KR100360766B1 - 배열된 도파관격자형 광학멀티플레서/디멀티플렉서 및 그제조방법 - Google Patents

배열된 도파관격자형 광학멀티플레서/디멀티플렉서 및 그제조방법 Download PDF

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Abstract

본원 발명은 광전송중심파장이 온도와는 독립된 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제공하는 것이다. 광입력도파관, 제 1슬랩도파관, 나란히 배열된 복수의 채널도파관을 포함하는 배열된 도파관, 제 2슬립도파관 및 나란히 배열된 복수의 광입력도파관이 순차적으로 접속된 도파관형성영역위에 기판이 형성된다. 제 1슬랩도파관을 이것을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 분할면에 의해서 둘로 분할하기 위해서 분할선이 설정된다. 위치이동부재는 그 일단부가 제 1도파관형성영역에 고정되고, 타단부가 제 2도파관형성영역에 고정되도록 고정된다. 또 위치이동부재는 분활된 슬립도파관쪽에 있는 도파관형성영역을 1베이스에 고정하고, 다른 분할된 슬랩도파관쪽에 있는 도파관형성영역을 슬라이드시킨다. 그후 배열된 도파관격자는 분할선에서 분할되고, 제 1 및 제 2도파관형성영역을 서로 분리한다.

Description

배열된 도파관격자형 광학멀티플레서/디멀티플렉서 및 그 제조방법{ARRAYED WAVEGUIDE GRATING TYPE OPTICAL MULTIPLEXER/DEMULTIPLEXER AND A METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은, 예를 들면 파장분할멀티플렉싱광통신에 있어서의 광학멀티플렉서/디멀티플렉서로써 사용되는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근, 전송량을 지수(指數)적으로 증가시키기 위한 방법으로써 광파장분할멀티플렉싱통신의 광통신연구 및 개발이 적극적으로 추구되어 왔고, 그 결과가 실용화되고 있다. 광파장분할멀티플렉싱통신은 예를 들면 전송을 위하여 각각 서로 다른 파장을 가진 복수의 광빔을 멀티플렉싱하는 분할기술을 사용하고 있다. 이러한 광파장분할멀티플렉싱통신을 이용하는 시스템에 대해서는, 광통신의 수신자가 파장분할멀티플렉싱이 행해진 전송된 광빔으로부터 그 파장에 의거해서 광빔을 별도로 꺼내는 것이 가능하도록 광전송장치 등이 제공된다. 이 광전송장치는 어떤 주어진 파장의 광만을 전송한다. 광전송장치의 예는 도 15에 도시된 바와 같은 PLC회로(Planar Lightwave Circuit)를 포함하는 배열된 도파관격자(AWG)를 포함한다. 배열된 도파관 격자는 실리콘등으로 이루어진 기판(1)상에 석영계 유리로 형성된 도파관형성영역(10)을 가진다. 도파관형성영역(10)은 도 15에 예시되고 코어로 형성된 도파관구조를 가진다.
배열된 도파관격자의 도파관구조는 나란히 배열된 하나이상의 광입력도파관(2), 광입력도파관(2)의 출력단부에 접속된 제 1슬랩도파관(3), 제 1슬랩도파관(3)의 출력단부에 접속된 배열된 도파관(4), 배열된 도파관(3)의 출력단부에 접속된 제 2슬랩도파관(5) 및 나란히 배열되고 제 2슬랩도파관(5)의 출력단부에 접속된 복수의 광입력도파관(6)을 포함한다. 배열된 도파관격자의 크기는 예를 들면 A=B=40㎜로 되도록 설정할 수 있다.
배열된 도파관(4)은 제 1슬랩도파관(3)으로부터 출력된 광을 전파하고, 나란히 배열된 복수의 채널도파관(4a)을 포함한다. 인접한 채널도파관(4a)의 길이는 미리 설정된 차이(△L)에 의해 서로 다르다. 광출력도파관(6)의 수는 예를 들면 배열된 도파관격자에 의한 신호광의 디멀티플렉싱 또는 멀티플렉싱의 결과로써 서로 다른 파장을 가진 광빔이 얼마나 많이 발생되는 지에 따라서 결정된다. 배열된 도파관(4)를 구성하는 채널도파관(4a)은 보통 큰수, 예를 들면 100으로 제공된다. 그러나, 도 15는 단순화되어 있고, 도 15에서의 채널도파관(4a), 광출력도파관(6) 및 광입력도파관(2)의 수는 실제의 수를 반영하는 것이 아니다.
광입력도파관(2)은 파장분할멀티플렉싱이 행해진 광이 광입력도파관(2)에 도입되도록 예를 들면 전송쪽 광파이버(도시되지 않음)에 접속되어 있다. 광입력도파관(2)도파관(2)으로부터 출력된 광은 제 1슬랩도파관(3)으로 도입되고, 그 회절효과에 의해서 회절되어서, 배열된 도파관(4)을 따라 전파하도록 배열된 도파관(4)에 입사한다.
배열된 도파관(4)을 통해 전파한 후에, 광은 제2 슬랩도파관(5)에 도달하고, 그후 광출력도파관(6)으로부터 출력되기 위해 광출력도파관(6)내에서 압축된다. 배열된 도파관(4)의 인접한 채널도파관(4a)사이의 미리 설정된 길이의 차 때문에, 배열된 도파관(4)을 통해 전파한 후의 광빔은 서로 다른 위상을 가진다. 배열전 도파관(4)으로부터 출사된 많은 광빔의 등위상면은 상기 차에 따라서 경사지고, 광이 압축되는 위치는 상기 경사각도에 의해 결정된다.
그러므로, 다른 파장을 가진 광빔은 서로 다른 위치에서 압축된다. 이들 위치에서 광출력도파관(6)을 형성함으로써, 다른 파장을 갖는 광빔( λ1),( λ2)…(λn)은 각 파장에 대하여 제공된 각 광출력도파관(6)으로부터 출력될 수 있다.
바꾸어 말하면, 배열된 도파관격자는 광학멀티플렉싱/디멀티플렉싱기능을 가진다. 이러한 기능에 의해, 배열된 도파관격자는 이미 분할멀티플렉싱이 행해지고 서로 다른 파장을 갖는 광입력도파관(2)으로부터 입사된 광을 하나이상의 파장의 광빔으로 디멀티플렉싱할 수 있고, 그후 이 광빔을 각각의 광출력도파관(6)으로부터 출사한다. 디멀티플렉싱되는 광의 중심파장은 배열된 도파관(4)를 구성하는 인접한 채널도파관(4a)의 길이의 차(△L)와 채널도파관(4a)의 유효규절률(ne)에 비례한다.
상기한 바와 같은 특성을 가지기 때문에, 배열된 도파관격자는 파장분할멀티플렉싱전송시스템에 적용되는 광학멀티플렉싱/디멀티플렉싱을 위한 광전송장치로써 사용될 수 있다. 예를 들면, 도 15에 도시된 바와 같이, 파장분할멀피플렉싱이 행해지고, ( λ1),( λ2),( λ3)…(λn)(n은 2이상의 정수)의 파장을 가진 광빔이 각각 광입력도파관(2)중의 하나에 입사된다. 광빔은 제 1슬랩도파관(3)에서 회절되어, 배열된 도파관(4)에 도달하고, 배열된 도파관(4)와 제 2슬랩도파관(5)을 통해 전파한다. 그후, 상기한 바와 같이, 광빔은 그 파장에 의해 결정된 다른 위치에서 각각 압축되고, 다른 광입력도파관(6)에 입사하여, 그들 각 광출력도파관(6)을따라 전파하고, 광출력도파관(6)의 출력단부로부터 출사된다.
그후 다른 파장을 갖는 광빔은 광출력도파관(6)의 출력단부에 접속된 광을 출사하기 위한 광파이버(도시되지 않음)를 통해서 꺼내질 수 있다. 광파이버를 광출력도파관(6)과 광입력도파관(2)에 접속할 때에는, 각각에 대해서 광파이버어레이를 준비한다. 광파이버어레이에 있어서, 광파이버의 접속단자면은 1차원의 어레이로 배열되어 고정된다. 광파이버어레이는 광입력도파관(6)의 접속단자면 또는 광입력도파관(2)에 고정되고, 이에 의해 광파이버를 광출력도파관(6) 또는 광입력도파관(2)에 접속한다.
상기 배열된 도파관격자는, 중심에서와 같은 각 광전송중심파장(예를 들면, λ1, λ2, λ3…λn)에 의해, 파장이 각 광전송중심파장으로부터 벗어남에 따라 출사된 광의 광전송이 작아지도록 광출력도파관(6)으로 부터 출사된 광빔의 광전송특성(배열된 도파관격자에 있어서 전송광강도의 파장특성)을 가진다.
모든 광전송중심파장( λ0)는 배열된 도파관(4)의 유효굴절률(ne), 배열된 도파관(4)의 인접한 채널도파관(4a)의 길이차(△L) 및 회절차수(m)에 의해 결정되며, 다음식(1)로 표현된다.
λ0=ne·△L/m …(1)
그러므로, 광출력도파관(6)중 하나에 대하여 광전송특성을 나타내는 파장은 항상 하나가 아니고, 그곳에 설정된 회절차수에 따라서 복수의 중심파장이 될수도 있다. 광을 중심에서와 같은 광전송중심파장( λ0)을 가진 어떠한 파장간격(△λ(㎚))을 갖는 복수의 광신호로 디멀티플렉싱하는 것이 가능하다. 따라서 중심파장( λ0)만을 이하에서 고려한다. 배열된 도파관격자는 광회로의 상호작용(가역성)의 원리를 이용하고, 이와 같이 해서 광학멀티플렉서의 기능은 물론 광학멀티플렉서의 기능을 갖는다. 즉, 도 15에 대하여 이미 설명한 것과 반대의 방법에 있어서, 서로 다른 파장을 갖는 복수의 광빔을 각 광입력도파관(6)에 입사해도 된다. 입사된 광빔은 상기 도 15와 관련하여 설명한 루트와는 반대의 전파루트를 따라 전파하고, 배열된 도파관(4) 및 제 1슬랩도파관(3)에서 멀티플렉싱되며, 그후 광출력도파관(2)중 하나로 부터 출력된다.
상기한 바와 같은 배열된 도파관격자에 있어서, 격자의 파장해상도는, 격자의 구성요소중의 하나인 배열된 도파관(4)의 채널도파관(4a)사이의 길이의 차(△L)에 비례한다. 배열된 도파관격자가 큰 △L을 가지도록 설계되는 경우에는, 좁은 파장간격으로 파장분할멀티플렉싱을 하도록 멀티플렉싱/디멀티플렉싱하는 것이 이론적으로 가능하다. 이와 같이 해서, 배열된 도파관격자가 복수의 신호광빔을 멀티플렉싱/디멀티플렉싱하는 기능, 특히 고밀도의 광파장분할멀티플렉싱통신에 필요하다고 생각되는 기능인 1㎚이하의 파장간격으로 복수의 광신호를 디멀티플렉싱 또는 멀티플렉싱하는 기능을 갖는 것이 이론적으로 가능하다.
상기한 바와 같은 배열된 도파관격자를 제조하기 위하여, 예를 들면 실리콘기판상에 하부클래드층과 코어층을 형성하기 위해 불꽃가수분해퇴적법(flame hydrolysis deposition)을 사용하고, 그후 배열된 도파관격자의 도파관구조가 그려진 포토마스크를 준비하고, 포토마스크를 통해 포토리소그래피(photoilthography)에 의해 전사를 행하여, 배열된 도파관격자를 반응성이온에칭에 의해 코어층에 전사하고, 그후 상부클래드층을 형성하기 위해 불꽃가수분해퇴적법을 다시 사용한다. 이와 같이 해서 배열된 도파관격자가 제조된다.
도 15의 배열된 도파관격자는 통상 주성분으로써 석영계 유리재료로 형성되고, 이 석영계유리재료의 온도의존성에 의해서, 배열된 도파관격자의 광전송중심파장(λ0)은 온도에 따라서 변화한다. 이 온도의존성은, 예를 들면 종래의 배경기술에서 일반적으로 사용되는 설정치를 사용해서 설계되고 제조된 배열된 도파관격자에 있어서 온도가 50℃이상일 경우, 광전송중심파장은 0.5㎚만큼 변화할 정도로 크게 증가한다. 이 값 0.5㎚는 1㎚이하의 아주 좁은 파장간격으로 광을 멀티플렉싱 또는 디멀티플렉싱하도록 요구되는 배열된 도파관격자에 있어서는 치명적이다.
그러므로 본 발명자들은 광전송중심파장의 온도의존도를 제어할 수 있는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 실현하는 것은 대단히 중요하다고 믿고 있다. 본 발명자들의 견해에 의하면, 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조를 용이하게 하는 것과 삽입손실을 적게하는 것 또한 파장분할멀티플렉싱통신을 위한 장치로써의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 실현하는 데 있어서의 주요한 대상이다.
본 발명은 상기 주목된 문제들을 해결하기 위하여 이루어졌으며, 그러므로, 본원 발명의 목적은 제조가 용이하고, 광전송중심파장의 온도의존도를 저감할 수 있으며, 삽입손실을 저감할 수 있는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서와 그 제조방법을 제공하는 것이다.
도 1A 및 1B는 본원 발명에 따른 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제 1실시예의 주요부의 구성을 나타내는 구성도이며, 여기서, 도 1A는 평면도이고, 도 1B는 측면도
도 2A∼2C는 제 1실시예의 배열된 도파관격자형멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조공정의 일부를 예시하여 설명하는 평면도
도 3A 및 도 3B는 도 2A∼2C에 도시된 공정 다음의 제 1실시예에 있어서의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 공정을 예시하여 설명하는 평면도
도 4는 제 1실시예에 있어서의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 외형을 도시하여 설명하는 평면도
도 5는 제 1실시예에서 사용되는 클립을 나타내는 투시도,
도 6A 및 6B는 본원 발명에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제 2실시예를 나타내는 개략적 구성도이며, 여기서 도 6A는 평면도이고, 도 6B는 측면도
도 7A 및 도 7B는 제 2실시예의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조공정의 일부를 예시하여 설명하는 평면도
도 8A∼8D는 도 7A 및 도 7B에 도시한 공정 다음의 제 2실시예의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조공정을 예시하는 설명도이며, 여기서 8A 및 8C는 측면도, 도 8B 및 8D는 평면도
도 9는 제 1 및 제 2실시예에 있어서의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 하나의 광출력도파관으로부터 출력된 광의 온도의존특성을 나타내는 그래프
도 10은 본 발명에 따른 배열된 도파관격자형멀티플렉서/디멀티플렉서와 제 3실시예의 주요부의 평면구성을 나타내는 구성도
도 11A∼11D는 제 3실시예의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플레서의 제조공정중 일부를 예시하는 설명도이며, 여기서 도 11A는 평면도이고, 도 11B∼11D는 측면도
도 12A∼12D는 본 발명에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제 4실시예의 주요부의 구성을 나타내는 설명도이며, 여기서 도 12A 및 12C는 측면도이고, 도 12B 및 도 12D는 평면도
도 13A∼13C는 제 4실시예에 있어서의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조공정중 일부를 예시하는 설명도이며, 여기서 도 13A 및 13C는 평면도이고, 도 13B는 측면도
도 14A 및 14B는 관통구멍을 가진 도파관형성영역을 갖는 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 나타내는 도면이며, 여기서 도 14A는 설명하는 평면도이고, 도 14B는 관통구멍의 구조를 나타내어 설명하는 단면도
도 15는 배경기술에 있어서의 배열된 도파관격자를 나타내어 설명하는 평면도
<도면의 주요부분에 대한 설명>
2: 광입력도파관 3: 제 1슬랩도파관
3a, 3b: 슬랩도파관 4: 배열된 도파관
4a: 채널도파관 5: 제 2슬랩도파관
6: 광출력도파관 8: 교차하는 분할면
9: 베이스 10, 10a, 10b: 도파관형성영역
13: 접착제 16: 하우징패키지
17: 위치이동부재 18: 비교차분할면
20: 출력단부 21, 22: 광파이버어레이
23, 24: 광파이버 25, 25a, 25b: 관통구멍
30: 땜납 31: 금속막
32: 임시고정영역 35: 실리콘판
37, 38, 50: 홈 49: 임시고정판
80: 분할선
상기 목적을 달성하기 위하여, 본원 발명에 의한 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서는, 슬랩도파관은 슬랩도파관을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 교차하는 면에 의해서 둘로 분할된다. 교차하는 면은 분할면으로써 기능하며, 도파관형성영역을 분할된 슬랩도파관의 한부분을 포함하는 제 1도파관형성영역과 분할된 슬랩도파관의 다른 부분을 포함하는 제 2도파관형성영역으로 분할한다. 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역의 하나 또는 양쪽은 위치이동부재에 의해 분할면을 따라 이동된다. 그러므로, 위치부재의 이동을 이용하여 예를 들면 배열된 도파관격자의 온도변화에 의해 야기되는 배열된 도파관격자의 광전송중심파장의 변화를 보상하는 것이 가능하다.
본 발명에 의한 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서, 위치이동부재가 그 일단부가 제 1도파관형성영역에 고정되고, 타단부가 제 2도파관형성영역에 고정되도록 배치되면, 장치의 구조가 단순화되고, 정확성이 향상한다. 또, 장치의 코스트가 저하하고, 생산성이 증가한다.
상기 및 다른 목적을 달성하기 위하여, 본원 발명에 의한 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조방법에 있어서는, 적어도 하나의 습랩도파관은 슬랩도파관을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 면에 의해 둘로분할된다. 도파관형성영역은 분할하는 면에 의해 분할된 슬랩도파관의 한 부분을 포함하는 제 1도파관형성영역과 분할된 슬랩도파관의 다른 부분을 포함하는 제 2도파관형성영역으로 분할된다. 분할하는 면을 따라 제 1 및 제 2도파관형성영역의 하나 도는 2개 모두를 이동시키는 기능을 가진 위치이동부재는 제 1도파관형성영역에 일단부를 고정하고 제 2도파관형성영역에 타단부를 고정하도록 분할전에 고정된다. 그러므로, 분할전의 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역의 상대위치는 분할후와 거의 동일하다.
본원 발명에 대한 보다 더 완전한 이해와 많은 장점들은 유첨된 도면을 참조해서 설명하는 다음의 상세한 설명에 의해 용이하게 얻을 수 있는 것이다.
본원 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하 설명한다. 실시예의 설명에 있어서, 동일 또는 대응하는 부분을 나타내기 위하여는 동일한 참조부호를 사용하고 불필요한 설명의 반복은 피한다.
도 1A 및 도 1B는 본 발명에 따른 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플레서의 제 1실시예를 개략적으로 나타낸다. 도 1A는 본 실시예의 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 평면도이다. 도 1B는 도 1A의 우측으로부터 본 측면도이다.
도 1A 및 도 1B에 도시된 바와 같이, 제 1실시예에 있어서, 도 15에 도시된 구조를 갖는 배열된 도파관격자의 제 1슬랩도파관(3)은 이 제 1슬랩도파관(3)을 통해 전파하는 광의 루트와 교차하는 분할면(8)과 교차함으로써 둘로 분할된다. 상기 교차하는 분할면(8)은 도파관형성영역(10)의 일단부(도 1A에서의 상단부)로부터 시작하여 그 중간부까지 뻗은 도파광형성영역(10)에 형성된다. 제 1슬랩도파관(3)과 교차하지 않는 비교차분할면(18)은 교차하는 분할면(3)과 접속하도록 형성된다. 비교차분할면(18)은, 요구조건은 아니지만, 교차하는 분할면(8)과 직각으로 된다.
본 제 1실시예에 있어서는, 교차하는 분할면(8)과 비교차 분할면(18)은 도파관형성영역(10)을 (1)한쪽에 분할된 슬랩도파관(3a)을 포함하는 제 1도파관형성영역(10a)과, (2)다른 쪽에 분할된 슬랩도파관(3b)을 포함하는 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할한다.
도파관형성영역(10)의 것보다 더 큰 열팽창계수를 가진 위치이동부재(17)는 그 일단부에서 제 1도파관형성영역(10)에 고정되도록 형성되고, 그 타단부에서 제 2도파관형성영역(10b)에 고정되도록 형성된다. 위치이동부재(17)는 제 2도파관형성영역(10b)에 대하여 교차하는 분할면(8)을 따라 제 1도파관형성영역(10a)을 슬라이드시키도록 팽창 및 수축한다.
본 실시예에 있어서의 위치이동부재(17)는 그 일단부를 도파관형성영역(10a)의 앞쪽에 고정하고, 타단부를 도파관형성영역(10b)의 앞쪽에 고정하도록 위치한다. 이러한 구성은, 도파관형성영역(10a)을 슬라이드시킬때, 도파관형성영역(10a)이 베이스(9)에 대하여 (X-Y면에 수직인 Z축방향으로)위쪽으로 변위되는 것을 방지한다.
예를 들면, 위치이동부재(17)는 1.65×10-5(1/K)의 열팽창계수를 갖는 동판(銅版)으로 형성된다. 위치이동부재(17)밑에는 땜납(30)이 도 1A에서 경사진 파선으로 표시된 각 고정위치(291),(292)에 형성된다. 각 땜납(30)의 밑쪽은 금속막(도 1A 및 도 1B에 도시되지 않았음)으로 피복되어 있다. 위치이동부재(17)의 일단부는 고정위치(291)에서 도파관형성영역(10a)에 고정되어 있고, 타단부는 같은 방법으로 다른 고정위치(292)에서 도파관형성영역(10b)에 고정되어 있다.
제 1도파관형성영역(10a) 및 제 2도파관형성영역(10b)는 간격을 두고 떨어져서 분할되어 배열되어 있다. 예를 들면, 도 1A의 영역(A)에서 영역(10a) 및 (10b)사이의 거리(비교차분할면(18)사이의 거리)는 약 100㎛로 될 수 있고, 도 1A의 영역(B)에서의 그 거리(교차하는 분할면(8)사이의 거리)는 약 25㎛로 될 수 있다.
이 제 1의 실시예에 있어서, 베이스(9)는 기판(1) 밑에 형성되고, 구멍(15)은 베이스(9)의 에지부로부터 밖으로 뻗는 부착부분(91)-(93)에 형성된다. 구멍(15)과 맞물려있는 (스크류와 같은)고정부재가 도파관형성영역(10)과 기판(1)을 가진 칩을 도 4에 도시한 하우징패키지(16)(배열된 도파관격자용 보호패키지)에 고정하기 위하여 사용된다. 제 2도파관형성영역(10b)은 2위치에서 영역을 클램프하는 클램프부재로써의 도 5에 도시한 클립(19a)에 의해 베이스(9)에 고정되어도 된다.
본 실시예에 있어서는, 위치이동방지부재로써, 실리콘판(35)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)사이의 경계영역의 부분(도 1A의 상부쪽에 도시됨)에 역시 형성해도 된다. 실리콘판(35)은 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)이 기판(1)의 면에 수직방향으로 그 위치가 이동되는 것을 방지한다. 편평한 면을 가진 판형상재를 실리콘판(35)을 형성하기 위해 사용할 수 있다. 실리콘판(35)는 그 편평한 면이 기판(1)의 뒷쪽과 접촉하도록 배열할 수 있고, 클립(19b)에 의해 클램프된다. 실리콘판(35)이 클립(19b)에 의해 클램프되는 것은 제 1도파관형성영역(10a)이 교차하는 분함련(8)을 따라 슬라이드하는 것을 방지하지는 않는다. 클립(19b)은 위치이동부재(17)이 제 2도파관형성영역(10b)에 대하여 교차하는 분할면(8)을 따라 상기 제 1도파관형성영역(10a)을 슬라이드시킬 수 있도록 실리콘판(35)을 클램프한다.
상술한 바와 같이, 도 1A 및 1B에 도시된 본원 발명은 위치이동부재(17)가 온도의 변화에 의해 팽창 및 수축하는 동작을 제공한다. 본원 발명에 있어서 상기 위치의 이동은 배열된 도파관격자에 있어서의 온도에 의한 변형을 보상하도록 분할된 슬랩도파관(3a)의 2부분을 이동시키도록 설계되어 있다. 본 발명에 의한 장치가 적합하게 동작하기 위하여는, 위치이동부재(17)가 온도변화에 의거해서 적절한 비율로 팽창 및 수축하는 것이 중요하다. 위치이동부재(17)의 위치이동은 그 재료 및 2고장단부사이의 길이(J)에 크게 의존한다. 이것은 팽창 및 수축하는 것은 상기 길이(J)를 따라 뻗는 위치이동부재(17)의 고정되지 않은 부분이기 대문이다.
다음에 상기 길이(J)를 적절하게 계산하는 방법의 특정한 예를 설명한다. 제 1실시예에 따른 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 100GHz의 주파수간격을 가진 예를 들면 16개의 파(波)(sixteen waves)에 대응하는 광을 멀티플렉스 및 디멀티플렉스할 수 있고, 다음의 파라미터를 가진 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플레서이다. 파라미터는 25.6㎚로 설정된 FSR(Free Spectral Range), 59로 설정된 회절차수(diffraction order)및 25℃의 온도에서 63.1㎛로 설정된 인접한 채널도파관(4a)사이의 길이의 차(△L)를 포함한다.
파라미터는 또한 제 1 및 제 2슬랩도파관(3) 및 (5)에 대하여 12327.06으로 설정된 촛점길이(Lf), 20㎛로 설정된 도파관(4)의 피치(D), 배열된 도파관(4)에 대하여 1.45115로 설정된 유효굴절률(ne), 1.47512로 설정된 배열된 도파관군 굴절률(ng),제 1및 제 2슬랩도파관(3) 및 (5)에 대하여 1.453으로 설정된 유효굴절률(ns), 및 1.551㎛로 설정된 배열된 도파관결자의 중심파장(λ0)을 포함한다.
본 실시예에 있어서 (dx)는 출력단부가 분할된 슬랩도파관(3a)쪽에서의 이동에 의해 이동되는 광학입력도파관(2)의 출력단부(20)의 이동된 거리로써 주어진다. 본 실시예에 따른 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 상기한 파라미터를 가지기 때문에, 이동된 거리(dx)와 중심파장변위량(dλ)사이의 관계를 나타내는 값을 다음의 식(2)에 의해 계산하면 0.4㎚(중심파장변위량 dλ)/10.21㎛(이동된 거리 dx)로 된다.
dx/dλ=(Lf×△L)/(ns×d×λ0)×ng…(2)
J는 배열된 도파관격자의 중심파장의 온도의존도 0.011㎚/℃에 대하여 위치이동부재(17)의 동판의 영역을 이용하는 필요한 열팽창계수의 길이로써 주어진다.
그러면, 1.65×10-5×(J×103)×(0.4/10.21)=0.011이 얻어진다. 이 식을 이용해서 J를 계산하면(기판(1)의 열팽창은 작은 값이기 때문에), 이 예에서 길이(J)의 계산된 값(Jc)은 17㎜이다.
계산된 값(Jc)에 의거해서, 광전송중심파장의 온도의존도가 5℃∼75℃의 범위에 있을 때의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 특성이 나타내는 것을 시험하기 위해 본 실시예에서는 여러 가지 값이 실제길이(J)(도 1A에 도시된 J)로써 설정된다. 본 발명자들은 (1) J를 계산된 값 Jc(17㎜)로 설정해서 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서가 제조되는 경우, (2) J를 계산된 값 Jc+5㎜(22㎜)로 설정해서 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서가 제조되는 경우, (3) J를 계산된 값Jc-5㎜(12㎜)로 설정해서 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서가 제조되는 경우 등을 시험하였다.
본 발명자들은 상기 시험에 의해 얻어진 데이터 및, 길이(J)와 광전송중심파장의 온도의존도와의 관계를 나타내는 데이터로부터 길이(J)는 광전송중심파장의 온도의존도계수를 거의 0으로 하기 위하여 20㎜로 설정되어야 한다는 것을 발견하였다. 따라서, 배열된 도파관격자는 길이(J)가 20으로 설정되도록 위치이동부재(17)의 길이와 땜납(30)을 형성하기 위한 위치를 결정해서 제조된다. 도 1A에 도시한 길이(E)와 길이(Q)는 각각 60㎜와 5㎜로 설정된다.
상기한 금속막은 다음과 같이 형성된다(도 2A 참조). 먼저, 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 레지스트를 도포한다. 도포된 레지스트를 미리 설정된 패턴을 이용해서 노광하고, 그후 레지스트마스크를 형성하기 위해 현상한다. 이 레지스트마스크를 통해서, 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 있는 각 고정위치(291)(292)에 증착 또는 스퍼터링에 의해 금속막(31)을 형성한다. 금속막(31)은 땜납(30)의 베이스막으로써의 기능을 하고, 도파관형성영역(10)의 앞쪽(유리면)에의 땜납(30)의 부착력을 향상시키기 위해 제공된다. 이 방법은 포토리소그래피를 이용하는 일반적인 반도체제조방법을 채택하고 있으며, 이와 같이 해서 고정밀도의 위치맞춤을 용이하게 달성할 수 있다.
금속막(31)으로써 사용할 수 있는 막의 예로써는 Cr(0.1㎛)과 Cu(0.5㎛)이 순서대로 적층된 것을 포함하는 적층막, Cr(0.1㎛), Ti(0.1㎛), Pt(0.1㎛) 및 Au(0.6㎛)이 순서대로 적층된 것을 포함하는 적층막. 그리고 Ti(0.1㎛), Pt(0.1㎛), Au(0.6㎛)가 순서대로 적층된 것을 포함하는 적층막을 포함한다. 금속막(31)을 형성한 후에, 레지스트마스크를 벗겨내기 위하여 표층벗김(lift-off)이 행하여 지고, 용제를 이용해서 레지스트를 제거한다. 상기 용제는 레지스트만을 용해하고, 예를 들면 용제로써는 아세톤이 적당하다.
본 실시예에 있어서는, 굴절률에 있어서 도파관형성영역(10)과 매칭하는 매칭오일을 교차하는 분할면(8)사이의 공간에 제공할 수 있다. 또, 본 실시예에서는 배열된 도파관격자를 포장하는 하우징패키지에 매칭오일을 채울 수 있다. 만일 하우징패키지에 매칭오일로 채워지지 않는다면, 대신에 교차하는 분할면(8)사이의 공간에 높은 점성을 가진 매칭그리스(matching grease)를 제공해도 된다. 이러한 구성은 고온다습한 환경에서도 습기의 악영향에 대해서 광파회로모듈을 보호하는 것을 가능하게 한다. 또한 그것은 배열된 도파관격자의 교차하는 분할면(8)사이의 공간에 제공된 굴절률매칭시약의 증발을 방지한다. 그러므로, 고온다습한환경에서 수분흡수에 의한 배열된 도파관격자의 크래킹 및 교차하는 분할면(8)에서의 접속손실의 증가를 피할 수 있다.
제 1실시예는 상기한 바와 같이 구성된다. 제 1실시예에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조방법과 관련하여 특정예를 설명한다.
먼저, 도 2A에 도시한 바와 같이, 도 15에 도시한 배경기술의 배열된 도파관격자와 동일한 구조를 가진 배열된 도파관격자(배열된 도파관격자칩)을 준비한다. 교차하는 분할면(8)(18)(본 실시예에서는 교차하는 분할면(8)과 비교차분할면(18))을 포함하는 분할면을 형성하기위한 분할선(80)이 미리 설정된다. 분할면은 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할하기 위한 것이다.
배열된 도파관격자칩을 비교차분할면(18)을 분리하는 선을 따라서 절단한다. 금속막(31)을 배열된 도파관격자칩의 앞쪽에 있는 각 고정위치(291)(292)에 형성한다. 홈을 분할선(80)을 따라 배열된 도파관격자칩의 뒷쪽에 형성한다. 그후, 배열된 도파관격자칩의 뒷쪽을 임시고정영역(32)에 있는 편평한 유리판으로 이루어진 임시고정판(49)에 일시적으로 고정한다.
접착제로써는 예를 들면 "Cemedine Super 5"(상품명)를 배열된 도파관격자칩이 나중에 임시고정판(49)으로부터 쉽게 벗겨질 수 있도록 점으로 원을 그리는 방법으로 각 임시고정영역(32)에 도포한다. 다이싱톱(dicing saw)등에 의해 배열된 도파관격자칩을 절단해서 비교차분할면(18)을 형성한다. 그 폭은 예를 들면 약 100㎛이다. 도 2C에 도시된 바와 같이, 배열된 도파관격자칩의 뒷쪽에 교차하는 분할면(8)의 분할선(80)을 따라서 홈(38)을 형성한다. 이 홈(38)은 예를 들면 약 300㎛의 폭과 약 0.7㎜의 깊이를 갖는다.
배열된 도파관격자칩을 임시고정판(49)에 일시적으로 고정한 후, 도 2B 및 2C에 도시한 바와 같이 홈(37)을 형성한다. 홈(37)은 배열된 도파관격자의 앞쪽에 있는 교차하는 분할면(8)의 분할선을 따라서 형성되고, 약 20㎛의 폭을 가진다. 도 2C에 도시된 바와 같이, 홈(37)은, 배열된 도파관격자의 뒷쪽에 형성된 홈(38)과 함께, 교차하는 분할면(8)을 형성한다. 그후 금속막(31)을 형성하기 위한 각 영역에 예를 들면 Sn/Pb(60%/40%)의 땜납(30)을 배치한다.
그후, 동판으로 이루어진 위치이동부재(17)를 도 3A에 도시한 위치에 설정하는 동안 땜납(30)이 용융되고, 그에 의해 땜납(30)으로 위치이동부재(17)을 도파관형성영역(10)에 고정한다. 땜납(30)은 금속막(31)을 위치이동부재(17)에 단단히 접착시키기 위해 사용된다. 예를 들면 열판을 사용해서 배열된 도파관격자를 230℃까지 가열해서 땜납(30)을 용융시킨다.
그후, 임시고정판(49)에 일시적으로 고정된 상기한 구성의 배열된 도파관격자칩을 도 3B에 도시한 임시고정판(49)로부터 벗겨내기 위하여 아세톤에 침지한다. 이때 도파관형성영역(10)은 교차하는 분할면(8)과 비교차하는 분할면(18)에 의해 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할된다.
다음에 배열된 도파관격자에 광파이버어레이(21) 및 (22)(도 1A)를 접속한다. 광파이버어레이(21) 및 (22)에는 각각 광파이버(23) 및 (24)(도 4)가 제공된다. 광파이버(23) 및 (24)는 그 코어가 배열된 도파관격자의 광입력도파관(2)의코어와 배열된 도파관격자의 광출력도파관(6)의 코어에 각각 결합되도록 정렬된다. 제 1실시예에 있어서 클립(19a)은 도파관형성영역(10b)와 기판(1)을 그 밑에서 베이스(9)에 고정한다. 실리코판(35)은 제 1도파관형성영역(10a)와 제 2도파관형성영역(10b)사이에 있는 경계영역의 뒷쪽(기판(1)의 뒷쪽)과 접촉하도록 배열된다. 클립(19b)은 제 1도파관형성영역(10a)이 슬라이딩될 수 있도록 실리콘판(35)을 고정한다. 실리콘판(35)은 도파관형성영역(10)의 뒷쪽 또는 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 제공된다.
배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 도 4에 도시된 바와 같이 하우징패키지(16)내에 내장된다. 배열된 도파관격자는 베이스(9)의 구멍(15)을 이용하여 하우징패키지(16)에 고정된다. 그후 하우징패키지(16)는 매칭오일로 채워지고 단단히 밀봉된다.
제1 실시예에 따르면, 위치이동부재(17)는 온도의 변화에 의해 교차하는 분할면(8)을 따라 제 1도파관형성영역(10a)을 슬라이드시킨다. 이 슬라이딩은 배열된 도파관격자의 광전송중심파장의 온도의존도를 보상하기 위한 것이다. 더우기, 위치이동기구는 그 일단부를 제 1도파관형성영역(10a)에 위치시키고, 타단부를 제 2도파관형성영역(10b)에 위치시키도록 배열된 위치이동부재(17)로 이루어지고, 장치의 전체구조를 단순화한다. 따라서 장치의 코스크가 적하하고 생산성이 향상된다.
본 제 1실시예는 상기한 제조방법을 채택하고 있다. 이 제조방법에 따르면, 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)와 제 2도파관형성영역(10b)로분할하는 분할선(80)이 미리 설정된다. 위치이동부재(17)는 그 일단부가 제 1도파관형성영역(10a)에 그리고 타단부가 제 2도파관형성영역(10b)에 고정되도록 고정된다. 도파관형성영역(10)은 그후 임시고정판(49)로부터 벗겨짐으로써 분할선(80)을 따라 제 1도파관형성영역(10a)와 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할된다. 그러므로, Y방향에 있어서의 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)의 상대위치는 분할전후에 있어서 동일하다. 이와 같이, 본 실시예에 따르면, 배열된 도파관격자칩의 분할이전의 광전송특성은 분할후에도 유지할 수 있고, 삽입손실을 저하시킨다.
본 발명자들은 배열된 도파관격자의 온도가 5℃에서 75℃로 변화할 때 삽입손실의 증가가 발생하는 지를 평가하기 위하여 제 1실시예의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 시험하였다. 이 시험의 결과, 삽입손실은 거의 증가가 없는 것처럼 생각될 수 있는 0.2dB만큼 증가한다는 것이 발견되었다.
본 제 1실시예에 따르면, 위치이동부재(17)는 금속막(31) 및 땜납(30)을 통해서 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 고정된다. 그러므로, 위치이동부재(17)를 도파관형성영역(10)에 고정하기 위해 접착제가 사용되는 경우와는 다르게, 땜납(30)은 설계된 패턴의 밖으로 흐르지 않고 내부에 유지되며, 위치이동부재(17)는 도파관형성영역(10)에 설계된 바와 같이 정확하게 고정될 수 있다. 이것은 배열된 도파관격자의 광전송중심파장의 온도의존도의 보상정확도가 높은 배열된 도파관격자를 제조하는 것을 가능하게 한다.
또, 본 제 1실시예에서, 클립(19a)은 제 2도파관형성영역(10b)과 기판(1)을그 밑에서 클램프한다. 그러므로 제 2도파관형성영역(10b)은 베이스(9)의 열팽창에 의해서 거의 영향을 받지않고, 도파관형성영역(10b)에 대하여 도파관형성영역(10a)를 더욱 정확하게 슬라이딩시키는 것을 가능하게 한다. 이것은 배열된 도파관격자의 온도의존성을 제거한다.
본 제 1실시예에서는, 교차하는 분할면(8)사이의 공간에 매칭오일을 제공해도 되며, 배열된 도파관격자는 매칭오일로 채워진 하우징패키지(16)내에 내장된다. 그러므로, 상술한 바와 같이, 고온다습한 환경에서도 삽입손실의 증가를 피할 수 있는 우수한 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조할 수 있다. 또, 내습특성에 취약한 배열된 도파관이라하더라도 수분흡수에 의한 배열된 도파관격자의 크래킹이 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
도 6A 및 6B는 본 발명에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제 2실시예의 주요부의 구성을 나타내고 있다. 도 6A는 본 실시예의 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 평면도이고, 도 6B는 광파이버(24)와 광파이버어레이(22)없이, 도 6A에서 오른쪽으로부터 본 측면도이다.
제2 실시예는 제 1실시예와 거의 동일한 방법으로 구성된다. 그러나 제 2실시예는 제 1실시예의 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)사이의 경계영역에 있는 실리콘판(35)을 제거하고 있다는 점에서 제 1실시예와 다르다.
제 2실시예에 있어서의 위치이동부재(17)는 비교차분할면(18)과 일치하도록 형성된 홈(50)을 가진다. 제 2실시예에 의한 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 방법의 예가 도 7A∼8D에 도시되어 있다.
도 6A∼8D에 도시한 치수(E)∼(U)는 예를 들면 제 2실시예에서 다음과 같다;
E=60㎜, F=1㎜, G=2.5㎜, H=K=5㎜, J=20㎜, P=30㎜, Q=5㎜, R=5㎜, S=1㎜, T=25㎜, U=10㎜.
제 2실시예의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 데 있어서, 도 7A에 도시한 바와 같은 배열된 도파관격자칩을 준비한다. 분할선(80)도시되지 않음)을 제 1실시예에서와 유사한 방법으로 상기 칩에 설정하고, 금속막(31)(도 7A에 도시되지 않음)을 위치이동부재(17)의 각 단부에 대하여 그 위에 형성된다. 그후 땜납(30)을 도 7B에 도시한 바와 같이 각 금속막(31)에 형성한다.
그후, 도 8A 및 도 8B에 도시한 바와 같이, 위치이동부재(17)를 그 일단부가 제 1도파관형성영역(10a)에 위치하고, 타단부가 제 2도파관형성영역(10B)에 위치하도록 땜납에 의해 고정한다.
도 8C 및 8D에 도시한 바와 같이, 교차하는 분할면(8)에 있어서 도파관형성영역(10a)와 도파관형성영역(10b)사이의 거리(교차하는 분할면(8)사이의 거리)약 25㎛로 되고, 비교차분할면(18)에 있어서의 도파관형성영역(10a)와 도파관형성영역(10b)사이의 거리(비교차분할면(18)사이의 거리)는 약 100㎛로 되도록 판을 선택한다. 다이싱톱 등에 의해 분할선(80)을 따라 칩을 절단하고, 이에 의해 교차하는 분할면(8)과 비교차분할면(18)을 형성하고, 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)로 분할한다.
이러한 제조방법에 의해, 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 경우에 있어서는, 교차하는 분할면(8)과 비교차분할면(18)을 형성하는 데 있어서는, 교차하는 분할면(8)과 비교차분할면(18)을 형성하는 데 있어서 분할의 처음으로부터 시작해서 크랙이 발생할 수 있다. 그러나, 제 1실시예에서와 같이 교차한느 분할면(8)을 형성하는 동안 배열된 도파관격자가 임시고정판(49)에 일시적으로 고정되고, 그후 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할한다면, 크랙은 완전히 피할 수 있다.
제 2실시예에 있어서는 홈(50)이 위치이동부재(17)에 형성된다. 그러나, 홈(50)을 형상하는 것이 항상 요구되는 것은 아니고, 그것을 생략해도 된다. 홈(50)은 위치이동부재(17)가 땜납에 의해 고정된 후 다이싱톱 등을 사용하여 도파관형성영역(10) 및 기판(1)의 절단작업을 용이하게 한다.
제2 실시예는 상기한 바와 같이 구성되며, 제 1실시예와 거의 동일한 효과를 가진다.
제 2실시예는 제 1실시예에서 형성되는 실리콘판(35)을 생략하고 있기 때문에, 제 1실시예에 비해서 제 1 및 제 2도파관형성영역(10a) 및 (10b)이 기판(1)의 면에 수직방향으로 그 위치가 이동하는 것을 방지하는 데에 약간 덜 효과적이다.
그러나, 제 2실시예는 그 일단부가 제 1도파관형성영역(10a)에 고정되고, 타단부가 제 2도파관형성영역(10b)에 고정되도록 위치이동부재(17)를 배열함으로써 위치이동에 관하여 상기한 방지효과를 제공한다. 제 2실시예는 배열된 도파관격자의 온도가 5℃에서 0.8dB로 변화할 때의 삽입손실의 증가를 0.8dB로 제한하는 데에 성공적이라는 것이 본 발명자들에 의해 발견되었다.
제 2실시예에 의한 3개의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 것에 의해, 본 발명자들은 상기 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 광전송중심파장의 온도의존도를 시험하였다. 도 9는 그 결과를 나타낸다. 도 9에 의해 제2 실시예에 의한 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 광전송파장의 온도의존성을 거의 발견할 수 없는 온도와는 독립된 광학멀티플렉서/디멀티플렉서라는 것을 확인할 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 뱅려된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제3 실시예의 주요부의 구성을 나타낸다. 제3 실시예는 제 1실시예와 거의 동일한 방법으로 구성된다. 그러나, 제 3실시예는 비교차분할면(18)의 형성없이 교차분할면(8)만 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할하기 위하여 사용되고, 위치이동부재(17)가 제 1및 제 2도파관형성영역(10a) 및 (10b)사이의 경계영역의 앞쪽에 제공된다는 점에서 제 1실시예와 다르다. 도 10에 도시되어 있지는 않지만, 제 3실시예에 있어서도 역시, 베이스(9)가 제공되고, 제 2도파관형성영역(10b)이 클립(19a)에 고정된다.
제 3실시예의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 데 있어서, 도 11A에 도시된 바와 같이, 분할선(80)을 설정하고, 위치이동부재(17)의 각 단부에 대해서 금속막(31)을 형성한다. 그후 도 11B에 도시된 바와 같이, 예를 들면, 약 20㎛의 폭과 약 0.2㎜의 깊이를 갖는 홈(37)을 도파관형성영역(10)에 형성한다. 위치이동부재(17)를 땜납(도시되지 않음)에 의해 막의 앞쪽에 있는각 금속막(31)에 그의 각 단부에서 고정한다. 위치이동부재(17)를 그 일단부를 제 1도파관형성영역(10a)에 타단부를 제 2도파관형성영역에 설정하는 방법으로 고정한다. 그후 예를 들면 약 300㎛의 폭을 갖는 홈(38)을 교차하는 분할면(8)을 형성하기 위해 배열된 도파관격자칩의 뒷쪽에 형성한다.
제 3실시예도 역시 제 1실시예와 동일한 효과를 제공할 수 있고, 배열된 도파관격자의 온도가 5℃로부터 75℃로 변화할 때의 삽입손실의 증가를 0.2dB로 억제하는 데 있어서 성공적이다.
주목해야할 점은 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 여러가지 변형을 채택할 수 있다는 것이다. 예를 들면, 상술한 실시예에서 위치이동부재(17)는 동판으로 형성되는 것으로 기재되어 있다. 그러나, 위치동부재(17)를 형성하기 위해 동이외의 금속재료를 사용해도 되고, 금속이 아니고 도파관형성영역(10)보다 열팽창계수가 큰 재료를 사용해도 된다.
상기한 실시예에서 채택된 제조방법도 역시 변형될 수 있고, 금속막(31)은 다음과 같이 형성해도 된다. 먼저, 도파관형성영역(10)의 앞쪽의 영역에 금속막(31)을 형성하며, 상기 영역은 땜납(30)을 형성하기 위한 영역을 포함한다. 그후, 설정된 패턴을 사용해서 노광 및 현상, 즉 포토리소그래피를 행하기 위하여 레지스트를 그곳에 도포한다. 에칭(반응이온에칭법 또는 습식에칭법)에 의해 금속막(31)을 제거하고, 땜납(30)을 형성하기 위한 영역만을 남긴다. 그후 그것을 상기에 언급한 용제 또는 산소플라즈마속에 침지해서 레지스트를 제거한다.
상기한 실시예에서 채택한 제조방법과 유사한 이러한 방법에 의해금속막(31)을 형성하면, 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 있는 미리 설정된 패턴의 땜납(30)을 형성하기 위한 영역에 금속막(31)을 정확하게 형성할 수 있다. 그후, 금속막(31)의 크기와 거의 동일한 크기를 갖는 땜납칩을 상기한 실시예와 같은 방법으로 각 금속막(31)에 위치시킨다. 이와 같이 해서, 위치이동부재(17)를 도파관형성영역(10)에 땜납으로 고정한다. 나머지의 제조방법은 앞서 설명한 실시예의 제조방법을 따른다. 이러한 방법으로 제조된 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 상기한 실시예의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서와 동일한 효과를 갖는다. 고정하는 땜납으로 사용되는 땜납(30)을 금속막(31)의 전체면에 고정해도 된다. 만일 땜납(30)이 금소막(31)의 영역내에 완전히 함유되지 않아도 불편함은 없다.
본 발명에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서의 위치이동부재(17)의 땜납고정용으로 사용되는 땜납(30)의 재료는 앞서 설명한 실시예에서 언급한 것에 한정되는 것은 아니고, 적당히 선택된다.
상기한 실시예에서 위치이동부재(17)는 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 설치된다. 그러나, 상기 위치이동부재(17)는 기판(1)의 뒷쪽에 설치되어도 된다. 배열된 도파관격자는 광회로의 상호관계를 이용하여 형성된다. 그러므로, 상기한 실시예에서 2로 분할되는 것은 제 1슬립도파관(3)일지라도, 대신에 제 2슬립도파관(5)이 분할되어도 된다. 제 2슬랩도파관(5)이 2로 분할되면, 분할된 슬랩도파관의 하나 또는 양쪽이 광전송중심파장의 온도의존도를 적게하는 방향으로 교차하는 분할면(8)을 따라 위치이동부재(17)에 의해 슬라이딩된다. 이러한 구성에 의하면 역시 상기한 실시예와 동일한 효과를 제공하고, 광전송중심파장의 온도의존도의 변화를 제거한다. 제 1슬랩도파관(3) 또는 제 3슬랩도파관(5)의 교차하는 분할면(8)은 상기한 실시예에서와 같이 X축에 거의 평행한 면에 한정되는 것은 아니다. 상기 면은 X축에 경사져도 된다. 분할면은 분할되는 슬랩도파관을 통해서 전파하는 광의 루트와 교차하면 충분하다.
상기한 실시예에 따른 배열된 도파관격자의 도파관구조에 있어서 복수의 광입력도파관(2)이 제공된다. 그러나, 제공되는 광입력도파관(2)의 수는 하나이어도 된다.
상기한 실시예에서 도파관형성영역(10b)은 클립(19a)에 의해 베이스(9)에 고정되었지만, 베이스(9)에 도파관형성영역(10b)를 고정하기 위해 클립(19a)이외의 클랩프부재를 사용해도 된다. 베이스(9)에 도파관형성영역(10a)의 주변부를 클램프하고, 그후 교차하는 분할면(8)을 따라 도파관형성영역(10b)을 이동시킴으로써 도파관형성영역(10a)와 (10b)의 역할을 역으로 하는 것도 가능하다.
상기한 실시예에서, 위치이동부재(17)는 그 일단부가 제 1도파관형성영역(10a)에서 고정되고, 타단부가 제 2도파관형성영역(10b)에서 고정되도록 배치되어 있다. 위치이동부재(17)는 도 12A 및 도 12B에 도시된 바와 같이 배치할 수도 있고, 여전히 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 삽입손실을 제어한다. 도 12A 및 도 12B에 있어서, 위치이동부재(17)는 일단부가 베이스(9)에 놓이고, 타단부가 제 1및 제 2도파관형성영역(10a)및 (10b)의 하나 또는 양쪽위에(도 12(a), 12(b)에 있어서의 제 1도파관형성영역(10a)위에)놓이도록배치된다. 이러한 구성은 다음의 제조방법에 의해서 얻어진다.
배열된 도파관격자칩은 석영판 등으로 형성되고, 도 13A에 도시한 바와같이 U자형상을 한 베이스(9)위에 위치한다. 분할선(80)은 미리 설정된다. 제 2도파관형성영역(10b0만이 열경화성접착제 등을 이용해서 베이스(9)에 고정된다. 그후, 도 13B 및 13C에 도시된 바와 같이, 위치이동부재(17)는 그 일단부를 제 1도파관형성영역(10a)위에 고정하고, 타단부를 베이스(9)에 고정하도록 고정된다. 그후 도파관형성영역(10)은 분할선(80)을 따라서 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)으로 분할된다.
이러한 구성은 교차하는 분할면(8)에 있어서 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)사이의 거리를 유지한다. 그러므로, 도파관형성영역(10)이 분할되기 이전의 광전송특성이 분할후에도 유지될 수 있다.
도 12A∼12D에 도시되지는 않았지만, 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)사이의 경계영역에 있는 도 1A에 도시된 실리콘판(35)과 같은 위치이동방지부재를 포함해도 된다. 이러한 위치이동부재방지부재를 설치함으로써 Z방향에 있어서의 제 1도파관형성영역(10a)과 제 2도파관형성영역(10b)의 상대위치의 견지에서의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이와 같이 구성된 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서는, 본 발명자들은 배열된 도파관격자의 온도가 5℃로부터 75℃로 변화하면 삽입손실은 0.5dB만큼 증가된다는 것을 발견하였다.
상기한 제조방법이 적용된 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서, 베이스(9)의 구조는 특히 한정되는 것은 아니다. 그러나, 상기한 바와 같이 U홈(40)을 형성하기 위해 얻어진 U자형의 베이스(9)는 분할선(80)을 따라서 배열된 도파관격자를 분할하는 것을 용이하게 한다.
도 12B에 도시한 위치이동부재(17)에 비해서, 도 12A에 도시된 위치이동부재(17)는 제 1도파관형성영역(10a)이 얼마나 멀리 이동되는지의 정확한 제어를 위해서 더욱 적합하다. 이것은 도 12B에 도시된 구조에서는 접착제(13)가 위치이동부재(17)의 세로방향으로 그 설계된 위치로부터 안으로 제어할 수 없을 정도로 흐르지만, 도 12A에 도시된 구조에서의 접착제(13)에 관해서는 그렇지 않기 때문이다. 도 12B의 구성에서의 흐르는 접착제(13)는, 제 1도파관형성영역(10a)을 이동시키도록 기능하는 위치이동부재(17)의 길이방향으로의 길이(J')를 제 1도파관형성영역(10)을 정확하게 이동시키기 위해 필요한 길이(J)보다 더 짧게할 수 있다. 도 12A의 구성은 접착제(13)의 자유로운 흐름을 방지할 수 있고, 이와 같이 해서 위치이동부재(17)를 더욱 정확하게 고정할 수 있다.
따라서, 본 발명에 있어서는, 도 12A의 구성을 가진 위치이동부재(17)를 사용하고, 이 위치이동부재(17)를 상기한 실시예에서와 같이 도파관형성영역(10)의 앞쪽에 또는 기판(1)의 뒷쪽에 금속막(31) 및 땜납(30)을 개재해서 위치이동부재(17)를 고정하는 것이 바람직하다.
관통구멍(25)은 도 14A에 도시된 바와 같이, 제 1슬랩도파관(3)과 제 2슬랩도파관(50(도 14A에서의 제 1슬랩도파관(31))의 하나 또는 양쪽과 교차하는 교차하는 분할면(8)이 도파관형성영역(10)의 일단부에서 시작하여 그 중간부까지 연장하는 구성에서 형성되어도 된다. 도 14A 및 도 14B에 도시된 바와 같이, 관통구멍(25)((25a) 및 (25b))은 도파관형성영역(10)(여기에서는 영역(10b))을 그 앞쪽으로부터 관통하여 기판(1)에 도달해서 교차하는 분할면(8)사이의 공간과 비교차분할면(18)사이의 공간에 각각 접속한다.
관통구멍(25a) 및 (25b)은 도파관구조가 형성된 영역의 외부에 형성된다. 관통구멍의 측벽은 평탄한 면을 가진다. 도 14A 및 도 14B에 예시된 예에 있어서, 관통구멍(25a)은 X-Y평면에서 4각형상을 가진다. 4각형상의 각 변은 약 4㎜이고, 그것의 각 코너는 0.5㎜의 곡률반경을 가진다. 관통구멍(25b)은 X-Y평면에서 역시 원형이어도되며, 그 직경은 2.5㎜이어도 된다.
배열된 도파관 격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 도 14A 및 14B에 도시된 바와 같이 교차하는 분할면(8)사이의 공간 및 비교차하는 분할면(18)사이의 공간과 각각 접속된 관통구멍(25a) 및 (25b)에 의해 보강된다. 만일 예를 들면 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 취급시에 실수로 떨어뜨린다면, 교차하는 분할면(8)과 비교차하는 분할면(18)의 단부의 크래킹 또는 파손에 대하여 그 강도가 강화된다.
도 14A 및 도 14B에 도시한 구조를 가지는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서, 관통구멍(25a) 및 (25b)은 분할선이 설정된 후에 분할선의 선단에 각각 형성해도 된다. 분할선은 교차하는 분할면(8)(여기에서는 교차하는 분할면(8)과 비교차하는 분할면(18))을 포함하는 분할면을 형성하기 위한 것이다. 분할면은 도파관형성영역(10)을 제 1도파관형성영역(10a)과 제 1도파관형성영역(10b)으로 분할하기 위한 것이다. 양자택일적으로, 분할선이 설정되고 금속막(31)이 형성된 후에 관통구멍(25a) 및 (25b)을 형성해도 된다.
도 14A 및 14B에 도시한 구성을 가지는 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서, 관통구멍(25a) 및 (25b)를 형성한 후에 KOH등에 의한 에칭을 이용해서 기판(1)에 구멍을 형성하는 것이 가능하다.
교차하는 분할면(8)과 비교차하는 분할면(18)과 같은 분할면은 상기 실시예모드에 있어서 절단에 의해 형성된다.
그러나 이들 분할면을 형성하기 위하여 벽개법(스플릿오픈)(cleavage method (split-open)) 또는 다른 방법을 사용해도 된다.
본 발명의 제 1양상에 의하면, 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 제조하는 방법에 있어서, 제 1슬랩도파관 및 제 2슬랩도파관의 하나 또는 양쪽은 슬랩도파관중 하나를 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 면에 의해 둘로 분할된다. 도파관형성영역은 분할하는 면에 의해 하나의 분할된 슬랩도파관을 포함하는 제 1도파관형성영역과 다른 분할된 슬랩도파관을 포함하는 제 2도파관형성영역으로 분할된다. 분할면을 따라 제 1및 제 2도파관형성영역의 하나 또는 양쪽을 이동시키는 기능을 가진 위치이동부재는 그 일단부가 제 1도파관형성영역에 고정되고, 타단부가 제 1도파관형성영역에 고정되도록 분할전에 고정된다. 그러므로, 분할전의 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역의 상대위치는 분할후에도 거의 동일하다.
본원 발명의 제 2양상에 따르면, 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서의 제조방법에 있어서, 배열된 도파관격자는 베이스에 위치한다. 본 발명의 제 1양상에서와 같이, 도파관형성영역은 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역으로 분할된다. 분할면을 따라 제 1 및 제 2도파관형성영역의 하나 또는 양쪽을 이동시키는 기능을 가진 위치이동부재는 그 일단부가 베이스에 고정되고, 그 타단부가 제 1및 제 2도파관형성영역의 하나 또는 양쪽에 고정되도록 분할전에 고정된다. 그러므로, 분할전의 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역의 상대위치는 분할 후에도 거의 동일하다.
이와 같이 본원 발명의 제조방법을 적용함으로써 제조된 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는, 도파관형성영역이 분할된 후에도 분할전의 광전송특성을 유지할 수 있다.
본원 발명의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 제 1및 제 2슬랩도파관의 하나 또는 양쪽은 도파관을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 교차하는 면에 의해 둘로 분할된다. 교차하는 면은 분할면으로써 기능하며, 도판관형성영역을 하나의 분할된 슬랩도파관을 포함하는 제 1도파관형성영역과 다른 분할선슬랩도파관을 포함하는 제 2도파관형성영역으로 분할한다. 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성영역의 하나 또는 양쪽은 위치이동부재에 의해 분할하는 면을 따라 이동된다. 그러므로, 이동부재의 이동을 이용해서 예를 들면 배열된 도파관격자의 온도변화에 의해 야기되는 배열된 도파관격자의 광전송중심파장의 변화를 보상할 수 있다.
본원 발명에 따른 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 있어서, 위치이동부재가 그 일단부는 제 1도파관형성영역에 고정되고, 타단부는 제 2도파관형성영역에 배치되도록 배치되는 경우에는, 장치의 구조가 단순화되고, 정밀도가 향상한다.
또, 장치의 코스트가 저하하고, 생산성이 증가한다.
본원 발명의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 금속막은 도파관형성영역에 형성되고, 땜납은 금속막을 형성하기 위한 영역의 앞쪽에 형성되며, 위치이동부재는 땜납과 금속막을 개재해서 도파관형성영역에 고정된다. 예를 들면 접촉제에 의해 위치이동부재가 고정되는 경우와는 다르게, 위치이동부재를 접착제가 제어하기 힘들 정도로 흐른다고 하는 염려없이 설계된 대로 정확하게 고정할 수 있다. 이것은 배열된 도파관격자의 광전송중심파장의 높은 온도보상정밀도를 가진 우수한 배열전 도파관격자를 만든다.
본원 발명의 배열된 도파간격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성여역중 하나는 고정되는 반면, 다른 하나는 위치이동부재에 의해 이동된다. 고정된 도파관형성영역은 클램프부재에 의해 클램프되어, 배열된 도파관격자형 멀티플렉서/디멀티플렉서의 베이스에 지지된다. 하나의 도파관영역을 고정하는 것은 다른 도파관형성영역을 원활하게 이동시키는 것을 용이하게 한다.
본원 발명의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 제 1도파관형성영역과 제 2도파관형성여역중 하나는 고정되는 반면, 다른 하나는 위치이동부재에 의해 이동된다. 제 1및 제 2도파관형성영역이 기판면에 수직방향으로 이동하는 것을 방지하기 위한 위치이동방지부재는 제 1도파관형성성영역과 제 2도파관형성영역사이의 경계영역의 적어도 일부에 설치된다.
이와 같이 해서, 제 1및 제 2도파관형성영역은 기판면에 수직방향으로 이동하는 것이 방지된다. 그러므로, 이 위치이동에 의한 삽입손실의 증가는 제어될 수 있다.
본원 발명의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 위치이동부재는 편평한 면을 가진 판형상재로 형성되고, 편평한 면이 도파관형성영역의 앞쪽 또는 기판의 뒤쪽과 접촉하도록 배열된다. 위치이동방지부재는 판형상재를 이용해서 용이하게 형성될 수 있고, 기판면에 수직방향의 제 1 및 제 2도파관형성영역의 위치의 이동을 방지할 수 있다.
위치이동부재가 금속부재인 경우 본원 발명의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서에 따르면, 위치이동부재를 형성하기 위해 큰 열팽창률을 가진 금속부재를 사용한다. 이와 같이 해서, 본원 발명의 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서는 용이하게 제조된다.
본원 발명의 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서.디멀티플렉서에 따르면, 도파관형성영역을 관통해서 기판에 도달하는 관통구멍은 도파관구조 밖의 영역에 있는 도파관형성영역의 앞쪽으로부터 형성된다. 관통구멍의 측벽은 평탄한 면을 가진다. 제1 슬랩도파관과 제 2스랩도파관의 하나 또는 양쪽과 교차하는 분할면은 관통구멍과 통하기 위하여 도파관형성영역의 일단부로부터 시작하여 그 중간부분까지 뻗는다. 이것을 예를 들면 배열된 도파관격자형광학멀티플렉서/디멀티플렉서를 내장하는 모듈을 취급시 실수에 의해 떨어뜨렸을 때 분할면의 단부의 크래킹 또는 파손에 대하여 그 강도를 강화한다.
상기한 설명에 있어서, 위치이동부재(17)는 분할면을 따라 제 1및 제2 도파관형성영역의 하나 또는 양쪽을 이동시키기 위하여 팽창 및 수축하는 동작을 한다. 본 명세서에 있어서, 위치이동부재(17)는 팽창/수축부재로써 동작한다. 그러나, 제 1및 제 2도파관의 하나 또는 서로에 대하여 이동시키는 다른 기구를 상기한 실시예에서와 같이 팽창 및 수축하는 장치대신에 사용할 수 있다는 것은 당업자에게는 명백한 것이다. 하나의 특정예로써, 감지된 온도에 의거해서 서로에 대하여 제 1및 제 2도파관의 하나 또는 양쪽을 이동시키기 위하여 스텝핑모터를 사용하는 것이 가능하다. 본 발명의 중요한 특징중의 하나는 제 1및 제 2도파관의 하나 또는 양쪽이 서로에 대하여 이동된다는 것이고, 이러한 이동을 유도할 수 있는 다른 기구도 본 발명의 범위내에서 가능하다.
명백히, 상기한 내용에 비추어서 본 발명에 대한 여러가지 부가적인 변형 및 수정이 가능하다. 그러므로, 유첨된 청구범위의 범위내에서, 본원 발명은 상기 특정하게 설명된 것외에도 실시될 수 있다.

Claims (22)

  1. 도파관 구성과 적어도 하나의 슬랩 도파관을 형성하기 위한 도파관형성영역을 가진 배열된 도파관 격자를 준비하는 단계와,
    상기 적어도 하나의 슬랩 도파관을 따른 광전파의 루트와 교차하고, 상기 적어도 하나의 슬랩도파관을 제 1 및 제 2의 분할된 슬랩 도파관부분으로 분할하고, 또한 상기 도파관형성영역을 제 1분할 슬랩 도파관부분을 포함하는 제 1도파관형성영역과 제 2분할 슬랩 도파관을 포함하는 제 2도파관형성영역을 포함하는 제 2도파관형성 영역으로 분할하는 분할평면을 판별하기위한 분할선을 설정하는 단계와,
    상기 제 1도파관형성영역에 제 1단부를 고정시키고, 상기 제 2도파관형성영역에 제 2단부를 고정시키기 위해 위치이동부재를 고정시키는 단계와,
    상기 도파관형성영역을 상기 분할선을 따른 상기 제 1도파관형성영역과 상기 제 2도파관형성영역으로 분할하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 배열된 도파관격자 광학 멀티플렉서 및 디멀티플렉서의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 분할선을 설정하는 단계이전에 베이스상에 상기 배열된 도파관을 위치시키는 단계를 또 구비한 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학멀티플렉서 및 디멀티플렉서의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬랩 도파관은 제 1및 제 2슬랩 도파관을 포함하고, 상기 준비된 배열된 도파관격자는 또한
    나란히 배열된 하나 이상의 입력도판관과 ;
    상기 광입력도파관의 출력단부에 접속된 상기 제 1슬랩도파관과 ;
    상기 제 1슬랩 도파관의 출력단부에 접속되고, 소정의 길이를 가지고 나란히 배열되어 상기 제 1슬랩도파관을 통해 전파된 광을 전송하는 복수의 체널도파관을 포함하는 배열된 도파관과 ;
    상기 배열된 도파관의 출력단부에 접속된 상기 제 2슬랩도파관과 ;
    나란히 배열되고 상기 제 2슬랩도파관의 출력단부에 접속된 하나이상의
    출력도파관
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 배열된 도파관 격자 광학멀티플렉서 및 디멀티플렉서의 제조방법.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 분할선을 설정하는 단계이전에 베이스상에 상기 배열된 도파관격자를 위치시키는 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  5. 도파관구조를 형성하기 위해 구성되고, 적어도 하나의 슬랩도파관을 포함하며,
    상기 적어도 하나의 슬랩도파관은 상기 적어도 하나의 슬랩도파관을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 분할면에 의해 2로 분할되어 제 1 및 제 2분할 슬랩도파관영역을 형성하고, 상기 도파관형성영역은 상기적어도 하나의 슬랩도파관을 분할하는 분할면에의해 상기 제 1분할슬랩도파관을 포함하는 제 1도파관형성영역과 상기 제 2분할 슬랩도파관을 포함하는 제 2도파관형성으로 분할되는 것을 특징으로 하는도파관형성영역과,
    상기 제 1도파관형성영역에 제 1단부가 고정되고, 상기 제 2도파관 형성영역에 제 2단부가 고정되며, 상기 분할평면을 따라 상기 제 1도파관형성영역과 상기 제 2도파관형성영역을 이동시키도록 구성된 위치이동부재로 이루어진 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학 멀티플렉서/디멀티플렉서.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 위치이동부재는 팽창, 수축하는 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  7. 제 5항에 있어서, 위에 상기 배열된 도파관격자가 위치한 베이스를 또 구비한 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  8. 제 5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬랩도파관은 제 1및 제 2슬랩도파관을 포함하고, 또,
    나란히 배열된 하나 이상의 광입력도파관과 ;
    상기 광입력도파관의 출력단부에 접속된 상기 제 1슬랩도파관과 ;
    상기 제 1슬랩도파관의 출력단부에 접속되고, 소정의 길이를 가지고 나란히배열되어 상기 제 1슬랩도파관을 통해 전파된 광을 전송하도록 구성된 배열된 도파관과,
    상기 배열된 도파관의 출력단부에 접속된 상기 제 2슬랩도파관과 ;
    나란히 배열되어 상기 제 2슬랩도파관의 출력단부에 접속된 하나 이상의 광입력도파관
    을 구비한 것을 특징으로 하는 배열된 도파관격자광학 멀티플렉서/디멀티플렉서.
  9. 제 5항에 있어서, 상기 도파관형성영역에 형성된 금속막과, 상기 금속막위에 형성된 땜납을 또 구비하고,
    상기 위치이동부재는 상기 납과 상기 금속막을 개재해서 상기 도파관형성영역에 고정되는 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 제 1도파관형성영역과 상기 제 2도파관형성영역 중 하나는 고정된 반면, 다른 것은 상기 위치이동부재에 의해 이동되며, 클램프부재를 또 구비한 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자형광학 멀티플렉서/디멀티플렉서
  11. 제 5항에 있어서, 상기 제 1도파관 형성영역과 상기 제 2도파관형성영역 중 하나는 고정된 반면, 다른것은 상기 위치이동부재에 의해 이동되며,
    상기 제 1도파관형성영역과 상기 제 2도파관형성영역사이의 경계영역의 적어도 일부에 형성되고, 상기 제 1및 제 2도파관형성영역이 기판면에 수직방향으로 이동하는 것을 방지하도록 구성된 위치이동 방지부재를 또 구비한 것을 특징으로 하는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/ 디멀티플렉서.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 위치이동부재는 편평한 면을 가진 판형상재료로 형성되고, 상기 편평한 면이 상기 도파관형성영역의 앞쪽 또는 상기 기판의 뒷쪽과 접속하도록 배열된 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자형 광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  13. 제 6항에 있어서, 상기 위치이동부재는 금속부재인 것을 특징으로하는 배열된 도파관 격자형광학멀티플렉서/ 디멀티플렉서.
  14. 제 5항에 있어서, 상기 도파관형성영역을 관통해서 기판에 도달하고, 상기 도파관구조의 밖의 영역에 있는 상기 도파관형성영역에 형성된 관통구멍을 또 구비하고,
    상기 관통구멍의 측면은 평탄한 면을 가지고, 상기 적어도 하나의 슬랩도파관과 교차하는 상기 분할면은 상기 도파관형성영역의 일단부에서 시작하여 상기 관통구멍과 접속되도록 연장되는 것을 특징으로 하는 배열된 도파관격자형 광학 멀티플렉서/디멀티플렉서.
  15. 도파관구조를 형성하고, 적어도 하나의 슬랩도파관수단을 포함하는 도파관형성수단과
    상기 분할수단을 따라 상기 제 1도파관형성영역수단과 상기 제 2도파관형성영역 수단 중 적어도 하나를 이동시키는 위치이동수단을 구비하고,
    상기 적어도 하나의 슬랩도파관수단은 상기 적어도 하나의 슬랩도파관수단을 따라 전파하는 광의 루트와 교차하는 분할수단에 의해 둘로 분할되어, 제 1및 제 2분할슬랩도파관을 수단을 형성하고, 상기 도파관형성수단은 상기 적어도 하나의 슬랩도파관수단을 제 1분할슬랩도파관수단을 포함하는 제 1도파관형성영역수단과 제 2분할 슬랩도파관수단을 포함하는 제 2도파관형성영역수단으로 분할하는 분할수단에 의해 분할되는 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자 광학 멀치플렉서/디멀티플렉서.
  16. 제 15항에에 있어서, 상기 위치이동수단은 팽창하고 수축하는 것을 특징으로하는 도파관격자 광학 멀티플렉서/디멀티플렉서.
  17. 제 15항에 있어서, 위에 상기 배열된 도파관격자를 위치시키는 베이스수단을 또 구비한 것을 특징으로하는 도파관격자광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  18. 제 15항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬랩도파관수단은 제 1및 제 2 슬랩도파관수단을 포함하고,
    광입력도파관수단과, 상기 광입력도파관수단의 출력단부에 접속된 상기 제 1슬랩도파관수단과, 상기 제 1슬랩도파관을 통해 전파된 광을 전송하는 상기 제 1슬랩도파관수단의 출력단부에 접속된 배열된 도파관수단과, 상기 배열된 도파관수단의 출력단부에 접속된 상기 제 2 슬랩도파관수단과, 상기 제 2슬랩도파관수단의 출력단부에 접속된 광출력 도파관수단을 또 구비한것을 특징으로하는 도파관격자 광학멀티플렉서/디멀티플렉서.
  19. 제 15항에 있어서, 상기 도파관형성수단에 형성된 금속막수단과, 상기 금속막수단위에 형성된 땜납수단을 구비하고,
    상기 위치이동수단은 상기 땜납수단 및 상기 금속막수단을 개재해서 상기 도파관형성수단에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 배열된 도차관격자 광학멀티플렉서/ 디멀티플렉서.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 베이스수단에 상기 제 1및 제 2도파관형성영역수단중 하나를 클랩프하는 클랩프수단을 또 구비한것을 특징으로하는 배열된 도파관격자형 광학 멀티플렉서/ 디멀티플렉서.
  21. 제 19항에 있어서, 상기 제 1및 제 2도파관형성 영역수단이 기판면에 수직 방향으로 이동하는 것을 방지하는 위치이동방지수단을 또 구비한 것을 특징으로하는 배열된 도파관격자형 광학 멀티플렉서/디멀티플렉서.
  22. 제 19항에 있어서, 상기 도파관형성영역을 관통하여 기판에 도달하게하기 위한 관통구멍을 또 구비하고,
    상기 적어도 하나의 슬랩도파관수단과 교차하는 상기 분할수단은 상기 도파관형성영역수단의 일단부로부터 시작되어 상기 관통구멍수단에 의해 접속되도록 연장되는 것을 특징으로 하는 배열된 도파관격자형 광학 멀티플랙서/디멀티플랙서.
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