KR100371898B1 - A valve mechanism for a vacunm sliding valve - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공챔버내부로 미립자가 유입되는 것을 방지하는 진공밸브용 밸브메카니즘에 관한 것으로, 밸브 디스크는 두 개의 레버가 있는 로드와 연결되어 로드와 한쪽 끝부분은 밸브디스크를 고정시키며 다른 쪽 끝부분은 로드 앞에 위치한 로드를 조절하고, 로드는 하우징 내부에 있는 틸팅베어링 내부에서 화살표방향으로 기울일 수 있도록 배치되며, 로드와 밸브디스크는 피스톤에 의해 제어되며 피스톤은 하우징의 실린더에서 화살표방향과 그 반대방향으로 조절되며, 또한 피스톤은 시일과 함께 실린더하우징 내부에 밀폐되고, 피스톤의 복귀작동은 스프링에 의하여 이루어지며 스프링의 한쪽 끝부분은 하우징의 멈춤부에 지지되고, 스프링의 다른 한쪽 끝부분은 피스톤의 멈춤부에 지지되어, 압력챔버에 압력이 걸리면 피스톤이 화살표 방향으로 이동하는 동시에 크로스핀이 대각선가이드의 상단부 밑으로 내려가고, 밸브자리로부터 밸브디스크가 떨어지고, 반대로 밸브디스크가 닫힐 때는 피스톤이 반대방향 즉 화살표 방향으로 이동하여 이루어진다.The present invention relates to a valve mechanism for a vacuum valve to prevent particulates from flowing into the vacuum chamber. The valve disc is connected to a rod having two levers so that the rod and one end secure the valve disc and the other end. Adjusts the rod located in front of the rod, the rod is arranged to tilt in the direction of the arrow inside the tilting bearing inside the housing, the rod and valve disc are controlled by the piston and the piston in the direction of the arrow in the cylinder of the housing and vice versa The piston is also sealed inside the cylinder housing with the seal, the return operation of the piston is made by a spring, one end of which is supported by the stop of the housing, and the other end of the spring Supported in the stop, the piston in the direction of the arrow when pressure is applied to the pressure chamber At the same time to go down below the upper end of the diagonal cross pin guide to move to the valve disc coming off the valve seat, on the contrary, when the valve disc is closed the piston is made to move in the opposite direction, i.e. the direction of the arrow.

Description

진공밸브용 밸브메카니즘{A valve mechanism for a vacunm sliding valve}Valve mechanism for a vacunm sliding valve

본 발명은 진공밸브용 밸브메카니즘에 관한 것으로, 특히 미립자가 전혀 발생하지 않는 밸브에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a valve mechanism for a vacuum valve, and more particularly to a valve in which no particulates are generated.

더욱 상세히는 본건의 진공밸브는 가스흐름을 조절하는 진공기술에 사용되는 것으로서, 이러한 진공밸브에서 밸브디스크는 시일시트에 대해 접하기 위하여 밸브메카니즘에 의해 조절되거나, 단면을 자유롭게 통과하여 흐를 수 있도록 밸브메카니즘에 의해 상기 밸브시트로부터 떨어진다.More specifically, the vacuum valve of the present invention is used in a vacuum technology for controlling gas flow, in which the valve disc is controlled by a valve mechanism to contact the seal seat, or the valve can flow freely through a cross section. By the mechanism it is released from the valve seat.

지금까지 알려진 진공밸브에서, 상기 밸브디스크를 작동시키기 위해 필요한 상기 밸브 메카니즘은 진공이 작용하는 챔버에 위치되어 있다.In vacuum valves known to date, the valve mechanism required to operate the valve disc is located in a chamber in which a vacuum is applied.

이러한 구조를 갖는 장치의 단점은 진공실내에서 부품들이 서로 마찰되는 부분이 생겨, 경우에 따라서는 윤활유를 투입해야만 한다는 점이다.The disadvantage of the device having such a structure is that parts in the vacuum chamber rub against each other, and in some cases, lubricant oil must be added.

이처럼 종래의 밸브는 마찰되는 부분이 있기 때문에 이 마찰부분에서 미립자가 떨어져 나온다거나 마찰을 완화시키기 위해 투입되는 윤활유자체에서 미립자가 발생하여, 이 미립자들이 진공챔버내의 가스흐름에 휩쓸려 들어갈 위험이 있다.Thus, since the conventional valve has a friction part, there is a risk that the particles come off from the friction part or particles are generated in the lubricating oil which is injected to alleviate the friction, and these particles are swept into the gas flow in the vacuum chamber.

위에서 설명한 종류의 밸브로서는 유럽특허청(EPO) 특허출원 제EPO 0 441 646 A1이 있다. 이 밸브는 활판의 역할을 하는 피스톤을 사용하여, 배출구가 개폐되는 원리로 제작된 것이다. 이때 접촉부분의 원활한 동작으로, 피스톤이 진공챔버에서 좌우 양방향의 행정(行程)으로 작동되어야 하는데, 이 작동과정에서 구동측과 조절측이 부분적으로 진공챔버 내부에 그대로 머물러 있는 경우가 있다. 이로 인하여 이와 같은 종류의 배출기계장치는 특정 용도로의 사용에 있어 전혀 예상치 못한 미립자들이 발생할 위험이 있다.A valve of the kind described above is EPO Patent Application No. EPO 0 441 646 A1. This valve is made on the principle that the outlet is opened and closed by using a piston that acts as a type plate. At this time, the smooth operation of the contact portion, the piston should be operated in a stroke of the left and right directions in the vacuum chamber, the driving side and the adjusting side may remain partially inside the vacuum chamber during this operation. As a result, these types of exhaust mechanisms present a risk of generating unexpected particulates in certain applications.

이러한 종류의 밸브는 진공챔버 내부에서 미립자가 발생하지 않으리라고 보장할 수 없기 때문에, 예들 들어 반도체와 같은 산업분야에서는 그 사용이 부적합하다.This type of valve is not suitable for use in industries such as semiconductors, for example, because it cannot guarantee that no particulates will occur inside the vacuum chamber.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 진공 챔버 안으로 미립자가 유입되지 않도록 하는 진공밸브용 밸브메카니즘을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a valve mechanism for a vacuum valve to prevent particulates from flowing into the vacuum chamber.

도 1a는 본 발명에 따른 진공밸브의 개방위치에서의 개략적인 단면도.1a is a schematic cross sectional view in an open position of a vacuum valve according to the present invention;

도 1b는 밸브하우징의 안내슬롯을 나타낸 도면.Figure 1b shows a guide slot of the valve housing.

도 2는 도 1a에서 밀폐된 위치의 진공밸브를 나타낸 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the vacuum valve in the closed position in Figure 1a.

도 3은 도 1a와 도 2의 폐쇄위치에서의 진공밸브를 나타낸 도면.3 shows the vacuum valve in the closed position of FIGS. 1A and 2;

도 4는 본 발명의 다른 실시례를 개략적으로 나타낸 도면이다.4 is a view schematically showing another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 하우징 4 : 밸브디스크1 housing 4 valve disc

5 : 시일 6 : 밸브시트5: seal 6: valve seat

7 : 로드 7a : 로드의 한쪽끝부분7: rod 7a: one end of the rod

7b : 로드의 다른쪽끝부분 8 : 틸팅베어링7b: other end of the rod 8: tilting bearing

9 : 피스톤 10 : 실린더9: piston 10: cylinder

12 : 스프링 14 : 미끄러짐요소12 spring 14 slip element

15 : 시일 16 : 크로스핀15: seal 16: cross pin

18 : 직선가이드 20 : 멈춤부18: straight guide 20: stop

26 : 슬촛26: sad candle

본 발명의 가장 큰 특징으로 전체적인 밸브메카니즘(밸브디스크를 위한 드라이브메카니즘)이 진공챔버 외부에 위치한다는 점이다.The biggest feature of the present invention is that the overall valve mechanism (drive mechanism for the valve disc) is located outside the vacuum chamber.

이와 같은 기술적인 보완에 의해 마찰부분이나 경우에 따라 윤활유가 투입되는 부분들이 진공챔버 외부에 위치하기 때문에, 기존의 메카니즘에서 발생하던 미립자가 진공챔버 내부로 유입되어 가스의 원활한 흐름을 오염시키는 현상이 제거되게 되었다. 바로 이점이 본 발명의 특징이다.As a result of this technical supplementation, the friction part and in some cases the lubricating oil is placed outside the vacuum chamber, so that the particulates generated by the existing mechanism flow into the vacuum chamber and contaminate the smooth flow of gas. It was removed. This is a feature of the present invention.

그리고, 본 발명의 밸브 메카니즘의 구조는 그 종류가 다양하며 모두 본 발명의 목적을 충족시켜 주는 역할을 한다.In addition, the structure of the valve mechanism of the present invention is various and serves to satisfy the object of the present invention.

본 발명은 또한 전 기계의 기능이 조작하기 쉽게 구성되어 있다. 그것을 가능케 하는 핵심적 구성요소는 다음과 같다.The present invention is also configured so that the functions of the whole machine are easy to operate. The key components that make it possible are:

로드에 밸브디스크가 연결되고, 이 로드는 피스톤에 의하여 작동되는 원리다: 이 피스톤은 실린더하우징속에 장착된 압력매체에 의해 좌우 수평방향으로 구동되고, 밸브디스크와 연결되어 있는 로드를 피스톤이 동시에 작동시키는 원리로 이루어져 있다.The valve disc is connected to the rod, and the rod is operated by a piston: the piston is driven horizontally in the horizontal direction by a pressure medium mounted in the cylinder housing, and the piston is operated simultaneously with the rod connected to the valve disc. It is made up of principle.

이러한 과정에서 피스톤의 작동은 컨트롤 유니트에 의해 자동적으로 조절되도록 되어 있다. 이 시스템은 또한 밸브디스크가 개폐되는 것을 동시에 감지한다.In this process, the operation of the piston is automatically controlled by the control unit. The system also simultaneously detects valve valve opening and closing.

이러한 원리의 작동 컨트롤은 다른 한편 보조컨트롤의 역할도 한다. 본 발명의 위와 같은 또 다른 컨트롤시스템은 로드의 기울어짐에 관한 것으로, 별개의 구동 장치에 의해 움직이는 원리로 구성되어 있다.On the other hand, operation control of this principle also acts as an auxiliary control. Another control system as described above relates to the inclination of the rod and is constructed on the principle of movement by a separate drive device.

본 발명품의 주기능은 위에서 설명한 보조컨트를 기능에만 있는 것이 아니고 진공이 걸린 챔버를 제외한 구동컨트롤 기능에서도 찾아볼 수 있다.The main function of the present invention is not only the auxiliary control function described above, but also can be found in the drive control function except the vacuum chamber.

그외 본 발명의 또다른 특징은 밸브의 개폐가 별개의 트랜스일렉트로닉 즉 전자석 전환장치에 의해서 이루어지는 것이 아니고 아주 손쉬운 방식인 피스톤의 구동에 의해 자동적으로 작동된다는 점이다.A further feature of the present invention is that the opening and closing of the valve is not carried out by a separate transelectronic, ie electromagnet switching device, but is automatically operated by the driving of the piston, which is a very easy way.

이러한 구동 메카니즘상에서 밸브디스크가 부착되어 있는 로드가 자연스럽게 움직일 수 있도록 베어링에 부착되어 있다.On this drive mechanism, the rod to which the valve disc is attached is attached to the bearing so that it can move naturally.

또한 본 발명의 각 차단장치는 구동연결방식으로 구성되어 있다. 더 나아가서 구동연결방식 이외에도 또 하나의 피스톤으로 하여금 차단장치를 조절하게끔 되어있다.In addition, each blocking device of the present invention is configured in a drive connection method. Furthermore, in addition to the drive connection, another piston is adapted to control the shutoff.

또한 수평피스톤 또는 유압피스톤과 같은 기타의 차단장치를 사용할 수도 있다. 차단장치 역시 동일 방향으로만 작동되며 차단을 조절하는 경우에는 그에 맞는 조절장치가 사용된다.It is also possible to use other blocking devices such as horizontal pistons or hydraulic pistons. The shutoff device is also operated in the same direction only, and in the case of adjusting the shutoff device, a control device is used.

이하 본 발명의 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 구조 및 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the structure and action for achieving the above object of the present invention as follows.

진공밸브하우징(1)에 상 · 하부 플랜지 연결부(2,3)가 설치되고, 이곳으로 가스가 통과된다.Upper and lower flange connections (2, 3) are installed in the vacuum valve housing (1), and gas passes therethrough.

도 1a는 밸브가 완전히 열려있는 상태를 나타낸 것은 아니다. 왜냐하면 밸브가 완전히 열려있는 상태는 밸브디스크(4)가 화살표방향(25)으로 움직여 플랜지 연결부(2, 3) 영역밖으로 밀려나기 때문이다.1A does not show a state in which the valve is completely open. The valve is completely open because the valve disc 4 is moved in the direction of the arrow 25 and pushed out of the flange connection area 2, 3.

밸브디스크(4)는 두개의 아암레버를 갖는 로드(7)에 고정되게 연결되고, 이 로드(7)의 한쪽 끝부분(7a)은 밸브디스크(4)를 고정시켜 주고, 다른쪽 끝부분(7b)은 로드(7)의 운동을 조절하기 위한 로드(7)의 전방에 위치한다. 로드(7)는 하우징(1)의 틸팅베어링(8)에 설치되어 화살표방향(24)(도 4 참조)으로 피벗작동된다.The valve disc 4 is fixedly connected to a rod 7 having two arm levers, one end 7a of the rod 7 fixes the valve disc 4 and the other end ( 7b) is located in front of the rod 7 for adjusting the movement of the rod 7. The rod 7 is installed in the tilting bearing 8 of the housing 1 and pivoted in the direction of the arrow 24 (see FIG. 4).

밸브디스크(4)는 플랜지연결부(3)의 밸브시트(6)와 함께 작용하는 시일(5)을 구비하고 있다.The valve disc 4 has a seal 5 which acts together with the valve seat 6 of the flange connection 3.

피스톤(9)은 하우징(1)의 실린더챔버(10)내에서 화살표방향(25)과 그 반대방향으로 이동가능하게 배치되어 로드(7)와 밸브디스크(4)의 이동(수평이동)을 제어한다. 이를 위해 피스톤(9)은 시일(15)을 갖는 실린더 하우징(1)에 대하여 밀봉되어 전방실린더챔버 (10)를 형성한다.The piston 9 is arranged in the cylinder chamber 10 of the housing 1 to be movable in the direction of the arrow 25 and vice versa to control the movement (horizontal movement) of the rod 7 and the valve disc 4. do. To this end the piston 9 is sealed against the cylinder housing 1 with the seal 15 to form the front cylinder chamber 10.

피스톤(9)의 복귀운동은 그 일단이 하우징(1)의 멈춤부(13)에 지지되고 타단아 피스톤(9)의 멈춤부(21)에 지지되는 스프링(11)에 의해 이루어진다.The return movement of the piston 9 is made by a spring 11 whose one end is supported by the stop 13 of the housing 1 and the stop 21 of the other end piston 9.

그러므로. 후방실린더챔버(11)는 압력매체(pressure medium)에 의해 영향을 받지 않는다.therefore. The rear cylinder chamber 11 is not affected by the pressure medium.

그러나, 자세히 설명되지는 않았지만 다른 실시례에서는 스프링(12)이 빠져도 무방하다. 그 대신 실린더챔버(11)는 압력매체에 연결되어야 한다.However, although not described in detail, the spring 12 may be omitted in other embodiments. Instead, the cylinder chamber 11 should be connected to the pressure medium.

피스톤(9)이 수평이동하기 위해선 실린더챔버(10)에 압력이 작용하고, 동시에 크로스핀(16)이 로드(7)의 전방이동위치에서 하우징(1)의 멈춤부(20)에 놓여짐과 더불어 로드(7)의 한쪽 끝(7b)에서 상대 회전에 대하여 고정시키려 한다.In order to move the piston 9 horizontally, pressure is applied to the cylinder chamber 10, and at the same time the cross pin 16 is placed on the stop 20 of the housing 1 at the forward movement position of the rod 7 In addition, one end 7b of the rod 7 is to be fixed against relative rotation.

만일 압력챔버(10)에 압력매체가 작용되면, 피스톤(9)은 화살표방향(25)으로 이동한다. 동시에 크로스핀(16)은 대각선가이드(17)의 상단부 밑으로 이동한다(도 1a참조). 이 결과 밸브디스크(4)는 피스톤(9)이 복귀할 때까지 닫히지 않는다.If a pressure medium is applied to the pressure chamber 10, the piston 9 moves in the direction of the arrow 25. At the same time, the cross pin 16 moves below the upper end of the diagonal guide 17 (see FIG. 1A). As a result, the valve disc 4 does not close until the piston 9 returns.

이 결과 밸브디스크(4)의 기울어진 정도에 따라 포지티브 가이던스(Positive guidance)된다. 이는 피스톤(9)이 화살표방향(25)으로 수평이동하는 동안 크로스핀(16)이 대각선가이드(17)를 따라 하부로 이동하고, 또한 화살표방향(25)으로의 로드(7)의 이동에 의해 밸브디스크(4)가 밸브시트(6)으로부터 떨어지게 된다.This results in positive guidance according to the degree of inclination of the valve disc 4. This is because the cross pin 16 moves downward along the diagonal guide 17 while the piston 9 moves horizontally in the direction of the arrow 25 and also by the movement of the rod 7 in the direction of the arrow 25. The valve disc 4 comes off the valve seat 6.

반대로 밸브디스크(4)의 닫힘은 도 2에서 보인 것처럼 피스톤(9)이 화살표방향(25)의 반대방향으로 이동할 때 이루어진다. 이러한 이동은 스프링(12)에 의하여 이루어지며, 이 과정에서 실린더챔버(10)는 압력해제된다.In contrast, the closing of the valve disc 4 takes place when the piston 9 moves in the opposite direction to the arrow direction 25 as shown in FIG. 2. This movement is made by the spring 12, in which the cylinder chamber 10 is released.

이러한 전진운동에 따라 크로스핀(16)이 상부로 이동하여 대각선가이드(17)영역에서 접촉위치는 도 2에 나타낸 바와 같고, 로드(7)는 틸팅베어링(8)을 중심으로 선회운동하고 시일(5)은 밸브시트(6)에 안착되는 것이다.According to this forward movement, the cross pin 16 moves upward, and the contact position in the diagonal guide 17 region is as shown in FIG. 2, and the rod 7 pivots about the tilting bearing 8 and seals ( 5) is seated on the valve seat (6).

상기 대각선가이드(17)는 도 1b에 나타낸 바와 같이, 크로스핀(16)을 대각선으로 안내하기 위한 것이다.The diagonal guide 17 is for guiding the cross pin 16 diagonally, as shown in FIG.

상기 하우징(1)의 양측벽에는 슬롯(26)이 형성되어 있으며, 이 슬롯(26)은 서로 대향되는 위치에 각각 형성되고 크로스핀(16)단부에 까지 연장형성되어 있다.Slots 26 are formed on both side walls of the housing 1, and the slots 26 are formed at positions facing each other and extend to end portions of the cross pins 16, respectively.

상기 슬롯(26)의 끝부분은 도 1b에 나타낸 바와 같이 기설명된 직선가이드(18)에 연결되어 있다.The end of the slot 26 is connected to the linear guide 18 described above as shown in FIG.

그리고, 크로스핀(16)이 슬롯(26)부분에 위치되어 있는 한 로드(7)는 틸팅베어링(8)을 중심으로 기울어질 수 없게 된다.As long as the cross pin 16 is located in the slot 26, the rod 7 can not be tilted about the tilting bearing 8.

그러나, 크로스핀(16)이 슬롯(26)의 끝에서 직선가이드(18) 부분으로 이동하자마, 동시에 스프링(12)의 힘에 의해 압력챔버(10)에 작용하는 압력은 해제되고, 크로스핀(16)은 멈춤부(20)에 접하게 된다.However, as soon as the cross pin 16 moves from the end of the slot 26 to the straight guide 18 part, the pressure acting on the pressure chamber 10 by the force of the spring 12 is released and the cross pin ( 16 is in contact with the stop 20.

이와 같이 크로스핀(16)이 접하는 부분인 멈춤부(20)의 수직길이는 슬롯(26)의 높이보다 크므로, 크로스핀(16)이 멈춤부(20)에서 틸팅베어링(8)을 중심으로 기울어질 수 있게 되는 것이다.As such, the vertical length of the stopper 20, which is a portion where the crosspin 16 is in contact, is greater than the height of the slot 26, so that the crosspin 16 is centered on the tilting bearing 8 at the stopper 20. It can be tilted.

여기서 설명된 미끄러짐요소(14)는 다른 수단으로 대치할 수 있다. 따라서 본 발명은 미끄러짐요소(14)의 기능에 제한되지 않는 것이다.The sliding element 14 described herein may be replaced by other means. Thus, the present invention is not limited to the function of the slip element 14.

도 4는 화살표방향(24)으로 로드(7)를 기울이기 위해 다른 구동드라이브를 배치할 수 있는 일반적인 형태를 나타낸 것이다.4 shows a general configuration in which other drive drives can be arranged to tilt the rod 7 in the direction of the arrow 24.

이것은 임의의 드라이브가 화살표방향(22)으로 전체 로드(7)를 위치시키기 위하여 로드(7) 끝에서 구동할 수 있음을 개략적으로 보여준 것이다.This schematically shows that any drive can be driven at the end of the rod 7 to position the entire rod 7 in the direction of the arrow 22.

또한, 이것은 또다른 드라이브가 화살표방향(23)으로 전체 로드(7)를 이동시키기 위하여 로드(7) 끝에서 작동할 수 있음을 일반적으로 보여준 것이다.In addition, this generally shows that another drive can be operated at the end of the rod 7 to move the entire rod 7 in the direction of the arrow 23.

본 발명의 모든 실시례의 중요한 특징은 진공밸브의 전체 운동메카니즘이 진공챔버(27)의 외부에 배치되고, 또한, 메탈벨로우즈(도면상에는 나타나 있지 않지만)가 로드(7)와 하우징(1)사이에 일종의 시일로서 부가적으로 포함된다.An important feature of all embodiments of the present invention is that the overall movement mechanism of the vacuum valve is arranged outside the vacuum chamber 27, and a metal bellows (although not shown in the drawing) is provided between the rod 7 and the housing 1. Is additionally included as a kind of seal.

상기와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 밸브디스크를 위한 구동메카니즘이 진공챔버 외부에 위치하므로써, 미립자가 진공챔버 내부로 유입되어 가스의 원활한 흐름을 저해하는 현상을 방지할 수 있게 된다.According to the present invention made as described above, the driving mechanism for the valve disk is located outside the vacuum chamber, it is possible to prevent the phenomenon that the fine particles are introduced into the vacuum chamber to inhibit the smooth flow of gas.

Claims (8)

진공챔버(27)내의 통로(2,3)를 밀봉하도록 상기 통로(2, 3)의 전방에 설치된 밸브디스크(4)를 두 공간측에서 하나의 이동을 수행시키기 위한 하나이상의 드라이브를 구비하여 이루어지되, 상기 밸브디스크(4)는 진공챔버(27)의 외부에서 밀봉가능하게 가이드됨과 더불어 상기 드라이브에 의해 구동되는 하나이상의 로드(7)와 연결되어 상기 통로(2,3)를 개폐시키는 입자 미발생의 진공밸브에 있어서,The valve disc 4 provided in front of the passages 2 and 3 to seal the passages 2 and 3 in the vacuum chamber 27 is provided with one or more drives for performing one movement in two spaces. The valve disc 4 is guided in a sealable manner outside the vacuum chamber 27 and is connected to at least one rod 7 driven by the drive to open and close the passages 2 and 3. In the vacuum valve of the generation, 상기 진공챔버(27)는 서로 상대운동하는 부재와는 자유롭고, 상기 밸브디스크(4)는 상기 진공챔버(27)의 외부에서 포지티브컨트롤에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.The vacuum chamber (27) is free from the members moving relative to each other, the valve disk (4) is a valve mechanism for a vacuum valve, characterized in that driven by positive control outside the vacuum chamber (27). 제 1 항에 있어서, 상기 밸브디스크(4)는 피스톤(9)을 매개로 하여 상기 로드(7)에 의해 수평방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.2. Valve mechanism according to claim 1, characterized in that the valve disc (4) is driven horizontally by the rod (7) via a piston (9). 제 2 항에 있어서, 상기 피스톤(9)은 상기 하우징(1)의 실린더챔버(10) 내부에 유동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.3. The valve mechanism according to claim 2, wherein the piston (9) is movably installed in the cylinder chamber (10) of the housing (1). 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로드(7)는 틸팅베어링(8)에 유동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.4. Valve mechanism according to any one of the preceding claims, characterized in that the rod (7) is movably mounted to the tilting bearing (8). 제 4 항에 있어서, 상기 틸팅베어링(8)을 중심으로 한 로드(7)의 움직임은 미끄러짐요소(14)에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.5. Valve mechanism according to claim 4, characterized in that the movement of the rod (7) about the tilting bearing (8) is made by a sliding element (14). 제 1항에 있어서, 상기 로드(7)의 수평방향(25)의 운동제어와 틸팅베어링(8)을 중심으로 한 운동은 별개의 드라이브에 의해 컨트롤되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.2. Valve mechanism according to claim 1, characterized in that the movement control in the horizontal direction (25) of the rod (7) and the movement about the tilting bearing (8) are controlled by separate drives. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 피스톤(9)의 상기 운동방향(25)에 대한 반대방향의 복원운동은 스프링(12)에 의해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.4. Valve mechanism according to any one of the preceding claims, characterized in that the restoring movement of the piston (9) in the opposite direction to the direction of movement (25) is achieved by a spring (12). 제 4 항에 있어서, 상기 로드(7)와 상기 하우징(1)사이에 실링을 위한 매탈벨로우즈를 더 설치한 것을 특징으로 하는 진공밸브용 밸브메카니즘.5. The valve mechanism according to claim 4, further comprising a metal bellows for sealing between the rod (7) and the housing (1).