KR100516781B1 - 클린룸에서사용되는운반장치 - Google Patents

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Abstract

타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반 장치의 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상부다리와 하부 다리의 사이에 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하고, 그로써 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

클린룸에서 사용되는 운반 장치
본 발명은 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것이다.
통상적으로, 반도체공장은 웨이퍼를 가공하는 공간을 클린룸으로 구성하고 있으며, 고청정상태를 유지하는 클린룸 내에서 고집적 웨이퍼가 가공된다.
웨이퍼를 가공하는 클린룸 내부에는 공정과 테스트에 필요한 여러 가지 장비들이 배치되어 있으며, 웨이퍼나 공정에 필요한 부품 또는 기타의 운반물은 운반 장치에 실려서 운반된다.
일반적인, 운반 장치는 장방형 평판 형상을 갖는 타공판의 하부 네 모서리 부분이 각각 다리에 의하여 지지되고, 각 다리의 하부에는 이동이 편리하도록 바퀴가 설치되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 운반 장치의 타공판 상에 작업자는 운반물을 적재하고, 밀어서 특정 위치에서 소망하는 위치까지 운반물을 운반한다.
그러나, 운반 장치는 이동을 위하여 바퀴가 바닥에 롤링될 때 소음과 진동이 발생되며, 특히 진동을 완충하기 위하여 바퀴는 탄성력을 어느 정도 갖는 우레탄과 같은 재질로 제조되고 있으나, 우레탄 재질의 바퀴를 채용하더라도 진동은 효과적으로 제거되지 않고 타공판 상부의 운반물에 전달되었다.
그러므로, 타공판 상부에 실려서 이송되는 웨이퍼나 진동에 민감한 운반물의 경우, 진동에 의한 손상이 발생되었으며, 소음도 유사하게 설비의 이상을 발생시키는 원인으로 작용된다. 그러므로, 종래의 운반 장치는 소음이나 진동에 의하여 수율이나 설비의 관리도에 막대한 영향을 끼치는 문제점을 발생시켰다.
본 발명의 목적은, 운반 장치의 각 다리를 개선하여서 하부 바퀴에서 발생되는 소음이나 진동을 억제함으로써 운반물이나 공정환경에 영향을 줄이기 위한 클린룸에서 사용되는 운반 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸에서 사용되는 운반 장치는, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 있어서, 상기 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상기 상부다리와 하부 다리의 사이에 상기 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하도록 구성되어 있다.
그리고, 완충수단은, 상부 다리와 하부 다리의 대응 단부에 각각 요(凹)형 홈과 상기 홈에 수직 유동자재하게 끼워지는 돌출부가 형성되고, 스프링이 상기 돌출부에 관통되어 상기 대응 단부 사이를 지지하게 설치될 수 있으며, 상기 스프링이 설치된 외부의 상기 대응 단부의 사이에 주름커버가 구성됨이 바람직하다.
또한, 상기 완충수단은, 상기 상부 다리와 하부 다리의 대응 단부가 실린더로 연결되고, 상기 실린더의 일단 내벽과 상기 상부 다리의 단부는 결합을 위한 나사가 형성되며, 상기 상부 실린더의 다른 일단부에는 상기 하부 다리의 단부가 수직 유동자재하게 삽입되고, 상기 상부 다리와 하부 다리의 사이에 완충부재가 삽입되어 구성될 수 있으며, 상기 완충부재는 고무패드 또는 공기나 오일과 같은 유동성 물질로 채워진 백(bag)으로 구성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1을 참조하면, 운반 장치는 장방형 평판의 타공판(10)의 네 모서리에는 다리가 구성되어 있으며, 다리는 상부 다리(12)와 하부 다리(14)가 완충부(16)에 의하여 연결되어 있고, 하부 다리(14)의 단부에는 바퀴(17)가 설치되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 운반 장치의 타공판(10) 상부에 웨이퍼를 실은 캐리어나 기타 장비에 필요한 부품과 같은 운반물이 적재되고, 작업자는 운반 장치를 밀어서 원하는 소정 목적지로 이동한다.
그리고, 상부 다리(12)와 하부 다리(14)의 사이의 완충부(16)는 하부로부터 전달되는 진동이 상부로 전달되는 것을 차단하고 그에 따른 소음 효과가 기대된다. 그리고, 완충부(16)는 도2와 같은 스프링을 이용한 완충 구조 또는 도3과 같은 완충 패드를 이용한 완충 구조로 적용될 수 있으며, 본 발명에서는 이에 국한되지 않고 본 명세서를 이해한 자에 의하여 다양한 변형이 가능하다.
도2를 참조하면, 완충부(16)는 상부 다리(12a)의 하단면 중심부에 소정 깊이를 갖는 요(凹)형 홈(18)이 형성되어 있고, 하부 다리(14a)의 상단면 중심부에는 상기 요형 홈(18)과 유사 크기 및 형상을 가지면서 삽입되는 돌출부(20)가 형성되어 있다. 그리고, 하부 다리(14a)의 돌출부(20)는 상부 다리(12a)의 요형 홈(18) 내부에 소정 길이 단부가 삽입되어 있고, 삽입된 상태에서 돌출부(20)의 상부에는 소정 수직 유동을 위한 간극이 요형 홈(18) 내부에 형성된다.
그리고, 돌출부(20)에는 소정 탄성력을 갖는 스프링(22)이 끼워져서 상부 다리(12a)와 하부 다리(14a)의 서로 대응되는 면을 상하로 지지하고 있으며, 스피링(22)의 외면은 주름 커버(24)로 싸여져 있다.
전술한 바와 같이 구성됨으로써 운반 장치가 이동될 때 바퀴(17)가 바닥 상에서 롤링되어 진동이 발생되면 진동은 하부 다리(14a)를 통하여 완충부(16)로 전달되고, 완충부(16) 내부의 스프링(22)은 진동을 흡수하며, 이 과정에서 요형 홈(18)에 소정 길이 단부가 삽입된 돌출부(20)는 수직으로 유동된다.
그러므로, 진동이 완충부(16)에 의하여 흡수되면서 그에 비례하여 소음도 억제된다. 그리고, 완충부(16) 내부의 스프링이나 상부 다리(12a) 및 하부 다리(14a)의 결합 부분에서 발생될 수 있는 파티클이나 소음이 주름 커버(24)에 의하여 외부로 확산됨이 방지된다.
한편, 완충부(16)는 도3과 같이 구성될 수 있다.
구체적으로, 상부 다리(12b)의 하단 변부에는 나사가 형성되어 있고, 하부 다리(14b)의 상단 변부는 하부의 직경보다 적은 직경을 소정 길이 갖도록 형성되어 있다. 그리고, 상부 다리(12b)와 하부 다리(14b)는 실린더(26)에 의하여 결합되며, 실린더(26)의 내부 즉 상부 다리(12b)와 하부 다리(14b) 사이에는 완충 패드(30)가 삽입되어 있다.
여기에서 실린더(26)는 일단부의 내벽에 상부 다리(12b)의 하단 변부에 형성된 나사와 결합되기 위한 나사가 소정 길이 형성되어 있으며, 실린더(26)는 내경을 상부 다리(12b)의 하단부와 하부 다리(14b)의 상단부를 삽입하고 하부 다리(14b)가 삽입되어 수직 유동 자재한 정도로 갖는다.
그리고, 완충 패드(30)는 소정의 탄성력을 갖는 고무와 같은 재질로 제작된 것이 이용될 수 있으며, 완충 패드(30)에 대용하여 공기나 유체를 내포한 팩(Pack)이나 백(Bag)이 구성될 수 있다.
도3과 같이 구성되는 완충부의 경우도 도2의 경우와 동일하게 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충패드(30)에 의하여 완충되며, 그에 따른 소음의 효과가 발생된다. 그리고, 완충패드(30)의 완충력에 의하여 하부 다리(14b)의 단부는 실린더(26)의 내부에서 수직으로 유동된다.
그러므로, 도2 또는 도3과 같은 충격을 완충하는 구조가 운반 장치에 구성되어 바퀴로부터 발생되는 진동을 흡수하여 타공판 상부에 적재되는 웨이퍼나 부품과 같은 운반물에 영향을 주지 않으며, 소음 발생이 억제된다.
따라서, 본 발명에 의하면 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 본 발명에 따른 클린룸에서 사용되는 운반 장치의 바람직한 실시예를 나타내는 사시도이다.
도2는 도1의 완충부의 제 1 실시예를 나타내는 요부 단면도이다.
도3은 도1의 완충부의 제 2 실시예를 나타내는 요부 단면도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호 설명
10 : 타공판 12, 12a, 12b : 상부 다리
14, 14a, 14b : 하부 다리 16 : 완충부
18 ; 요형 홈 20 : 돌출부
22 : 스프링 24 : 주름 커버
26 : 실린더 30 : 고무 패드

Claims (5)

  1. 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 있어서,
    상기 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상기 상부 다리와 하부 다리의 대응 단부들이 실린더로 연결되며, 상기 실린더의 일단 내벽과 상기 상부 다리의 단부는 결합을 위한 나사가 형성되며, 상기 상부 실린더의 다른 일단부에는 상기 하부 다리의 단부가 수직 유동가능하게 삽입되고, 상기 상부 다리와 하부 다리의 사이에 완충부재가 삽입되어 구성됨을 특징으로 하는 클린룸에서 사용되는 운반 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 완충부재는 고무패드임을 특징으로 하는 상기 클린룸에서 사용되는 운반 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 완충부재는 내부에 유동성 물질로 채워진 백(bag)임을 특징으로 하는 상기 클린룸에서 사용되는 운반 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 유동성 물질은 공기임을 특징으로 하는 상기 클린룸에서 사용되는 운반 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 유동성 물질은 오일과 같은 유체임을 특징으로 하는 상기 클린룸에서 사용되는 운반 장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS59196371U (ja) * 1983-06-15 1984-12-27 日本電気株式会社 ウエハ−運搬台車
KR890008834Y1 (ko) * 1986-11-08 1989-12-05 대우통신 주식회사 표시 문자의 변환 제어회로
KR950018275U (ko) * 1993-12-31 1995-07-22 새도우 마스크 운반차
JPH07251743A (ja) * 1994-03-16 1995-10-03 Fujitsu Ltd 運搬用台車
JPH09115996A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Advanced Display:Kk カセットの搬送および保管方法ならびに該方法に用いる搬送装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59196371U (ja) * 1983-06-15 1984-12-27 日本電気株式会社 ウエハ−運搬台車
KR890008834Y1 (ko) * 1986-11-08 1989-12-05 대우통신 주식회사 표시 문자의 변환 제어회로
KR950018275U (ko) * 1993-12-31 1995-07-22 새도우 마스크 운반차
JPH07251743A (ja) * 1994-03-16 1995-10-03 Fujitsu Ltd 運搬用台車
JPH09115996A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Advanced Display:Kk カセットの搬送および保管方法ならびに該方法に用いる搬送装置

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