KR100549003B1 - 넓은 튜닝 범위를 갖는 멤스 튜너블 커패시터 및 그것을제조하는 방법 - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 29
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 2
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000003351 stiffener Substances 0.000 description 2
- CZXRMHUWVGPWRM-UHFFFAOYSA-N strontium;barium(2+);oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Sr+2].[Ba+2] CZXRMHUWVGPWRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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- H01G5/01—Details
- H01G5/013—Dielectrics
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- H01G5/0136—Solid dielectrics with movable electrodes
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- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
- H01G5/14—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to longitudinal movement of electrodes
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/04—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
- H01G5/14—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to longitudinal movement of electrodes
- H01G5/145—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to longitudinal movement of electrodes with profiled electrodes
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
- H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping
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- 기판;상기 기판 상부의 동일레벨에 빗살(teeth of a comb) 모양으로 배열되되, 서로 전기적으로 연결된 복수개의 고정플레이트들;상기 복수개의 고정플레이트들을 덮는 커패시터 유전막;상기 유전막으로부터 이격되어 상기 복수개의 고정플레이트들 상부에 위치하되, 상기 고정플레이트들 각각에 대응되도록 배열된 이동플레이트들을 포함하는 이동플레이트 구조체;상기 이동플레이트 구조체가 수평방향으로 이동할 수 있도록 상기 이동플레이트 구조체에 연결된 스프링 구조체(spring structure);상기 기판 상에 고정되어 상기 스프링 구조체을 지지하는 지지부(supporter)를 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 1 항에 있어서,상기 이동플레이트 구조체는 상기 이동플레이트들을 물리적으로 연결하는 적어도 하나의 연결부(connecting part)를 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 2 항에 있어서,상기 적어도 하나의 연결부는 상기 이동플레이트들의 단부들을 연결하는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 3 항에 있어서,상기 복수개의 고정플레이트들 및 상기 이동플레이트들은 각각 동일한 폭들을 갖는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 4 항에 있어서,상기 복수개의 고정플레이트들 각각은 적어도 상기 이동플레이트들의 폭 만큼 서로 이격된 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 5 항에 있어서,상기 지지부에 연결된 파워라인을 더 포함하되,상기 파워라인은 상기 지지부 및 상기 스프링 구조체를 통해 상기 이동플레이트들에 전기적으로 연결되는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 6 항에 있어서,상기 복수개의 고정플레이트들 하부에 위치하여 상기 복수개의 고정플레이트들을 연결하는 하부배선을 더 포함하되, 상기 하부배선에 의해 상기 고정플레이트들이 전기적으로 연결되는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 제 7 항에 있어서,상기 하부배선과 상기 복수개의 고정플레이트들 각각을 전기적으로 연결하는 비아들을 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터.
- 기판 상에 층간절연막 및 상기 층간절연막에 의해 서로 이격되어 빗살모양으로 배열된 고정플레이트들을 형성하고,상기 고정플레이트들을 갖는 기판 상에 커패시터 유전막을 형성하고,상기 커패시터 유전막 상에 희생막 및 몰딩막을 차례로 형성하고,상기 몰딩막 및 희생막을 관통하여 상기 기판 상부에 고정되는 지지부를 형성하고,상기 몰딩막 내에 한정되는 스프링 구조체 및 이동플레이트 구조체를 형성하되, 상기 스프링 구조체는 상기 지지부 및 상기 이동플레이트 구조체를 연결하고, 상기 이동플레이트 구조체는 상기 고정플레이트들에 대응하는 이동플레이트들 및 상기 이동플레이트들을 연결하는 연결부를 포함하고,상기 몰딩막 및 상기 희생막을 제거하는 것을 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 스프링 구조체를 형성하는 것은 상기 몰딩막을 패터닝하여 상기 스프링 구조체 영역을 한정하는 그루브를 형성하고,상기 그루브를 채우는 스프링 도전막을 형성하고,상기 몰딩막이 노출될 때 까지 상기 스프링 도전막을 평탄화하는 것을 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 이동플레이트 구조체를 형성하는 것은 상기 스프링 구조체를 형성한 후, 상기 몰딩막을 다시 패터닝하여 이동플레이트 영역들 및 연결부 영역을 한정하는 다른 그루브들을 형성하고,상기 다른 그루브들을 채우는 이동플레이트 도전막을 형성하고,상기 몰딩막이 노출될 때 까지 상기 이동플레이트 도전막을 평탄화하는 것을 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 고정플레이트들을 형성하는 동안, 파워라인을 형성하는 것을 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 지지부를 형성하는 것은 상기 몰딩막, 상기 희생막 및 상기 커패시터 유전막을 차례로 패터닝하여 상기 파워라인을 노출시키는 개구부를 형성하고,상기 개구부를 채우는 지지 도전막을 형성하고,상기 몰딩막의 상부면이 노출될 때 까지 상기 지지 도전막을 평탄화하는 것을 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 몰딩막은 실리콘 산화막으로 형성되는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 몰딩막을 형성하기 전, 식각저지막(etch stopping layer)을 형성하는 것을 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 식각저지막은 알루미늄 산화막으로 형성하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 희생막은 실리콘 산화막 또는 알루미늄 산화막을 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 커패시터 유전막은 실리콘질화막, 탄탈륨산화막, 하프늄산화막, BST 및 ST로 이루어진 일군으로부터 선택된 적어도 하나의 막으로 형성하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 층간절연막 및 고정플레이트들을 형성하기 전, 하부절연막 및 상기 하부절연막에 의해 적어도 그것의 측벽들이 덮이는 하부배선을 형성하는 것을 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 층간절연막 및 고정플레이트들을 형성하는 동안, 상기 고정플레이트들 을 상기 하부배선에 연결시키는 비아들을 형성하는 것을 더 포함하는 MEMS 튜너블 커패시터 제조방법.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040007363A KR100549003B1 (ko) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | 넓은 튜닝 범위를 갖는 멤스 튜너블 커패시터 및 그것을제조하는 방법 |
US11/047,762 US7042698B2 (en) | 2004-02-04 | 2005-02-02 | MEMS tunable capacitor with a wide tuning range and method of fabricating the same |
US11/408,976 US7203052B2 (en) | 2004-02-04 | 2006-04-24 | Method of fabricating MEMS tunable capacitor with wide tuning range |
US11/444,357 US7394641B2 (en) | 2004-02-04 | 2006-06-01 | MEMS tunable capacitor with a wide tuning range |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040007363A KR100549003B1 (ko) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | 넓은 튜닝 범위를 갖는 멤스 튜너블 커패시터 및 그것을제조하는 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050079191A KR20050079191A (ko) | 2005-08-09 |
KR100549003B1 true KR100549003B1 (ko) | 2006-02-02 |
Family
ID=36912439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040007363A KR100549003B1 (ko) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | 넓은 튜닝 범위를 갖는 멤스 튜너블 커패시터 및 그것을제조하는 방법 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7042698B2 (ko) |
KR (1) | KR100549003B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101413067B1 (ko) | 2008-01-23 | 2014-07-01 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 어레이 타입의 가변 캐패시터 장치 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005015287A1 (ja) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 座屈型アクチュエータ |
JP4713990B2 (ja) * | 2005-09-13 | 2011-06-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置とその製造方法 |
US8043950B2 (en) | 2005-10-26 | 2011-10-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP4231062B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2009-02-25 | 株式会社東芝 | Mems素子 |
ES2565987T3 (es) * | 2006-08-29 | 2016-04-08 | California Institute Of Technology | Sensor de presión inalámbrico implantable microfabricado para su uso en aplicaciones biomédicas y métodos de medición de la presión y de implantación del sensor |
JP5896591B2 (ja) * | 2006-12-14 | 2016-03-30 | パーカー ハネフィン コーポレイションParker Hannifin Corporation | 容量性構造体、その製造方法およびその作動方法ならびに容量性構造体を備えたシステム |
US8890543B2 (en) * | 2007-06-13 | 2014-11-18 | Nxp B.V. | Tunable MEMS capacitor |
WO2009006318A1 (en) | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Artificial Muscle, Inc. | Electroactive polymer transducers for sensory feedback applications |
US8739390B2 (en) * | 2008-12-16 | 2014-06-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for microcontact printing of MEMS |
EP2239793A1 (de) | 2009-04-11 | 2010-10-13 | Bayer MaterialScience AG | Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung |
JP5050022B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-10-17 | 株式会社東芝 | Memsデバイス |
JP5418316B2 (ja) | 2010-03-11 | 2014-02-19 | 富士通株式会社 | Memsデバイス |
JP5743063B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2015-07-01 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体集積回路、半導体チップ、及び半導体集積回路の設計手法 |
WO2012118916A2 (en) | 2011-03-01 | 2012-09-07 | Bayer Materialscience Ag | Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films |
CN103703404A (zh) | 2011-03-22 | 2014-04-02 | 拜耳知识产权有限责任公司 | 电活化聚合物致动器双凸透镜*** |
JP5784513B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2015-09-24 | 株式会社東芝 | Memsデバイスおよびその製造方法 |
US9876160B2 (en) | 2012-03-21 | 2018-01-23 | Parker-Hannifin Corporation | Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices |
WO2013192143A1 (en) | 2012-06-18 | 2013-12-27 | Bayer Intellectual Property Gmbh | Stretch frame for stretching process |
WO2014066576A1 (en) | 2012-10-24 | 2014-05-01 | Bayer Intellectual Property Gmbh | Polymer diode |
US8932893B2 (en) * | 2013-04-23 | 2015-01-13 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of fabricating MEMS device having release etch stop layer |
KR102418952B1 (ko) * | 2017-08-31 | 2022-07-08 | 삼성전자주식회사 | 음성인식 기능을 갖는 가전제품 |
FR3077920B1 (fr) * | 2018-02-12 | 2022-04-08 | Thales Sa | Couche dielectrique specifique pour dispositif capacitif |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5015906A (en) * | 1989-11-03 | 1991-05-14 | Princeton University | Electrostatic levitation control system for micromechanical devices |
US6661637B2 (en) * | 1998-03-10 | 2003-12-09 | Mcintosh Robert B. | Apparatus and method to angularly position micro-optical elements |
US6000287A (en) * | 1998-08-28 | 1999-12-14 | Ford Motor Company | Capacitor center of area sensitivity in angular motion micro-electromechanical systems |
US6518084B1 (en) * | 1998-12-15 | 2003-02-11 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Method of producing a micromechanical structure for a micro-electromechanical element |
SE521733C2 (sv) | 1999-06-04 | 2003-12-02 | Ericsson Telefon Ab L M | Variabel kapacitans, lågpassfilter samt mikroelektromekaniskt omkopplingsarrangemang |
US6215644B1 (en) | 1999-09-09 | 2001-04-10 | Jds Uniphase Inc. | High frequency tunable capacitors |
US6417743B1 (en) * | 1999-09-21 | 2002-07-09 | Rockwell Science Center, Llc | Micro electromechanical isolator |
US6541831B2 (en) * | 2000-01-18 | 2003-04-01 | Cornell Research Foundation, Inc. | Single crystal silicon micromirror and array |
US6355534B1 (en) | 2000-01-26 | 2002-03-12 | Intel Corporation | Variable tunable range MEMS capacitor |
US6400550B1 (en) * | 2000-11-03 | 2002-06-04 | Jds Uniphase Corporation | Variable capacitors including tandem movers/bimorphs and associated operating methods |
KR20020085990A (ko) | 2001-05-10 | 2002-11-18 | 삼성전자 주식회사 | 비선형 mems 스프링을 이용한 튜너블 캐패시터 |
JP3890952B2 (ja) * | 2001-10-18 | 2007-03-07 | ソニー株式会社 | 容量可変型キャパシタ装置 |
US7109560B2 (en) * | 2002-01-18 | 2006-09-19 | Abb Research Ltd | Micro-electromechanical system and method for production thereof |
US6701779B2 (en) * | 2002-03-21 | 2004-03-09 | International Business Machines Corporation | Perpendicular torsion micro-electromechanical switch |
AU2003243546A1 (en) * | 2002-06-13 | 2003-12-31 | Wispry, Inc. | Micro-electro-mechanical system (mems) variable capacitor apparatuses and related methods |
US6556415B1 (en) * | 2002-06-28 | 2003-04-29 | Industrial Technologies Research Institute | Tunable/variable passive microelectronic components |
US6661069B1 (en) * | 2002-10-22 | 2003-12-09 | International Business Machines Corporation | Micro-electromechanical varactor with enhanced tuning range |
US6856499B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-02-15 | Northrop Gurmman Corporation | MEMS variable inductor and capacitor |
-
2004
- 2004-02-04 KR KR1020040007363A patent/KR100549003B1/ko active IP Right Grant
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2005
- 2005-02-02 US US11/047,762 patent/US7042698B2/en active Active
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2006
- 2006-04-24 US US11/408,976 patent/US7203052B2/en active Active
- 2006-06-01 US US11/444,357 patent/US7394641B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101413067B1 (ko) | 2008-01-23 | 2014-07-01 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 어레이 타입의 가변 캐패시터 장치 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20050168910A1 (en) | 2005-08-04 |
US7042698B2 (en) | 2006-05-09 |
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US20060215348A1 (en) | 2006-09-28 |
US7394641B2 (en) | 2008-07-01 |
US7203052B2 (en) | 2007-04-10 |
US20060187611A1 (en) | 2006-08-24 |
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