KR100537184B1 - System for automatic transtering operation of lot in manufacturing semiconductor process and method using for the same - Google Patents

System for automatic transtering operation of lot in manufacturing semiconductor process and method using for the same Download PDF

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KR100537184B1 KR10-2000-0029683A KR20000029683A KR100537184B1 KR 100537184 B1 KR100537184 B1 KR 100537184B1 KR 20000029683 A KR20000029683 A KR 20000029683A KR 100537184 B1 KR100537184 B1 KR 100537184B1
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

본 발명은 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법과 상기 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것임.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a system for automatically moving a lot process in a semiconductor manufacturing process, a method and a computer readable recording medium storing a program for realizing the method.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합 자동화 시스템을 이용하여 작업자의 개입없이 로트의 공정이동을 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공고자 함.The present invention provides a method for automatically moving a lot process in a semiconductor manufacturing process that can automatically perform a process movement of a lot without operator intervention by using an integrated automation system for semiconductor line management distributed and operated by a plurality of servers. And to provide a computer-readable recording medium recording a program for realizing this.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

본 발명은, 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 방법에 있어서, 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정이동을 요청하는 제 1 단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정이동 요청을 수신한 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 확인하는 제 2 단계; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 상기 데이터를 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 및 카세트 정보를 갱신하는 제 3 단계; 상기 셀 관리 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 이력정보 서버 큐 파일에 저장하는 제 4 단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 로트 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스에 저장하는 제 5 단계를 포함함.The present invention provides a method for automatically moving a lot process in a semiconductor manufacturing process, comprising: a first step of requesting a lot process movement using an operator interface process; A second step of the worker interface server receiving the lot process movement request from the worker interface process, confirming data necessary for process movement of the lot in a master database; A third step of the cell management server receiving data necessary for process movement of the lot from the worker interface server, checking the data in the master database, and updating the lot information and the cassette information of the master database; A fourth step of the cell management server storing data necessary for process movement of the lot in a history information server queue file; And a fifth step of the lot history information server receiving the message from the cell management server, acquiring the data necessary for the process movement of the lot from the history information server queue file and storing the data in a history database.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

본 발명은 로트 자동이동 시스템 등에 이용됨.The present invention is used in the lot automatic moving system.

Description

반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR AUTOMATIC TRANSTERING OPERATION OF LOT IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PROCESS AND METHOD USING FOR THE SAME} LOTTE MANUFACTURING SYSTEM AND METHOD THEREOF {SYSTEM FOR AUTOMATIC TRANSTERING OPERATION OF LOT IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PROCESS AND METHOD USING FOR THE SAME}

본 발명은 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것으로, 특히, 작업자의 부가 작업없이 로트의 공정을 다른 공정으로 이동시킬 수 있는 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.The present invention relates to a system for automatically processing a lot process in a semiconductor manufacturing process and a method thereof, and to a computer readable recording medium having recorded thereon a program for realizing the same. The present invention relates to a system for automatically processing a lot process in a semiconductor manufacturing process that can be moved, and a method thereof, and a computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing the same.

일반적으로, 반도체 제조공정에서는 로트의 공정이 각 장비 단위의 단위공정으로 이루어지며 그 공정이 끝난 후에는 해당 로트를 다음 공정으로 이동시켜야 하므로 로트의 공정을 이동하는 방법이 필요하다.In general, in the semiconductor manufacturing process, the process of the lot consists of a unit process of each equipment unit, and after the process is completed, the corresponding lot must be moved to the next process, so a method of moving the process of the lot is required.

종래에는 해당 공정을 마친 로트가 작업자에 의해 다음 공정으로 이동되고, 로트 공정이동에 관련된 데이터의 관리도 작업자에 의해 이루어졌다.Conventionally, the lot which completed the process is moved to the next process by the worker, and the management of the data concerning a lot process movement was also performed by the worker.

그러나, 상기한 바와 같은 종래의 로트의 공정이동 방법은, 작업자에 의해 로트의 공정이동이 수행되므로, 제조장비의 공정진행 시간을 관리할 수 없고, 진행공정에 대한 정확한 작업 데이터를 수집할 수 없으며, 다음 공정장비로 이동하는데 시간이 많이 소요되는 문제가 있다.However, the process movement method of the conventional lot as described above, because the process movement of the lot is performed by the operator, it is not possible to manage the process progress time of the manufacturing equipment, it is not possible to collect the accurate work data for the progress process However, there is a problem that it takes a long time to move to the next process equipment.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합 자동화 시스템을 이용하여 작업자의 개입없이 로트의 공정이동을 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다. Therefore, the present invention devised to solve the above problems, a semiconductor that can automatically perform the process movement of the lot without the operator's intervention by using the integrated automation system for semiconductor line management distributed and operated in a plurality of servers It is an object of the present invention to provide a lot-process automatic moving system in a manufacturing process and a method thereof, and a computer-readable recording medium recording a program for realizing the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 시스템은, 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템에 있어서, 로트 공정진행 중지 요청을 입력받는 작업자 인터페이스 수단; 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 공정자동 이동 요청을 확인 및 전송하는 서버수단; 및 상기 로트 공정자동 이동 요청에 관련된 데이터를 저장하는 저장수단을 포함한다.A system of the present invention for achieving the above object is a lot process automatic moving system in a semiconductor manufacturing process, comprising: an operator interface means for receiving a request to stop the lot process progress; Server means for checking and transmitting the lot process automatic movement request received from the operator interface means; And storage means for storing data related to the lot process automatic movement request.

또한, 본 발명의 방법은, 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 방법에 있어서, 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정이동을 요청하는 제 1 단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정이동 요청을 수신한 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 확인하는 제 2 단계; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 상기 데이터를 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 및 카세트 정보를 갱신하는 제 3 단계; 상기 셀 관리 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 이력정보 서버 큐 파일에 저장하는 제 4 단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 로트 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스에 저장하는 제 5 단계를 포함한다.In addition, the method of the present invention includes a method for automatically moving a lot process in a semiconductor manufacturing process, comprising: a first step of requesting a lot process movement using an operator interface process; A second step of the worker interface server receiving the lot process movement request from the worker interface process, confirming data necessary for process movement of the lot in a master database; A third step of the cell management server receiving data necessary for process movement of the lot from the worker interface server, checking the data in the master database, and updating the lot information and the cassette information of the master database; A fourth step of the cell management server storing data necessary for process movement of the lot in a history information server queue file; And a fifth step of the lot history information server receiving the message from the cell management server, acquiring the data necessary for the process movement of the lot from the history information server queue file and storing the data in the history database.

그리고, 본 발명은, 마이크로 프로세서를 구비한 반도체 공정자동화 시스템에, 작업자 인터페이스 프로세스를 통한 로트 공정이동 요청을 수신하는 제 1 기능; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정이동 요청을 수신한 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 확인하도록 하는 제 2 기능; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 상기 데이터를 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 및 카세트 정보를 갱신하도록 하는 제 3 기능; 상기 셀 관리 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 이력정보 서버 큐 파일에 저장하도록 하는 제 4 기능; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 로트 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스에 저장하도록 하는 제 5 기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 포함한다.The present invention provides a semiconductor process automation system having a microprocessor, comprising: a first function of receiving a lot process movement request through an operator interface process; A second function of allowing a worker interface server receiving a lot process movement request from the worker interface process to check data necessary for process movement of the lot in a master database; A third function of allowing a cell management server, which has received data necessary for process movement of the lot from the operator interface server, to check the data in the master database and to update the lot information and the cassette information of the master database; A fourth function of causing the cell management server to store data necessary for process movement of the lot in a history information server queue file; And a program for realizing a fifth function of allowing the lot history information server, which has received a message from the cell management server, to acquire data necessary for process movement of the lot from the history information server queue file and store it in a history database. It includes a readable recording medium.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명이 적용되는 로트 공정 자동이동 시스템의 일실시예 블록 다이어그램이다.도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 로트 공정 자동이동 시스템은, 작업자가 로트의 공정이동 데이터를 입력 할 수 있는 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)에서 입력된 로트의 공정이동 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버(202)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 공정이동 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 수신된 데이터를 확인하고 데이터를 갱신할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보, 장비 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스(204)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트 공정이동 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정이동 데이터를 확인하는 셀 관리 서버(206)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 로트의 공정이동 데이터를 확인하고 그 확인결과를 기준으로 생성하는 작업 데이터 파일(208)과, 상기 셀 관리 서버(206)로부터 로트의 공정이동 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에 저장하는 데이터 수집서버(210), 상기 데이터 수집서버(210)가 로트의 공정이동 데이터를 기준으로 생성하는 데이터 파일(212)과, 상기 셀 관리 서버(206)로부터 로트의 공정이동 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정스케쥴을 갱신하는 로트 스케쥴 서버(214)와, 상기 셀 관리 서버(206)가 로트 공정이동 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일(216)과, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버(218)와, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 저장하는 이력 데이터베이스(220)를 포함한다.1 is a block diagram of an embodiment of a lot process automatic movement system to which the present invention is applied. Referring to FIG. 1, a lot process automatic movement system according to the present embodiment may allow an operator to input process movement data of a lot. A worker interface process 200 for providing a live environment, a worker interface server 202 for checking and transmitting process movement data of the lot inputted from the worker interface process 200, and a lot from the worker interface process 200. A master database 204 storing lot information, cassette information, equipment information and process information so that the operator interface server 202 receiving the process movement data can check the received data and update the data; Lot process movement data is received from the interface server 202 to receive the master database. The cell management server 206 confirms the process movement data of the corresponding lot in the switch 204, and the work data file that the operator interface server 202 checks the process movement data of the lot and generates the reference based on the result of the confirmation. 208 and the data collection server 210 which receives the process movement data of the lot from the cell management server 206 and stores the process movement data of the lot in the master database 204, and the data movement server 210 stores the process movement data of the lot. A lot schedule server 214 which receives the data of the lot generated from the cell file server 212 and the cell management server 206, and updates the process schedule of the corresponding lot in the master database 204; The cell management server 206 manages the history information server queue file 216 for temporarily storing the lot process movement data, and the history and status of the lot and the ongoing work. And a lot history information server 218, and a lot and a history database 220 for storing the history and status of the ongoing operation comprising: receiving a message from the management server.

이하, 상기와 같이 구성된 로트 공정 자동이동 시스템에서의 처리 과정을 도 2 내지 도 5 를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a process of the lot process automatic moving system configured as described above will be described with reference to FIGS. 2 to 5.

도 2 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating an exemplary process for performing a method for automatically moving a lot process in a semiconductor manufacturing process according to the present invention.

도 2를 참조하면, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 이용하여 로트 공정이동 요청 및 로트 공정이동 데이터를 입력하면(S300), 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200) 및 작업자 인터페이스 서버(202)는 로트 공정이동 데이터를 송수신한다(S302).Referring to FIG. 2, when a worker inputs a lot process movement request and lot process movement data using the worker interface process 200 (S300), the worker interface process 200 and the worker interface server 202 process the lot process. The mobile data is transmitted and received (S302).

상기 로트 공정이동 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)에서 로트의 공정이동 데이터를 확인하고, 마스터 데이터베이스(204)를 갱신한 후(S304), 셀 관리 서버(206)로 로트의 공정이동 데이터를 전송한다(S306).After receiving the lot process movement data, the operator interface server 202 checks the process movement data of the lot in the master database 204, updates the master database 204 (S304), and then the cell management server 206. Process movement data of the lot is transmitted (S306).

상기 로트의 공정이동 데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)는 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 로트이 공정이동에 필요한 데이터를 확인하고, 마스터 데이터베이스(204)의 로트 정보 테이블 및 카세트 정보 테이블에 해당 로트의 정보를 설정 및 갱신한 후(S308), 그 결과를 상기 작업자 인터페이스 서버(202) 및 데이터 수집 서버(210)로 전송한다(S310).The cell management server 206 receiving the process movement data of the lot checks the data necessary for the process movement in the master database 204, and checks the lot information in the lot information table and the cassette information table of the master database 204. After setting and updating the information (S308), the result is transmitted to the operator interface server 202 and the data collection server 210 (S310).

상기 셀 관리 서버(206)는 로트의 공정이동 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일(216)에 저장하고(S312), 이력 정보 서버(218)로 상기 이력 정보 서버 큐 파일(216)에 로트의 공정이동 데이터를 기록하였다는 메세지를 전송한다(S314).The cell management server 206 stores the process movement data of the lot in the history information server queue file 216 (S312), and the process movement of the lot in the history information server queue file 216 to the history information server 218. The message that the data has been transmitted is transmitted (S314).

상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(218)는 상기 작업 데이터 파일(208) 및 이력 정보 서버 큐 파일(216)로부터 로트의 공정이동 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(220)를 갱신한다(S316).The history information server 218 receiving the message from the cell management server 206 obtains the process movement data of the lot from the job data file 208 and the history information server queue file 216 to generate the history database 220. Update (S316).

첨부된 도 3 은 상기 도 2 에서 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 공정이동 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 마스터 데이터베이스(204)에서 로트의 공정이동 데이터를 확인하고, 마스터 데이터베이스(204)를 갱신하는 과정(S304)의 상세흐름도이다.도 3을 참조하면, 작업자 인터페이스 서버(202)가 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한 로트의 공정이동 데이터 중 작업자 정보를 확인하고(S400), 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트가 이동할 장비의 개발장비 정보 테이블을 선택하여 장비모드, 포트상태, 처리중인 카세트 수 및 사용 가능한 베이(bay)번호를 확인한 후(S402), 확인된 데이터를 이용하여 작업 데이터(208)를 생성한다(S404).3, the worker interface server 202, which has received the lot movement data from the worker interface process 200 in FIG. 2, checks the movement data of the lot in the master database 204, and the master database 204. 3, the worker interface server 202 checks the worker information among the process movement data of the lot received from the worker interface process 200 (S400). After selecting the development equipment information table of the equipment to which the lot will move in the master database 204, checking the equipment mode, the port status, the number of cassettes and the available bay number (S402), and confirming the confirmed data. The job data 208 is generated by using (S404).

상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 데이터 수집 및 손실여부를 확인하고(S406), 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 공정정보 테이이블을 선택하여 데이터 변환 및 로트의 공정이동 가능여부를 확인한 후(S408), 개별장비 정보 테이블을 선택하여 장비모드 정보를 획득하여(S410), 장비가 로트를 기본으로 공정을 진행하는 장비인지 판단한다(S412).After the operator interface server 202 confirms whether the data is collected and lost (S406), and after selecting the process information table from the master database 204 to confirm whether or not the process of the data conversion and lot movement (S408), By selecting the individual equipment information table to obtain the equipment mode information (S410), it is determined whether the equipment proceeds to the process based on the lot (S412).

판단결과 로트 기본 장비일 경우, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)에서 이벤트 사용가능성을 확인하고(S414), 장비 상태를 설정한 후(S416), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 개별장비 정보 테이블에 처리할 로트의 수 및 포트 상태를 설정한다(S418).If the determination result is the lot basic equipment, the operator interface server 202 checks the event availability in the master database 204 (S414), after setting the equipment state (S416), the individual of the master database 204 The number of ports to be processed and the port state are set in the equipment information table (S418).

한편, 판단결과 로트 기본 장비가 아닐 경우, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)에서 이벤트 사용 가능성을 확인하고(S420), 상기 단계 S418를 진행한다.On the other hand, if it is determined that the lot is not the basic equipment, the operator interface server 202 checks the event availability in the master database 204 (S420), and proceeds to step S418.

이후, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)의 장비그룹 정보 테이블의 데이터를 갱신하고(S4422), 해당 로트가 이동할 공정이 정밀검사 이전 공정인지를 판단한다(S424).Thereafter, the operator interface server 202 updates the data of the equipment group information table of the master database 204 (S4422), and determines whether the process to move the lot is the process before the overhaul (S424).

판단결과 정밀검사 이전 공정일 경우, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)에 해당 로트의 로트관련 데이터를 삽입하고, 정밀검사 이전 공정이 아닐 경우 다음 단계를 진행한다.If the determination result is the process before the overhaul, the operator interface server 202 inserts the lot-related data of the lot into the master database 204, and proceeds to the next step if not the process before the overhaul.

첨부된 도 4a 내지 도 4c는 상기 도 2 에서 로트의 공정이동 데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)가 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 로트이 공정이동에 필요한 데이터를 확인하고, 마스터 데이터베이스(204)의 로트 정보 테이블 및 카세트 정보 테이블에 해당 로트의 정보를 설정 및 갱신하는 과정(S308)의 상세흐름도이다.도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 상기 셀 관리 서버(206)가 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트의 공정이동 데이터를 수신하여, 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 장비 아이디와 장비가 위치한 공정영역을 확인하고(S500), 장비그룹 정보 테이블에서 장비 그룹을 확인한다(S502).4A to 4C show that the cell management server 206 receiving the process movement data of the lot in FIG. 2 checks the data necessary for the process movement of the lot in the master database 204, and checks the data of the master database 204. Detailed flowchart of the process of setting and updating the information of the corresponding lot in the lot information table and the cassette information table (S308). Referring to FIGS. 4A to 4C, the cell management server 206 is connected to the operator interface server 202. After receiving the process movement data of the lot, the master database 204 checks the equipment ID and the process area where the equipment is located (S500), and checks the equipment group in the equipment group information table (S502).

상기 셀 관리 서버(206)는 상기 마스터 데이터베이스(204)의 로트 정보 테이블, 공정정보 테이블에서 해당 로트의 정보를 판독하여(S504), 이동할 공정의 장비에 카세트가 있는지를 판단한다(S506).The cell management server 206 reads the information of the corresponding lot from the lot information table and the process information table of the master database 204 (S504), and determines whether there is a cassette in the equipment of the process to be moved (S506).

판단결과 카세트가 있을 경우, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블을 판독하고(S508), 수신된 로트의 공정이동 데이터에서 로트 상태, 로트의 진행중지 여부, 공정 및 단위공정을 확인한다(S510).As a result of the determination, if there is a cassette, the cell management server 206 reads the cassette information table of the master database 204 (S508), and the lot status, whether the lot is in progress, the process and Check the unit process (S510).

한편, 판단결과 카세트가 없을 경우, 상기 단계 S510을 진행한다.On the other hand, if there is no cassette as a result of the determination, step S510 is performed.

상기 셀 관리 서버(206)는 해당 로트가 이동할 공정의 장비에 카세트가 있는지를 판단한다(S512).The cell management server 206 determines whether there is a cassette in the equipment of the process to move the lot (S512).

판단결과 카세트가 있을 경우, 상기 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블에서 해당 로트의 아이디를 확인하고(S514), 웨이퍼 수량을 확인한 후(S516), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 개별장비 정보 테이블에서 해당로트의 측정 생략 횟수를 설정한다(S518).As a result of the determination, if there is a cassette, the ID of the corresponding lot is checked in the cassette information table of the master database 204 (S514), and after confirming the wafer quantity (S516), the individual equipment information table of the master database 204 The number of measurement skips of the corresponding lot is set (S518).

판단결과 카세트가 없을 경우, 상기 단계 S518을 진행한다.If there is no cassette as a result of the determination, step S518 is performed.

이후, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 개별장비 정보 테이블에서 해당 로트가 진행할 다음 공정과 단위공정 정보를 획득하고, 재작업시 진행할 공정과 단위공정 정보를 획득한 후(S520), 상기 개별장비 정보 테이블에서 작업 데이터 수집을 위한 공정과 단위공정을 설정한다(S522).Thereafter, the cell management server 206 obtains the next process and unit process information to be performed by the corresponding lot from the individual equipment information table of the master database 204, and acquires process and unit process information to be processed when reworking (S520). In step S522, a process and a unit process for collecting work data are set in the individual equipment information table.

이어서, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 로트정보 테이블에서 로트가 공정을 이동하기 전에 진행한 장비의 아이디를 제거하고(S524), 해당 로트의 웨이퍼 수량 및 로트의 공정과 단위공정을 설정한 후(S526), 해당 로트의 제한 공정과 단위 공정을 해제한다(S528).Subsequently, the cell management server 206 removes the ID of the equipment that has been processed before the lot moves the process from the lot information table of the master database 204 (S524), and the wafer quantity of the corresponding lot and the process and unit of the lot. After the process is set (S526), the limit process and the unit process of the lot is released (S528).

상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 공정 정보 테이블에서 처리 종료시간을 설정하고(S530), 로트의 공정이동 여부, 작업자 정보, 장비그룹 아이디, 로트 상태, 식각 샘플 공정을 위한 예약 장비 정보 및 확산공정을 위한 로트정보를 설정한다(S532).The cell management server 206 sets the process end time in the process information table of the master database 204 (S530), and whether or not process movement of the lot, worker information, equipment group ID, lot state, reservation for etching sample process Equipment information and lot information for the diffusion process is set (S532).

이후, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 로트 정보 테이블 및 공정정보 테이블을 갱신하고(S534), 해당 로트가 카세트에 담겨져 있는가를 판단한다(S536).Thereafter, the cell management server 206 updates the lot information table and the process information table of the master database 204 (S534), and determines whether the corresponding lot is contained in the cassette (S536).

판단결과 카세트가 있을 경우, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블에서 해당 카세트의 상태를 설정하고(S538), 해당 카세트가 교환됐는가를 판단한다(S540).As a result of the determination, if there is a cassette, the cell management server 206 sets the state of the cassette in the cassette information table of the master database 204 (S538), and determines whether the cassette is replaced (S540).

한편, 판단(S540) 결과 카세트가 교환되었을 경우, 상기 셀 관리 서버(206)는 이전 공정에서 해당로트를 담고 있던 제 1 카세트의 데이터를 상기 마스터 데이터베이스(204) 카세트 정보 테이블에서 다음 공정에서 해당 로트를 담게될 제 2 카세트의 정보로 이동시키고(S542), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블에서 제품 웨이퍼 수량 및 장비그룹 아이디를 설정한다(S544).On the other hand, when the cassette is exchanged as a result of determination (S540), the cell management server 206 stores the data of the first cassette containing the corresponding lot in the previous process in the corresponding process in the next process in the master database 204 cassette information table. Move to the information of the second cassette to contain (S542), and sets the product wafer quantity and equipment group ID in the cassette information table of the master database (204) (S544).

한편, 판단(S540) 결과, 카세트가 교환되지 않았을 경우 상기 셀 관리 서버(206)는 단계 S544를 진행한다.On the other hand, if the cassette is not exchanged as a result of determination (S540), the cell management server 206 proceeds to step S544.

단계 S544 진행 후, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블에서 로트의 이전공정을 진행한 장비의 아이디를 제거하고(S546), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블을 갱신한다(S548).After proceeding to step S544, the cell management server 206 removes the ID of the equipment that has performed the transfer of the lot from the cassette information table of the master database 204 (S546), the cassette information table of the master database 204 Update (S548).

이어서, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)의 로트정보 테이블, 공정정보 테이블 및 카세트 정보 테이블을 갱신한다(S550).Subsequently, the cell management server 206 updates the lot information table, the process information table, and the cassette information table of the master database 204 (S550).

한편, 상기 단계 S536의 판단결과, 카세트가 없을 경우에는 상기 셀 관리 서버(206)는 단계 S550을 진행한다.On the other hand, if there is no cassette as a result of the determination in step S536, the cell management server 206 proceeds to step S550.

첨부된 도 5 는 상기 도 2 에서 상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(218)가 상기 작업 데이터 파일(208) 및 이력 정보 서버 큐 파일(216)로부터 로트의 공정이동 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(220)를 갱신하는 과정(S316)의 상세흐름도이다.도 5를 참조하면, 상기 이력 정보 서버(218)가 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신하고, 상기 이력 정보 서버 큐 파일(216)에서 해당 로트의 공정이동 데이터를 획득하여, 상기 이력 데이터베이스(220)에서 해당 로트의 로트상태 이력 테이블을 선택한다(S600).5, the history information server 218 receiving the message from the cell management server 206 in FIG. 2 moves the lot from the job data file 208 and the history information server queue file 216. 5 is a detailed flowchart of a process of obtaining data and updating the history database 220. Referring to FIG. 5, the history information server 218 receives a message from the cell management server 206, and the history information. The process movement data of the corresponding lot is obtained from the server queue file 216, and the lot state history table of the corresponding lot is selected from the history database 220 (S600).

상기 이력 정보 서버(218)는 이력 정보 서버 큐 파일(216)로부터 획득한 로트의 공정이동에 필요한 데이터에서 해당 로트의 공정, 로트 진행 중지 여부, 웨이퍼 수량, 로트 공정 처리여부등의 정보를 확인하고(S602), 그 확인된 결과를 기준으로 상기 이력 데이터베이스(220)의 로트상태 이력 테이블을 갱신한 후(S604), 해당 로트가 공정을 진행하고 있는가를 판단한다(S606).The history information server 218 checks information such as the process of the lot, whether the lot is stopped, wafer quantity, lot process processing, and the like from the data necessary for the process movement of the lot obtained from the history information server queue file 216. (S602) After updating the lot state history table of the history database 220 based on the confirmed result (S604), it is determined whether the corresponding lot is in process (S606).

판단결과, 로트가 공정을 진행하고 있을 경우, 상기 이력 정보 서버(218)는 이력 데이터베이스(220)에서 해당 로트의 로트 이력 테이블을 선택하여(S608), 갱신하고(S610), 상기 이력 데이터베이스(220)의 공정진행 상태 테이블 및 해당 로트의 다음 공정정보를 갱신한다(S612).As a result of determination, when the lot is in process, the history information server 218 selects a lot history table of the corresponding lot from the history database 220 (S608), updates it (S610), and the history database 220 ), The process progress status table and the next process information of the corresponding lot is updated (S612).

한편, 판단결과, 로트가 공정을 진행하고 있지 않을 경우, 상기 이력 정보 서버(218)는 이력 데이터베이스(220)의 로트 이력 테이블에 로트의 공정이동 정보를 삽입하고(S614), 단계 S612를 진행한다.On the other hand, if it is determined that the lot is not in the process, the history information server 218 inserts the process movement information of the lot into the lot history table of the history database 220 (S614), and proceeds to step S612. .

단계 S612 진행 후, 상기 이력 정보 서버(218)는 이력 데이터베이스(220)의 로트명령 이력 테이블에 해당 로트의 공정이동 명령을 추가한다(S616).After proceeding to step S612, the history information server 218 adds a process movement command of the corresponding lot to the lot command history table of the history database 220 (S616).

이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다. The present invention described above is capable of various substitutions, modifications, and changes without departing from the spirit of the present invention for those skilled in the art to which the present invention pertains. It is not limited to the drawing.

상기와 같은 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합 자동화 시스템을 이용하여 작업자의 개입없이 로트의 공정이동을 자동으로 수행하여 로트의 공정이동에 필요한 인력 및 시간을 단축시킴으로써 결과적으로 생산효율을 향상시키는 효과가 있다. The present invention as described above, by using the integrated automation system for semiconductor line management distributed to a plurality of servers to automatically perform the process movement of the lot without the operator's intervention by reducing the manpower and time required for the process movement of the lot As a result, there is an effect of improving the production efficiency.

도 1 은 본 발명이 적용되는 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템의 일실시예 블록 다이어그램.1 is a block diagram of an embodiment of a lot process automatic movement system in a semiconductor manufacturing process to which the present invention is applied.

도 2 는 본 발명에 따른 로트 공정 자동이동 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도.Figure 2 is an embodiment processing flow diagram for performing the lot process automatic moving method according to the present invention.

도 3 은 상기 도 2 의 로트 공정 자동이동 방법을 수행하기 위한 작업자 인터페이스 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.FIG. 3 is a detailed flowchart illustrating an embodiment of a worker interface server for performing the lot process automatic moving method of FIG. 2.

도 4a 내지 도 4c는 상기 도 2 의 로트 공정 자동이동 방법을 수행하기 위한 셀 관리 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.4A through 4C are detailed flowcharts of an embodiment of a cell management server for performing the lot process automatic moving method of FIG. 2.

도 5 는 상기 도 2 의 로트 공정 자동이동 방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.FIG. 5 is a detailed flowchart illustrating an exemplary embodiment of a history information server for performing the lot process automatic moving method of FIG. 2.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

200 : 작업자 인터페이스 프로세스 202: 작업자 인터페이스 서버200: worker interface process 202: worker interface server

204 : 마스터 데이터베이스 206 : 셀 관리 서버204: master database 206: cell management server

208 : 작업 데이터 파일 210 : 데이터 수집 서버208: Job Data File 210: Data Collection Server

212 : 데이터 파일 214 : 로트 스케쥴 서버212: Data File 214: Lot Schedule Server

216 : 이력 정보 서버 큐 파일 218 : 이력 정보 서버216: history information server queue file 218: history information server

220 : 이력 데이터베이스220: history database

Claims (8)

반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 시스템에 있어서,In the lot process automatic movement system in a semiconductor manufacturing process, 로트 공정진행 중지 요청을 입력받는 작업자 인터페이스 수단;An operator interface means for receiving a request to stop processing the lot process; 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 공정자동 이동 요청을 확인 및 전송하는 서버수단; 및Server means for checking and transmitting the lot process automatic movement request received from the operator interface means; And 상기 로트 공정자동 이동 요청에 관련된 데이터를 저장하는 저장수단Storage means for storing data related to the lot process automatic movement request 을 포함하는 로트 공정 자동이동 시스템.Lot process automatic moving system comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서버수단은,The server means, 상기 작업자 인터페이스 프로세스에서 입력된 로트 공정이동 데이터를 상기 저장수단에서 확인하고, 전송하는 작업자 인터페이스 서버;A worker interface server which checks and transmits lot process movement data input in the worker interface process in the storage means; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정이동 데이터를 수신하여 상기 저장수단에서 해당 로트의 공정이동 데이터를 확인하는 셀 관리 서버;A cell management server for receiving lot process movement data from the operator interface server and confirming process movement data of the corresponding lot in the storage unit; 상기 셀 관리 서버로부터 로트 공정이동 데이터를 수신하여 상기 저장수단을 갱신하고 해당 로트의 데이터를 저장하는 데이터 수집서버;A data collection server which receives lot process movement data from the cell management server, updates the storage means and stores data of the corresponding lot; 상기 셀 관리 서버로부터 로트 공정이동 데이터를 수신하여 상기 저장수단에서 해당 로트의 공정스케쥴을 갱신하는 로트 스케쥴 서버; 및A lot schedule server for receiving lot process movement data from the cell management server and updating the process schedule of the corresponding lot in the storage means; And 상기 로트 공정이동 데이터를 수신하여 상기 저장수단의 해당 로트 이력에 저장하는 로트 이력 정보 서버를 포함하는 로트 공정 자동이동 시스템.And a lot history information server for receiving the lot process movement data and storing the lot process movement data in a corresponding lot history of the storage means. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 저장수단은,The storage means, 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정이동 데이터를 확인 및 갱신할 수 있도록 로트, 카세트, 장비 및 공정정보를 저장하고 있는 마스터 데이터베이스;A master database storing lot, cassette, equipment and process information so that the operator interface server can check and update the lot process movement data; 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정이동 데이터 확인결과를 기준으로 생성하는 작업 데이터 파일;A job data file generated by the operator interface server based on a result of checking lot process movement data; 상기 데이터 수집서버가 로트 공정이동 데이터를 기준으로 생성하는 데이터 파일;A data file generated by the data collection server based on the lot process movement data; 상기 셀 관리 서버가 로트 공정이동 데이터를 임시 저장하는 이력정보 서버 큐 파일; 및A history information server queue file in which the cell management server temporarily stores lot process movement data; And 상기 로트 이력정보 서버가 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 저장하는 이력 데이터베이스를 포함하는 로트 공정 자동이동 시스템.The lot history automatic transfer system including a history database for storing the history and status of the lot and the ongoing work in the lot history information server. 반도체 제조공정에서의 로트 공정 자동이동 방법에 있어서,In the lot process automatic movement method in a semiconductor manufacturing process, 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정이동을 요청하는 제 1 단계;A first step of requesting a lot movement using an operator interface process; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정이동 요청을 수신한 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 확인하는 제 2 단계;A second step of the worker interface server receiving the lot process movement request from the worker interface process, confirming data necessary for process movement of the lot in a master database; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 상기 데이터를 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 및 카세트 정보를 갱신하는 제 3 단계;A third step of the cell management server receiving data necessary for process movement of the lot from the worker interface server, checking the data in the master database, and updating the lot information and the cassette information of the master database; 상기 셀 관리 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 이력정보 서버 큐 파일에 저장하는 제 4 단계; 및A fourth step of the cell management server storing data necessary for process movement of the lot in a history information server queue file; And 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 로트 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스에 저장하는 제 5 단계A fifth step in which the lot history information server receiving the message from the cell management server obtains data necessary for process movement of the lot from the history information server queue file and stores the data in a history database; 를 포함하는 로트 자동 공정이동 방법.Lot automatic process movement method comprising a. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 단계는,The second step, 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 작업자 정보를 확인하는 제 6 단계;A sixth step of the worker interface server confirming worker information in the master database; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 장비모드, 포트상태, 상기 장비에서 처리중인 카세트 수 및 사용가능한 베이 번호를 확인하는 제 7 단계;A seventh step of the operator interface server confirming an equipment mode, a port state, the number of cassettes being processed in the equipment and an available bay number in the master database; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 확인된 데이터를 기준으로 작업 데이터 파일을 생성하고 데이터의 손실여부를 확인하는 제 8 단계;An eighth step of the worker interface server generating a job data file based on the identified data and confirming whether data is lost; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동 가능 여부를 확인하는 제 9 단계;A ninth step of the worker interface server confirming whether the lot can be moved in the master database; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 처리할 로트 수 및 포트의 상태를 설정하고, 상기 로트가 진행할 장비의 장비그룹 정보를 갱신하는 제 10 단계; 및 A tenth step of setting, by the operator interface server, a lot number and a state of a port to be processed in the master database, and updating equipment group information of equipment to be processed by the lot; And 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 11 단계를 포함하는 로트 공정 자동이동 방법.And the eleventh step of transmitting, by the operator interface server, data necessary for process movement of the lot to a cell management server. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 제 3 단계는,The third step, 상기 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 장비 아이디 및 장비가 위치한 공정영역 및 장비 그룹을 확인하는 제 6 단계;A sixth step of the cell management server identifying a device ID and a process area and a device group in which the device is located in the master database; 상기 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 로트 정보 및 공정정보를 판독하여 로트상태, 로트의 진행중지 여부, 공정 및 단위공정을 확인하는 제 7 단계;A seventh step of the cell management server reading the lot information and the process information from the master database to check the lot status, whether the lot is in progress, a process and a unit process; 상기 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 카세트에 적재된 로트의 아이디 및 웨이퍼의 수량을 확인하는 제 8 단계;An eighth step of the cell management server confirming an ID of a lot loaded in a cassette and a quantity of wafers in the master database; 상기 셀 관리 서버가 상기 로트의 재작업시 진행할 공정과 단위공정 정보를 획득하고, 진행한 공정의 장비아이디를 제거하는 제 9 단계;A ninth step of the cell management server acquiring process and unit process information to be performed when reworking the lot and removing equipment ID of the process; 상기 셀 관리 서버가 상기 로트의 웨이퍼 수량, 상기 로트가 진행할 공정 및 단위공정을 설정하는 제 10 단계;A tenth step of setting, by the cell management server, a wafer quantity of the lot, a process to be performed by the lot, and a unit process; 상기 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 로트정보 및 카세트의 상태 설정하고, 카세트에 적재된 웨이퍼의 수량 및 장비그룹 아이디를 설정하는 제 11 단계; 및An eleventh step of setting, by the cell management server, the lot information and the state of the cassette in the master database, and setting the quantity of the wafer loaded in the cassette and the equipment group ID; And 상기 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 이전 공정을 진행한 장비의 아이디를 제거하는 제 12 단계를 포함하는 로트 공정 자동이동 방법.And the twelfth step of removing, by the cell management server, the ID of the equipment that has performed the previous process of the corresponding lot from the master database. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 제 5 단계는,The fifth step, 상기 셀 관리 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에 로트 공정 자동이동에 필요한 데이터를 저장했다는 메세지를 상기 이력 정보 서버에 전송하는 제 6 단계;A sixth step of transmitting, to the history information server, a message indicating that the cell management server has stored data for lot process automatic movement in the history information server queue file; 상기 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트 공정 자동이동에 필요한 데이터를 획득하여 해당 로트의 공정, 로트진행 중지 여부, 웨이퍼의 수량 및 로트공정처리 여부 등의 정보를 확인하는 제 7 단계;A seventh step in which the history information server acquires data necessary for the automatic movement of the lot process from the history information server queue file and checks information such as the process of the corresponding lot, whether the lot is stopped, the number of wafers, and whether the lot process is performed; 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 데이터베이스의 로트 이력 테이블에 해당 로트의 공정이동 정보를 삽입하고, 공정진행 상태 테이블에서 해당 로트의 다음 공정정보를 갱신하는 제 8 단계; 및An eighth step of the history information server inserting process movement information of the corresponding lot into the lot history table of the history database and updating the next process information of the corresponding lot in the process progress state table; And 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 데이터베이스의 로트명령 이력 테이블에 공정이동 명령을 추가하는 제 9 단계를 포함하는 로트 공정 자동이동 방법.And a ninth step of the history information server adding a process movement command to the lot command history table of the history database. 마이크로 프로세서를 구비한 반도체 공정자동화 시스템에,In a semiconductor process automation system having a microprocessor, 작업자 인터페이스 프로세스를 통한 로트 공정이동 요청을 수신하는 제 1 기능;A first function of receiving a lot movement request through an operator interface process; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정이동 요청을 수신한 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 확인하도록 하는 제 2 기능;A second function of allowing a worker interface server receiving a lot process movement request from the worker interface process to check data necessary for process movement of the lot in a master database; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 상기 마스터 데이터베이스에서 상기 데이터를 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 및 카세트 정보를 갱신하도록 하는 제 3 기능;A third function of allowing a cell management server, which has received data necessary for process movement of the lot from the operator interface server, to check the data in the master database and to update the lot information and the cassette information of the master database; 상기 셀 관리 서버가 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 이력정보 서버 큐 파일에 저장하도록 하는 제 4 기능; 및A fourth function of causing the cell management server to store data necessary for process movement of the lot in a history information server queue file; And 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 로트 이력 정보 서버가 상기 이력정보 서버 큐 파일에서 로트의 공정이동에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스에 저장하도록 하는 제 5 기능A fifth function for the lot history information server receiving the message from the cell management server to acquire data necessary for process movement of the lot from the history information server queue file and to store it in a history database; 을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for realizing this.
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