KR100508021B1 - Liquid crystal display panel and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 액정 표시 장치 패널로서, 제1 숏의 모퉁이 부분에는 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키가 형성되며, 제2 숏의 모퉁이 부분에는 제2 정렬키가 형성된다. 여기서, 제1 숏과 제2 숏은 동일한 마스크로 형성할 수 있으며, 이 경우 제1 숏과 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하고, 제1 정렬키와 제2 정렬키를 각각 제1 숏과 제2 숏의 네 개의 모퉁이 부분에 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 숏과 제2 숏은 다른 마스크로 형성할 수도 있다. 이들 제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다. The present invention relates to a liquid crystal display panel in which an active region is dividedly exposed to a plurality of shots including first and second shots, the first alignment key being used to align adjacent shots at corners of the first shot. Is formed, and a second alignment key is formed at the corner portion of the second shot. Here, the first shot and the second shot may be formed with the same mask. In this case, the first shot and the second shot may be formed in a rectangular shape, and the first and second alignment keys may be formed in the first shot and the second shot, respectively. It is preferable to form in four corner portions of the second shot. In addition, the first shot and the second shot may be formed by different masks. The first alignment key and the second alignment key are preferably formed in a '-' shape.

Description

액정 표시 장치 패널 및 그의 제조 방법Liquid crystal display panel and its manufacturing method

본 발명은 액정 표시 장치(liquid crystal display; 이하 'LCD'라 함) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 패널을 분할 노광하는 경우에 숏에 정렬키를 삽입하고 이 정렬키를 이용하여 숏간의 스티치 오차를 구하고, 이 스티치 오차를 고려하여 숏을 정렬시키기 위한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display (hereinafter referred to as "LCD") and a method of manufacturing the same. More particularly, when an LCD panel is dividedly exposed, an alignment key is inserted into a shot and used. The stitch error between the shots is obtained, and the shots are aligned in consideration of the stitch error.

LCD 패널의 액티브 영역(표시 영역)이 마스크보다 큰 경우에, 이 액티브 영역을 노광하기 위해서는 한 장의 마스크(또는 여러 장의 마스크)로 액티브 영역을 분할하여 노광하는 분할 노광이 필요하게 된다. (이때, 마스크에 의해 LCD 패널상에 노광되는 영역을 '숏(shot)'이라 한다). 마스크로 액티브 영역을 분할 노광하는 경우에는 액티브 영역에 두 개 이상의 숏이 형성된다. In the case where the active area (display area) of the LCD panel is larger than the mask, in order to expose the active area, divided exposure is required in which the active area is divided and exposed by one mask (or several masks). (At this time, the area exposed on the LCD panel by the mask is called a 'shot'). In the case of partially exposing the active region with a mask, two or more shots are formed in the active region.

그러나, 종래에는 인접하는 숏간의 정렬을 위한 정렬 키가 형성되어 있지 않기 때문에, 숏과 숏 사이의 경계선(이하 '스티치선')이 정확히 일치하지 않는 스티치 오차가 발생하게 된다. 이와 같은 스티치 오차는 숏 사이의 각 배선과 화소 전극간의 기생 용량의 차이를 발생시키기 때문에 LCD 패널의 전기적인 특성의 차이를 초래하게 된다. However, conventionally, since an alignment key for aligning adjacent shots is not formed, a stitch error in which the boundary line between the shot and the shot (hereinafter, the "stitch line") does not exactly coincide occurs. Such a stitch error causes a difference in parasitic capacitance between each wiring between the shot and the pixel electrode, resulting in a difference in the electrical characteristics of the LCD panel.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 숏 주위에 정렬키를 형성하고 이를 이용하여 스티치 오차를 측정하고, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above problems, to form an alignment key around the shot and to measure the stitch error using the same, to correct the equipment, etc. in consideration of the stitch error to accurately align the adjacent shots It is for.

본 발명의 액정 표시 장치 패널은, 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 것으로서, 제1 숏의 모퉁이 부분에는 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키가 형성되며, 제2 숏의 모퉁이 부분에는 제2 정렬키가 형성된다. The liquid crystal display panel according to the present invention is formed by dividing and exposing an active region into a plurality of shots including first and second shots, and a first portion used for alignment between adjacent shots at a corner portion of the first shot. An alignment key is formed, and a second alignment key is formed at the corner of the second shot.

여기서, 제1 숏과 제2 숏은 동일한 마스크로 형성할 수 있으며, 이 경우 제1 숏과 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하고, 제1 정렬키와 제2 정렬키를 각각 제1 숏과 제2 숏의 네 개의 모퉁이 부분에 형성하는 것이 바람직하다. Here, the first shot and the second shot may be formed with the same mask. In this case, the first shot and the second shot may be formed in a rectangular shape, and the first and second alignment keys may be formed in the first shot and the second shot, respectively. It is preferable to form in four corner portions of the second shot.

또한, 제1 숏과 제2 숏은 다른 마스크로 형성할 수도 있다. In addition, the first shot and the second shot may be formed by different masks.

제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다. Preferably, the first alignment key and the second alignment key are formed in a '-' shape.

본 발명의 액정 표시 장치 패널 제조 방법은 액티브 영역을 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광하는 것으로서, 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키를 제1 숏의 모퉁이 부분에 형성하는 단계와, 제2 정렬키를 제2 숏의 모서리 부분에 형성하는 단계로 이루어진다. In the liquid crystal display panel manufacturing method of the present invention, the active area is dividedly exposed to a plurality of shots including the first and second shots, and the first alignment key used for the alignment between adjacent shots is the corner of the first shot. Forming a portion, and forming a second alignment key in the corner portion of the second shot.

이들 제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다. The first alignment key and the second alignment key are preferably formed in a '-' shape.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 1매 마스크로 1레이어를 분할 노광하는 데 사용되는 마스크를 나타내는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the mask used for partial exposure of one layer by one mask.

도 1에서, 마스크(100)는 LCD 패널의 액티브 영역을 노광하기 위한 부분인 'A' 영역과, 액티브 영역의 주변부를 각각 노광하기 위한 부분인 'B', 'D', 'E'을 포함한다. 'A' 부분의 각 모퉁이에는 인접하는 숏간을 정렬시키기 위한 'ㄱ'자 모양의 정렬키 패턴(10)이 형성되어 있다. In FIG. 1, the mask 100 includes an 'A' area for exposing the active area of the LCD panel and 'B', 'D', and 'E' for exposing the periphery of the active area, respectively. do. At each corner of the 'A' portion, an 'a' shaped alignment key pattern 10 for aligning adjacent shots is formed.

도 2a는 도 1에 도시한 마스크로 반복 노광하여 형성한 LCD 패널을 나타내는 도면이며, 도 2b는 도 2a의 '가'부분을 확대한 도면이다.FIG. 2A is a diagram illustrating an LCD panel formed by repeatedly exposing with a mask shown in FIG. 1, and FIG. 2B is an enlarged view of a portion of FIG. 2A.

도 2a에서, 숏 A1, A2, A3, A4는 도1의 A 영역이 노광된 부분을 나타내며, 숏 B1, B2와 숏 D1, D2와 숏 E1, E2는 각각 도1의 B, D, E 영역이 노광된 부분을 나타낸다. 액티브 영역에 형성되는 각각의 숏 (A1, A2, A3, A4)의 각 모퉁이에는 'ㄱ'자 모양의 정렬 키(20)가 형성되어 있다. In FIG. 2A, shots A1, A2, A3, and A4 represent portions where the region A of FIG. 1 is exposed, and shots B1, B2 and shots D1, D2, and shots E1 and E2, respectively, represent regions B, D, and E of FIG. This exposed portion is shown. At each corner of each of the shots A1, A2, A3, and A4 formed in the active region, an 'a' shaped alignment key 20 is formed.

이하에서는, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 인접하는 두 숏간의 정렬 방법을 설명한다. 도2a에서, 'A2' 숏이 시계 방향으로 약간 회전하였다고 가정한다.Hereinafter, an alignment method between two adjacent shots will be described with reference to FIGS. 2A and 2B. In FIG. 2A, it is assumed that the shot 'A2' is slightly rotated clockwise.

그러면, 'A1'숏의 정렬 키, 'A3'숏의 정렬 키와 'A4'숏의 정렬키는 스티치 선에 정확히 정렬되나, 'A2' 숏의 정렬 키는 정확히 정렬되지 못하고 시계 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 'A2' 숏의 정렬 키를 인접하는 숏의 정렬 키와 비교함으로써 'A2' 숏의 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 측정 결과를 기초로 하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다.Then, the alignment key of the shot 'A1', the alignment key of the shot 'A3' and the alignment key of the shot 'A4' are exactly aligned to the stitch line, but the alignment key of the shot 'A2' is not aligned correctly and rotates clockwise. do. Therefore, by comparing the alignment keys of the 'A2' shots with the alignment keys of the adjacent shots, the stitch error of the 'A2' shots can be measured. Can be done.

도 3은 4매 마스크로 1레이어를 분할 노광하는 경우에 사용되는 마스크를 나타내는 도면이다.FIG. 3 is a diagram showing a mask used when a single layer is dividedly exposed by four masks.

도 3에서, 도면 부호 100A, 100B, 100C, 100D은 각각 LCD 패널의 왼쪽과 위쪽 부분, 오른쪽과 위쪽 부분, 오른쪽과 아래쪽 부분, 왼쪽과 아래쪽 부분을 노광하기 위한 마스크를 나타내는 도면이고, 도면 부호 10A, 10B, 10C, 10D는 각각 마스크 100A, 100B, 100C, 100D의 정렬 키 패턴을 나타내는 도면이다. 이들 정렬키 패턴은 도 1과 마찬가지로 'ㄱ'자 모양으로 형성된다.In FIG. 3, reference numerals 100A, 100B, 100C, and 100D denote masks for exposing the left and upper portions, the right and upper portions, the right and lower portions, and the left and lower portions, respectively, of the LCD panel, and the reference numerals 10A. , 10B, 10C, and 10D are diagrams showing alignment key patterns of the masks 100A, 100B, 100C, and 100D, respectively. These alignment key patterns are formed in a '-' shape as in FIG.

도 4는 도 3에 도시한 마스크로 반복 노광하여 형성한 LCD 패널을 나타내는 도면이다.4 is a view showing an LCD panel formed by repeatedly exposing with a mask shown in FIG.

도 4에서, 숏 200A, 200B, 200C, 200D는 도3의 마스크 100A, 100B, 100C, 100D에 의해 노광된 부분을 나타내며, 'ㄱ'자 모양의 정렬 키 20A, 20B, 20C, 20D는 도 3의 정렬 키 패턴 10A, 10B, 10C, 10D에 의해 노광된 부분을 나타낸다. In Fig. 4, shots 200A, 200B, 200C, and 200D represent portions exposed by the masks 100A, 100B, 100C, and 100D of Fig. 3, and 'a' shaped alignment keys 20A, 20B, 20C, and 20D are shown in Fig. 3. Indicates portions exposed by the alignment key patterns 10A, 10B, 10C, and 10D.

이들 'ㄱ' 모양의 정렬키를 가지고, 도 2b에서 설명한 바와 같이, 인접하는 숏간의 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다. With these 'b' shaped alignment keys, as described in FIG. 2B, the stitch error between adjacent shots can be measured, and the alignment between adjacent shots can be precisely corrected by correcting a facility or the like in consideration of the stitch error. have.

상기한 실시예에서, 각 레이어에 형성되는 정렬키는 그 레이어와 동일 재료로 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 게이트 패턴이 형성되는 첫 번째 레이어에 마련되는 정렬 키는 이 게이트 패턴과 동일한 금속 재료로 형성하는 것이 바람직하다. In the above embodiment, the alignment key formed in each layer is preferably formed of the same material as that layer. For example, the alignment key provided in the first layer on which the gate pattern is formed is preferably formed of the same metal material as the gate pattern.

상기한 정렬키는 액티브 영역내에 형성되기 때문에, 후에 결함으로 인식될 염려가 있으며, 이에 따라 상기 정렬키는 가능한 작은 크기로 형성하는 것이 바람직하다. 또한 이와 같은 결함으로 되는 것을 제거하기 위해 스티치 오차를 측정한 후에 상기 정렬키를 레이저 등을 이용하여 제거할 수도 있다. Since the alignment key is formed in the active area, there is a possibility that it will be recognized as a defect later. Therefore, it is preferable that the alignment key be formed as small as possible. In addition, the alignment key may be removed using a laser or the like after the stitch error is measured to remove such defects.

또한, 본 발명의 실시예서는 'ㄱ'자 모양의 정렬 키를 사용하였으나, 이외에 링 모양의 정렬키를 사용하여도 무방하다. 또한 상기 정렬키는 모든 레이어에 대하여 동일하게 사용하여도 되며, 레이어별로 다르게 사용하여도 된다. In addition, although the embodiment of the present invention used the 'b' shaped alignment key, in addition to the ring-shaped alignment key may be used. In addition, the alignment key may be used in the same manner for all layers, or may be used differently for each layer.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 액정 표시 장치에 의하면 숏 주위에 정렬 키를 형성하고 이를 이용하여 스티치 오차를 측정할 수 있으며, 이 스티치 오차를 고려하여 설비 등을 보정함으로써 정확하게 인접하는 숏간의 정렬을 행할 수 있다.As described above, according to the liquid crystal display of the present invention, an alignment key may be formed around the shot and the stitch error may be measured using the alignment key. Can be done.

도1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a mask according to a first embodiment of the present invention.

도2a는 도1의 마스크에 의해 노광되는 숏을 나타내는 도면이고,FIG. 2A is a diagram illustrating a shot exposed by the mask of FIG. 1;

도2b는 도2a의 '가' 부분을 확대한 도면이다.FIG. 2B is an enlarged view of part 'a' of FIG. 2A.

도3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크를 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating a mask according to a second embodiment of the present invention.

도4는 도3의 마스크에 의해 노광되는 숏을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a shot exposed by the mask of FIG.

Claims (12)

액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 액정 표시 장치 패널에서,In a liquid crystal display panel in which an active region is dividedly exposed and formed into a plurality of shots including first and second shots, 상기 제1 숏의 모퉁이 부분에 형성되며 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키와,A first alignment key formed at a corner of the first shot and used for alignment between adjacent shots; 상기 제2 숏의 모퉁이 부분에 형성되며 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제2 정렬키를 포함하는 액정 표시 장치 패널.And a second alignment key formed at a corner of the second shot and used to align adjacent shots. 제1항에서,In claim 1, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 동일한 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널. And the first shot and the second shot are formed of the same mask. 제2항에서,In claim 2, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 각각 직사각형 모양이며,The first shot and the second shot are each rectangular in shape, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 각각 상기 제1 숏과 상기 제2 숏의 네 개의 모퉁이 부분에 형성되는 액정 표시 장치 패널.And the first alignment key and the second alignment key are formed at four corners of the first shot and the second shot, respectively. 제3항에서,In claim 3, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양인 액정 표시 장치 패널.And the first alignment key and the second alignment key have a '-' shape. 제1항에서,In claim 1, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 다른 마스크로 형성되는 액정 표시 장치 패널. And the first shot and the second shot are formed of different masks. 제5항에서,In claim 5, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ' 자 모양인 액정 표시 장치 패널.And the first alignment key and the second alignment key have a '-' shape. 액티브 영역을 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광하는 액정 표시 장치 패널의 제조방법에서,In a method of manufacturing a liquid crystal display panel for dividing and exposing an active area into a plurality of shots including first and second shots, 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키를 상기 제1 숏의 모퉁이 부분에 형성하는 단계와,Forming a first alignment key in the corner portion of the first shot, the first alignment key being used for alignment between adjacent shots; 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제2 정렬키를 상기 제2 숏의 모퉁이 부분에 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.And forming a second alignment key used to align adjacent shots in a corner portion of the second shot. 제7항에서,In claim 7, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 동일한 마스크로 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법. And the first shot and the second shot are formed in the same mask. 제8항에서,In claim 8, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하며,The first shot and the second shot are each formed in a rectangular shape, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 각각 상기 제1 숏과 상기 제2 숏의 네 개의 모퉁이 부분에 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법. And the first alignment key and the second alignment key are formed at four corner portions of the first shot and the second shot, respectively. 제9항에서,In claim 9, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.And the first alignment key and the second alignment key have a '-' shape. 제7항에서,In claim 7, 상기 제1 숏과 상기 제2 숏은 다른 마스크로 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.And the first shot and the second shot are formed using different masks. 제11항에서,In claim 11, 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키는 'ㄱ' 자 모양으로 형성하는 액정 표시 장치 패널의 제조 방법.And the first alignment key and the second alignment key have a '-' shape.
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