KR100591692B1 - Dispensing head for paste dispenser - Google Patents

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KR100591692B1
KR100591692B1 KR1020050103103A KR20050103103A KR100591692B1 KR 100591692 B1 KR100591692 B1 KR 100591692B1 KR 1020050103103 A KR1020050103103 A KR 1020050103103A KR 20050103103 A KR20050103103 A KR 20050103103A KR 100591692 B1 KR100591692 B1 KR 100591692B1
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KR1020050103103A
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김윤회
조용주
손세호
김희근
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주식회사 탑 엔지니어링
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    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
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    • G02—OPTICS
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Abstract

본 발명은 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드에 관한 것으로, 본 발명의 디스펜스 헤드는, 헤드본체와; 상기 헤드본체에 탈착 가능하게 장착되며 내부에 페이스트가 수납된 시린지와; 상기 시린지와 연결되어 페이스트를 토출하는 노즐과; 상기 헤드본체에 하측으로 빔(beam)을 방출하도록 설치되며, 세로축(Y축) 및 가로축(X축)에 대해 소정 각도 경사진 방향으로 기판 상의 페이스트를 스캔하는 단면적 센서 및; 상기 단면적 센서로부터 전달되는 신호에 의해 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 계측하는 계측부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a dispense head of a paste applicator, wherein the dispense head of the present invention comprises a head body; A syringe detachably mounted to the head body and having a paste housed therein; A nozzle connected to the syringe to discharge the paste; A cross-sectional sensor installed at the head body to emit a beam downward and scanning a paste on a substrate in a direction inclined by a predetermined angle with respect to a vertical axis (Y axis) and a horizontal axis (X axis); And a measuring unit for measuring the cross-sectional area of the paste coated on the substrate by the signal transmitted from the cross-sectional area sensor.

이와 같은 본 발명에 따르면, 단면적 센서가 기판 면에 대해 비스듬한 각도로 스캔을 하면서 페이스트의 단면적을 측정하므로 기판의 세로방향(Y방향)을 따라 도포된 페이스트 뿐만 아니라 기판의 가로방향(X방향)을 따라 도포된 페이스트의 단면적도 정확하게 측정할 수 있다.According to the present invention, the cross-sectional area sensor measures the cross-sectional area of the paste while scanning at an oblique angle with respect to the substrate surface, so that not only the paste applied along the longitudinal direction (Y direction) of the substrate but also the horizontal direction (X direction) of the substrate Therefore, the cross-sectional area of the applied paste can also be measured accurately.

페이스트, 도포장치, 디스펜스 헤드, 단면적 센서, 스캔 Paste, Applicator, Dispensing Head, Cross Section Sensor, Scan

Description

페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드{Dispensing Head for Paste Dispenser}Dispensing Head for Paste Dispenser

도 1은 종래의 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도1 is a perspective view schematically showing the configuration of a dispense head of a conventional paste coating apparatus

도 2와 도3은 도 1의 디스펜스 헤드의 단면적 센서로 단면적을 측정하는 방법을 설명하는 도면2 and 3 illustrate a method of measuring a cross-sectional area with a cross-sectional area sensor of the dispense head of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜스 헤드가 적용되는 페이스트 도포장치를 나타낸 평면도Figure 4 is a plan view showing a paste coating device to which a dispense head is applied according to an embodiment of the present invention

도 5는 도 5의 디스펜스 헤드의 후방에서 본 사시도5 is a perspective view from behind of the dispense head of FIG.

도 7은 도 5의 디스펜스 헤드의 측면도7 is a side view of the dispense head of FIG. 5

도 8은 도 5의 디스펜스 헤드의 단면적 센서로 기판 상의 페이스트를 스캔하는 양태를 보여주는 다이어그램8 is a diagram showing an aspect of scanning paste on a substrate with a cross-sectional sensor of the dispense head of FIG.

도 9는 기판이 Y축에 대해 소정 각도 기울어진 상태에서 페이스트가 도포된 상태를 보여주는 다이어그램9 is a diagram showing a state in which a paste is applied while the substrate is inclined at a predetermined angle with respect to the Y axis.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

5 : 스테이지 10 : 디스펜스 헤드5: stage 10: dispense head

11 : 헤드블록 12 : 시린지블록11: head block 12: syringe block

13 : 시린지 14 : 노즐13: syringe 14: nozzle

15 : 센서블록 15a : 경사면15: sensor block 15a: slope

17 : 단면적 센서 G : 기판17: cross-sectional sensor G: substrate

P : 페이스트P: Paste

본 발명은 평판표시장치의 제조과정에서 기판 상에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시장치(LCD)와 같은 평판표시장치를 구성하는 유리기판 상에 액정 또는 실런트 등의 페이스트를 토출하고, 페이스트 토출 후 토출된 페이스트의 단면적을 측정할 수 있는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for applying a paste in a predetermined pattern on a substrate in a manufacturing process of a flat panel display. More particularly, the present invention relates to a liquid crystal or a liquid crystal display on a glass substrate constituting a flat panel display such as an LCD. A dispense head of a paste coating apparatus capable of discharging a paste such as a sealant and measuring a cross-sectional area of the discharged paste after discharging the paste.

주지하는 바와 같이, 평판표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display 패널)나 전계방출 표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.As is well known, a liquid crystal display (LCD), which is one of the flat panel display devices, has a better visibility than the cathode ray tube (CRT) and has a smaller average heat dissipation than a CRT having the same screen size. Along with (PDP: Plasma Display Panel) and FED (Field Emission Display), it has recently been in the spotlight as a next generation display device such as a monitor of a mobile phone, a computer, or a television.

이러한 액정표시장치(LCD)는 하나의 유리기판에 복수개의 픽셀 패턴을 형성하고 대향된 다른 하나의 유리기판에 칼라필터층을 형성한 다음, 이들 두 유리기판을 합착하고, 합착된 상기 두 유리기판과 내부 밀봉제에 의해 형성된 공간에 소정의 방법으로 액정이 주입되는 방식으로 제조된다.The liquid crystal display (LCD) forms a plurality of pixel patterns on one glass substrate and a color filter layer on the other glass substrate facing each other, and then the two glass substrates are bonded together, and the two glass substrates are bonded to each other. It is produced in such a way that the liquid crystal is injected in a predetermined manner into the space formed by the inner sealant.

상술한 액정표시장치의 제조과정에서 유리기판에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 작업은 페이스트 도포장치에 의해 이루어진다.In the manufacturing process of the above-described liquid crystal display device, the paste is applied to the glass substrate in a predetermined pattern by the paste coating device.

일반적인 페이스트 도포장치는 기판이 장착되는 스테이지와, 상기 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착된 디스펜스 헤드와, 상기 디스펜스 헤드가 장착되는 칼럼(column), 그리고 상기 칼럼과 디스펜스 헤드의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다. 그리고, 디스펜스 헤드에는 페이스트를 담고 있는 시린지(syringe)가 설치되고, 상기 시린지는 노즐과 연결된다. A general paste coating apparatus includes a stage on which a substrate is mounted, a dispense head on which a nozzle for discharging paste is mounted, a column on which the dispense head is mounted, and a control unit controlling movement of the column and the dispense head. It is configured to include. In addition, a syringe containing a paste is installed in the dispensing head, and the syringe is connected to the nozzle.

이러한 페이스트 도포장치는 기판과 노즐의 상대위치 관계를 변화시켜 가면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 즉, 페이스트가 토출될 때, 기판은 일정 방향으로 이동되고, 상기 디스펜스 헤드는 상기 칼럼에 장착된 상태에서 상기 기판의 이동방향과 직각을 이루면서 이동된다. Such a paste coating device forms a paste pattern having a predetermined shape on the substrate while changing the relative positional relationship between the substrate and the nozzle. That is, when the paste is discharged, the substrate is moved in a predetermined direction, and the dispensing head is moved at right angles to the moving direction of the substrate while being mounted on the column.

그런데, 종래의 페이스트 도포장치는 상기 디스펜스 헤드에 시린지를 탈부착하는 작업이 복잡하고 어려워 시린지 교체에 시간이 많이 소요되는 문제가 있다. 이를 첨부된 도면의 도 1과 도 2를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.By the way, the conventional paste coating apparatus has a problem that it takes a long time to replace the syringe because the operation of detaching and attaching the syringe to the dispense head is complicated and difficult. This will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2 of the accompanying drawings.

도 1과 도 2에 도시된 것과 같이, 종래의 디스펜스 헤드(100)는 페이스트 도포장치의 칼럼(미도시)에 설치되는 선형운동장치(미도시)에 장착되는 메인블록(102)과, 페이스트가 수납된 시린지(105)가 탈착 가능하게 장착되는 헤드블록(104)과, 상기 헤드블록(104)을 전방으로 소정거리만큼 수평 왕복 이동시키는 수평 이동부(3)와, 상기 헤드블록(104)의 하단부에 장착되는 노즐(미도시)을 포함하여 구성된다. 1 and 2, the conventional dispensing head 100 includes a main block 102 mounted on a linear motion device (not shown) installed in a column (not shown) of a paste applicator and paste. A head block 104 to which the stored syringe 105 is detachably mounted, a horizontal moving part 3 for horizontally reciprocating the head block 104 forward by a predetermined distance, and the head block 104 of the head block 104. It is configured to include a nozzle (not shown) mounted on the lower end.

상기 수평 이동부(103)는 도면에 도시되지 않은 선형운동장치, 예컨대 서보모터와 이에 연결된 모터축 등으로 구성되어, 헤드블록(104)을 전방으로 소정거리만큼 수평 이동시키면서 기판에 대해 노즐(미도시)의 전,후방향 위치를 설정하는 역할을 한다. The horizontal moving unit 103 is composed of a linear motion device, such as a servo motor and a motor shaft connected thereto, not shown in the drawing, and moves the head block 104 forwardly by a predetermined distance to the nozzle (not shown). It plays the role of setting the forward and backward position of si).

상기 메인블록(102)의 상부에는 상기 수평 이동부(103)를 상하로 이동시킴으로써 노즐의 상하 방향 위치를 조정하는 Z축 모터(107)가 설치된다. 참조부호 108은 기판을 스테이지(미도시)에 안착한 후, 노즐과 기판과의 간격을 정확히 맞추기 위하여 노즐의 높이를 미세하게 조정할 수 있는 미세조정용 Z축모터이다. 물론, 상기 미세조정용 Z축모터를 구성하지 않고 상기 Z축 모터(107)만을 이용하여 노즐의 Z방향 위치를 정확하게 조정할 수도 있다. The Z-axis motor 107 is installed above the main block 102 to adjust the vertical position of the nozzle by moving the horizontal moving part 103 up and down. Reference numeral 108 denotes a Z-axis motor for fine adjustment in which the height of the nozzle can be finely adjusted in order to precisely match the gap between the nozzle and the substrate after mounting the substrate on a stage (not shown). Of course, the position of the nozzle in the Z direction may be accurately adjusted using only the Z-axis motor 107 without configuring the fine-adjusting Z-axis motor.

노즐의 측방향 위치 조정은 상기 칼럼(미도시)에 대한 메인블록(102)의 측방 이동에 의해 이루어진다. Lateral positioning of the nozzle is achieved by lateral movement of the main block 102 relative to the column (not shown).

그리고, 상기 헤드블록(104)의 일측에는 페이스트 패턴의 도포시 노즐과 기판 사이의 상대거리를 측정하는 거리센서(109a)와, 페이스트 패턴이 형성된 후 단면적을 측정하는 단면적 센서(109b)가 설치된다.In addition, one side of the head block 104 is provided with a distance sensor 109a for measuring the relative distance between the nozzle and the substrate when the paste pattern is applied, and a cross-sectional area sensor 109b for measuring the cross-sectional area after the paste pattern is formed. .

도 2와 도 3에 도시된 것과 같이, 상기 단면적 센서(109b)의 내부에는 렌즈(109c)가 일정 각도씩 일방향으로 왕복 회전하도록 설치되어 있다. 상기 단면적 센서(109b)는 상기 렌즈(109c)를 통해 기판(G) 쪽으로 레이저빔(laser beam)을 연속적으로 방출하여 기판(G) 상의 페이스트(P)를 스캔하고 단면적을 측정한다.As illustrated in FIGS. 2 and 3, the lens 109c is installed inside the cross-sectional sensor 109b to reciprocate in one direction by a predetermined angle. The cross-sectional sensor 109b continuously emits a laser beam toward the substrate G through the lens 109c to scan the paste P on the substrate G and measure the cross-sectional area.

그런데, 상기와 같은 종래의 디스펜스 헤드(100)는 상기 단면적 센서(109b) 가 좌우방향(X축 방향)으로만 스캔하여(도 2와 도 3의 화살표 방향) 페이스트의 단면적을 측정하기 때문에, 기판의 전후방향(Y방향)으로 도포된 페이스트의 단면적을 측정할 수 없는 문제가 있다.However, in the conventional dispensing head 100 as described above, since the cross-sectional area sensor 109b scans only in the left-right direction (X-axis direction) (the arrow direction in FIGS. 2 and 3), the cross-sectional area of the paste is measured. There is a problem that the cross-sectional area of the paste applied in the front-rear direction (Y direction) of cannot be measured.

따라서, 기판의 X방향으로 도포된 페이스트에 대해서는 도포가 균일하게 이루어졌는지 측정이 불가능하여 불량이 발생할 가능성이 높았다. Therefore, it was impossible to measure whether the coating was uniformly applied to the paste applied in the X direction of the substrate, and the defect was likely to occur.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 모든 방향에서 정확하게 측정할 수 있는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드를 제공함에 있다.The present invention is to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a dispense head of the paste coating apparatus that can accurately measure the cross-sectional area of the paste applied on the substrate in all directions.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 헤드본체와; 상기 헤드본체에 장착되어 페이스트를 토출하는 페이스트 토출유닛과; 상기 헤드본체에 하측으로 빔(beam)을 방출하도록 설치되며, 세로축(Y축) 및 가로축(X축)에 대해 소정 각도 경사진 방향으로 기판 상의 페이스트를 스캔하는 단면적 센서 및; 상기 단면적 센서로부터 전달되는 신호에 의해 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 계측하는 계측부를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드를 제공한다.The present invention to achieve the above object, the head body; A paste ejection unit mounted on the head body to eject paste; A cross-sectional sensor installed at the head body to emit a beam downward and scanning a paste on a substrate in a direction inclined by a predetermined angle with respect to a vertical axis (Y axis) and a horizontal axis (X axis); Provided is a dispense head of a paste coating device comprising a measurement unit for measuring the cross-sectional area of the paste applied on the substrate by the signal transmitted from the cross-sectional area sensor.

본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 헤드본체와; 상기 헤드본체에 탈착 가능하게 장착되며 내부에 페이스트가 수납된 시린지와; 상기 시린지와 연결되어 페이스트를 토출하는 노즐과; 상기 헤드본체에 하측으로 빔(beam)을 방출하도록 설치되며, 세로축(Y축) 및 가로축(X축)에 대해 소정 각도 경사진 방향으로 기판 상의 페 이스트를 스캔하는 단면적 센서 및; 상기 단면적 센서로부터 전달되는 신호에 의해 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 계측하는 계측부를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드가 제공된다.According to another aspect of the invention, the head body; A syringe detachably mounted to the head body and having a paste housed therein; A nozzle connected to the syringe to discharge the paste; A cross-sectional sensor installed at the head body to emit a beam downward, and scanning a paste on the substrate in a direction inclined by a predetermined angle with respect to a vertical axis (Y axis) and a horizontal axis (X axis); There is provided a dispense head of a paste coating device comprising a measuring unit for measuring the cross-sectional area of a paste applied on a substrate by a signal transmitted from the cross-sectional area sensor.

이러한 본 발명에 따르면, 단면적 센서가 기판 면에 대해 비스듬한 각도로 스캔을 하면서 페이스트의 단면적을 측정하므로 기판의 세로방향(Y방향)을 따라 도포된 페이스트 뿐만 아니라 기판의 가로방향(X방향)을 따라 도포된 페이스트의 단면적도 용이하게 측정할 수 있다.According to the present invention, since the cross-sectional area sensor measures the cross-sectional area of the paste while scanning at an oblique angle with respect to the substrate surface, not only the paste applied along the longitudinal direction (Y direction) of the substrate, but also along the horizontal direction (X direction) of the substrate. The cross-sectional area of the applied paste can also be easily measured.

이하, 본 발명에 따른 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the dispensing head of the paste coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 이해를 돕기 위해 도 4를 참조하여 페이스트 도포장치의 구성에 대해 설명한다.First, the configuration of the paste coating apparatus will be described with reference to FIG. 4 for better understanding.

도 4에 도시된 것과 같이, 페이스트 도포장치는 본체(1)와, 기판이 놓여지는 스테이지(5)와, 기판 상에 페이스트를 토출하는 디스펜스 헤드(10)와, 상기 디스펜스 헤드(10)가 좌우방향(X축방향)으로 이동 가능하게 설치되는 2개의 칼럼(3) 및, 페이스트 도포장치의 작동을 제어하는 제어부(미도시)로 구성된다. As shown in FIG. 4, the paste coating apparatus includes a main body 1, a stage 5 on which a substrate is placed, a dispensing head 10 for discharging paste on a substrate, and the dispensing head 10. It consists of two columns 3 installed so as to be movable in the direction (X-axis direction), and a control part (not shown) for controlling the operation of the paste application device.

상기 스테이지(5)는 본체(1)에 전후방향(Y축방향)으로 이동 가능하게 설치된다. 상기 스테이지(5)를 Y축방향의 임의의 위치로 이동시키기 위한 수단으로는 리니어모터(4a), 또는 볼스크류 및 서보모터 등으로 이루어진 선형 운동 시스템(미도시)과, 스테이지의 이동을 안내하는 엘엠가이드(4b)(LM Guide)가 이용될 수 있다.The stage 5 is installed in the main body 1 so as to be movable in the front-rear direction (Y-axis direction). As a means for moving the stage 5 to an arbitrary position in the Y-axis direction, a linear motion system (not shown) consisting of a linear motor 4a, a ball screw, a servo motor, and the like, and guides the movement of the stage. An LM Guide 4b may be used.

도면에 도시되지 않았으나, 상기 스테이지(5)에는 다수의 홀이 형성되고, 이 홀을 통해 흡입력이 발생하여 기판(G)(도 9참조)이 스테이지에 진공압에 의해 흡착될 수 있도록 되어 있다.Although not shown in the figure, a plurality of holes are formed in the stage 5, and suction force is generated through the holes so that the substrate G (see FIG. 9) can be adsorbed by the vacuum pressure on the stage.

상기 칼럼(3)은 본체(1) 상에 전후방향(Y축방향)으로 이동 가능하게 설치된다. 상기 칼럼(3)은 겐트리 형태로 이루어지며, 본체(1)의 양측에 설치된 Y축블록(2)에 설치되는 한 쌍의 리니어모터와 엘엠가이드(2b)에 의해 Y축방향으로 이동한다. 상기 리니어모터는 상기 Y축블록(2)에 Y축 방향으로 연장되도록 형성된 고정자(2a)와, 상기 칼럼(3)의 양측 하단부에 장착되는 가동자(미도시)로 이루어진다. The column 3 is provided on the main body 1 so as to be movable in the front-rear direction (Y-axis direction). The column 3 has a gantry shape and is moved in the Y-axis direction by a pair of linear motors and LM guides 2b installed on the Y-axis blocks 2 provided on both sides of the main body 1. The linear motor includes a stator (2a) formed to extend in the Y-axis direction on the Y-axis block (2), and a mover (not shown) mounted on both lower ends of the column (3).

상기 디스펜스 헤드(10)는 각 칼럼(3)의 일면에 설치된 리니어모터와 같은 선형 운동 시스템에 의해 엘엠가이드(3a)를 따라 X축방향으로 이동하도록 구성된다. 참조부호 3a는 상기 리니어모터를 구성하는 고정자이다. 상기 리니어모터의 고정자와 반응하는 가동자(미도시)는 각 디스펜스 헤드(10)의 배면에 장착된다.The dispensing head 10 is configured to move in the X-axis direction along the LM guide 3a by a linear motion system such as a linear motor installed on one surface of each column 3. Reference numeral 3a denotes a stator constituting the linear motor. A mover (not shown) that reacts with the stator of the linear motor is mounted to the back of each dispense head 10.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 디스펜스 헤드(10)는 페이스트가 수납된 시린지(13)가 탈착 가능하게 장착되는 헤드블록(11)과, 상기 헤드블록(11)의 전면부에 상하로 일정 거리 이동 가능하게 설치되는 시린지블록(12)과, 상기 시린지블록(12)에 탈착 가능하게 고정되는 시린지(13)와, 상기 헤드블록(11)의 하단부에 시린지(13)와 연결되도록 장착되는 노즐(14)을 포함하여 구성된다. 5 to 7, the dispensing head 10 is fixed to the head block 11 on which the syringe 13 containing paste is detachably mounted, and the front and rear portions of the head block 11. Syringe block 12 is installed to be movable in a distance, the syringe 13 is detachably fixed to the syringe block 12, and the nozzle is mounted to be connected to the syringe 13 in the lower end of the head block 11 14, including.

상기 시린지블록(12)은 헤드블록(11)의 상측에 장착되는 Z축서보모터(16)의 모터축에 연결되어 상하로 원하는 거리만큼 이동하며 노즐(14)의 Z축방향 위치를 조정한다. The syringe block 12 is connected to the motor shaft of the Z-axis servo motor 16 mounted on the upper side of the head block 11 to move up and down by a desired distance to adjust the position of the nozzle 14 in the Z-axis direction.

상기 헤드블록(11)은 도면에 도시되지 않은 선형운동장치, 예컨대 서보모터 와 이에 연결된 모터축 등으로 구성된 수평이동부에 의해 기판에 대해 Y축방향으로 일정 거리 이동하도록 구성되어, 기판에 대한 노즐(14)의 전후방향 위치 조정이 가능하도록 구성됨이 바람직하다. The head block 11 is configured to move a predetermined distance in the Y-axis direction with respect to the substrate by a horizontal moving unit composed of a linear motion device, for example, a servo motor and a motor shaft connected thereto, not shown in the drawing, and thus a nozzle to the substrate. It is preferable that it is comprised so that the forward-backward position adjustment of (14) is possible.

상기 헤드블록(11)의 후면부에는 일정 각도로 경사진 경사면(15a)을 갖는 센서블록(15)이 고정된다. 상기 센서블록(15)은 헤드블록(11)과 개별체로 되어 체결수단에 의해 헤드블록(11)에 고정될 수 있으나, 이와 다르게 헤드블록(11)과 일체로 성형될 수도 있다. The sensor block 15 having the inclined surface 15a inclined at a predetermined angle is fixed to the rear portion of the head block 11. The sensor block 15 may be fixed to the head block 11 by being fastened to the head block 11 separately from each other. Alternatively, the sensor block 15 may be integrally formed with the head block 11.

상기 센서블록(15)의 경사면(15a)에는 기판(G)에 도포된 페이스트의 단면적을 측정하기 위한 단면적 센서(17)가 장착된다. 따라서, 상기 단면적 센서(17)는 헤드블록(11)에 일정 각도(θ0)로 경사진 상태로 장착된다. 전술한 것과 같이, 상기 단면적 센서(17)는 내부에 일방향으로 왕복 회전하도록 설치된 렌즈(미도시)를 통해 기판(G) 쪽으로 레이저빔(laser beam)을 연속적으로 방출하여 기판(G) 상의 페이스트(P)를 스캔하고 단면적을 측정한다. The inclined surface 15a of the sensor block 15 is mounted with a cross-sectional area sensor 17 for measuring the cross-sectional area of the paste applied to the substrate G. Therefore, the cross-sectional area sensor 17 is mounted to the head block 11 in an inclined state at an angle θ 0 . As described above, the cross-sectional area sensor 17 continuously emits a laser beam toward the substrate G through a lens (not shown) installed to reciprocate in one direction therein, so that the paste on the substrate G ( Scan P) and measure the cross-sectional area.

그리고, 상기 단면적 센서(17)는 페이스트 도포장치의 전체 작동을 제어하는 제어장치(미도시)와 유선 또는 무선 통신을 통해 신호를 주고 받는다. 상기 제어장치는 상기 단면적 센서(17)를 통해 입수된 신호를 분석하여 페이스트의 단면적을 계측한다. In addition, the cross-sectional sensor 17 transmits and receives a signal through a wired or wireless communication with a control device (not shown) that controls the overall operation of the paste coating device. The control device analyzes a signal obtained through the cross-sectional area sensor 17 to measure the cross-sectional area of the paste.

한편, 상기 단면적 센서(17)는 헤드블록(11)에 경사진 상태로 장착되므로, 기판(G)의 가로축 및 세로축에 대해 소정 각도(θ0)로 경사진 방향으로 스캔을 하게 된다. On the other hand, since the cross-sectional area sensor 17 is mounted in the inclined state on the head block 11, the cross-sectional area sensor 17 is scanned in a direction inclined at a predetermined angle (θ 0 ) with respect to the horizontal axis and the vertical axis of the substrate (G).

따라서, 도 8에 도시된 것과 같이, 상기 단면적 센서(17)가 스캔하는 페이스트의 영역은 X방향으로 도포된 페이스트 및 Y방향으로 도포된 페이스트 모두에서 대략 평행사변형이 된다. 따라서, 실제 페이스트의 단면적은 다음 수학식1과 같이 산출된다.Thus, as shown in Fig. 8, the area of the paste scanned by the cross-sectional area sensor 17 becomes approximately parallelogram in both the paste applied in the X direction and the paste applied in the Y direction. Therefore, the actual cross-sectional area of the paste is calculated as in the following equation.

X방향 단면적 = A0 × cos(θ0-θ1)Cross section in X direction = A 0 × cos (θ 0 -θ 1 )

Y방향 단면적 = A0 × sin(θ0-θ1)Cross section in Y direction = A 0 × sin (θ 0 -θ 1 )

상기 수학식 1에서 A0 는 단면적 센서(17)에 의해 실측된 값이며, θ0 은 세로축(Y축)에 대해 단면적 센서가 기울어진 각을 나타내고, θ1 은 Y축에 대해 기판이 기울어진 각을 나타낸다.In Equation 1, A 0 is a value measured by the cross-sectional sensor 17, θ 0 represents an angle at which the cross-sectional sensor is inclined with respect to the vertical axis (Y axis), and θ 1 is an inclination of the substrate with respect to the Y axis. Represents an angle.

도 9에 도시된 것과 같이, 상기 기판(G)은 스테이지(5) 상에 안착될 때, Y축에 대해 어느 정도 기울어진 상태로 안착될 수 있다. 이 경우, 기판(G)에 도포되는 페이스트(P)는 정확하게 Y축 방향 및 X축 방향으로 도포되지 않고, 기판(G)이 기울어진 각도만큼 각 축에 대해 편향되어 도포된다. 즉, Y축방향으로 도포되는 페이스트는 실제로는 Y축에서 θ1 만큼 기울어진 각도로 도포되며, X축 방향으로 도포되는 페이스트 역시 실제로는 X축에서 θ1 만큼 기울어진 각도로 도포된다.As shown in FIG. 9, when the substrate G is seated on the stage 5, the substrate G may be seated in an inclined state with respect to the Y axis. In this case, the paste P applied to the substrate G is not exactly applied in the Y-axis direction and the X-axis direction, but is applied by being biased with respect to each axis by the angle at which the substrate G is inclined. That is, the paste applied in the Y-axis direction is actually applied at an angle inclined by θ 1 in the Y axis, and the paste applied in the X-axis direction is actually applied at an angle inclined by θ 1 in the X axis.

따라서, 기판(G) 상에 도포된 페이스트(P)의 실제 단면적은 상기 기판(G)이 기울어진 각도를 고려하여 산출되어야 하므로, 페이스트의 단면적은 전술한 수학식1과 같이 단면적 센서(17)의 경사각(θ0 )에서 기판(G)의 경사각(θ1)을 뺀 각의 삼각함수로 표현되는 것이다.Therefore, since the actual cross-sectional area of the paste P applied on the substrate G should be calculated in consideration of the inclination angle of the substrate G, the cross-sectional area of the paste is the cross-sectional area sensor 17 as shown in Equation 1 above. It is expressed as the trigonometric function of the angle obtained by subtracting the inclination angle θ 1 of the substrate G from the inclination angle θ 0 .

상기와 같이 구성된 페이스트 도포장치의 작동에 대해 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the paste coating device configured as described above in more detail as follows.

외부에서 반송로봇(미도시)이 본체(1)의 좌측 또는 우측에서 X축방향으로 본체(1) 내측에 유리기판(미도시)을 투입할 준비를 하면, 리니어모터의 작동에 의해 각 칼럼(3)들이 서로 멀어지는 방향으로 이동하여, 각 칼럼(3)이 유리기판의 투입시 간섭되지 않는 위치로 이동한다.When a transport robot (not shown) prepares to insert a glass substrate (not shown) into the body 1 in the X-axis direction from the left or right side of the body 1 from the outside, each column ( 3) move in a direction away from each other, each column (3) is moved to a position that does not interfere when the glass substrate is added.

유리기판이 스테이지(5) 상에 안착되면, 스테이지(5)에 형성된 복수개의 홀(미도시)을 통해 진공압이 발생하면서 유리기판이 스테이지(5) 상에 흡착되어 고정된다.When the glass substrate is seated on the stage 5, a vacuum pressure is generated through a plurality of holes (not shown) formed in the stage 5, and the glass substrate is sucked onto the stage 5 and fixed.

이어서, 각 칼럼(3)이 Y방향으로 이동하고, 디스펜스 헤드(6)가 페이스트를 도포할 수 있는 위치에 정렬된다. 이 후, 칼럼(3)은 정위치를 유지한 상태에서 상기 스테이지(5)와 디스펜스 헤드(6)가 상대 이동하면서 기판 상에 페이스트의 도포 작업이 수행된다. Then, each column 3 moves in the Y direction, and the dispensing head 6 is aligned at a position where the paste can be applied. Subsequently, the stage 3 and the dispensing head 6 are moved relative to each other while the column 3 is held in a fixed position, whereby the paste is applied to the substrate.

기판 상에 페이스트를 도포하는 작업이 완료되면, 스테이지(5) 및 디스펜스 헤드(10)가 상대 이동 하면서 단면적 센서(17)로 페이스트의 단면적을 측정하게 된다.When the operation of applying the paste on the substrate is completed, the stage 5 and the dispensing head 10 are moved relative to each other to measure the cross-sectional area of the paste by the cross-sectional area sensor 17.

이 때, 전술한 것과 같이, 단면적 센서(17)는 Y축에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 페이스트를 스캔하고, 검출된 신호를 제어장치(미도시)로 전송한다. At this time, as described above, the cross-sectional area sensor 17 scans the paste in a direction inclined at a predetermined angle with respect to the Y axis, and transmits the detected signal to a control device (not shown).

제어장치는 상기 단면적 센서(17)에 의해 수신된 신호에 의해 페이스트의 단면적을 계측한다. The control device measures the cross-sectional area of the paste by the signal received by the cross-sectional area sensor 17.

이와 같이, 본 발명에 의하면 단면적 센서(17)가 Y축 및 X축에 대해 소정 각도로 경사진 방향으로 페이스트의 도포 영역을 스캔하고, 단면적을 계측하므로, 기판 상에 Y축 방향으로 도포된 페이스트 뿐만 아니라 X축 방향으로 도포된 페이스트에 대해서도 단면적의 측정이 가능하다. As described above, according to the present invention, since the cross-sectional area sensor 17 scans the application area of the paste in the direction inclined at a predetermined angle with respect to the Y-axis and the X-axis, and measures the cross-sectional area, the paste applied in the Y-axis direction on the substrate. In addition, the cross-sectional area can be measured with respect to the paste coated in the X-axis direction.

또한, 기판이 페이스트 도포장치의 본체 상에 소정 각도로 기울어져 투입되는 경우에도 모든 방향의 페이스트에 대해서 단면적을 정확하게 측정할 수 있다. Further, even when the substrate is inclined at a predetermined angle on the main body of the paste coating apparatus, the cross-sectional area can be accurately measured for the paste in all directions.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 Y방향으로 도포된 페이스트와 X방향으로 도포된 페이스트 모두에 대해서 단면적을 정확하게 측정할 수 있다. 따라서, 페이스트 도포 작업의 정확성이 향상되는 이점을 얻을 수 있다. As described above, according to the present invention, the cross-sectional area can be accurately measured for both the paste applied in the Y direction and the paste applied in the X direction of the substrate. Thus, the advantage of improving the accuracy of the paste coating operation can be obtained.

또한, 기판이 페이스트 도포장치의 본체에 소정 각도로 기울어져 투입되는 경우에도 모든 방향의 페이스트에 대해서 단면적을 정확하게 측정할 수 있다. In addition, even when the substrate is inclined at a predetermined angle to the main body of the paste coating apparatus, the cross-sectional area can be accurately measured for the paste in all directions.

Claims (6)

헤드본체와;A head body; 상기 헤드본체에 장착되어 페이스트를 토출하는 페이스트 토출유닛과;A paste ejection unit mounted on the head body to eject paste; 상기 헤드본체에 하측으로 빔(beam)을 방출하도록 설치되며, 세로축(Y축) 및 가로축(X축)에 대해 소정 각도 경사진 방향으로 기판 상의 페이스트를 스캔하는 단면적 센서 및;A cross-sectional sensor installed at the head body to emit a beam downward and scanning a paste on a substrate in a direction inclined by a predetermined angle with respect to a vertical axis (Y axis) and a horizontal axis (X axis); 상기 단면적 센서로부터 전달되는 신호에 의해 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 계측하는 계측부를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of the paste coating apparatus comprising a measuring unit for measuring the cross-sectional area of the paste applied on the substrate by the signal transmitted from the cross-sectional area sensor. 제 1항에 있어서, 상기 헤드본체에 고정되며, 상기 단면적 센서가 경사지게 장착되는 경사면을 구비한 센서블록을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of a paste coating apparatus according to claim 1, further comprising a sensor block fixed to the head main body, the sensor block having an inclined surface on which the cross-sectional sensor is mounted inclined. 제 1항에 있어서, 상기 단면적 센서는 내부에 일정 각도씩 왕복 회전하는 렌즈를 구비하며, 상기 렌즈를 통해 레이저빔을 방출하는 레이저센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of a paste coating apparatus according to claim 1, wherein the cross-sectional area sensor is a laser sensor having a lens reciprocally rotated by a predetermined angle therein and emitting a laser beam through the lens. 헤드본체와;A head body; 상기 헤드본체에 탈착 가능하게 장착되며 내부에 페이스트가 수납된 시린지 와;A syringe detachably mounted to the head body and having paste housed therein; 상기 시린지와 연결되어 페이스트를 토출하는 노즐과;A nozzle connected to the syringe to discharge the paste; 상기 헤드본체에 하측으로 빔(beam)을 방출하도록 설치되며, 세로축(Y축) 및 가로축(X축)에 대해 소정 각도 경사진 방향으로 기판 상의 페이스트를 스캔하는 단면적 센서 및;A cross-sectional sensor installed at the head body to emit a beam downward and scanning a paste on a substrate in a direction inclined by a predetermined angle with respect to a vertical axis (Y axis) and a horizontal axis (X axis); 상기 단면적 센서로부터 전달되는 신호에 의해 기판 상에 도포된 페이스트의 단면적을 계측하는 계측부를 포함하여 구성된 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of the paste coating apparatus comprising a measuring unit for measuring the cross-sectional area of the paste applied on the substrate by the signal transmitted from the cross-sectional area sensor. 제 4항에 있어서, 상기 헤드본체에 고정되며, 상기 단면적 센서가 경사지게 장착되는 경사면을 구비한 센서블록을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of a paste coating apparatus according to claim 4, further comprising a sensor block fixed to the head main body, the sensor block having an inclined surface on which the cross-sectional sensor is mounted inclined. 제 1항에 있어서, 상기 단면적 센서는 내부에 일정 각도씩 왕복 회전하는 렌즈를 구비하며, 상기 렌즈를 통해 레이저빔을 방출하는 레이저센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드.The dispensing head of a paste coating apparatus according to claim 1, wherein the cross-sectional area sensor is a laser sensor having a lens reciprocally rotated by a predetermined angle therein and emitting a laser beam through the lens.
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