KR100556013B1 - Microscopic size measurement apparatus - Google Patents

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KR100556013B1
KR100556013B1 KR1020020044047A KR20020044047A KR100556013B1 KR 100556013 B1 KR100556013 B1 KR 100556013B1 KR 1020020044047 A KR1020020044047 A KR 1020020044047A KR 20020044047 A KR20020044047 A KR 20020044047A KR 100556013 B1 KR100556013 B1 KR 100556013B1
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시미즈다카히로
고수게쇼고
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가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

촬영 장치로부터 출력한 화상 정보를 근거로 상기 측정 대상물의 치수를 측정하는 미소 치수 측정 장치에 있어서, 안정적으로 정확한 측정 작업을 실행할 수 있도록 한다. In the micro-dimension measuring apparatus which measures the dimension of the said measurement object based on the image information output from the imaging device, it is possible to stably perform accurate measurement work.

측정 장치에 의해서, 사전에 상기 기록된 측정 조건에 따라 측정 대상물을 촬영한 견본 화상 정보를 기록 장치에 기록하고, 기록된 측정 조건에 근거하여 측정 대상물을 측정할 때에 기록된 화상 정보의 표시를 실행한다. The measuring device records, in the recording device, the sample image information photographing the measurement object in accordance with the recorded measurement conditions in advance, and displays the recorded image information when measuring the measurement object based on the recorded measurement conditions. do.

Description

미소 치수 측정 장치{MICROSCOPIC SIZE MEASUREMENT APPARATUS} Micro Dimension Measurement Device {MICROSCOPIC SIZE MEASUREMENT APPARATUS}             

도 1은 미소 치수 측정 장치의 블록 구성예를 도시하는 도면, BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows the example block structure of a micro dimensional measuring apparatus;

도 2는 종래의 기술에 의한 모니터상의 측정 화면 표시의 일례를 도시하는 도면, 2 is a diagram showing an example of a measurement screen display on a monitor according to the prior art;

도 3은 본 발명에 의한 측정 화면의 표시예를 도시하는 도면. 3 is a diagram showing a display example of a measurement screen according to the present invention;

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : 광학 현미경 2 : 시료(측정 대상물)1: optical microscope 2: sample (object to be measured)

3 : TV 카메라 4 : 측정 제어부(PC)3: TV camera 4: Measurement control unit (PC)

5 : 캡쳐 보드 6 : 하드디스크5: capture board 6: hard disk

7 : 모니터 8 : 맵 표시 영역7: Monitor 8: Map display area

9 : 카메라 화상 표시 영역9: camera image display area

10 : 측정 위치 지정의 기준이 되는 좌측 수직 커서선10: Left vertical cursor line as reference for measuring position designation

11 : 측정 위치 지정의 기준이 되는 우측 수직 커서선11: Right vertical cursor line to measure measurement position

12 : 측정 위치 지정의 기준이 되는 수평 커서선12: Horizontal cursor line as a reference for measuring position designation

13 : 콘트라스트 도형 14 : 화상 등록 버튼13: Contrast figure 14: Image registration button

15 : 등록 화상 표시란 16 : 등록 화상 표시 영역 15: Registered image display column 16: Registered image display area

본 발명은 반도체 웨이퍼나 해당 반도체 웨이퍼의 가공용 마스크 등에 있어서의 미소 치수를 측정하기 위한 장치에 대한 것으로, 측정 효율을 향상시키기 위한 기술에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring small dimensions in a semiconductor wafer, a processing mask of the semiconductor wafer, and the like, and relates to a technique for improving measurement efficiency.

종래의 미소 치수 측정 장치의 블록 구성예에 대하여, 도 1을 이용하여 설명한다. 이 도면에 있어서, 광학 현미경(1)에 의해서 얻어진 시료(2)의 확대 상이 이차원 센서를 이용한 촬영 장치인 TV 카메라(3)로 복수 화상 프레임마다 광전 변환되어 화상 신호로 된다. 그 화상 신호를 측정 제어부(PC : personal computer)(4)에 있어서의 캡쳐 보드(5)에서 디지털 화상 정보로 변환하고, 그 디지털 화상 정보를 캡쳐 보드(5)내의 프레임 메모리에 저장한다. 그리고, 화상 신호에 따라서 저장된 1 프레임의 화상 정보에 있어서의 콘트라스트에 근거하여, 측정 대상물(4)과 측정 대상물의 측정 개소의 치수를 구한다. 이 때, 이 장치를 조작하는 조작자는 측정 제어부(4)가 측정 대상물의 측정 개소에 따라서, 이 측정 장치의 각종 측정 조건, 예컨대 오토 포커스의 속도와 그 동작 범위, 자동 조광 동작의 동작 모드, 화상내의 측정 위치, 측정 대상 휘도 콘트라스트의 스렛시홀더 레벨(문턱값) 등을 설정한다. 또한, 설정 항목이 다양한 경우에는 사전에 설정해 놓은 측정 조건의 조합을 나타내는 복수의 측정 리시피(recipe)를 기록 장치인 하드디스크(6)에 기록해 둔다. 그리고, 그 기록된 복수의 측정 리시피, 예컨대 10000종류 정도의 측정 리시피 중에서 그 측정에 가장 적절한 측정 조건의 조합을 나타내는 측정 리시피를 선택한다. 그리고, 그 선택된 측정 리시피의 측정 조건의 조합에 따라서 측정 장치가 설정된 후에 측정 동작이 이루어짐으로써, 치수 측정용으로 가장 알맞은 화상을 얻을 수 있다. 이상과 같이 하여, 시료(2)를 광학 현미경(1)과 TV 카메라(3)로 촬영한 화상 정보가 캡쳐 보드(5)를 거쳐서, 또는 캡쳐 보드(5)와 그 캡쳐 보드(5)로부터 출력된 화상정보를 기록하는 하드디스크(6)을 거쳐서, 모니터(7)상의 카메라 화상 표시 영역(9)에 재생 표시된다. The block structure example of the conventional micro dimension measuring apparatus is demonstrated using FIG. In this figure, the magnified image of the sample 2 obtained by the optical microscope 1 is photoelectrically converted for each of a plurality of image frames by the TV camera 3, which is an imaging device using a two-dimensional sensor, to be an image signal. The image signal is converted into digital image information by the capture board 5 in the measurement control unit (PC: personal computer) 4, and the digital image information is stored in the frame memory in the capture board 5. Then, based on the contrast in the image information of one frame stored in accordance with the image signal, the dimensions of the measurement object 4 and the measurement location of the measurement object are obtained. At this time, the operator who operates this apparatus can measure various measurement conditions of the measuring apparatus, for example, the speed of autofocus and its operating range, the operation mode of the auto dimming operation, and the image, depending on the measurement location of the measurement object 4. The measurement position inside, the threshold holder level (threshold value) of the measurement target luminance contrast, and the like are set. When the setting items are various, a plurality of measurement recipes indicating the combination of measurement conditions set in advance are recorded in the hard disk 6 serving as the recording device. Then, among the recorded plurality of measurement recipes, for example, about 10,000 types of measurement recipes, a measurement recipe indicating a combination of measurement conditions most suitable for the measurement is selected. Then, the measurement operation is performed after the measurement device is set according to the combination of the measurement conditions of the selected measurement recipe, so that an image most suitable for the dimensional measurement can be obtained. As described above, the image information obtained by photographing the sample 2 with the optical microscope 1 and the TV camera 3 is output through the capture board 5 or from the capture board 5 and the capture board 5. Playback is displayed on the camera image display area 9 on the monitor 7 via the hard disk 6 for recording the image information.

도 2는 종래의 기술에 의한 모니터(7)의 화면상에 있어서의 상술한 화상 정보를 포함한 측정 화면 표시의 일례를 도시한 것이다. 이 도면에 있어서, 맵 표시 영역(8)에서는 측정 대상물인 웨이퍼를 스캔 촬영했을 때에, 웨이퍼의 어느 위치에서의 측정 결과가 양호한가, 또는 양호하지 않은가를 나타내는 양부(良否) 판정 표시가 도시되어 있다. 이 예에서는 웨이퍼인 시료를 탑재한 현미경(1)의 스테이지를 이동시키면서 TV 카메라(3)로 촬영된 측정 위치의 선폭 패턴을 표시한 것이다. 2 shows an example of the measurement screen display including the above-described image information on the screen of the monitor 7 according to the prior art. In this figure, in the map display area 8, when it scans and photographs the wafer which is a measurement object, the quality judgment display which shows in which position of the wafer the measurement result is good or not is shown. In this example, the line width pattern of the measurement position image | photographed with the TV camera 3 is displayed, moving the stage of the microscope 1 which mounted the sample which is a wafer.

도 2의 카메라 화상 표시 영역(9)에서는 실시간으로 TV 카메라(3)로 촬영되어 출력된 영상 신호에 근거한 화상 정보가 표시되어 있다. 치수 측정을 위해서 사용하는 커서선(10, 11, 12)이 측정 대상인 콘트라스트의 두드러진 경계를 갖는 도형(13)을 사이에 끼우도록, 또는 그 도형(13)에 중첩되도록 표시되어 있다. 여기서, 웨이퍼 상의 임의의 위치를 측정하는 경우에는 조작자의 조작에 의해서 지정 개소의 선폭 패턴 화상이 촬영되는 위치로 현미경(1)의 스테이지를 이동시킨다. 그리고, 도시한 바와 같이 커서선(10, 11, 12)을 표시하도록 설정한 후에 소망하는 치수 측정을 실행한다. In the camera image display area 9 of Fig. 2, image information based on an image signal captured and output by the TV camera 3 in real time is displayed. Cursor lines 10, 11, and 12 used for the dimensional measurement are displayed so as to sandwich the figure 13 having a prominent boundary of the contrast to be measured, or to overlap the figure 13. Here, when measuring arbitrary positions on a wafer, the stage of the microscope 1 is moved to the position where the line width pattern image of a designated location is imaged by an operator's operation. Then, as shown in the figure, the cursor lines 10, 11, and 12 are set to display, and then the desired dimension measurement is performed.

상술한 종래의 기술을 이용한 미소 치수 측정 장치에서는 조작자의 오측정 조작을 초래하기 쉽다고 하는 결점이 있다. 즉, 상술한 측정 조건(오토 포커스, 자동 조광, 화상내 측정 위치, 슬라이스 레벨 등에 따른 조건)의 조합이 각각 설정되어 있는 복수 종류의 측정 리시피, 즉 10000종류의 측정 리시피 중에서 소정의 측정 리시피를 선택하고, 그 선택된 측정 리시피에 따른 설정에 의해서 측정 대상인 웨이퍼내의 지정 개소의 선폭을 측정한다. 여기서, 그 지정 개소의 주변에는 유사한 선폭·형상의 패턴이 다수 존재하는 경우가 있어, 이하에 언급하는 바와 같은 문제가 발생할 우려가 있다. The micro-dimension measuring apparatus using the above-mentioned prior art has the drawback that it is easy to cause an incorrect measurement operation of an operator. That is, a plurality of measurement recipes in which a combination of the above-described measurement conditions (conditions according to auto focus, auto dimming, measurement position in the image, slice level, etc.) are set, that is, a predetermined measurement recipe among 10000 measurement recipes, are set. A recipe is selected, and the line width of the designated part in the wafer to be measured is measured by the setting according to the selected measurement recipe. Here, many similar line width and shape patterns may exist around the designated place, and there exists a possibility that the problem mentioned below may arise.

즉, (1)조작자가 지정 개소를 잘못 선택할 가능성이 높아, 이 때문에 측정 대상이 아닌 부분의 선폭을 측정해 버릴 우려가 있다. (2)비록 지정 개소를 바르게 선택했다고 해도, 측정 조건이 그 지정 개소에 맞지 않는 측정 리시피를 선택할 가능성이 높아, 예컨대 오토 포커스가 맞춰지지 않고, 또한 자동 조광이 맞지 않는 상태로 되어버려 정확한 선폭 등의 치수 측정이 불가능할 우려가 있다. That is, (1) it is highly likely that the operator selects a wrong designation point, and therefore, there is a possibility that the line width of the part not being measured is measured. (2) Even if the designated location is correctly selected, there is a high possibility of selecting a measurement recipe whose measurement conditions do not match the specified location. For example, the autofocus is not adjusted and the auto dimming is not performed. There is a possibility that the measurement of the size, etc. may not be possible.

본 발명의 목적은 상기 문제점을 제거하여, 안정적이고 정확한 측정 작업을 실행할 수 있도록 하는 것이다. It is an object of the present invention to obviate the above problems and to carry out a stable and accurate measuring operation.                         

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해서, 측정 대상물을 올려놓는 스테이지를 가지는 현미경과, 해당 현미경으로 확대된 상기 측정 대상물의 확대 상을 촬영하는 촬영 장치와, 상기 측정 대상물에 따른 측정 조건을 기록하는 기록 장치를 가지고, 해당 기록된 측정 조건에 근거하여 상기 촬영 장치로부터 출력한 화상 정보를 근거로 상기 측정 대상물의 치수를 측정하는 미소 치수 측정 장치에 있어서, 사전에 상기 기록된 측정 조건에 따라서 상기 측정 대상물을 촬영하여 얻은 화상 정보를 상기 기록 장치에 기록하고, 상기 기록된 측정 조건에 근거하여 상기 측정 대상물을 측정할 때에 상기 기록된 화상 정보의 표시를 실행하는 것이다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the present invention provides a microscope having a stage on which a measurement target is placed, an imaging device for shooting an enlarged image of the measurement target enlarged with the microscope, and a measurement condition for recording the measurement target. A micro-dimension measuring device having a recording device and measuring a dimension of the measurement object based on image information output from the photographing device based on the recorded measurement condition, wherein the measurement is made in accordance with the previously recorded measurement condition. Image information obtained by photographing an object is recorded in the recording device, and the recorded image information is displayed when the measurement object is measured based on the recorded measurement conditions.

바람직하게는, 상기 기록된 측정 조건에 근거하여 상기 측정 장치의 각종 설정이 실행되고, 해당 각종 설정 중 적어도 어느 하나의 설정 내용을 다시 변경 설정 가능하게 할 수 있다. Preferably, various settings of the measuring device are executed based on the recorded measurement conditions, and at least one of the settings can be changed and set again.

또한, 상기 화상 정보와 상기 측정 조건을 동시에 상기 기록 장치에 기록하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to simultaneously record the image information and the measurement condition in the recording apparatus.

그 때문에, 본 발명은 사전에 측정 리시피마다 각 측정 리시피에 따른 측정 조건의 조합으로 그 지정 개소의 견본 화상을 촬영하고, 그 화상을 등록해 둔다. 그렇게 함으로써, 측정 리시피가 선택됨과 동시에 카메라 화상 표시 영역에 나열하여 등록 화상 표시 영역을 마련하고, 거기에 등록해 둔 견본 화상이 표시되도록 한다. 그 때문에, 그 견본 화상을 봄으로써 조작자는 항상 견본 화상과 비교하면서, 측정중인 화상을 확인할 수 있다. 그러한 확인 동작을 동반한 측정 작업이 실행되므로, 잘못하여 지정 개소가 아닌 선폭을 측정하는 일이 없어진다. 또한, 초점 위 치에서 자동 조광된 화상을 등록해 둠으로써 사용하고 있는 측정 리시피내의 측정 조건이 바른가의 여부를 판단할 수도 있다.
Therefore, in this invention, the sample image of the designated location is image | photographed by the combination of the measurement conditions according to each measurement recipe before every measurement recipe, and the image is registered. By doing so, the measurement recipe is selected and arranged in the camera image display area to provide a registered image display area so that the sample image registered therein is displayed. Therefore, by viewing the sample image, the operator can confirm the image under measurement while always comparing with the sample image. Since the measurement work with such a confirming operation is performed, the line width which is not designated by mistake is not measured. It is also possible to determine whether or not the measurement conditions in the measurement recipe being used are correct by registering the image automatically dimmed at the focus position.

이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은 종래의 미소 치수 측정 장치의 블록도로, 이 도면에 도시하는 미소 치수 측정 장치의 구성은 본 발명을 실현하기 위해서도 마찬가지로 이용되는 것이다. 여기서, 이 도면에 도시하는 미소 치수 측정 장치의 블록 구성 중 종래의 기술에서 설명한 동작과 다른 동작이 되는 것은 사전에 하드디스크(6)에 기록된 복수 측정 리시피 중 선택된 리시피에 대응하는 측정 대상물의 측정 대상 개소가 그 측정 리시피의 측정 조건의 조합을 가지고 촬영하여 얻어진 견본 화상 정보를 그 측정 리시피에 대응시키면서 하드디스크(6)에 기록함과 동시에, 그 기록되어 선택된 측정 조건에 근거하여 다시 동일한 측정 대상물을 측정할 때에는 그 측정 조건에 대응시키면서 기록된 견본 화상 정보의 표시를 실행하도록 한 것이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described using drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram of a conventional micro dimensional measuring apparatus, and the configuration of the micro dimensional measuring apparatus shown in this figure is similarly used to realize the present invention. Here, among the block configurations of the micro-dimensional measuring apparatus shown in this figure, the operation different from the operation described in the prior art is a measurement object corresponding to the selected recipe among the plurality of measurement recipes previously recorded on the hard disk 6. The sample object information obtained by photographing with the combination of the measurement conditions of the measurement recipe is recorded on the hard disk 6 while corresponding to the measurement recipe, and the same again based on the recorded and selected measurement conditions. When measuring the measurement object, display of the recorded sample image information is performed while corresponding to the measurement conditions.

또한, 본 발명에 의한 측정 화면의 표시예를 도 3에 도시하면서, 본 발명의 실시예를 설명한다. In addition, while the display example of the measurement screen by this invention is shown in FIG. 3, the Example of this invention is described.

(1)견본 화상의 등록(1) Registration of sample image

우선, 상술한 바와 같이 하여 하드디스크(6)에 기록된 복수의 측정 리시피 각각에 대응된 견본 화상 정보를 하드디스크(6)에 기록한다. 즉, 어떤 측정 대상물에 대응하는 측정 조건과 그 조건에서의 견본 화상과의 조합을 결정한다. 그 경 우, 그 결정한 측정 조건으로 측정 장치가 그 측정 대상물을 측정했을 때에 TV 카메라(3)에 의해서 촬영하여 얻어진 측정 대상물의 화상 신호를 캡쳐 보드(5)의 프레임 메모리에 저장함과 동시에, 그 저장된 측정 대상물의 화상 신호에 근거하는 화상 정보가 견본 화상 정보로서 도 3의 측정 화면에 표시되는 화상 등록 버튼(14)을 소정의 조작 방법[예컨대, 측정 제어부(4)에 접속된 도시하지 않은 마우스 입력 장치로 화상 등록 버튼(14)에 커서 표시를 맞춘 후 마우스 입력 장치의 클릭 버튼을 클릭하는 조작 방법]으로 조작하면, 캡쳐 보드(5)의 프레임 메모리로부터 하드디스크(6)로 입력되어, 하드디스크(6)에 그 화상 정보가 기록된다. 이상과 같이 하여, 각 측정 리시피마다의 화상 정보 등록, 즉 각 측정 리시피 각각에 대응한 견본 화상 정보가 기록됨으로써 화상 등록이 실행된다. First, sample image information corresponding to each of the plurality of measurement recipes recorded on the hard disk 6 is recorded on the hard disk 6 as described above. That is, the combination of the measurement conditions corresponding to a certain measurement object and the sample image in those conditions is determined. In this case, when the measurement device measures the measurement object under the determined measurement condition, the image signal of the measurement object obtained by photographing by the TV camera 3 is stored in the frame memory of the capture board 5, and the stored Mouse input (not shown) connected to a predetermined operation method (e.g., connected to the measurement control section 4) is performed by the image registration button 14 in which image information based on the image signal of the measurement target is displayed on the measurement screen of FIG. 3 as sample image information. [Operation method of aligning the cursor display with the image registration button 14 by the device and then clicking the click button of the mouse input device] is inputted from the frame memory of the capture board 5 to the hard disk 6, The image information is recorded at (6). As described above, image registration is performed for each measurement recipe, that is, image registration is performed by recording sample image information corresponding to each measurement recipe.

(2)수동 측정(2) manual measurement

이상과 같이 하여 화상 등록이 이루어진 후에, 예컨대 수동 측정을 위한 측정 리시피를 이용하여 수동에 의한 선택 조작을 실행하는 경우에 대하여 설명한다. 우선, 측정 대상물의 종류에 따라 함수(function) A 내지 H 중 가장 적절한 함수 기능을 선택하고, 또한 파라미터 번호 1 내지 번호 50 중에서 가장 적절한 파라미터를 선택한다. 여기에서, 함수이란 측정 대상물의 화상 신호의 수평 또는 수직 방향의 휘도파형(輝度波形)의 종류별로 구분되는 기능 분류이다. 그 휘도파형으로서는, 예컨대 투과광에 의한 휘도파형과, 반사광에 의한 휘도파형으로 크게 분류되어 있다. 또한, 파라미터의 종류로서는, 예컨대 에지 검출 방법의 선택, 스렛시 홀더 레벨의 설정, 노이즈 레벨의 설정, 측정 라인 처리 방법의 선택, 히스토그램(histogram) 폭의 설정 등이 있다. 현재, 예컨대 [함수 A의 파라미터 번호 20]과 같이 함수과 파라미터의 조합으로 측정 리시피를 선택하는 경우에는 선택한 측정 리시피에 따라 기록된 견본 화상 정보가 모니터(7)의 화면상에 도 3에 도시하는 등록 화상 표시 영역(16)과 같이 표시된다. 이 등록 화상 표시 영역(16)에 표시되는 화상 정보는 측정 리시피를 전환할 때마다, 새롭게 선택한 측정 리시피에 따른 견본 화상 정보가 표시된다. After image registration is performed as described above, a case where a manual selection operation is executed, for example, using a measurement recipe for manual measurement will be described. First, the most appropriate function function among functions A to H is selected according to the type of measurement object, and the most appropriate parameter is selected from parameter numbers 1 to 50. Here, the function is a functional classification classified according to the type of luminance waveform in the horizontal or vertical direction of the image signal of the measurement target. The luminance waveforms are broadly classified into, for example, luminance waveforms by transmitted light and luminance waveforms by reflected light. The types of parameters include, for example, selection of an edge detection method, setting of a threshold holder level, setting of a noise level, selection of a measuring line processing method, setting of a histogram width, and the like. At present, when selecting a measurement recipe by a combination of a function and a parameter, for example, [parameter number 20 of function A], the sample image information recorded according to the selected measurement recipe is shown in FIG. 3 on the screen of the monitor 7. The registered image display area 16 is displayed as shown. As for the image information displayed in this registered image display area 16, the sample image information according to the newly selected measurement recipe is displayed every time the measurement recipe is switched.

그렇게 함으로써, 측정 리시피를 선택하여 선택된 측정 조건의 조합으로 측정 장치에 측정을 실행시키는 경우에, 사전에 소정의 측정 조건의 조합인 측정 리시피에 따라 기록되고, 또한 표시된 등록 화상 표시 영역(16)의 견본 화상 정보와, 실제로 측정용으로 TV 카메라(3)로 촬영하고 있는 화상 신호를 근거로 한 화상 정보를 표시하고 있는 카메라 화상 표시 영역(9)의 화상 정보를 조작자가 비교할 수 있다. 그 때문에, 예컨대 그 화상 정보끼리가 거의 동일하면, 바른 측정 리시피를 선택하고 있는 것을 확인할 수 있다. 그 때문에, 조작자는 잘못된 측정 조건의 조합을 이용하여 치수 측정을 실행할 우려가 적어져, 보다 효율적으로 측정 대상물에 대하여 가장 적절한 측정 리시피를 정확하게 센터하고 있는 것을 확인할 수 있으므로, 잘못된 측정을 실행하는 것을 없앨 수 있다. By doing so, when the measurement recipe is selected and the measurement device is subjected to the measurement with the combination of the selected measurement conditions, the registered image display area 16 which is recorded according to the measurement recipe which is the combination of the predetermined measurement conditions in advance and is displayed The operator can compare the image information of the camera image display area 9 displaying the sample image information of) and image information based on the image signal actually captured by the TV camera 3 for measurement. Therefore, for example, when the image information is substantially the same, it can be confirmed that the correct measurement recipe is selected. As a result, the operator is less likely to perform dimensional measurements using a combination of incorrect measurement conditions, and thus, the operator can confirm that the most appropriate measurement recipe is correctly centered on the measurement object. I can eliminate it.

또한, 측정시에 등록 화상 표시란(5)에서 「등록 화상 표시」를 선택해 두면 상기에서 등록한 견본 화상 정보를 표시하고, 또한 「화상 확대 표시」를 선택하면 등록한 견본 화상 정보를 확대한 화상 정보가 표시된다. In addition, when "registered image display" is selected in the registered image display field 5 at the time of measurement, the sample image information registered above is displayed, and when "image enlarged display" is selected, the image information obtained by enlarging the registered sample image information is displayed. Is displayed.

또한, 종래의 기술에서 설명한 맵 표시 영역(8)의 양부 판정 표시를 본 발명 의 카메라 화상 표시 영역(9)의 화상 정보 및 견본 화상 정보와 동시에 표시해도 무방하다.In addition, the quality determination display of the map display region 8 described in the prior art may be simultaneously displayed with the image information and the sample image information of the camera image display region 9 of the present invention.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 측정 조건의 조합인 측정 리시피에 따른 견본이 되는 측정 리시피에 따라, 사전에 기록된 견본 화상 정보를 표시하도록 했으므로, 조작자는 그 견본이 되는 화상 정보 표시와 촬영중의 TV 카메라로부터 출력되는 화상 신호에 근거한 화상 정보 표시를 비교하면서 측정 작업을 실행할 수 있다. 그 때문에, 그 비교에 의해서, 예컨대 측정 리시피의 선택이 측정 대상물에 대하여 잘못된 경우에는 도 3과 같이 등록 화상 표시 영역(16)의 표시와 카메라 화상 표시 영역(9)의 표시가 서로 다른 측정 대상 개소라는 것을 바로 인식할 수 있어, 오측정이라는 것을 알 수 있다. 따라서, 조작자는 잘못된 측정이라는 것을 모르고 측정 데이터를 취득해 버리는 것 같은 작업 미스를 회피할 수 있다. As described above, according to the present invention, since the sample image information recorded in advance is displayed in accordance with the measurement recipe serving as the sample according to the measurement recipe which is a combination of the measurement conditions, the operator can display the image information to be the sample. The measurement operation can be executed while comparing the image information display based on the image signal output from the TV camera under shooting. Therefore, by comparison, when the selection of the measurement recipe is wrong for the measurement object, for example, as shown in FIG. 3, the display of the registered image display area 16 and the display of the camera image display area 9 are different from each other. It can be recognized immediately that it is a mistaken measurement. Therefore, the operator can avoid a work miss such as acquiring the measurement data without knowing that it is a wrong measurement.

Claims (3)

대상물을 올려놓는 스테이지를 가지는 현미경과,A microscope having a stage on which an object is placed, 상기 현미경으로 확대된 상기 대상물의 특정 개소의 확대상을 촬영하는 촬영부와,A photographing unit which photographs an enlarged image of a specific location of the object magnified by the microscope; 참조 대상물에 대한 복수개의 참조 개소 각각에 대응하는 측정 조건 및 각각의 상기 측정 조건에 대응하는 참조 개소의 참조 확대상을 기록하는 기록부와,A recording unit which records measurement conditions corresponding to each of the plurality of reference points for the reference object and reference magnified images of the reference points corresponding to the respective measurement conditions; 측정 대상물의 측정 개소의 치수를 측정하기 위한 측정 조건의 선택시에 상기 촬영부에 의한 상기 측정 개소의 확대상 및 상기 측정 조건에 대응하는 참조 개소의 참조 확대상을 표시하는 표시부와,A display unit which displays an enlarged image of the measurement location by the imaging unit and a reference enlarged image of a reference location corresponding to the measurement condition at the time of selection of measurement conditions for measuring the dimension of the measurement location of the measurement object; 상기 선택된 측정 조건에 따라 상기 측정 개소의 치수를 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는And a measuring unit for measuring the dimension of the measuring point according to the selected measuring condition. 미소 치수 측정 장치. Micro dimension measuring device. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기록된 측정 조건에 근거하여 상기 측정 장치의 각종 설정이 실행되고, 상기 각종 설정 중 적어도 어느 하나의 설정 내용을 추가로 변경 설정 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 Various settings of the measuring device are executed on the basis of the recorded measurement conditions, and the setting contents of at least one of the various settings can be further changed and set. 미소 치수 측정 장치. Micro dimension measuring device. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 기록부는 상기 참조 대상물에 대한 상기 복수개의 참조 개소 각각에 대응하는 상기 측정 조건 및 각각의 상기 측정 조건에 대응하는 상기 참조 개소의 상기 참조 확대상을 동시에 기록하는 것을 특징으로 하는And the recording unit simultaneously records the measurement condition corresponding to each of the plurality of reference locations for the reference object and the reference magnified image of the reference location corresponding to each of the measurement conditions. 미소 치수 측정 장치.Micro dimension measuring device.
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