KR100592080B1 - Composition of support material for dial filter and its manufacturing method - Google Patents

Abstract

본 발명은 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법에 관한 것으로서; 기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트의 저 손실 유전체로 구성되는 DR필터공진기를 지지하기 위한 서포터 등의 지지부품을 제조함에 있어서, 상기 지지용의 서프트 등의 부품은 소결용 알루미나는 일본 스미토모 사의 공칭 AES-11C(99.8%)와 AKP-50(99.99%) 제품에, MgO, TiO₂, WO₃를 0.02wt%, 0.05wt%, 0.1wt%, 0.15wt% 를 첨가하여 소결구성하고, 또는, 상기 지지용의 서프트 등의 부품은, 소결용 알루미나는 일본 스미토모 사의 공칭 AES-11C(99.8%) 제품에 TiO₂를 0.15wt%, 첨가하여 1650 도 섭씨에서 소결하여 제조하거나, 상기 지지용의 서프트 등의 부품은, 소결용 알루미나는 일본 스미토모 사의 공칭 AKP-50 제품이고, 첨가제를 TiO₂ 로서 0.05wt% 첨가하여 1600 도 섭씨로 소결하여 제조되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a composition of a DR filter support material and a manufacturing method thereof; In manufacturing a supporting part such as a supporter for supporting a DR filter resonator composed of a low loss dielectric of a dielectric resonator set used in a filter for a base station, the supporting part or the like is made of sintered alumina manufactured by Sumitomo Japan. To the nominal AES-11C (99.8%) and AKP-50 (99.99%) products, 0.02 wt%, 0.05 wt%, 0.1 wt%, 0.15 wt% of MgO, TiO ₂ and WO ₃ are added to sinter the composition, or The parts, such as the support for support, are manufactured by sintering alumina by adding 0.15 wt% TiO ₂ to the nominal AES-11C (99.8%) product manufactured by Sumitomo, Japan, and sintering at 1650 degrees Celsius, or the support The alumina for sintering is a nominal AKP-50 product manufactured by Sumitomo Co., Ltd., and is manufactured by sintering at 1600 degrees Celsius by adding 0.05 wt% of an additive as TiO ₂ .

DR, 필터, 서포트DR, filter, support

Description

디알필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법{Composition and method for manufacturing materials for support of DR}Composition and method for manufacturing materials for support filter for dial filter

도 1 은 본 발명의 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법의 실시예에 사용된 기성의 독일 고순도 분말의 주사현미경 사진.1 is a scanning micrograph of a ready-made German high purity powder used in the composition of the DR filter support material of the present invention and the preparation method thereof.

도 2 는 도 1 의 고순도분말의 재질특성도표.2 is a material property diagram of the high purity powder of FIG.

도 3 은 스미모토사의 고순도 분말과 독일 고순도 분말 특성을 각각 측정하여 도시하는 도표.FIG. 3 is a chart illustrating the measurement of characteristics of high purity powders and German high purity powders of Sumimoto Corporation, respectively. FIG.

도 4 는 스미모토사의 AES-11C와 AKP-50의 특성을 비교하여 도시하는 도표.4 is a diagram comparing and comparing the characteristics of AES-11C and AKP-50 of Sumimoto Corporation.

도 5 는 본 발명의 실시예에서의 Al₂O₃ 순도와 분말에 첨가되는 첨가제의 성분과 양에 붙여진 시험재료의 번호도표.Fig. 5 is a number chart of test materials attached to Al ₂ O ₃ purity and the components and amounts of additives added to powders in the Examples of the present invention.

도 6 은 본 발명의 실시예에서의 시험재료의 측정을 위한 가공처리를 도시하는 플로우차트.Fig. 6 is a flowchart showing processing for measuring the test material in the embodiment of the present invention.

도 7 은 본 발명의 실시예에서의 시험재료의 측정을 위한 회로망분석기의 예시적인 도면.7 is an exemplary diagram of a network analyzer for measuring test material in an embodiment of the present invention.

도 8 은 본 발명의 실시예에서의 AES-11C 에 MgO 를 첨가한 경우의 소결온도에 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도. 8 is a graph showing the change of the quality coefficient according to the sintering temperature when MgO is added to AES-11C in the embodiment of the present invention.

도 9 는 본 발명의 실시예에서의 AES-11C 에 WgO 를 첨가한 경우의 소결온도에 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도. 9 is a graph showing the change of the quality coefficient according to the sintering temperature when WgO is added to AES-11C in the embodiment of the present invention.

도 10 은 본 발명의 실시예에서의 AES-11C에 TiO₂ 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도.FIG. 10 is a graph showing changes in quality coefficient according to the amount of TiO ₂ added to the AES-11C and the sintering temperature in the embodiment of the present invention. FIG.

도 11 은 본 발명의 실시예에서의 AKP-50에 MgO 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도.FIG. 11 is a graph showing changes in quality coefficient according to the amount of MgO added to AKP-50 and the sintering temperature in the embodiment of the present invention. FIG.

도 12 는 본 발명의 실시예에서의 AKP-50에 WO₃ 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도.12 is a graph showing changes in quality factor according to WO ₃ addition amount and sintering temperature in AKP-50 in the embodiment of the present invention.

도 13 은 본 발명의 실시예에서의 AKP-50에 TiO₂첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도.FIG. 13 is a graph showing changes in quality factor according to the amount of TiO ₂ added to AKP-50 and the sintering temperature in the embodiment of the present invention. FIG.

도 14 는 본 발명의 실시예에서의 알루미나의 품질계수를 측정하는 방법을 설명하는 모식도.14 is a schematic diagram illustrating a method of measuring a quality coefficient of alumina in an embodiment of the present invention.

도 15 내지 18 은 본 발명의 실시예에서의 시료의 두께(mm)와 각각의 두꼐의 알루미나를 사용하는 경우의 품질계수를 도시하는 도표.15 to 18 are charts showing the thickness (mm) of the sample in the Examples of the present invention and the quality factor when using each alumina.

본 발명은 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 DR필터에 요구되는 각종의 서포트소재의 개발과 그 적용 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a composition of a DR filter support material and a method of manufacturing the same, and more particularly, to the development of various support materials required for a DR filter and its application technology.

최근 현대사회가 산업 기술 사회에서 고도 정보화 사회로 발전되어감에 따라 통신 정보량의 수요가 증대되고 있으며, 마이크로파에서의 유전체 세라믹스의 이용이 급증함에 따라 마이크로파 유전체 세라믹스의 이득에 대한 요구가 증대되고 있다. Recently, as the modern society is developed from the industrial technology society to the highly information society, the demand for communication information is increasing. As the use of dielectric ceramics in microwaves increases, the demand for the benefits of microwave dielectric ceramics is increasing.

마이크로파 유전체로 사용되어지기 위해서는 높은 유전상수(ε_r)와 낮은 유전손실(또는 높은 무부하 Q값(≒1/tanδ)), 그리고 안정된 공진주파수의 온도계수(τ_f)를 가져야 하며, 특히 기지국(중계기)용은 높은 주파수의 품질계수(Q·f)를 요구한다. To be used as a microwave dielectric, it must have a high dielectric constant (ε _r ), low dielectric loss (or high no-load Q value (≒ 1 / tanδ)), and a stable resonant frequency temperature coefficient (τ _f ). Repeater) requires a high frequency quality factor (Q · f).

반면, 유전율이 10 이하의 세라믹에 대한 수요도 꾸준히 증가되고 있으며 이들 저유전율 세라믹은 유전체 공진기의 서포터(support), 각종 고주파 회로의 기판으로 사용되고 있고 최근에는 적층구조가 가능한 저온 동시소결 세라믹 유전체가 개발되어 상용화되고 있다.On the other hand, the demand for ceramics with a dielectric constant of 10 or less is increasing steadily. These low dielectric constant ceramics are used as supporters for dielectric resonators and substrates of various high frequency circuits. Has been commercialized.

이동통신 초기에는 유전체 공진기용 서포트나 회로기판으로 테프론을 중심으로 한 고분자 재료가 사용되었지만, 점차 사용주파수가 높아지고 부품의 삽입손실이 중요해짐에 따라 이들에 비해 유전손실 값이 작고 온도 특성이 우수한 세라믹 유전체가 서포트나 기판으로 사용되고 있다.In the early stages of mobile communications, polymer materials centered on Teflon were used as the support for dielectric resonators or circuit boards, but as the frequency of use increased and the insertion loss of components became important, ceramics with lower dielectric loss values and excellent temperature characteristics were compared. Dielectrics are used as supports and substrates.

특히 최근에는 공진기 및 수동부품에 요구되는 삽입손실값이 매우 작아졌기 때문에 서포트나 기판의 손실 값을 제어하는 것이 중요해지고 있는 실정이다.In particular, in recent years, since insertion loss values required for resonators and passive components have become very small, it is important to control the loss values of the support and the substrate.

최근에 알루미나는 반도체의 기판이나, 전자회로의 기판으로 사용되고 있으며, 이동통신의 수요증가에 힘입어 유전체 공진기를 지지하는 서포트용 재료로 쓰이고 있으며, 가격이 저렴한 반면, 그 적용수량이 상당하다. Recently, alumina has been used as a substrate for semiconductors and electronic circuits, and has been used as a support material for supporting dielectric resonators due to an increase in demand for mobile communication.

기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트는 저 손실 유전체로 만들어진 공진기와 이를 받쳐주는 서포터로 구성되어 있다. The dielectric resonator set used in a filter for a base station is composed of a resonator made of a low loss dielectric and a supporter supporting the same.

본 발명에서는 알루미나 재질의 서포트용 원료 분말에 WO₃, TiO₂, MgO 등의 첨가제를 첨가하여 특성을 개선시키고, 부품업체가 요구하는 성능을 구현할 수 있는 적합한 첨가량을 결정하는 여러 인자에 대해서 규명함으로서 바람직한 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In the present invention, alumina support material powder for support WO ₃ , TiO ₂ , MgO The purpose of the present invention is to provide a composition of a DR filter support material and a method of manufacturing the same by adding various additives, such as additives, to improve properties and to determine various factors for determining the appropriate amount of additives that can achieve the performance required by component manufacturers. do.

이하의 부수된 도면과 함께 본 발명의 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법의 구성과 작동을 더욱 더 상세하게 설명한다.With reference to the accompanying drawings, the composition of the support material for the DR filter of the present invention and the configuration and operation of the manufacturing method thereof will be described in more detail.

우선, 알루미나의 물성적인 특징을 살펴본다.First, the physical characteristics of alumina are examined.

알루미나(Al₂O₃)는 분자량이 101.96 이고, 비중이 3.965이 며, 용융점이 2072℃인 백색의 분말로서 육방정 (a=4.758, c=12.991 Å)의 결정구조를 갖는다. Alumina (Al ₂ O ₃ ) is a white powder having a molecular weight of 101.96, a specific gravity of 3.965, and a melting point of 2072 ° C., and having a hexagonal crystal structure (a = 4.758, c = 12.991 kPa).

대부분의 알루미나는 보오크사이트(bauxite) 광물을 원료로 하여 Bayer 공정을 통하여 제조되어지며, 높은 내열성과 내화학성, 내식성, 고강도 등에 기인하여 내마모재, 스파크 플러그, 절연애자, 연마재, 내화물, 세라믹 타일, 유리, 절삭공 구, 생체재료, 필터, 열 교환기 부품, 내화물, 수지의 필러(resin filler), 섬유 등 광범위하게 사용되고 있다. Most of the alumina is manufactured through the Bayer process based on bauxite mineral, and due to its high heat resistance, chemical resistance, corrosion resistance and high strength, it is abrasion resistant, spark plug, insulator, abrasive, refractory, ceramic Tiles, glass, cutting tools, biomaterials, filters, heat exchanger components, refractory, resin fillers, fibers and the like are widely used.

알루미나는 전 세계적으로 년 간 4500만톤 정도 생산되고 있으며, 호주와 남미에서 주로 생산된다. 생산된 알루미나의 약 90%는 Al 금속을 만들기 위해 원료로 사용되며, 비금속용으로는 년 간 400만톤 정도가 사용되고 있고, 그 수요는 년 간 4% 정도씩 증가하고 있다.Alumina is produced around 45 million tons per year worldwide, mainly in Australia and South America. About 90% of the produced alumina is used as a raw material to make Al metals, and about 4 million tons are used annually for nonmetals, and the demand is increasing by 4% per year.

파인세라믹스 용으로 널리 사용되는 고순도 알루미나는 일반적으로 99.5% 이상의 순도를 가지며, 평균 입자크기가 1㎛ 이하인 미세한 분말로서, 소결이 비교적 잘되는 것이 특징이다. High purity alumina, widely used for fine ceramics, generally has a purity of 99.5% or more, and is a fine powder having an average particle size of 1 μm or less, and is characterized by relatively good sintering.

고순도 알루미나는 기계적 강도, 내열성, 내마모성, 내식성 등이 우수하기 때문에 세라믹스, 전기, 전자, 광학, 기계, 화학 등 여러 분야에서 첨단소재로 널리 사용되고 있다. 특히 첨단 산업의 발전에 따라 그 수요가 증가하고 있는 재료이다. High-purity alumina is widely used as a cutting-edge material in many fields such as ceramics, electrical, electronics, optics, machinery, and chemistry because of its excellent mechanical strength, heat resistance, abrasion resistance, and corrosion resistance. In particular, the demand is increasing with the development of high-tech industries.

그 중에서도 이동통신의 수요증가에 힘입어 유전체 공진기를 지지하는 서포터용 재료로 쓰이고 있다. 유전체 공진기의 전자기장 분포를 보면 전기장의 대부분은 유전체 공진기 내부에 한정되지만, 일부 전기장은 외부에 분포되기 때문에 서포트의 유전율 및 유전손실이 전체 공진기 세트의 공진 주파수와 손실 값에 영향을 준다. Among them, it is used as a supporter material for supporting dielectric resonators due to the increasing demand of mobile communication. The electromagnetic field distribution of the dielectric resonator shows that most of the electric field is limited to the inside of the dielectric resonator, but since some electric fields are distributed outside, the permittivity and dielectric loss of the support affect the resonance frequency and the loss value of the entire resonator set.

특히 유전체 공진기의 유전율 값이 작을수록 서포트의 영향이 증가된다. 기지국 필터에 사용되는 서포트 재료의 요구특성은 유전상수(relative permittivity) 가 1GHz 에서 9-10 정도의 값을 가지고, 열팽창계수가 0∼150℃ 에서 7∼9 ppm/℃, 열전도도가 30W/mK 이상 그리고 흡수율이 0.01 vol% 이하이어야 한다. In particular, the smaller the dielectric constant value of the dielectric resonator, the greater the influence of the support. The required characteristics of the support material used for the base station filter are the relative permittivity of 9-10 at 1GHz, the coefficient of thermal expansion of 7-9 ppm / ℃ at 0-150 ℃, and the thermal conductivity of 30W / mK. And the water absorption must be 0.01 vol% or less.

또한 스튜어트 펜(Stuart Penn:EEIE, South Bank University)에 따르면 고순도 알루미나(99.999%)의 품질계수는 9GHz 에서 42,000 의 값을 나타내었고, 100ppm의 Na 가 불순물로 첨가되었을 때 Q가 2,100, 500ppm의 K가 불순물로 첨가되었을 때 6,400 그리고 100ppm 의 Fe가 첨가되었을 때 4,500으로 감소된다고 보고하였다.In addition, according to Stuart Penn (EEIE, South Bank University), the quality factor of high purity alumina (99.999%) was 42,000 at 9 GHz, and when 100 ppm Na was added as impurity, Q was 2,100 and 500 ppm K. Was reported to decrease to 4,500 when 6,400 and 100 ppm of Fe were added as impurities.

그러나 0.1wt %의 TiO₂ 의 첨가로 Q 값이 60,000 으로 향상된다고 보고하였다. 알루미나에 TiO₂ 를 첨가하면 입성장이 잘 일어나는 것으로 알려져 있다. 또한 MgO가 과대입성장을 막는 것으로 알려져 있다. However, the addition of 0.1 wt% TiO ₂ reported a Q value improvement of 60,000. When TiO ₂ is added to alumina, grain growth is known to occur well. It is also known that MgO prevents excessive growth.

이러한 알루미나의 특성에 기초한 본 발명의 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법을 이하에서 설명한다.The composition of the DR filter support material of the present invention and its manufacturing method based on the characteristics of the alumina will be described below.

[실시예]EXAMPLE

(1)시제품 정성정량분석(1) qualitative analysis of prototypes

우선, 독일 고순도 분말(현재제품 생산에 사용되는 기성 조립분말)을 사용하여 생산된 제품의 일부를 SEM, EPMA 통한 분석을 하여 본다.First, a part of the product produced using the German high-purity powder (the ready-made granulated powder used in the present product production) is analyzed by SEM and EPMA.

입도 분석 결과, 본 제품의 median 직경은 0.68㎛ modal dia. 0.68㎛, 95% dia. 4.26㎛ 5% dia. 0.20㎛ 이며 도 1 에 그 표면 미세사진이 주사현미경사진으로 도시되어 있다. 도 2 는 이러한 독일제품의 고순도분말의 재질특성도표이다.As a result of particle size analysis, the median diameter of this product was 0.68㎛ modal dia. 0.68 μm, 95% dia. 4.26 μm 5% dia. 0.20 μm and in Fig. 1 the surface micrographs are shown by scanning micrographs. 2 is a material characteristic chart of high purity powder of such German products.

또한, 일본 스미토모사의 AKP-50 제품( >99.99% ++ TiO₂, WO₃, MgO ),In addition, AKP-50 from Sumitomo, Japan (> 99.99% ++ TiO ₂ , WO ₃ , MgO),

일본 스미토모사 AES-11C 제품 (99.8% : + TiO₂, WO₃, MgO )을 역시 정량분석하였다.The Japanese Sumitomo AES-11C product (99.8%: + TiO ₂ , WO ₃ , MgO) was also quantitatively analyzed.

도 3 은 위 스미모토사의 고순도 분말과 독일 고순도 분말 특성을 각각 측정하여 도시하는 도표이고 도 4 는 스미모토사의 AES-11C와 AKP-50의 특성을 비교하여 도시하는 도표이다.3 is a diagram showing the characteristics of the high-purity powder and the German high-purity powder of Sumitomo, respectively, and FIG. 4 is a diagram showing the characteristics of AES-11C and AKP-50 from Sumitomoto.

위의 각각의 분석대상의 제품분말에 대하여 본 실시예에서는, Al₂O₃ 에 MgO, TiO₂, WO₃를 각각 첨가하여 첨가량에 따른 마이크로파유전 특성 변화를 관찰하였다. For the product powder of each of the above analysis target, in this example, MgO, TiO ₂ and WO ₃ were added to Al ₂ O ₃ to observe changes in microwave dielectric properties according to the amount of addition.

문헌상에 따르면 고순도 알루미나(99.999%)의 품질계수는 9GHz에서 42,000의 값을 나타내었고, 0.1wt % 의 TiO₂ 의 첨가로 Q 값이 60,000 으로 향상된다고 보고된 바 있다. TiO₂ 는 알루미나의 입성장을 촉진시키는 불순물로써 첨가량을 변화시켜가며 유전 물성의 변화를 관찰하였다.According to the literature, the quality coefficient of high purity alumina (99.999%) showed a value of 42,000 at 9 GHz, and it was reported that the Q value improved to 60,000 by addition of 0.1 wt% TiO ₂ . TiO ₂ was an impurity that promotes grain growth of alumina and observed changes in dielectric properties by varying the added amount.

또한, MgO는 알루미나의 과대입성장을 막는 불순물로써 알루미나의 미세구조를 균일하게 제어하는 불순물로 알려져 있다. 본 실시예에서는 MgO를 단독으로 첨가하거나 TiO₂ 와 동시에 첨가하여 그 영향을 관찰하였다. In addition, MgO is an impurity that prevents over-growth of alumina and is known as an impurity that uniformly controls the microstructure of alumina. In this example, the effect was observed by adding MgO alone or simultaneously with TiO ₂ .

또한, 유전물성 개선을 위하여 첨가될 수 있는 것으로 알려진 WO₃ 를 첨가하여 영향을 관찰하였다.In addition, the effect was observed by the addition of WO ₃ which is known to be added for dielectric properties improvement.

(3) 실험방법(3) Experiment Method

Al₂O₃는 순도가 99.99% 이상급인 AKP-50 과 99.8% 급인 AES-11C(스미토모사제 품)를 이용하였다.Al ₂ O ₃ was used as AKP-50 having a purity of 99.99% or higher and AES-11C (manufactured by Sumitomo Co., Ltd.) having a grade of 99.8%.

(3-1) 첨가제의 첨가량(3-1) Addition amount of additive

Al₂O₃ + Additives ( 0.02, 0.05, 0.1, 0.15 wt%)Al ₂ O ₃ + Additives (0.02, 0.05, 0.1, 0.15 wt%)

각각의 Al₂O₃ 순도와 분말에 첨가되는 첨가제의 성분과 양에 따라서 도 5 와 같이 시험재료를 명명한다.Test materials are named as shown in FIG. 5 according to the Al ₂ O ₃ purity and the components and amounts of the additives added to the powder.

또한, AES-11C + MgO 0.02wt% 로 한 것을 EM 시리즈로 각각 시리얼번호를 붙였고, AES-11C + TiO₂ 0.02wt% 로 한 것을 ET 시리즈로 각각 시리얼번호를 붙였고, AES-11C + WO₃ 0.02wt% 로 한 것을 EW 시리즈로 각각 시리얼번호를 붙였다. 이 시리얼 번호는 시험자가 지정하여 부여한 것으로서 특별한 의미는 없다.The AES-11C + MgO 0.02wt% was serially assigned to the EM series, and the AES-11C + TiO ₂ 0.02wt% was serially assigned to the ET series, AES-11C + WO ₃ 0.02 Each wt% is serially labeled with the EW series. This serial number is assigned by the investigator and has no special meaning.

(3-2) 시험재료의 처리과정(3-2) Process of Test Material

상기의 각각의 고유번호의 시험재료를 시험측정하기 위하여 가공처리를 행한다.Processing is carried out to test and test the test materials of the respective unique numbers.

도 6 에서와 같이, Al₂O₃ 와 첨가제를 혼합하여 100 g 으로 만들고(100),As shown in Figure 6, Al ₂ O ₃ and the additives to make a 100 g (100),

20 시간 동안, 폴리에틸렌 용기내에서 지르코니아볼로서 볼밀링을 행한후(110),For 20 hours, after ball milling as zirconia balls in a polyethylene container (110),

건조오븐에서 약 12 시간 동안 120 도섭씨에서 건조하고(120),Dry at 120 degrees Celsius for about 12 hours in a drying oven (120),

이를 다시 폴리머스크린(#100)을 사용하여 그래뉼화하여(130)It is granulated again using a polymer screen (# 100) (130)

1 ton/cm² 의 압력으로 가압하여(140),Pressurized to a pressure of 1 ton / cm ² (140),

2시간동안 300 도섭씨, 1,550도섭씨, 1600도섭씨, 1650도섭씨로서 소결을 수행하고(150),Performing sintering at 300 degrees Celsius, 1,550 degrees Celsius, 1600 degrees Celsius, 1650 degrees Celsius for 2 hours (150),

이하의 측정을 행한다.(160) 구체적인 소결프로세스(150)는 도 7에 그래프도로서 도시되어 있다.The following measurements are made: 160. A specific sintering process 150 is shown in FIG.

(4) 시험재료의 측정 및 결과;(4) measurement and results of the test material;

품질계수를 측정하기 위해 회로망분석기(Network Analyze:HP-8720) 를 사용하여 호키콜맨법(Hokki-Coleman)(도15)으로 알루미나의 Q, f₀, K값을 측정하였으며, 이로부터 Q*f 값을 계산하여 여러 종류의 시편에 대해서 상대적인 값을 비교하였다. 회로망분석기는 다양한 종류의 것이 사용될 수있음은 물론이다.Q, f ₀ , and K values of alumina were measured by the Hoki-Coleman method (Fig. 15) using a network analyzer (HP-8720) to measure the quality factor. The values were calculated to compare the relative values for the different specimens. Of course, the network analyzer can be used in various kinds.

(1) 측정결과(1) Measurement result

도 8 은 AES-11C 에 MgO를 첨가한 경우의 소결온도에 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도이다. 도면에서 X 좌측좌표는 첨가되는 첨가제의 양을 도시하고 Y 좌표는 소결온도이다. 8 is a graph showing the change of the quality coefficient according to the sintering temperature when MgO is added to AES-11C. The X left coordinate in the figure shows the amount of additive added and the Y coordinate is the sintering temperature.

도 8 에서 보면 AES-11C에 MgO 를 0.02wt% 첨가하여 1600℃와 1650℃에서 소결한 것이 품질계수가 높게 나왔다. 그중 MgO가 0.02wt%첨가되어 1650℃에서 소결한 것이 품질계수가 약 77,000로 가장 높게 나왔음을 확인 할 수 있었다. 그리고 MgO 의 첨가량이 많아질수록 품질계수가 낮아지다가 조금 올라가는 것을 알 수 있었다. 또한, 1550℃에서 소결한 것은 MgO가 첨가될수록 품질계수가 낮아짐을 확인할 수 있었다.In Figure 8, M2O added 0.02wt% to AES-11C and sintered at 1600 ° C and 1650 ° C. Among them, MgO added 0.02wt% and sintered at 1650 ℃ showed the highest quality factor of about 77,000. As the amount of MgO added increased, the quality factor decreased and then slightly increased. In addition, the sintered at 1550 ℃ was confirmed that the quality factor is lower as MgO is added.

도 9 는 본 발명의 실시예에서의 AES-11C 에 WgO 를 첨가한 경우의 소결온도에 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도이다.9 is a graph showing the change of the quality coefficient according to the sintering temperature when WgO is added to AES-11C in the embodiment of the present invention.

도 9 에서 보면 AES-11C 에 WO₃ 를 0.15wt% 첨가하여 1550℃ 에서 소결한 것이 품질계수 약 68,000 으로 가장 높게 나왔다. 그리고 1550℃ 에서 WO₃ 를 0.1wt% 첨가한 것과 0.15wt% 첨가하였을 때를 비교하면 품질계수가 갑자기 높아진 것을 확인 할 수 있다. 1550℃보다 높은 온도에서 소결한 것들은 품질계수의 변화를 크게 볼 수가 없었다. In FIG. 9, 0.15 wt% of WO ₃ was added to AES-11C and sintered at 1550 ° C. showed the highest quality factor of about 68,000. And when comparing the addition of 0.1wt% of WO ₃ and 0.15wt% at 1550 ℃ it can be seen that the quality coefficient suddenly increased. Those sintered at temperatures higher than 1550 ℃ did not show any significant change in the quality factor.

도 10 은 AES-11C 에 TiO₂ 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도로서,FIG. 10 is a graph showing the variation of the quality coefficient according to the amount of TiO ₂ added to the AES-11C and the sintering temperature.

도 10 에서 보면 AES-11C 에 TiO₂ 의 첨가량이 0.05wt% 까지는 1600℃와 1650℃ 에서는 조금 감소하거나 증가하는 것을 확인 할 수 있고, 0.05wt% 이상 첨가하였을 때는 점진적으로 증가함을 알 수가 있다. 10, it can be seen that the amount of TiO ₂ added to AES-11C decreases or increases slightly at 1600 ° C. and 1650 ° C. up to 0.05 wt%, and gradually increases when 0.05 wt% or more is added.

그리고 1550℃ 에서는 TiO₂ 첨가량이 0.02wt% 일 때 품질계수가 많이 감소하는 것을 볼 수가 있고 첨가물 량이 증가할수록 품질계수가 점차적으로 증가함을 확인 할 수 있다. AES-11C 에 TiO₂ 의 첨가량이 0.15wt% 일 때 1650℃에서 소결한 것이 품질 계수 약 96,000 으로 가장 높은 것을 확인 할 수 있다.At 1550 ° C., when the TiO ₂ addition amount was 0.02wt%, the quality factor decreased much, and as the additive amount increased, the quality factor gradually increased. When the amount of TiO ₂ added to AES-11C was 0.15 wt%, the sintered at 1650 ° C. showed the highest quality factor of about 96,000.

이상에서 보면, From the above,

AES-11C에 MgO, WO_3, TiO₂의 첨가량과 소결 온도에 따른 품질계수의 변화를 확인 할 수 있었다. 그 중에서 AES-11C에 TiO₂를 0.15wt% 첨가하여 1650℃에서 소결한 것이 품질계수가 약 96,000으로 가장 높은 것을 확인 할 수 있었다.The changes of the quality factor according to the amount of MgO, WO _{3 and} TiO ₂ added to the AES-11C and the sintering temperature were confirmed. Among them, 0.15wt% of TiO ₂ was added to AES-11C and sintered at 1650 ° C showed the highest quality factor of about 96,000.

도 11 은 AKP-50에 MgO 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도로서,11 is a graph showing the change of the MgO addition amount and the quality factor according to the sintering temperature in AKP-50,

도면에서 보면 AKP-50에 MgO를 0.02wt%첨가하여 1550℃, 1600℃, 1650℃에서 소결 하였을 때에 품질계수가 갑자기 나빠짐을 알 수가 있다. 그리고 첨가량이 점차적으로 증가할수록 아주 조금 증가하거나 감소함을 확인 할 수 있었다. 그중 1550℃에서 소결한 것이 순수 AKP-50의 품질계수가 140,000에서 0.02wt% 첨가하였을 때 약 12,000으로 가장 많이 감소하였음을 알 수가 있었다. From the figure, it can be seen that the quality factor suddenly worsens when MgO is added to AKP-50 by 0.02 wt% and sintered at 1550 ° C, 1600 ° C, and 1650 ° C. And as the amount gradually increased, it was confirmed that the increase or decrease slightly. Among them, sintered at 1550 ℃ showed that the highest quality factor of pure AKP-50 decreased to about 12,000 when 0.02wt% was added from 140,000.

도 12 는 AKP-50 에 WO₃ 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도로서, AKP-50 에 WO₃ 를 0.02wt% 첨가하여 1600℃에서 소결한 것이 품질계수 약 253,000 으로 가장 높게 나왔다. FIG. 12 is a graph showing the change of the quality coefficient according to the amount of WO ₃ added to AKP-50 and the sintering temperature. The highest sintered temperature at 1600 ° C. with 0.02 wt% of WO ₃ added to AKP-50 was obtained at the highest quality factor of about 253,000. Came out.

그리고 첨가량이 0.02wt% 이상일 때는 품질 계수가 감소하는 것을 확인할 수 있고, 0.1wt% 일 때와 0.15% 로 첨가량이 증가하였을 때 급격히 품질 계수가 감소함을 알 수가 있다. 1650℃ 에서 WO₃ 를 0.1wt% 첨가 할 때까지는 점차적으로 증가하는 것을 확인 할 수 있고, 0.1wt% 이후에는 급격히 품질계수가 감소하는 것을 확인할 수가 있다. And when the addition amount is more than 0.02wt% it can be seen that the quality factor is reduced, and when the addition amount is increased to 0.1wt% and 0.15% it can be seen that the quality factor rapidly decreases. It can be seen that gradually increasing until 0.1wt% of WO ₃ is added at 1650 ° C, and after 0.1wt%, the quality factor is rapidly decreased.

그리고 AKP-50에 WO₃를 첨가하여 1500℃로 소결한 것은 0.1wt%까지는 감소하 다가 그 이후에는 품질계수가 증가함을 확인 할 수 있었다. The addition of WO ₃ to AKP-50 and sintering at 1500 ° C. decreased up to 0.1 wt%, after which the quality factor increased.

도 13 은 AKP-50 에 TiO₂ 첨가량과 소결 온도 따른 품질계수의 변화를 도시하는 그래프도로서, AKP-50 에 TiO₂ 를 0.05wt% 첨가하여 1600℃에서 소결한 것은 그 전까지는 급격히 증가하다가 0.05wt% 이후에는 급격히 감소함을 볼 수가 있다.FIG. 13 is a graph showing TiO ₂ addition amount and quality coefficient according to sintering temperature in AKP-50. 0.05 wt% TiO ₂ was added to AKP-50 and sintered at 1600 ° C. After wt%, it can be seen that the decrease sharply.

그리고 1600℃에서 0.05wt% 일 때, 품질계수가 약 268,000 으로 가장 높았다. 그리고 1550℃와 1650℃ 에서는 첨가량이 0.02wt% 첨가한 것까지는 품질계수가 급격히 증가하다가 0.02wt% 이후 0.1wt% 까지는 아주 조금씩 품질계수가 증가함을 알 수 있고, 그 이후에는 첨가량이 많아질수록 품질계수가 감소함을 알 수 있다. 1500℃와 1650℃는 첨가량에 따른 품질계수의 변화가 거의 비슷하게 나타났다.And at 0.05wt% at 1600 ℃, the quality factor was the highest as about 268,000. At 1550 ° C and 1650 ° C, the quality factor increased rapidly until the addition amount was 0.02wt%, but the quality factor was increased little by little from 0.02wt% to 0.1wt%. It can be seen that the quality factor decreases. In 1500 ℃ and 1650 ℃, the change of quality factor was almost similar.

이상에서 보면, AKP-50에 MgO, WO_3, TiO₂의 첨가량과 소결 온도에 따른 품질계수의 변화를 확인 할 수 있었다. 그 중에서 AKP-50 에 TiO₂의 첨가량이 0.05wt% 첨가하여 1600℃에서 소결한 것이 품질계수 268,000 로 가장 높은 것을 확인 할 수 있었다.In view of the above, it was confirmed that the change of the quality coefficient according to the amount of MgO, WO _3, TiO ₂ added to the AKP-50 and the sintering temperature. Among them, the addition of 0.05 wt% of TiO ₂ to AKP-50 and sintering at 1600 ° C showed the highest quality factor of 268,000.

(2) 알루미나의 두께와 적층 순서에 따른 품질계수 측정;(2) measuring the quality factor according to the thickness and lamination order of alumina;

알루미나의 두께를 변화시키고 알루미나와 고축적의 공진기 소재인 BMT의 순서를 바꾸어가면서 품질계수를 측정하기 위해 테프론을 서포트로 사용하고 알루미나를 DR 로 하였을 때 알루미나의 TE_01δ 모우드의 공진 peak 은 약 19GHz 에서 관찰됨을 예상하였으나, 캐비티의 공진피크에 의해 상쇠되어 TE_01δ 모우드의 공진 피크 를 관찰 할 수 없었다. The resonant peak of alumina's TE _01δ mode is about 19 GHz when Teflon is used as a support and alumina is DR to change the thickness of alumina and to change the order of alumina and BMT, which is the material of high accumulation resonator. Although it was expected that the resonance peak of the cavity was _canceled by the resonance peak of the cavity, the resonance peak of the TE _01δ mode could not be observed.

그래서 알루미나를 서포트로 이용하여 BMT(품질계수 약 200,000)의 TE_01δ 모우드의 품질계수의 변화 관찰을 시도하였으나 서포트의 위치에 따른 품질계수의 오차와 BMT의 위치에 따른 품질계수 변화 오차가 상당하여, ]So, we tried to observe the change of quality coefficient of TE _01δ mode of BMT (quality factor about 200,000) using alumina as support, but the error of quality factor according to the position of support and the change of quality coefficient according to BMT position are considerable. ]

또 다른 방법으로 도 14 에서와 같이,Alternatively, as in FIG. 14,

테프론을 밑에 고정시키고 그 위에 테프론을 놓고 그 위에 다시 상부에 테프론을 놓은 다음 그 위에 알루미나를 BMT 위에 놓고 또 BMT를 알루미나 위에 놓고 품질계수가 어떻게 변화하는지를 관찰하였다. The Teflon was fixed on the bottom, the Teflon was placed on it, the Teflon was placed on top again, the alumina was placed on the BMT, the BMT was placed on the alumina, and the quality factor was observed.

알루미나를 올리지 않고 측정을 해 본 결과 150,000정도의 품질계수를 관찰할 수 있었다. 이렇게 측정된 값을 각 시료의 상대적인 값으로 비교하였다.As a result of measuring without raising alumina, the quality factor of about 150,000 was observed. The measured values were compared with the relative values of each sample.

도면에서 서포트로서의 테프론의 높이 = 1.55mm, 캐비티의 높이 = 16mm, 지름 = 26mm 로 하였다.In the figure, the height of Teflon as the support was 1.55 mm, the height of the cavity = 16 mm, and the diameter = 26 mm.

도 15 내지 18 에서는 시료의 두께(mm)와 각각의 두꼐의 알루미나를 사용하는 경우의 품질계수를 도시하는 도표이다.15 to 18 are charts showing the thickness (mm) of the sample and the quality factor in the case of using alumina of each thickness.

위의 각각의 도면의 표를 보면 알루미나 두께가 4.28mm일 때 AKP-50에서 알루미나가 위에 있을 때가 품질계수가 가장 높았고,In the table of each of the above figures, when the alumina thickness was 4.28mm, the highest coefficient of quality was found when the alumina was on the AKP-50.

BMT가 위에 있을 때는 두께가 5.23mm인 알루미나가 가장 높음을 알 수 있었다. 이것으로 알루미나를 DR 형태로 올렸을 때 품질계수가 저하가 일어남을 알 수가 있었다. When the BMT is above the alumina having a thickness of 5.23mm was the highest. This shows that the quality factor is lowered when alumina is raised in DR form.

AES-11C 는 알루미나가 위에 있을 경우 두께가 3.3mm 인 시편에서 가장 높고, BMT 가 위에 있을 때는 두께가 4.28mm 인 알루미나가 가장 높음을 알 수가 있다. 그리고 AKP-50 과는 다르게 AES-11C 는 알루미나를 DR 로 했을 때가 품질계수가 높아지는 것을 확인할 수가 있었다.The AES-11C is the highest on a 3.3mm thick specimen with alumina on top, and the highest alumina with a thickness of 4.28mm on top of BMT. And unlike AKP-50, AES-11C showed a higher quality factor when alumina was used as DR.

1650℃에서 소결한 ET15와 KT10의 표면 미세구조 사진을 보면, KT10은 Grain이 크고 기공이 적으며, 반면에 ET15는 Grain이 작고 기공이 많이 있음을 관찰 할 수 있었다.The surface microstructures of ET15 and KT10 sintered at 1650 ℃ showed that KT10 had large grain and few pores, while ET15 had small grain and many pores.

이상과 같은 실시예의 실험에서 하기와 같은 기술적인 구성의 요약과 결론이 도출된다.In the experiment of the above embodiment, the following summary and conclusions of the technical configuration are drawn.

참고 문헌 등을 통하여 일반적으로 알려진 바에 의하면 99.7%의 Al₂O₃를 사용하여 만든 서포트의 품질 계수 값은 80,000 정도이며 99.99% 경우 그 값이 150,000 로 나타난다.As is generally known from the literature, the quality factor value of the support made using 99.7% Al ₂ O ₃ is about 80,000, and the value of 99.99% is 150,000.

본 발명에서는 일본 스미토모사의 소결용 알루미나 분말에 여러 첨가제를 첨가하여 만든 서포트의 품질계수를 측정하여 기존에 상용화 되어있는 제품과 성능, 제조가격, 재료가격 등의 비교를 통해 적합한 제품성 개발과 상용화를 위한 실험을 수행한 것을 알 수 있고,In the present invention, by measuring the quality coefficient of the support made by adding various additives to the sintered alumina powder of Sumitomo, Japan, the development and commercialization of suitable products through comparison of existing commercial products and performance, manufacturing price, material price, etc. We've done an experiment for

먼저 현재 상용화 되어있는 성조파인세라믹스사의 조립분말(독일 고순도, 일성 고순도 조립분말)을 사용하여 1550 도 섭씨와 1600 도 섭씨에서 소결한 시편을 제조한 뒤 시편의 품질 계수를 측정하여 비교 대상으로 하였다. 일본 고순도 조립 분말을 사용한 시편의 경우 1550 도 섭씨와 1600 도 섭씨에서 소결한 시편의 품질 계수 값이 각각 약 304,000 과 369,000 로 나타났으며 독일 고순도 조립분말을 사용한 시편의 경우 품질 계수 값이 각각 약 198,000 과 282,000 로 측정되어 문헌에서 보이는 값보다 훨씬 높게 나타났다. First, sintered specimens prepared at 1550 degrees Celsius and 1600 degrees Celsius were prepared using the currently available commercialized harmonic ceramic powder (German high purity and Ilsung high purity granulated powder), and the quality coefficients of the specimens were measured and compared. In the case of specimens using Japanese high-purity granulated powder, the quality coefficients of the samples sintered at 1550 degrees Celsius and 1600 degrees Celsius were about 304,000 and 369,000 respectively. And 282,000, which is much higher than the value shown in the literature.

본 발명을 구현하기 위하여 값비싼 조립분말에 의존하는 상기의 서포트 재료를 대체하기 위해서 사용된 조성은,The composition used to replace the above support material, which relies on expensive assembly powder to implement the present invention,

일본 스미토모사의 소결용 알루미나[AES-11C(99.8%)와 AKP-50(99.99%)]에 MgO, TiO₂, WO₃를 0.02wt%, 0.05wt%, 0.1wt%, 0.15wt%를 첨가한 것이었으며,0.02wt%, 0.05wt%, 0.1wt%, 0.15wt% of MgO, TiO ₂ and WO ₃ were added to the sintering alumina [AES-11C (99.8%) and AKP-50 (99.99%)] of Sumitomo, Japan. Was,

공정 중 조립과정을 거치지 않고 시편을 제조하여 그 특성을 살펴보았다. 분말 처리과정 중 조립과정은 큰 비중을 차지하는 부분으로 많은 시간과 공정비용이 들어가 분말의 단가를 높이는 요인이 될 수 있다. In the process, the specimen was prepared without going through the assembly process and its characteristics were examined. The granulation process in powder processing is a big part, and it can be a factor to increase the unit cost of powder due to a lot of time and process cost.

AES-11C의 경우 분말의 단가가 매우 낮아 비용을 줄일 수 있을 것으로 기대되지만, 품질계수가 매우 낮아 서포트 재료로 상용화하기 힘든 재료로 알려졌으나, 본 개발 연구에서 TiO₂를 첨가하였을 경우에는 0.15wt%, 1650℃에서 가장 높은 품질 계수 값인 약 96,000을 보였으며, MgO를 첨가했을 때에는 0.02wt%, 1650℃에서 약 77,000의 품질계수 값을 보였다.In the case of AES-11C, the cost of powder is expected to be very low, but it is expected to reduce the cost, but it is known to be a material that is difficult to commercialize as a support material due to the very low quality factor. However, in the present study, 0.15wt% of TiO ₂ was added. , The highest quality factor value was about 96,000 at 1650 ℃ and 0.02wt% when MgO was added and about 77,000 at 1650 ℃.

AKP-50의 경우 첨가제가 TiO₂인 경우 0.05wt% 첨가하여 1600℃로 소결하였을 때 약 268,000으로 AES-11C(99.8%)와 AKP-50(99.99%) 중 최고 높은 품질 계수 값을 보였으며 WO₃계의 첨가제를 사용하였을 때 0.02wt%, 1600℃에서 품질계수 값이 약 253,000로 최고치를 보였다.In the case of AKP-50, when the additive was TiO ₂ , 0.05wt% was added, and when sintered at 1600 ° C, it showed the highest quality factor value of AES-11C (99.8%) and AKP-50 (99.99%). _When the additives of the _third system were used, the coefficient of quality was the highest at 0.02wt% and 1600 ° C, about 253,000.

따라서 AKP-50을 기지로 사용하여 첨가제를 넣은 경우, 분말을 조립화하지 않은 상태에서도 상용되는 제품들과 품질계수 값이 비슷한 제품을 생산할 수 있음을 발견하였으며 다른 첨가제를 이용하여 더 높은 계수 값을 얻을 수 있는 가능성을 발견하였다. 또한 실험에 이용된 조성 중 AES-11C의 경우에도 문헌에서 밝혀진 품질계수 보다 높은 값을 가지는 조성을 얻을 수 있었다. Therefore, when additives were added using AKP-50 as a base, it was found that even without powder granulation, products with similar quality coefficients can be produced without using powders. The possibility of obtaining was found. In addition, in the case of AES-11C, the composition having higher value than the quality factor found in the literature was obtained.

이상과 같은 본 발명의 DR필터용 서포트소재의 조성 및 그 제조방법은;The composition of the DR filter support material of the present invention as described above and a manufacturing method thereof;

성분 조성이 이미 고정되어있어 고가에 수입할 수밖에 없는 조립 분말의 사용을 지양하고, 저렴한 대체 원료 분말에 값싼 첨가제를 사용하여 여러 조성의 분말을 개발함으로서 생산원가의 저감과 수입에 따른 경비의 저감을 도모할 수 있다.Reducing the cost of production and reducing the cost of imports by avoiding the use of granulated powder, which has a fixed composition of ingredients, which can only be imported at a high price, and developing powders of various compositions using inexpensive additive raw materials. We can plan.

Claims (5)

기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트의 저 손실 유전체로 구성되는 DR필터공진기를 지지하기 위한 서포터 등의 지지부품을 제조함에 있어서,In manufacturing a support part such as a supporter for supporting a DR filter resonator composed of a low loss dielectric of a dielectric resonator set used for a base station filter or the like, 상기 지지부품의 소재는,The material of the support part, 물(H₂O) 0.1wt%, , L.O.I 0.1wt%, 산화철(Fe₂O₃) 0.01wt%, 산화규소(SiO₂) 0.06wt% 산화나트륨(Na₂O) 0.04wt% 산화마그네슘(MgO) 0.1wt%, 알루미나(Al₂O₃ ) 99.8wt%로 구성되는 일본 스미토모 사의 공칭 AES-11C(99.8%) 제품에,Water _{(H 2 O) 0.1wt%,} , LOI 0.1wt%, iron oxide _{(Fe 2 O 3) 0.01wt%} , silicon oxide (SiO ₂₎ 0.06wt% of sodium oxide (Na ₂ O) 0.04wt% of magnesium oxide (MgO ) To the nominal AES-11C (99.8%) product of Sumitomo Japan, consisting of 0.1 wt% and 99.8 wt% of alumina (Al ₂ O ₃ ), 산화마그네슘(MgO) 0.02wt%, 산화티탄(TiO₂) 0.05wt%, 산화텡스턴(WO₃) 0.15wt% 중, 하나를 선택 첨가하여 소결구성한 알루미나인 것을 특징으로 하는 DR필터용 서포트소재.A support material for a DR filter, characterized in that the alumina is sintered by selecting one of 0.02 wt% of magnesium oxide (MgO), 0.05 wt% of titanium oxide (TiO ₂ ), and 0.15 wt% of tungsten oxide (WO ₃ ). 기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트의 저 손실 유전체로 구성되는 DR필터공진기를 지지하기 위한 서포터 등의 지지부품을 제조함에 있어서,In manufacturing a support part such as a supporter for supporting a DR filter resonator composed of a low loss dielectric of a dielectric resonator set used for a base station filter or the like, 상기 지지부품의 소재는,The material of the support part, 물(H₂O) 0.1wt%, , L.O.I 0.1wt%, 산화철(Fe₂O₃) 0.01wt%, 산화규소(SiO₂) 0.06wt% 산화나트륨(Na₂O) 0.04wt% 산화마그네슘(MgO) 0.1wt%, 알루미나(Al₂O₃ ) 99.8wt%로 구성되는 일본 스미토모 사의 공칭 AES-11C(99.8%) 제품에,Water _{(H 2 O) 0.1wt%,} , LOI 0.1wt%, iron oxide _{(Fe 2 O 3) 0.01wt%} , silicon oxide (SiO ₂₎ 0.06wt% of sodium oxide (Na ₂ O) 0.04wt% of magnesium oxide (MgO ) To the nominal AES-11C (99.8%) product of Sumitomo Japan, consisting of 0.1 wt% and 99.8 wt% of alumina (Al ₂ O ₃ ), 산화마그네슘(MgO) 0.02wt% 첨가 1650 도 1650 섭씨에서의 소결, 산화티탄(TiO₂) 0.05wt% 첨가 1650 도 섭씨에서의 소결, 산화텡스턴(WO₃) 0.15wt% 첨가 1600 도 섭씨에서의 소결 중 하나의 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 DR필터용 서포트소재의 제조방법.Magnesium oxide (MgO) 0.02wt% added 1650 also sintered at 1650 ° C, titanium oxide (TiO ₂₎ 0.05wt% 1650 also sintered in Celsius addition, oxidation Teng stern (WO ₃₎ 0.15wt% was added at 1600 ° C Method for producing a support material for a DR filter, characterized in that produced by one of the methods of sintering. 기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트의 저 손실 유전체로 구성되는 DR필터공진기를 지지하기 위한 서포터 등의 지지부품을 제조함에 있어서,In manufacturing a support part such as a supporter for supporting a DR filter resonator composed of a low loss dielectric of a dielectric resonator set used for a base station filter or the like, 상기 지지부품의 소재는,The material of the support part, 철계성분 20 ppm 이하, 규소계성분 25 ppm 이하, 나트륨계성분 10 ppm 이하,20 ppm or less of iron-based components, 25 ppm or less of silicon-based components, 10 ppm or less of sodium-based components, 마그네슘계성분 10 ppm 이하, 구리계성분 10 ppm 이하, 알루미나(Al₂O₃ ) 99.99 wt%로 구성되는 일본 스미토모 사의 공칭 AKP-50(99.99%) 제품에,To a nominal AKP-50 (99.99%) product of Sumitomo Japan, consisting of 10 ppm or less of magnesium-based components, 10 ppm or less of copper-based components, and 99.99 wt% of alumina (Al ₂ O ₃ ), 산화마그네슘(MgO) 0.02wt%, 산화티탄(TiO₂) 0.05wt%, 산화텡스턴(WO₃) 0.15wt% 중, 하나를 선택 첨가하여 소결구성한 알루미나인 것을 특징으로 하는 DR필터용 서포트소재.A support material for a DR filter, characterized in that the alumina is sintered by selecting one of 0.02 wt% of magnesium oxide (MgO), 0.05 wt% of titanium oxide (TiO ₂ ), and 0.15 wt% of tungsten oxide (WO ₃ ). 기지국용 필터 등에 사용되는 유전체 공진기 세트의 저 손실 유전체로 구성되는 DR필터공진기를 지지하기 위한 서포터 등의 지지부품을 제조함에 있어서,In manufacturing a support part such as a supporter for supporting a DR filter resonator composed of a low loss dielectric of a dielectric resonator set used for a base station filter or the like, 상기 지지부품의 소재는,The material of the support part, 철계성분 20 ppm 이하, 규소계성분 25 ppm 이하, 나트륨계성분 10 ppm 이하,20 ppm or less of iron-based components, 25 ppm or less of silicon-based components, 10 ppm or less of sodium-based components, 마그네슘계성분 10 ppm 이하, 구리계성분 10 ppm 이하, 알루미나(Al₂O₃ ) 99.99 wt%로 구성되는 일본 스미토모 사의 공칭 AES-11C(99.8%) 제품에,To the nominal AES-11C (99.8%) product of Sumitomo Japan, consisting of 10 ppm or less of magnesium-based components, 10 ppm or less of copper-based components, and 99.99 wt% of alumina (Al ₂ O ₃ ), 산화마그네슘(MgO) 0.02wt% 첨가 1650 도 1650 섭씨에서의 소결, 산화티탄(TiO₂) 0.05wt% 첨가 1650 도 섭씨에서의 소결, 산화텡스턴(WO₃) 0.15wt% 첨가 1600 도 섭씨에서의 소결 중 하나의 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 DR필터용 서포트소재의 제조방법.Magnesium oxide (MgO) 0.02wt% added 1650 also sintered at 1650 ° C, titanium oxide (TiO ₂₎ 0.05wt% 1650 also sintered in Celsius addition, oxidation Teng stern (WO ₃₎ 0.15wt% was added at 1600 ° C Method for producing a support material for a DR filter, characterized in that produced by one of the methods of sintering. 삭제delete

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