KR100531274B1

KR100531274B1 - Optical magnetic disk

Info

Publication number: KR100531274B1
Application number: KR10-2003-0002382A
Authority: KR
Inventors: 김진홍
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2003-01-14
Filing date: 2003-01-14
Publication date: 2005-11-28
Also published as: KR20040065417A

Abstract

본 발명은 재생시에 외부 자기장을 사용하지 않고도 재생신호를 확대하여 고밀도 기록 및 재생이 가능한 광자기 디스크를 제공하기 위한 것으로써, 재생층, 마스크층 및 기록층을 적어도 포함하도록 하고, 상기 마스크층은 희토류 조성이 원자비로 15~23%이고, 천이금속의 조성이 원자비로 77~85%이거나 또는 희토류의 조성이 원자비로 23~30%이고, 천이금속의 조성이 원자비로 70~77% 조성으로 하는 희토류-천이류합금으로 구성하고, 상기 재생층은 재생시 자구가 확대되는 특성을 가진 물질로 형성됨을 특징으로 한다.The present invention provides a magneto-optical disk capable of high-density recording and reproduction by enlarging a reproduction signal without using an external magnetic field during reproduction, and includes at least a reproduction layer, a mask layer, and a recording layer. Rare earth composition is 15-23% by atomic ratio, the composition of transition metal is 77-85% by atomic ratio, or rare earth composition is 23-30% by atomic ratio, and composition of transition metal is 70-77 by atomic ratio It is composed of a rare earth-transition alloy having a composition of%, wherein the regeneration layer is formed of a material having a property that the domain is enlarged during regeneration.

Description

광자기 디스크{Optical magnetic disk}Optical magnetic disk

본 발명은 광자기형 광디스크에 관한 것으로, 구체적으로는 기록층과 재생층 사이에 마스크층을 설치하여 기록밀도를 향상 시키도록 한 광자기 디스크에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk, and more particularly, to a magneto-optical disk in which a mask layer is provided between a recording layer and a reproduction layer to improve recording density.

광자기 디스크는 편광된 빛이 자성박막면에서 반사할 때 막면에 대해 수직한 방향의 자기 이방성을 갖는 자성박막인 경우는 편광면 각도가 회전하는 현상을 이용한 것이다. 이와 같은 자기 광학효과를 Kerr효과라 하고, 이때 회전하는 편광면의 각을 Kerr회전각이라 한다. 광자기 디스크의 SNR은 수학식 1로 표시된다.The magneto-optical disk is a magnetic thin film having magnetic anisotropy in a direction perpendicular to the film surface when the polarized light is reflected from the magnetic thin film surface. Such magneto-optical effect is called Kerr effect, and the angle of the rotating polarization plane is called Kerr rotation angle. The SNR of the magneto-optical disk is represented by equation (1).

여기서, η는 포토다이오드의 양자효율, P는 재생파워, R은 매체의 반사율, θ_K는 Kerr회전각, e는 전하, 그리고 B는 대역폭이다.Where η is the quantum efficiency of the photodiode, P is the regeneration power, R is the reflectance of the medium, θ _K is the Kerr rotation angle, e is the charge, and B is the bandwidth.

위의 식에서 매체의 특성을 나타내는 파라미터인 R과 θ_K만을 고려하였을 때 성능지수(figure of merit)는 수학식 2로 표시된다.Considering only R and θ _{K, which} are parameters representing the characteristics of the medium, the figure of merit is represented by Equation 2.

따라서, 상보적인 관계인 R과 θ_K에서 R보다는 θ_K를 증가시키는 것이 효율적이다.Therefore, it is efficient to increase θ _K rather than R in the complementary relation R and θ _K.

통상적으로 광자기 기록에 이용되는 자성박막의 Kerr회전각은 0.3°정도의 작은 값을 갖는다. 따라서 이 값을 증가시키기 위하여 유전체층과 반사층을 이용하여 다층화한다. 이때, 유전체층은 보호층 역할도 한다. 도 1에 나타낸 바와 같이 기판(10)/반사방지층(11)/기록층(12)/위상층(13)의 4층 구조가 일반적이다. 여기서 미 설명부호 15는 보호층의 역할을 하는 UV래커층이다. 이러한 구조의 광자기 디스크는 제 1 세대 광자기 디스크로 이용되고 있다.Typically, the Kerr rotation angle of the magnetic thin film used for magneto-optical recording has a small value of about 0.3 degrees. Therefore, in order to increase this value, the dielectric layer and the reflective layer are used to multilayer. At this time, the dielectric layer also serves as a protective layer. As shown in FIG. 1, the four-layer structure of the board | substrate 10 / antireflective layer 11 / recording layer 12 / phase layer 13 is common. Here, reference numeral 15 denotes a UV lacquer layer serving as a protective layer. Magneto-optical disks of this structure are used as first-generation magneto-optical disks.

종래기술에 의한 기록의 경우, 기록밀도는 집속된 레이저빔의 크기에 의해 결정된다. 레이저빔은 회절을 고려하였을 때 광원의 파장 λ와 사용렌즈의 개구수(NA)에 의해 결정된다. Rayleigh 회절한계에 의하면 집속 레이저빔의 직경 D는 수학식 3으로 표시된다.In the case of recording in the prior art, the recording density is determined by the size of the focused laser beam. The laser beam is determined by the wavelength? Of the light source and the numerical aperture NA of the lens used when diffraction is considered. According to the Rayleigh diffraction limit, the diameter D of the focused laser beam is expressed by Equation 3 below.

그러나, 실제이용할 수 있는 한계는 가우시안(Gaussian) 강도 분포를 갖는 레이저빔의 경우, D의 반정도인 계수를 0.61로 볼 수 있다. 마크 크기의 감소에 의한 기록밀도를 높이기 위해서는 레이저의 파장을 감소시키거나 렌즈의 개구수(NA)를 증기시키면 되지만 레이저 파장의 감소에는 한계가 있고 최근 개구수(NA)의 0.85정도까지 되고 있는 것이어서, 근접장 영역이 아닌한 거의 한계에 왔다고 볼 수 있다.However, the practical limitation is that in the case of a laser beam with Gaussian intensity distribution, the coefficient which is about half of D can be regarded as 0.61. In order to increase the recording density by reducing the mark size, the wavelength of the laser may be reduced or the numerical aperture (NA) of the lens may be vaporized. However, there is a limit to the reduction of the laser wavelength, which is recently reaching about 0.85 of the numerical aperture (NA). In other words, it is almost at the limit unless it is near field.

기록방법에는 대표적으로 마크 포지션(Mark positon) 기록과 마크 엣지(Mark edge)기록의 두가지 방법이 있으며, 마크 포지션 기록의 경우는 레이저빔을 기록매체에 가하면서 외부 자기장을 인가해주면, 냉각되면서 자화의 방향이 외부 자기장의 방향과 같은 방향으로 자구가 생성되어 기록마크가 형성된다. 이때 자구방향에 따라 "온"과 "오프" 또는 "0"과 "1"을 나타내게 된다.There are two methods of recording, namely mark position recording and mark edge recording. In the case of mark position recording, when an external magnetic field is applied while applying a laser beam to a recording medium, the magnetization is cooled. Magnetic domains are generated in the same direction as that of the external magnetic field to form recording marks. At this time, "on" and "off" or "0" and "1" are displayed according to the magnetic domain direction.

제 1 세대 광자기 디스크이후 큰 관심은 기록밀도를 높이는데 집중되어 있다. 따라서 디스크의 구조는 점차 다층화되고 기록 레이저빔과 외부 자계의 형태도 복잡해지고 있다. 그 중 가장 효율적인 기록방법으로는 광 펄스-자계변조 기록(laser-pumped magnetic field modulation)방법으로, 도 2에 그 기록과정을 개략적으로 나타내고 있다. 즉 광 펄스-자계변조 기록방법은 레이저(23), 조준렌즈(24), 편광빔 스플리터(25) 및 대물렌즈(26)를 포함하는 광자기헤드(22)로 일정한 레이저 펄스 신호를 광자기 디스크(21)에 가하면서 외부 자계 공급원 신호에 의해 구동되는 외부 자계 공급원(20)으로부터 제공되는 외부자계를 통한 변조에 의한 기록방법으로써, 이렇게 할 경우는 작고 안정된 자구를 광자기 디스크에 형성시킬 수 있다.Since the first generation of magneto-optical disks, great attention has been focused on increasing the recording density. Therefore, the structure of the disk is increasingly multilayered, and the shape of the recording laser beam and the external magnetic field is also complicated. Among them, the most efficient recording method is an optical pulse-pumped magnetic field modulation method, and the recording process is schematically shown in FIG. In other words, the optical pulse-field modulation recording method uses a magneto-optical head 22 including a laser 23, a collimating lens 24, a polarizing beam splitter 25, and an objective lens 26 to transmit a constant laser pulse signal to a magneto-optical disk. As a recording method by modulation through an external magnetic field provided from an external magnetic source 20 driven by an external magnetic source signal while being applied to (21), a small and stable magnetic domain can be formed in the magneto-optical disk in this case. .

광자기 디스크의 밀도를 높이기 위해서는 고밀도의 기록과 더불어 작게 기록된 마크를 읽어낼 수 있어야 한다. 상술한 광 펄스-자계변조 기록방법으로 기록하면 레이저빔이하 크기로 기록이 가능하지만 기록된 신호를 읽을 때는 특별한 방법이 필요하다.In order to increase the density of the magneto-optical disk, it is necessary to read a small recorded mark as well as a high density recording. Although recording with the optical pulse-field modulation recording method described above is possible under the laser beam size, a special method is required when reading the recorded signal.

대표적인 두가지 제안된 방법은 자기초해상(Magnetically induced super resolution : MSR) 재생기술과 자구확대(Magnetic amplifying magneto-optical system) 재생기술이 있다.Two typical methods are magnetically induced super resolution (MSR) regeneration and magnetic amplifying magneto-optical system regeneration.

상기 자기초해상 재생기술을 도 3을 참조하여 설명하면, 먼저 읽을때 레이저빔의 온도가 높은, 즉 임계치 온도 레벨보다 높은 온도 영역에 해당하는 재생층의 가운데인 중심 어퍼처 부분에서만 창(window)을 열어 기록층의 신호를 복제하는 메카니즘을 이용하는 것으로써, 재생메카니즘을 살펴보면, 상온에서 재생층(30)의 자화방향은 수평이지만 온도가 높은 재생 레이저빔의 중심영역(임계치 온도 레벨이상 온도에 상응하는 영역)에서는 수직방향의 자화용이축을 갖게 되는 특징을 이용한다. 이때 재생 레이저빔의 중심영역 즉, 중심 어퍼처영역에서 재생층(30)의 자화는 기록층(31)에 기록된 마크의 자화방향을 복제하게 되어 재생신호를 얻을 수 있게 한다.The magnetic super-resolution reproducing technique will be described with reference to Fig. 3, in which the window is opened only at the center aperture portion in the middle of the regeneration layer corresponding to the temperature region where the laser beam temperature is high, that is, higher than the threshold temperature level. By using the mechanism of copying the signal of the recording layer by opening the regeneration mechanism, the regeneration mechanism is examined. The magnetization direction of the regeneration layer 30 is horizontal at room temperature, but the center region of the regeneration laser beam having a high temperature (corresponding to a temperature above the threshold temperature level). Area), which has a vertical axis for magnetization in the vertical direction. At this time, the magnetization of the reproduction layer 30 in the center region of the reproduction laser beam, that is, the central aperture region, duplicates the magnetization direction of the marks recorded on the recording layer 31, thereby obtaining a reproduction signal.

한편, 상기 자구확대(MAMMOS) 재생기술은 상기 MSR 재생기술에서보다도 더욱 기록밀도를 높이기 위해 기록마크를 작게 하였을 때 기록층에 기록된 마크를 재생층에서 확대시켜서 재생신호를 크게 하는 방법으로써, 기존의 광학계에서 상기 고밀도화 한 MSR 재생기술보다도 더 높은 기록밀도를 얻기 위해서는 즉, MSR 재생기술에서 재생한 마크의 크기보다도 더 작은 마크를 재생하기 위해서는 다른 재생기술이 필요하게 된다. MAMMOS 재생기술은 디스크의 구조상 기록층과 재생층으로 구성되고, 레이저빔의 온도가 높은 재생층의 가운데 부분인 중심 어퍼처에서만 창을 열어 복제하는 등 기본적으로 MSR 재생기술과 유사성이 많은 기술이나, 근본적으로 다른 점은 MAMMOS 재생기술은 기록마크와 동기된 외부 자기장이 인가된다는 점이며, MAMMOS 재생기술에서는 기록마크의 크기가 레이저빔의 크기에 비해 20% 정도로 작다.On the other hand, the MMAMOS reproduction technique is a method of increasing the reproduction signal by enlarging the mark recorded in the recording layer in the reproduction layer when the recording mark is made smaller to increase the recording density than in the MSR reproduction technique. In order to obtain a recording density higher than that of the densified MSR reproduction technique in the optical system, that is, to reproduce a mark smaller than the size of the mark reproduced in the MSR reproduction technique, another reproduction technique is required. MAMMOS playback technology consists of a recording layer and a playback layer due to the structure of the disk, and basically has many similarities to the MSR playback technology, such as opening and duplicating a window only at the central aperture, which is the center of the playback layer having a high laser beam temperature. The fundamental difference is that in the MAMMOS reproduction technology, an external magnetic field synchronized with the recording mark is applied, and in the MAMMOS reproduction technology, the size of the recording mark is as small as 20% of the size of the laser beam.

GdFeCo합금으로 형성되는 재생층이 온도에 따른 보자력의 의존성은 도 4에 나타낸 바와 같이, 천이금속 부격자의 자화값이 Gd에 비해 큰 조성(transition metal rich)을 이용하였고, 상온에서 500 Oe정도인 보자력은 온도가 올라감에 따라 감소됨을 나타내고 있다. 재생과정에서 레이저빔에 의해 재생층이 가열되고 특히 온도가 상대적으로 높은 빔의 중간영역(도 3의 중심 어퍼처에 상응)에서 보자력이 최소로 된다. 이때, 빔의 중간영역의 재생층은 기록층과의 정자기 결합에 의해 기록층의 마크를 재생층에 복사하게 된다. 한편, 이 상태에서 적당한 크기의 재생의 외부 자기장을 인가하여 복사된 마크의 자화방향과 동일한 경우는 도 5에 도시된 바와 같이 거의 포화레벨에 가깝게 자구가 확대되게 하고 반대방향의 경우는 자구가 기록층에서 발생되는 정자기력과 상쇄되어 소거레벨로 감소하게 된다. 따라서 자기장의 방향을 기록된 각 마크의 위치에서 동기하여 스위칭시켜주면, 기록마크의 자화방향과 외부의 재생자기장의 방항에 따라 재생층이 확대되거나 상쇄된 상태를 디지털 재생신호로써 검출하게 된다.As shown in FIG. 4, the dependence of the coercivity with the temperature on the regenerated layer formed of the GdFeCo alloy was higher than that of Gd, and the magnetization value of the transition metal sublattice was larger than that of Gd. The coercivity decreases with increasing temperature. During the regeneration process, the regeneration layer is heated by the laser beam, and the coercive force is minimized, particularly in the middle region of the beam (corresponding to the central aperture of FIG. 3) where the temperature is relatively high. At this time, the reproduction layer in the intermediate region of the beam copies the marks of the recording layer to the reproduction layer by magnetostatic coupling with the recording layer. On the other hand, in this state, when the external magnetic field of the appropriate size reproduction is applied to the magnetized direction of the copied mark, as shown in Fig. 5, the magnetic domain is enlarged close to the saturation level, and the magnetic domain is recorded in the opposite direction. It is canceled by the static magnetic force generated in the layer and reduced to the erase level. Therefore, when the direction of the magnetic field is switched synchronously at the position of each recorded mark, the digital reproduction signal detects a state in which the reproduction layer is enlarged or canceled according to the magnetization direction of the recording mark and the external magnetic field.

도 6a는 광변조 방식으로 기록파워를 다르게 하여 기록된 마크들을 MFM(Magnetic force micorometer)을 이용하여 관측한 마크형태를 나타낸 MFM 영상과 재생의 외부 자기장이 없을 때 각 기록파워마다의 관측된 재생신호를 나타낸 것이며, 도 6b는 상기 기록파워중 어느 하나일 때 재생의 외부 자기장을 인가하였을 때의 관측된 재생신호를 나타낸 것이다. 도 6a의 경우는 기록파워에 따른 기록된 마크의 크기와 재생신호의 진폭이 비례하지만, 외부에서 자기장을 걸어준 경우에는 도 6b와 같이 모두 포화된 진폭의 재생신화가 관측되었다. 상기 MAMMOS 재생기술을 이용할 경우, 상술한 MSR 재생술에 비하여 4~5배 정도의 기록밀도, 즉, 20Gb/in²이상을 기대할 수 있다.FIG. 6A shows an MFM image showing a mark form in which marks recorded with different recording powers using an optical modulation method using a magnetic force micorometer (MFM) and observed reproduction signals for each recording power when there is no external magnetic field of reproduction. 6B shows the observed reproduction signal when an external magnetic field of reproduction is applied when any one of the recording powers is used. In the case of FIG. 6A, the size of the recorded mark and the amplitude of the reproduction signal are proportional to the recording power. However, when the external magnetic field is applied, the reproduction myths of all saturated amplitudes are observed as shown in FIG. 6B. When using the MAMMOS regeneration technique, a recording density of about 4 to 5 times, that is, 20 Gb / in ² or more can be expected as compared to the above-described MSR regeneration technique.

한편, 상기 MAMMOS 재생기술을 구현하기 위한 광자기 디스크는 도 7에 도시된 바와 같이 기판(40)과 반사방지층(41), 재생층(42), 위상층(43), 반사층(44), 기록층(45), 보호층(46) 및 역시 보호층인 UN래커층(47)의 구조로 형성되는 것이 일반적이고, 상기 MAMMOS 재생기술을 구현하기 위해서는 재생층 및 기록층의 최저 2층의 자성층 및 자구확대를 위한 외부 자기장을 인가하는 수단이 필요하다.On the other hand, the magneto-optical disk for implementing the MAMMOS regeneration technology, the substrate 40, the antireflection layer 41, the regeneration layer 42, the phase layer 43, the reflective layer 44, the recording as shown in FIG. It is common to have a structure of the layer 45, the protective layer 46, and the UN lacquer layer 47, which is also a protective layer. In order to implement the MAMMOS reproducing technique, at least two magnetic layers of the reproducing layer and the recording layer and Means are needed to apply an external magnetic field for magnification.

상기 MAMMOS 재생기술은 MSR 재생기술보다는 기록밀도를 크게 할 수 있다는 장점은 있으나 외부 자기장을 인가하는 수단이 필요하기 되므로 이에 따른 전력소모등의 문제를 야기시킬 수 있고, 특히 휴대용으로써 배터리를 이용하는 경우에는 자기장을 발생시키는 코일에 전류를 흘려주게 되어야 하므로 큰 전력소모가 문제로 된다. 뿐만 아니라 재생과정에서 기록마크와 외부로부터 공급되는 자기장 펄스를 동기화시켜야 하기 때문에 광자기 디스크의 구동회로가 복잡해지고 부피가 커지며 제조비용도 올라간다는 등의 문제점이 있다.The MAMMOS reproducing technique has an advantage of increasing recording density than the MSR reproducing technique. However, since a means for applying an external magnetic field is required, the MAMMOS regeneration technique may cause problems such as power consumption. Large current consumption is a problem because a current must be applied to a coil generating a magnetic field. In addition, there is a problem that the driving circuit of the magneto-optical disk is complicated, bulky, and the manufacturing cost increases because the recording mark and the magnetic field pulse supplied from the outside must be synchronized in the reproduction process.

따라서 본 발명은 이와 같은 종래기술의 문제점을 감안하여 발명한 것으로써, 본 발명의 목적은 재생시에 외부 자기장을 사용하지 않고도 재생신호를 확대할 수 있어 고밀도의 기록/재생이 가능한 광자기 디스크를 제공하기 위한 것이다.Accordingly, the present invention has been invented in view of the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a magneto-optical disk capable of high-density recording / reproducing by expanding a reproduction signal without using an external magnetic field during reproduction. It is to.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광자기 디스크의 제 1 발명은 기판상에, 적어도 재생층과 기록층을 포함하여 형성된 광자기 디스크에 있어서, 상기 재생층과 기록층 사이에 두께 5~500nm의 마스크층을 형성하고, 상기 마스크층은 상온에서 수직 자기이방성의 강자성체로 되고, 재생시 레이저빔의 온도가 높은 가운데 부분에서는 수평 자기이방성의 강자성체로 되게 희토류조성이 원자비로 15~23%이고, 천이금속 조성이 원자비로 77~85% 되는 희토류-천이류합금으로 형성되고, 상기 재생층은 상기 마스크층이 수평 자기이방성으로 되어 상기 기록층과의 결합이 끊어질 때 자구가 확대되는 특성을 가지는 물질로 형성됨을 특징으로 한다.A first aspect of the magneto-optical disk of the present invention for achieving the above object is a magneto-optical disk formed on a substrate, including at least a reproduction layer and a recording layer, having a thickness of 5 to 500 nm between the reproduction layer and the recording layer. A mask layer is formed, and the mask layer is a vertical magnetic anisotropic ferromagnetic material at room temperature, and the rare earth composition is 15 to 23% in an atomic ratio so as to become a horizontal magnetic anisotropic ferromagnetic material at the center of the laser beam having a high temperature during regeneration. It is formed of a rare earth-transition alloy having a transition metal composition of 77 to 85% by an atomic ratio, and the regeneration layer has a characteristic that the magnetic domain is enlarged when the mask layer becomes horizontal magnetic anisotropy and the bond with the recording layer is lost. The branch is formed of a material.

상기 희토류-천이류합금은 희토류 물질인 Gd, Tb, Dy, Nd와 천이금속 물질인 Fe, Co과의 합금으로써, 예를 들면, GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo등의 합금을 들 수 있다. 그리고, 재생층은 GdFeCo, GdFe, GdCo등 어느 하나의 물질로 형성된다. The rare earth-transition alloy is an alloy of rare earth materials Gd, Tb, Dy, Nd and transition metal materials Fe, Co, for example, GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, And alloys such as GdDyFe, GdDyCo, and GdDyFeCo. The reproduction layer is made of any one material such as GdFeCo, GdFe, GdCo.

또한, 본 발명의 광자기 디스크의 제 2 발명에 의하면, 본 발명의 광자기 디스크는 기판상에 적어도 재생층과 기록층을 포함하여 형성된 광자기 디스크에 있어서, 상기 재생층과 기록층 사이에는 마스크층을 형성하고, 상기 마스크층은 상온에서 수평 자화용이축을 갖는 반면에 재생 레이저빔의 온도가 높은 가운데 부분에서는 수직방향의 자화용이축을 가져서 기록층의 신호를 재생층에 전달되게 희토류 조성이 원자비로 23~30%이고, 천이금속 조성이 원자비로 70~77%로 되는 희토류-천이류합금으로 형성되고, 상기 재생층은 상기 마스크층에 자구가 확대되는 특성을 가진 조성물로 형성됨을 특징으로 한다.Further, according to the second invention of the magneto-optical disk of the present invention, the magneto-optical disk of the present invention is a magneto-optical disk including at least a reproduction layer and a recording layer on a substrate, wherein a mask is formed between the reproduction layer and the recording layer. A layer is formed, and the mask layer has a horizontal magnetization axis at room temperature, while a high portion of the regeneration laser beam has a vertical magnetization axis in the middle of the regenerated laser beam so that the signal of the recording layer is transmitted to the reproduction layer in an atomic ratio. Furnace is 23 to 30%, and the transition metal composition is formed of a rare earth-transition alloy having an atomic ratio of 70 to 77%, and the regeneration layer is formed of a composition having a property of expanding magnetic domains on the mask layer. do.

상기 희토류-천이류합금은 제 1 발명과 동일하고, 다만 조성이 제 1 발명에서는 희토류가 원자비로 15~23%이고, 천이금속 조성이 원자비로 77~85%인데 반하여 제 2 발명에서는 희토류나 원자비로 23~30%이고 천이금속 조성이 원자비로 70~77%인 점이 상이하다.The rare earth-transition alloy is the same as the first invention, except that in the first invention, the rare earth is 15-23% in atomic ratio and the transition metal composition is 77-85% in atomic ratio, whereas in the second invention, rare earth B) The difference is that 23 ~ 30% in atomic ratio and 70 ~ 77% in transition metal composition.

이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부 도면에 근거하여 상세히 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 8은 본 발명에 의한 광자기 디스크의 제 1 실시예를 나타낸 단면도로써, 기판(50)상에 Si₃N₄의 유전체로 형성되는 반사방지층(51), GdFe로 형성되는 재생층(52), 후술하는 재료로 형성하는 마스크층(53), TbFeCo로 형성되는 기록층(54), Si₃N₄의 유전체로 형성되는 보호층(5), AlTi로 형성되는 반사층(56) 및 보호층인 UV래커층(57)을 구비하여 형성된다.FIG. 8 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a magneto-optical disk according to the present invention, wherein an antireflection layer 51 formed of a Si ₃ N ₄ dielectric on a substrate 50 and a regeneration layer 52 formed of GdFe are shown. A mask layer 53 formed of a material described later, a recording layer 54 formed of TbFeCo, a protective layer 5 formed of a dielectric material of Si ₃ N ₄ , a reflective layer 56 formed of AlTi, and a protective layer. It is formed with the UV lacquer layer 57.

상기 마스크층(53) 및 재생층(52)을 제외하는 층들은 통상의 광자기 디스크에서와 마찬가지이므로 이들에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 상기 마스크층(53)은 상온에서 수직자화특성을 가져 기록층(54)과 재생층(52)간에서 교환상호결합을 시켜주나 재생 레이저빔의 중간부분의 고온에 의해 수평자화특성을 가져 결합을 끊게 하여 주는 것으로써, 상기 마스크층(53)은 희토류-천이류(Rare Earth-Transition Metal : RE-TM)합금으로 희토류 물질로는 Gd, Tb, Dy, Nd등이 있고, 천이금속 물질로는 Fe, Co등이 있다. 따라서, 이들 희토류 물질과 천이금속 물질의 적용예는 GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo의 합금이 적용하게 되고, 희토류의 조성은 원자비(atomic %)로 15~23%의 범위내이고, 천이금속의 조성은 원자비로 77~85%의 범위내로 한다. 그리고, 두께는 5㎚~500㎚의 범위내로 한다. 이때, 두께가 5㎚보다 작으면 마스크층으로써 기능을 할 수 없고, 500㎚이상이면 사용되는 재생파워를 크게 하여 주어야 하기 때문에 실용적이 되지 못한다. Since the layers except for the mask layer 53 and the reproduction layer 52 are the same as in the conventional magneto-optical disk, detailed description thereof will be omitted. The mask layer 53 has a vertical magnetization characteristic at room temperature to exchange interchange between the recording layer 54 and the reproduction layer 52, but has a horizontal magnetization characteristic due to the high temperature of the middle portion of the reproduction laser beam. In this case, the mask layer 53 is a rare earth-transition metal (RE-TM) alloy, and rare earth materials include Gd, Tb, Dy, Nd, and the like. Fe, Co, and the like. Accordingly, examples of application of these rare earth materials and transition metal materials include GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdyFeCo, GdyFeCo, GdyFeCo, GdyCo The rare earth composition is in the range of 15 to 23% in atomic ratio (atomic%), and the composition of the transition metal is in the range of 77 to 85% in atomic ratio. And thickness shall be in the range of 5 nm-500 nm. At this time, when the thickness is smaller than 5 nm, it cannot function as a mask layer, and when it is 500 nm or more, it is not practical because the reproduction power used must be increased.

그리고, 상기 재생층(52)은 본 실시예에서는 GdFe 합금이 사용되고 있으나, GdCo 합금이 사용되어도 되며, 이들은 후술하는 바와 같이 자구확대 기능을 가지는 물질이다.In the present embodiment, although the GdFe alloy is used in the present embodiment, a GdCo alloy may be used, and these are materials having a domain expansion function as described later.

또한 본 실시예에서는 재생층(52)/마스크층(53)/기록층(54)과 같이 연속적으로 적층된 구조를 가지도록 하고 있으나, 재생층(52)과 마스크층(53), 그리고 마스크층(53)과 기록층(54) 사이에는 도 9에 도시된 바와 같이 유전체(Si₃N₄)로 되는 보호층(58, 59)이 각각 삽입되게 형성하여도 되며, 이 경우 이 보호층(58, 59)으로 인하여 반사도가 조절되고 신호의 크기가 조절되어 바람직하다.In this embodiment, the reproduction layer 52, the mask layer 53, and the recording layer 54 have a structure that is continuously stacked, but the reproduction layer 52, the mask layer 53, and the mask layer As shown in Fig. 9, protective layers 58 and 59 made of a dielectric (Si ₃ N ₄ ) may be inserted between the 53 and the recording layer 54, in which case the protective layer 58 59), the reflectivity is controlled and the size of the signal is adjusted.

그리고, 상기 마스크층(53)과 재생층(52) 또는/및 기록층(54)과의 사이에 상기 보호층(58, 59)이 없으면 교환상호결합(exchange coupling)을 이용하는 경우로 되고, 보호층(58, 59)이 있으면 정자기결합(magnetostatic coupling)을 이용하는 경우로 된다.If there is no protective layers 58 and 59 between the mask layer 53 and the reproduction layer 52 or / and the recording layer 54, an exchange coupling is used. The presence of layers 58 and 59 results in the use of magnetostatic coupling.

이상과 같이 구성된 본 발명의 제 1 실시예에 대한 동작에 대하여 설명한다.The operation of the first embodiment of the present invention configured as described above will be described.

본 발명의 마스크층(53)은 희토류-천이류(RE-TM)합금으로는 GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo로 구성되고, 그 조성이 희토류의 조성이 원자비로 15~23%, 천이금속의 조성이 77~85%로 되어 있어, 이 조성은 실제 자화값에 대한 천이금속의 기여가 희토류의 기여보다 많은 조성영역으로 상온에서는 수직방향의 자화용이축을 갖지만, 재생 레이저빔의 온도 분포가 높은 중심부분에서와 같은 온도 상승이 있는 경우 수평방향으로 자화용이축을 가지는 특성이 있다. 따라서 제 1 실시예에서는 도 10a에 도시된 바와 같이, 상온에서는 마스크층(53)은 수직방향의 자화용이축을 가지게 되어서 기록층(54)과 재생층(52)간의 교환상호결합으로 기록층(54)의 기록마크가 마스크층(53)과 재생층(52)으로 복사하게 된다. 그리고, 재생 레이저빔에 의해 레이저빔의 온도 분포가 높은 중심부근에서는 도 10b에 도시된 바와 같이 자화용이축을 가지게 되어서 기록층(54)과 재생층(52)은 교환상호결합이 끊어진다. 따라서, 교환상호결합이 끊어지게 되면, 최소안정자구가 기록층에 비하여 큰 재생층에서는 자구의 확대가 일어나게 되어 재생신호의 증폭이 일어나게 된다. 이때, 재생층(52)이 상기의 GdFe 혹은 GdCo로 되어 있으므로, 작은 자구(magnetic domain)는 안정되지 못한 반면에 큰 자구는 안정되는 특성을 갖게 된다. 즉, 최소자구의 크기는 D는 수학식 4의 관계를 갖게 된다.The mask layer 53 of the present invention is a rare earth-transition (RE-TM) alloy as GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo , GdDyCo, GdDyFeCo, and the composition of rare earth is 15-23% in atomic ratio and 77-85% of transition metal, and the composition of the transition metal contributes to the actual magnetization value The composition region has more magnetization axis in the vertical direction at room temperature than the contribution of, but has the property of having the magnetization axis in the horizontal direction when there is a temperature rise such as in the center portion where the temperature distribution of the regeneration laser beam is high. Therefore, in the first embodiment, as shown in Fig. 10A, at room temperature, the mask layer 53 has a biaxial axis for magnetization in the vertical direction, so that the recording layer 54 is exchanged between the recording layer 54 and the reproduction layer 52. ) Is copied to the mask layer 53 and the reproduction layer 52. In the central region where the temperature distribution of the laser beam is high due to the regeneration laser beam, as shown in FIG. 10B, the axis of magnetization is provided, and the recording layer 54 and the reproduction layer 52 are exchanged interchangeably. Therefore, when the interchange mutual coupling is broken, the magnification of the magnetic domain is increased in the reproduction layer in which the minimum stabilization domain is larger than the recording layer, and amplification of the reproduction signal occurs. At this time, since the regeneration layer 52 is made of GdFe or GdCo, the small magnetic domain is not stable while the large magnetic domain is stable. That is, the size of the minimum magnetic domain D has a relationship of the equation (4).

여기서 σ_W는 자벽에너지이고, H_c와 M_s는 각각 보자력과 포화자화값이다. 상기 물질로 형성되는 재생층의 경우 포화자화값은 TbFeCo로 형성되는 기록층(54)과 비슷하지만 보자력이 기록층에 비하여 특히 작기 때문에 최소 자구의 크기가 커진다.Where σ _W is the wall energy and H _c and M _s are the coercive force and the saturation magnetization, respectively. In the case of the reproduction layer formed of the above-mentioned material, the saturation magnetization value is similar to that of the recording layer 54 formed of TbFeCo, but the minimum magnetic domain size increases because the coercive force is particularly small compared to the recording layer.

제 2 실시예는 기록층(54)과 재생층(52)의 특성은 제 1 실시예와 같지만 마스크층(53)은 상온에서 수평방향의 자화용이축을 갖는 반면에 재생 레이저빔(중심부분)에 의해 온도가 상승되면 수직방향의 자화용이축을 가지면서 기록층의 신호를 재생층에 전달하는 메카니즘을 이용하도록 한 것으로써, 제 1 실시예와는 희토류-천이류합금 GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo에서 희토류의 조성이 원자비로 23~30%이고, 천이류의 조성이 원자비로 70~77%인 것을 제외하면 제 1 실시예와 동일하므로 동일부분에 대하여서는 구체적인 설명은 생략한다.In the second embodiment, the characteristics of the recording layer 54 and the reproducing layer 52 are the same as those of the first embodiment, but the mask layer 53 has a biaxial axis for magnetization in the horizontal direction at room temperature, while the reproducing laser beam (center portion) When the temperature is increased by using a mechanism for transmitting the signal of the recording layer to the reproduction layer while having a vertical axis of magnetization in the vertical direction, the rare earth-transition alloys GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, Rare earths in GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo have an atomic ratio of 23 to 30%, and the composition of transitions is 70 to 77 Except for the%, it is the same as the first embodiment, so the detailed description of the same parts will be omitted.

상기 조성은 실제 자화값에 대한 희토류의 기여가 천이금속의 기여보다 많은 조성영역으로 상온에서는 수평방향의 자화용이축을 갖지만 재생 레이저빔에 의한 온도 상승이 있는 경우 수직방향으로 자화용이축을 갖게 된다.The composition is a composition region where the contribution of the rare earth to the actual magnetization value is greater than the contribution of the transition metal. The composition has a biaxial axis of magnetization in the horizontal direction at room temperature, but a biaxial axis of magnetization in the vertical direction when there is a temperature increase by the regeneration laser beam.

제 2 실시예서 희토류-천이류합금의 희토류 조성이 원자비로 23~30%이고, 천이류의 조성이 원자비로 70~77%이므로, 마스크층(53)은 도 11a에 도시된 바와 같이 상온에서는 수평방향의 자화용이축을 가지게 되므로, 마스크층(53)의 자화가 수평방향이고, 기록층(54)과 재생층(52)의 자화는 수직방향이므로 독립적이다. 한편 재생 레이저빔이 가해지면 도 11b에 도시된 바와 같이, 온도가 높은 레이저빔 중간부분의 마스크층(53)이 수직방향의 자기이방성을 갖도록 전이가 일어나고, 이때 아래 기록층과는 교환상호결합(exchange coupling)에 의해 기록층(54)의 자화를 복사하여(실제로는 천이금속의 자화방향을 복사하기 때문에 전체의 자화방향은 반대일 수 있음) 재생층(52)에 전달하게 된다. 따라서 기록층(54)에 기록된 정보는 마스크층(53)의 좁은 영역을 통하여 재생층(52)에 전달되고, 재생층에서는 이 신호를 확대하게 되는데 마스크층(53)에서는 주변의 신호를 차단시키기 때문에 안정된 자구확대를 가능하게 하여 준다.In the second embodiment, since the rare earth composition of the rare earth-transition alloy is 23-30% in atomic ratio and the composition of the transition earth is 70-77% in atomic ratio, the mask layer 53 has a room temperature as shown in FIG. 11A. Since the magnetization axis in the horizontal direction is provided, the magnetization of the mask layer 53 is in the horizontal direction, and the magnetization of the recording layer 54 and the reproduction layer 52 is in the vertical direction, and thus is independent. On the other hand, when the regeneration laser beam is applied, as shown in FIG. 11B, a transition occurs so that the mask layer 53 in the middle portion of the laser beam having a high temperature has vertical magnetic anisotropy, and at the same time, the interfacing with the lower recording layer ( The magnetization of the recording layer 54 is copied by exchange coupling (actually, the entire magnetization direction may be reversed because the magnetization direction of the transition metal is copied) and transferred to the reproduction layer 52. Therefore, the information recorded in the recording layer 54 is transmitted to the reproduction layer 52 through the narrow area of the mask layer 53, and the reproduction layer enlarges this signal, and the mask layer 53 blocks the surrounding signals. This makes it possible to expand the stable domain.

이상과 같이 본 발명은 마스크층에 의하여 레이저빔의 조사시에 기록층과 재생층과의 결합상태를 끊어지게 하여 주던가 아니면 레이저빔의 높은 온도의 중심부근에 해당하는 마스크층의 좁은 영역을 통하여 기록층의 기록된 정보가 재생층에 전달되고, 재생층에서는 재생신호를 확대함으로써 외부 자계의 공급없이도 짧은 마크의 기록 신호를 재생할 수 있으므로 고밀도 기록과 재생이 가능하게 된다는 효과 있다.As described above, in the present invention, the mask layer stops the bonding state between the recording layer and the reproduction layer when the laser beam is irradiated, or records through the narrow area of the mask layer corresponding to the central temperature of the laser beam at a high temperature. The recorded information of the layer is transmitted to the reproduction layer, and the reproduction layer can reproduce the recording signal of the short mark without supplying an external magnetic field by enlarging the reproduction signal, thereby enabling high density recording and reproduction.

도 1은 종래의 제 1 세대 광자기 디스크구조의 단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional first generation magneto-optical disk structure,

도 2는 종래의 광 펄스 자계변조의 기록방법을 개략적으로 나타낸 도면,2 is a view schematically showing a conventional recording method of optical pulse magnetic field modulation;

도 3은 종래의 자기 초해상 재생기술을 설명하기 위한 도면,3 is a view for explaining a conventional magnetic super-resolution playback technology,

도 4는 종래의 MAMMOS 재생층(GdFeCo)에서의 보자력 온도의 존성을 나타낸 그래프,4 is a graph showing the dependence of the coercive force temperature in the conventional MAMMOS regeneration layer (GdFeCo),

도 5는 종래의 MAMMOS 재생기술에 의해 기록된 마크, 외부 자기장 및 재생신호를 개략적으로 나타낸 도면,5 is a view schematically showing a mark, an external magnetic field and a reproduction signal recorded by a conventional MAMMOS reproduction technique;

도 6a는 MFM(Magnetic Force Microscope)로 관측한 마크의 형상과 외부 자기장이 가해지지 않는 상태에서의 재생신호를 나타낸 도면,6A is a view showing the shape of a mark observed with a magnetic force microscope (MFM) and a reproduction signal in a state in which no external magnetic field is applied;

도 6b는 외부 자기장이 가해진 상태에서의 재생신호를 나타낸 도면,6B is a view illustrating a playback signal in a state where an external magnetic field is applied;

도 7은 종래의 MAMMOS 광디스크 구조의 단면도,7 is a cross-sectional view of a conventional MAMMOS optical disk structure;

도 8은 본 발명의 광디스크 구조의 단면도,8 is a sectional view of an optical disk structure of the present invention;

도 9는 도 8의 광디스크 구조에서 마스크층의 양측에 각각 보호층이 형성된 경우의 단면도,FIG. 9 is a cross-sectional view when protective layers are formed on both sides of a mask layer in the optical disk structure of FIG. 8, FIG.

도 10a는 본 발명의 한 실시예에서의 광디스크에서 상온일때, 기록층의 기록정보가 마스크층 및 재생층에 전사되는 상태를 나타낸 도면,10A is a view showing a state in which recording information of a recording layer is transferred to a mask layer and a reproduction layer when the optical disk is at room temperature in one embodiment of the present invention;

도 10b는 본 발명의 한 실시예에서의 광디스크에서 고온일때 기록층의 기록정보가 마스크층에 의해 단절되어서 전사된 재생층의 재생신호가 증폭되는 상태를 나타낸 도면,FIG. 10B is a view showing a state in which a recording signal of a recording layer is cut off by a mask layer at a high temperature in an optical disc and a reproduction signal of the transferred reproduction layer is amplified in an embodiment of the present invention;

도 11a는 본 발명의 다른 한 실시예에서의 경우, 상온에서는 마스크층이 수평방향의 자화용이축을 가지며, 재생층 및 기록층에서는 수직방향의 자화용이축을 가지는 상태를 나타낸 도면,11A is a view showing a state in which a mask layer has a biaxial axis for magnetization in a horizontal direction at room temperature, and a biaxial axis for magnetization in a vertical direction in a reproduction layer and a recording layer in another embodiment of the present invention;

도 11b는 본 발명의 다른 실시예에서 재생시 레이저빔의 온도가 높은 부분에서 마스크층이 수직 자화용이축을 가져서 기록층의 기록정보가 재생층에 전사되는 상태를 나타낸 도면이다.FIG. 11B is a view showing a state in which the recording information of the recording layer is transferred to the reproduction layer because the mask layer has a vertical axis for easy magnetization at the portion where the temperature of the laser beam is high during reproduction in another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10, 40, 50 : 기판 30, 42, 52, 52' : 재생층10, 40, 50: substrate 30, 42, 52, 52 ': reproduction layer

11, 41, 51 : 반사방지층 12, 31, 45, 54, 54' : 기록층11, 41, 51: antireflection layer 12, 31, 45, 54, 54 ': recording layer

13, 43 : 위상층 46, 55 : 보호층13, 43: phase layer 46, 55: protective layer

14, 44, 56 : 반사층 53, 53' : 마스크층14, 44, 56: reflective layer 53, 53 ': mask layer

15, 47, 57 : UV래커층 20 : 외부 자계 공급원15, 47, 57: UV lacquer layer 20: External magnetic field source

21 : 광자기 디스크 22 : 광자기헤드21: magneto-optical disk 22: magneto-optical head

23 : 레이저 24 : 조준렌즈23 laser 24 aiming lens

25 : 편광빔 스플리터 26 : 대물렌즈25 polarization beam splitter 26 objective lens

Claims

기판상에 적어도 재생층과 기록층을 포함하여 형성된 광자기 디스크에 있어서,A magneto-optical disk formed on at least a reproduction layer and a recording layer on a substrate,

상기 재생층과 기록층 사이에 두께 5~500nm의 마스크층을 형성하고, 상기 마스크층은, 상온에서는 수직 자기이방성의 강자성체로 되고, 재생시 레이저빔의 온도가 높은 가운데 부분에 상당하는 부분에서는 수평 자기이방성의 강자성체로 되게 희토류의 조성이 원자비로 15~23%이고, 천이금속의 조성이 원자비로 77~85%로 되는 희토류-천이류합금으로 형성되고, A mask layer having a thickness of 5 to 500 nm is formed between the reproduction layer and the recording layer, and the mask layer becomes a vertical magnetic anisotropy ferromagnetic material at normal temperature, and is horizontal in a portion corresponding to a middle portion where the temperature of the laser beam is high during reproduction. Rare earth is composed of rare earth-transition alloy of which the composition of rare earth is 15-23% in atomic ratio and the composition of transition metal is 77-85% in atomic ratio.

상기 재생층은 재생 레이저빔 조사시 상기 마스크층이 수평 자기이방성으로 되어 상기 기록층과의 결합이 끊어질 때 자구가 확대되는 특성을 가지는 물질로 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.And the reproducing layer is formed of a material having a property that the magnetic domain is enlarged when the mask layer becomes horizontal magnetic anisotropy when the reproducing laser beam is irradiated and the bonding with the recording layer is broken.

제 1 항에 있어서,The method of claim 1,

상기 희토류-천이류합금은 GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, GdDyCo, GdDyFeCo중에서 선택되는 하나의 합금임을 특징으로 하는 광자기 디스크.The rare earth-transition alloy is selected from among GdCo, GdFeCo, GdNdFe, GdNdCo, GdNdFeCo, TbFe, TbCo, TbFeCo, GdTbFe, GdTbCo, GdTbFeCo, DyFe, DyCo, DyFeCo, GdDyFe, and GdDyCo Magneto-optical disk.

제 1 항에 있어서,The method of claim 1,

상기 재생층은 GdFe, GdCo합금중의 어느 하나로 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.And the regeneration layer is formed of any one of a GdFe and a GdCo alloy.

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제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3,

상기 마스크층의 적어도 일측에는 Si₃N₄로 되는 유전체층의 보호층이 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.At least one side of the mask layer is a magneto-optical disk, characterized in that a protective layer of a dielectric layer of Si ₃ N ₄ is formed.

상기 재생층과 기록층 사이에 두께 5~500nm의 마스크층이 형성되고, 상기 마스크층은 상온에서는 수평 자화용이축을 갖는 반면에 재생 레이저빔의 온도가 높은 가운데 부분에 해당하는 부분에서는 수직방향의 자화용이축을 가져서 기록층의 신호를 재생층에 전달되도록 희토류 조성이 원자비로 23~30%이고, 천이금속의 조성이 원자비로 70~77%로 되는 회토류-천이류합금으로 형성되고,A mask layer having a thickness of 5 to 500 nm is formed between the reproducing layer and the recording layer, and the mask layer has a horizontal magnetization axis at room temperature, while the magnetization in the vertical direction is a portion corresponding to the middle of the high temperature of the reproducing laser beam. It is formed of a rare earth-transition alloy in which the rare earth composition is 23-30% in atomic ratio and the transition metal composition is 70-77% in atomic ratio so that the signal of the recording layer is transmitted to the reproduction layer with an easy axis.

상기 재생층은 자구가 확대되는 특성을 가진 조성물로 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.The regenerated layer is a magneto-optical disk, characterized in that formed of a composition having the property that the domain is enlarged.

제 6 항에 있어서,The method of claim 6,

상기 재생층은 GdFe, GdCo중의 어느 하나의 합금으로 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.The regenerated layer is magneto-optical disk, characterized in that formed of any one of the alloy of GdFe, GdCo.

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제 6 항 내지 제 8 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 6 to 8,

상기 마스크층의 적어도 일측에는 Si₃N₄의 유전체로 되는 보호층이 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크.At least one side of the mask layer is a magneto-optical disk, characterized in that a protective layer of a dielectric of Si ₃ N ₄ is formed.