KR100437837B1 - 액정표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR100437837B1
KR100437837B1 KR10-2001-0088452A KR20010088452A KR100437837B1 KR 100437837 B1 KR100437837 B1 KR 100437837B1 KR 20010088452 A KR20010088452 A KR 20010088452A KR 100437837 B1 KR100437837 B1 KR 100437837B1
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Abstract

본 발명은 유기절연막인 보호막을 일부 제거하여 시일재와의 접착력을 증가시킨 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 액정표시소자는, 기판과, 상기 기판에 형성된 게이트 패드, 게이트 패드 연결 배선과, 상기 게이트 패드 및 상기 게이트 패드 연결 배선 상부에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상부에 형성된 데이터 패드, 데이터 패드 연결 배선과, 상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께로 형성된 보호막 패턴과, 상기 보호막 패턴상에 도포한 시일재를 포함하는 것을 특징으로 하고, 액정표시소자 제조방법은, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판에 게이트 패드와 게이트 패드 연결 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 패드와 상기 게이트 패드 연결 배선 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막 상부에 데이터 패드와 데이터 패드 연결 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께를 갖는 보호막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 보호막 패턴상에 시일재를 도포하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시소자 및 그 제조방법{A Liquid Crystal Display Device And The Method For Manufacturing The Same}
본 발명은 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 시일재 떨어짐을 방지하기 위해 시일재 도포 부분의 보호막을 계단식으로 제거하거나 보호막 오픈부를 제거하는 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정표시소자는 저소비 전력, 저전압 구동, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징으로 인해 시계, 계산기, 노트북, PC용 모니터 등에서 TV, 항공용 모니터, 개인 휴대 단말기, 휴대 전화 등으로 그 용도가 다양해지고 있다.
이러한 액정표시소자는 양기판을 합착하는 공정을 거치게 되고 합착시 시일재를 사용하게 된다. 여기서, 시일재는 열경화형 시일재와 광경화형 시일재가 있고, 열경화형 시일재로 대표적인 것이 에폭시 수지와 아민 또는 아마이드 경화제를 일정 비율로 혼합하여 놓은 것이다. 열경화형 시일재는 100여℃에서 1시간 가량 가열하면 경화되어 양기판을 합착한다.
광경화형 시일재는 UV 경화형 시일재를 말하고 아크릴레이트 수지와 UV를 조사받으면 라디칼이 되는 광경화제를 일정 비율로 혼합해 놓은 것으로, UV를 조사 받을 수 있으면 30여초안에 경화되어 양기판을 합착한다.
이러한 시일재는 유리 기판에는 접착력이 좋으나 유기막에는 접착력이 떨어진다. 그러므로, 보호막을 유기막으로 사용하는 고개구율 액정표시소자는 특별한 대응 방법을 사용하고 그 방법은 시일재 형성부의 유기막을 일부 제거하여 시일재와 유리 기판이 만날 수 있도록 하는 방법이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 의한 액정표시소자 및 그 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 의한 액정표시소자의 평면도이다.
도 1과 같이, 게이트 PCB(105) 및 데이터 PCB(106)상에 게이트 드라이브 IC와 데이터 드라이브 IC가 형성되어 있다. 상기 게이트 드라이브 IC는 게이트 배선(도면에 표시하지 않음)에 순차적으로 구동 전압을 공급하여 TFT를 On/Off 시키는 역할을 하며 패널의 좌우측에 형성된다. 상기 데이터 드라이브 IC는 데이터 배선(도면에 표시하지 않음)에 신호 전압을 공급하여 턴온(Turn-On)된 TFT를 통하여 실제 액정 셀에 데이터 전압(영상 신호 전압)을 전달하는 역할을 하며, 패널 상하에 위치한다. 그리고, 상기 드라이브 IC는 각 TCP(101, 102)를 통해서 패널상의 패드와 접속된다.
상기 게이트 TCP(101)와 액티브 영역(120)사이에는 연결 단자인 게이트 패드연결 배선(103)이 형성되어 있고, 상기 데이터 TCP(102)와 상기 액티브 영역(120)사이에는 연결 단자인 데이터 패드 연결 배선(104)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 게이트 드라이브 IC에 통로인 게이트 TCP(101)가 부착되어 있고 신호, 전원 공급을 지시하는 게이트 PCB(105)가 연결되어 있고, 상기 데이터 드라이브 IC에 통로인 데이터 TCP(102)가 부착되어 있고 신호, 전원 공급을 지시하는 데이터 PCB(106)가 연결되어 있다.
제 2기판(150)은 상기 패드들이 형성된 상기 제 1기판 상부에 위치하며 상기 제 1기판과 액티브 영역(120)을 형성한다.
그리고, 칼라 필터 패턴이 형성된 제 2기판(150)에 시일재(110)로 열경화형 시일재를 도포하고, TFT가 형성된 제 1기판(100)과 합착한다. 또는 열경화형 시일재를 상기 제 1기판(100)에 도포한 후 합착한다. 그런 다음, 핫 프레스에서 열을 가해 열경화형 시일재(110)를 경화시킨 후 액정을 진공 주입 방법으로 형성한다. 도면 부호 130은 블랙 매트릭스이다.
광경화형 시일재를 사용하는 경우에는, TFT가 형성되고 공통 배선에 전압을 인가하기 위한 Ag가 부착된 제 1기판(100)을 아래에 놓고 액정을 적하 방식으로 형성한다. 그리고 칼라 필터 패턴이 형성된 제 2기판(150)에 시일재(110)로 UV 경화형 시일재를 올려 놓는다. 그런 다음, 패널을 합착하고, UV를 조사하여 UV 경화형 시일재를 경화시킨다.
도 2a는 도 1의 E 부분의 수직 단면도이고, 도 2b는 도 1의 E 부분의 확대도이다.
도 2a와 같이, 제 1기판(100)상에 게이트 패드 연결 배선(103)이 형성되어있고, 그 상부에 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음)이 형성되어 있고 그 상부에 유기절연막인 보호막(108)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음) 상에 상기 데이터 패드 연결 배선(104)이 형성되어 있고, 그 상부에 유기절연막인 보호막(108)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 보호막(108) 상부에 시일재(110)가 도포되어 있다. 여기서, 상기 시일재(110)가 기판에 도포되도록 상기 시일재(110) 도포 부분의 상기 보호막(108)과 게이트 절연막을 제거하여 보호막 오픈부(109)를 형성한다.
상기 시일재(110)는 열경화형 시일재나 광경화형 시일재 모두 유리 기판에 대한 접착력은 좋으나 유기절연막인 상기 보호막(108)에 대한 접착력은 나쁘다. 그러므로, 상기 보호막 오픈부(109)를 통해 상기 제 1기판(100)에 도포되면 접착력이 좋아져 양기판을 합착하게 된다.
상기 보호막 패턴은 상기 보호막(108) 형성 후 포토레지스트를 도포하고, 상기 포토레지스트 상부에 마스크의 차광부, 투광부를 사용하여 상기 포토레지스트를 패터닝한다. 그런 다음, 상기 포토레지스트의 식각비가 일정함을 이용하여 차광부, 투광부의 상기 포토레지스트를 식각하고, 이후, 상기 보호막(108)을 식각하면 도면 2a와 같은 상기 보호막 패턴이 형성된다.
여기서, 상기 보호막(108) 제거율은 금속 패턴에 따라 변동되어, 셀갭의 균일성이 떨어져 얼룩이 발생한다.
그리고, 고해상도 모델에 적용할 경우, 패드 사이의 간격이 좁아져 상기 보호막 오픈부(109) 영역의 설계가 어려워진다.
도 2b와 같이, 수평으로 보면 상기 게이트 패드 연결 배선(103) 또는 상기 데이터 패드 연결 배선(104) 옆에 상기 보호막(108)이 형성되어 있고, 상기 보호막(108) 옆에는 상기 보호막 오픈부(109)가 형성되어 있고, 상기 보호막 오픈부(109)까지 상기 시일재(110)가 도포된다.
상기와 같은 액정표시소자 및 그 제조방법은 다음과 같은 문제점들이 있다.
첫째, 보호막 제거율이 금속 패턴에 따라 변동되어 셀갭의 균일성이 떨어져 얼룩으로 나타난다.
둘째, 고해상도 모델에서는 패드 사이의 간격이 좁으므로 보호막을 제거하기 어렵다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 보호막을 많이 제거하여 보호막 오픈부를 충분히 확보하거나, 보호막을 더욱 많이 제거하고 보호막 오픈부를 형성하지 않으면서 셀갭의 균일성을 유지하는 액정표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 액정표시소자의 평면도.
도 2a는 도 1의 E 부분의 수직 단면도.
도 2b는 도 1의 E 부분의 확대도.
도 3은 본 발명에 의한 액정표시소자의 평면도.
도 4a는 제 1실시예로, 도 3의 E' 부분의 수직 단면도.
도 4b는 제 1실시예로, 도 3의 E' 부분의 확대도.
도 5a 내지 도 5d는 제 1실시예의 제조 공정도.
도 6a는 제 2실시예로, 도 3의 E' 부분의 수직 단면도.
도 6b는 제 2실시예로, 도 3의 E' 부분의 확대도.
도 7a 내지 도 7d는 제 2실시예의 제조 공정도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
300 : 제 1기판 301 : 게이트 TCP
302 : 데이터 TCP 303 : 게이트 패드 연결 배선
304 : 데이터 패드 연결 배선 305 : 게이트 PCB
306 : 데이터 PCB 308 : 보호막
309 : 보호막 오픈부 310 : 시일재
320 : 액티브 영역 330 : 블랙 매트릭스
350 : 제 2기판 370, 390 : 하프-톤 마스크
371, 391 : 하프-톤 마스크의 차광부
372, 392 : 하프-톤 마스크의 반투광부
373 : 하프-톤 마스크의 투광부 380 : 포토 레지스터
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시소자는 기판과, 상기 기판에 형성된 게이트 패드, 게이트 패드 연결 배선과, 상기 게이트 패드 및 상기 게이트 패드 연결 배선 상부에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상부에 형성된 데이터 패드, 데이터 패드 연결 배선과, 상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께로 형성된 보호막 패턴과, 상기 보호막 패턴상에 도포한 시일재를 포함하는 것을 특징으로 하고, 액정표시소자 제조방법은, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판에 게이트 패드와 게이트 패드 연결 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 패드 및 게이트 패드 연결 배선 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막 상부에 데이터 패드와 데이터 패드 연결 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께를 갖는 보호막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 보호막 패턴에 시일재를 도포하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
이상, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 액정표시소자 및 그 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 의한 액정표시소자의 평면도이다.
도 3과 같이, 게이트 PCB(305) 및 데이터 PCB(306)상에 게이트 드라이브 IC와 데이터 드라이브 IC가 형성되어 있다. 상기 게이트 드라이브 IC는 게이트 배선(도면에 표시하지 않음)에 순차적으로 구동 전압을 공급하여 TFT를 On/Off 시키는 역할을 하며 패널의 좌우측에 형성된다. 상기 데이터 드라이브 IC는 데이터 배선(도면에 표시하지 않음)에 신호 전압을 공급하여 턴온(Turn-On)된 TFT를 통하여 실제 액정 셀에 데이터 전압(영상 신호 전압)을 전달하는 역할을 하며, 패널 상하에 위치한다. 그리고, 상기 드라이브 IC는 각 TCP(301, 302)를 통해서 패널상의 패드와 접속된다.
상기 게이트 TCP(301)와 액티브 영역(320)사이에는 연결 단자인 게이트 패드연결 배선(303)이 형성되어 있고, 상기 데이터 TCP(302)와 상기 액티브 영역(320)사이에는 연결 단자인 데이터 패드 연결 배선(304)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 게이트 드라이브 IC에 통로인 게이트 TCP(301)가 부착되어 있고 신호, 전원 공급을 지시하는 게이트 PCB(305)가 연결되어 있고, 상기 데이터 드라이브 IC에 통로인 데이터 TCP(302)가 부착되어 있고 신호, 전원 공급을 지시하는 데이터 PCB(306)가 연결되어 있다.
제 2기판(350)은 상기 패드들이 형성된 상기 제 1기판 상부에 위치하며 상기 제 1기판과 액티브층(320)을 형성한다.
그리고, 칼라 필터 패턴이 형성된 제 2기판(350)에 시일재(310)로 열경화형 시일재를 도포하고, TFT가 형성된 제 1기판(300)과 합착한다. 또는 열경화형 시일재를 상기 제 1기판(300)에 도포한 후 합착한다. 그런 다음, 핫 프레스에서 열을 가해 열경화형 시일재(310)를 경화시킨 후 액정을 진공 주입 방법으로 형성한다. 도면 부호 330은 블랙 매트릭스이다.
광경화형 시일재를 사용하는 경우에는, TFT가 형성되고 공통 배선에 전압을 인가하기 위한 Ag가 부착된 제 1기판(300)을 아래에 놓고 액정을 적하 방식으로 형성한다. 그리고 칼라 필터 패턴이 형성된 제 2기판(350)에 시일재(310)로 UV 경화형 시일재를 올려 놓는다. 그런 다음, 패널을 합착하고, UV를 조사하여 UV 경화형 시일재를 경화시킨다.
도 4a는 제 1실시예로, 도 3의 E' 부분의 수직 단면도이고, 도 4b는 제 1실시예로, 도 3의 E' 부분의 확대도이다.
도 4a와 같이, 제 1기판(300)상에 게이트 패드 연결 배선(303)이 형성되어 있고, 그 상부에 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음)이 형성되어 있고, 상기 게이트 절연막 상부에 유기절연막인 보호막(308)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음) 상에 상기 데이터 패드 연결 배선(304)이 형성되어 있고, 그 상부에 유기절연막인 보호막(308)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 보호막(308) 상부에 시일재(310)가 도포되어 있다. 여기서, 상기 시일재(310)가 제 1기판(300)에 도포되도록 상기 시일재(310) 도포 부분의 상기 보호막(308)과 게이트 절연막을 일부 제거하여 보호막 오픈부(309)를 형성한다.
상기 보호막(308)은 하프-톤(Half-Tone) 마스크를 사용하여 A, B, C 세 패턴으로 형성된다. A 영역은 전차단 영역으로, 상기 보호막(308)을 전혀 제거하지 않은 영역으로 상기 시일재(310) 도포 외곽 지역이다. B 영역은 부분 노출 영역으로 상기 보호막(308)을 일부 제거하여, 상기 보호막 오픈부(309)가 균일하게 형성되어 패턴에 따른 셀갭 균일성이 유지되도록 한다. C 영역은 전 노출 영역으로 상기 보호막(308)과 게이트 절연막을 제거하여 상기 시일재(310)의 접착력을 증가시키는 영역이다.
상기 시일재(310)는 열경화형 시일재나 광경화형 시일재 모두 유리 기판에 대한 접착력은 좋으나 유기절연막인 상기 보호막(308)에 대한 접착력은 나쁘다. 그러므로, 상기 보호막(308)과 게이트 절연막을 제거한 상기 보호막 오픈부(309)를 통해 기판에 시일재(310)가 도포되면 접착력이 좋아져 양기판을 합착하게 된다.
도 4b와 같이, 수평으로 보면 상기 게이트 패드 연결 배선(303) 또는 상기데이터 패드 연결 배선(304) 옆에 상기 보호막(308)이 형성되어 있고, 상기 보호막(308) 옆에는 상기 보호막 오픈부(309)가 형성되어 있고, 상기 보호막 오픈부(309)까지 상기 시일재(310)가 도포된다.
도 5a 내지 도 5d는 제 1실시예의 제조 공정도이다.
도 5a와 같이, 제 1기판(300) 상에 상기 게이트 패드 연결 배선(303)을 형성하고, 그 상부에 게이트 절연막을 형성한다. 또한, 상기 게이트 절연막 상부에 상기 데이터 패드 연결 배선(304)을 형성한다. 그리고, 상기 게이트 패드 연결 배선(303)과 상기 데이터 패드 연결 배선(304) 상부에 상기 보호막(308)을 형성한다.
도 5b와 같이, 상기 보호막(308) 상부에 포토 레지스트(380)를 도포하고, 하프-톤 마스크(370)를 상기 포토 레지스트(380) 상부에 정렬한다. 상기 하프-톤 마스크(370)는 차광부(371), 반투광부(372), 투광부(373)으로 이루어져 있다. 그리고, 상기 하프-톤 마스크(370) 상에 광을 조사하여 상기 포토 레지스트(380)를 선택적으로 노광한다.
도 5c와 같이, 상기 노광된 포토 레지스트(380)를 형성한다. 여기서, 상기 현상된 포토 레지스트(380)는 일정한 패턴을 형성하게 된다. 한편, 상기 패터닝된 포토 레지스트(380) 중 상기 하프-톤 마스트(370)의 차광부(371)에 대응되는 부분은 다른 부분보다 많이 남고, 반투광부(372)에 대응된 상기 포토 레지스트(380)는 중간 정도로 남고, 투광부(373)에 대응된 상기 포토 레지스트(380)는 거의 제거된다.
도 5d와 같이, 상기 포토 레지스트(380)를 계속 식각하면 하부의 상기 보호막(308)이 식각되어 차광부(371)에 대응되는 상기 보호막(308)이 거의 식각되지 않고, 반투광부(372)에 대응되는 상기 보호막(308)이 중간 정도로 남고, 투광부(373)에 대응되는 상기 보호막(308)이 제거되어 보호막 오픈부(309)가 형성된다.
도 6a는 제 2실시예로, 도 3의 E' 부분의 수직 단면도이고, 도 6b는 제 2실시예로, 도 3의 E' 부분의 확대도이다.
도 6a와 같이, 제 1기판(300)상에 게이트 패드 연결 배선(303)이 형성되어 있고, 그 상부에 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음)이 형성되어 있고, 상기 게이트 절연막 상부에 유기절연막인 보호막(308)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 절연막(도면에 표시하지 않음) 상에 상기 데이터 패드 연결 배선(304)이 형성되어 있고, 그 상부에 유기절연막인 보호막(308)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 보호막(308) 상부에 시일재(310)가 도포되어 있다. 여기서, 상기 시일재(310) 도포 부분의 상기 보호막(308)을 도 4a, 도 4b보다 많이 제거하고 상기 보호막 오픈부는 형성하지 않는다.
상기 보호막(308)은 하프-톤(Half-Tone) 마스크를 사용하여 A, B' 두 패턴으로 형성된다. A 영역은 전차단 영역으로, 상기 보호막(308)을 전혀 제거하지 않은 영역으로 상기 시일재(310) 도포 외곽 지역이다. B' 영역은 부분 노출 영역으로 도 4a, 도 4b보다 상기 보호막(308)을 많이 제거하여 패턴에 따른 셀갭 균일성이 유지되도록 한다.
도 6b와 같이, 수평으로 보면 상기 게이트 패드 연결 배선(303) 또는 상기 데이터 패드 연결 배선(304) 옆에 상기 보호막(308)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 보호막(308)을 많이 제거하였으므로 시일재가 떨어지는 것을 방지하고, 셀갭 균일도가 유지되고, 보호막 오픈부가 없으므로 패드 간격이 작은 고해상도 모델에 적용 가능하다.
도 7a 내지 도 7d는 제 2실시예의 제조 공정도이다.
도 7a와 같이, 제 1기판(300) 상에 상기 게이트 패드 연결 배선(303)을 형성하고, 그 상부에 게이트 절연막을 형성한다. 또한, 상기 게이트 절연막 상부에 상기 데이터 패드 연결 배선(304)을 형성한다. 그리고, 상기 게이트 패드 연결 배선(303)과 상기 데이터 패드 연결 배선(304) 상부에 상기 보호막(308)을 형성한다.
도 7b와 같이, 상기 보호막(308) 상부에 포토 레지스트(380)를 도포하고, 하프-톤 마스크(390)를 상기 포토 레지스트(380) 상부에 정렬한다. 상기 하프-톤 마스크(390)는 차광부(391)와 그외 모두 반투광부(392)로 이루어져 있다. 그리고, 상기 하프-톤 마스크(390) 상에 광을 조사하여 상기 포토 레지스트(380)를 노광한다.
도 7c와 같이, 상기 노광된 포토 레지스트(380)를 형성한다. 여기서, 상기 현상된 상기 포토 레지스트(380)는 일정한 패턴을 형성하게 된다. 한편, 상기 패터닝된 상기 포토 레지스트(380) 중 상기 하프-톤 마스크(390)에 이루어진 차광부(391)에 대응된 포토 레지스트(380)는 많이 남고, 반투광부(392)에 대응된 상기 포토 레지스트(380)가 중간 정도로 남게 된다.
도 7d와 같이, 상기 포토 레지스트(380)를 계속 식각하면 하부의 상기 보호막(308)이 식각되어 차광부(391)에 대응되는 상기 보호막(308)은 거의 식각되지 않고, 반투광부(392)에 대응되는 상기 보호막(308)은 표면으로부터 소정두께만큼 제거되어 중간 정도로 남는다. 이때, 상기 보호막(308)의 식각을 조절하여 상기 제 1실시예보다 반투광부(392)의 상기 보호막(308)을 많이 식각한다.
상기 제 1 및 제 2 실시예에서는 포토 레지스트를 사용한 보호막 식각 방법을 예로 들고 있으나, 보호막이 광반응성 유기절연막인 경우에는 포토 레지스트 사용없이도 다른 두께의 보호막 형성이 가능하다.
상기와 같은 본 발명에 의한 액정표시소자 및 그 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 하프-톤 마스크를 이용하여 보호막을 선택적으로 제거함으로써 서로 다른 두께를 갖는 보호막 패턴을 형성하여 보호막 오픈부의 오픈율이 패턴에 따라 균일하고, 시일재 도포시 시일재의 접착력을 향상시킬 수 있다.
둘째, 보호막 오픈부를 형성하지 않고, 하프-톤 마스크를 이용하여 보호막의 일부를 다른 부분보다 많이 제거함으로써 시일재의 떨어짐을 방지하여 셀 갭 균일도를 유지하면서 패드 간격이 작은 고해상도 모델에 적용할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

Claims (12)

  1. 기판과,
    상기 기판에 형성된 게이트 패드, 게이트 패드 연결 배선과,
    상기 게이트 패드 및 상기 게이트 패드 연결 배선 상부에 형성된 게이트 절연막과,
    상기 게이트 절연막 상부에 형성된 데이터 패드, 데이터 패드 연결 배선과,
    상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께로 형성된 보호막 패턴과,
    상기 보호막 패턴상에 도포하여 형성된 시일재를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 보호막 패턴은 보호막의 일부가 제거되는 보호막 오픈부를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 보호막 오픈부는 보호막과 게이트 절연막이 제거되어 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 기판을 준비하는 단계와,
    상기 기판상에 게이트 패드와 게이트 패드 연결 배선을 형성하는 단계와,
    상기 게이트 패드와 상기 게이트 패드 연결 배선 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 게이트 절연막 상부에 데이터 패드와 데이터 패드 연결 배선을 형성하는 단계와,
    상기 게이트 패드 연결 배선 및 상기 데이터 패드 연결 배선 상부에 서로 다른 두께를 갖는 보호막 패턴을 형성하는 단계와,
    상기 보호막 패턴상에 시일재를 도포하는 단계를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 보호막 패턴은 하프-톤 마스크를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 보호막 패턴은 보호막을 일부 제거하여 보호막 오픈부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 보호막 오픈부는 보호막과 게이트 절연막을 제거하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  11. 삭제
  12. 삭제
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100280889B1 (ko) * 1998-06-30 2001-02-01 구본준, 론 위라하디락사 액정 표시 장치의 패드부 제조 방법 및 그 방법에 의한 액정 표시 장치
KR100315208B1 (ko) * 1999-12-17 2001-11-26 구본준, 론 위라하디락사 액정표시소자 및 그 제조방법
KR100957614B1 (ko) * 2005-10-17 2010-05-13 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법
KR101275941B1 (ko) * 2005-12-30 2013-06-25 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조 방법
KR101244898B1 (ko) * 2006-06-28 2013-03-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
WO2009042792A1 (en) * 2007-09-25 2009-04-02 E. I. Du Pont De Nemours And Company Backplane structures for solution processed electronic devices
JP5448940B2 (ja) * 2010-03-08 2014-03-19 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置
KR101853454B1 (ko) * 2011-01-21 2018-05-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US20130308082A1 (en) * 2012-05-17 2013-11-21 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Liquid Crystal Display Panel
JP6092551B2 (ja) * 2012-09-07 2017-03-08 株式会社ジャパンディスプレイ 表示パネル
BR112018069161B1 (pt) * 2017-07-18 2022-12-27 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Painel de exibição, aparelho de exibição, método para detectar rachadura em uma camada vedante de um painel de exibição, e método de fabricação de painel de exibição
KR20190124845A (ko) * 2018-04-26 2019-11-06 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN112180676A (zh) * 2020-09-23 2021-01-05 武汉华星光电技术有限公司 半色调掩模版、显示面板的制备方法及紫外掩膜版

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06186588A (ja) * 1992-12-17 1994-07-08 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
JPH08234240A (ja) * 1996-01-16 1996-09-13 Seiko Epson Corp 液晶装置
KR20000074550A (ko) * 1999-05-21 2000-12-15 구본준 액정표시소자와 그 제조 방법
KR20010057024A (ko) * 1999-12-17 2001-07-04 구본준, 론 위라하디락사 액정표시소자 및 그 제조방법
JP2001337316A (ja) * 2000-05-26 2001-12-07 Seiko Epson Corp 保護膜の形成方法、配向膜の形成方法、液晶装置及び電子機器

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100335462B1 (ko) * 1999-08-11 2002-05-04 구본준, 론 위라하디락사 액정표시패널

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06186588A (ja) * 1992-12-17 1994-07-08 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
JPH08234240A (ja) * 1996-01-16 1996-09-13 Seiko Epson Corp 液晶装置
KR20000074550A (ko) * 1999-05-21 2000-12-15 구본준 액정표시소자와 그 제조 방법
KR20010057024A (ko) * 1999-12-17 2001-07-04 구본준, 론 위라하디락사 액정표시소자 및 그 제조방법
JP2001337316A (ja) * 2000-05-26 2001-12-07 Seiko Epson Corp 保護膜の形成方法、配向膜の形成方法、液晶装置及び電子機器

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