KR100421277B1

KR100421277B1 - Rf신호자동테스트장치용아키텍쳐

Info

Publication number: KR100421277B1
Application number: KR1019950035069A
Authority: KR
Inventors: 브라이언시.와델
Original assignee: 테라다인 인코퍼레이티드
Priority date: 1994-12-01
Filing date: 1995-10-12
Publication date: 2004-05-10
Also published as: JP3966562B2; EP0715177A3; JPH08274691A; US6066953A; EP0715177B1; JP2007178422A; US5572160A; DE69534036D1; EP0715177A2; DE69534036T2

Abstract

테스트 대상 디바이스상에서 광범위에서 걸쳐 측정하도록 RF 소스 및 수신기를 구성하는데 유용한 RF 모듈.

이 모듈은 수신기가 한 테스트 지점으로 부터의 입력 및 출력신호를 측정하게 하는 방향성소자를 포함한다. 부가하여, 이 모듈은 다수의 입력신호가 혼변조 테스팅을 위해 조합되어지게 한다. 모듈의 다수의 카피는 RF 테스터내에 다수의 채널을 구성하는데 사용된다. 적어도 하나의 RF 소스 및 하나의 RF 수신기가 각각의 채널에 접속될 수 있다. 테스트 대상 디바이스의 각각의 리드는 채널에 할당되지만, 한 채널은 하나 이상의 리드에 멀티플렉스될 수 있다. 각각의 모듈에 포함된 스위칭 회로는 한 채널로부터의 소스가 다른 채널에 대한 혼변조신호로써 사용된다. 소스 및 수신기 레벨 정확도를 위한 교정스탠더드를 포함한다. 이러한 배열에 의해, S 파라미터에 대한 측정을 포함한 수많은 측정이 전용계기 없이 테스트 대상 디바이스 상에서 이루어질 수 있다.

Description

RF신호 자동 테스트장치용 아키텍쳐{ARCHITECTURE FOR RF SIGNAL AUTOMATIC TEST EQUIPMENT}

본 발명은 일반적으로 자동 테스트장치에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 고주파 테스트 신호를 피시험 디바이스에 제공하기 위한 아키텍쳐에 관한 것이다.

자동 테스트장치 (통상 "테스터")는 반도체 디바이스의 제조시에 이용된다.

순수하게 디지털식인 디바이스는 보통 디지털 신호를 구동시키고 수신하는 테스터로 테스트된다. 디지털 신호뿐만 아니라 아날로그 신호를 처리하는 반도체 디바이스는 아날로그 신호 및 디지털 신호를 생성하고 수신할 수 있는 테스터로 테스트되어야 한다.

이들 신호에 대한 테스터는 혼합신호 테스터라 칭한다.

제 1도는 전형적인 종래기술의 혼합신호 테스터(100)의 아키텍쳐를 도시한다. 테스터 메인프레임(102)은 테스트를 제어한다. 이것은 테스트동안 테스트 신호를 발생시키고 반응을 분석하여 에러를 식별한다.

테스터 메인프레임(102)은 테스트 헤드(104)를 통해 피시험 디바이스(device under test; "DUT")에 접속되어 있다. 자동 테스트의 한가지 목적은 제조동작에서 가능한 한 일찍 결함이 있는 구성부품을 식별하는 것이기 때문에, 구성부품은 반도체 웨이퍼상에 있는 동안 테스트되곤 한다. 따라서, DUT(106)는 매우 소형으로 보통 몇분의 일 평방인치일 수 있다.

테스트 헤드(104)는 DUT(106)를 테스트하는데 필요한 다양한 테스트 신호를 상기 소영역으로 보낸다. 테스트 헤드(104)는 또한 결함없는 신호를 제공하기 위해 DUT(106)에 근접하여 위치되어야 하는 전자회로를 포함한다.

테스터(100)는 테스터 메인프레임(102) 내부의 제어전자회로(108)에 의해 제어된다. 제어전자회로(108)는 고속 컴퓨터이다. 이것은 프로그래밍될 수 있는 메모리(도시하지 않음)를 포함하므로 테스터(100)는 다양한 반도체 디바이스상에서 수많은 테스트를 수행할 수 있다.

제어전자회로(108)는 일 또는 그이상의 버스(110)를 통해 테스터 서브시스템에 접속된다. 테스터(100)는 RF 신호를 처리하는 서브시스템을 포함한다. RF신호는 약 10MHz 내지 약 6GHz 의 범위의 주파수를 갖는 신호로써 대략 정의된다. 테스터(100)는 또한 베이스 밴드신호라 칭하기도 하는 저주파 AC 신호를 처리하는 서브시스템을 포함한다. 테스터(100)는 또한 DC 신호를 처리하는 서브시스템 및 디지털신호를 처리하는 다른 서브시스템을 포함한다.

RF서브시스템은 복수의 RF 소스 및 수신기(112)로 구성되어 있다. 각 RF 소스는 제어전자회로(108)에 의해 지정되는 주파수 및 레벨로 테스트 신호를 발생시키도록 프로그래밍 될 수 있다. RF소스의 일부 또는 전부는 신호경로(136)를 통해 저주파 서브시스템으로부터 베이스 밴드신호를 수신한다. 이 베이스 밴드신호는 상기 소스에 의해 제공되는 RF 신호를 변조하는데 이용된다.

각 RF 수신기는 주파수 범위를 통해 수신된 신호의 전력을 측정한다. 전력레벨 및 주파수범위와 같이, 소스 및 수신기의 동작 파라미터는 제어전자회로(108)에 의해 제어될 수 있다. 수신기의 일부 또는 전부는 또한 RF 신호를 저주파 서브시스템으로 통과되는 베이스 밴드신호로 변환시킬수 있다.

RF소스 및 수신기의 조합은 디바이스의 다양한 파라미터를 결정하는데 요구되는 DUT(106)상에서 RF 측정을 수행하는데 충분하지 않다. 이러한 상황에서, 전용계기(120)는 RF서브시스템에 부가된다. 각 전용계기(120)는 일반적으로 벡터 네트워크 분석과 같이 한가지 기능을 수행한다. 보다 최근에, 두가지 기능을 수행하는 전용계기가 이용가능하게 되었다. 이러한 계기는 VXI 또는 GPIB 와 같이 표준 제어인터페이스를 가지므로 테스터(100)내에 용이하게 일체화될 수 있다.

저주파(베이스밴드)서브시스템은 저주파 아날로그 소스 및 수신기(114)로 구성되어 있다. 이들 디바이스는 디지털 신호 처리기술을 이용하여 구현된다. 전형적인 시스템은 200MHz 에서 동작할 수 있어 대부분의 형상의 파형이 생성되거나 또는 분석되어진다.

DC 서브시스템은 DC 소스 및 계기로 구성되어 있다. 이들 디바이스는 DC 바이어스 조건을 생성하거나 또는 측정할 수 있다.

디지털 서브시스템은 디지털 신호를 발생시키고 수신한다. 이것은 디지털 구동기 및 수신기(116)로 구성되어 있다.

RF소스 및 수신기(112), 저주파 소스 및 수신기(114), DC 소스 및 수신기(116), 디지털 소스 및 수신기(118), 및 전용계기(120)는 모두 테스트 헤드(104)에 접속되어 있다. 많은 실례에서, 테스트 헤드(104)에 접속되어 있다. 많은 실례에서, 테스트 헤드(104)는 분산형 계기전자회로(122)를 포함하며, 이 분산형 계기전자회로는 보다 큰 정확성 또는 다른 이유로 인해 DUT(106)에 가까이 위치되어야 하는 RF, 저주파, DC, 및 디지털 서브시스템의 소스 또는 수신기의 일부분을 나타낸다.

RF소스 및 수신기(112), 및 전용계기(120)로의 접속은 RF 스위칭회로(134)를 통해 이루어진다. RF 신호를 수신하거나 또는 생성하는 DUT(106)의 각 리드(부재번호 미부여)는 RF 스위칭회로(134) 에 접속되어 있다. DUT(106)를 완전히 테스트하기 위해서는 보통 몇가지 테스트를 실행하는 것이 필요하다. RF서브시스템은 각 테스트동안 개별적으로 구성되어야 한다. 그 구성은 RF 스위칭회로(134) 내부의 개방 및 폐쇄스위치와 케이블을 이동시킴으로써 생성된다. 이들 스위치는 제어전자회로(108)의 제어하에서 동작한다. 이들 스위치는 상용 마이크로파 스위치로 구현된다. 스위치는 DUT(106)의 일 리드를 테스트하는데 이용된 각 소스 또는 수신기가 해당 리드에 접속되도록 구성된다.

저주파 소스 및 수신기(114), DC 소스 및 수신기(116)와 디지털 소스 및 수신기(118)에 의해 발생된 신호는 상호접속회로(132)를 통해 DUT(106)의 리드로 보내진다. 필요에 따라, 상호접속회로(132)는 적합한 접속을 형성하기 위해 스위치를 포함한다.

상호접속회로(132)는 신호경로(138)를 통해 RF 스위칭회로에 접속된다. 신호경로(138)는 DC 바이어스 조건이 RF 서브시스템내에 도입되거나 측정되도록 한다.

DUT(106)를 테스트하기 위해서, 제어전자회로(108)는 프로그램을 실행한다. 프로그램은 계기(112, 114, 116, 118 및 120)에 대한 설정 및 RF 스위칭회로(134)와 상호접속회로(132)의 스위치에 대한 설정을 지정함으로써 제 1측정을 행하도록 테스터(100)를 구성한다. 측정이 행해지고 제어전자회로(108)로 다시 패스된다. 그후, 테스터(100)는 다음 측정을 하도록 재구성된다. 상기 처리는 요구되는 측정이 모두 될 때까지 반복된다.

RF회로를 포함하는 DUT를 테스트하기 위해서, S-파라미터, 군 지연, 위상, 잡음 특성, 로드 풀링, 혼변조 왜곡, 인터셉트 지점, 1dB 압축지점 및 위상잡음등과 같이 수많은 파라미터가 측정된다.

제 1도에 도시된 RF 파라미터를 측정하는 테스터용 아키텍쳐는 각 계기를 DUT(106)에 수동으로 접속하는 것보다 바람직하지만 몇가지 단점을 가진다. 주문형 RF 스위칭회로(134)는 몇가지 이유로 인해 바람직하지 못하다. 첫번째, 특정한 반도체 디바이스를 테스트하는데 이용되는 계기는 이용되는 디바이스의 유형에 의존할 것이다. 결과적으로, RF 스위칭회로(134)는 테스트되는 디바이스의 각 유형에 대해 주문형으로 이루어져야 한다. 이것을 제어하는데 요구되는 주문형 하드웨어및 소프트웨어를 준비하는 것에 유효한 비용이 든다.

두번째, 주문형 교정루틴은 RF 계기(112 및 120)용으로 기입되어야 한다. RF테스트 계기는 보통 소프트웨어 교정루틴을 포함한다. 그러나 이들 루틴은 DUT가 계기에 직접 접속되는 테스트 동안에만 계기를 교정한다. 다른 교정루틴은 계기와 DUT(106) 사이의 스위칭회로를 설명하도록 기입되어야 한다. 이 스위칭회로가 테스트될 디바이스의 각 유형에 대해 주문형으로 설정되어 있기 때문에, 교정루틴은 또한 테스트될 디바이스의 각 유형에 대해 주문형으로 기입되어야 한다.

세번째 단점은 RF 스위칭회로(134)가 수많은 마이크로파 스위치로 구성된다는 점이다. 이들 스위치는 일반적으로 대형이고 DUT(106)에 근접하여 배치시키기가 어렵다. 결과적으로, 분산형 계기전자회로(122)는 요구될 수 있는 것보다 더욱 DUT(106)로부터 이격되어야 한다. 부가적으로, 마이크로파 스위치는 동작이 느리고 제조이동으로 테스트될 수 있는 디바이스의 수를 감소시킨다. 또한, 마이크로파 스위치는 값비싸고 신뢰할 수 없다. 마이크로파 스위치는 겨우 수십만 번의 동작이후 고장나게 되거나 또는 성능을 저하시킨다.

제 1도의 아키텍쳐에 따른 또다른 단점은 전용계기(120)의 비용이다. 더 많은 측정이 RF소스 및 수신기(112)에 의해 행해질 수 있다면 더욱 바람직할 것이다.

발명의 요약

상기의 배경을 고려하면, 본 발명의 목적은 RF 소스 및 수신기가 다수의 SF 파라미터의 측정을 허용하는 구성으로 테스트지점에 접속되도록 할 수 있는 모듈을 제공하는 것이다.

또한 본 발명의 목적은 RF 계기를 테스트 지점에 접속시키기 위해 테스터에 요구되는 마이크로파 스위치, 주문형 회로, 및 주문형 배선의 수를 감소시키는 것이다.

또한 본 발명의 목적은 RF 회로를 포함하는 디바이스를 완전히 테스트하는데 요구되는 전용계기의 수를 감소시키는 것이다.

상기 및 다른 목적은 RF 소스에 접속된 제 1입력 및 또다른 RF 소스의 접속을 허용하는 제 2입력을 갖는 모듈에 의해 이루어진다. 모듈은 또한 소스로부터 신호경로에 접속된 방향성 소자를 포함한다. 방향성 소자의 두 포트는 스위치를 통해 수신기에 접속되어 순방향 신호 및 역방향 신호가 측정되도록 한다. 방향성 소자의 또다른 포트는 바이어스 T회로를 통해 테스트지점에 접속되며, DC바이어스 조건의 도입 및 측정을 허용한다.

본 발명의 일실시예에 있어서, 다중 모듈이 복수의 RF 채널을 포함하는 혼합 신호 테스터에 이용된다. 소수의 채널의 각 채널 또는 채널군은 모듈에 접속된 RF 소스 및 RF 수신기와 연관된다. 아키텍쳐는 일 채널 또는 채널군당 별개의 수의 소스 및 수신기를 가지도록 한다. 각 모듈은 한 채널로부터의 소스가 또다른 채널에서 또다른 RF 소스로써 접속되도록 하는 스위치 소자를 부가적으로 포함한다.

본 발명의 또다른 실시예에서, 각 모듈은 솔리드 스테이트 소자로 구현된다.

본 발명의 또다른 실시예에서, 일 또는 그이상의 스위치는 각 소스 및 수신기를 교정하는데 이용될 수 있는 신호경로에 포함된다.

바람직한 실시예의 설명

본 발명에 따르면, RF 스위칭회로(134)는 일 또는 그 이상의 채널카드로 교체된다. 각 채널카드는 RF 신호를 DUT(106)의 일 리드로 송수신하도록 지정된 "채널"이라 칭하는 일 또는 그 이상의 회로를 포함한다 각 채널카드는 소스 및 수신기가 다수의 방식으로 DUT에 접속되도록 하는 아키텍쳐를 갖는다. 소스 및 수신기는 RF 구성요소상에서 보통 행해지는 모든 표준측정이 전용계기의 부가없이 행해지도록 하는 방식으로 접속될 수 있다. 따라서 본 발명의 채널카드를 이용함으로써 전용계기(120)는 제거될 수 있다.

이제 제2A도를 참조하면, 채널카드(200)의 개략도가 도시되어 있다. 바람직하게, 채널사이의 용이한 상호작용을 위해 각 채널카드(200) 상에는 적어도 두 개의 채널(210a 및 210b)이 있다. 그 채널은 동일할 수 있다. 그러나, 바람직한 실시예에서, 채널(210a)은 고전력 신호의 수신용으로 최적화되고 채널(210b)은 저전력 신호의 수신용으로 최적화된다.

각 채널(210)은 종래에 RF 디바이스를 테스트하는데 이용된 바와 같이 RF 소스에 접속된 입력을 갖는 스위치(212)를 포함한다. 스위치(212)는 소스로부터의 신호가 증폭기(214), 패드(216A 또는 216B)로 스위칭되도록 한다. 패드(216)는 패드(216A 및 216B)가 다른 감쇠량을 제공하면서 신호를 감소시킨다. 이 방식에서, 소스의 동적범위는 크게 연장될 수 있어 일 소스가 고전력 측정 및 저전력 측정을 행하는데 요구되는 신호를 제공하도록 한다.

증폭기(214) 및 패드(216)의 출력은 스위치(218)로 패스된다. 스위치(218)는 보통 스위치(212)와 함께 이용되어 증폭기(214) 또는 패드(216)를 또한 경로를 완성한다. 그러나, 스위치(212 및 218)는 소스를 절연시키는 등의 기능을 수행하도록 독립적으로 동작할 수 있다.

스위치(218)의 출력은 방향성 소자(220)의 입력포트에 결합된다. 방향성 소자는 적어도 3개의 포트를 갖는 디바이스이다. 일 포트는 입력으로써 정의되고 다른 포트는 출력으로써 정의된다. 이들 포트는 입력에 인가된 신호가 출력으로 전파될 때 "통과경로"를 형성한다. 그러나, 입력 또는 출력으로서의 포트의 지정은 출력에 인가된 신호가 또한 입력으로도 전파할 것이기 때문에 순전히 어의적이라는 것을 이해해야 한다. 추가포트는 보통 방향에 따라 명명된다. 이들 포트는 순방향 포트가 "접속된(coupled)" 포트라 칭해지고 역방향 포트가 절연된 포트라 칭해지기도 하지만, "순방향" 또는 "역방향" 포트로 지정될 수 있다. 입력에 인가된 신호는 순방향 포트에 결합되지만 역방향 포트에 결합되지는 않는다. 출력에 인가된 신호는 역방향 포트에 결합되지만 순방향 포트에 결합되지는 않는다. 또한 그 역관계도 마찬가지다. 순방향 포트에 인가된 신호는 입력에 결합되지만 출력에 결합되지는 않고 역방향 포트에 인가된 신호는 출력에 결합되지만 입력에 결합되지는 않는다.

3개의 포트를 갖는 방향성 소자는 상용중이고 보통 방향성 결합기라 칭해진다. 4포트 방향성 소자가 상용으로 구해질 수 없더라도, 백 투 백(back to back) 방식, 즉 결합기의 출력포트가 함께 접속되고 그 입력이 방향성 소자의 출력이 되는 방식으로 2 개의 동일한 방향성 결합기를 구성함으로써 구현될 수 있다.

방향성 소자(220)는 바람직하게 입력, 출력, 순방향 및 역방향 포트(부재번호 미부여)인 4개의 포트를 갖는다. IMin으로 지정된 방향성 소자(220)의 역방향포트는 인접한 채널(210b)상의 지점(IMout)으로부터의 신호를 수신한다. 따라서 스위치(218)로부터의 신호 및 인접채널(210b)로부터의 신호는 방향성 소자(220)의 출력포트에 결합된다. 두 신호가 인가될 때 방향성 소자(220)의 우측 포트로부터의 신호는 두 신호의 합이다.

방향성 소자(220)의 출력포트는 스위치(222)에 접속된다. 스위치(222)는 스위치(218)로부터의 신호가 채널(210a)의 IMout지점에 또는 채널(210a)의 나머지 소자를 통해 DUT(106)에 결합되도록 하는 위치를 갖는다. 스위치(222)의 하나의 출력위치는 방향성 소자(224)의 입력포트에 접속된다. 방향성 소자(224)의 출력포트는 스위치(230)에 접속됨으로써 채널(210a)에 접속된 소스로부터의 신호가 연결되는 것을 허용한다.

방향성 소자(224)의 순방향 포트는 스위치(226)에 접속된다. 마찬가지로, 방향성 소자(224)의 역방향 포트는 스위치(226)에 접속된다. 스위치(226)는 이 두 입력 사이에서 선택한다. 이러한 방식으로, 스위치(226)는 채널(210a)을 통하여 DUT(106)로 나가는 신호를 선택하거나 채널(210a)을 통하여 DUT(106)로부터 들어오는 신호를 선택한다. 스위치(226)의 출력은 스위치(254)를 통하여 RF수신기에 접속된다. 이러한 방식으로, DUT(106)에 인가된 신호 혹은 DUT(106)로부터 수신된 신호가 측정된다. RF수신기는 일반적으로 이용가능한 수신기이며 바람직하게는 dsp-기반(dsp-based) 수신기가 사용된다.

제2A도에 도시된 바와 같이, 스위치(230)는 다수의 바이어스-T소자(232 및 234)에 접속된다. 각 바이어스-T소자(232 및 234)는 DUT(106)상의 한 리드에 접속된다. 따라서, 스위치(230)는 채널(210a)에 접속된 DUT(106)상의 리드를 선택한다. 흔히, DUT 상의 모든 RF 리드가 DUT상에서의 모든 테스트를 위해 소스 혹은 수신기에 동시에 접속될 필요는 없다. 채널을 멀티플렉싱함으로써, 테스터(100)에 제공되는 소스 혹은 수신기의 전체 갯수가 DUT(106) 상의 전체 RF 핀의 개수 보다 적을 수 있다. 바이어스-T소자로부터 DUT(106)의 리드로의 접속은 종래의 방법에 따라 이루어진다.

바이어스-T소자(232 및 234)의 각각은 상호접속회로(132)에 접속된 F 및 S단자를 갖는다. 이러한 접속을 통하여, DC 바이어스 신호는 DUT(106)에 인가된 신호에 더해질 수 있으며 또는 DUT(106)로부터 오는 신호상의 DC 바이어스는 측정될 수 있다. DC바이어스에 더하기 위해, DC 신호는 F, 혹은 강제, 단자에 인가된다. DC바이어스의 레벨은 S단자에서 측정된다. 도입되는 실제 DC 바이어스 레벨은 DC 소스 및 DUT(106) 사이에서의 저항뿐만 아니라 흐르는 전류량에 의해 영향을 받을 것이기 때문에, DC 바이어스의 실제 레벨이 S단자에서 측정됨으로써 입력레벨이 정확하게 조정될 수 있다. 어떠한 DC 바이어스도 더해지지 않을때 신호의 DC 레벨을 측정하기 위해 F 혹은 S단자에서 측정이 이루어질 수 있다.

바이어스-T소자(232 및 234)의 각각은, 하나는 F단자 또하나는 S단자를 위한 두개의 바이어스-T회로에 의해 구현된다. 그러나, S 단자는 단지 DC 신호 인가에 있어서 더욱 정확한 피드백 제어를 위해 필요하며 따라서 선택적이다.

채널(210b)은 몇몇 예외인 경우를 제외하고는, 바람직하게는 채널(210a)과 동일하다. 제2A도의 실시예에는 채널(210b)에 더해진 저노이즈 증폭기(256) 및 스위치(258)를 도시한다. 이러한 부가적인 소자는 채널(210b)이 저전력신호를 측정할 수 있게 한다.

신호를 측정하기 위해, 스위치(258)는 저노이즈 증폭기(256)의 입력을 스위치(230)를 통하여 DUT(106)에 접속하기 위해 구동된다. 스위치(254)는 저노이즈 증폭기(256)의 출력이 RF 수신기에 접속되도록 구동된다. 이러한 방식으로, 신호가 방향성 커플러를 통하여 통과됨이 없이 RF 수신기에 제지되기에 앞서 증폭될 수 있으며, 이렇게 하여 방향성 커플러와 관련한 신호의 손실을 방지할 수 있다.

채널카드(200)는 또한 소스 및 수신기의 교정을 돕기 위한 회로를 포함할 수 있다. 교정기준회로(252)가 포함된다. 이것들은 스위치를 통하여 소스 혹은 수신기중의 하나에 접속될 수 있다. 마이크로파 장치의 교정은 일반적으로 그 장치를 단락(ρ1), 개방(ρ2), 부하(ρ3) 및 그 역순들로 알려진 일련의 기준 스탠더드에 접속시킴으로써 달성된다. 교정기준회로(252)는 이러한 스탠더드, 및 이러한 스탠더드중 하나를 스위치(230)에 접속하도록 하는 스위칭회로를 포함한다.

"온도표류"로 알려진 현상으로 인해 종종 추가의 측정이 필요하다. 많은 마이크로파 소자들은 온도기능인 감쇠 혹은 이득을 갖는다. 이것은 온도변화에 따라 발생되거나 측정된 신호에서 변화를 일으킨다.

항상 동일 신호를 발생시키고 동일 결과를 나타내는 테스트 유닛을 만드는 것이 바람직하다. 온도표류를 측정하기 위해, 채널카드는 선택적으로 교정회로(250)를 포함한다. 한 교정회로(250)는 각 채널(210a 및 210b)에서 방향성 소자(224) 뒤에 포함될 수 있다. 대안으로, 한 교정회로(250)는 경로에서스위치(254) 뒤의 RF 수신기에 포함될 수 있다. 후자의 배열은 동일한 교정회로가 두 채널을 위해 사용된다.

제2B도는 교정회로(250)를 더욱 상세히 도시한다. 교정회로(250)는 한 쌍의 스위치(280 및 282)를 포함한다. 단자(276)에 인가된 신호는 스위치(280 및 282)의 구동에 의해 단자(278)로 직접 통과된다. 스위치(280 및 282)는 교정회로(250)가 교정을 위해 사용되지 않을 때 이 위치에 설정된다.

단자(278)는 신호경로의 수신기측에 접속되며 단자(276)는 소스측에 접속된다. 소스를 교정하기 위해, 스위치(280 및 282)가 먼저 ALRO(288)를 DET(286)에 접속되도록 구동된다.

DET(286)는 온도에 관계없이 관련된 모든 주파수에서 일정 응답을 산출하는 검출기이다. 검출기는 "주파수에 걸쳐 균등"으로 불리워진다. 출력의 실제 크기는 온도의 함수로 변화할 수 있다. 따라서, DET(286)는 함수 Vo = α(T)Vi 에 의해 표현될 수 있으며, 여기서 Vo는 출력레벨, α(T)는 온도함수로써 변화하는 어떤 값이고, Vi는 입력레벨이다. 소스를 교정하기 위해, α(T)를 결정할 필요가 있다.

α(T)를 결정하기 위해, ALRO(288)는 스위치(280 및 282)를 통하여 DET(286)에 접속된다. ALRO(288)는 한 주파수에서 "온도에 걸쳐 일정 전력"인 소스이다(즉, 오실레이터). 다른 말로 하면, 온도에 관계없이 한 주파수에서 공지된 크기의 출력신호를 생성한다. 소스를 교정하기 위해, ALRO(288)의 출력이 DET(286)에 의해 측정된다. 이 측정은 α(T)의 계산을 가능하게 하는, 알려진 Vi 에 대한 Vo 의 신뢰성 있는 측정을 제공한다.

소스신호는 그후 ALRO(288)와 동일 주파수로써 설정되며 스위치(280 및 282)를 통하여 DET(286)에 접속된다. 소스의 Vi는 그후 DET(286)가 ALRO(288)의 값을 측정할 때와 동일한 출력을 가질 때까지 조정된다.

α(T)가 한 주파수에서만 측정될지라도, α(T)는 반드시 모든 주파수에서 동일한 값을 갖는다. 소스의 입력주파수는 자신의 동작범위에 걸쳐서 변화한다. 각각의 주파수에서, 소스는 ALRO(288)로 부터의 신호를 측정할때 생성되는 것과 동일한 레벨을 DET(286)가 측정할 때까지 조정된다. 상용 RF 소스는 이 유형의 조정을 가능케 하는 교정 메커니즘을 포함한다. 이러한 단계들은 제어전자회로의 제어하에 지시된다.

수신기를 교정하기 위해, 스위치(282)는 자신의 중간위치에 설정된다. 스위치(282)는 ALRO(288)를 접속하도록 구동된다. ALRO(288)는 샘플링 비교기로 구현될 수 있는 절대레벨기준 비교기이다. 이것은 입력신호가 특정레벨을 갖는 때를 나타낸다. 이것은 온도에 관계없이 한 주파수에서 정확하다.

스위치(280)는 BCS(284)에 접속되도록 구동된다. BCS(284)는 노이즈 다이오드로 구현될 수 있는 완전한 플랫신호 소스이다. BCS(284)는 주파수에 걸쳐 플랫이지만 BCS의 출력은 온도에 따라 변화할 수 있다. ALRC(290)는 BCS(284)에 의해 생성된 신호의 레벨을 측정한다. 이 측정은 BCS(284)의 레벨에 대한 참값을 제공한다.

스위치(282)는 그후 단자(278)에 접속되도록 구동된다. 따라서 BCS(284)로부터의 신호는 수신기로 연결된다. 이 신호는 수신기의 동작범위에 걸쳐 여러 주파수에서 측정된다. 각각의 주파수에서, 수신기의 출력은 BCS(284)에 의해 산출된 신호의 참값과 비교된다. 수신기는 수신된 값이 BCS(284)에 의해 생성된 레벨과 일치함을 나타낼 때까지 조정된다.

스위칭과 계산에 필요한 제어는 제어전자회로(108)에 의해 제어된다(제 1도). 상용가능한 수신기는 계산을 위한 내부조정을 하기 위해 제어기(108)에 의해 발행될 수 있는 명령에 응답한다.

주파수 및 전력레벨 모두에 대해 플랫인 소스 혹은 수신기를 제조하는 것은 상당히 어렵다는 것이 인식될 것이다. 주파수 또는 전력레벨 중의 어느 하나에 대해 균일한 소스 혹은 수신기를 제조하는 설계기술은 가능하지만, 동시에 이들 둘에 대해 균일한 소스 혹은 수신기를 제조하는 것은 불가능하며, 이 설계기술은 교정을 위해 소스 및 수신기를 선택하거나 제조하는데 이용된다. 적절한 설계의 예가 상기한 바와 같이 설명되었지만, 여러 대안 설계가 이용될 수 있다.

제2B도에 도시된 교정회로(250)를 위한 상세한 구성은 교정회로가 스위치(254)와 수신기 사이에 접속될 때 사용에 적합하다. 교정회로(250)가 방향성 소자(224)와 스위치(230) 사이에 접속되면 소스 및 수신기는 단자(276)에 접속된다(제2B도). 이러한 구성에서 적절한 접속이 이루어지려면, BCS(284)와 ALRC(290)의 위치는 역전되는 것이 필요하다. 그 밖의 동작은 동일하다.

교정회로(250)는 소스 및 수신기를 교정하는데 유용하다. 또한 채널카드(200)가 벡터네트워크분석(VNA) 측정장비를 위해 교정될 수 있도록 교정기준회로(252)가 포함된다. VNA분석을 위한 이 계기는 순방향 신호 및 역방향 신호가개별적으로 측정될 수 있도록 방향성 소자를 통하여 통과될 것이 요구된다. 이상적으로는, 입력에 인가된 신호는 출력 및 순방향 포트에 접속되어 역방향 포트로부터 완벽하게 절연된다. 완벽한 방향성 소자를 구성하는 것은 불가능하다. 이러한 결함을 보상하기 위해 교정기준회로가 사용된다.

결함있는 방향성 소자는 한 세트의 방정식에 의해 수학적으로 설명된다. 예를들면, 순방향 포트에서의 신호는 입력과 출력신호의 선형조합으로 나타내진다. 역방향 포트에서의 신호는 상기와 동일신호에 대해 상이한 선형조합으로 나타내진다.

교정기준회로(252)는 상이한 임피던스가 방향성 소자에 인가되는 것을 허용한다. 그후 순방향 및 역방향 포트에서의 신호는 측정될 수 있다. 이 측정은 방향성 소자를 설명하는 방정식의 세트를 풀기 위한 충분한 데이타를 제공한다. 이 방정식을 풀기 위한 다양한 기술이 공지되어 있다. 그러나 일단 방정식을 풀면 방향성 소자의 결함 사항들이 수학적으로 보완되는 것이 가능하다. 이러한 보완은 제어전자회로(108)를 프로그래밍 함으로써 수행된다.

방향성 소자의 교정은 신호 경로에서의 모든 에러소스를 설명하는 것이 바람직하다. 이러한 이유로, 교정기준회로는 일반적으로 측정회로가 피시험 디바이스에 접속되는 위치에 부가된다. 제2A도에서 교정기준회로가 모듈(200) 내부에 있음을 유의해야 한다.

모듈(200) 내부에 교정기준회로(252)를 갖는 것은 테스트 헤드(104) 내에서 신호경로에 접촉시키거나 DUT(106)에 접촉시키는데 사용되는 정교한 리드에 교정기준회로를 접속시킬 필요를 제거한다. 그러나 외부 임피던스 스탠더드 및 제어전자회로(108)의 소프트웨어 프로그래밍을 사용하여 DUT(106)로의 신호경로에서 모든 에러소스를 보완하는 것이 가능하다.

이러한 보완을 하기 위해, 외부 기준회로가 신호경로의 단부에 가능한 한 밀접하게 접속된다. 외부 기준회로는 교정기준회로(252)에서 볼 수 있는 것과 동일한 교정기준회로이다. 이러한 접속은 단지 한번만 필요하다. 예를들면, 테스터(100)가 제조되는 공장에서 접속될 수 있다.

접속된 외부 교정기준회로에 의해, 표준 VNA 교정루틴이 수행된다. 그후, 동일한 VNA 교정측정이 교정기준회로(252)에 접속되도록 구동되는 스위치(230)에 의해 반복된다. 외부 교정기준회로에 의해 행해진 측정과 내부 교정기준회로에 의해 행해진 측정을 비교함으로써, 내부 교정기준회로를 위한 조정을 계산할 수 있다. 이조정은, 임의의 비휘발성 조정매체로 된 테스터(100)에 저장된다.

그후, VNA 교정루틴이 교정기준회로(252)를 사용하여 수행될 때마다, 측정은 저장된 양에 따라 조정된다. 이러한 방식으로, 내부 교정기준회로는 외부 교정기준회로와 동일하게 수행한다. 스위치(212, 218, 222, 226, 230, 254 및 258)는 모두 도시되지 않은 제어입력을 갖는다. 이 제어입력들은 제어전자회로(108)에 접속된다(제 1도). 이러한 방식으로, 채널(210a)은 제어전자회로(108) 상에서 실행하는 테스트 프로그램에 의해 요구되는 바와 같이 테스트를 위해 배열된다. 또한, 바람직한 설계실시로써, RF 회로에 일반적으로 포함되어 있는 요소들이 제 2도에 명백하게 도시되어 있지 않다. 루틴설계를 실시함에 따라 포함될 수 있는 요소의예로는 파워접속, 바이어스 소자 및 쉴딩을 들 수 있다.

제 2도에 도시된 소자는 RF 회로를 구성하는데 사용되는 표준 소자이다.

바람직하게, 이것들은 MMIC 제조기술을 사용하여 인쇄기판에 집적되는 솔리드 스테이트 성분들이다. 이 회로소자들은 상용소스로부터 획득될 수 있는 회로에 필요하다. 이러한 구성소자들의 선택에는 바람직한 설계기술이 이용되어야 한다. 예를 들면, 반사를 감소시키기 위해 임피던스가 정합되어야 한다.

제2A도에 도시한 모듈에 의해 DUT(106) 상에서 여러 종류의 측정이 가능하다. 예를들면, 장치의 이득은 채널(210a)에 접속된 소스로부터의 신호에 의해 DUT의 입력리드를 구동시키도록 채널(210a)을 구성함으로써 측정될 수 있다. 채널(210b)은 장치의 출력리드에서 신호를 측정하도록 동시에 구성될 수 있다. 제2A도에 도시된 채널카드의 융통성의 또다른 예로써, 본 발명에 따라 구성된 테스터가 T/R 스위치를 지닌 2092 전력증폭기/저노이즈 증폭기로써 공지된 부품을 테스트하기 위해 사용될 수 있다. 이 부품은 두개의 RF 입력/ 출력 및 디지털 제어입력을 갖는다. 이것은 디지털 제어입력이 제 1값을 나타낼 때 내부 전력증폭기를 통하여 하나의 입력/출력에서 신호를 증폭시키는 것을 목적으로 한다. 디지털 제어입력이 다른 값을 나타낼 때 이 부품은 저노이즈 증폭기를 통하여 다른 입력/ 출력에서 신호를 증폭시킨다. 이러한 부품은 예를들면, 셀룰러 전화의 송신/수신부에 사용될 수 있다.

이 부품을 테스트하기 위해선 입력 및 출력포트의 입력 및 출력 임피던스를 측정하는 것이 바람직하다. 이러한 측정은 일반적으로 벡터네트워크 분석기(VNA)를부품에 접속시킴으로써 행해진다. 이것은 또한 이득, 고조파(harmonics) 및 인터셉트 지점을 측정하는 것이 바람직하다. 이러한 측정들은 종래에 스펙트럼 분석기와 신호발생기를 부품에 접속시킴으로써 행해졌다. 이것은 또한 잡음지수를 테스트하는데 바람직하다. 이 측정은 일반적으로 잡음지수계기를 장치에 접속시킴으로써 행해진다.

본 발명에 의해, 이러한 모든 측정은 채널(210a)중의 하나를 부품의 RF 입력중의 하나에 접속시키고 채널(210b)을 부품의 RF 입력중의 다른 입력에 접속시킴으로써 행해진다. 이러한 모든 측정은 주문 스위치 회로망의 필요 또는 수동으로 장비를 접속 및 분리시킬 필요없이 테스터로 행해질 수 있다.

설명된 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 다양한 대안 실시예가 구성될 수 있다. 예를들면, 바람직한 실시예는 본 발명에 따른 모듈을 혼합 신호 테스터의 RF 채널에 일체화시킨다. 본 발명은 이렇게 제한될 필요가 없으며 다수의 RF 측정이 동일 지점에서 수행되어야 하는 임의의 지점에서 사용될 수 있다 부가하여, 여러 소자들이 직접 함께 접속되는 것으로 설명되고 도시되었다. 본 발명은 여기에 제한되지 않는다. 예를들면, 직접 함께 접속된 것으로 도시된 임의의 소자는 스위치, 증폭기, 감쇠기, 방향성 소자 혹은 다른 회로소자를 통하여 함께 접속될 수 있다.

수동성분을 사용하여 구현된 방향성 소자가 설명되었다. 능동성분도 마찬가지로 사용될 수 있다. 또한, 4포트 방향성 소자는 백 투 백 방향성 커플러로 구성될 수 있다. 유사한 기능이 방향성 커플러와 직렬인 스플리터에 의해 달성될 수 있다. 소자의 이러한 배열로써, 입력포트는 스플리터의 입력포트가 될 수 있다. 순방향 포트는 스플리터의 한 레그가 될 수 있다. 스플리터의 또 다른 레그는 방향성 커플러의 입력에 접속될 수 있다. 방향성 커플러의 출력은 4포트 방향성 소자의 출력이 될 수 있으며 방향성 소자의 접속된 출력은 4포트 방향성 소자의 역방향 포트가 될 수 있다.

또한 솔리드 스테이트 소자를 사용하는 바람직한 실시예가 설명되었다.

본 발명의 구조는 소자사이에서의 접속이 사용자 주문으로 만들어질 필요가 없기 때문에 솔리드 상태성분에 의한 구현에 알맞은 반면에, 솔리드 스테이트 소자의 사용이 본 발명에 필수적이진 않다.

종래의 마이크로파 스위칭 소자가 대신 사용될 수도 있다. 이러한 것은 고전력 부품을 테스트하는 경우일 수 있다.

더우기, 3개 경로사이의 한 경로사이에서 입력이 상이한 이득으로 스위치 되게 하는 스위치(212)를 포함한다. 이러한 경로의 수는 3개에 한정될 필요는 없다. 테스트가 전력레벨의 넓은 범위에 걸쳐 수행되지 않는 경우에, 여러 경로가 필요하지 않다. 역으로, 테스트가 전력레벨의 넓은 범위에 걸쳐 수행되는 경우에, 각각의 상이한 이득 혹은 감쇠를 갖는 3경로 이상이 사용될 수 있다.

마찬가지로, 단일 증폭기가 있는 경우에 다수의 증폭기가 이득에 대해 다수의 선택을 제공하기 위해 사용될 수 있다. 대안으로, 증폭기 혹은 감쇠기는 이득 혹은 감쇠의 단계를 제공하기 위해 직렬로 접속될 수 있다.

동일한 방식으로, 스위치(230)는 DUT(106) 상의 단지 2개 리드사이에서 하나의 채널을 멀티플렉싱한다. 멀티플렉싱은 필요한 소스 및 수신기의 수를 감소시키는 이점을 제공할지라도, 사용될 필요가 없다. 반대로, DUT(106)상의 두개 이상의 리드중에서 각각의 채널을 멀티플렉스하기 위한 경우에 바람직할 수 있다. 이런 경우에, 스위치(230)는 두 개 이상의 출력접점을 가질수 있다.

바람직한 실시예는 두 채널이 한 채널 카드상에 구현된 것을 나타낸다. 한 카드상에 두개 채널을 갖는 것은 2-포트 S-파라미터 측정을 용이하게 하며 혼변조 테스팅을 위해 두개 소스가 동일채널에 용이하게 접속되게 한다. 채널이 물리적으로 별개의 카드에 위치되었을지라도 마찬가지의 접속이 가능하다. 마찬가지로, 한 보드상에 두개 이상의 채널이 구현될지라도 동일한 상호접속이 달성될 수 있다. 대안으로, 하나의 채널이 하나의 포트장치에 대해 사용될 수 있다.

바람직한 실시예는 한 채널로부터의 신호가 방향성 소자(220)를 통하여 다른 채널에서의 신호에 더해질 수 있음을 나타낸다. 본 발명의 모듈은 임의의 수의 신호를 추가할 수 있도록 구성될 수 있다. 각각의 채널카드 혹은 모듈에 대한 수신기의 수는 변화될 수 있다. 각각의 채널에 대해 별개의 수신기가 사용될 수 있다. 더우기, 바람직한 실시예는 순방향 및 역방향 신호를 측정하기 위해 하나의 수신기를 멀티플렉스한다. 2개의 별개 수신기가 사용될 수 있다.

또한, 바람직한 실시예는 로우레벨신호를 측정하도록 채널(210b)이 구성되었음을 도시한다. 채널은 모두 동일할 수 있다. 대안으로 한 채널은 증폭기(214) 대신에 고전력 증폭기로 구성될 수 있거나 한 채널은 고전력 측정을 위해 추가 감쇠를 갖추어 구성될 수 있다.

또한, 종래의 RF 소스 및 수신기가 테스트를 수행하기 위해 설명되었다. 동일유형의 모든 소스 또는 수신기, 혹은 종래 유형의 모든 소스 또는 수신기일 필요는 없다. 본 명세서에서 사용되는 "소스" 라는 용어는 RF 신호를 발생하는 임의의 소자에도 동일하게 사용될 수 있음이 인식되어져야 한다. 마찬가지로, "수신기" 라는 용어도 임의의 장치에 인가된 RF 신호에 의거하여 어떤 출력을 생성하는 임의의 장치에도 사용될 수 있다. dsp-기반 수신기가 위상측정을 가능하게 하기 때문에 dsp-기반 수신기가 바람직하다고 여겨질지라도, 감소된 기능이 수용될 수 있다면 이러한 수신기는 필요하지 않다.

또한 제2A도는 특정 스위칭 배열을 도시하고 있음이 인식되어야 할 것이다. 다른 배열과 함께 소스를 송신하고 제2A도의 모듈을 통하여 신호를 수신한다.

추가하여, 제 1도는 혼합신호 테스터의 전체 특징을 나타낸 블록도를 도시한다. 이것은 RF 및 디지털 성분을 테스트한다. 그러나, 본 발명은 RF 신호로 동작하는 임의의 시스템과 공동으로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 메인프레임(102) 내에 훨씬 적은 형식의 배열을 포함하는 "래크(rack)"형 시스템과 함께 사용될 수 있다.

또한, 전체 특징이 양호하게 설계된 혼합신호 테스터는 피시험 디바이스에 가능한 밀접하게 임의의 전자회로를 유지하는 것이 요망되므로 상대적으로 커다란 테스트 헤드를 포함한다. "테스트 헤드"는 큰 구조일 필요가 없다. 이것은 피시험 디바이스에 부착시키기 위한 메카니즘을 단지 포함하는 매우 간단한 구조가 될 수 있다. 또한, 이것은 피시험 디바이스에 가능한 밀접하게 RF 스위칭 회로를 갖는 것이 요망될지라도, 테스트 헤드내에 위치될 필요가 없다.

또한 제 2도에 도시된 소자는 피시험 디바이스로 및 이 디바이스로부터의 신호경로를 정의하는 것임이 인식되어야 할 것이다. 많은 경우에, 신호경로에서의 전자소자의 순서는 중요하지 않다. 예를들면, 입력신호의 동적인 범위를 확장시키며 스위치(212 및 218), 증폭기(214) 및 패드(216)로 이루어지는 소자의 블록은 신호경로에서 다른 지점에 사용될 수 있다. 예를들면, 스위치(222) 뒤에 나타낼 수 있다.

또한 바람직한 실시예에 개시한 모든 특징이 본 발명의 이점을 획득하기 위해 필요한 것은 아니다. 예를들면, 스위치(230)는 단지 교정을 가능하게 하기 위해 포함된 것이다. 본 발명은 정확도가 떨어지는 것이 용인될 수 있거나 혹은 대안 교정방법이 사용될 수 있는 곳에 교정없이 사용될 수 있다.

또 다른 예로써, 바람직한 실시예는 소스 및 수신기에 대한 계산회로를 포함한다. 계산회로는 저정확도가 용인될 수 있거나 계산이 사용될 필요가 없는 매우 양질의 성분이 있는 회로의 응용에는 필요없다. 몇몇 시스템에서, 계산회로는 단지 소스 혹은 수신기를 위해서 또는 이들 모두를 위해서나 이들 모두에 관계없이 포함될 수 있다.

마찬가지로, 방향성 소자(220) 및 스위치(222)는 혼변조 신호의 발생을 허용하기 위해 포함된다. 본 발명의 이점인 채널이 혼변조를 제공하는 것을 획득하기 위해 필요하지 않다. 대안으로, 테스터에 포함된 채널의 일부분만이 혼변조 신호를 산출하기 위해 구비될 수 있다. 따라서, 본 발명은 첨부한 특허청구의 범위의 정신 및 범위에 의해서만 제한되어져야 한다.

제1 도는 본 발명에서 이용한 혼합신호 테스터의 블록도,

제2A 도는 본 발명에 따른 RF 모듈의 개략도,

제2B 도는 제2A 도의 RF 모듈에 이용된 교정모듈의 개략도.

Claims

적어도 두 개의 채널을 갖는 RF 스위칭 모듈에 있어서, 상기 채널의 각각은,

a) 테스트 신호를 출력부 또는 수신기로 전송하고 응답신호를 상기 출력부로부터 상기 수신기로 전송하기 위한 제1 양방향 수단;

b) 상기 제1 양방향 수단에 접속되고, 상기 채널 중 적어도 하나에서 인터모듈레이션 신호를 형성하기 위해 상기 채널간 신호를 선택적으로 커플링하기 위한 제2 양방향 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 RF스위칭 모듈.
제 1 항에 있어서, 적어도 두 개의 상기 채널의 각각에서, 상기 출력부 사이에서 테스트 신호를 멀티플렉싱하기 위해 상기 제1 양방향 수단에 응답하는 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 RF스위칭 모듈.
제 2 항에 있어서, 적어도 두 개의 상기 채널의 각각에서, 테스트 신호를 DC 바이어싱하기 위해 상기 제1 양방향 수단에 접속된 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 모듈.
제 3 항에 있어서, DC 바이어싱하는 상기 수단은 상기 출력부로 멀티플렉싱된 테스트 신호를 독립적으로 바이어싱하는 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 테스트 신호를 상기 출력부로 전송하기 위한 상기 제1 양방향 수단은 상기 테스트 신호를 출력부에 멀티플렉싱하기 위한 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 응답신호를 전송하기 위한 상기 제1 양방향 수단은 상기 응답신호를 적어도 두 개의 상기 채널 중 어느 하나로부터 상기 수신기로 선택적으로 전송하기 위한 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 모듈.
i) RF 소수에 연결하기 위한 소스 포트;

ii) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

iii) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

iv) 상기 소스 포트, 수신기 포트 및 테스트 포트에 연결되고, 소스 포트로부터의 신호를 상기 테스트 포트에 커플링하고, 상기 소스 포트 및 테스트 포트로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 연결되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로;

v) 내부 VNA 교정 기준회로; 및

vi) 상기 테스트 포트와 전자회로간의 신호 경로에 연결된 스위치;가 그 위에 구성되어 있는 인쇄회로 기판을 포함하고,

상기 VNA 교정 기준회로는 상기 스위치에 연결된 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
제 7 항에 있어서, 상기 교정 기준회로를 위한 조정값을 저장하기 위한 수단을 더 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
a) RF 소스에 연결하기 위한 소스 포트;

b) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

c) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

d) 하나의 폴과 적어도 두 개의 쓰로우를 갖고, 적어도 두 개의 상기 쓰로우 중 제1 쓰로우는 상기 테스트 포트에 연결되어 있는 스위치;

e) 소스 포트, 수신기 포트 및 상기 스위치의 폴에 연결되고, 상기 소스 포트로부터의 신호를 상기 스위치의 폴에 커플링시키며, 상기 소스 포트 및 상기 스위치의 폴로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 제공되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로; 및

f) 상기 테스트 포트로의 외부 연결이 없이 VNA 교정 기준회로와 상기 소스 포트 또는 상기 수신기 포트간의 전기적 연결이 이루어질 수 있도록, 상기 스위치의 제2 쓰로우에 연결된 상기 VNA 교정 기준회로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
반도체 구성소자용 자동 테스트 장비에 있어서, 상기 자동 테스트 장비는 복수 개의 채널을 포함하고, 상기 채널의 각각은 피시험 반도체 디바이스를 위한 테스트 신호를 발생 또는 수신하고 청구항 제15항의 RF 스위칭 회로를 포함한 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비.
청구항 제9항의 RF 스위칭 회로를 포함하고 있는 반도체 구성소자용 자동 테스트 장비에 있어서,

a) 제어회로;

b) 상기 제어회로에 응답하여 RF 신호를 발생하고 RF 스위칭 모듈의 소스 포트에 연결되어 있는 RF 소스 회로;

c) 상기 제어회로에 응답하고 RF 스위칭 모듈의 수신기 포트에 연결되어 있는 RF 수신 회로;

d) RF 스위칭 회로의 테스트 포트에 연결되어 있는, 피시험 반도체 디바이스에의 연결을 위한 수단;을 더 포함한 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비.
제 11 항에 있어서, 상기 제어회로에 응답하여 피시험 반도체 디바이스에서의 디지털 신호를 발생 및 측정하기 위한 회로를 더 포함한 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비.
제 11 항에 있어서,

a) RF 소스에 연결하기 위한 소스 포트;

b) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

c) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

d) 하나의 폴과 적어도 두 개의 쓰로우를 갖고, 적어도 두 개의 상기 쓰로우 중 제1 쓰로우는 상기 테스트 포트에 연결되어 있는 스위치;

e) 소스 포트, 수신기 포트 및 상기 스위치의 폴에 연결되고, 상기 소스 포트로부터의 신호를 상기 스위치의 폴에 커플링시키며, 상기 소스 포트 및 상기 스위치의 폴로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 제공되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로; 및

f) 상기 스위치의 제2 쓰로우에 연결된 VNA 교정 기준회로;를 포함하는 제2의 RF 스위칭 회로를 적어도 더 포함한 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비.
a) RF 소스에 연결하기 위한 소스 포트;

b) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

c) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

d) 하나의 폴과 적어도 두 개의 쓰로우를 갖고, 적어도 두 개의 상기 쓰로우 중 제1 쓰로우는 상기 테스트 포트에 연결되어 있는 스위치;

e) 소스 포트, 수신기 포트 및 상기 스위치의 폴에 연결되고, 상기 소스 포트로부터의 신호를 상기 스위치의 폴에 커플링시키며, 상기 소스 포트 및 상기 스위치의 폴로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 제공되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로; 및

f) 상기 스위치의 제2 쓰로우에 연결된 VNA 교정 기준회로;를 포함하고,

상기 소스 포트, 수신기 포트, 테스트 포트, 스위치, 전자 회로 및 VNA 교정 스탠더드가 그 위에 장착된 인쇄 회로 기판을 더 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
제 14 항에 있어서, 상기 스위치는 솔리드 스테이트 스위치를 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
a) RF 소스에 연결하기 위한 소스 포트;

b) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

c) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

d) 적어도 세 개의 단자를 갖고, 적어도 세 개의 상기 단자 중 제1 단자는 상기 테스트 포트에 연결되어 있는 스위치;

e) 소스 포트, 수신기 포트 및 상기 스위치의 제2 단자에 연결되고, 상기 소스 포트로부터의 신호를 상기 스위치에 커플링시키며, 상기 소스 포트 및 상기 스위치로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 제공되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로;

f) 상기 스위치의 제3 단자에 연결된 VNA 교정 기준회로; 및

g) 상기 테스트 포트를 통하여 자동 테스트 장비에 접속된 자동 테스트 장비 외부에 있는 제1 셋트의 교정 기준회로로 제1 셋트의 교정 측정을 수행하고, 상기전자 회로를 VNA 교정 기준회로에 연결하도록 구성된 상기 스위치로 제2 셋트의 교정 측정을 수행하고, 제1 셋트와 제2 셋트의 교정 측정간의 차이에 기초하여 보정 인자를 저장하고, 그후, 상기 전자 회로를 상기 교정 기준회로에 연결하도록 구성된 스위치로 제3 셋트의 교정 측정을 수행하고 상기 제3 셋트의 교정 측정과 상기 보정 인자를 사용하여 교정 루틴을 수행하기 위한 제어수단;을 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
제 16 항에 있어서, 상기 제어수단은 제1 셋트와 제2 셋트의 교정 측정으로부터 수집된 정보를 저장하기 위한 메모리를 포함한 것을 특징으로 하는 RF 스위칭 회로.
청구항 제16항의 RF 스위칭 회로를 포함하고, 소스 포트에 접속된 컴퓨터 제어 소스 및 수신기 포트에 접속된 컴퓨터 제어 수신기를 갖는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 시스템.
제 18 항에 있어서, 상기 제어수단에 응답하는 제2의 RF 스위칭 회로를 더 포함하고, 상기 제2의 RF 스위칭 회로는,

a) RF 소스에 연결하기 위한 소스 포트;

b) RF 수신기에 연결하기 위한 수신기 포트;

c) 피시험 디바이스에 연결하기 위한 테스트 포트;

d) 적어도 세 개의 단자를 갖고, 적어도 세 개의 상기 단자 중 제1 단자는 상기 테스트 포트에 연결되어 있는 스위치;

e) 소스 포트, 수신기 포트 및 상기 스위치의 제2 단자에 연결되고, 상기 소스 포트로부터의 신호를 상기 스위치에 커플링시키며, 상기 소스 포트 및 상기 스위치로부터의 신호가 상기 수신기 포트에 선택적으로 제공되도록 하는 방향 특성을 더욱 갖는 전자 회로; 및

f) 상기 스위치의 제3 단자에 연결된 VNA 교정 기준회로;를 포함한 것을 특징으로 하는 자동 테스트 시스템.