KR100535352B1 - 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 샷 무라(shot mura)의 발생을 방지할 수 있는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법은, 기판의 셀 어레이 영역 전체에 연장 배치되는 형태로 다수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법에 있어서, 상기 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고, 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할노광 단계를 포함하며, 상기 분할노광 단계는 각 분할노광에서 형성되는 샷 패턴들이 양측 단부의 폭이 내부의 폭 보다 작은 폭을 갖는 스트라이프 형태가 되도록 하여 분할된 영역들의 경계선에서 샷 패턴들간 중첩 면적이 최소화되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시장치의 어레이 기판 제조방법{Method for fabricating array substrate of LCD}

본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 샷 무라의 발생을 방지할 수 있는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치의 셀 어레이 영역에는 다수의 패턴들, 예를들어, 게이트라인, 데이타라인, 채널층 및 화소전극 등이 형성된다.

이때, 어느 한 종류의 패턴을 셀 어레이 영역 전체에 형성하기 위해서 노광 공정을 실시하게 되며, 이러한 노광 공정은 통상 6인치 포토 마스크를 기본으로 구성하는 스텝핑(Stepping) 방식의 포토 장비를 이용하여 수행하게 된다.

그런데, 상기한 노광 공정에서 사용되는 마스크는 그 사이즈가 기판 면적에 비하여 상당히 작기 때문에, 셀 어레이 영역 전체에 소정의 패턴을 형성하기 위해서는 셀 어레이 영역을 소정 등분하여 분할노광을 실시하여야 한다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 게이트라인을 형성할 경우에 액정표시장치의 셀 어레이 영역을, 예를들어, 6개의 공간으로 나눈다음, 게이트라인을 형성하기 위한 마스크(도시안됨)를 a1 영역에 얹은후 노광을 실시하고, 이 마스크를 a2, a3, a4, a5, a6 영역으로 순차적으로 옮겨 가며 노광 공정을 실시한다. 이때, a1∼a6 영역 각각을 하나의 샷(Shot)이라 한다.

그러나, 상기한 바와 같이 분할노광 공정을 통해 셀 어레이 영역 전체에 소정 패턴을 형성하는 경우에는 유리기판의 휨 또는 뒤틀림 현상은 물론 마스크의 미스얼라인에 기인하여, 도 2에 도시된 바와 같이, 분할노광의 경계면에서 상·하부 패턴들간의 불일치, 즉, 분할노광에 의해 형성된 상·하부 패턴들이 오버랩되는 현상이 발생하게 되며, 이러한 패턴의 불일치는 그 정도에 따라, 각 샷들간의 경계면에서 휘도 불균일을 유발시켜 화면에 검은 색 라인이 보여지게 되는 샷 뮤라(Shot Mura) 현상을 초래하여 액정표시장치의 화질을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 샷 뮤라로 인한 화질 저하를 방지할 수 있는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법은, 기판의 셀 어레이 영역 전체에 연장 배치되는 형태로 다수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법에 있어서, 상기 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고, 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할노광 단계를 포함하며, 상기 분할노광 단계는 각 분할노광에서 형성되는 샷 패턴들이 양측 단부의 폭이 내부의 폭 보다 작은 폭을 갖는 스트라이프 형태가 되도록 하여 분할된 영역들의 경계선에서 샷 패턴들간 중첩 면적이 최소화되도록 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 분할노광 공정을 통해 형성되는 샷 패턴의 단부 폭이 내부의 폭 보다 작게 되도록 함으로써 분할노광의 경계면에서 상·하 패턴의 불일치가 발생되더라도 중첩되는 폭이 작게 되도록 하여 샷 뮤라에 의한 화질 저하를 방지할 수 있다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노광용 마스크를 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 마스크는 그 내부에 소정 폭을 갖는 스트라이프 형태로된 수 개의 마스크 패턴들(21)이 구비되며, 특히, 마스크 패턴(21)의 양측 단부(A)의 폭은 내부 폭 보다 상대적으로 작은 폭을 갖도록 구비된다.

여기서, 마스크 패턴(21)의 폭은, 예를들어, 종래와 동일하게 10 내지 12㎛를 갖도록 하며, 단부의 폭은 내부 보다는 작은 5 내지 6㎛를 갖도록 하고, 상기 단부의 길이는 14 내지 16㎛를 갖도록 한다.

한편, 셀 어레이 영역 전체에 연장 배치하는 형태로 게이트라인 및 데이터라인과 같은 패턴을 형성함에 있어서, 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고, 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할노광을 진행하는 경우, 유리기판의 휨 또는 뒤틀림이나, 마스크의 오정렬에 의하여 분할된 영역들의 경계선에서 각 분할노광에서 형성되는 샷 패턴들간의 불일치가 발생하게 된다.

그런데, 본 발명은 상기와 같은 마스크를 사용해서 분할노광 공정을 진행함에 따라, 각 분할노광에서 형성되는 샷 패턴들이 양측 단부의 폭이 내부의 폭 보다 작은 폭을 갖는 스트라이프 형태로 형성되며, 따라서, 분할노광된 영역들간 경계에서 샷 패턴들간의 중첩 면적은 최소가 된다.

다시말해, 도 4에 도시된 바와 같이, 분할노광된 영역들간의 경계에서 수직적으로는 상·하부 패턴들(22, 23)간의 불일치가 발생하게 되지만, 수평적으로는 상·하부 패턴들(22, 23)이 중첩되는 폭(X₂)이 도 2에 도시된 종래의 중첩 폭(X₁) 보다 현저하게 감소된다.

이때, 패턴의 불일치에 의해 발생되는 샷 무라는 수평적으로 나타나는 현상이기 때문에, 상기와 같이 수평적으로 패턴들간의 중첩 정도를 감소시키게 되면, 샷 무라를 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 발명은 셀 어레이 영역 전체에 소정의 패턴을 형성함에 있어서 분할노광에 의해 형성된 각 샷 패턴들이 양측 단부가 내부 보다는 작은 폭을 갖는 스트라이프 형태를 갖도록 함으로써 분할노광에 의해 형성되는 상·하부 패턴들간의 중첩 정도를 수평적으로 현저하게 감소시킬 수 있으며, 이에 따라, 샷 무라의 발생을 방지하여 액정표시장치의 화면 품위를 향상시킬 수 있다.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

도 1은 종래 분할노광을 실시하기 위하여 셀 어레이 영역을 분할한 상태를 나타내는 도면.

도 2는 종래 분할노광에 의해 발생되는 패턴의 오정렬을 설명하기 위한 도면.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 노광용 마스크를 도시한 도면.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 패턴들간의 정렬 상태를 설명하기 위한 도면.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

21 : 마스크 패턴 22 : 상부 패턴

23 : 하부 패턴 A : 단부

Claims (1)

1. 기판의 셀 어레이 영역 전체에 연장 배치되는 형태로 다수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법에 있어서,

   상기 기판의 셀 어레이 영역을 다수개의 영역으로 분할하고, 상기 분할된 영역들을 순차적으로 노광하는 분할노광 단계를 포함하며,

   상기 분할노광 단계는 각 분할노광에서 형성되는 샷 패턴들이 양측 단부의 폭이 내부의 폭 보다 작은 폭을 갖는 스트라이프 형태가 되도록 하여 분할된 영역들의 경계선에서 샷 패턴들간 중첩 면적이 최소화되도록 하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판 제조방법.