KR100595000B1 - 압력조절이 자유로운 철계 금속의 저온/저압 가스산질화 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 질화로의 챔버(chamber) 내부를 진공 배기한 후, 질소(N2) 가스를 투입하고, 180℃ 내지 350℃까지 승온하는 1차 승온단계(10);상기 챔버 내로 산화성 가스를 투입하여 철계 금속 표면에 얇은 산화피막을 형성시키는 항온 및 예비 산화단계(20);상기 챔버 내부를 진공 배기한 후, 챔버 내로 암모니아(NH3) 가스를 투입하고, 승온하는 2차 승온 단계(30);상기 챔버 내부를 진공 배기한 후, 챔버 내부에 암모니아, 질소 및 산화성 가스를 일정 조성 비율로 투입하여 챔버의 내부 압력을 50 mbar 내지 1000 mbar가 되도록 하여 질화하는 질화단계(40);챔버 내부 압력이 상압(1 atm) 상태에서 H2O를 이용하여 산화처리를 실시하는 냉각 및 산화단계(50) 및;상기 챔버 내부를 진공 배기한 후, 질소가스를 투입하여 상온까지 냉각시키는 냉각 단계(60)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 철계 금속의 산질화방법.
- 제 1항에 있어서,상기 항온 및 예비산화 단계는 30분 내지 60분간 유지시키는 것을 특징으로 하는 철계 금속의 산질화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 질화단계는, 450℃ 내지 600℃ 범위의 온도에서 질화로 내부 압력을 50 mbar 내지 1000 mbar가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 철계금속의 산질화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 냉각 및 산화단계는 450℃ 내지 520℃의 온도에서 질화로 챔버 내의 압력이 대기압인 상태에서 5분 내지 100분 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 철계금속의 산질화 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 냉각단계는 900 mbar 내지 1013 mbar 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 철계금속의 산질화방법.
- 제 1항에 있어서,상기 산화성 가스는 공기, NOx, COx 가스로 구성된 군 중에서 선택되는 하나 이상의 가스인 것을 특징으로 하는 철계 금속의 산질화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 질화단계에서 실시간으로 챔버 내부의 질소포텐셜을 제어하기 위하여, 챔버 내에서 암모니아 가스와 질소 및 산화성 가스의 화학반응에 의해 발생하는 부산물인 수소분압을 센서에 의해 지속적으로 측정함과 동시에 챔버에서 배출되는 미분해 암모니아의 정량분석을 통해 질소포텐셜을 실시간으로 분석하여 전자제어식 가스 투입장치를 전자 제어하는 것을 특징으로 하는 철계 금속의 산질화방법.
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