KR100430798B1 - 액정표시장치용박막트랜지스터기판 - Google Patents

액정표시장치용박막트랜지스터기판 Download PDF

Info

Publication number
KR100430798B1
KR100430798B1 KR1019950066738A KR19950066738A KR100430798B1 KR 100430798 B1 KR100430798 B1 KR 100430798B1 KR 1019950066738 A KR1019950066738 A KR 1019950066738A KR 19950066738 A KR19950066738 A KR 19950066738A KR 100430798 B1 KR100430798 B1 KR 100430798B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
film transistor
gate
liquid crystal
source
Prior art date
Application number
KR1019950066738A
Other languages
English (en)
Other versions
KR970048751A (ko
Inventor
이형곤
최운준
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019950066738A priority Critical patent/KR100430798B1/ko
Publication of KR970048751A publication Critical patent/KR970048751A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100430798B1 publication Critical patent/KR100430798B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

이 발명은 박막 트랜지스터의 소스 전극의 모양에 따라서 나타나는 스위치 현상의 특성을 개선한 액정 표시 장치에 관한 것이다. 유리 기판 위에 복수의 게이트선 및 복수의 데이터선이 절연막을 사이에 두고 서로 교차해서 배열되고, 이들의 각각의 교차점에 인접한 게이트선 및 데이터선에 연결된 박막 트랜지스터를 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 소스에 화소가 각각 연결디는 액정 표시 장치에 있어서, 박막 트랜지스터의 게이트의 방향이 데이터선의 방향과 평행이거나 서로 교차하는 구조에서, 박막 트랜지스터의 소스 구조에서 소스 전극이 게이트 전극 안쪽으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판
이 발명은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에 관한 것으로서, 더욱 상세히 말하자면, 박막 트랜지스터의 소스 전극의 모양에 따라서 나타나는 스위치 현상의 특성을 개선한 액정 표시 장치에 관한 것이다.
화상 정보 시대에 있어서 정보 전달의 최대 담당자인 표시 장치에 많은 기대가 모아지고 있다. 이로 인해 지금까지의 음극선관을 대신한 각종 평면 표시 장치가 개발되어 급속히 보급되기 시작하고 있다. 그중에서도 박형, 경량, 저전압 구동, 저소비 전력등의 특징을 갖는 액정 표시 장치의 기술 전진은 현저하며, 특히 액정 기술과 반도체 기술을 융합한 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치가 크게 주목받고 있다.
액티브 매트릭스 구동 방식은 매트릭스 형태로 배열된 각 서브 화소에 비선형 소자를 설치하여 이 소자의 스위칭 특성을 이용하여, 각 서브 화소의 동작을 제어하는 것으로, 스티틱 구동에 가까운 동작이 가능하므로 주사선 수가 증가하여도 대조비나 시작 범위, 응답 속도의 저하가 생기지 않고, 고화질의 표시가 가능하지만, 구조 및 제조 공정이 복잡하여 대 화면화나 고정세롸시 화소의 개구율이 감소하고, 이에 상응하여 액정 표시 판넬의 밝기가 떨어지는 결점이 있다. 또한 대화면화가 될수록 공정의 마진이 줄어드는 결점이 있다.
즉 제조 공정시 하나의 판넬 전체를 마스크 하나로 처리할 수 없어 2등분 혹은 4등분으로 나누어 처리해야 하는 문제점이 있다.
따라서 이와 같이 하나의 판넬에 적용하는 마스크의 수가 2개 이상이면 공정 진행시 처음 적용한 마스크와 나중에 적용한 마스크와의 부정합(mis-align)이 발생하여 소자의 동작에 영향을 미치게 된다. 이러한 동작의 문제를 스티치(stitch) 현상이라 한다.
이것을 좀 더 자세히 설명하면 다음과 같다.
제1도의 (가)는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 평면도이다.
기본적인 박막 트랜지스터의 레이 아웃 구조와 등가회로가 제1도의 (가)-(나)에 나타내었다.
제1도를 기준으로 설명하면, 반도체층(1)이 형성되어 있으며, 게이트선(2)과데이터선(4)이 서로 교차하여 형성되어 있다. 이때, 공정의 부정합이 발생하면 소스(6) 쪽의 면적이 변화하여 소스(6)와 게이트(8) 오버캡되는 면적이 변화하여 소스(6)와 게이트(8) 오버랩 사이에 형성되는 캐패시턴스가 변하여 게이트 레벨 변화시 발생하는 킥백 현상이 일어난다. 이러한 구간별 용량값의 차이가 킥벨 전압 레벨 차이로 나타나며 이것이 특성의 변화를 만들어 스티치 현상을 만든다.
이러한 현상은 판넬의 대형화에 따라 더욱더 잘 나타나며 근본적인 대책이 만들어져야 한다.
이것을 수식으로 설명하면 다음과 같이 표현된다.
여기서 소스와 게이트 오버랩되는 면적이 변화하면 Cgs값이 변화하여 킥벡 전압 레벨이 변화한다. (단, Cgs는 게이트와 소스 사이의 캐패시턴스이고, Cst는 스토리지 캐패시터이고, Clc는 액정 캐패시턴스이고, Vg는 게이트 인가 전압이고, Vs는 데이터 인가 전압이다.)
그러므로 이 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서,
박막 트랜지스터의 소스 구조를 변경하여 스티지 현상을 제거하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 이 발명은,
유리 기판 위에 복수의 게이트선 및 복수의 데이터선이 절연막을 사이에 두고 서로 교차해서 배열되고, 이들의 각각의 교차점에 인접한 게이트선 및 데이터선에 연결된 박막 트랜지스터를 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 소스에 화소가 각각 연결디는 액정 표시 장치에 있어서, 박막 트랜지스터의 게이트의 방향이 데이터선의 방향과 평행이거나 서로 교차하는 구조에서, 박막 트랜지스터의 소스 구조에서 소스 전극이 게이트 전극 안쪽으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고로하여 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 평면도이다.
제2도에 도시한 바와 같이, 유리 기판 위에 복수의 게이트선(2) 및 복수의 데이터선(4)이 절연막과 반도체층(1)을 사이에 두고 서로 교차해서 배열되고, 이들의 각각의 교차점에 인접한 게이트선(2) 및 데이터선(4)에 연결된 박막 트랜지스터를 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극(6)에 화소가 각각 연결되어 있는 액정 표시 장치에 있어서, 박막 트랜지스터의 게이트선(2)의 방향이 데이터선(4)의 방향과 평행이거나 서로 교차하는 구조에서, 박막 트랜지스터의 소스 구조에서 소스 전극(6)이 게이트 전극(8) 안쪽으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 이루어져 있는 본 발명은 스티지 현상을 일으키는데 있어 가장 근본적으로 영향을 미치는 Cgs의 변화값을 줄이는데 주안점이 있다.
제2도에서 보는 바와 같이, 마스크의 부정합이 발생하여도 소스 전극(6)이게이트 전극(8)의 안쪽으로 형성되어 있어 부정합이 발생하여도 Cgs값의 변화가 없다. 이렇게 하면 게이트 전압 변동시 발생하는 킥벡 전압 레벨의 차이를 없앨 수 있다. 따라서 판넬의 스티치 현상을 없앨 수 있다.
그러므로 이 발명은 스티지 현상을 일으키는데 있어서 가장 근본적으로 영향을 미치는 Cgs의 변화값을 줄이는 효과가 있다.
제1도의 (가)는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 평면도이고,
제1도의 (나)는 제1도의 (가)의 등가 회로도이고,
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 평면도이다.

Claims (1)

  1. 유리 기판 위에 복수의 게이트선 및 복수의 데이터선이 절연막을 사이에 두고 서로 교차해서 배열되고, 이들의 각각의 교차점에 인접한 게이트선 및 데이터선에 연결된 박막 트랜지스터를 개재해서 상기 박막 트랜지스터의 소스에 화소가 각각 연결되는 액정 표시 장치에 있어서,
    박막 트랜지스터의 게이트의 방향이 데이터선의 방향과 평행이거나 서로 교차하는 구조에서, 박막 트랜지스터의 소스 구조에서 게이트 전극은 소스 전극 방향으로 가지를 뻗고 있고, 일자형 소스 전극의 끝부분은 상기 게이트 전극의 가지 부분의 내부에 형성되어 있어서 소스 전극이 게이트 전극 안쪽으로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
KR1019950066738A 1995-12-29 1995-12-29 액정표시장치용박막트랜지스터기판 KR100430798B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950066738A KR100430798B1 (ko) 1995-12-29 1995-12-29 액정표시장치용박막트랜지스터기판

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950066738A KR100430798B1 (ko) 1995-12-29 1995-12-29 액정표시장치용박막트랜지스터기판

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970048751A KR970048751A (ko) 1997-07-29
KR100430798B1 true KR100430798B1 (ko) 2004-07-19

Family

ID=37335344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950066738A KR100430798B1 (ko) 1995-12-29 1995-12-29 액정표시장치용박막트랜지스터기판

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100430798B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990041951A (ko) * 1997-11-25 1999-06-15 윤종용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
KR20200015926A (ko) * 2016-09-13 2020-02-13 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
US10809627B2 (en) 2018-01-16 2020-10-20 Samsung Display Co., Ltd. Mask, related display device, and related exposure method for manufacturing display device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166587A (ja) * 1985-01-19 1986-07-28 三洋電機株式会社 薄膜トランジスタ
JPH043124A (ja) * 1990-04-20 1992-01-08 Sharp Corp アクティブマトリクス表示装置
JPH05313192A (ja) * 1992-05-12 1993-11-26 Toshiba Corp 液晶表示装置およびその製造方法
KR940001457A (ko) * 1992-06-09 1994-01-11 죤 디. 크레인 박막트랜지스터 및 능동 매트릭스 액정표시장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166587A (ja) * 1985-01-19 1986-07-28 三洋電機株式会社 薄膜トランジスタ
JPH043124A (ja) * 1990-04-20 1992-01-08 Sharp Corp アクティブマトリクス表示装置
JPH05313192A (ja) * 1992-05-12 1993-11-26 Toshiba Corp 液晶表示装置およびその製造方法
KR940001457A (ko) * 1992-06-09 1994-01-11 죤 디. 크레인 박막트랜지스터 및 능동 매트릭스 액정표시장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990041951A (ko) * 1997-11-25 1999-06-15 윤종용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
KR20200015926A (ko) * 2016-09-13 2020-02-13 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102282614B1 (ko) * 2016-09-13 2021-07-27 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
US10809627B2 (en) 2018-01-16 2020-10-20 Samsung Display Co., Ltd. Mask, related display device, and related exposure method for manufacturing display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR970048751A (ko) 1997-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100336884B1 (ko) 박막트랜지스터액정표시소자
JPH0359522A (ja) 液晶表示装置
US7868338B2 (en) Liquid crystal display array board and method of fabricating the same
KR100333179B1 (ko) 박막트랜지스터액정표시소자및그의제조방법
KR20000041955A (ko) 박막 트랜지스터 액정표시소자
US7301517B2 (en) Liquid-crystal display apparatus capable of reducing line crawling
JPH10274783A (ja) 液晶表示装置
US20010050745A1 (en) In-plane switching liquid crystal displaying device and method of fabricating the same
KR100430798B1 (ko) 액정표시장치용박막트랜지스터기판
KR20010009747A (ko) 액정 표시 장치
JPH05224235A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH02234127A (ja) 液晶表示装置
KR100336885B1 (ko) 박막트랜지스터액정표시소자
JPH02184823A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置
KR100885017B1 (ko) 액정 표시 장치
KR950008938B1 (ko) 액정 표시장치
KR100466393B1 (ko) 액정표시소자의 박막트랜지스터
KR100333178B1 (ko) 박막트랜지스터액정표시소자
JPH02285327A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示素子
JPH03209223A (ja) 液晶表示装置
KR100831304B1 (ko) 액정표시장치
JPH0356931A (ja) カラー液晶表示装置
KR101351372B1 (ko) 액정표시장치
KR0142767B1 (ko) 액정표시장치 및 액정표시장치의 구동방법
KR940007457B1 (ko) 박막트랜지스터 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130329

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140401

Year of fee payment: 11

EXPY Expiration of term