KR100493558B1 - 스핀 식각 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판을 약액으로 처리하는 기판 처리 장치에 있어서:기판을 고속으로 회전시키기 위한 스핀척;상기 스핀척에 놓여진 기판 표면으로 상기 약액을 분사하기 위한 분사부를 포함하되;상기 분사부는 각각의 약액 분사량 조정이 가능한 그리고 기판의 다수 위치에서 약액을 각각 분사하기 위한 노즐들과;상기 노즐들이 착탈 가능하게 장착되는 노즐 장착부를 포함하여, 상기 노즐 장착부에서 상기 노즐들의 개수 및 간격 조정이 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 분사부는상기 노즐들을 대기 위치에서 상기 기판 상부의 분사 위치로 이동시키기 위한 노즐 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 노즐 이동 수단은구동모터와,상기 구동모터로부터 회전력을 전달받는 지지축 그리고상기 지지축에 설치되는 그리고 끝단부에 상기 분사부가 장착 결합되는 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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- 제 2 항에 있어서,상기 노즐들은 상기 기판의 중심에서 가장자리를 연결하는 일직선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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KR20040092015A KR20040092015A (ko) | 2004-11-03 |
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KR101289017B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2013-07-23 | 주식회사 경우 | 회전판이 구비된 박막 제조 장치 |
DE102017212887A1 (de) | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Gebr. Schmid Gmbh | Verfahren, Vorrichtung und Anlage zur Leiterplattenherstellung |
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