KR100497574B1 - 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 수평 방향으로 이동가능한 프레임(10)과, 상기 프레임(10)에 설치된 서보모터(14)와, 상기 서보모터(14)에 결합된 피니언(17)과 치합되어 랙과 피니언 방식으로 상하 작동가능한 다수의 픽커축(13) 및 픽커(11)와, 상기 프레임(10)상에 지지되면서 픽커축(13)의 상하 작동을 안내하는 헤드블럭(16)을 포함하는 픽앤플레이스 장치에 있어서,상기 피니언(17)의 양편에 2개의 픽커축(13)이 치합되어 1개의 서보모터(14)로 2개의 픽커축(13) 및 픽커(11)를 상하 반대로 움직일 수 있도록 한 다수의 픽커 유니트(19)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 헤드블럭(16)상에 설치되며 서로 연동되는 좌우 1세트의 픽커축(13) 사이에 배치되면서 장비 이상에 따른 제어신호를 받아 상향 위치되는 어느 1개의 픽커축(13)을 하향 이동시켜 다른 1개의 픽커축(13)을 상향 이동되게 하는 비상구동용 실린더(20)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 비상구동용 실린더(20)는 헤드블럭(16) 내에 연통되어 있는 하나의 공기압 라인(21)을 통해 제공되는 공기압에 의해 여러 대가 동시에 작동될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 비상구동용 실린더(20)는 픽커축(13)과 픽커(11)를 연결하면서 서로 나란하게 근접되어 있는 픽커블럭(22)의 양쪽 경계선상에 배치되는 로드를 이용하여 어느 1개의 블럭을 아래로 밀어내는 방식으로 픽커축(13)을 하향 이동시켜주도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 픽커축(13)은 상기 픽커블럭(22)에 고정되어 있고, 상기 헤드블럭(16)에 삽입된 가이드핀(15)에 의해 안내되며, 상기 가이드핀(15)은 헤드블럭(16)상의 각각의 가이드홈(23) 내에 조성되는 공기압에 의한 지지를 받도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 가이드핀(15)이 수용되는 각각의 가이드홈(23)은 하나로 연통되어 각 세트의 가이드핀(15)이 교대로 움직일 때 발생하는 체적변화를 서로 보상함에 따라 공기압의 평형이 이루어질 수 있는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽앤플레이스 장치.
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