KR100583056B1 - Apparatus for heating deposition source material - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 EL 소자의 유기 박막을 형성하는 증착물질을 가열하는 장치에 관한 것으로, 특히 증착 물질을 수용하는 가열 용기를 보다 효율적이면서도 균일하게 가열하여 가열 용기의 상, 하부간의 온도 보상을 가능하게 하는 증착물질 가열장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for heating a deposition material for forming an organic thin film of an organic EL element. In particular, the heating container containing the deposition material is heated more efficiently and uniformly to enable temperature compensation between the upper and lower portions of the heating container. It relates to a deposition material heating apparatus.

본 발명의 증착물질 가열장치는 유기물을 수용하는 가열 용기와; 상기 가열 용기의 내부에 수직방향으로 길게 형성되고, 상기 가열 용기와는 차폐된 내부공간을 갖는 내부 가열실과; 상기 내부 가열실의 내부공간에 배치되는 내부 가열선을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The vapor deposition material heating apparatus of the present invention includes a heating vessel for containing an organic material; An internal heating chamber formed vertically in the heating container and having an internal space shielded from the heating container; And an inner heating line disposed in the inner space of the inner heating chamber.

유기 EL, 증착물질, 가열 장치Organic EL, evaporation material, heating equipment

Description

증착물질 가열장치{APPARATUS FOR HEATING DEPOSITION SOURCE MATERIAL}Evaporation material heating device {APPARATUS FOR HEATING DEPOSITION SOURCE MATERIAL}

도 1은 유기 EL 디스플레이의 개략적인 구성을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a schematic configuration of an organic EL display.

도 2는 종래 유기 EL 증착 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a conventional organic EL deposition apparatus.

도 3은 본 발명인 증착물질 가열장치의 사시도이다.Figure 3 is a perspective view of the deposition material heating apparatus of the present invention.

도 4는 본 발명인 증착물질 가열장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the deposition material heating apparatus of the present invention.

도 5는 본 발명의 구성요소인 내부 가열선의 개략도이다.5 is a schematic diagram of an internal heating line that is a component of the present invention.

도 6은 본 발명의 구성요소인 외부 가열선의 개략도이다.6 is a schematic diagram of an external heating line that is a component of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 글래스 기판 2 : 양극층1: glass substrate 2: anode layer

3 : 정공 수송층 4 : 유기 발광층3: hole transport layer 4: organic light emitting layer

5 : 전자 수송층 6 : 음극층5 electron transport layer 6 cathode layer

7 : 직류전원 10 : 가열 용기7: DC power supply 10: heating vessel

11 : 가열 용기의 절곡부 20 : 내부 가열실 11: bend of the heating vessel 20: internal heating chamber

30 : 내부 가열선 31 : 봉30: internal heating wire 31: rod

40 : 보호 커버 50 : 외부 가열선40: protective cover 50: external heating wire

60 : 유기물 60: organic matter

본 발명은 유기 EL 소자의 유기 박막을 형성하는 증착물질을 가열하는 장치에 관한 것으로, 특히 증착 물질을 수용하는 가열 용기를 보다 효율적이면서도 균일하게 가열하여 가열 용기의 상, 하부간의 온도 보상을 가능하게 하는 증착물질 가열장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for heating a deposition material for forming an organic thin film of an organic EL element. In particular, the heating container containing the deposition material is heated more efficiently and uniformly to enable temperature compensation between the upper and lower portions of the heating container. It relates to a deposition material heating apparatus.

유기 EL(Electro Luminescence, 이하 "EL"이라 함) 디스플레이는 현재 평판 디스플레이(Flat Panel Display)의 주류가 되어 있는 액정 디스플레이(LCD)에 비하여 여러 가지 우위성을 구비하고 있어 장래에 상기 액정 디스플레이를 대체할 수 있는 것이 예상되는 차세대 평판 디스플레이로서 주목을 받고 있다.Organic EL (Electro Luminescence) displays have several advantages over liquid crystal displays (LCDs), which are currently the mainstream of flat panel displays, and will replace the liquid crystal displays in the future. It is attracting attention as a next-generation flat panel display that is expected to be.

즉, 상기 EL 소자는 자발 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트(Contrast)가 우수할 뿐만 아니라, 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시소자로서 주목받고 있다.That is, the EL element is a spontaneous light emitting display element, and has attracted attention as a next-generation display element because of its advantages of having a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed.

EL 소자는 발광층(Emitter Layer) 형성용 물질에 따라 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 구분된다. 상기 유기 EL 소자는 상기 무기 EL 소자에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.EL devices are classified into inorganic EL devices and organic EL devices according to materials for forming an emitter layer. The organic EL device has an advantage of excellent luminance, driving voltage, and response speed, and multicoloring, compared with the inorganic EL device.

도 1은 일반적인 유기 EL 디스플레이의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a schematic configuration of a general organic EL display.

도 1에 도시된 바와 같이, 유기 EL 디스플레이는 투명한 글래스(Glass) 기판(1)을 구비하고 있고, 이 글래스 기판(1) 상에 복수의 양극층(2)이 ITO 등의 투명한 도전성 재료에 의하여 각각 소정의 간격을 두고 스트라이프(Stripe) 모양으로 설치되어 있다. 상기 각 양극층(2) 상에는 직류전압을 인가함으로써 정공을 공급하는 정공수송층(3)과 미량의 유기색소를 도우펀트(Dopant)로서 포함하는 유기발광층(4)과 직류전압을 인가함으로써 전자를 공급하는 전자수송층(5)이 순차적으로 상기 글래스 기판(1) 상에 적층되어 있다. As shown in Fig. 1, the organic EL display has a transparent glass substrate 1, on which the plurality of anode layers 2 are made of a transparent conductive material such as ITO. Each is provided in a stripe shape at predetermined intervals. On each anode layer 2, electrons are supplied by applying a direct current voltage by applying a direct current voltage and applying a direct current voltage to a hole transport layer 3 for supplying holes and an organic light emitting layer 4 including a small amount of organic dye as a dopant. The electron transport layer 5 is sequentially stacked on the glass substrate 1.

상기 적층된 층에서 최상층에 해당하는 전자수송층(5) 상에는 도전성 재료로 이루어지는 복수의 음극층(6)이 각각 소정의 간격을 두고 상기 각각의 양극층(2)이 연장되는 방향과는 직교하되, 스트라이프(Stripe) 모양으로 설치되어 있다. 한편, 상기 글래스 기판(1) 상의 각각의 양극층(2)은 각각 직류전원(7)의 양극에 접속되어 있고 또한 최상층에 해당하는 각각의 음극층(6)은 각각 직류전원(7)의 음극에 접속되어 있다.On the electron transport layer 5 corresponding to the uppermost layer in the laminated layer, a plurality of cathode layers 6 made of a conductive material are orthogonal to the direction in which the respective anode layers 2 extend at predetermined intervals. It is installed in a stripe shape. On the other hand, each anode layer 2 on the glass substrate 1 is connected to the anode of the DC power supply 7, respectively, and each cathode layer 6 corresponding to the uppermost layer is the cathode of the DC power supply 7, respectively. Is connected to.

상기와 같은 구성을 가지는 유기 EL 디스플레이에 있어서의 각각의 양극층(2)과 음극층(6)의 사이에 직류전원(7)에 의하여 직류전압을 인가하면, 직류전압이 인가된 양극층(2) 상에 적층된 정공수송층(3)으로부터 정공이 유기발광층(4) 내로 주입되고 또한 직류전압이 인가된 음극층(6)의 하층의 전자수송층(5)으로부터 전자가 유기발광층(4) 내로 주입된다.When a DC voltage is applied by the DC power supply 7 between each anode layer 2 and the cathode layer 6 in the organic EL display having the above structure, the anode layer 2 to which the DC voltage is applied is applied. Holes are injected into the organic light emitting layer 4 from the hole transport layer 3 stacked on the substrate, and electrons are injected into the organic light emitting layer 4 from the electron transport layer 5 below the cathode layer 6 to which the DC voltage is applied. do.

상기 정공수송층(3)으로부터의 정공 및 전자수송층(5)으로부터의 전자가 각각 주입된 유기발광층(4) 내에서는, 각 정공과 전자가 재결합하면서 에너지가 발생한다. 그러면 상기 에너지가 유기발광층(4)에 포함된 유기색소에 흡수되면서 빛이 발산된다. 상기 유기발광층(4)에서 발생하는 빛은 정공수송층(3)과 양극층(2)과 글래스 기판(1)을 순차적으로 투과하여 글래스 기판(1)의 하측으로 출사된다.In the organic light emitting layer 4 in which the holes from the hole transport layer 3 and the electrons from the electron transport layer 5 are respectively injected, energy is generated while the holes and the electrons recombine. Then, the energy is absorbed by the organic dye contained in the organic light emitting layer 4, the light is emitted. The light generated from the organic light emitting layer 4 is sequentially transmitted through the hole transport layer 3, the anode layer 2, and the glass substrate 1, and is emitted to the lower side of the glass substrate 1.

상기와 같은 동작을 수행하는 유기 EL 디스플레이를 구성하는 수개의 층 중에 정공수송층(3)과 유기발광층(4)과 전자수송층(5)은 유기 화합물로 이루어진 유기 박막들이다.The hole transport layer 3, the organic light emitting layer 4, and the electron transport layer 5 among the several layers constituting the organic EL display performing the above operation are organic thin films made of organic compounds.

상기의 유기 박막들은 설정 압력으로 조절되는 진공챔버 내에서 형성된다. 이에 대하여 첨부된 도 2를 참조하여 설명한다.The organic thin films are formed in a vacuum chamber controlled at a set pressure. This will be described with reference to FIG. 2.

도 2는 종래 기술의 유기 EL 증착 장치를 보여주는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing an organic EL deposition apparatus of the prior art.

도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 유기 EL 증착 장치는, 유기 박막 형성을 수행하는 공간인 챔버(100)와 상기 챔버의 상부에 배치되고 유기물이 증착되는 기판(110)과 상기 기판에 형성되는 박막 두께를 측정하는 센서(120)와 기화되는 유기물의 개폐를 제어하는 셔터(130)와 유기물이 담긴 용기(140)와 상기 용기(140)를 가열하는 발열선(150)을 구비하여 이루어져 있다. As shown in FIG. 2, the conventional organic EL deposition apparatus includes a chamber 100 which is a space for performing an organic thin film formation, a substrate 110 disposed on the chamber, and an organic material deposited thereon, and formed on the substrate. It comprises a sensor 120 for measuring the thickness of the thin film, a shutter 130 for controlling the opening and closing of the vaporized organic material, a container 140 containing the organic material and a heating line 150 for heating the container 140.

상기와 같은 구성에 의하여, 발열선(150)이 교류전원(미도시)에 의하여 가열됨에 따라 열이 발생하고, 이 발생된 열에 의하여 상기 용기(140) 및 용기(140) 내부의 유기물이 가열된다. 그러면, 상기 용기(140)에 담긴 유기물이 기화 또는 승화하면서 상부의 기판(110)에 유기물이 증착된다. 한편, 상기 증착 과정에서 상기 기화 또는 승화되는 유기물의 개폐를 제어하기 위하여 셔터(130)를 이용할 수 있고, 상기 유기물이 증착되는 기판(110)의 박막 두께를 측정하기 위하여 센서(120)가 동작한다.By the above-described configuration, heat is generated as the heating wire 150 is heated by an AC power source (not shown), and the organic material inside the container 140 and the container 140 is heated by the generated heat. Then, the organic material is deposited on the upper substrate 110 while the organic material contained in the container 140 is vaporized or sublimed. Meanwhile, the shutter 130 may be used to control the opening and closing of the vaporized or sublimed organic material in the deposition process, and the sensor 120 operates to measure the thin film thickness of the substrate 110 on which the organic material is deposited. .

즉, 진공챔버(100)의 상부측에는 기판(110)을 위치시키고, 하부측에는 소량의 유기물이 담겨 있는 용기(140)와 용기(140) 내의 유기물을 가열 승화시키기 위한 발열선(150)을 포함하는 가열장치를 상기 기판(110)과 대향 설치한 구조에서, 상기 발열선(150)이 용기(140)를 가열하고 용기(140)에 담겨 있는 유기물이 승화되어 기판(110)에 유기 박막을 형성시킨다.In other words, the substrate 110 is positioned on the upper side of the vacuum chamber 100, and the lower side includes a container 140 containing a small amount of organic material and a heating line 150 for heating and subliming the organic material in the container 140. In a structure in which the device is disposed opposite the substrate 110, the heating line 150 heats the container 140 and the organic material contained in the container 140 is sublimed to form an organic thin film on the substrate 110.

이와 같이 상기 유기물을 가열함으로써 기화 또는 승화시켜 바로 기판(110)에 유기물을 증착할 수 있는 것은, 상기 유기 EL 소자에 사용되는 유기물이 승화성이 높고 200도 내지 400도의 낮은 온도에서 기화하기 때문에 가능하다.As such, the organic material can be directly deposited on the substrate 110 by vaporizing or subliming by heating the organic material, because the organic material used in the organic EL device is highly sublimable and vaporizes at a low temperature of 200 to 400 degrees. Do.

한편, 종래에는 상기 유기 EL 디스플레이 제조를 위한 증착물질을 가열하기 위해서 용기의 특정점을 집중 가열하는 포인트(Point) 가열장치와, 가열 용기를 선형으로 가열하는 리니어(Linear) 가열장치 그리고 노즐(Nozzle)을 통해 무화된 입자를 증착하는 노즐 가열장치 등이 사용되어 왔다.Meanwhile, in the related art, a point heater for intensively heating a specific point of a container to heat the deposition material for manufacturing the organic EL display, a linear heater for linearly heating the heating container, and a nozzle Nozzle heaters for depositing atomized particles through < RTI ID = 0.0 >

그런데, 상기와 같이 종래에 사용되는 가열장치에 의하면, 가열용기의 국부를 가열하는 구조로 이루어짐으로써 용기 내의 온도차가 발생하는 문제점이 있다. 특히, 용기 내의 상하부의 온도 편차(상부의 온도가 하부의 온도보다 더 낮음)가 심하여 가열 용기의 입구가 막히거나 유기물이 변질되는 문제점이 발생하고, 또한 유기물 소스가 튀어서 유기 EL 소자의 증착이 불량하거나 손상되는 문제점이 발생한다.By the way, according to the heating apparatus conventionally used as described above, there is a problem that the temperature difference in the container is generated by having a structure for heating the local portion of the heating vessel. In particular, the temperature deviation of the upper and lower parts (the upper temperature is lower than the lower temperature) in the container is severe, which causes a problem that the inlet of the heating container is clogged or the organic matter is deteriorated. Problems occur.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 가열 용기의 내부와 외부에서 동시에 유기물을 가열하는 한편, 가열선의 구조를 개선하여 가열 용기를 보다 효율적이면서도 균일하게 가열함으로써 증착 성능을 향상시킬 수 있는 증착물질 가열장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention was devised to solve the above problems of the prior art, while simultaneously heating the organic material inside and outside the heating vessel, while improving the structure of the heating wire to more efficiently and uniformly heat the heating vessel deposition performance It is an object of the present invention to provide a vapor deposition material heating apparatus that can improve the efficiency.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 증착물질 가열 장치를 이루는 구성수단은, 유기물을 수용하는 가열 용기와; 상기 가열 용기의 내부에 수직방향으로 길게 형성되고, 상기 가열 용기와는 차폐된 내부공간을 갖는 내부 가열실과; 상기 가열 용기의 외주부를 감싸도록 설치되는 보호 커버와, 상기 가열 용기의 외주부와 상기 보호 커버 사이에 설치되는 다수개의 외부 가열선을 포함하는 외부 가열 수단과; 상기 내부 가열실의 내부공간에 배치되는 내부 가열선을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to solve the technical problem as described above, the constituent means of the present invention, the vapor deposition material heating device is a heating container for accommodating an organic material; An internal heating chamber formed vertically in the heating container and having an internal space shielded from the heating container; External heating means including a protective cover installed to surround the outer circumferential portion of the heating vessel, and a plurality of external heating wires disposed between the outer circumferential portion of the heating vessel and the protective cover; And an inner heating line disposed in the inner space of the inner heating chamber.

또한, 상기 내부 가열선은, 상기 내부 가열실 내부에 수직방향으로 형성되는 봉에 감겨서 설치되되, 상단부의 권회수에 가중치를 두어 감겨지고, 상기 내부 가열실은, 상기 가열 용기와 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the inner heating wire is wound around the rod formed in the vertical direction inside the inner heating chamber, is installed by weighting the number of turns of the upper end, the inner heating chamber is formed integrally with the heating vessel It is characterized by.

또한, 상기 가열 용기는, 상부가 직각으로 절곡 형성되고, 상기 보호 커버는, 상기 가열 용기의 바닥보다 하방으로 더 길게 형성되되, 그 하단부에 수개의 구멍이 형성되며, 그 상단부가 상기 가열 용기의 절곡부와 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the heating vessel, the upper portion is formed to be bent at a right angle, the protective cover is formed longer than the bottom of the heating vessel, the lower end of the several holes are formed, the upper end of the heating vessel Characterized in that coupled to the bent portion.

또한, 상기 외부 가열선은, 상기 가열 용기 바닥보다 하방으로 더 길게 형성되어 설치되고, 그 상단부가 가열 용기의 절곡부에 접촉되도록 배치되고, 판 부재에 고정 설치되되, 그 상단부가 수회 절곡되는 것을 특징으로 한다.In addition, the external heating wire is formed to be formed longer than the bottom of the heating vessel, the upper end is disposed so as to contact the bent portion of the heating vessel, is fixed to the plate member, the upper end is bent several times It features.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단들로 이루어져 있는 본 발명인 증착물질 가열장치에 관한 작용 및 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the operation and preferred embodiment of the present invention, the deposition material heating apparatus consisting of the above-described means.

도 3은 본 발명인 증착물질 가열장치를 보여주는 사시도이고, 도 4는 증착물질 가열장치의 단면도이다.Figure 3 is a perspective view showing a deposition material heating apparatus of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view of the deposition material heating apparatus.

도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 증착물질 가열장치는 유기물을 수용할 수 있는 가열 용기(10)와 상기 가열 용기(10)를 내부에서 가열할 수 있는 내부 가열실(20)과 상기 내부 가열실 내부에 설치되는 내부 가열선(30)으로 이루어져 가열 용기(10) 안에 수용되는 유기물(60)을 가열한다. 한편, 상기 가열 용기(10)를 효과적으로 가열하기 위하여 상기 가열 용기(10)의 외주부에 보호 커버(40)와 외부 가열선(50)을 포함하여 이루어져 있는 외부 가열 수단을 더 포함한다.As shown in FIGS. 3 and 4, the deposition material heating apparatus includes a heating container 10 capable of accommodating organic materials, an internal heating chamber 20 capable of heating the heating container 10 therein, and the interior thereof. It consists of an internal heating line 30 installed inside the heating chamber to heat the organic material 60 contained in the heating vessel 10. On the other hand, in order to effectively heat the heating container 10 further includes an external heating means including a protective cover 40 and an external heating line 50 in the outer peripheral portion of the heating container 10.

상기 가열 용기(10)는 원통 형태로 이루어지되 증착 소스인 유기물(60)을 수용할 수 있도록 바닥면이 막혀져 있으며 상부가 직각으로 절곡 형성된 절곡부(11)가 있다. 상기 가열 용기(10)의 절곡부(11)는 가열 용기를 감싸고 있는 보호 커버(40)의 상단부와 결합되어 있다. 한편, 상기 가열 용기(10)는 유기물(60)을 효율적이고 균일하게 가열하기 위하여 열 전도도가 좋은 재질인 알루미늄 나이트라이 드(AIN), 알루미나(Al2O3), 보론 나이트라이드(BN), 석영(Quratz) 등의 세라믹이나 타이타늄(Ti) 또는 스테인레스 스틸과 같은 금속 등을 사용한다.The heating vessel 10 is formed in a cylindrical shape, but the bottom surface is blocked to accommodate the organic material 60, which is a deposition source, and has a bent portion 11 formed by bending the top at a right angle. The bent portion 11 of the heating vessel 10 is coupled to the upper end of the protective cover 40 surrounding the heating vessel. On the other hand, the heating vessel 10 is aluminum nitride (AIN), alumina (Al 2 O 3 ), boron nitride (BN), which is a good thermal conductivity material in order to heat the organic material 60 efficiently and uniformly, Ceramic such as quartz (Quratz) or metal such as titanium (Ti) or stainless steel is used.

상기 내부 가열실(20)은 상기 가열 용기(10)의 내부에 파이프 형태로 수직방향으로 길게 형성되되, 그 상단이 폐쇄되어 상기 가열 용기(10) 내부와 차폐되도록 이루어진다. 즉, 상기 내부 가열실(20)은 상기 가열 용기(10)의 바닥면으로부터 시작하여 수직으로 가열 용기(10) 내측으로 길게 돌출 형성되면서 가열 용기(10)와는 압출 등의 방법에 의하여 일체를 이루고 있다. 이와 같이 가열 용기(10)와 내부 가열실(20)이 일체로 형성됨에 따라 유기물(60)의 누설을 방지할 수 있다.The internal heating chamber 20 is formed long in the vertical direction in the form of a pipe in the interior of the heating container 10, the upper end is closed to be shielded from the inside of the heating container (10). That is, the internal heating chamber 20 is formed to protrude from the bottom surface of the heating vessel 10 vertically to the inside of the heating vessel 10 vertically and integrally with the heating vessel 10 by extrusion or the like. have. As such, since the heating vessel 10 and the internal heating chamber 20 are integrally formed, leakage of the organic substance 60 may be prevented.

상기 내부 가열선(30)은 상기 내부 가열실(20)의 내부에 수직방향으로 삽입 고정되어 배치되는 봉(31)에 감겨서 설치된다. 특히, 상기 내부 가열선(30)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 봉(31) 하단부에 감겨있는 내부 가열선(30)보다 상단부에 감겨있는 내부 가열선(30)의 권회수에 가중치를 두어 감겨진다. The internal heating wire 30 is installed by being wound around a rod 31 which is inserted into and fixed in the vertical direction in the internal heating chamber 20. In particular, as shown in FIG. 5, the internal heating wire 30 is weighted to the number of turns of the internal heating wire 30 wound on the upper end than the internal heating wire 30 wound on the lower end of the rod 31. It is wound up.

상기와 같이 상기 봉(31) 상단부에 감겨있는 내부 가열선(30)의 권회수에 가중치를 두는 이유는 가열 용기(10)의 상단부와 하단부 사이에서 발생하는 온도 편차를 보상하기 위해서이다. 즉, 가열 용기(10)의 상부가 개방되어 있기 때문에 가열 용기(10)에 수용되는 유기물(60)의 온도가 하부에 비해 상부가 상대적으로 낮게되고, 이로 인해 가열 용기(10)의 상부에 위치한 유기물이 응고되어 입구를 막거나 챔버 내로 유기물이 튀게되는 문제가 발생하는데, 상기와 같이 내부 가열선(30)의 권회수에 상대적 가중치를 두어 봉(31)에 감으면 상기 문제점을 개선할 수 있다.The reason for weighting the number of turns of the internal heating wire 30 wound on the upper end of the rod 31 as described above is to compensate for the temperature deviation occurring between the upper end and the lower end of the heating vessel 10. That is, since the upper portion of the heating vessel 10 is open, the temperature of the organic material 60 accommodated in the heating vessel 10 is lower than the upper portion relative to the lower portion, which is located in the upper portion of the heating vessel 10 There is a problem that the organic material is solidified to block the inlet or splash the organic material into the chamber, as described above can be improved by winding the rod 31 with a relative weight to the number of turns of the internal heating wire (30). .

보호 커버(40)는 원통형태로 이루어져 상기 가열 용기(10)의 외주부를 감싸도록 원형 형태로 이루어져 상기 가열 용기(10)가 삽입될 수 있도록 형성된다. 그리고 상기 보호 커버(40) 상단부는 상기 가열 용기(10)의 상단부에 구성되는 절곡부(11)의 종단에 용접 등의 방법으로 결합된다. The protective cover 40 has a cylindrical shape and is formed in a circular shape so as to surround the outer circumference of the heating container 10 so that the heating container 10 can be inserted therein. And the upper end of the protective cover 40 is coupled to the end of the bent portion 11 is configured by the upper end of the heating vessel 10, such as by welding.

또한, 상기 보호 커버(40)는 상기 가열 용기(10)의 바닥보다 하방으로 더 길게 형성되고, 그 하단부에는 수개의 구멍이 형성되어 있다. 상기 수개의 구멍은 가열 용기(10) 내의 유기물(60)의 상하 온도 편차를 보상하기 위해 필요하다. 즉, 하부 유기물 온도가 상부 유기물 온도보다 더 높기 때문에, 상기 수개의 구멍을 통해 가열 용기(10)의 하부가 대기와 열 교환이 이루어지게 하여 하부 유기물의 온도를 상대적으로 하강시킬 수 있다. 한편, 상기 보호 커버(40)는 균일한 열 전도를 위해서 타이타늄이나 스테인레스 스틸 등의 금속판이 사용될 수 있다.In addition, the protective cover 40 is formed longer than the bottom of the heating container 10, the bottom of the several holes are formed. The several holes are necessary to compensate for the up and down temperature deviation of the organic material 60 in the heating vessel 10. That is, since the lower organic temperature is higher than the upper organic temperature, the lower portion of the heating vessel 10 may undergo heat exchange with the atmosphere through the several holes, thereby lowering the lower organic temperature. On the other hand, the protective cover 40 may be used a metal plate such as titanium or stainless steel for uniform heat conduction.

외부 가열선(50)은 상기 가열 용기(10)의 외주와 상기 보호 커버(40) 사이에 다수개가 적절히 배치되어 가열 용기(10)를 외부에서 가열할 수 있게 한다. 각각의 외부 가열선(50)은 도 6에 도시된 바와 같이, 판 부재에 길이 방향으로 고정 설치되고 가열 용기(10) 상부의 온도 보상을 위해 그 상단부를 수회 절곡한다. A plurality of external heating wires 50 are appropriately disposed between the outer circumference of the heating container 10 and the protective cover 40 to enable the heating container 10 to be heated from the outside. Each external heating wire 50 is fixedly installed in the longitudinal direction on the plate member as shown in FIG. 6 and bent its upper end several times for temperature compensation on top of the heating vessel 10.

한편, 상기 외부 가열선(50)은 상기 가열 용기(10)의 바닥보다 하방으로 더 길게 형성되어 설치되고, 그 상단부는 상기 가열 용기(10)의 절곡부(11)에 접촉하도록 설치한다. On the other hand, the external heating wire 50 is formed to be formed longer than the bottom of the heating vessel 10, the upper end is provided to contact the bent portion 11 of the heating vessel (10).

상기와 같이, 하방으로 가열 용기(10)보다 길게 형성함으로써 내부 가열선(30)에 의해 가열이 미약할 수 있는 가열 용기(10)의 바닥면을 효과적으로 가열하여 전체적인 열전도를 균일하게 할 수 있다. 또한, 상기와 같이 외부 가열선(50)의 상단부를 가열 용기(10)의 절곡부(11)에 접촉함으로써 가열 용기(10)의 상단에 열 전달이 증폭되도록 하여 가열 용기(10)의 상하부 온도차를 보상하도록 한다.As described above, by forming the lower side longer than the heating vessel 10, the bottom surface of the heating vessel 10 which can be weakly heated by the internal heating wire 30 can be effectively heated to make the overall thermal conductivity uniform. In addition, as described above, by contacting the upper end of the external heating wire 50 to the bent portion 11 of the heating vessel 10, the heat transfer is amplified at the upper end of the heating vessel 10 so that the upper and lower temperature differences of the heating vessel 10 are increased. To compensate.

이상과 같은 본 발명의 구성수단들의 동작에 의하여 가열 용기(10) 내의 유기물(60)을 효율적이고 균일하게 가열할 수 있다. 즉, 내부 가열선(30)을 통해 가열 용기(10)를 내부에서 가열함으로써 가열 용기(10)에 수용되는 유기물을 효율적으로 가열할 수 있고, 내부 가열선(30) 상단부의 발열 온도가 더 높아지도록 권선수를 더 많게 형성함으로써 가열 용기(10) 상하부의 온도차를 보상하여 균일한 가열이 이루어지게 한다.By the operation of the constituent means of the present invention as described above it is possible to efficiently and uniformly heat the organic material 60 in the heating vessel (10). That is, by heating the heating vessel 10 internally through the internal heating wire 30, the organic substance contained in the heating vessel 10 can be efficiently heated, and the heat generation temperature of the upper end of the internal heating wire 30 becomes higher. By forming more windings so as to compensate for the temperature difference between the upper and lower portions of the heating vessel 10, uniform heating is achieved.

또한, 상기 내부 가열선(30) 이외에도 외부 가열선(50)을 통해 가열 용기(10)의 외주부와 바닥부를 가열함으로써 더욱 효율적이면서 균일한 가열이 이루어지게 하고, 상기 외부 가열선(50)이 가열 용기(10)의 상단부에 형성되는 절곡부(11)에 접촉되도록 배치하고 보호 커버(40)의 하부에 온도 보상용 구멍을 천공함으로써 가열 용기(10) 상하부의 온도차에 대한 보상효과를 더욱 강화하여 열전도의 균일성을 더욱 향상시킨다.Further, in addition to the internal heating wire 30, the outer circumferential portion and the bottom of the heating vessel 10 are heated by the external heating wire 50 to make the heating more efficient and uniform, and the external heating wire 50 is heated. By arranging to be in contact with the bent portion 11 formed in the upper end of the container 10 and drilling a temperature compensation hole in the lower portion of the protective cover 40 to further enhance the compensation effect of the temperature difference of the upper and lower parts of the heating container 10 Further improves the uniformity of thermal conduction.

정리하면, 가열 용기(10) 내의 유기물(60)을 가열하기 위하여 본 발명에서는 내부 가열선(30)과 외부 가열선(50)을 설치하고, 각 가열선의 상하부 권선 모양의 개선된 구조를 가진다. 즉, 상기 내부 가열선(30)에 의하여 유기물(60)을 수용하는 가열 용기(10)의 내측을 가열하고, 상기 외부 가열선(50)에 의하여 가열 용기(10) 의 외측과 바닥면을 가열하며, 상기 각 가열선의 개선된 구조에 의하여 가열 용기(10)의 상하부 온도 편차를 보상해준다.In summary, in order to heat the organic material 60 in the heating vessel 10, in the present invention, the internal heating wire 30 and the external heating wire 50 are provided, and each of the heating wires has an improved structure of the upper and lower winding shapes. That is, the inner side of the heating vessel 10 containing the organic material 60 is heated by the inner heating wire 30, and the outer side and the bottom surface of the heating vessel 10 are heated by the outer heating wire 50. In addition, the improved structure of each heating wire compensates for the upper and lower temperature variations of the heating vessel 10.

이상에서 설명한 본 발명에 관한 바람직한 실시예는 특정 실시예에 대해서만 기술한 것이고, 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 당업자는 본 발명에 대한 다양한 변형, 수정을 용이하게 할 수 있으며, 이러한 변형 또는 수정이 본 발명의 특징을 이용하는 한 본 발명의 범위에 속한다는 것은 자명한 사실이다.Preferred embodiments of the present invention described above are described only for specific embodiments, and are not limited to the above embodiments. Those skilled in the art can easily make various changes and modifications to the present invention, and it is obvious that such changes or modifications fall within the scope of the present invention as long as they use the features of the present invention.

상기의 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 증착물질 가열장치에 의하면, 가열 용기를 효과적이고 균일하게 가열할 수 있고 가열 용기 상하부의 온도 편차를 줄일 수 있어 가열 용기 내의 유기물이 굳어져 입구가 막히거나 유기물 소스가 튀어서 유기물이 변질되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.According to the vapor deposition material heating apparatus of the present invention having the above-described configuration, operation and preferred embodiment, the heating vessel can be heated efficiently and uniformly, and the temperature variation of the upper and lower portions of the heating vessel can be reduced, so that the organic matter in the heating vessel is hardened and the inlet is There is an effect that can solve the problem that the organic material is deteriorated due to clogging or splashing of the organic source.

또한 상기의 효과에 의하여 유기 EL 소자의 증착 불량 또는 손상 등의 사고가 방지되므로, 증착 공정이 보다 효율적으로 이루어지고 공정 시간이 단축되며 향상된 증착 결과물을 얻을 수 있으며 유기물 증착 공정의 양산화를 도모할 수 있는 효과가 있다.In addition, due to the above effects, an accident such as deposition failure or damage of the organic EL device is prevented, so that the deposition process can be made more efficiently, the process time can be shortened, improved deposition results can be obtained, and mass production of the organic material deposition process can be achieved. It has an effect.

Claims (6)

증착물질 가열 장치에 있어서,In the vapor deposition material heating apparatus, 유기물을 수용하는 가열 용기와;A heating vessel for containing organic matter; 상기 가열 용기의 내부에 수직방향으로 길게 형성되고, 상기 가열 용기와는 차폐된 내부공간을 갖는 내부 가열실과;An internal heating chamber formed vertically in the heating container and having an internal space shielded from the heating container; 상기 가열 용기의 외주부를 감싸도록 설치되는 보호 커버와, 상기 가열 용기의 외주부와 상기 보호 커버 사이에 설치되는 다수개의 외부 가열선을 포함하는 외부 가열 수단과;External heating means including a protective cover installed to surround the outer circumferential portion of the heating vessel, and a plurality of external heating wires disposed between the outer circumferential portion of the heating vessel and the protective cover; 상기 내부 가열실의 내부공간에 배치되는 내부 가열선을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.Deposition material heating apparatus comprising an inner heating line disposed in the inner space of the inner heating chamber. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 내부 가열선은, 상기 내부 가열실 내부에 수직방향으로 형성되는 봉에 감겨서 설치되되, 상단부의 권회수에 가중치를 두어 감겨진 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.The inner heating wire is installed on a rod formed in a vertical direction inside the inner heating chamber, the deposition material heating apparatus, characterized in that the wound by giving a weight to the number of turns of the upper end. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 내부 가열실은, 상기 가열 용기와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.And the internal heating chamber is integrally formed with the heating vessel. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 가열 용기는, 상부가 직각으로 절곡 형성되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.The heating vessel, the deposition material heating apparatus, characterized in that the top is formed bent at a right angle. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 보호 커버는, 상기 가열 용기의 바닥보다 하방으로 더 길게 형성되되, 그 하단부에 수개의 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.The protective cover is formed longer than the bottom of the heating vessel, the deposition material heating apparatus, characterized in that several holes are formed in the lower end. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 외부 가열선은, 판 부재에 고정 설치되되, 그 상단부가 수회 절곡되는 것을 특징으로 하는 증착물질 가열장치.The external heating wire is fixed to the plate member, the upper end of the deposition material heating apparatus, characterized in that bent several times.
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