KR100614013B1 - 스테이지 장치, 위치검출장치 및 노광장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (38)
- 물체를 유지하여 이동가능한 제 1 스테이지와, 상기 제 1 스테이지를 적어도 제 1 방향으로 구동하는 구동기구를 갖는 스테이지 장치에 있어서,상기 제 1 스테이지는, 상기 구동기구의 가동부를 적어도 갖는 제 1 부분과 상기 물체를 유지하는 제 2 부분을 가지며,상기 제 1 부분의 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 1 위치계측장치와,상기 제 1 위치계측장치의 계측결과에 기초하여, 상기 물체의 적어도 상기 제 1 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 구동기구를 제어하는 제 1 스테이지 제어계를 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 부분의 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비하고,상기 제 1 스테이지 제어계는, 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분의 상기 제 1 방향의 위치의 오차를 보상하기 위해, 상기 제 1 및 제 2 위치계측장치의 계측결과에 기초하여 상기 구동기구를 추가로 제어하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 부분과 제 2 부분은 일체적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 스테이지와는 상이한 제 2 스테이지와,상기 제 2 부분의 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치와,상기 제 2 위치계측장치의 계측결과에 기초하여, 상기 제 1 스테이지와 상기 제 2 스테이지가 소정의 위치관계로 되도록, 상기 제 2 스테이지를 제어하는 제 2 스테이지 제어계를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 소정의 패턴을 기판상에 전사하는 노광장치로서,제 1 부분과, 상기 기판을 지지하는 제 2 부분을 가지며, 이동가능한 제 1 스테이지와,적어도 일부가 상기 제 1 부분에 접속되며, 상기 제 1 스테이지를 적어도 제 1 방향으로 구동하는 구동기구와,상기 제 1 부분의 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 1 위치계측장치와,상기 제 1 위치계측장치의 계측결과에 기초하여, 상기 기판의 적어도 상기 제 1 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 구동기구를 제어하는 제 1 스테이지 제어계를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 스테이지와는 상이한 제 2 스테이지와,상기 제 2 부분의 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치와,상기 제 2 위치계측장치의 계측결과에 기초하여, 상기 제 1 스테이지와 상기 제 2 스테이지가 소정의 위치관계로 되도록, 상기 제 2 스테이지를 제어하는 제 2 스테이지 제어계를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 제 2 스테이지는, 상기 패턴이 형성된 마스크를 유지하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 노광장치는, 상기 마스크와 상기 기판을 동기하여 이동시키고 있는 사이에 상기 패턴을 노광하는 주사형 노광장치인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되며, 상기 기판을 상기 투영광학계의 광축 방향을 따라 구동하는 제 2 구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되며, 상기 기판을 상기 제 1 방향과는 상이한 방향으로 구동하는 제 2 구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 마스크의 패턴을 기판에 노광하는 노광장치에 있어서,상기 마스크를 탑재하는 이동가능한 마스크 스테이지와,상기 기판을 탑재하는 이동가능한 기판 스테이지와,기준부에 고정된 고정경과, 상기 마스크 스테이지와 상기 기판 스테이지 중 적어도 일방의 스테이지에 고정된 이동경을 가지며, 상기 고정경을 반사한 광속과, 상기 이동경을 반사한 광속에 기초하여 상기 적어도 일방의 스테이지의 위치를 검출하는 위치검출장치와,상기 고정경의 진동에 기인하는 오차를 보정하는 보정장치와,상기 보정장치의 출력에 기초하여 상기 적어도 일방의 스테이지를 제어하는 제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 패턴의 이미지는 상기 마스크와 상기 기판과의 사이에 설치된 투영광학계에 의해 상기 기판에 투영되며,상기 고정경은 상기 투영광학계에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 기준부에 설치된 고정경을 반사한 광속과, 이동가능한 스테이지에 설치된 이동경을 반사한 광속에 기초하여 상기 스테이지의 위치를 검출하는 위치검출장치에 있어서,상기 고정경의 진동에 기인하는 오차를 보정하는 보정장치와,상기 보정장치의 출력에 기초하여 상기 스테이지를 제어하는 제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 위치검출장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 보정장치는 저역 필터인 것을 특징으로 하는 위치검출장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 보정장치는 상기 스테이지의 구동을 지령하는 스테이지 지령신호에 기초하여 상기 오차를 보정하는 것임을 특징으로 하는 위치검출장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 부분의 상기 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비한 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되고, 상기 물체를 유지하는 유지면과 교차하는 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하는 제 2 구동기구를 설치한 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 17 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되고, 상기 물체를 유지하는 유지면과 교차하는 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하는 제 2 구동기구를 설치한 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 2 부분의 상기 소정의 계측방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되고, 상기 기판을 유지하는 유지면과 교차하는 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하는 제 2 구동기구를 설치한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 20 항에 있어서,상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분과의 사이에 설치되고, 상기 기판을 유지하는 유지면과 교차하는 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하는 제 2 구동기구를 설치한 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 구동기구는, 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 미소 구동하는 미소 구동기구를 포함하고,상기 제 2 부분의 상기 제 1 방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비하며,상기 제 1 스테이지 제어계는 상기 물체의 상기 제 1 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 1 위치계측장치 및 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 미소 구동기구는, 상기 제 1 방향과 상이한 방향으로 상기 제 2 부분을 미소 구동하고,상기 제 2 위치계측장치는, 상기 제 2 부분의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 계측하며,상기 스테이지 제어계는, 상기 물체의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 미소 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 24 항에 있어서,상기 제 1 방향과 상이한 방향은, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향, 혹은 회전방향인 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 구동기구는, 상기 제 1 방향과 상이한 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하고,상기 제 1 방향과 상이한 방향의 상기 제 2 부분의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비하며,상기 제 1 스테이지 제어계는, 상기 물체의 상기 물체의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 제 2 부분을 구동하도록 상기 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 26 항에 있어서,상기 제 1 방향과 상이한 방향은, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향, 혹은 회전 방향인 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 23 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구동기구는 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 상기 제 1 방향으로 구동하는 기구를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 23 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 부분은, 상기 제 1 부분에 대해 기계적인 고유 진동을 발생하도록 연결되어있는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 29 항에 있어서,상기 구동 기구는, 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 상기 제 1 방향으로 구동하는 기구를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 구동 기구는, 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 미소 구동하는 미소 구동장치를 포함하고,상기 제 2 부분의 상기 제 1 방향의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비하며,상기 제 1 스테이지 제어계는 상기 물체의 상기 제 1 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 1 위치계측장치 및 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 31 항에 있어서,상기 미소 구동기구는, 상기 제 1 방향과 상이한 방향으로 상기 제 2 부분을 미소 구동하고,상기 제 2 위치계측장치는, 상기 제 2 부분의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 계측하며,상기 스테이지 제어계는, 상기 물체의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 미소 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 32 항에 있어서,상기 제 1 방향과 상이한 방향은, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향, 혹은 회전방향인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 구동기구는, 상기 제 1 방향과 상이한 방향으로 상기 제 2 부분을 구동하고,상기 제 1 방향과 상이한 방향의 상기 제 2 부분의 위치를 계측하는 제 2 위치계측장치를 구비하며,상기 제 1 스테이지 제어계는, 상기 물체의 상기 물체의 상기 제 1 방향과 상이한 방향의 위치를 제어하기 위해, 상기 제 2 위치계측장치의 계측 결과에 기초하여 상기 제 2 부분을 구동하도록 상기 구동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 34 항에 있어서,상기 제 1 방향과 상이한 방향은, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향, 혹은 회전 방향인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 31 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구동기구는 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 상기 제 1 방향으로 구동하는 기구를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 31 항 내지 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 2 부분은, 상기 제 1 부분에 대해 기계적인 고유 진동을 발생하도록 연결되어있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 37 항에 있어서,상기 구동 기구는, 상기 제 1 부분에 대해 상기 제 2 부분을 상기 제 1 방향으로 구동하는 기구를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 노광장치.
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