 부위에 압전 진동자(100)가 장착된다. 다중 작용 진동자(110)에서 발생한 진동이 상술한 바와 같이 진동 전달용 탄성체(120)의 각 부분(120a, 120b)을 거쳐 진동 패널(200)에 전달되어 음향으로 외부로 방출되는데, 본 발명에 따른 압전 진동자(100)는 기하학적 구조상의 특징으로 인해 종전의 압전 진동자보다 월등하게 높은 음압을 제공하면서도, 상기 선행 특허출원 제2004-70101호과는 달리 하나의 압전 진동자만을 하나의 패널에 장착된 간단한 구조로도 스테레오 음향을 구현할 수 있다.
도 4에 따른 압전형 패널 스피커는, LCD 등의 평판 디스플레이가 사용되는 핸드폰, PDA, 노트북 및 기타의 IT 관련 전자기기에서 설치에 대한 별도의 공간적 고려없이 스테레오 음향 효과를 내기 위하여 유리하게 적용될 수 있다.4 is a rear and side cross-sectional view of the piezoelectric panel speaker in a state where the piezoelectric vibrator of FIG. 2 is mounted. The
The piezoelectric panel speaker according to FIG. 4 may be advantageously applied to produce a stereo sound effect without a separate spatial consideration for installation in cellular phones, PDAs, notebook computers, and other IT related electronic devices in which a flat panel display such as an LCD is used. .
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 진동 조절용 탄성체가 부가된 압전 진동자의 종단면도와 저면도이다. 도 5를 참조할 때, 상기 압전 진동자(100)는 상기 압전체의 다른 면에 상기 진동 전달용 탄성체(120)와는 별개로 진동 조절용 탄성체(130)를 더 포함할 수도 있다. 진동 조절용 탄성체(130)는 다중 작용 진동자를 기준으로 진동 전달용 탄성체(120)의 반대편에 부착되어 다중 작용 진동자(110)에서 발생하는 진동의 크기와 최대 음압이 발생하는 파장을 조절하는 역할을 하게 된다. 5 is a longitudinal sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator to which a vibration control elastic body is added according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, the
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 다중 작용 진동자가 탄성체를 기준으로 대칭적으로 형성된 압전 진동자의 종단면도와 저면도이다. 본 실시예에 따른 압전 진동자는 상기 도 2 또는 4의 탄성체의 한쪽 면에만 압전체가 장착되는 형태의 압전 진동자(100)보다 탄성체(110b)를 기준으로 서로 대응되는 더 많은 수의 압전체(110a˝)를 구비하고 있기 때문에 더 높은 기계적 진동 신호 또는 음압을 발생시킬 수 있다. 마찬가지로, 상기 추가된 압전체(110a˝)에는 진동 조절용 탄성체(130´)가 더 구비될 수 있다.6 is a longitudinal cross-sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator symmetrically formed with a multi-acting vibrator based on an elastic body according to another embodiment of the present invention. The piezoelectric vibrator according to the present embodiment has a larger number of
도 7의 (a) 내지 (e)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 압전체의 수, 형태, 단면적이 변화된 압전 진동자들의 평면도를 나타낸 것으로, 도 2에 따른 실시예에서는 독립된 압전체의 수가 두 개이며 그 다중 작용 진동자와 압전체의 모양이 사각인 형태를 가정하였으나 압전 진동자가 장착되는 진동패널 형태와 주파수 대역 필요에 따라 다양한 모양을 지니며 압전체의 수는 적절히 증가될 수 있다. 7 (a) to 7 (e) illustrate plan views of piezoelectric vibrators in which the number, shape, and cross-sectional area of the piezoelectric body are changed according to another exemplary embodiment of the present invention. In the embodiment of FIG. Although the shape of the multi-acting vibrator and the piezoelectric body is assumed to have a square shape, the shape of the vibrating panel in which the piezoelectric vibrator is mounted and the frequency band may have various shapes, and the number of piezoelectric elements may be appropriately increased.
또한 본 발명에 따른 압전 진동자에 있어서, 다중 작용 진동자(110)와 탄성체(120, 130)의 두께, 다면 형상 및 크기, 무게 중심의 형태는 적용되는 장치에 따라 적절히 조절될 수 있다.In addition, in the piezoelectric vibrator according to the present invention, the thickness of the
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 서로 다른 면적을 갖는 복수의 압전체가 복층 구조로 적층된 형태의 압전 진동자의 종단면도와 저면도이다. 압전체가 복층의 구조를 가지는 경우, 각 층의 단면적과 형태가 동일한 층을 적층하거나 혹은 단면적과 형태가 서로 다른 층을 적층하여 발생하는 음향의 특징 및 주파수 특성을 변화시킬 수 있다.8 is a longitudinal cross-sectional view and a bottom view of a piezoelectric vibrator having a plurality of piezoelectric bodies having a different area stacked in a multilayer structure according to another exemplary embodiment of the present invention. When the piezoelectric body has a multilayer structure, the characteristics and frequency characteristics of the sound generated by stacking layers having the same cross-sectional area and shape or stacking layers having different cross-sectional areas and shapes can be changed.
상기한 본 발명에 따른 압전 진동자에 있어서, 상기한 탄성체들은 강, 알루미늄 합금 등의 금속인 것이 바람직하다. 또한, 영률이 큰, 바람직하게는 10Gpa 이상의 영률을 갖는 고분자 물질도 가능하며, 유기 또는 무기 고분자 또는 그 혼합 물질을 포함하며 그 종류는 특별히 제한되지 않는다.In the piezoelectric vibrator according to the present invention, the elastic bodies are preferably metal, such as steel, aluminum alloy. In addition, a polymer material having a high Young's modulus, preferably having a Young's modulus of 10 Gpa or more is possible, and includes an organic or inorganic polymer or a mixture thereof, and the kind thereof is not particularly limited.
상기 다중 작용 진동자(110)와 탄성체(120 또는 130)를 연결하는 수단으로서 에폭시와 같은 경화 후 높은 경도값을 갖는 접착제가 바람직하며, 이에 따라 신호가 감쇠하는 현상이 최소한으로 될 수 있다.As a means for connecting the
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 압전체(110a)의 압전성 물질은 기존에 널리 사용되는 PZT(납 지르코늄 티타네이트 계 물질)의 다결정 세라믹이거나 압전 특성이 우수한 압전성 단결정 세라믹 물질로 구성되는 것이 바람직하다. According to another feature of the present invention, the piezoelectric material of the
본 발명에서 사용되는 강유전성 단결정 물질로는 PMN-PT(납 마그네슘 나이오베이트-납 티타네이트계 물질), PZN-PT(납 아연 나이오베이트-납 티타네이트계 물질), PZT(납 지르코늄 티타네이트 계 물질), PYN-PT(납 이터비움 나이오베이트-납 티타네이트계 물질), PIN-PT(납 인듐 니아오베이트 -납 티타네이트계 물질)이 이용될 수 있다.Ferroelectric single crystal materials used in the present invention include PMN-PT (lead magnesium niobate-lead titanate-based material), PZN-PT (lead zinc niobate-lead titanate-based material), PZT (lead zirconium titanate) Based materials), PYN-PT (lead iterium niobate-lead titanate based materials), PIN-PT (lead indium niobate-lead titanate based materials) can be used.
본 발명에 따른 상기 강유전성 단결정 물질은 아래의 화학식 1과 화학식 2 중 어느 하나의 조성을 만족하는 것이 바람직하다.The ferroelectric single crystal material according to the present invention preferably satisfies the composition of any one of the following Formulas (1) and (2).
[화학식 1][Formula 1]
s[L]-x[P]y[M]z[N]p[T]s [L] -x [P] y [M] z [N] p [T]
[P]는 산화납(PbO, PbO2, Pb3O4)이고,[P] is lead oxide (PbO, PbO 2 , Pb 3 O 4 ),
[M]은 산화 마그네슘 (MgO) 또는 산화 아연(ZnO)이고,[M] is magnesium oxide (MgO) or zinc oxide (ZnO),
[N]은 나이오비움 옥사이드(Nb2O5)이고,[N] is niobium oxide (Nb 2 O 5 ),
[T]은 산화 티탄(TiO2)이고,[T] is titanium oxide (TiO 2 ),
[L]은 리튬 탄탈레이트(LiTaO3), 리튬나이오베이트(LiNbO3), 리튬(Li), 리튬 산화물(Li2O) 또는 리튬 카보네이트(Li2CO3)이거나, 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 팔라디움(Pd), 로디움(Rh), 인디움(In), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 스트론티움(Sr), 스칸디움(Sc), 루쎄니움(Ru), 구리(Cu), 이트리움(Y) 및 이터비움(Yb)으로 이루어진 군 중에서 선택된 하나의 금속 또는 그의 산화물이고,[L] is lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3), lithium (Li), lithium oxide (Li 2 O), or lithium carbonate (Li 2 CO 3 ), or platinum (Pt), gold ( Au), silver (Ag), palladium (Pd), rhodium (Rh), indium (In), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), strontium (Sr), scandium ( Sc), ruthenium (Ru), copper (Cu), yttrium (Y), and iterium (Yb) is one metal selected from the group consisting of or oxides thereof,
x는 0.55 보다 크거나 같고 0.65보다 작거나 같고,x is greater than or equal to 0.55 and less than or equal to 0.65,
y는 0.09보다 크거나 같고 0.20보다 작거나 같고,y is greater than or equal to 0.09 and less than or equal to 0.20,
z는 0.09보다 크거나 같고 0.20보다 작거나 같고,z is greater than or equal to 0.09 and less than or equal to 0.20,
p는 0.01보다 크거나 같고 0.1보다 작거나 같고,p is greater than or equal to 0.01 and less than or equal to 0.1,
s는 0.01보다 크거나 같고 0.1보다 작거나 같다.s is greater than or equal to 0.01 and less than or equal to 0.1.
[화학식 2][Formula 2]
[1-x]Pb(Zn1/3,Nb2/3)-[x]PbTiO3,[1-x] Pb (Zn 1/3 , Nb 2/3 )-[x] PbTiO 3 ,
[1-y]Pb(Mg1/3,Nb2/3)-[y]PbTiO3 [1-y] Pb (Mg 1/3 , Nb 2/3 )-[y] PbTiO 3
[1-z]PbZrO3-[z]PbTiO3,[1-z] PbZrO 3- [z] PbTiO 3 ,
[1-l]Pb(Yb1/2,Nb1/2)O3-lPbTiO3 [1-l] Pb (Yb 1/2 , Nb 1/2 ) O 3 -lPbTiO 3
[1-m]Pb(In1/2,Nb1/2)O3-mPbTiO3 [1-m] Pb (In 1/2 , Nb 1/2 ) O 3 -mPbTiO 3
x는 0이거나 0.01보다 크거나 0.2보다 작고,x is 0 or greater than 0.01 or less than 0.2,
y는 0.1보다 크거나 0.4보다 작고,y is greater than 0.1 or less than 0.4,
Z는 0.4보다 크고 0.6보다 작고,Z is greater than 0.4 and less than 0.6,
l은 0.2보다 크고 0.8보다 작고,l is greater than 0.2 and less than 0.8,
m은 0.2보다 크고 0.8보다 작다. m is greater than 0.2 and less than 0.8.
이러한 조성의 단결정 물질은 본 발명의 출원인이 선행하여 출원한 대한민국 특허출원 제2003-47458호에 개시된 방법에 의해 제조될 수 있다. 특허출원 제2003-47458호에 개시된 내용은 본 명세서에 통합되어 그 일부를 구성한다.The single crystal material of this composition can be prepared by the method disclosed in Korean Patent Application No. 2003-47458 filed previously by the applicant of the present invention. The contents disclosed in Patent Application No. 2003-47458 are incorporated in and constitute a part of this specification.
상기 화학식 1과 화학식 2의 조성을 갖는 단결정재료는 종래의 PZT 세라믹이나 다결정 박막보다 압전변형계수가 크기 때문에 동일한 인가전압에 대해 그 변형의 정도가 더 크다. 이는 압전 진동자에 적용될 경우, 전기적 신호를 음향 신호로 변환시 높은 음압을 발생시킬 수 있어 바람직하다. 또한 압전전압계수가 크기 때문 에 음향 신호와 같은 외부 응력이 가해질 때 높은 출력 전압을 발생시킬 수 있고, 전기기계결합계수가 높기 때문에 소비전력 대비 에너지 변환 효율이 높아질 수 있어 유리하다. 또한 단결정이기 때문에 원자 및 분자들이 주어진 공간에서 규칙적으로 가장 밀집하여 배열할 수 있어 미세 가공이 가능하다.Since the single crystal material having the composition of Formulas 1 and 2 has a larger piezoelectric strain coefficient than conventional PZT ceramics or polycrystalline thin films, the degree of deformation is higher for the same applied voltage. When applied to a piezoelectric vibrator, it is preferable because it can generate a high sound pressure when converting an electrical signal into an acoustic signal. In addition, since the piezoelectric voltage coefficient is large, when the external stress such as an acoustic signal is applied, a high output voltage can be generated, and because the electromechanical coupling coefficient is high, the energy conversion efficiency compared to the power consumption is advantageous. In addition, because it is a single crystal, atoms and molecules can be arranged most densely and regularly in a given space, thereby enabling microfabrication.
본 발명에 따른 단결정 물질 중 PMN-PT 단결정과 종래의 PZT 세라믹 및 PVDF와의 압전 특성을 아래의 표 1에서 비교하였다.The piezoelectric properties of PMN-PT single crystal and conventional PZT ceramic and PVDF in the single crystal material according to the present invention were compared in Table 1 below.
표 1은 실측값을 표시한 것이며, IEEE standard에 따라 공진법(resonant measurement)을 이용하여 측정하였다. 또한, 전압에 따른 변형값을 직접적으로 측정하기 위해 광간섭계(interferometric measurement), LVDT를 이용하여 직접적으로 d33을 측정하는 방법들도 이용하였다. 여기서, d33은 두께 모드(Thickness)의 압전변형계수, k33은 두께모드에서의 전기기계결합계수, g33는 두께모드에서 압전전압계수를 나타낸다.Table 1 shows the measured values, and measured by resonant measurement according to the IEEE standard. In addition, methods for directly measuring d 33 using an interferometric measurement and LVDT were used to directly measure the strain value according to the voltage. Here, d 33 represents the piezoelectric strain coefficient of the thickness mode, k 33 represents the electromechanical coupling coefficient in the thickness mode, and g 33 represents the piezoelectric voltage coefficient in the thickness mode.
이하에서는, 상기 물성들이 압전 진동자의 성능에 미치는 영향에 대하여 설명한다.Hereinafter, the influence of the properties on the performance of the piezoelectric vibrator will be described.
일반적으로 압전 특성을 갖는 재료에 전계를 인가할 때 발생하는 변형량은 아래의 식 (1)로 표시될 수 있다.In general, the amount of deformation that occurs when an electric field is applied to a material having piezoelectric properties may be represented by Equation (1) below.
--------------- 식 (1) --------------- Formula (1)
여기서, here,
S = 변형률S = strain
Lo = 변형전 길이 [m] L o = length before deformation [m]
ΔL = 변형량 [m]ΔL = strain [m]
E = 전계 강도 [V/m] E = field strength [V / m]
dij = 압전변형계수 [pV/m]d ij = piezoelectric strain coefficient [pV / m]
을 각각 나타낸다.Respectively.
상기 식 (1)로부터 압전 재료의 변위는 압전변형계수(dij)에 비례함을 알 수 있다.It can be seen from Equation (1) that the displacement of the piezoelectric material is proportional to the piezoelectric strain coefficient d ij .
상기 표 1을 참조할 때, PMN-PT 단결정의 압전변형계수(d33)가 PVDF의 약 70배 이상, PZT 세라믹의 약 4배 이상의 큰 값을 갖는다. 따라서 본 발명에 따른 PMN-PT 단결정을 이용한 압전 진동자는 종래의 PVDF 또는 PZT 세라믹을 이용한 동일 규격의 압전 진동자와 비교할 때 동일한 입력 전압에 대하여 4~70배 이상의 음압 증가를 얻을 수 있다. 바꾸어 말하면, 본 발명에 따른 압전 진동자는 종래의 압전 진동자보다 1/70~1/4배 이하의 낮은 전압으로 동일 크기의 음압을 얻을 수 있으므로, 소형화, 저전력화가 요구되는 모바일 기기에 유리하게 적용될 수 있다.Referring to Table 1, the piezoelectric strain coefficient (d 33 ) of the PMN-PT single crystal has a large value of about 70 times or more of PVDF and about 4 times or more of PZT ceramic. Therefore, the piezoelectric vibrator using the PMN-PT single crystal according to the present invention can obtain a sound pressure increase of 4 to 70 times or more with respect to the same input voltage as compared with the piezoelectric vibrators of the same standard using conventional PVDF or PZT ceramics. In other words, the piezoelectric vibrator according to the present invention can obtain sound pressure of the same size at a voltage of 1/70 to 1/4 times lower than the conventional piezoelectric vibrator, and thus can be advantageously applied to mobile devices requiring miniaturization and low power. have.
또한, 본 발명에 따른 압전 진동자에 사용된 PMN-PT 단결정은, 표 1에서 알 수 있듯이 높은 전기기계결합계수를 갖기 때문에 종래의 PVDF 폴리머 및 PZT 세라믹보다 소비전력대비 에너지 효율이 향상되어 압전 진동자의 저전력화, 소형화를 가능케 하고, 노이즈에 의한 신호 왜곡을 감소시킬 수 있다.In addition, since the PMN-PT single crystal used in the piezoelectric vibrator according to the present invention has a high electromechanical coupling coefficient, the energy efficiency of the piezoelectric vibrator is improved compared to that of the conventional PVDF polymer and PZT ceramic. It is possible to reduce power consumption and downsize, and to reduce signal distortion due to noise.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 압전체(110a)의 단결정 물질은 벌크 또는 막 형태의 구조일 수 있고, 단층 또는 적층 구조일 수 있다. 압전성 단결정 물질을 막 형태로 구성할 경우, 벌크 형태의 압전성 단결정 물질을 박막 형태로 연마한 후 전극에 부착하거나 전극에 부착된 후 박막 형태로 연마 가공될 수 있다. 박막 형태로 압전 단경정 물질을 구성할 경우 압전체(110)의 전체적인 두께가 감소될 수 있다.According to another feature of the present invention, the single crystal material of the
이상의 설명은 본 발명의 구체적 실시예에 관한 것이다. 본 발명에 따른 상기 실시예는 설명을 목적으로 할 뿐이고, 당업자라면 본 발명의 본질을 벗어나지 아니하고 다양한 변경과 수정을 가할 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 따라서 이러한 모든 수정과 변경은 특허청구범위에 개시된 발명의 범위 또는 이들의 균등물에 해당하는 것으로 이해되어야 한다.The above description relates to specific embodiments of the present invention. It is to be understood that the above embodiments according to the present invention are for the purpose of explanation only and that various changes and modifications can be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Accordingly, all such modifications and changes are to be understood as falling within the scope of the invention as set forth in the claims or their equivalents.
이상과 같이 본 발명에 따른 압전 진동자는, 압전체가 진동 전달용 탄성체에 바로 연결되지 않기 때문에 외부충격이나 장시간 사용에 따른 피로에 인한 압전체의 파손이 억제 되며, 인가되는 서로 다른 전기적 신호에 의해 독립적으로 동작하는 복수의 압전체를 이용함으로써 하나의 압전 진동자만으로도 저음과 고음 영역에 서 전체 음역에 걸쳐 균일하게 높은 음압을 발생시킬 수 있고 스테레오 음향 효과를 충분히 발휘할 수 있다.As described above, the piezoelectric vibrator according to the present invention, since the piezoelectric body is not directly connected to the elastic body for vibration transmission, damage of the piezoelectric body due to external shock or fatigue due to long time use is suppressed and is independently applied by different electrical signals applied. By using a plurality of piezoelectric elements in operation, only one piezoelectric vibrator can generate a uniformly high sound pressure over the entire sound region in the low and high sound ranges, and can sufficiently exhibit stereo sound effects.
또한 본 발명에 따른 압전 진동자는 간단한 구조를 가지기 때문에 제조 공정이 현저히 단순화될 수 있고, 소비전력 대비 에너지효율을 크게 향상시킬 수 있어 소비 전력의 감소, 제품의 소형화 및 노이즈에 의한 신호 왜곡의 감소를 실현할 수 있다.In addition, since the piezoelectric vibrator according to the present invention has a simple structure, the manufacturing process can be significantly simplified, and energy efficiency can be significantly improved compared to power consumption, thereby reducing power consumption, miniaturization of the product, and reduction of signal distortion due to noise. It can be realized.
또한, 본 발명의 압전진동자를 사용한 스피커는 진동판의 제한이 적기 때문에 수중이나 다습한 환경에서 사용이 가능한 형태로 만들 수 있다.In addition, the speaker using the piezoelectric vibrator of the present invention can be made in a form that can be used underwater or in a humid environment because of the limited limitation of the diaphragm.
Claims (12)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040100886A KR100625772B1 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator |
JP2007544261A JP4758998B2 (en) | 2004-12-03 | 2005-11-29 | Piezoelectric vibrator with multi-action vibrator |
PCT/KR2005/004035 WO2006059856A1 (en) | 2004-12-03 | 2005-11-29 | Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator |
CN2005800414561A CN101069341B (en) | 2004-12-03 | 2005-11-29 | Piezoelectric vibrator and piezoelectric panel speaker possessing same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040100886A KR100625772B1 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060062138A KR20060062138A (en) | 2006-06-12 |
KR100625772B1 true KR100625772B1 (en) | 2006-09-20 |
Family
ID=36565272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040100886A KR100625772B1 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Piezoelectric vibrator with multi acting vibrator |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4758998B2 (en) |
KR (1) | KR100625772B1 (en) |
CN (1) | CN101069341B (en) |
WO (1) | WO2006059856A1 (en) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102106160B (en) * | 2009-05-25 | 2014-12-31 | 松下电器产业株式会社 | Piezoelectric acoustic transducer |
US8520869B2 (en) * | 2010-03-29 | 2013-08-27 | Panasonic Corporation | Piezoelectric acoustic transducer |
WO2012011238A1 (en) * | 2010-07-23 | 2012-01-26 | 日本電気株式会社 | Vibration device |
KR101278405B1 (en) * | 2011-03-23 | 2013-06-24 | 삼성전기주식회사 | Piezoelectric vibration module and touch screen using the same |
CN102283617B (en) * | 2011-06-29 | 2014-01-08 | 南京航空航天大学 | Ultrasonic dust collector based on piezoelectric double-wafer cantilever beam structure and method of the ultrasonic dust collector |
KR101350259B1 (en) * | 2012-12-14 | 2014-01-16 | 한국세라믹기술원 | Bolt clamped langevin type piezoelectric vibration apparatus |
CN103611671A (en) * | 2013-11-29 | 2014-03-05 | 苏州衡业新材料科技有限公司 | Piezoelectric ceramic vibrator driven by low voltage |
CN104956691B (en) | 2013-12-31 | 2018-07-24 | 英诺晶片科技股份有限公司 | Portable piezoelectric speaker |
CN108111946B (en) * | 2015-06-29 | 2019-08-20 | Oppo广东移动通信有限公司 | Vibration sounding structure and terminal |
KR102352563B1 (en) * | 2017-08-04 | 2022-01-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | Display apparatus |
KR102386650B1 (en) * | 2017-11-27 | 2022-04-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | Electronic apparatus |
US10681471B2 (en) * | 2017-12-22 | 2020-06-09 | Google Llc | Two-dimensional distributed mode actuator |
KR102049989B1 (en) | 2018-05-11 | 2019-11-28 | 주식회사 우성초음파 | Ultrasonic resonator for cleaning and cleaning apparatus with multi frequency mode using the same |
US11800293B2 (en) * | 2020-06-15 | 2023-10-24 | Lg Display Co., Ltd. | Sound apparatus |
CN113005364A (en) * | 2021-02-05 | 2021-06-22 | 广东诗奇制造有限公司 | Piezoelectric actuator, iron-nickel-chromium alloy material, and preparation method and application thereof |
CN116606143B (en) * | 2023-06-09 | 2024-04-12 | 广东捷成科创电子股份有限公司 | Piezoelectric ceramic material and preparation method thereof |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0135026Y1 (en) * | 1993-12-08 | 1999-02-01 | 윤종용 | Vibrator made of piezo-ceramic |
KR100460330B1 (en) | 2001-08-10 | 2004-12-08 | 박태곤 | Half-bimorph vibrator of linear ultrasonic motor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56139199U (en) * | 1980-03-22 | 1981-10-21 | ||
JPS5745799A (en) * | 1980-09-01 | 1982-03-15 | Murata Mfg Co Ltd | Piezo-electric type speaker |
JPS60190100A (en) * | 1984-03-09 | 1985-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | Piezoelectric speaker |
JPH04207697A (en) * | 1990-11-30 | 1992-07-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Piezoelectric alarming device |
JPH10190081A (en) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Kyocera Corp | Multilayer piezo-electric transducer and its manufacture |
JPH11168246A (en) * | 1997-09-30 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezoelectric actuator, infrared ray sensor, and piezoelectric light deflector |
JP3395672B2 (en) * | 1998-10-21 | 2003-04-14 | 株式会社村田製作所 | Piezoelectric electroacoustic transducer |
DE10023556A1 (en) * | 2000-05-15 | 2001-11-29 | Festo Ag & Co | Piezo bending transducer and use of the same |
-
2004
- 2004-12-03 KR KR1020040100886A patent/KR100625772B1/en not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-11-29 JP JP2007544261A patent/JP4758998B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-29 WO PCT/KR2005/004035 patent/WO2006059856A1/en active Application Filing
- 2005-11-29 CN CN2005800414561A patent/CN101069341B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0135026Y1 (en) * | 1993-12-08 | 1999-02-01 | 윤종용 | Vibrator made of piezo-ceramic |
KR100460330B1 (en) | 2001-08-10 | 2004-12-08 | 박태곤 | Half-bimorph vibrator of linear ultrasonic motor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060062138A (en) | 2006-06-12 |
JP4758998B2 (en) | 2011-08-31 |
CN101069341B (en) | 2010-06-02 |
JP2008522538A (en) | 2008-06-26 |
WO2006059856A1 (en) | 2006-06-08 |
CN101069341A (en) | 2007-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101069341B (en) | Piezoelectric vibrator and piezoelectric panel speaker possessing same | |
US9813823B2 (en) | Piezoelectric element, and piezoelectric vibrating apparatus, portable terminal, sound generator, sound generating apparatus, and electronic device comprising the piezoelectric element | |
US5334903A (en) | Composite piezoelectrics utilizing a negative Poisson ratio polymer | |
US9583692B2 (en) | Piezoelectric vibration device and portable terminal using the same | |
US9070864B2 (en) | Piezoelectric vibration device and portable terminal using the same | |
EP1501074A2 (en) | Piezoelectric vibrator | |
JP6367693B2 (en) | Piezoelectric element, piezoelectric vibration device, acoustic generator, acoustic generator, and electronic device | |
JP4295238B2 (en) | Piezoelectric sound generator | |
US9185495B2 (en) | Oscillation device and electronic apparatus | |
CN103561372A (en) | Sound-generating device | |
CN102959989B (en) | Ultrasonic wave generator | |
JPWO2013002384A1 (en) | Sound generator and sound generator using the same | |
WO2013099512A1 (en) | Vibration device, sound generator, speaker system, and electronic device | |
CN103262576A (en) | Oscillator device and electronic instrument | |
KR100573729B1 (en) | Piezoelectric panel speaker using piezoelectric single crystal | |
KR20180098128A (en) | Piezoelectric vibrating device and electronic device having the same | |
JP4511407B2 (en) | Piezoelectric sound generator | |
CN104012113B (en) | Sound generator, sound generation device and electronic equipment | |
CN114827856A (en) | Electrostatic miniature sound generating device | |
KR100573733B1 (en) | Piezoelectric vibrator with asymmetric i-type elastomer and piezoelectric panel speaker using the same | |
US8816570B1 (en) | Dual cantilever beam relaxor-based piezoelectric single crystal accelerometer | |
KR20060097839A (en) | Piezoelectric vibrator with double side and piezoelectric a flat panel speaker | |
KR100729152B1 (en) | Piezoelectric vibrator for plate-type speaker | |
Tressler et al. | A comparison of the underwater acoustic performance of single crystal versus piezoelectric ceramic-based “cymbal” projectors | |
CN103492091A (en) | Piezoelectric actuator and electronic device having piezoelectric actuator mounted thereon |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130626 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140625 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150902 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161007 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |