KR100527083B1 - 전계 방출 표시 패널 - Google Patents

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KR100527083B1
KR100527083B1 KR10-1999-0061706A KR19990061706A KR100527083B1 KR 100527083 B1 KR100527083 B1 KR 100527083B1 KR 19990061706 A KR19990061706 A KR 19990061706A KR 100527083 B1 KR100527083 B1 KR 100527083B1
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Abstract

본 발명은 전계 방출 표시 패널을 개시한다. 개시된 본 발명은, 캐소우드 기판 상부에 애노우드 기판이 소정 간격을 두고 배치된다. 애노우드 기판의 밑면에는 형광체가 형성되고, 외곽 밑면에는 게터 취부홈이 형성된다. 게터의 상단이 게터 취부홈에 삽입되고, 하단은 캐소우드 기판에 접촉되어서, 그 내부 공간이 방전 공간으로 제공된다. 게터 외부의 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에는 밀봉층이 배치된다.

Description

전계 방출 표시 패널{FIELD EMISSION DISPLAY PANEL}
본 발명은 전계 방출 표시 패널에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에 있는 불순 가스를 제거하는 게터(getter)를 갖는 전계 방출 표시 패널에 관한 것이다.
일반적으로 전계 방출 표시 소자(Field Emission Display device)는 전자총(electron gun), 마이크로웨이브 튜브(microwave tubes), 이온 소스(ion source), 스캐닝 터널링 마이크로스코프(scanning tunneling microscope) 등의 장치에 표시 패널로 이용된다.
이러한 전계 방출 표시 패널의 구조를 도 1을 참고로 하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
소자를 제조하는 종래의 방법을 개략적으로 설명하면 다음과 같다. 캐소우드 기판(1) 상부에 애노우드 기판(2)이 소정 간격을 두고 배치되어 있고, 그 사이 공간은 -10-7 torr 정도의 고진공으로 유지되어 있다. 애노우드 기판(2)의 밑면에는 형광체(3)가 형성되어 있고, 각 기판(1,2) 중앙 사이에는 스페이서(4)가 형성되어 있다. 한편, 각 기판(1,2) 외곽에는 밀봉층(5)이 형성되어 있다. 각 기판(1,2) 사이에 있는 물질중 불순 가스를 흡착하여 제거하는 게터(6)가 캐소우드 기판(1)에 형성된 취부홈(7)내에 내장되어 있다. 이러한 구성을 갖는 전계 방출소자는 캐소우드 기판의 팁으로부터 가속된 전자가 형광체를 여기시키는 것에 의해 발광을 일으키게 된다.
그런데, 종래의 게터는 캐소우드 기판에 형성된 취부홈내에 배치되어 있는 관계로 불순 가스 흡착율이 그다지 우수하지 못하다는 지적이 있었다. 이로 인하여, 불순 가스의 많은 양이 각 기판 사이에 남게 되어 진공도를 저하시키므로써, 패널의 수명을 단축시키는 문제점이 있었다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 밀봉층(5) 도포시, 밀봉층(5)이 취부홈(7)내로 침입하여, 게터(6)의 작용을 저해함과 아울러 방전 공간을 축소시키는 문제점도 있다.
따라서, 본 발명은 종래의 전계 방출 표시 패널이 안고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 게터가 각 기판 사이에 위치되도록 하여, 게터의 불순 가스 흡착율을 향상시키므로써, 수명을 연장시킬 수 있는 전계 방출 표시 패널을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 밀봉층이 방전 공간내로 침투하는 것을 방지하여, 방전 공간의 면적을 넓혀서 대면적화를 실현할 수 있게 하는데 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널은 다음과 같은 구성으로 이루어진다.
캐소우드 기판 상부에 애노우드 기판이 소정 간격을 두고 배치된다. 애노우드 기판의 밑면에는 형광체가 형성되고, 외곽 밑면에는 게터 취부홈이 형성된다. 게터의 상단이 게터 취부홈에 삽입되고, 하단은 캐소우드 기판에 접촉되어서, 그 내부 공간이 방전 공간으로 제공된다. 게터 외부의 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에는 밀봉층이 배치된다.
상기된 본 발명에 의하면, 애노우드 기판에 취부홈이 형성되어 게터가 취부홈에 삽입되면서 캐소우드 기판에 접촉되므로써, 게터 내부 공간 전체가 방전 공간으로 제공되고, 특히 밀봉층은 게터 외곽에 배치되므로써, 밀봉층 도포시 밀봉층이 방전 공간내로 침투하는 현상이 방지된다.
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 제조 공정 순서대로 나타낸 단면도이다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부에 배치되는 기판인 애노우드 기판(20)의 최외곽 약간 안쪽으로 게터 취부홈(21)을 형성한다. 이어서, 도 4와 같이, 애노우드 기판(20)의 중앙상에 스페이서(40)와 형광체(30)을 형성한다.
그런 다음, 도 5와 같이, 게터(50)를 게터 취부홈(21)에 삽입한다. 이때, 게터(50)의 성분은 Zr-V-Fe로 이루어진다. 이어서, 게터(50) 외곽을 따라 밀봉층(60)을 도포한 후, 애노우드 기판(20)을 100 내지 200℃ 정도의 온도로 건조한다. 이때, 밀봉층(60)과 방전 공간 사이는 게터(50)로 차폐되어 있으므로, 밀봉층(60)이 방전 공간으로 침투하는 현상이 근본적으로 방지된다. 또한, 게터(50) 대부분이 방전 공간에 노출된 상태이므로, 게터(50)의 불순 가스 흡착율이 향상된다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 캐소우드 기판(10)과 애노우드 기판(20)을 접합한 후, 접합된 두 기판(10,20)을 400 내지 500℃ 정도의 온도하에서 소성시킨다. 이때, 게터(50)가 활성화되어, 두 기판(10,20) 사이에 있는 불순 가스가 게터(50)에 흡착된다. 마지막으로, 두 기판(10,20) 사이 공간을 진공 배기한 다음, 팁-오프하여 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 완성한다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면 애노우드 전극에 취부홈이 형성되어 게터가 취부홈에 삽입되면서 캐소우드 전극에 접촉되므로, 게터가 방전 공간에 노출된 상태가 되어, 게터의 불순 가스 흡착율이 대폭 향상된다. 따라서, 각 기판 사이의 진공도가 유지되어, 패널의 수명이 연장된다.
또한, 게터가 방전 공간과 밀봉층 사이에 배치되므로써, 밀봉층이 방전 공간으로 침투하여 방전 공간의 면적을 축소시키는 현상도 방지된다.
기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
도 1은 종래의 전계 방출 표시 패널을 나타낸 단면도.
도 2는 종래 패널의 문제점을 설명하기 위한 단면도.
도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 제조 공정 순서대로 나타낸 단면도.
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 -
10 ; 캐소우드 기판 20 ; 애노우드 기판
21 ; 게터 취부홈 30 ; 형광체
40 ; 스페이서 50 ; 게터
60 ; 밀봉층

Claims (1)

  1. 캐소우드 기판;
    상기 캐소우드 기판 상부에 소정 간격을 두고 대향,배치되고, 상기 캐소우드 기판과 대향하는 면의 최외곽 안쪽으로는 게터 취부홈이 형성된 애노우드 기판;
    상단이 상기 취부홈에 삽입되고, 하단은 상기 캐소우드 기판의 표면에 접촉되어, 상기 각 기판 사이에 있는 불순 가스를 흡착하는 게터; 및
    상기 게터 외곽의 각 기판 사이를 따라 도포된 밀봉층을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 패널.
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