KR100474191B1 - Process For Treating Waste Water and Apparatus Therefor - Google Patents

Abstract

종래, 암모니아의 처리방법이나 TMAH의 처리방법에 대해 각각 제안되어 있지만 이들 양쪽을 함유하는 폐수, 또는 따로따로 함유하는 폐수에 대해 양쪽을 동시에 처리하는 방법에 관해서는 제안되어 있지 않다. 또한 종래에는 각 폐수에 따라서 각각의 처리방법에 의해 처리가 행하여지고 있었다. 그래서 본 발명에 있어서는 TMAH 등과 암모니아 양쪽을 동시 처리할 수 있는 처리 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Conventionally, a method for treating ammonia and a method for treating TMAH have been proposed, respectively, but no method has been proposed for simultaneously treating both wastewater containing both of these, or wastewater containing separately. Conventionally, treatment has been performed by respective treatment methods in accordance with each wastewater. Therefore, an object of the present invention is to provide a treatment method and apparatus capable of simultaneously treating both TMAH and ammonia.

TMAH 등을 함유하는 폐수 [A]와 암모니아 등을 함유하는 폐수 [B]라고 하는 2종 이상의 폐수를 동시에 처리하는 방법, 또는 TMAH 등 및 암모니아 등을 함유하는 폐수에 관하여 이들 TMAH 등과 암모니아 등을 동시에 처리하는 방법이다. 폐수로부터 암모니아 등을 방산하고(방산탑(26)), 또한 폐수를 가스화하여 함유된 TMAH 등을 가스화한다(가스화기(16)). 이들 방산된 암모니아 함유 가스와 상기 가스화된 가스를 합쳐서 촉매를 사용하여 분해처리한다 (촉매반응기(18)). Simultaneously treating two or more types of wastewater called wastewater [A] containing TMAH and wastewater [B] containing ammonia or the like, or simultaneously treating these TMAHs and ammonia with respect to wastewater containing TMAH and ammonia That's how to handle it. Ammonia and the like are dissipated from the wastewater (diffuse tower 26), and the wastewater is gasified to gasify the contained TMAH and the like (gasifier 16). These dissipated ammonia-containing gases and the gasified gases are combined and decomposed using a catalyst (catalytic reactor 18).

Description

폐수의 처리 방법 및 처리 장치{Process For Treating Waste Water and Apparatus Therefor}Process For Treating Waste Water and Apparatus Therefor}

본 발명은 가스화 가능한 유기 화합물을 함유하는 폐수와 가스에 의해 방산 가능한 화합물(이하, 가스방산 가능 화합물이라 칭한다.)을 함유하는 폐수로 된 2종 이상의 폐수를 동시에 처리하는 방법 및 처리장치, 또한 가스화 가능한 유기 화합물 및 가스방산 가능 화합물을 함유하는 폐수에 대해 이들 유기 화합물과 가스방산 가능 화합물을 동시에 처리하는 방법 및 처리장치에 관한 것이다. 한편 이하, 상기 가스화 가능한 유기 화합물로서 수산화 테트라알킬암모늄을 예로 들며, 또한 가스방산 가능 화합물로서 암모니아를 예로 들어 주로 설명하지만 본 발명의 처리대상물은 이들 암모니아나 수산화 테트라알킬암모늄으로 한정하는 것은 아니다. The present invention provides a method and a treatment apparatus for simultaneously treating two or more wastewaters consisting of wastewater containing a gasizable organic compound and wastewater containing a compound dissipable by gas (hereinafter, referred to as a gas dissipable compound), and also gasification. The present invention relates to a method and an apparatus for simultaneously treating these organic compounds and gas-dispersible compounds with respect to wastewater containing possible organic compounds and gas-dispersible compounds. In the following, tetraalkylammonium hydroxide is exemplified as the gasizable organic compound, and ammonia is mainly described as the gas dissipable compound, but the treatment target of the present invention is not limited to these ammonia or tetraalkylammonium hydroxide.

가스방산 가능 화합물의 대표적인 예로서는 암모니아를 들 수 있으며, 폐수중 암모니아를 처리하는 방법으로서 종래부터 촉매처리법이나 생물처리법이 알려져 있다. Representative examples of gas-dispersible compounds include ammonia, and a catalyst treatment method and a biotreatment method have conventionally been known as a method of treating ammonia in wastewater.

상기 촉매처리법은, 우선 폐수로부터 암모니아를 방산시키고 이 암모니아 가스를 촉매상에서 접촉 산화하고 무해한 질소 가스와 물로 분해하는 방법이다.(예를들면 특허공개 평 7-289897호 공보). The above catalyst treatment method is a method of first dissipating ammonia from wastewater, catalytically oxidizing the ammonia gas on a catalyst, and decomposing it into harmless nitrogen gas and water.

또한 상기 생물처리법은 미생물의 작용에 의해 폐수 중의 암모니아를 무해한 질소가스와 물로 분해하는 방법이다. 한편 이 생물처리법은 처리효율이 낮아서 충분한 처리능력을 얻으려면 장치규모를 확대할 수밖에 없고 잉여 오니가 발생하기 때문에 그 오니의 처리문제가 남는다.   In addition, the biological treatment method is a method of decomposing ammonia in wastewater into harmless nitrogen gas and water by the action of microorganisms. On the other hand, this biotreatment method is low in processing efficiency, so in order to obtain sufficient processing capacity, the scale of the apparatus is inevitably expanded, and surplus sludge is generated, which leaves the treatment problem of the sludge.

또한 폐수에 함유되어 배출되는 물질로서 가스에 의한 방산에서는 폐수 중에서 실질적으로 방산하지 않지만, 폐수의 질질전량을 가스화하는 것이 가능한 가스화 가능 유기 화합물이 있다. 이러한 유기 화합물로서는 수산화 테트라알킬암모늄을 들 수 있다. 이 수산화 테트라알킬암모늄이라는 유기 화합물을 함유하는 폐수의 처리법으로서는 소각법, 미생물처리법, 초임계수를 사용한 분해처리법이 알려져 있다.   In addition, there is a gasizable organic compound which is substantially discharged from the wastewater by gas dissipation as a substance contained in the wastewater and discharged, but which can gasify the entire quality of the wastewater. Examples of such organic compounds include tetraalkylammonium hydroxide. As the treatment method of wastewater containing an organic compound called tetraalkylammonium hydroxide, an incineration method, a microorganism treatment method and a decomposition treatment method using supercritical water are known.

상기 소각법은 폐수를 고온에서 연소시켜 폐수 중에 포함되어 있는 질소함유 유기 화합물을 산화분해처리하는 방법이다. 한편 이 경우에 상기 수산화 테트라알킬암모늄같은 분자 중에 질소를 갖는 유기 화합물(질소함유 유기 화합물)에서는, 보통, 질소산화물(NO_x)이 발생한다. 그리고 이 NO_x를 더욱 무해한 물질로 변환하는 처리설비를 정비할 필요가 있기 때문에 이 소각법으로는 설비가 대형화되고 건설비가 높아진다는 결점이 있다.The incineration method is a method of oxidatively treating nitrogen-containing organic compounds contained in wastewater by burning the wastewater at a high temperature. In this case, on the other hand, in an organic compound (nitrogen-containing organic compound) having nitrogen in a molecule such as tetraalkylammonium hydroxide, nitrogen oxides (NO _x ) are usually generated. In addition, the incineration method is disadvantageous in that the facility is enlarged and construction costs are increased because there is a need to maintain a treatment facility for converting NO _x into a more harmless substance.

또한 상기 미생물처리법은, 미생물의 작용에 의해 질소함유 유기 화합물 등의 유기물을 무해한 질소가스 물, 이산화탄소가스 등으로 분해처리하는 방법이다. 한편 이 미생물처리법도 상기한 바와 같이 처리효율이 낮고, 처리설비를 크게할 필요가 있으며 또한 잉여오니의 처리에 대해 고려할 필요가 있다. The microorganism treatment method is a method of decomposing organic substances such as nitrogen-containing organic compounds into harmless nitrogen gas water, carbon dioxide gas and the like by the action of microorganisms. On the other hand, this microorganism treatment method also needs to consider the treatment of surplus sludge with low treatment efficiency, a large treatment facility, and the like.

상기 초임계수를 사용한 분해처리법은 초임계 상태의 물의 물리·화학적특성을 이용하는 방법이다. 한편 물을 초임계 상태로 하기 위해서는 고온·고압상태하에서 제어해야 하기 때문에 처리장치의 내열성, 내압성에 대한 요구가 엄격하고, 또한 고압을 얻기 위한 고압펌프·고압 콤프레서 등의 기기가 필요하게 되며 설비비용이 높아진다.   The decomposition treatment method using the supercritical water is a method using the physical and chemical properties of the water in the supercritical state. On the other hand, the water must be controlled under high temperature and high pressure in order to make the water supercritical, so the demand for heat resistance and pressure resistance of the processing equipment is strict, and equipment such as high pressure pump and high pressure compressor to obtain high pressure is required. Is higher.

그런데 수산화 테트라알킬암모늄 등의 정화처리에 관해서 본 출원인은, 상술한 문제를 해소하여 상기 수산화 테트라알킬암모늄 등의 질소함유 유기 화합물을 질소 가스, 이산화탄소로 행한 후 처리가 불필요하며 무해한 가스로 변환하여 배출할 수 있는 폐수처리방법을 새롭게 제안하여 이미 출원해놓고 있다 (일본특허출원 제 2000-114086호). However, regarding the purification treatment of tetraalkylammonium hydroxide and the like, the present applicant solves the above-mentioned problems and converts nitrogen-containing organic compounds such as tetraalkylammonium hydroxide into nitrogen gas and carbon dioxide, and then does not require treatment and converts them into harmless gas. A new wastewater treatment method has been proposed and already filed (Japanese Patent Application No. 2000-114086).

이상과 같이 수산화 테트라알킬암모늄 등과 암모니아에 대해 각각 따로따로 처리법이 제안되어 있지만 이들 양쪽을 함유하는 폐수에 대해 양쪽을 동시에 처리하는 방법에 관해서는 제안되어 있지 않으며, 또한 반도체장치의 제조공장이나 각종화학 공장에서는 여러가지 폐수가 배출되고 있으며 피처리폐수의 종류나 처리대응 물질에 따라서 각각의 처리장치를 설치하려고 하면 처리설비를 위한 막대한 부지가 필요하며 설비비용이나 관리 비용이 높아진다는 문제가 있다. As mentioned above, the treatment method for tetraalkylammonium hydroxide and ammonia is proposed separately, but the method for simultaneously treating both of the wastewater containing both of them is not proposed. Various wastewaters are discharged from factories, and according to the type of wastewater to be treated or the material to be treated, each facility is required to have a large site for treatment facilities, and there is a problem in that facility cost and management cost are high.

본 발명에 있어서는, 다른 종류의 폐수를 동시에 처리할 수 있고, 또한 수산화 테트라알킬암모늄 등과 암모니아 등의 양쪽을 함유하는 폐수에 있어서도 이들을 동시에 처리할 수 있으며, 이로인해 장치의 간소화, 설비 비용의 저렴화를 꾀할 수 있는 처리방법 및 처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In the present invention, different kinds of wastewater can be treated at the same time, and wastewater containing both tetraalkylammonium hydroxide and ammonia and the like can also be treated at the same time, thereby simplifying the apparatus and reducing the equipment cost. It is an object to provide a treatment method and a treatment apparatus that can be designed.

반도체장치의 제조공장 등으로부터 배출되는 폐액의 대표적인 것으로서, 암모니아 등의 가스방산 가능 화합물을 함유하는 폐수(이하, 폐수 [B]라 칭하는 수가 있다)나 수산화 테트라메틸암모늄 등의 유기 화합물을 함유하는 폐수(이하, 폐수 [A]라 칭하는 수가 있다), 더욱이 암모니아와 수산화테트라메틸암모늄 등의 유기 화합물의 양쪽을 함유하는 폐수를 들 수 있다. 본 발명자들은, 이 중 폐수 속의 처리대상물질이 암모니아와 수산화 테트라메틸암모늄(이하, TMAH로 칭하는 수가 있다)이면, TMAH를 열분해한 분해생성물과 암모니아에 대해 티타니아·실리카 복합 산화물을 촉매 담체로서 바나듐, 텅스텐 및 팔라듐을 함유하는 촉매(이하, TiO₂·SiO₂-V-W-Pd 촉매로 칭하는 수가 있다)의 동일 촉매에 의한 처리로 무해한 질소 가스(N₂), 산소 가스(O₂), 물(H₂O) ,탄산 가스(CO₂)로서 배출할 수가 있다는 사실을 발견하였다.Representative of the waste liquid discharged from the manufacturing plant of a semiconductor device, etc., wastewater containing a gas dissipable compound such as ammonia (hereinafter may be referred to as wastewater [B]) and wastewater containing organic compounds such as tetramethylammonium hydroxide (Hereinafter, it may be called wastewater [A].) Furthermore, wastewater containing both organic compounds, such as ammonia and tetramethylammonium hydroxide, is mentioned. The inventors of the present invention suggest that if the substance to be treated in the wastewater is ammonia and tetramethylammonium hydroxide (hereinafter may be referred to as TMAH), the decomposition product obtained by pyrolyzing TMAH and a titania-silica composite oxide are used as catalyst carriers for ammonia, Nitrogen gas (N ₂ ), oxygen gas (O ₂ ), water (H), which is harmless by treatment with the same catalyst of a catalyst containing tungsten and palladium (hereinafter may be referred to as TiO ₂ · SiO ₂ -VW-Pd catalyst) ₂ O), it was found that it can be discharged as carbon dioxide (CO ₂ ).

그리고, 촉매로서 상기 TiO₂·SiO₂·V·W·Pd 촉매를 사용하면, 상기 TMAH를 열분해한 생성물로 한정하지 않고 2-피롤리돈, 모노에탄올아민, 에틸렌 글리콜이라는 유기 화합물도 처리할 수 있을 뿐만 아니라, 또한 암모니아 이외의 가스방산 가능 화합물(예를 들면 아민류, 테트라히드로푸란)도 처리할 수 있다는 사실을 발견하였으며, 상기한 바와 같이 유기 화합물과 가스방산 가능 화합물의 양쪽을 분해처리할 수 있는 촉매가, 이 외에도 여러가지 존재한다는 사실을 발견하여 본 발명에 이르게 되었다.When the TiO ₂ · SiO ₂ · V · W · Pd catalyst is used as the catalyst, organic compounds such as 2-pyrrolidone, monoethanolamine, and ethylene glycol can be treated without being limited to the product obtained by pyrolyzing the TMAH. In addition, it has also been found that gas dispersible compounds other than ammonia (e.g., amines, tetrahydrofuran) can also be treated, and both organic and gas dissipable compounds can be decomposed as described above. The present invention has been found to be present in a variety of other catalysts.

즉, 본 제 l 발명에 관한 폐수의 처리방법은, 2종 이상의 폐수를 동시에 처리하는 방법으로서, 상기 폐수의 하나가 가스화 가능한 유기 화합물을 함유하는 폐수 [A]이며, 상기 폐수의 다른 하나가 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수 [B]이며, 상기 폐수 [A]를 가스화하는 가스화공정과, 상기 폐수 [B]로부터, 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 방산하는 방산공정과, 상기 가스화공정에서 얻어진 가스(이하,[A]가스화 가스로 칭하는 수가 있다)와, 상기 방산공정에서 얻어진 가스(이하,[B]방산 가스로 칭하는 수가 있다)를 합쳐서 촉매에 의해 분해처리하는 분해공정을 갖는 것을 요지로 한다.   That is, the wastewater treatment method according to the first aspect of the present invention is a method of simultaneously treating two or more wastewaters, one of which is wastewater [A] containing a gaseous organic compound, and the other of the wastewater is gas. Is a wastewater [B] containing a compound capable of dissipating by gasification, and a gasification step of gasifying the wastewater [A], a dissipation step of dissipating the compound dissipable by the gas from the wastewater [B], and the gasification step Having a decomposition process in which the gas obtained in the above (hereinafter, may be referred to as [A] gasification gas) and the gas obtained in the dissipation step (hereinafter may be referred to as [B] dispersing gas) are combined and decomposed by a catalyst. Make a point.

또한 이러한 본 제 1 발명의 처리방법을 실현하는 처리장치로서는, 2종이상의 폐수를 동시에 처리하는 장치로서, 상기 폐수의 하나가 가스화 가능한 유기 화합물을 함유하는 폐수 [A]이고, 상기 폐수의 다른 하나가 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수 [B]이며, 상기 폐수 [A]를 가스화하는 가스화부와, 상기 폐수 [B]로부터 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 방산하는 방산부와, 상기가스화부에서 얻어진 가스([A] 가스화 가스)와, 상기 방산부에서 얻어진 가스([B] 방산 가스)를 합쳐서 촉매에 의해 분해처리하는 분해부를 갖는 것을 요지로 한다.   Further, a treatment apparatus for realizing such a treatment method of the present invention is an apparatus for simultaneously treating two or more kinds of wastewater, one of which is wastewater [A] containing a gaseous organic compound, the other of the wastewater. Waste gas [B] containing a compound capable of dissipating by means of a gas, a gasification unit for gasifying the waste water [A], a dissipation unit for dissipating a compound dissipable by the gas from the waste water [B], and the gas It is a summary to have a decomposition part which combines the gas ([A] gasification gas) obtained by the fire part and the gas ([B] dissipation gas) obtained by the said dissipation part, and decomposes | disassembles with a catalyst.

이렇게 2종 이상의 폐수라 하더라도 각각 가스 형상으로 하고 이들을 합쳐서 상기 촉매에 의해 분해처리함으로써 각각의 폐수마다 따로따로 처리하는 경우에 비하여 처리설비를 간소화 할 수 있우며 또한 조업 비용을 절감할 수 있다.   Thus, even if two or more kinds of wastewater are formed in a gaseous form and combined with each other, the catalysts are decomposed by the catalyst, thereby simplifying treatment facilities and reducing operating costs as compared to the case where each wastewater is treated separately.

한편, 상기「방산」이란, 액체에 용해되어 있는 휘발 성분(이하, 용해 휘발성분이라 칭하는 수가 있다)을 가스에 동반시켜 추방하는 조작으로서 이 동반에 사용하는 가스는 상기 용해 휘발 성분을 포함하지 않는 가스이고, 이 가스를 용액에 접촉시키는 것에 의해 방산을 행한다. 한편 이러한 조작은 스트릿핑이라고도 불리고 있다. 이러한 방산조작에 의해 휘발 성분을 포함하는 방산 가스와 휘발성분이 감소된 액체로 나누어진다. 또한 상기「가스화」란, 액체에 가열이나 감압 등의 수단을 실시함으로써, 액체의 실질적인 전량을 증발시켜 기체상태로 하는 조작이며 액체에 용해되어 있는 성분도 실질적인 전량이 증발 또는 기화한다. 이처럼「방산」이 가스를 사용하여 액체로부터 휘발성분을 추방하여 휘발성분이 감소된 액체로 하는 조작인 데 대하여 「가스화」란 액체를 실질적으로 전량 증발시켜 기체화시키는 조작이다. On the other hand, the above-mentioned "dispersion" is an operation of expelling volatile components (hereinafter, may be referred to as dissolved volatile components) dissolved in a liquid in a gas, and the gas used in this companion does not contain the dissolved volatile components. It is a gas and dissipates by bringing this gas into contact with a solution. On the other hand, such manipulation is also called stripping. By this dissipation operation, the dissipation gas containing volatile components and the volatile component are divided into liquids with reduced volatile content. The above-mentioned "gasification" is an operation in which a substantial amount of the liquid is evaporated to a gaseous state by applying a liquid such as heating or reduced pressure, and a substantial amount of the component dissolved in the liquid is also evaporated or vaporized. As described above, "dispersion" is an operation in which a volatile component is removed from a liquid by using a gas to form a liquid in which the volatile component is reduced.

상기 가스화 가능한 유기 화합물로서는 비점이 800℃ 이하인 유기 화합물을 들 수 있으며, 더욱이 비점 100℃ 이상, 600℃ 이하의 질소함유 유기 화합물이 본 발명의 처리에 적합하다. 더욱 적합한 것은 비점 100℃ 이상, 350℃ 이하의 질소함유 유기 화합물이다. The organic compound which can be gasified includes an organic compound having a boiling point of 800 ° C. or lower, and a nitrogen-containing organic compound having a boiling point of 100 ° C. or higher and 600 ° C. or lower is suitable for the treatment of the present invention. More suitable are nitrogen containing organic compounds with a boiling point of 100 degreeC or more and 350 degrees C or less.

상기 가스화공정(가스화부)은, 예를 들면 (1): 폐수를 가열된 공간에 분무하여 폐수의 실질전량을 가스화하거나 또는 (2): 폐수를 가열함으로써 증발시켜 가스화하는 공정이다. 상기 (1)의 가스화 방법으로서 구체적으로는 보통 압력으로 100℃ 이상, 바람직하게는 250℃ 이상, 보다 바람직하게는 500℃ 이상으로 가열된 공간에 폐수를 분무한다. 이렇게 공간을 고온으로 가열함으로써 분무된 폐수가 증발하며, 더욱이 폐수 중에 포함되어 있는 유기 화합물이 가스화한다. 또한, 증발하기 어려운 고분자의 유기 화합물을 포함하는 경우라 하더라도 500℃ 이상으로 함으로써 분해하여 가스화시킬 수 있다. 반도체 장치제조에 있어서의 포토에칭의 폐수에 포함되는 수산화 테트라메틸암모늄의 경우 l30℃ 정도에서 트리메틸아민과 메탄올로 분해함과 동시에 가스화한다. The gasification step (gasification unit) is, for example, (1): a process of spraying wastewater into a heated space to gasify the actual amount of the wastewater, or (2): evaporating and gasifying by heating the wastewater. Specifically, as the gasification method of (1), wastewater is sprayed into a space heated at 100 ° C or higher, preferably 250 ° C or higher, and more preferably 500 ° C or higher at normal pressure. By heating the space to a high temperature in this way, the waste water sprayed evaporates, and the organic compounds contained in the waste water gasify. Moreover, even if it contains the organic compound of the polymer which is hard to evaporate, it can decompose and gasify by setting it as 500 degreeC or more. In the case of tetramethylammonium hydroxide contained in the wastewater of photoetching in the manufacture of semiconductor devices, it is decomposed into trimethylamine and methanol at about l30 占 폚 and gasified.

또한 제 1 발명에 관한 처리방법에 있어서, 상기 가스화공정 보다 전에, 상기 폐수 [A]를 농축하는 농축공정을 행하는 것이 바람직하다. 또한 제1 발명에 관한 처리장치에 있어서는 상기 가스화부로의 도입전에 상기 폐수 [A]를 농축하는 농축부가 설치되는 것이 바람직하다. 한편 이 농축부로서는 증발법, 냉동동결법, 막분리법 등 공지의 모든 방법을 채용할 수가 있다. Moreover, in the processing method which concerns on 1st invention, it is preferable to perform the concentration process which concentrates the said wastewater [A] before the said gasification process. Moreover, in the processing apparatus which concerns on 1st invention, it is preferable to provide the concentrating part which concentrates the said wastewater [A] before introduction into the said gasification part. On the other hand, all the well-known methods, such as an evaporation method, a freezing freezing method, and a membrane separation method, can be employ | adopted as this concentrate part.

상기 농축공정(농축부)에 의해 폐수 [A]를 미리 농축해 두는 것에 의해 다음공정의 가스화공정(가스화부)에 있어서의 가스화에 필요한 열량을 절감할 수가 있다. By concentrating the wastewater [A] in advance by the concentration step (concentration part), the amount of heat required for gasification in the gasification step (gasification part) of the next step can be reduced.

또한 본원의 제 2 발명에 관한 폐수의 처리방법은 가스화 가능한 유기 화합물 및 가스에 의해 방산 가능한 화합물(가스방산 가능 화합물)을 함유하는 폐수를 처리하는 방법으로서, 상기 가스방산 가능 화합물을 액상으로부터 방산하는 방산공정과, 상기 가스화 가능한 유기 화합물을 농축하는 농축공정과, 이 농축공정에서 얻어진 농축액을 가스화하는 가스화 공정과, 이 가스화 공정에서 얻어진 가스와 상기 방산 공정에서 얻어진 가스를 촉매 존재하에서 분해하는 분해 공정을 구비한 것을 요지로 한다. In addition, the method for treating wastewater according to the second invention of the present application is a method for treating wastewater containing a gasizable organic compound and a compound (gas dissipable compound) dissipable by a gas, wherein the gas dissipable compound is dissipated from a liquid phase. A dissipation step, a concentration step of concentrating the gasizable organic compound, a gasification step of gasifying the concentrate obtained in this concentration step, and a decomposition step of decomposing the gas obtained in this gasification step and the gas obtained in the dissipation step in the presence of a catalyst. The thing provided with the summary is made.

이 제 2 발명에 관한 처리방법을 실현한 폐수의 처리장치는, 가스화 가능한 유기 화합물 및 가스방산 가능 화합물을 함유하는 폐수의 정화장치로서 상기 가스방산 가능 화합물을 액상으로부터 방산하는 방산부와, 상기 가스화 가능한 유기 화합물을 농축하는 농축부와, 이 농축부에서 배출되는 농축액을 가스화하는 가스화부와, 이 가스화부에서 배출되는 가스와 상기 방산부에서 얻어진 가스를 촉매 존재하에서 분해하는 분해부를 구비한 것을 요지로 한다. A wastewater treatment apparatus that realizes the treatment method according to the second aspect of the invention is a wastewater purifier containing a gasizable organic compound and a gas dissipable compound, and a dissipation unit for dissipating the gas dissipable compound from a liquid phase, and the gasification. The present invention provides a concentrating unit for concentrating a possible organic compound, a gasification unit for gasifying the concentrated liquid discharged from the concentration unit, and a decomposition unit for decomposing the gas discharged from the gasification unit and the gas obtained in the dissipation unit in the presence of a catalyst. Shall be.

또 전술한 바와 같이 상기「방산」이란, 액체에 용해되어 있는 휘발성분(이하, 용해휘발 성분이라 칭하는 수가 있다)을 가스에 동반시켜 추방하는 조작이며 용해휘발성분을 포함하지 않는 가스를 용액에 접촉시키는 것에 의해 방산을 행한다. 또한 상기「가스화」란, 액체에 가열이나 감압 등의 수단을 실시하는 것에 의해 액체의 실질전량을 증발시켜 기체상태로 하는 조작이며, 액체에 용해되어 있는 성분도 실질전량이 증발 또는 기화한다. As described above, the term "dispersion" refers to an operation of expelling volatile components (hereinafter, referred to as dissolved volatile components) dissolved in a liquid together with a gas and contacting a solution containing no dissolved volatile components. Dissipation is carried out by letting it run. In addition, said "gasification" is an operation which evaporates the actual whole quantity of a liquid to a gaseous state by applying means, such as a heating or pressure reduction, to a liquid, and the whole substance also evaporates or vaporizes the component melt | dissolved in a liquid.

상기 가스화 가능한 유기 화합물로서는, 상기한 바와 같이 비점이 800℃ 이하의 고비점 유기 화합물을 들 수 있으며, 더욱이 비점 100℃ 이상, 600℃ 이하의 질소함유 유기 화합물이 본 발명의 처리에 적합하다. 더욱 적합한 것은 비점10O℃ 이상, 350℃ 이하의 질소함유 유기 화합물이다. 구체적으로는 수산화 테트라알킬암모늄을 들 수 있으며, 특히 대표적인 예로서 수산화 테트라메틸암모늄(TMAH)을 들 수 있다. 또한 가스방산 가능 화합물로서는 암모니아를 대표적인 예로서 들 수 있다. 반도체장치 제조시에 상기 TMAH 및 암모니아를 포함한 폐수가 배출되고 있다. As said organic compound which can be gasified, the high boiling point organic compound whose boiling point is 800 degrees C or less is mentioned as mentioned above, Furthermore, the nitrogen containing organic compound of boiling point 100 degreeC or more and 600 degrees C or less is suitable for the process of this invention. More suitable are nitrogen-containing organic compounds having a boiling point of 100 ° C. or higher and 350 ° C. or lower. Specifically, tetraalkylammonium hydroxide is mentioned, Especially, tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is mentioned as a typical example. In addition, ammonia can be mentioned as a typical example as a gas-dispersible compound. Wastewater containing TMAH and ammonia is discharged during the manufacture of semiconductor devices.

가령 TMAH 및 암모니아를 함유하는 폐수를 전량 가스화하고 이 가스를 촉매에 의해 분해처리하려고 하면 가스화 장치로서 대형의 것이 필요하게 되며, 또한 가스량이 증대하기 위해 필요로 하는 촉매량이 증가하며 촉매분해처리에도 대단히 대형의 장치가 필요하게 된다. 또한 촉매 반응기에 도입하는 배기 가스의 온도를 적당한 반응 온도까지 승온하는 데 대단히 많은 열량이 필요하게 된다. For example, if the total amount of wastewater containing TMAH and ammonia is gasified, and the gas is decomposed by a catalyst, a large one is required as a gasifier, and the amount of catalyst required to increase the amount of gas is increased, and the catalytic decomposition treatment is very significant. Large apparatus is needed. In addition, a large amount of heat is required to raise the temperature of the exhaust gas introduced into the catalytic reactor to an appropriate reaction temperature.

또한, 본 발명과 같이, TMAH 등의 가스화 가능한 유기 화합물 및 암모니아 등의 가스방산 가능 화합물을 함유하는 폐수로부터 농축된 TMAH 등과 농축된 암모니아 등의 가스를 추출하면 가스화의 장치(가스화부)로서는 적어도 이 농축된 TMAH 등을 가스화할 수 있는 정도의 크기면 되므로, 즉 비교적 작은 것이면 되며 또한 가스화장치(가스화부)의 소비 에너지로서도 미농축액을 가스화하는 경우보다도 적어도 된다. 또한 분해공정시의 가스량도 절감되므로 분해공정의 장치(분해부)가 작아도 된다. 따라서 처리장치 전체로서 대단히 컴팩트하게 할 수 있다. 더욱이 분해공정(분해부)에 있어서의 촉매반응기를 소정온도로까지 승온하는 데 필요로 한 열량도 크게 줄일 수 있다. 따라서 운용 비용 및 초기 투자면에서 대단히 경제적인 처리방법 및 장치라고 할 수 있다. As in the present invention, when gas such as concentrated TMAH and concentrated ammonia is extracted from wastewater containing a gasizable organic compound such as TMAH and a gas dissipable compound such as ammonia, at least as a gasification apparatus (gasifier) The size of the gas can be such that the concentrated TMAH or the like can be gasified, that is, a relatively small one can be used, and the energy consumption of the gasifier (gasifier) is at least smaller than that of gasification of the unconcentrated liquid. In addition, since the gas amount during the decomposition step is also reduced, the device (decomposition section) of the decomposition step may be small. Therefore, the whole processing apparatus can be made very compact. In addition, the amount of heat required to increase the temperature of the catalytic reactor in the decomposition step (decomposition section) to a predetermined temperature can be greatly reduced. Therefore, it is a very economical processing method and device in terms of operating cost and initial investment.

본원의 제 2 발명의 방법이나 장치는 암모니아와 TMAH를 함유하는 폐수의 처리 뿐만아니라, 예를 들면 암모니아와 2-피롤리돈을 함유하는 폐수와 같이 TMAH 이외의 가스화 가능한 유기 화합물과 암모니아를 함유하는 폐수에도 적용할 수 있다. 또한 암모니아 이외의 가스방산 가능 화합물(예를 들면 아민류, 테트라히드로푸란)과 TMAH 등을 함유하는 폐수에도 적용할 수 있다. 즉, 본 발명은 TMAH 등의 가스화가능 유기 화합물과 암모니아 등의 가스방산 가능 화합물의 양쪽을 함유하는 폐수를 정화처리하는 방법으로서 상기 구성에 의해 TMAH 등과 암모니아 등의 양쪽을 질소 가스(N₂), 이산화탄소 가스(CO₂) , 물(H₂O) 등에 까지 동시에 효율적으로 처리할 수가 있다.The method or apparatus of the second invention of the present application not only treats wastewater containing ammonia and TMAH, but also contains ammonia and gasizable organic compounds other than TMAH, such as ammonia and 2-pyrrolidone, and ammonia. It can also be applied to waste water. It is also applicable to wastewater containing gas-dispersible compounds other than ammonia (for example, amines, tetrahydrofuran) and TMAH. That is, the present invention is both a nitrogen gas of TMAH as ammonia, etc. With the structure A method for purifying waste water which contains both the gas dissipation can be compounds such as gasification can be organic compounds and ammonia in TMAH, etc. (N _2), Carbon dioxide gas (CO ₂ ), water (H ₂ O) and the like can be efficiently treated at the same time.

본원의 제 2 발명의 방법(장치)에 있어서의 상기 가스화공정(가스화부)은 상기 농축 공정(농축부)으로부터 얻어지는 농축액의 실질전량을 가스화시키는 공정이며, [1] 이 농축액만을 가스화부(가스화공정)에 도입하여 가스화를 행하더라도 좋으며, 또는 [2] 방산부(방산공정)로부터 얻어지는 가스(암모니아 함유 가스 등)를 가스화부(가스화공정)에 도입한 상태로 상기 농축액을 공급하여 가스화를 행하더라도 좋다. 또는 [3]분해부(분해공정)로부터 배출되는 처리가 완료된 가스의 일부를 가스화부(가스화공정)에 도입한 상태로 상기 농축액을 공급하여 가스화를 행하더라도 좋고 다양한 실시형태에 의해 농축액의 가스화를 실시할 수가 있다. The gasification step (gasification part) in the method (apparatus) of the second invention of the present application is a step of gasifying the actual total amount of the concentrate obtained from the concentration step (concentration part), and [1] only this concentration solution is a gasification part (gasification). Gas may be introduced into the gasification unit (gasification step), or gasification may be performed by introducing a gas (ammonia-containing gas or the like) obtained from the dissipation unit (diffusing step) into the gasification unit (gasification step). You may. Or [3] gasification of the concentrated liquid by supplying the concentrated liquid with a part of the treated gas discharged from the decomposing unit (decomposition process) introduced into the gasification unit (gasification process), or gasification of the concentrated liquid according to various embodiments. You can do it.

한편, 예를 들면 상기 [2]와 같이 방산부에서의 가스를 가스화부에 도입한 상태로 가스화를 하는 처리장치로서는, 상기 방산부에서의 가스를 상기 가스화부에 도입하는 라인과, 상기 농축부에서의 배출 농축액을 상기 가스화부에 도입하는 라인을 구비한 것을 들 수 있다. On the other hand, for example, as a processing apparatus for gasification in the state where gas from the dissipation unit is introduced into the gasification unit as described in [2], a line for introducing gas from the dissipation unit to the gasification unit and the concentrating unit The thing provided with the line which introduce | transduces the waste concentrate liquid in the said gasification part is mentioned.

상기 가스화공정(가스화부)에서 얻어진 가스와 상기 방산된 가스를 따로따로 분해공정(분해부)를 행하도록 해도 좋지만, 상기 가스화공정에서 얻어진 가스와 상기 방산공정에서 얻어진 가스를 혼합하여 분해공정을 하는 쪽이 효율적이고, 또한 장치의 간소화를 꾀할 수 있다. 예를 들면 상기한 바와 같이 상기 유기 화합물이 수산화 테트라메틸암모늄의 경우에, 일단 분리한 수산화 테트라메틸암모늄과 암모니아를 다시 혼합하여 분해공정에서 분해하는 것이 바람직하며, 즉 수산화 테트라 메틸암모늄의 분해 가스와 암모니아 가스를 혼합하여 촉매분해를 시행하면 효율이 좋고, 또한 장치의 간소화를 꾀 할 수 있게 된다. The gas obtained in the gasification step (gasification section) and the dissipated gas may be separately decomposed (decomposition section), but the decomposition step is performed by mixing the gas obtained in the gasification step and the gas obtained in the dissipation step. Is more efficient and the apparatus can be simplified. For example, as described above, when the organic compound is tetramethylammonium hydroxide, it is preferable to mix tetramethylammonium hydroxide and ammonia, which have been separated once, and decompose in the decomposition step, that is, with decomposition gas of tetramethylammonium hydroxide. When catalytic decomposition is carried out by mixing ammonia gas, the efficiency is high and the apparatus can be simplified.

본원의 제 2 발명의 처리장치로서도, ① 가스화부에 도입하는 것으로 하여 상기 농축액(TMAH 등 함유액) 뿐만아니라 방산부에서 얻어진 가스도 도입하고, 그리고 가스화부에서 배출되는 TMAH 분해 가스 등 및 암모니아 등의 혼합 가스를 상기 분해부에 도입하는 경우와, ② 가스화부에 상기 농축액만을 도입하여, 가스화부에서 배출된 TMAH 분해 가스 등의 가스에 암모니아 가스 등을 혼합하여, 이것을 상기 분해부에 투입하는 경우와, ③가스화부에 상기 농축액만을 도입하고, 가스화부에서 출력된 TMAH 분해 가스 등의 가스와, 방산부에서 배출되는 가스를 따로따로의 분해부에 도입하는 경우가 있으며 이 중 상기 ①, ②는 상술한 바와 같이 정화장치로서 간소화를 꾀할 수 있고, 또한 효율적이다. Also in the processing apparatus of the second invention of the present application, (1) it is introduced into a gasification unit to introduce not only the concentrated liquid (containing solution such as TMAH) but also gas obtained from the dissipation unit, and TMAH decomposition gas, ammonia, etc. discharged from the gasification unit. Is introduced into the decomposing unit, and (2) only the concentrate is introduced into the gasification unit, and ammonia gas or the like is mixed with gases such as TMAH decomposed gas discharged from the gasification unit and introduced into the decomposing unit. 3) Only the concentrate is introduced into the gasification unit, and gases such as TMAH decomposition gas output from the gasification unit and gas discharged from the dissipation unit may be introduced into a separate decomposition unit. As described above, the purification apparatus can be simplified and efficient.

제 2 발명에 있어서의 상기 가스화공정(가스화부)로서도 상기 제 1 발명과 같이, 예를 들면 (1): 상기 농축액을 가열된 공간에 분무하여 폐수의 실질전량을 가스화한다, 또는 (2): 폐수를 가열함으로써 증발시켜 가스화하는 공정을 들 수 있다. In the second gasification step (gasifier) according to the second invention, as in the first invention, for example, (1): the concentrated liquid is sprayed into a heated space to gasify the actual total amount of the wastewater, or (2): The process of evaporating and gasifying by heating waste water is mentioned.

더욱이 본원의 제 2 발명에 관한 처리방법에 있어서는, 상기 방산공정을 상기 농축공정에 선행하여 행하고 방산후의 액상을 상기 농축공정으로 진행시키는 것이 바람직하다. Moreover, in the processing method which concerns on the 2nd invention of this application, it is preferable to perform the said dissipation process before a said concentration process, and to advance the liquid phase after dissipation to the said concentration process.

이 방산공정을 상기 농축공정에 선행하여 행하는 경우는(이하, 방산 선행 타입으로 칭하는 수가 있다) 후술하는 농축공정을 방산공정에 선행하는 경우(이하, 농축 선행 타입으로 칭하는 수가 있다) 보다도 알카리 첨가량을 절감할 수 있는 점, 또한 처리물의 재이용이 용이한 점에서 우수하다.   When this dissipation step is performed in advance of the concentration step (hereinafter, may be referred to as a dissipation precedence type), the amount of alkali added is greater than when the concentration step described below is preceded by the dissipation step (hereinafter, may be referred to as concentration advance type). It is excellent in that it can save and also makes it easy to reuse a process material.

이 방산 선행 타입의 정화장치로서 상기 폐수를 상기 방산부로 도입하는 라인과 이 방산부에서의 배출액상을 상기 농축부로 도입하는 라인을 갖춘 것을 들 수 있지만, 이 장치에 의해 폐수는 우선 방산부를 거친 후, 농축부에서 처리를 받게 된다.   This dissipation prior art type purifier includes a line for introducing the wastewater into the dissipation unit and a line for introducing the discharge liquid phase from the dissipation unit into the concentrating unit. In the concentration section, it is processed.

또는 본원의 제 2 발명에 관한 폐수의 정화 방법은, 상기 농축 공정이 열에너지를 사용하여 농축하는 것으로, 상기 농축공정을 상기 방산공정에 선행하여 하는 것으로 하며, 이 농축공정으로부터 얻어진 기상을 응축 공정으로 실행하여 얻어진 응축수를 상기 방산 공정으로 진행시키는 것이 바람직하다. Alternatively, the method for purifying wastewater according to the second invention of the present application is that the concentration step concentrates using heat energy, and the concentration step precedes the dissipation step, and the gas phase obtained from the concentration step is a condensation step. It is preferable to advance the condensed water obtained by execution to the said dissipation process.

예를 들면 상기 폐수를 수증기에 의해서 가열함으로써 암모니아 등을 휘산 하면서 농축된 액상 부분을 얻고(농축 공정),이 휘산된 암모니아 등을 수증기와 함께 응축하고(응축 공정),이어서 이 응축수 중의 암모니아 등을 방산하고 (방산 공정), 한편 상기 농축 공정에 의해 얻어진 유기 화합물 함유 농축액을 가스화하고(가스화 공정), 이 가스화 공정에서 얻어지는 가스와 상기 방산 공정에서 얻어진 가스를 촉매를 사용하여 분해한다(분해 공정). For example, by heating the waste water with water vapor, a concentrated liquid portion is obtained while volatilizing ammonia and the like (concentration step), condensing this volatilized ammonia with water vapor (condensation step), and then ammonia in the condensate Dissipate (dispersion step), and on the other hand, gasify the organic compound-containing concentrate obtained by the concentration step (gasification step), and decompose the gas obtained in this gasification step and the gas obtained in the dissipation step using a catalyst (decomposition step). .

이처럼 방산공정 보다도 먼저 농축공정을 행하더라도 좋다. As such, the concentration step may be performed before the dissipation step.

이 농축 선행 타입의 정화장치로서, 상기 폐수를 상기 농축부에 도입하는 라인과, 상기 농축부를 가열하는 가열기구와, 이 농축부에서의 방출기상을 응축부로 도입하는 라인과, 이 응축부에서의 배출 응축수를 방산부로 도입하는 라인을 구비한 것을 들 수 있다. 이 장치에 의해 폐수는 우선 농축부를 거친 후, 이 농축부에서의 기상이 응축부에서 응축되며, 배출 응축수가 방산부에서의 처리를 받고, 가스방산 가능 화합물 함유 가스(예를 들면 암모니아 함유 가스)를 방산하게 된다. As a concentrating prior art type purifier, a line for introducing the wastewater into the concentrating unit, a heating mechanism for heating the concentrating unit, a line for introducing the discharge gas phase from the concentrating unit into the condensing unit, and The thing provided with the line which introduce | transduces discharged condensate into a dissipation part is mentioned. With this device, the wastewater first passes through the condenser, then the gaseous phase in the condenser is condensed in the condensate, and the discharged condensate is treated by the dissipator, and the gas-dispersible compound-containing gas (for example, ammonia-containing gas) Will dissipate.

더욱이 본원의 제 1, 2 발명에 관한 처리 방법은, 상기 방산공정에서의 처리가 완료된 가스의 보유 열량을 상기 가스화 공정의 가스화를 위해 열량으로서 이용하는 것이 바람직하다. Furthermore, it is preferable that the processing method which concerns on the 1st, 2nd invention of this application uses the heat retention of the gas which the process in the said dissipation process completed, as heat quantity for gasification of the said gasification process.

방산공정에서의 방산방법으로서는, ①: 폐수(TMAH 등 및 암모니아 등을 함유하는 폐수, 또는 폐수 [B])를 가열함으로써 방산시키는 방법이나, ②: 산소 함유 가스(예를 들면 공기) 및(또는) 증기를 방산 장치(방산부)에 도입하고, 상기 산소함유 가스나 증기에 암모니아 등의 가스방산 가능 화합물을 동반시켜 배출시키는 방법등을 들 수 있지만, 상기 ①의 방산 방법을 거쳐 얻어진 [B] 방산 가스, 가스방산 가능 화합물 함유 가스나 상기 ②의 방산 방법에 있어서 상기 증기를 사용하여 방산하는 경우에 얻어진 [B]방산 가스, 가스방산 가능 화합물 함유 가스는 모두 비교적 고온이다. 또한 상기 ②의 방산 방법에 있어서 산소 함유 가스를 사용하여 방산하는 경우라 하더라도 비교적 온도가 높은 산소 함유 가스(예를 들면 100∼20O℃)를 방산 장치에 도입하는 편이 방산 효율이 높아지므로 도입하는 산소 함유 가스를 가열하는 것이 일반적이다. 따라서 어느 경우라도 방산 공정(방산부)를 거쳐 얻어지는 [B] 방산 가스, 가스방산 가능 화합물 함유 가스는 비교적 고온이다.   As a dissipation method in the dissipation step, ①: dissipates by heating wastewater (wastewater containing TMAH, ammonia, etc., or wastewater [B]), and ②: oxygen-containing gas (for example, air) and (or ) A method of introducing steam into a dissipation device (dissipation unit) and discharging the oxygen-containing gas or vapor with a gas dissipable compound such as ammonia, and the like. The dispersing gas, the gas dissipable compound-containing gas, or the gas dissipation-containing compound and the gas-dissipable compound-containing gas obtained in the case of dissipating using the steam in the dissipation method of ② are relatively high temperature. In addition, even in the case of dissipation using an oxygen-containing gas in the dissipation method of ② above, it is better to introduce a relatively high temperature oxygen-containing gas (for example, 100 to 20O < 0 > C) to the dissipation device because the dissipation efficiency is higher. It is common to heat the containing gas. Therefore, in either case, the [B] dissipation gas and the gas dissipable compound-containing gas obtained through the dissipation step (diffuse part) are relatively high temperature.

따라서 이러한 비교적 고온의 [B] 방산 가스나 가스방산 가능 화합물 함유 가스의 보유열량을 상기 가스화 공정(가스화부)에 있어서 이용함으로써, 열의 효율적 이용을 꾀할 수 있으며 가스화를 위한 에너지 비용을 절감할 수 있다. Therefore, by using such a relatively high temperature [B] dissipation gas or a gas dissipable compound-containing gas in the gasification step (gasification unit), efficient use of heat can be achieved and energy costs for gasification can be reduced. .

또한 상기 가스화공정에서의 가스화를 위한 열량으로서 상기 방산공정에서 얻어진 가스(본원의 제 1 발명에 있어서의 [B] 방산 가스, 또는 본원의 제 2 발명에 있어서의 방산 가스)를 가열하여 보유열량을 한층 더 높이고(가열공정(가열부)), 이것을 상기 가스화공정의 열원으로서 이용해도 좋다. In addition, as a heat amount for gasification in the said gasification process, the gas obtained by the said dissipation process ([B] dissipation gas in 1st invention of this application, or dissipation gas in 2nd invention of this application) is heated, Furthermore, you may raise (heating process (heating part)) and use this as a heat source of the said gasification process.

한편, 이 가열공정의 가열방법으로서는, 전기 히터나 연소화로 등의 공지의 모든 수단을 사용할 수 있다. 상기 연소화로의 연료에는 등유, LPG, 또는 도시 가스 등을 사용할 수 있음은 물론이며 반도체장치 제조공장에서는 이소프로필알콜을 포함하는 폐액이나 폐용제가 세정공정 등에 있어서 배출되는 수가 있으므로, 이것을 유효하게 이용하여 상기 연소화로의 연료로서 사용하면 에너지 절감 관점에서 바람직하다. In addition, as a heating method of this heating process, all well-known means, such as an electric heater and a combustion furnace, can be used. Kerosene, LPG, or city gas may be used for the fuel of the combustion furnace, and in the semiconductor device manufacturing plant, waste liquid or waste solvent containing isopropyl alcohol may be discharged in a washing process, and thus, it is effectively used. It is preferable to use as a fuel for the combustion furnace from the viewpoint of energy saving.

또한 분해공정에서의 촉매처리는 일반적으로 승온하여 (예를 들면 250∼350℃) 행해지지만, 상기한 바와 같이 가열공정을 이용하여 상기 촉매처리에서 요구되는 온도이상으로 [B] 방산 가스(혹은 가스방산 가능 화합물 방산 가스)를 가열하고 이렇게 하여 고온으로 한 [B] 방산 가스(혹은 가스방산 가능 화합물 방산 가스)의 열량을 상기 가스화 공정에서 이용하며 계속해서 분해 공정에 도입하면 촉매에 의한 분해공정을 위한 가열기를 별도로 필요로 하지 않고 장치의 간소화, 효율화를 꾀할 수 있다.  In addition, the catalyst treatment in the decomposition step is generally performed by raising the temperature (for example, 250 to 350 ° C.), but using the heating step as described above, the dispersing gas (or gas [B] above the temperature required for the catalyst treatment). The calorific value of the [B] dissipating gas (or gas dissipating compound dissipating gas) heated to a high temperature in this manner is used in the gasification process, and subsequently introduced into the decomposition process. It is possible to simplify and increase the efficiency of the device without requiring a separate heater.

또한 본원의 제 1, 2 발명에 관한 처리방법에 있어서는, 상기 분해공정에서의 처리가 완료된 가스(배기 가스)의 보유열량을 상기 가스화공정의 가스화를 위한 열량으로서 이용하는 것이 바람직하다. 또한 본원의 제 1, 2 발명의 처리 장치에 있어서는, 상기 분해부에서의 처리가 완료된 가스(배기 가스)의 보유열량을 상기 가스화부의 가스화를 위한 열량으로서 이용하는 것이 바람직하다. Moreover, in the processing method which concerns on the 1st, 2nd invention of this application, it is preferable to use the heat retention of the gas (exhaust gas) which the process in the said decomposition process completed, as a heat amount for gasification of the said gasification process. Moreover, in the processing apparatus of the 1st, 2nd invention of this application, it is preferable to use the amount of heat | fever which hold | maintains the gas (exhaust gas) which the process in the said decomposition part completed, as heat amount for gasification of the said gasification part.

분해공정(분해부)에 있어서 촉매에 의한 처리를 행하는데 있어서, 촉매의 처리효율 관점에서 피처리 가스의 온도를 소정 온도(예를 들면 250∼350℃)로 승온하는 것이 바람직하고 따라서 분해공정(분해부)에 있어서는, 촉매를 충전한 반응기를 가열하거나, 또는 이 반응기에 가열된 가스를 도입하는 것이 행해지고 있다. 이처럼 분해공정에 있어서의 가스는 어느 정도 고온이며, 따라서 이 분해공정(분해부)으로부터의 배기 가스도 비교적 고온이다. 따라서 이 배기 가스의 보유열량을 상기 가스화공정(가스화부)에서 이용하면 열의 유효 이용을 꾀할 수 있고 가스화를 위한 에너지 비용을 절감할 수 있다. In performing the treatment by the catalyst in the decomposition step (decomposition section), it is preferable to raise the temperature of the gas to be treated to a predetermined temperature (for example, 250 to 350 ° C.) from the viewpoint of the processing efficiency of the catalyst. In the decomposition section), a reactor filled with a catalyst is heated or a heated gas is introduced into the reactor. Thus, the gas in a decomposition process is high temperature to some extent, and exhaust gas from this decomposition process (decomposition part) is also comparatively high temperature. Therefore, by using the amount of heat retained in the exhaust gas in the gasification step (gasification unit), effective use of heat can be achieved and energy costs for gasification can be reduced.

이 처리가 완료된 가스의 열량 이용 방법으로서는, 예를 들면 열교환에 의해 상기 처리가 완료된 가스로부터 [B] 방산 가스(혹은 가스방산 가능 화합물 방산 가스)로 열량을 이행시키는 방법 등을 들 수 있다. As a method of using the heat quantity of the gas which this process completed, the method of transferring a heat quantity from the gas which the said process was completed by heat exchange to [B] dissipation gas (or gas dissipable compound dissipation gas), etc. are mentioned, for example.

또한 장치로서, 상기 분해부에서 배출된 가스를, 상기 가스화부로 반송하는 순환 라인이 설치된 것 등을 들 수 있다. Moreover, as an apparatus, the circulation line which conveys the gas discharged | emitted from the said decomposition part to the said gasifier is provided, etc. are mentioned.

더욱이 분해공정(분해부)으로부터의 배기 가스를 더욱 가열하여 보유열량을 한층 더 높이고(가열공정(가열부)), 이것을 상기 가스화공정(가스화부)의 열원으로서 이용해도 좋다. 예를 들면 상기 분해부에서 배출된 가스를 가열부를 통해 상기 가스화부로 반송하는 순환 라인이 설치된 것을 들 수 있으며, 상기 가스화를 위한 열량이 부족할 경우에 이 가열부에서 보충하여도 좋다. 이 가열공정(가열부)의 가열방법으로서도 상기와 마찬가지로 전기 히터나 연소화로 등의 공지의 모든 수단을 사용할 수 있으며, 상기 연소화로의 연료에는, 등유, LPG, 도시 가스 등을 사용할 수 있으며, 또한 반도체 장치 제조의 세정 공정 등에 있어서 배출되는 이소프로필 알콜 함유 폐액(폐용제)을 유효하게 이용하여 상기 연소화로의 연료로서 사용해도 좋으며 이러한 폐액을 이용하면 에너지 삭감 관점에서 바람직하다. Further, the exhaust gas from the decomposition step (decomposition section) may be further heated to further increase the amount of heat retained (heating step (heating section)), which may be used as a heat source for the gasification step (gasification section). For example, the circulation line which conveys the gas discharged | emitted from the said decomposition part to the said gasification part through the heating part was provided, and may be supplemented by this heating part when the heat quantity for the said gasification is insufficient. As the heating method of this heating step (heating unit), any known means such as an electric heater or a combustion furnace can be used as in the above, and kerosene, LPG, city gas, etc. can be used as the fuel of the combustion furnace. The isopropyl alcohol-containing waste liquid (waste solvent) discharged in the cleaning process of semiconductor device manufacture or the like may be effectively used as the fuel for the combustion furnace, and such waste liquid is preferable from the viewpoint of energy reduction.

또한 본원의 제l, 2 발명에 관한 처리 방법에 있어서는, 상기 방산공정을 거쳐 얻어진 방산후의 폐수를, 무해화처리에 이용하는것이 바람직하다. Moreover, in the processing method which concerns on the 1st, 2nd invention of this application, it is preferable to use the wastewater after dissipation obtained through the said dissipation process for a detoxification process.

방산후의 폐수에는 각종 유해성분이 함유되어 있는 경우가 있으므로 이것을 상기한 바와 같이 무해화 처리에 이용하는 것이 바람직하다. 상기 무해화 처리로서는 예를 들면 무촉매 습식산화 처리공정이나 촉매처리 공정, 생물 처리공정을 들 수 있으며 이것에 의해 무해화할 수 있다. Since the wastewater after dissipation may contain various harmful components, it is preferable to use it for the detoxification treatment as described above. Examples of the detoxification treatment include a non-catalytic wet oxidation treatment step, a catalyst treatment step, and a biological treatment step.

또한 본원의 제1 발명에 있어서의 상기 폐수 [B]가 과산화수소를 함유하는 경우에, 이 과산화 수소는 상기 방산공정을 거쳐 방산후의 폐수에 함유되는 경우도 있으며 이것을, 예를 들면 활성탄 등의 고체 촉매로 처리하면 과산화 수소를 무해한 물(H₂O)과 산소(O₂)로 분해가능하다.Moreover, when the said wastewater [B] in 1st invention of this application contains hydrogen peroxide, this hydrogen peroxide may be contained in the wastewater after dissipation through the said dissipation process, For example, solid, such as activated carbon Treatment with a catalyst decomposes hydrogen peroxide into harmless water (H ₂ O) and oxygen (O ₂ ).

한편, 상기 가스화 가능한 유기 화합물로서는, 물에 가용성인 물질이면 그 종류는 특별히 제한되는 것이 아니지만, 구체적으로는, 요소, 히드라진, 피리딘, 피페리딘, 피라진, 피라졸, 피라졸린, 2-피롤리돈, N-비닐피롤리돈, 또한 수산화 테트라메틸암모늄이나 수산화 테트라에틸암모늄, 콜린 등의 제4급 알킬 암모늄염, 모노에탄올 아민, 디에탄올아민 등의 알카놀아민류, 에틸렌 글리콜, 프로필렌 글리콜등의 글리콜류, 개미산, 초산, 아크릴산 등의 유기산류, 초산 암모늄, 개미산 암모늄 등의 열분해에 의해 분해·가스화하는 유기산 암모늄염 등을 들 수 있다. 이 중에서도 특히 수산화 테트라알킬암모늄을 함유하는 폐수가 반도체장치 제조공장에서 배출되는 수가 많으므로 이 폐수를 처리하는 데 있어서 본 발명은 유효하다. On the other hand, the gasizable organic compound is not particularly limited as long as it is a substance soluble in water, but specifically, urea, hydrazine, pyridine, piperidine, pyrazine, pyrazole, pyrazoline, 2-pyrroli Don, N-vinylpyrrolidone, further quaternary alkyl ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, alkanolamines such as monoethanolamine, diethanolamine, glycols such as ethylene glycol and propylene glycol And organic acid ammonium salts which are decomposed and gasified by pyrolysis of organic acids such as organic acids, formic acid, acetic acid and acrylic acid, and ammonium acetate and ammonium formic acid. Among these, since the wastewater containing tetraalkylammonium hydroxide is discharged | emitted from the semiconductor device manufacturing plant especially, this invention is effective in treating this wastewater.

또한 상기 가스방산 가능 화합물로서는, 물에 가용성인 물질이며 또한 공기 등의 가스 또는 증기, 또는 그 양쪽에 의해 동반되어 폐수로부터 방산하는 물질이면 그 종류는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 구체적으로는, 암모니아, 아세트이미드에테르, 테트라히드로푸란, 또는 메탄올, 에탄올, 1-프로판올, 2-프로판올 등의 알콜류, 포름알데히드, 아세트알데히드 등의 알데히드류, 2-프로판올, 2-부타논 등의 케톤류, N, N-디메틸히드라진, N, N'-디에틸히드라진 등의 히드라진류, 메틸아민, 에틸아민, 디메틸아민, 디에틸아민, 트리메틸아민, 트리에틸아민 등의 아민류, 에틸렌이민 등의 이민류, 아세트니트릴, 아크릴로니트릴 등의 니트릴류 등을 들 수 있다. 이 중에서도 특히 암모니아를 함유하는 폐수나, 암모니아 및 과산화 수소를 함유하는 폐수가 반도체장치 제조공장에서 배출되는 일이 많으므로 이 폐수를 처리하는 데 있어서 본 발명은 유효하다. As the gas dissipable compound, the kind is not particularly limited as long as it is a substance soluble in water and dissipated from waste water accompanied by a gas or steam such as air or both thereof. Specifically, ammonia, Acetimide ether, tetrahydrofuran or alcohols such as methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, aldehydes such as formaldehyde and acetaldehyde, ketones such as 2-propanol and 2-butanone, N, N- Hydrazines such as dimethyl hydrazine and N, N'-diethyl hydrazine, amines such as methylamine, ethylamine, dimethylamine, diethylamine, trimethylamine and triethylamine, imines such as ethyleneimine, acetonitrile and acryl Nitriles, such as ronitrile, etc. are mentioned. Among these, wastewater containing ammonia and wastewater containing ammonia and hydrogen peroxide are often discharged from a semiconductor device manufacturing plant, and thus the present invention is effective in treating this wastewater.

또한 상기 분해공정(분해부)에 사용하는 촉매로서는, 상기 가스화 가능 유기 화합물과 상기 가스방산 가능 화합물을 동시에 분해할 수 있는 것이면 어느 촉매라도 좋으며, 예를 들면 상기 TiO₂·SiO₂ -V-W-Pd 촉매 외에, 백금, 팔라듐, 로듐, 이리듐, 루테늄, 은 등의 귀금속이나, 동, 망간, 니켈, 코발트, 크롬, 세륨, 철 등의 천이금속을 활성 성분으로서 단독 또는 복수개 사용하여 산화물 기재(실리카, 알루미나, 티타니아, 지르코니아, 제올라이트 등의 산화물 담체)에 담지한 촉매를 들 수 있으며, 또한 이 밖에, 란탄, 세륨, 스트론튬, 바륨, 망간, 니켈, 코발트, 동, 철 등을 활성성분으로서 복수 포함하는 촉매나, 이들 란탄 등의 상기 산화물기재에 담지한 촉매를 들 수 있다.The catalyst used in the decomposition step (decomposition section) may be any catalyst as long as it can decompose the gasizable organic compound and the gas dissipable compound at the same time, for example, the TiO ₂ · SiO ₂ -VW-Pd. In addition to the catalyst, oxide substrates (silica, palladium, rhodium, iridium, ruthenium, silver, and other precious metals such as copper, manganese, nickel, cobalt, chromium, cerium, iron, etc. may be used alone or in plurality. And a catalyst supported on an oxide carrier such as alumina, titania, zirconia, zeolite, and the like, as well as a plurality of lanthanum, cerium, strontium, barium, manganese, nickel, cobalt, copper and iron as active ingredients. And catalysts supported on the above oxide base materials such as lanthanum.

더욱 상기 유기 화합물이 수산화 테트라알킬암모늄이고, 상기 가스방산 가능 화합물이 암모니아인 경우, 사용 촉매로서는 예를 들면 티타니아 및(또는) 티타니아·실리카를 포함하는 산화물인 제 1 성분과; 바나듐, 텅스텐, 몰리브덴, 세륨 및 철로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 일종의 금속 산화물인 제 2 성분과; 백금, 팔라듐, 이리듐, 로듐, 루테늄, 망간, 크롬 및 동으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종류의 금속 또는 그 산화물인 제 3 성분을 함유한 것을 들 수 있다. Furthermore, when the said organic compound is tetraalkylammonium hydroxide and the said gas-dispersible compound is ammonia, As a catalyst used, For example, the 1st component which is an oxide containing titania and / or titania-silica; A second component which is at least one kind of metal oxide selected from the group consisting of vanadium, tungsten, molybdenum, cerium and iron; The thing containing the 3rd component which is at least 1 sort (s) of metal chosen from the group which consists of platinum, palladium, iridium, rhodium, ruthenium, manganese, chromium and copper or its oxide is mentioned.

(실시예)      (Example)

이하, 본 발명에 관한 폐수의 처리방법 및 처리장치에 관해서, 도면을 참조하면서 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 물론 하기 예로 한정되는 것이 아니라, 전·후기의 취지에 적합한 범위로 적당한 변경을 가하여 실시하는 것도 가능하고, 그들은 모두 본 발명의 기술적범위에 포함된다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although the wastewater processing method and processing apparatus are demonstrated concretely, referring drawings, this invention is not limited to the following example, Of course, It implements by adding a suitable change to the range suitable for the meaning of the previous and later. It is also possible, and they are all included in the technical scope of the present invention.

<실시형태 1><Embodiment 1>

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도 이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the wastewater treatment apparatus concerning Embodiment 1 of this invention.

탱크(11)는 상기 폐수 [A]를 일시 저장해두는 탱크이며, 이 탱크(1l)에는 폐수도입 라인(12), 폐수배출 라인(13)이 연결되어 있다. 이 폐수배출 라인(13)은 농축기(농축부)(14)에 접속되며, 더욱이 이 농축기(14)로부터 도출되는 농축액체배출 라인(15)은 가스화기(가스화부)(16)에 접속되어 있다. The tank 11 is a tank in which the wastewater [A] is temporarily stored, and a wastewater introduction line 12 and a wastewater discharge line 13 are connected to this tank 11. This wastewater discharge line 13 is connected to a concentrator (concentrator) 14, and furthermore, the concentrated liquid discharge line 15 drawn from the concentrator 14 is connected to a gasifier (gasifier) 16. .

탱크 (21)은 상기 폐수 [B]를 일시 저장해 두는 탱크이며,이 탱크(21)에는 폐수도입라인(22), 폐수배출 라인(23)이 연결되어 있다. 그리고 폐수배출 라인(23)은 pH 조정조(24)에 접속되며, 또한 pH 조정조(24)에는, 알카리조(알카리액 저수조)(27)로부터 알카리용 펌프(28a)를 통해 알카리 공급라인(28)이 접속되어 있다. 상기 pH 조정조(24)로부터 도출되는 폐수투입 라인(25)은 투입펌프(25a)를 통해 방산탑(방산부)(26)에 접속되어 있다. The tank 21 is a tank in which the wastewater [B] is temporarily stored, and the tank 21 is connected with a wastewater introduction line 22 and a wastewater discharge line 23. The wastewater discharge line 23 is connected to the pH adjusting tank 24, and the alkaline adjusting line 24 is connected to the pH adjusting tank 24 through an alkaline pump 28a through an alkaline pump (alkaline liquid storage tank) 27. Is connected. The wastewater input line 25 derived from the pH adjusting tank 24 is connected to a dissipation tower (diffuse section) 26 through an input pump 25a.

방산탑(26)의 아래쪽 부분에는, 증기를 도입하는 증기도입 라인(32) 및 가열공기를 도입하는 공기도입 라인(33)이 접속되어 있다. 상기 공기도입 라인(33)에는 공기팬(33a)이 설치되어 있다. 상기 공기도입 라인(33)에는 가열기(히터)(34)를 통해 외부의 공기가 도입된다. 방산탑(26)의 윗쪽부분에는 내부의 가스를 배출하는 가스배출 라인(29)이 접속되며, 한편 방산탑(26)의 밑바닥부분에는 방산탑(26) 내의 액을 배출하는 액체배출 라인(31)이 접속되어 있다. 이 액체배출 라인(31)에는 펌프(31a)가 설치되어 있으며, 배출액을 다음 공정으로 이끌게 되어 있다. The lower part of the tower 26 is connected with the steam introduction line 32 which introduces steam and the air introduction line 33 which introduces heating air. The air introduction line 33 is provided with an air fan 33a. Outside air is introduced into the air introduction line 33 through a heater (heater) 34. The upper part of the tower 26 is connected to the gas discharge line 29 for discharging the gas inside, while the bottom of the tower 26 is connected to the liquid discharge line 31 for discharging the liquid in the tower 26 ) Is connected. The pump 31a is provided in this liquid discharge line 31, and the discharge liquid is led to the next process.

상기 가스배출 라인(29)은 가열기(35)를 통해 상기 가스화기(16)에 접속되어 있다. 가스화기(16)로부터의 가스배출 라인(17)은, 촉매반응기(분해부)(18)에 접속되며, 이 촉매반응기(18)로부터는 처리가 완료된 가스배출 라인(19)이 설치되어 있다. 상기 촉매반응기(18)에는 촉매로서 예를 들면 티타니아 및(또는) 티타니아·실리카를 포함하는 산화물인 제 1 성분과 ; 바나듐, 텅스텐, 몰리브덴, 세륨 및 철로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 한 종류의 금속산화물인 제 2 성분과; 백금, 팔라듐, 이리듐, 로듐, 루테늄, 망간, 크롬 및 동으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 한 종류의 금속 또는 그 산화물인 제 3 성분을 함유하는 것이 충전되어 있다. The gas discharge line 29 is connected to the gasifier 16 via a heater 35. The gas discharge line 17 from the gasifier 16 is connected to a catalytic reactor (decomposition unit) 18, and the catalytically discharged gas discharge line 19 is provided from the catalytic reactor 18. The catalytic reactor 18 includes a first component which is an oxide containing, for example, titania and / or titania silica as a catalyst; A second component which is at least one metal oxide selected from the group consisting of vanadium, tungsten, molybdenum, cerium and iron; It is filled with a third component which is at least one metal selected from the group consisting of platinum, palladium, iridium, rhodium, ruthenium, manganese, chromium and copper or an oxide thereof.

이어서 이 실시형태 1 의 처리장치를 사용한 폐수처리방법에 대해 설명한다. Next, a wastewater treatment method using the treatment apparatus of the first embodiment will be described.

상기 폐수 [A]로서는, 예를 들면 반도체장치의 제조과정에서 배출되는 현상폐수를 들 수 있으며, 이 폐수에는 TMAH라고 하는 유기 화합물이 함유되어 있다. 상기 폐수 [B]로서는, 예를 들면 반도체 웨이퍼 세정 폐수를 들 수 있으며, 이 폐수에는 암모니아 및 과산화 수소가 함유되어 있다. As said wastewater [A], the developing wastewater discharged | emitted in the manufacturing process of a semiconductor device is mentioned, for example, This wastewater contains the organic compound called TMAH. Examples of the wastewater [B] include semiconductor wafer cleaning wastewater, and the wastewater contains ammonia and hydrogen peroxide.

우선 탱크(21)로부터 상기 폐수 [B]를 pH 조정조(24)에 도입하고, 알카리를 첨가한다. 이렇게 폐수를 알카리성으로 하는 것에 따라, 다음의 방산탑(26)에 있어서의 암모니아 방산효율이 좋게 된다. 한편 상기 알카리로서는, 수성액 중에서 알카리성을 나타내는 것이면 어느 것이라도 좋으며, 예를 들면 수산화 나트륨, 수산화칼륨, 수산화마그네슘, 수산화칼슘 등을 들 수 있다. 폐수에 첨가하는 알카리 량으로서는, 암모니아를 방산시킬 수 있는 양이면 되지만 바람직하게는 폐수의 pH를 7 이상으로 하는 양이며, 더욱 바람직하게는 pH를 7∼13로 하는 데 필요한 양이다. First, the wastewater [B] is introduced into the pH adjusting tank 24 from the tank 21, and alkali is added. As the waste water is made alkaline, the ammonia dissipation efficiency in the next dissipation tower 26 is improved. On the other hand, as said alkali, as long as it shows alkalinity in aqueous liquid, any may be sufficient, For example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, magnesium hydroxide, calcium hydroxide, etc. are mentioned. The amount of alkali added to the wastewater may be any amount capable of dissipating ammonia, but is preferably an amount to set the pH of the wastewater to 7 or more, and more preferably an amount required to set the pH to 7 to 13.

알카리량이 적고 폐수의 pH가 7 미만이 되는 경우는, 암모니아의 방산효율이 낮고, 한편 폐수의 pH가 13 이상이면, 첨가하는 알카리량이 많아져 고비용을 초래하기 때문이다. This is because when the amount of alkali is small and the pH of the wastewater is less than 7, the ammonia dissipation efficiency is low, and when the pH of the wastewater is 13 or more, the amount of alkali to be added increases, resulting in high cost.

이어서 상기 알카리를 첨가한 폐수 [B]를 방산탑(26)에 도입한다.이 때 공기도입 라인(33)으로부터 가열한 공기(예를 들면 100∼200 ℃로) 및 /또는 증기도입 라인(32)으로부터 증기를 도입하여, 상기 폐수 [B]에 함유되는 암모니아를 상기 공기 등으로 동반하여 암모니아 함유 가스로 하여, 가스배출 라인(29)으로부터 배출한다.   Subsequently, the alkali-added wastewater [B] is introduced into the dissipation tower 26. At this time, the air heated from the air introduction line 33 (for example, at 100 to 200 ° C) and / or the vapor introduction line 32 is introduced. ), And ammonia contained in the wastewater [B] is introduced into the air or the like to form an ammonia-containing gas and discharged from the gas discharge line 29.

이렇게 하여 상기 폐수 [B]로부터 암모니아를 기상측으로 방산분리한다 (방산공정). In this way, ammonia is dissipated and separated from the wastewater [B] toward the gas phase (diffusion process).

방산탑(26)의 조작조건으로서는, 온도 120℃ 이하, 압력 20kPa(게이지압) 이하가 바람직하고, 방산에 사용하는 가스에 의해 다음과 같이 분류할 수가 있다. 즉, 공기나 질소 가스 등을 사용하여 방산을 하는 경우는 온도 5∼50℃ 압력 20kPa(게이지압) 이하의 조작 조건이 바람직하며 증기를 사용하여 방산을 하는 경우는 온도 80∼120℃, 압력 20kPa(게이지압) 이하의 조작 조건이 바람직하다. 또한 방산에 사용되는 가스의 투입량은 공기나 질소 가스 등에 의해 방산을 하는 경우에는 폐수투입량에 대하여 용량비로 100∼10000 배가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 l000∼5000 배이다. 증기에 의해 방산을 하는 경우에는 폐수투입량에 대하여 중량비로 0.05∼10 배가 바람직하고 더욱 바람직하게는 0.1∼5 배이다. As the operating conditions of the dissipation tower 26, a temperature of 120 degrees C or less and a pressure of 20 kPa (gauge pressure) or less are preferable, and can be classified as follows according to the gas used for dissipation. In other words, when dissipating using air or nitrogen gas, operating conditions with a temperature of 5 to 50 ° C and a pressure of 20 kPa (gauge pressure) or less are preferable, and when dissipating with steam, a temperature of 80 to 120 ° C and a pressure of 20 kPa (Gauge pressure) The following operating conditions are preferable. In addition, the amount of gas used for dissipation is preferably 100 to 10,000 times, more preferably l000 to 5000 times, in terms of capacity ratio with respect to the amount of waste water injected when dissipation is carried out by air or nitrogen gas. In the case of dissipation by steam, the amount is preferably 0.05 to 10 times, more preferably 0.1 to 5 times the weight ratio of the amount of waste water injected.

또한 상기 방산탑(26)에 있어서 암모니아가 제외된 폐수(이하, 암모니아 제외 폐수로 칭하는 수가 있다)에 관해서는, 액체배출 라인(31)으로부터 취득, 예를 들면 고체촉매에 의한 처리를 하여 과산화수소 등을 분해 처리한다.   Further, the wastewater in which the ammonia has been removed (hereinafter, referred to as ammonia-free wastewater) in the dissipation tower 26 can be obtained from the liquid discharge line 31, for example, by treatment with a solid catalyst to produce hydrogen peroxide or the like. Decompose

이어서 상기 가스배출 라인(29)으로부터 배출한 암모니아 함유 가스를 가열기(35)에 의해 200∼600℃로 가열하며 (바람직하게는 500℃이상),가스화기(16)에 도입한다. Subsequently, the ammonia containing gas discharged | emitted from the said gas discharge line 29 is heated to 200-600 degreeC (preferably 500 degreeC or more) by the heater 35, and is introduce | transduced into the gasifier 16. As shown in FIG.

한편 탱크(11)로부터 폐수 [A]를 농축기(14)에 도입한다. 예를 들면 반도체장치 제조과정에서 배출되는 현상폐수는 약 2000 ppm의 TMAH가 함유되어 있지만, 이렇게 저농도라면 다음 가스화기(16)에서의 가스화에 있어서 소비열량이 과대해 질 뿐 비효율적이 된다. 따라서 상기한 바와 같이 미리 농축기(14)에 있어서 소정의 농도까지 농축하면 좋다. 또한 농축함으로써 유기물이 거의 포함되지 않는 물이 얻어진다. 이 물을 공장용수로서 재이용하는 것도 대단히 효과적이다. On the other hand, wastewater [A] is introduced into the concentrator 14 from the tank 11. For example, the developing wastewater discharged during the semiconductor device manufacturing process contains about 2000 ppm TMAH, but if it is so low, the amount of heat consumed in gasification in the next gasifier 16 becomes excessively inefficient. Therefore, what is necessary is just to concentrate to predetermined density | concentration in the concentrator 14 as mentioned above. In addition, water with little organic matter is obtained by concentrating. It is also very effective to reuse this water as plant water.

이어서 이 농축액을 상기 가스화기(16) 내로 분무하면 상기 가열된 암모니아 함유 가스의 열량에 의해 상기 농축액이 가스화된다(가스화공정). Subsequently, the concentrated liquid is sprayed into the gasifier 16 to gasify the concentrated liquid by the heat amount of the heated ammonia-containing gas (gasification step).

한편 TMAH는 130℃ 이상으로 노출되는 것에 의해 메탄올과 트리메틸아민(이하, TMA로 칭하는 수가 있다)으로 분해되어 가스화한다. TMAH, on the other hand, is decomposed into methanol and trimethylamine (hereinafter may be referred to as TMA) by being exposed to 130 ° C. or higher to gasify.

이어서 이 가스화기(16)로부터의 가스(암모니아, 메탄올, 트리메틸아민 함유 가스)를 촉매반응기(18)에 도입하여, 반응기(18) 내의 촉매 작용에 의해서 분해처리하여 N₂, CO₂, O₂, H₂O 등의 무해화 가스로 하여 (분해공정), 가스 배출라인(19)으로부터 배출한다.Subsequently, the gas from the gasifier 16 (ammonia, methanol, trimethylamine-containing gas) is introduced into the catalytic reactor 18 and decomposed by catalysis in the reactor 18 to decompose N ₂ , CO ₂ , and O _2. It is discharged from the gas discharge line 19 as a detoxification gas such as H ₂ O (decomposition step).

촉매반응기(18)에 도입하는 가스 온도로서는, 100∼400℃가 바람직하며 l0O ℃미만에서는 촉매에 의한 산화효율이 불충분해져 상기 암모니아 등이 잔존할 염려가 있기 때문이며, 한편 4OO℃를 넘는 경우는 상기 암모니아 등의 산화가 너무 진행하여 질소 산화물(NO_x)을 생성하기 쉽고 NO_x의 후처리가 필요하게 될 염려가 있기 때문이다. 보다 바람직하게는 250℃이상, 350℃ 이하이다. 또한 촉매반응기(18)에 있어서 촉매의 공간속도(SV)를 500∼5000Oh^-1(보다 바람직하게는 1000∼1000Oh^-1)으로서 상기 피처리 가스를 공급하는 것이 바람직하며, 500 h^-1미만으로서는 촉매반응기(18)로서 큰 것이 필요하게 되어 비효율적이며, 50000h^-1를 넘는 경우는 분해효율이 현저히 저하될 염려가 있기 때문이다.The gas temperature to be introduced into the catalytic reactor 18 is preferably 100 to 400 ° C., and if it is less than 100 ° C., the oxidation efficiency by the catalyst may be insufficient, and the ammonia and the like may remain. This is because oxidation of ammonia or the like proceeds so much that it is easy to generate nitrogen oxides (NO _x ), and post-treatment of NO _x may be necessary. More preferably, they are 250 degreeC or more and 350 degrees C or less. In the catalytic reactor 18, it is preferable to supply the target gas with a space velocity (SV) of the catalyst of 500 to 5000Oh ⁻¹ (more preferably 1000 to 1000Oh ⁻¹ ), and less than 500 h ⁻¹ . It is because a large thing is needed as the catalytic reactor 18, and it is inefficient, and when it exceeds 50000 h <^-1> , decomposition efficiency may fall remarkably.

또한 상기 가스화기(16)에 의해 가스화되지 않은 고형물질을 제거하여 촉매 반응기(18)에 가스성분 만을 도입하는 것이 바람직하다. 즉 처리해야 할 폐수중에는 질소함유 유기 화합물, 탄화수소류 이외에 금속원소(예를 들면 Si)나 유황, 가스화공정에서도 분해되지 않는 난분해성 유기 화합물(고무나 열경화성 수지 등)이 포함되는 경우가 있다. 이러한 물질은, 가스화 공정에서 가스화되지 않기 때문에 가스화공정에서 촉매 산화 공정으로 이행하기 전에 폐가스로부터 분리제거해 두는 것이 바람직하다. 이들 난가스화 성분은 촉매의 피독 물질이 되어 접촉산화 공정에서의 반응효율을 저하시키는 원인이 되기 때문이다. 피독물질의 제거는 전처리제로 제거함으로써 행하는 것이 바람직하며 전처리제로서는, 알루미나, 실리카, 티타니아 및 지르코니아로부터 선택되는 적어도 1종이 바람직하게 사용된다. 이들은 펠렛 형상으로 성형하여 사용하는 것이 일반적이지만 그 형상은 특별히 한정하지 않는다.   In addition, it is preferable to remove the solid material not gasified by the gasifier 16 to introduce only the gas component into the catalytic reactor 18. In other words, the wastewater to be treated may contain not only nitrogen-containing organic compounds and hydrocarbons but also metal elements (for example, Si), sulfur, and hardly decomposable organic compounds (such as rubber or thermosetting resins) which are not decomposed in the gasification process. Since such a substance is not gasified in a gasification process, it is preferable to separate and remove it from waste gas before going to a catalytic oxidation process in a gasification process. This is because these non-gasification components become poisoning substances of the catalyst and cause a decrease in reaction efficiency in the catalytic oxidation process. Removal of the poisoning substance is preferably performed by removing with a pretreatment agent, and at least one selected from alumina, silica, titania and zirconia is preferably used as the pretreatment agent. Although it is common to use these by shape | molding in pellet shape, the shape is not specifically limited.

이렇게 하여 폐수 [A]와 폐수 [B]라고 하는 2종의 폐수를 동시에 처리할 수가 있다. In this way, two types of wastewater called wastewater [A] and wastewater [B] can be treated simultaneously.

<실시형태 2><Embodiment 2>

도 2는 본 발명의 실시형태 2에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도이다. It is a schematic diagram which shows the wastewater treatment apparatus concerning Embodiment 2 of this invention.

한편 도 1과 같은 구성 부분에 관해서는 동일 부호를 붙여 중복설명을 피한다. The same components as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals to avoid redundant description.

본 실시형태 2의 처리 장치는, 촉매반응기(18)로부터 배출되는 무해화가스의 열량을 이용하여, 가스화기(16)에 있어서의 가스화를 행하는 것으로 처리가 완료된 가스배출라인(19)으로부터 분기된 순환 라인(36)이, 송풍기(36a)를 통하여 가열기(37)를 거쳐 가스화기(16)에 접속되어 있다. 또한 방산탑(26)으로부터 도출된 가스배출 라인(29)이 가스화기(l6)로부터의 가스배출 라인(17)에 접속되어 있다. 더욱 본 실시형태 2에 있어서는 상기 농축기(14)가 생략되어 있으며, 탱크(11)로부터 폐수송출 라인(38)이 직접가스화기(16)에 접속되어 있다. 다른 구성은 상기 실시형태 1과 마찬가지다. The processing apparatus of the second embodiment is branched from the gas discharge line 19 where the treatment is completed by performing gasification in the gasifier 16 by using the calorific value of the harmless gas discharged from the catalytic reactor 18. The circulation line 36 is connected to the gasifier 16 via the heater 37 via the blower 36a. In addition, a gas discharge line 29 drawn from the dissipation tower 26 is connected to the gas discharge line 17 from the gasifier 16. In the second embodiment, the concentrator 14 is omitted, and the wastewater discharge line 38 is connected to the direct gasifier 16 from the tank 11. The other configuration is the same as that of the first embodiment.

상기 실시형태 1과 같이 하여 폐수 [B] 중에서 암모니아를 방산시켜 암모니아 함유 가스를 얻는다. In the same manner as in Embodiment 1, ammonia is dissipated in wastewater [B] to obtain an ammonia-containing gas.

한편 폐수 [A]는 가스화기(16) 내로 분무되어 가스화되지만 이 때 가스 배출 라인(19)으로부터 분기된 순환 라인(36)으로부터의 무해화 가스를 가열기(37)에 의해 가스화에 필요한 온도, 예를 들면 200∼600℃까지 가열하고 상기 가스화기(16)에 도입하여 가스화에 이용한다. 상기 가스 배출라인(19)으로부터 배출되는 무해화 가스의 온도는 촉매에 바람직한 반응온도, 예를 들면 1OO∼4OO℃정도의 고온이므로 이 열량을 이용함으로써 가열기(37)에서의 가열량을 적게 억제할 수 있으며 열효율이 좋다. On the other hand, wastewater [A] is sprayed into gasifier 16 and gasified, but at this time the temperature required for gasification of the detoxified gas from circulation line 36 branched from gas discharge line 19 by heater 37, eg For example, it heats to 200-600 degreeC, introduce | transduces into the said gasifier 16, and uses for gasification. Since the temperature of the detoxification gas discharged from the gas discharge line 19 is a high temperature of a reaction temperature preferable for the catalyst, for example, about 100 ° C. to about 400 ° C., the amount of heat in the heater 37 can be reduced by using this heat amount. Can and good thermal efficiency.

이어서 가스화기(16)로부터 배출되는 가스와 상기 가스배출 라인(29)로부터 배출한 암모니아 함유 가스를 합류시켜 촉매반응기(18)에 도입하여 상기 실시형태 1 과 같이 촉매 작용에 의해서 분해처리하여 N₂, CO₂, O₂, H₂O 등의 무해화 가스로 하여 배출 라인(l9)으로부터 배출한다.Subsequently, the gas discharged from the gasifier 16 and the ammonia-containing gas discharged from the gas discharge line 29 are combined to be introduced into the catalytic reactor 18 and decomposed by catalysis as in Embodiment 1, and subjected to N _2. It is discharged from the discharge line l9 as a detoxifying gas such as, CO ₂ , O ₂ , H ₂ O, or the like.

이렇게 하여 폐수 [A]와 폐수 [B]의 2 종의 폐수를 동시에 처리할 수가 있다. In this way, two types of wastewater, wastewater [A] and wastewater [B], can be treated simultaneously.

<실시형태 3><Embodiment 3>

도 3은 본 발명의 실시형태 3 에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도이다.  It is a schematic diagram which shows the wastewater treatment apparatus concerning Embodiment 3 of this invention.

한편 도 1과 같은 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙여 중복설명을 피한다. The same components as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals to avoid redundant description.

본 실시형태 3에 있어서는 촉매반응기(18)로부터 도출되는 처리가 완료된 가스배출 라인(39)이 2개로 분기되고, 이 한쪽 분기 라인(41)이 가스화용 열교환기(43)에 접속되며 다른쪽 분기 라인(42)이 공기가열용 열교환기(44)에 접속되어 있다. In this Embodiment 3, the gas discharge line 39 which completed the process derived from the catalytic reactor 18 is branched into two, and this branch line 41 is connected to the gasification heat exchanger 43, and the other branch is carried out. The line 42 is connected to the air heat exchanger 44.

상기 가스화용 열교환기(43)에는, 방산탑(26)으로부터 도출된 가스배출 라인(45)이 접속되며 열교환에 의해 가스배출 라인(45) 내의 암모니아 함유 가스를 가열할 수 있도록 되어 있다. 더욱 가스화용 열교환기(43)에는 가열부가 설치되어 있으며, 폐수 [A]의 가스화에 필요한 온도(200 ∼ 600℃)로 가열할 수 있도록 되어 있다. 그리고 이 가스화용 열교환기(43)를 거친 가스배출 라인(45)은 가스화기(l6)에 접속되며 폐수 [A]의 가스화에 이용된다. A gas discharge line 45 derived from the dissipation tower 26 is connected to the gasification heat exchanger 43 to heat the ammonia-containing gas in the gas discharge line 45 by heat exchange. In addition, the gasification heat exchanger 43 is provided with a heating unit, and is capable of heating to a temperature (200 to 600 ° C.) required for gasification of the wastewater [A]. The gas discharge line 45 passing through the gasification heat exchanger 43 is connected to the gasifier 16 and used for gasification of the wastewater [A].

한편 상기 공기가열용 열교환기(44)에는 방산탑(26)에 공기를 도입하기 위한 공기도입 라인(33)이 접속되어 있으며 열교환에 의해 공기도입 라인(33) 내의 공기를 가열할 수 있도록 되어 있다. 또한 공기가열용 열교환기(44)에는 가열부가 설치되어 있으며 적당히 가열할 수 있도록 되어 있다.이 공기가열용 열교환기(44)에 의해 가열된 공기는 공기도입 라인(33)에 의해 방산탑(26)으로 도입되며 암모니아방산에 사용된다. On the other hand, the air heating heat exchanger 44 is connected to an air introduction line 33 for introducing air into the dissipation tower 26 and heats the air in the air introduction line 33 by heat exchange. . In addition, the air heating heat exchanger (44) is provided with a heating unit and can be appropriately heated. The air heated by the air heating heat exchanger (44) is dissipated by the air introduction line (33). It is introduced into) and is used for ammonia defense.

열교환후의 무해화가스는 배출 라인(46, 47)을 거쳐 합류 라인(48)으로 합류되어 대기로 방출된다. After the heat exchange, the harmless gas is joined to the confluence line 48 through the discharge lines 46 and 47 and discharged to the atmosphere.

상술한 바와 같이 촉매반응기(18)로부터 배출되는 무해화가스는 비교적 고온이므로 이 열량을 상기 가스화용 및 공기가열용 열교환기(43, 44)를 사용하여 회수, 이용하면, 열을 유효하게 이용할 수 있다. As described above, since the detoxified gas discharged from the catalytic reactor 18 is relatively high temperature, heat can be effectively used if the heat amount is recovered and used by using the gasification and air heating heat exchangers 43 and 44. have.

본 실시형태 3에 있어서도, 상기한 바와 같이 폐수 [A]와 폐수 [B]라는 2종의 폐수를 동시에 처리할 수가 있으며 또한 열효율이 좋다. Also in this Embodiment 3, as mentioned above, two types of wastewater, wastewater [A] and wastewater [B], can be treated simultaneously, and thermal efficiency is good.

<실시형태 4><Embodiment 4>

도 4는 본 발명의 실시형태 4에 관한 처리장치를 나타내는 모식도이다. 4 is a schematic diagram showing a processing apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.

방산탑(암모니아방산부)(26)의 윗쪽부분에는 TMAH와 암모니아를 함유하는 폐수를 도입하는 배관(도입 라인)(62)이 접속되어 있으며, 방산탑(26)내에 상기 폐수가 내리쏟아지는 구조로 되어있다. 또한 방산탑(26)의 윗쪽부분에는 내부의 가스를 배출하는 가스배출관(64)이 설치되어 있다. 방산탑(26)의 아래쪽부분에는 공기 또는 증기를 공급하는 공급배관(63)이 설치되어 있으며 또한 방산탑(26)의 밑바닥부분에는 방산탑(26)내의 액체를 배출하는 액체배출관(액체배출 라인)(31)이 설치되어 있다.이 액체배출관(31)은 농축기(농축부)(66)에 접속되어 있으며 더욱 이 농축기(66)로부터 도출되는 농축액도출배관(67)은 가스화기(가스화부)(16)에 접속되어 있다. 상기 농축기(66)에는 농축에 의해 생성된 증류수를 배출하는 배관(69)도 접속되어 있으며, 또한 상기 농축기(66)를 가열하기 위한 증기도입배관(61)도 접속되어 있다. A pipe (induction line) 62 for introducing wastewater containing TMAH and ammonia is connected to the upper portion of the tower (ammonia defense unit) 26, and the wastewater flows down into the tower 26. It is. In addition, the upper part of the tower 26 is provided with a gas discharge pipe 64 for discharging the gas inside. A supply pipe 63 for supplying air or steam is provided at the lower part of the tower 26, and a liquid discharge pipe (liquid discharge line) for discharging the liquid in the tower 26 at the bottom of the tower 26. (31) is provided. The liquid discharge pipe (31) is connected to a concentrator (concentrator) 66, and further, the concentrated liquid discharge pipe (67) derived from the concentrator 66 is a gasifier (gasifier). It is connected to (16). The concentrator 66 is also connected with a pipe 69 for discharging distilled water generated by concentration, and a steam introduction pipe 61 for heating the concentrator 66 is also connected.

상기 방산탑(26)으로부터의 가스배출관(64)은 가열기(가열부)65에 접속되어 있다. 또한 이 가스배출관(64)에는 공기도입관(68)이 접속되어 있으며,방산탑(26)으로 얻어진 암모니아 함유가스(NH₃가스)에 적당히 공기를 추가하여 가열기(65)에 공급할 수 있도록 되어 있다. 상기 가열기(65)에는 연료공급관(20)이 접속되어 있으며 가스배출관(64)으로부터 도입되는 암모니아 함유 가스를 가열할 수 있도록 되어 있다. 상기 가열기(65)로 소정온도에 가열된 암모니아 함유 가스는 배출관(70)을 통해 가스화기(16)에 공급된다.The gas discharge pipe 64 from the dissipation tower 26 is connected to a heater (heating unit) 65. In addition, an air introduction pipe 68 is connected to the gas discharge pipe 64 so that air can be appropriately added to the ammonia-containing gas (NH ₃ gas) obtained by the dissipation tower 26 and supplied to the heater 65. . A fuel supply pipe 20 is connected to the heater 65 to heat the ammonia-containing gas introduced from the gas discharge pipe 64. The ammonia-containing gas heated at the predetermined temperature by the heater 65 is supplied to the gasifier 16 through the discharge pipe 70.

이 가스화기(16)에는 상기 농축액 도출배관(67)이 접속되어 있으며 상기 가열기(65)로 가열되어 온도가 상승한 암모니아 함유가스중에 상기 농축액을 분무하여 농축액의 실질전량을 가스화시킬 수 있도록 되어 있다. The concentrated liquid extracting piping 67 is connected to this gasifier 16, and the concentrated liquid is sprayed in the ammonia-containing gas heated by the heater 65 to raise the temperature so as to gasify the actual amount of the concentrated liquid.

상기 가스화기(16)에 접속된 배출관(7l)은 촉매반응기(분해부)(18)에 접속되며, 상기 가스화기(16)에 있어서 상기 농축액을 가스화함으로써 생긴 배기 가스와(농축액에 포함되는 TMAH는 열분해되어 트리메틸아민과 메탄올이 된다) 가스배출관(64)으로부터 가열기(65)를 거쳐 가스화기(16)에 도입된 암모니아 함유가스와의 혼합 가스를 촉매반응기(18)에 도입할 수 있도록 되어 있다. The discharge pipe 7l connected to the gasifier 16 is connected to the catalytic reactor (decomposition unit) 18, and the exhaust gas generated by gasifying the concentrate in the gasifier 16 (TMAH contained in the concentrate). Is thermally decomposed into trimethylamine and methanol). The mixed gas with the ammonia-containing gas introduced into the gasifier 16 from the gas discharge pipe 64 through the heater 65 can be introduced into the catalytic reactor 18. .

또한 촉매반응기(18)에는 처리가 완료된 가스 등을 배출하는 배출관(처리가 완료된 가스배출 라인)(19)이 설치되어 있다. 한편 상기 가스배출관(64)에 접속된 공기도입관(68)으로부터의 공기 도입량을 적당히 조절하고 상기 촉매반응기(18)에 도입되는 가스속의 암모니아나 상기 트리메틸아민, 메탄올의 농도가 촉매 반응기(18)에 있어서의 촉매 반응에 알맞은 것이 되도록 희석 조절하면 좋다. Further, the catalytic reactor 18 is provided with a discharge pipe (process completed gas discharge line) 19 for discharging the processed gas or the like 19. On the other hand, the amount of air introduced from the air inlet pipe 68 connected to the gas discharge pipe 64 is appropriately adjusted, and the concentration of ammonia, trimethylamine, and methanol in the gas introduced into the catalytic reactor 18 is increased. What is necessary is just to adjust dilution so that it may become suitable for the catalytic reaction in the process.

상기 촉매반응기(18)에는 촉매가 충전되어 있다. The catalytic reactor 18 is filled with a catalyst.

촉매반응기(18)에 충전되는 촉매로서는 예를 들면 티타니아 및(또는) 티타니아·실리카를 포함하는 산화물인 A성분과; 바나듐, 텅스텐, 몰리브덴, 세륨 및 철로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속산화물인 B성분과; 백금, 팔라듐, 이리듐, 로듐, 루테늄, 망간, 크롬 및 동으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 그 산화물인 C 성분을 함유하고 있는 것이 바람직하다. As a catalyst to be charged to the catalytic reactor 18, For example, A component which is an oxide containing titania and / or titania silica; B component which is at least 1 type of metal oxide selected from the group which consists of vanadium, tungsten, molybdenum, cerium, and iron; It is preferable to contain C component which is at least 1 sort (s) of metal chosen from the group which consists of platinum, palladium, iridium, rhodium, ruthenium, manganese, chromium, and copper, or its oxide.

이어서 이 실시형태 4의 처리장치의 동작에 대해 설명한다. Next, operation | movement of the processing apparatus of this Embodiment 4 is demonstrated.

TMAH 및 암모니아를 함유하는 폐수를 배관(62)으로부터 방산탑(26)에 도입한다. 이 때 공급배관(63)으로부터 공기 또는 증기를 도입하고 상기 폐수에 함유되는 암모니아를 상기 공기 등에 의해 동반하여 암모니아 함유가스로 하여 가스배출관(64)으로부터 배출한다. 이렇게 하여 상기 폐수로부터 암모니아를 기상측에 방산분리한다. Wastewater containing TMAH and ammonia is introduced from the piping 62 into the dissipation tower 26. At this time, air or steam is introduced from the supply pipe 63, and the ammonia contained in the wastewater is accompanied by the air or the like and discharged from the gas discharge pipe 64 as an ammonia-containing gas. In this way, ammonia is dissipated and separated from the waste water to the gas phase.

방산탑(26)의 조작 조건으로서는, 온도 120℃ 이하 압력 20kPa(게이지압)이하가 바람직하고 방산에 사용하는 가스에 의해 다음과 같이 분류할 수가 있다. [1]공기나 질소 가스 등에 의해 방산을 하는 경우는, 온도 5∼50℃, 압력20 kPa(게이지압) 이하의 조업 조건이 바람직하며 [2]증기에 의해 방산을 하는 경우에는, 온도 80∼120℃로 압력 20kPa(게이지압) 이하의 조업조건이 바람직하다. 또한 방산에 사용되는 가스의 투입량으로서는 [1] 공기나 질소 가스 등에 의해 방산을 하는 경우는 폐수투입량에 대하여 용량비로 100∼10000배가 바람직하며 더욱 바람직하게는 1000배 이상, 5000배 이하이다. 또한 [2] 증기에 의해 방산을 하는 경우는 폐수투입량에 대하여 중량비로 0·05∼10배가 바람직하며 더욱 바람직하게는 0.1배 이상, 5배 이하 이다. As the operating conditions of the dissipation tower 26, the temperature of 120 degrees C or less pressure 20 kPa (gauge pressure) or less is preferable, According to the gas used for dissipation, it can classify as follows. [1] In the case of dissipation by air or nitrogen gas, operating conditions of temperature of 5 to 50 ° C and a pressure of 20 kPa (gauge pressure) or less are preferable. [2] In the case of dissipation by steam, the temperature is 80 to The operating conditions of 20 kPa (gauge pressure) or less at 120 degreeC are preferable. In addition, as the amount of gas to be used for dissipation, [1] when dissipating with air, nitrogen gas or the like, it is preferably 100 to 10000 times in terms of capacity ratio with respect to the waste water input amount, more preferably 1000 to 5000 times. [2] In the case of dissipation by steam, 0 to 05 to 10 times are preferable in weight ratio with respect to the amount of waste water input, more preferably 0.1 to 5 times.

이어서 이 암모니아 방산 후의 폐수(이하, NH₃ 제거폐수로 칭하는 수가 있다)를 방산탑(26)의 액체배출관(3l)에서 뽑아 내어 농축기(66)에 도입한다. 이 농축기(66)에서는 예를 들면 증기도입배관(61)으로부터 증기를 도입하여 가열함으로써 상기 NH₃ 제거폐수로부터 수분을 증발시켜 (증발수 도출배관(69)으로부터 이 수증기를 배출) TMAH의 농축액을 얻는다. 한편 이 증발한 물은 증류수이므로 냉각응축하여 공장용수 등으로 재이용할 수가 있다.Subsequently, the wastewater after the ammonia dissipation (hereinafter may be referred to as NH ₃ removal wastewater) is extracted from the liquid discharge pipe 3l of the dissipation tower 26 and introduced into the concentrator 66. In this concentrator 66, for example, steam is introduced from the steam introduction pipe 61 and heated to evaporate water from the NH ₃ removal wastewater (exhaust this vapor from the evaporated water derivation pipe 69). Get On the other hand, since this evaporated water is distilled water, it can be cooled and condensed and reused as plant water.

상기 가스배출관(64)으로부터 상기 암모니아 함유 가스를 적당한 공기에 의해 희석하여(공기도입관(68)으로부터 공기를 혼합)가열기(65)에 도입하는 동시에 연료공급관(20)으로부터 연료를 공급하여 연료 버너에 의해 200∼600℃열풍을 발생시킨다. 이 가열한 암모니아 함유 가스를 배출관(70)을 통해 가스화기(16)에 도입하는 동시에 상기 TMAH의 농축액을 농축액 배출배관(67)으로부터 가스화기(16) 내에 분무하고 상기 TMAH 농축액을 가스화한다. TMAH는 130℃이상에 노출되는 것에 의해 메탄올과 트리메틸아민(이하,TMA로 칭하는 수가 있다)으로 분해되어 가스화한다. 한편 가스화기(16)의 가열수단으로서는 상기 연료 버너로 한정하는 것이 아니라, 예를 들면 전기 히터를 사용하여도 좋다. The ammonia-containing gas is diluted from the gas discharge pipe (64) with suitable air (mixing air from the air inlet pipe (68)) and introduced into the heater (65) while simultaneously supplying fuel from the fuel supply pipe (20) to fuel burner. Produces a 200-600 degreeC hot air. The heated ammonia-containing gas is introduced into the gasifier 16 through the discharge pipe 70, and the concentrated liquid of the TMAH is sprayed from the concentrated liquid discharge pipe 67 into the gasifier 16 to gasify the TMAH concentrated liquid. TMAH is decomposed into methanol and trimethylamine (hereinafter may be referred to as TMA) by being exposed to 130 ° C or higher to gasify. On the other hand, the heating means of the gasifier 16 is not limited to the fuel burner, but an electric heater may be used, for example.

이어서 상기 가스화기(16)로부터 배출된 가스(암모니아, 메탄올, 트리메틸아민함유 가스)를 촉매반응기(18)에 도입하여 촉매반응기(18)내의 촉매 작용에 의해서 분해처리하고 N₂, CO₂, H₂O (무해화 가스)로 하여 배출관(19)으로부터 배출한다. 한편 촉매반응기(18)에 있어서 온도를 100∼400℃(더욱 바람직하게는 250∼350℃)로 하는 것이 바람직하고 100℃ 미만에서는 촉매에 의한 산화효율이 불충분하며 상기 암모니아 등이 잔존할 우려가 있기 때문이며 한편 4OO℃를 넘는 경우는 상기 암모니아 등의 산화가 너무 진행되어 질소 산화물 (NO_x)을 생성하기 쉬워 NO_x의 후처리가 필요하게 될 염려가 있기 때문이다. 또한 촉매반응기(18)에 있어서 촉매의 공간속도(SV)를 500∼50000 h^-1(더욱 바람직하게는1000∼1000O^h-1) 으로서 상기 피처리 가스를 공급하는 것이 바람직하며 500h^h-1미만에서는 촉매반응기(18)로서 큰 것이 필요해져 비효율적이며 50000h^h-1을 넘는 경우는 분해효율이 현저히 저하될 염려가 있기 때문이다. 또한 상기 가스화기(16)에 의해 가스화되지 않은 고형물질을 제거하여 촉매반응기(18)에 가스성분만을 도입하는 것이 더욱 바람직하다.Subsequently, the gas discharged from the gasifier 16 (ammonia, methanol, trimethylamine-containing gas) is introduced into the catalytic reactor 18 and decomposed by catalysis in the catalytic reactor 18, and N ₂ , CO ₂ , H ₂ O (harmless gas) is discharged from the discharge pipe 19. On the other hand, in the catalytic reactor 18, the temperature is preferably set to 100 to 400 ° C (more preferably, 250 to 350 ° C), and below 100 ° C, the oxidation efficiency by the catalyst is insufficient and there is a possibility that the ammonia and the like remain. On the other hand, if the temperature exceeds 4O &lt; 0 &gt; C, oxidation of the ammonia or the like proceeds too much, which is likely to generate nitrogen oxides (NO _x ), which may require post-treatment of NO _x . Also preferable to supply the gas to be treated as a space velocity (SV) of the catalyst 500~50000 h ^-1 (more preferably 1000~1000O ^h-1) in the catalytic reactor (18) and less than 500h ^h-1 This is because, in the case of the catalytic reactor 18, a large one is required, which is inefficient, and in the case of more than 50000 ^{h h -1} , the decomposition efficiency may be significantly reduced. In addition, it is more preferable that only the gaseous components are introduced into the catalytic reactor 18 by removing the solid matter which is not gasified by the gasifier 16.

이렇게 하여 TMAH와 암모니아의 양쪽을 포함하는 폐액을 무해한 N₂, CO₂, O₂, H₂O 까지 동시에 효율적으로 처리할 수가 있다.In this way, the waste liquid containing both TMAH and ammonia can be efficiently treated to harmless N ₂ , CO ₂ , O ₂ , and H ₂ O simultaneously.

한편 TMAH와 암모니아를 함유하는 폐수를 그대로 기화하여 촉매에 의한 처리를 한 경우는 전술한 바와 같이 대형 장치가 필요하지만 상기한 바와 같이 일단 TMAH와 암모니아를 분리하고, 분리한 TMAH를 농축하여 그 후 기화하여 상기 분리한 암모니아와 함께 촉매에 의한 처리를 하면 처리장치로서 작은 것이어도 된다. On the other hand, if the wastewater containing TMAH and ammonia is vaporized as it is and treated with a catalyst, a large-sized device is required as described above, but as described above, the TMAH and ammonia are separated first, and the separated TMAH is concentrated and then vaporized. If the treatment is carried out with a catalyst together with the separated ammonia, the treatment apparatus may be small.

<실시형태 5><Embodiment 5>

도 5는 본 발명의 실시형태 5에 관한 처리장치를 나타내는 모식도이다. 5 is a schematic diagram illustrating a processing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention.

한편 도 4와 같은 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙여 중복설명을 피한다. The same components as in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals to avoid redundant description.

TMAH와 암모니아를 함유하는 폐수를 보내주는 배관(72)은 농축기(농축부)(76)에 접속되며 이 농축기(76)에는 증기공급관(74)이 접속되며 이 공급된 증기에 의해 가열할 수 있도록 되어 있다. 농축기(76)로부터는 기체배출관(73)과 액체배출관(77)이 접속되며 이 액체배출관(77)은 가스화기(가스화부)(16)에 접속되어있다. 또한 상기 기체배출관(73)은 응축기(응축부)(78)에 접속되며 더욱 이 응축기(78)로부터 배관(75) 보다 방산탑(암모니아방산부)(26) 쪽에 접속되어 있다. 방산탑(26)의 아래쪽 부분에는 공기 또는 증기의 공급배관(63)이 설치되어 있으며 또한 방산탑(26)의 밑바닥 부분에는 방산탑(26) 내의 액(처리완료된 물)을 배출하는 액체배출관(3l)이 설치되어 있다. 또한 방산탑(26)으로부터의 가스배출관(79)이 가스화기(16)에 접속되어 있다. 상기 가스배출관(79)에는 가열기(가열부)(56)로부터의 배관(57)이 접속되어 있다. 이 가열기(56)에는 연료공급관(20) 및 공기도입관(55)이 접속되어 있다. 가스화기(16)로부터의 배출관(71)은 상기 실시형태 4 와 같이 촉매반응기(분해부)(18)에 접속되어 있으며 또한 촉매반응기(18)로부터 처리완료된 가스 등을 배출하는 배출관(19)이 설치되어 있다. A pipe 72 for sending waste water containing TMAH and ammonia is connected to a concentrator (concentrator) 76, which is connected to a steam supply pipe 74 and heated by the supplied steam. It is. From the concentrator 76, the gas discharge pipe 73 and the liquid discharge pipe 77 are connected, and this liquid discharge pipe 77 is connected to the gasifier (gasifier) 16. In addition, the gas discharge pipe 73 is connected to a condenser (condensation part) 78, and is further connected from the condenser 78 to the dissipation tower (ammonia dissipation part) 26 rather than the pipe 75. The lower part of the tower 26 is provided with a supply pipe 63 of air or steam, and the bottom of the tower 26 is a liquid discharge pipe for discharging the liquid (treated water) in the tower (26) ( 3l) is installed. In addition, a gas discharge pipe 79 from the distribution tower 26 is connected to the gasifier 16. The gas discharge pipe 79 is connected with a pipe 57 from a heater (heating unit) 56. The heater 56 is connected with a fuel supply pipe 20 and an air introduction pipe 55. The discharge pipe 71 from the gasifier 16 is connected to the catalytic reactor (decomposition unit) 18 as in the fourth embodiment, and the discharge pipe 19 for discharging the processed gas or the like from the catalytic reactor 18 is provided. It is installed.

이어서 본실시형태 5의 장치의 동작에 대해 설명한다. Next, the operation of the apparatus of the fifth embodiment will be described.

암모니아·TMAH 함유폐수를 우선 농축기(76)에 도입하고 이 농축기(76)에 있어서 폐수를 증기에 의해 가열하고 TMAH를 농축한다. 이 농축기(76)로 증발하여 기체배출관(73)으로부터 배출되는 가스는 주로 수증기와 암모니아이며, 이어서 이들을 응축기(78)에서 응축하고 이 응집수를 배관(75)으로부터 방산탑(26)에 도입한다. 방산탑(26)으로서는 공기 또는 증기에 의해 응집수중의 암모니아를 방산하고 이 방산된 암모니아 함유가스를 가스배출관(79)으로부터 배출하고 가열기(56)로 가열승온된 공기와 혼합한 후 가스화기(16)에 도입한다. The ammonia-TMAH containing wastewater is first introduced into the concentrator 76, in which the wastewater is heated by steam and the TMAH is concentrated. The gas evaporated by the condenser 76 and discharged from the gas discharge pipe 73 is mainly water vapor and ammonia, which are then condensed in the condenser 78 and the condensed water is introduced from the pipe 75 into the dissipation tower 26. . As the dissipation tower 26, ammonia in the condensed water is dissipated by air or steam, the dissipated ammonia-containing gas is discharged from the gas discharge pipe 79, mixed with air heated and heated by the heater 56, and then gasifier 16 Is introduced.

한편 상기 농축기(76)로 얻어진 TMAH 농축액도 상기 가스화기(16)에 도입한다.On the other hand, TMAH concentrate obtained by the concentrator 76 is also introduced into the gasifier 16.

이 가스화기(16)에 있어서 TMAH 농축액을 가스화하고 상기 암모니아 함유 가스와 같이 배출관(71)으로부터 배출하여 촉매반응기(18)에 도입한다.In this gasifier 16, the TMAH concentrate is gasified and discharged from the discharge pipe 71 as in the ammonia-containing gas and introduced into the catalytic reactor 18.

이 도입 가스는 암모니아와 TMAH의 분해에 의해 생성한 TN4A 및 메탄올이며 이들을 촉매반응기(18)의 촉매 작용에 의해서 동시에 분해정화하고 배출관(19)으로부터 N₂, CO₂, H₂O (무해화 가스)로서 배출한다.These inlet gases are TN4A and methanol produced by the decomposition of ammonia and TMAH, and they are simultaneously decomposed and purified by the catalytic action of the catalytic reactor 18 and are discharged from the discharge pipe 19 by N ₂ , CO ₂ , H ₂ O (harmless gas). To be discharged.

이렇게 하여 TMAH와 암모니아의 양쪽을 포함하는 폐액이 무해한 N₂, CO₂, H₂O까지 동시에 효율적으로 처리된다.In this way, the waste liquid containing both TMAH and ammonia is efficiently treated simultaneously to N ₂ , CO ₂ and H ₂ O which are harmless.

한편 농축기(76)에 있어서의 가열수단으로서 본 실시형태 5에서는 증기에 의한 가열을 예로 들었지만, 이것으로 한정되는 것이 아니라 전기 히터나 연소화로 등의 공지의 모든 수단을 사용할 수 있다. 상기 연소화로의 연료에는, 등유, LPG, 도시 가스, 또는 이소프로필 알콜을 포함하는 폐액이나 폐용제(반도체장치 제조공장에서 세정 공정 등으로 배출되는 수가 있다) 등을 이용하면 좋다.   On the other hand, as the heating means in the concentrator 76, the heating by steam is exemplified in the fifth embodiment, but not limited to this, any known means such as an electric heater or a combustion furnace can be used. As the fuel for the combustion furnace, a waste liquid containing kerosene, LPG, city gas, or isopropyl alcohol, a waste solvent (which may be discharged by a washing process, etc. at a semiconductor device manufacturing plant) may be used.

<실시형태 6>Embodiment 6

도 6은 본 발명의 실시형태 6에 관한 정화장치를 나타내는 모식도이다. 6 is a schematic diagram showing a purification apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.

한편 도 4와 같은 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙여 중복설명을 피한다. The same components as in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals to avoid redundant description.

본 실시형태 6의 정화장치는 촉매반응기(18)로부터 배출되는 무해화 가스의 열량을 이용하여 가열기의 부하를 경감하는 것으로 배출관(19)으로부터 분기된 분기로(81)가 송풍기(82)를 통해 방산탑(26)으로부터의 가스배출관(64)에 접속되어 암모니아 함유가스와 합류된다.In the purification device of the sixth embodiment, the load of the heater is reduced by using the amount of harmless gas discharged from the catalytic reactor 18, so that the branch path 81 branched from the discharge pipe 19 passes through the blower 82. It is connected to the gas discharge pipe 64 from the dissipation tower 26 and joined with the ammonia containing gas.

이렇게 하여 배출관(19)으로부터 가스화기(l6)에 되돌아가는 순환라인(80)이 형성되어 있다. 다른 구성은 상기 실시형태 4와 마찬가지다. In this way, the circulation line 80 which returns from the discharge pipe 19 to the gasifier 16 is formed. The other configuration is the same as that of the fourth embodiment.

상기 실시형태 4와 같이 방산탑(26)에서 암모니아를 방산하고 암모니아 함유 가스(NH₃가스)를 얻는다. 또한 방산탑(26)으로부터 배출된 NH₃ 제거 폐수를 농축기(66)로 농축하고 농축액을 상기 가스화기(16)에 도입한다. 상기 암모니아 함유가스는 순환 라인(80)으로부터 공급된 가스의 보유열량을 이용하여 승온되며 더욱 가열부(83)로 소정온도(예를 들면 200∼600℃)까지 승온된다. 배출관(19)에 배출되는 무해화 가스의 온도는 촉매반응에 의한 발열도 가해지며 촉매반응기(18)에 도입되는 가스온도(촉매에 바람직한 반응온도, 예를 들면 1OO∼4OO℃정도)보다 더욱 고온이 되기 때문에 이 열량을 이용함으로써 가열기(가열부)(83)에서의 가열량을 적게 억제할 수 있고 열효율이 좋고 가스화를 위한 에너지 비용을 절감할 수 있다.As in the fourth embodiment, the ammonia is dissipated in the dissipation tower 26 to obtain an ammonia-containing gas (NH ₃ gas). In addition, the NH ₃ removal wastewater discharged from the dissipation tower 26 is concentrated by the concentrator 66 and the concentrate is introduced into the gasifier 16. The ammonia-containing gas is heated up using the amount of heat retained in the gas supplied from the circulation line 80, and is further heated up to a predetermined temperature (for example, 200 to 600 ° C.) by the heating unit 83. The temperature of the detoxification gas discharged to the discharge pipe 19 is also exothermic due to the catalytic reaction and is higher than the gas temperature (the reaction temperature preferable for the catalyst, for example, about 100 to 40 ° C.) introduced into the catalytic reactor 18. As a result, by using this heat amount, the amount of heat in the heater (heating unit) 83 can be reduced to a low degree, the thermal efficiency is good, and the energy cost for gasification can be reduced.

이어서 가스화기(16)로부터 배출되는 가스는 촉매반응기(l8)에 도입되며 상기 실시형태 4와 같이 촉매 작용에 의해서 분해처리하여 N₂, CO₂, H₂O 등의 무해화 가스로 하여 배출관(19)으로부터 배출한다.Subsequently, the gas discharged from the gasifier 16 is introduced into the catalytic reactor l8 and decomposed by the catalytic action as in the fourth embodiment to form a detoxification gas such as N ₂ , CO ₂ , H ₂ O and the like. 19).

이렇게 하여 TMAH와 암모니아의 양쪽을 포함하는 폐액이 무해한 N₂, CO₂, H₂O로까지 동시에 효율적으로 처리된다.In this way, the waste liquid containing both TMAH and ammonia is efficiently treated simultaneously with N ₂ , CO ₂ and H ₂ O which are harmless.

한편, 상기 가열기(83)에는 상술한 바와 같이 전기 히터나 연소화로 등의 공지의 모든 수단을 사용할 수 있으며 상기 연소화로의 연료에는 등유, LPG, 도시 가스, 또는 이소프로필 알콜을 포함하는 폐액이나 폐용제(반도체장치제조공장에서 세정공정 등으로 배출되는 수가 있다) 등을 상기 연소화로의 연료로서 사용하면 좋다. On the other hand, the heater 83 can use any known means such as an electric heater or a combustion furnace as described above, and the waste liquid or waste containing kerosene, LPG, city gas, or isopropyl alcohol as the fuel of the combustion furnace. A solvent (which may be discharged in a cleaning process or the like at a semiconductor device manufacturing factory) or the like may be used as fuel for the combustion furnace.

<실시형태 7><Embodiment 7>

도 7은 본 발명의 실시형태 7에 관한 정화장치를 나타내는 모식도이다. 7 is a schematic diagram showing a purification apparatus according to Embodiment 7 of the present invention.

한편 도 4와 같은 구성부분에 관해서는 동일 부호를 붙여 중복설명을 피한다. The same components as in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals to avoid redundant description.

본 실시형태 7에 있어서는 촉매반응기(18)로부터 도출된 무해화 가스(처리완료 가스)배출관(85)이 2개로 분기되며 이 한쪽 분기 라인(86a)이 가스화용 열교환기(87)에 접속되며 다른쪽 분기 라인(88a)이 공기가열용 열교환기(89)에 접속되어 있다. In the seventh embodiment, the detoxification gas (treated gas) discharge pipe 85 derived from the catalytic reactor 18 is branched into two, and one branch line 86a is connected to the gasification heat exchanger 87 and the other. The branch line 88a is connected to the heat exchanger 89 for air heating.

상기 가스화용 열교환기(87)에는 방산탑(26)으로부터 도출된 가스배출관(64a)이 접속되며 열교환에 의해 가스배출관 내의 암모니아 함유가스를 가열할 수 있도록 되어 있다. 더욱 가스화용 열교환기(87)의 하류측에는 가열기(58)가 설치되어 있으며 상기 농축액의 가스화에 필요한 온도(200∼600 ℃로)로 가열할 수 있도록 되어 있다. 그리고 이 가열기(58)를 거친 배관(64b)은 가스화기(16)에 접속되며 그 보유 열량이 상기 농축액의 가스화에 이용된다. The gas discharge heat exchanger 87 is connected to a gas discharge pipe 64a derived from the dissipation tower 26 so as to heat the ammonia-containing gas in the gas discharge pipe by heat exchange. Further, a heater 58 is provided downstream of the gasification heat exchanger 87 so as to be heated to a temperature (at 200 to 600 ° C) necessary for gasification of the concentrate. The pipe 64b passing through the heater 58 is connected to the gasifier 16, and the amount of heat retained is used for gasification of the concentrate.

한편 상기 공기가열용 열교환기(89)에는 방산탑(26)에 공기를 도입하기 위한 공기도입관(51a)이 접속되어 있으며 열교환에 의해 공기도입관내의 공기를 가열할 수 있도록 되어 있다. 이 공기가열용 열교환기(89)에 의해 가열된 공기는 공기도입관(51b)에 의해 방산탑(26)에 도입되며 암모니아 방산에 사용된다. On the other hand, the air heating heat exchanger 89 is connected to the air introduction pipe 51a for introducing air into the dissipation tower 26, and is capable of heating the air in the air introduction pipe by heat exchange. The air heated by this air heating heat exchanger 89 is introduced into the dissipation tower 26 by the air introduction pipe 51b, and used for ammonia dissipation.

열교환기(87, 89)를 거친 후의 무해화 가스는 배출관 라인(86b, 88b)을 거쳐 합류 라인(52)으로 합류되어 대기로 방출된다. The harmless gas after passing through the heat exchangers 87 and 89 is joined to the confluence line 52 via discharge pipe lines 86b and 88b and discharged to the atmosphere.

상술과 같이 촉매반응기(l8)로부터 배출되는 무해화 가스는 비교적 고온이므로 이 열량을 상기 열교환기(87,89)를 사용하여 회수, 이용하면 열을 유효하게 이용할 수 있다.As described above, since the detoxified gas discharged from the catalytic reactor 10 is relatively high temperature, heat can be effectively used if the amount of heat is recovered and used using the heat exchangers 87 and 89.

한편 상기 가열기(58)로서는 전기 히터나 연소화로 등의 공지의 모든 수단을 사용할 수 있으며 상기 연소화로의 연료에는 등유, LPG, 도시 가스, 또는 이소프로필알콜을 포함하는 폐액이나 폐용제(반도체장치 제조공장에서 세정공정 등에 있어서 배출되는 수가 있다) 등을 사용할 수 있다. On the other hand, as the heater 58, any known means such as an electric heater or a combustion furnace can be used. The fuel for the combustion furnace includes waste liquid or waste solvent containing kerosene, LPG, city gas, or isopropyl alcohol (semiconductor device production). May be discharged in a washing process or the like at a factory).

본 실시형태 7에 있어서도, 상기한 바와 같이 TMAH와 암모니아의 양쪽을 포함하는 폐액을 무해한 N₂, CO₂, H₂O로까지 동시에 효율적으로 처리할 수가 있다. 또한 열효율이 좋다.Also in the seventh embodiment, as described above, the waste liquid containing both TMAH and ammonia can be efficiently treated to harmless N ₂ , CO ₂ , and H ₂ O simultaneously. Also good thermal efficiency.

또 상기 실시형태 4 ∼7에서는 암모니아 및 TMAH를 함유한 폐수의 정화처리를 예로 들었지만 이것으로 한정하는 것이 아니라 TMAH 이외의 가스화 가능한 유기 화합물과 암모니아를 함유하는 폐수의 정화처리도 가능하고 예를 들면 2-피롤리돈 등의 질소 함유 유기 화합물과 암모니아를 함유한 폐수의 정화처리도 가능하다.  In the above embodiments 4 to 7, the purification of wastewater containing ammonia and TMAH has been exemplified, but the present invention is not limited thereto, but the purification of wastewater containing ammonia and gasizable organic compounds other than TMAH and ammonia is also possible. It is also possible to purify wastewater containing nitrogen-containing organic compounds such as pyrrolidone and ammonia.

또한 촉매반응기(18)로부터 배출되는 무해화 가스의 보유열량을 이용함에 있어서 상기 실시형태 6, 7에 있어서 방산 선행 타입을 예로 들었지만 농축선행 타입의 경우도 마찬가지로 보유열량을 이용할 수 있다. In addition, although the heat dissipation prior type was mentioned in the above Embodiments 6 and 7 in using the heat retention of the detoxification gas discharge | emitted from the catalytic reactor 18, the heat retention amount can also be used similarly in the case of a concentrated lead type.

<실험 1>Experiment 1

상기 실시형태 1의 처리장치를 사용하여 배수처리를 한 예를 이하에 나타낸다.An example of drainage treatment using the treatment apparatus of the first embodiment is shown below.

처리대상의 폐수조성은, 폐수 [A]가 TMAH를 3000 mg/L 포함하는 물이며, 폐수 [B]가 암모니아를 2500 mg/L 포함하는 물이다. The wastewater composition to be treated is water in which wastewater [A] contains 3000 mg / L of TMAH, and wastewater [B] contains water containing 2500 mg / L of ammonia.

우선 pH 조정조(24)에 있어서 폐수 [B]에 알카리(NaOH)를 첨가하고 pH l1. 5로 하고, 이 알카리첨가 폐수 [B]를 800 L/hr로 방산탑(26)의 꼭대기부터 투입했다.   First, alkali (NaOH) is added to the wastewater [B] in the pH adjusting tank 24, and pH l1. 5, this alkaline addition wastewater [B] was thrown in from the top of the tower 20 at 800 L / hr.

이 때 방산탑(26)의 하부에서 고온공기(150℃)를 850m³(normal)/hr 속도로 공급했다. 이 방산탑(26)의 하부에서 암모니아제거 폐수를 배출했다. 또한 방산탑(26)의 상부로부터 배출되는 암모니아 함유가스를 가열기(35)에 도입하고 가열하여 500℃까지 승온한 후 가스화기(16)에 도입했다.At this time, high temperature air (150 ° C.) was supplied at a rate of 850 m ³ (normal) / hr at the bottom of the dissipation tower 26. The ammonia removal wastewater was discharged from the lower part of this tower. In addition, the ammonia-containing gas discharged from the top of the dissipation tower 26 was introduced into the heater 35, heated to 500 ° C, and then introduced into the gasifier 16.

한편 폐수 [A]를 농축기(14)에 도입하여 약 6%까지 농도를 높이고 이 농축액을 40L/hr로 상기 가스화기(16)내로 분무하여 실질적으로 전량을 가스화했다. 이 가스화공정에서 TMAH는 트리메틸아민과 메탄올로 열분해되어 가스화한다. Meanwhile, wastewater [A] was introduced into the concentrator 14, the concentration was increased to about 6%, and the concentrate was sprayed into the gasifier 16 at 40 L / hr to substantially gasify the entire amount. In this gasification process, TMAH is thermally decomposed into trimethylamine and methanol to gasify.

이 가스화기(16)로부터 배출되는 암모니아, 트리메틸아민, 메탄올 함유 가스를 촉매반응기(18)에 도입했다. 한편 반응기(18)의 촉매입구온도를 330℃로 했다. 또한 반응기(18)에는 후술의 촉매를 250L 충전해 두었다.   Ammonia, trimethylamine, and methanol-containing gas discharged from the gasifier 16 were introduced into the catalytic reactor 18. In addition, the catalyst inlet temperature of the reactor 18 was 330 degreeC. The reactor 18 was also packed with 250 L of the catalyst described later.

반응기(18)로부터 배출되는 정화완료 가스의 분석결과는 아래와 같다. The analysis results of the purified gas discharged from the reactor 18 are as follows.

트리메틸아민: 검출한계 이하 Trimethylamine: below detection limit

메탄올: 검출한계 이하 Methanol: below detection limit

암모니아: 검출한계 이하 Ammonia: Below detection limit

질소 산화물: 15ppm Nitrogen Oxide: 15ppm

이산화탄소: 2600ppm CO2: 2600ppm

일산화탄소: 검출한계 이하 Carbon Monoxide: Below Detection Limit

한편, 반응기(18)에 충전한 상기 촉매는 다음과 같이 조제했다. 즉, l0질량%의 암모니아수 700리터에 20질량% 실리카졸 35.5kg을 첨가하고 교반 혼합한 후 황산티타닐에 황산수용액 300리터를 교반하면서 서서히 적하하였다 (152g·TiO₂/리터, 0.55kg·H₂SO₄/리터). 얻어진 겔을 숙성하고 여과수세한 후 150℃에서 10 시간 건조하고 이어서 500℃에서 6 시간 소성했다. 얻어진 분말 조성은 TiO₂:SiO₂= 4:1(몰비)이며, BET 비표면적은 200m²/g였다. 이 분말 20kg에 메타바나듐산 암모늄 2.00 kg 및 파라텅스텐산 암모늄 0.77kg을 포함하는 15%모노에탄올 아민수용액 12kg을 첨가하고 성형 조제로서 전분을 첨가하여 니더로 혼합 반죽한 후, 압출성형기로 바깥치수 80mm각, 개방도 2.8 mm,두께 0.5mm, 길이 450mm의 하니캠 형상으로 성형했다. 이것을 80℃에서 건조하고 이어서 450℃의 공기 분위기하에서 5시간 소성했다.On the other hand, the catalyst charged in the reactor 18 was prepared as follows. That is, while the addition of 20 mass% silica sol in 35.5kg of l0% by weight ammonia water, 700 liters and 300 liters of aqueous solution of sulfuric acid in a stirred stirred and mixed sulfate titanyl was slowly added (152g · TiO ₂ / liter, 0.55kg · H ₂ SO ₄ / liter). The obtained gel was aged, washed with filtration, dried at 150 ° C. for 10 hours, and then calcined at 500 ° C. for 6 hours. The obtained powder composition was TiO _2: SiO ₂ = 4: 1 and (mole ratio), BET specific surface area was 200m ² / g. 12 kg of 15% monoethanol amine aqueous solution containing 2.00 kg of ammonium metavanadate and 0.77 kg of ammonium paratungstate was added to 20 kg of this powder, and starch was added as a molding aid and mixed and kneaded with a kneader. Each was molded into a honey cam shape having an opening degree of 2.8 mm, a thickness of 0.5 mm, and a length of 450 mm. This was dried at 80 ° C and then calcined for 5 hours in an air atmosphere at 450 ° C.

이 하니캠 성형체의 조성은 Ti-Si 복합산화물: V₂O₅:WO₃= 90:7:3(중량비)였다. 이 성형체를 초산 팔라듐 수용액에 함침하고 150℃에서 3시간 건조한 후, 450℃의 공기 분위기 하에서 3시간 소성했다. 얻어진 촉매의 조성은, Ti-Si 복합 산화물: V₂O₅:WO₃ :Pb = 89.1:6.9:3:1(중량비)이며, BET 비표면적은 120 m² /g, 세공(細孔) 용적은 0.45 cc/g 였다.The composition of this honeycomb molded body was Ti-Si composite oxide: V ₂ O ₅ : WO ₃ = 90: 7: 3 (weight ratio). The molded body was impregnated with an aqueous palladium acetate solution and dried at 150 ° C for 3 hours, and then fired for 3 hours under an air atmosphere of 450 ° C. The obtained catalyst had a composition of Ti-Si composite oxide: V ₂ O ₅ : WO ₃ : Pb = 89.1: 6.9: 3: 1 (weight ratio), and the BET specific surface area was 120 m ² / g and pore volume. Was 0.45 cc / g.

<실험 2>Experiment 2

상기 실시형태 4의 처리장치 및 처리방법에 의해 폐수의 처리를 한 예를 이하에 나타낸다. 처리대상의 폐수 조성은 암모니아: 2500mg/L, TMAH: 3000 mg/L이다. An example of treatment of wastewater by the treatment apparatus and treatment method of the fourth embodiment is shown below. The wastewater composition to be treated is ammonia: 2500 mg / L and TMAH: 3000 mg / L.

우선 이 폐수를 800L/hr로 방산탑(26)의 정수리부부터 투입했다. 이 때 방산탑(26)의 하부에서 고온공기(150℃)를 850 m³(노말)/hr속도로 공급했다.First, the wastewater was introduced at 800 L / hr from the head of the tower (26). At this time, high temperature air (150 ° C.) was supplied at a rate of 850 m ³ (normal) / hr at the bottom of the dissipation tower 26.

이어서 이 방산탑(26)의 하부에서 배출되는 TMAH 함유폐수를 농축기(66)에 있어서 TMAH 농도가 6%가 될 때까지 농축했다. 한편 방산탑(26)의 상부로부터 배출되는 암모니아 함유 가스에 공기도입관(68)으로부터 공기 200 Nm3/hr를 가하여 가열부(65)에 도입하고 연료를 가열부(65)에 공급하여 500℃까지 승온하여 이 고온 가스를 가스화기(16)에 도입하고 상기 농축기(66)로 농축된 TMAH 농축액을 40L/hr로 상기 가스화기(16) 내에 분무하여 실질적으로 전량을 가스화했다.Subsequently, the TMAH-containing wastewater discharged from the lower part of the dissipation tower 26 was concentrated until the TMAH concentration became 6% in the concentrator 66. On the other hand, 200 Nm3 / hr of air is introduced from the air inlet pipe 68 to the ammonia-containing gas discharged from the top of the dissipation tower 26, introduced into the heating section 65, and the fuel is supplied to the heating section 65 to 500 ° C. The hot gas was introduced into the gasifier 16 and the TMAH concentrate concentrated in the concentrator 66 was sprayed into the gasifier 16 at 40 L / hr to substantially gasify the entire amount.

이 가스화 공정에서 TMAH는 트리메틸아민과 메탄올에 열분해되어 가스화한다. In this gasification process, TMAH is pyrolyzed into trimethylamine and methanol to gasify.

이 가스화기(16)로부터 배출되는 암모니아, 트리메틸아민, 메탄올 함유 가스를 촉매반응기(18)에 도입했다. 한편 촉매반응기(18)의 촉매입구온도를 330℃로 했다. 또한 촉매반응기(18)에는 하기의 촉매를 250L 충전했다.   Ammonia, trimethylamine, and methanol-containing gas discharged from the gasifier 16 were introduced into the catalytic reactor 18. On the other hand, the catalyst inlet temperature of the catalytic reactor 18 was 330 degreeC. The catalytic reactor 18 was also charged with 250 L of the following catalyst.

촉매반응기(18)로부터 배출되는 정화완료된 가스의 분석결과는 아래에 나타냈다.The analysis results of the purified gas discharged from the catalytic reactor 18 are shown below.

트리메틸아민: 검출한계 이하 Trimethylamine: below detection limit

메탄올: 검출한계 이하 Methanol: below detection limit

암모니아: 검출한계 이하 Ammonia: Below detection limit

질소 산화물: 15ppm Nitrogen Oxide: 15ppm

이산화탄소: 2600ppm CO2: 2600ppm

일산화탄소: 검출한계 이하 Carbon Monoxide: Below Detection Limit

한편, 촉매반응기(18)에는 상기 실험 1과 마찬가지로 하여 조제한 촉매를 충전했다. On the other hand, the catalyst reactor 18 was filled with a catalyst prepared in the same manner as in Experiment 1.

본 발명에 관한 폐수의 처리방법 및 처리장치에 의하면 다른 종류의 폐수를 또는 TMAH 등의 가스화 가능한 유기 화합물과 암모니아 등의 가스방산 가능 화합물 양쪽을 함유하는 폐수를 무해한 N₂, CO₂, H₂O 등으로까지 동시에 처리할 수가 있다.According to the processing method and processing apparatus for waste water according to the present invention she is harmless the waste water containing both gas dissipation can be compounds such as organic compounds and ammonia possible gasification, such as the different types of waste water or _{TMAH N 2, CO 2, H} 2 O And so on.

따라서 상기 가스화가능 유기 화합물과 상기 암모니아 등을 따로따로 처리하는 경우에 비하여 장치의 간소화를 꾀할 수 있으며 또한 효율이 뛰어나고 설비 비용이나 운영 비용을 절감할 수 있다. Therefore, compared with the case where the gasizable organic compound and the ammonia, etc. are treated separately, it is possible to simplify the apparatus, and the efficiency is excellent, and the equipment cost or the operating cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic diagram which shows the wastewater treatment apparatus concerning Embodiment 1 of this invention.

도 2는 본 발명의 실시형태 2에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도. The schematic diagram which shows the wastewater treatment apparatus concerning Embodiment 2 of this invention.

도 3은 본 발명의 실시형태 3에 관한 폐수의 처리장치를 나타내는 모식도. 3 is a schematic view showing a wastewater treatment system according to a third embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시형태 4에 관한 처리장치를 나타내는 모식도. 4 is a schematic view showing a processing apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시형태 5에 관한 처리장치를 나타내는 모식도. 5 is a schematic diagram showing a processing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시형태 6에 관한 처리장치를 나타내는 모식도. 6 is a schematic view showing a processing apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.

도 7은 본 발명의 실시형태 7에 관한 처리장치를 나타내는 모식도.7 is a schematic diagram showing a processing apparatus according to Embodiment 7 of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

11, 21: 탱크 12, 22: 폐수 도입라인11, 21 tank 12, 22 wastewater introduction line

l3, 23: 폐수 배출라인 14: 농축기l 3, 23: wastewater discharge line 14: concentrator

15: 농축액체 배출라인 16: 가스화기15: concentrated liquid discharge line 16: gasifier

17: 가스 배출라인 18: 촉매반응기17: gas discharge line 18: catalytic reactor

19, 39: 처리완료 가스 배출라인(처리완료 가스 등의 배출관)19, 39: treated gas discharge line (discharge pipe of treated gas, etc.)

20: 연료 공급관 24: pH 조정조 20: fuel supply pipe 24: pH adjusting tank

25: 폐수 투입라인 25a, 28a, 31a: 펌프25: wastewater input line 25a, 28a, 31a: pump

26: 방산탑 27: 알카리조 26: Defense Tower 27: Alkarizo

28: 알카리 공급라인 29, 45: 가스 배출라인28: alkali supply line 29, 45: gas discharge line

31: 액체 배출라인(액체 배출관(NH₃ 제거 폐수 배출관) )31: liquid discharge line (liquid discharge line (NH ₃ removal wastewater discharge line))

32: 증기 도입라인 33: 공기 도입 라인32: steam introduction line 33: air introduction line

33a: 공기 팬33a: air fan

34, 35, 37, 56, 58, 65, 83: 가열기34, 35, 37, 56, 58, 65, 83: heater

36: 순환 라인 36a: 송풍기36: circulation line 36a: blower

38: 폐수 송출라인 41, 42: 분기 라인38: wastewater discharge line 41, 42: branch line

43, 44: 열교환기 46, 47: 배출 라인43, 44: heat exchanger 46, 47: discharge line

48: 합류 라인 55, 68: 공기 도입관48: joining lines 55 and 68: air inlet pipe

61: 증기 도입배관 62, 72: 폐수 도입배관61: steam inlet pipe 62, 72: wastewater inlet pipe

63: 공급배관 64: 가스 배출관63: supply piping 64: gas discharge pipe

66: 농축기 67: 농축액 도출배관66: Thickener 67: Concentrate drawing piping

69: 증발수 도출배관 70: 배출관69: piping for evaporated water extraction 70: discharge pipe

71: 가스화 가스배출관 73: 기체 배출관71: gasification gas discharge pipe 73: gas discharge pipe

74: 증기 공급관 75: 응축액 배출배관74: steam supply line 75: condensate discharge line

76: 가열 농축기 77: 액체 배출관76: heating concentrator 77: liquid discharge pipe

78: 응축부 81: 분기로78: condenser 81: branch furnace

87: 가스화용 열교환기 89: 공기가열용 열교환기 87: gasification heat exchanger 89: air heating heat exchanger

Claims (14)

2종 이상의 폐수를 동시에 처리하는 방법으로서, As a method of treating two or more kinds of wastewater at the same time, 상기 폐수의 하나가 가스화 가능한 유기 화합물을 함유하는 폐수 [A]이며, 상기 폐수의 다른 하나가 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수 [B]이며, One of the wastewater is wastewater [A] containing a gaseous organic compound, the other of the wastewater is wastewater [B] containing a compound capable of dissipating by gas, 상기 폐수 [A]를 가스화하는 가스화공정과, A gasification step of gasifying the wastewater [A], 상기 폐수 [B]로부터 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 방산하는 방산공정과,A dissipation step of dissipating a compound dissipable by the gas from the wastewater [B]; 상기 가스화공정에서 얻어진 가스와 상기 방산공정에서 얻어진 가스를 합쳐서 촉매에 의해 분해처리하는 분해공정을 포함하는 폐수의 처리방법. And a decomposition step of combining the gas obtained in the gasification step and the gas obtained in the dissipation step and decomposing the same by a catalyst. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가스화공정 보다 전에 상기 폐수 [A]를 농축하는 농축공정을 포함하는 것인 폐수의 처리방법. And a concentration step of concentrating the wastewater [A] before the gasification step. 가스화 가능한 유기 화합물 및 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수를 처리하는 방법으로서, A method of treating wastewater containing a gasizable organic compound and a compound that can be dissipated by a gas, 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 액상으로부터 방산하는 방산공정과, 상기 가스화 가능한 유기 화합물을 농축하는 농축공정과, A dissipation step of dissipating the compound dissipable by the gas from the liquid phase, a concentration step of concentrating the gasizable organic compound; 이 농축공정에서 얻어진 농축액을 가스화하는 가스화공정과, A gasification step of gasifying the concentrate obtained in this concentration step; 이 가스화공정에서 얻어진 가스와 상기 방산공정에서 얻어진 가스를 촉매 존재하에서 분해하는 분해공정을 포함하는 폐수의 처리방법. A wastewater treatment method comprising a decomposition step of decomposing a gas obtained in this gasification step and a gas obtained in the dissipation step in the presence of a catalyst. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 방산공정을 상기 농축공정보다 선행하여 행하고, 방산후의 액상을 상기 농축공정으로 수행하는 것인 폐수의 처리방법.Wherein said dissipation step is carried out prior to said concentration step, and said liquid phase after dissipation is carried out by said concentration step. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 농축공정은 열에너지를 사용하여 농축하는 것으로서, 상기 농축공정을 상기 방산공정 보다 선행하여 행하고, The concentration step is to concentrate using heat energy, the concentration step is performed in advance of the dissipation step, 이 농축공정으로부터 얻어진 기상을 응축공정으로 진행시키고, 얻어진 응축수를 상기 방산공정으로 진행시키는 것인 폐수의 처리방법.The wastewater treatment method of advancing the gas phase obtained from this concentration process to a condensation process and advancing the obtained condensate water to the said dissipation process. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 분해공정에서 처리가 완료된 가스의 보유열량을, 상기 가스화공정에서의 가스화를 위한 열량으로서 이용하는 것인 폐수의 처리방법. A heat treatment method for waste water, wherein the heat retention amount of the gas completed in the decomposition step is used as the heat amount for gasification in the gasification step. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 방산공정을 거쳐 얻어진 방산후의 폐수를 무해화처리를 행하는 것인 폐수의 처리방법. A method for treating wastewater, wherein the wastewater after dissipation obtained through the dissipation step is detoxified. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물이 암모니아이고, The compound dissipable by the gas is ammonia, 상기 가스화 가능한 유기 화합물이 수산화 테트라알킬암모늄인 것인 폐수의 처리방법. And said gaseous organic compound is tetraalkylammonium hydroxide. 2종 이상의 폐수를 동시에 처리하는 장치로서, As an apparatus for treating two or more kinds of wastewater at the same time, 상기 폐수의 하나가 가스화 가능한 유기 화합물을 함유하는 폐수 [A]이고, 상기 폐수의 다른 하나가 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수 [B]이며, One of the wastewater is wastewater [A] containing a gaseous organic compound, the other of the wastewater is wastewater [B] containing a compound capable of dissipating by gas, 상기 폐수 [A]를 가스화하는 가스화부와, A gasification unit for gasifying the wastewater [A], 상기 폐수 [B]로부터, 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 방산하는 방산부와, A dissipation unit for dissipating a compound dissipable by the gas from the wastewater [B]; 상기 가스화부에서 얻어진 가스와, 상기 방산부에서 얻어진 가스를 합쳐서 촉매에 의해 분해처리하는 분해부를 갖는 것을 특징으로 하는 폐수의 처리장치.And a gas decomposing unit for decomposing the gas obtained in the gasification unit with the gas obtained in the dissipating unit by a catalyst. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 가스화부로의 도입전에 상기 폐수 [A]를 농축하는 농축부가 설치된 것인 폐수의 처리장치. And a concentrating unit for concentrating the wastewater [A] before introduction into the gasification unit. 가스화 가능한 유기 화합물 및 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 함유하는 폐수를 처리하는 장치로서, An apparatus for treating wastewater containing a gasizable organic compound and a compound that can be dissipated by a gas, 상기 가스에 의해 방산 가능한 화합물을 액상으로부터 방산하는 방산부와, A dissipation unit for dissipating a compound dissipable by the gas from a liquid phase; 상기 가스화 가능한 유기 화합물을 농축하는 농축부와, A concentrating portion for concentrating the gasizable organic compound; 이 농축부에서 배출되는 농축액을 가스화하는 가스화부와, A gasifier for gasifying the concentrated liquid discharged from the concentrated part; 이 가스화부에서 배출되는 가스와, 상기 방산부에서 얻어진 가스를 촉매의 존재하에서 분해하는 분해부를 구비한 것을 특징으로 하는 폐수의 처리장치. And a decomposing part for decomposing the gas discharged from the gasification part and the gas obtained in the dissipation part in the presence of a catalyst. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 폐수를 상기 방산부에 도입하는 라인과, A line for introducing the wastewater to the dissipation unit, 이 방산부에서의 배출액상을 상기 농축부에 도입하는 라인을 구비하는 것인 폐수의 처리장치. And a line for introducing the discharge liquid phase from the dissipation unit into the concentration unit. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 폐수를 상기 농축부에 도입하는 라인과,A line for introducing the wastewater to the concentrating unit, 상기 농축부를 가열하는 가열기구와, A heating mechanism for heating the concentrated portion; 이 농축부로부터의 방출기상을 응축부로 도입하는 라인과,A line for introducing the discharge gas phase from the concentration section into the condensation section, 이 응축부로부터의 배출 응축수를 방산부에 도입하는 라인을 구비하는 것인 폐수의 처리장치.And a line for introducing the discharged condensed water from the condensation unit into the dissipation unit. 제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 9 to 13, 상기 분해부에서의 처리가 완료된 가스의 보유열량을 상기 가스화부의 가스화를 위한 열량으로서 이용하는 것인 폐수의 처리장치. And a calorific value of the gas for which the treatment in the decomposition section is completed is used as a calorific value for gasification of the gasification section.