KR100555598B1 - 유기전계 발광소자와 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
따라서, 종래에 따른 유기전계 발광소자는 박막트랜지스터 어레이부를 형성하는 공정과 상기 발광부를 형성하는 공정을 합하면 다수의 마스크 공정이 필요하다.
본 발명은 상기 소프트 몰드 방식을 이용하여, 유기 발광부의 화소 영역(P)에 대응하여 상기 제 1 전극(102)의 에지부를 덮는 부분과, 이보다 높게 형성되고 이후 형성된 발광층을 화소 영역마다 분리하기 위한 격벽(미도시)을 동시에 형성하는 것이 목적이므로, 소프트 몰드의 음각 또한 단차지게 형성해야 한다.
Claims (28)
- 기판 상에 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동 소자와;상기 구동 소자의 드레인 전극과 접촉하면서, 화소 영역에 위치하는 제 1 전극과;상기 화소 영역의 경계에 대응하여 위치하고, 상기 제 1 전극의 일측을 덮는 낮은 높이와, 상기 화소 영역 사이에 위치하는 높은 높이로 구성된 단차진 격벽과;상기 화소 영역에 대응하는 상기 제 1 전극의 상부에 구성된 발광층과;상기 발광층의 상부에 제 2 전극을 포함하는 유기전계 발광소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 스위칭 소자의 소스 전극은 상기 데이터 배선과 연결되고, 스위칭 소자의 드레인 전극은 상기 구동 소자의 게이트 전극과 연결되어 구성된 유기전계 발광소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 구동소자의 드레인 전극과 접촉하는 전원 배선(power line)이 더욱 구성된 유기전계 발광소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극은 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 상기 제 2 전극은 전자를 주입하는 음극전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 발광층과 양극 전극 사이에 홀 수송층이 더욱 구성되고, 상기 발광층과 음극 전극 사이에 전자 수송층이 더욱 구성된 유기전계 발광소자.
- 기판 상에 수직하게 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동 소자를 형성하는 단계와;상기 구동 소자의 드레인 전극과 접촉하면서, 화소 영역에 위치하는 제 1 전극을 형성하는 단계와;상기 제 1 전극이 형성된 기판의 전면에 용액 상태의 수지를 도포하는 단계와;상기 도포된 수지 용액을 소프트 몰드(soft mold) 방식으로 패턴하여, 상기 화소 영역의 경계에 대응하여 위치하고, 상기 제 1 전극의 일측을 덮는 낮은 높이와, 상기 화소 영역 사이에 위치하는 높은 높이로 구성된 단차진 격벽을 형성하는 단계와;상기 화소 영역에 대응하는 상기 제 1 전극의 상부에 발광층을 형성하는 단계와;상기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 소프트 몰드 방식으로 격벽을 형성하는 단계는상기 제 1 전극이 형성된 기판의 전면에 용액 상태의 수지를 도포하는 단계와;상기 화소 영역의 경계에 대응하여 음각이 위치하고 그 외의 영역은 양각으 로 패턴된 소프트 몰드로 상기 수지 용액을 누르는 단계와;상기 소프트 몰드로 수지 용액을 노른 상태에서 상기 기판을 가열하는 단계와;가열이 완료된 후 상기 소프트 몰드를 제거하는 단계를포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 소프트 몰드의 음각은 상기 단차진 격벽의 형상에 따라 단차지게 구성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 가열단계의 가열온도는 상기 수지 용액에 포함된 용매의 끊는 점보다 높고, 상기 소프트 몰드의 양각에 대응하는 잔여 수용액의 거동온도(전이 온도)보다 높은 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 소프트 몰드는 탄성을 가지는 중합체인 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 소프트 몰드의 음각은 단차가 없는 사각형상인 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 가열단계는첫째, 상기 수지 용액에 포함된 용매의 끊는 점보다 낮거나 같은 온도로 가열하는 제 1 단계와;상기 제 1 단계의 가열후, 급격히 온도를 상승시켜 용매증발 및 고상화를 통해 소프트 몰드의 양각 패턴에 대응하여 일부분의 수지가 남겨지도록 하는 제 2 단계를포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 스위칭 소자의 소스 전극은 상기 데이터 배선과 연결되고, 스위칭 소자의 드레인 전극은 상기 구동 소자의 게이트 전극과 연결되어 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 구동소자의 드레인 전극과 접촉하는 전원 배선(power line)이 더욱 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 1 전극은 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 상기 제 2 전극은 전자를 주입하는 음극전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 양극 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 같은 일함수(work function)가 큰 물질그룹 중 선택하여 형성하고, 상기 음극 전극은 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg),리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중 금속을 포함하는 일 함수가 작은 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성한 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 7 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 발광층과 양극 전극 사이에 홀 수송층이 더욱 구성되고, 상기 발광층과 음극 전극 사이에 전자 수송층이 더욱 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 화소 영역이 정의된 제 1 기판과 제 2 기판과;상기 제 1 기판의 일면에, 상기 화소 영역의 일측과 타측에 대응하여 수직하게 교차하여 구성된 게이트 배선과 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동 소자와;상기 제 2 기판의 일면에 구성된 제 1 전극과;상기 화소 영역의 경계에 대응하여 위치하고, 상기 제 1 전극의 일측을 덮는 낮은 높이와, 상기 화소 영역 사이에 위치하는 높은 높이로 구성되고 양측이 라운드 형상인 사다리꼴 형태의 단차진 격벽과;상기 양극 전극의 상부에 구성된 발광층과;상기 발광층의 상부에 구성된 음극 전극을 포함하는 유기전계 발광소자.
- 제 1 기판과 제 2 기판에 화소 영역을 정의하는 단계와;상기 제 1 기판의 일면에 수직하게 교차하여, 화소 영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동 소자를 형성하는 단계와;상기 제 2 기판의 일면에 제 1 전극을 형성하는 단계와;상기 제 1 전극이 형성된 기판의 전면에 용액 상태의 수지를 도포하는 단계와;상기 도포된 수지 용액을 소프트 몰드(soft mold) 방식으로 패턴하여, 상기 화소 영역의 경계에 대응하여 위치하고, 양측이 라운드 형상인 사다리꼴 형상의 격벽을 형성하는 단계와;상기 화소 영역에 대응하는 상기 제 1 전극의 상부에 발광층을 형성하는 단계와;상기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 소프트 몰드 방식으로 격벽을 형성하는 단계는상기 제 1 전극이 형성된 기판의 전면에 용액 상태의 수지를 도포하는 단계와;상기 화소 영역의 경계에 대응하여 음각이 위치하고 그 외의 영역은 양각으로 패턴된 소프트 몰드로 상기 수지 용액을 누르는 단계와;상기 소프트 몰드로 수지 용액을 노른 상태에서 상기 기판을 가열하는 단계와;가열이 완료된 후 상기 소프트 몰드를 제거하는 단계를포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 소프트 몰드의 음각은 역사다리꼴 형상으로 구성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 21 항에 있어서,상기 가열단계의 가열온도는 상기 수지 용액에 포함된 용매의 끊는 점보다 높고, 상기 소프트 몰드의 양각에 대응하는 잔여 수용액의 거동온도(전이 온도)보다 높은 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 소프트 몰드는 탄성을 가지는 중합체인 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 스위칭 소자의 소스 전극은 상기 데이터 배선과 연결되고, 스위칭 소자의 드레인 전극은 상기 구동 소자의 게이트 전극과 연결되어 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 구동소자의 드레인 전극과 접촉하는 전원 배선(power line)이 더욱 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 제 1 전극은 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 상기 제 2 전극은 전자를 주입하는 음극전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자 제조바법.
- 제 26 항에 있어서,상기 양극 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 같은 일함수(work function)가 큰 물질그룹 중 선택하여 형성하고, 상기 음극 전극은 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg),리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중 금속을 포함하는 일 함수가 작은 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성한 유기전계 발광소자 제조방법.
- 제 98 항 내지 제 27 중 어느 한 항에 있어서,상기 발광층과 양극 전극 사이에 홀 수송층이 더욱 구성되고, 상기 발광층과 음극 전극 사이에 전자 수송층이 더욱 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030100668A KR100555598B1 (ko) | 2003-12-30 | 2003-12-30 | 유기전계 발광소자와 그 제조방법 |
US11/024,015 US7728509B2 (en) | 2003-12-30 | 2004-12-29 | Organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
CN2004101009847A CN1638545B (zh) | 2003-12-30 | 2004-12-30 | 有机电致发光显示器件及其制作方法 |
US12/693,165 US7956530B2 (en) | 2003-12-30 | 2010-01-25 | Organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030100668A KR100555598B1 (ko) | 2003-12-30 | 2003-12-30 | 유기전계 발광소자와 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050068853A KR20050068853A (ko) | 2005-07-05 |
KR100555598B1 true KR100555598B1 (ko) | 2006-03-03 |
Family
ID=34793205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030100668A KR100555598B1 (ko) | 2003-12-30 | 2003-12-30 | 유기전계 발광소자와 그 제조방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7728509B2 (ko) |
KR (1) | KR100555598B1 (ko) |
CN (1) | CN1638545B (ko) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1775780A1 (en) * | 2005-10-14 | 2007-04-18 | STMicroelectronics S.r.l. | Organic electroluminescent device and process for manufacturing the device |
US7990047B2 (en) | 2005-10-28 | 2011-08-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
EP1808913A1 (en) * | 2006-01-17 | 2007-07-18 | Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | A stamp for preparing a structured layer for use in an organic opto-electric device and a method for preparing such a stamp |
KR100826010B1 (ko) * | 2006-02-22 | 2008-04-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전계발광 표시장치의 제조방법 및 전계발광 표시장치 |
KR20070050762A (ko) * | 2006-06-29 | 2007-05-16 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | 오엘이디 디스플레이 소자의 격벽 형성방법 |
KR101308441B1 (ko) * | 2006-11-29 | 2013-09-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 패턴의 제조장치 및 이를 이용한 박막 패턴의제조방법 |
TWI438737B (zh) * | 2007-08-22 | 2014-05-21 | Creator Technology Bv | 可撓式顯示器及製造可撓式顯示器之方法 |
JP6159977B2 (ja) * | 2012-08-23 | 2017-07-12 | 株式会社Joled | 有機電子デバイスの製造方法および有機elデバイスの製造方法 |
CN105393334B (zh) * | 2013-03-29 | 2018-05-11 | 应用材料公司 | 压印有图案以形成隔离器件区域的基板 |
CN106067478A (zh) * | 2016-08-08 | 2016-11-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 像素界定层的制作方法与oled器件的制作方法 |
CN108091571A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-29 | 河海大学常州校区 | 一种减少晶体管制作步骤的方法 |
FR3079909B1 (fr) | 2018-04-05 | 2022-10-14 | Microoled | Dispositif electroluminescent a resolution et fiabilite ameliorees |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6037712A (en) * | 1996-06-10 | 2000-03-14 | Tdk Corporation | Organic electroluminescence display device and producing method thereof |
US5773931A (en) * | 1996-09-06 | 1998-06-30 | Motorola, Inc. | Organic electroluminescent device and method of making same |
US6175345B1 (en) * | 1997-06-02 | 2001-01-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Electroluminescence device, electroluminescence apparatus, and production methods thereof |
TW420964B (en) * | 1998-02-25 | 2001-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | Organic electroluminescence display substrate, method of manufacturing it and organic electroluminescent display element |
JP2001177509A (ja) | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | クロック載せ換え方法及び装置 |
TW484238B (en) * | 2000-03-27 | 2002-04-21 | Semiconductor Energy Lab | Light emitting device and a method of manufacturing the same |
JP3840926B2 (ja) * | 2000-07-07 | 2006-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el表示体及びその製造方法、並びに電子機器 |
WO2002041400A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Organic electroluminescent device and a method of manufacturing thereof |
KR100365519B1 (ko) | 2000-12-14 | 2002-12-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계발광 디바이스 및 이의 제조 방법 |
GB0107236D0 (en) | 2001-03-22 | 2001-05-16 | Microemissive Displays Ltd | Method of creating an electroluminescent device |
US6548961B2 (en) * | 2001-06-22 | 2003-04-15 | International Business Machines Corporation | Organic light emitting devices |
KR100403291B1 (ko) * | 2001-07-12 | 2003-10-30 | 네오뷰코오롱 주식회사 | 유기 전계발광 소자 및 그의 제조 방법 |
KR20030017246A (ko) | 2001-08-24 | 2003-03-03 | 주식회사 유피디 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성용 소프트 몰드제작방법 및 그를 이용한 격벽 형성방법 |
TWI258317B (en) * | 2002-01-25 | 2006-07-11 | Semiconductor Energy Lab | A display device and method for manufacturing thereof |
US7230592B2 (en) * | 2002-03-04 | 2007-06-12 | Hitachi, Ltd. | Organic electroluminescent light emitting display device |
KR100435054B1 (ko) | 2002-05-03 | 2004-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기전계 발광소자와 그 제조방법 |
KR100551131B1 (ko) | 2003-03-07 | 2006-02-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기전계 발광소자와 그 제조방법 |
-
2003
- 2003-12-30 KR KR1020030100668A patent/KR100555598B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-12-29 US US11/024,015 patent/US7728509B2/en active Active
- 2004-12-30 CN CN2004101009847A patent/CN1638545B/zh active Active
-
2010
- 2010-01-25 US US12/693,165 patent/US7956530B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050162061A1 (en) | 2005-07-28 |
CN1638545B (zh) | 2010-04-14 |
US7728509B2 (en) | 2010-06-01 |
US7956530B2 (en) | 2011-06-07 |
US20100156286A1 (en) | 2010-06-24 |
KR20050068853A (ko) | 2005-07-05 |
CN1638545A (zh) | 2005-07-13 |
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