KR100350660B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 제조 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법에 관한 것이며, 고정세화 및 대형화가 가능하고, 생산단가가 높지 않으며, 전극 패턴 이상의 수정이 용이한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 발명은 DFR(dry film resist) 패터닝법을 사용하여 통상의 인쇄법에서 사용되고 있는 저가의 Ag 페이스트(paste)의 사용이 가능하도록 함으로써 생산단가를 낮추고, Ag 페이스트의 분사/건조/연마를 통해 전극 패턴의 이상(단선, 단락)이 발생한 경우 공정 진행 중에 용이하게 수정이 가능하도록 하였다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법{Method for forming electrode in plasma display panel}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 제조 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법에 관한 것이다.

PDP는 기체 방전시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 영상을 표시하는 소자로 기체 방전 표시(gas discharge display) 소자라고도 부른다. PDP는 크게 플라즈마를 형성하기 위해 외부에서 가해주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류가 전극을 통해 직접 흐르는 직류(DC)형과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출이 되지 않아 변위전류가 흐르게 되는 교류(AC)형으로 구분된다. 그리고, 방전 셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형, 격벽 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는 대부분 단색표시 PDP 소자에서 이용되는데, 대표적인 것으로 Ne 가스에서 나오는 오렌지색을 이용한 PDP가 있으며, 풀 칼라(full color) 표시가 요구될 경우, Kr이나 Xe와 같은 방전가스로부터 나오는 자외선이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체를 여기시켜 나오는 가시광을 이용하게 된다. 다양한 평판 디스플레이 중에서도 PDP는 대화면의 구현이 가능한 표시소자로서 주목되고 있으나, 아직까지 휘도와 명암비가 낮고, 구동전압이 타 소자에 비해 높고 전력 소비 효율이 낮으며, 대형화에 따른 제조 공정기술이 까다로워 생산 수율이 낮은 문제점들이 있어 상기의 특성의 개선과 더불어 저가격화가 이루어져야 하는 과제를 안고 있다.

현재 주류를 이루고 있는 3전극 면방전형 AC PDP의 경우, 전면판에는 투명 전극, 버스 전극, 투명 유전체, 유전체 보호막, 블랙 스트라이프(black stripe) 등이 형성되며, 배면판에는 어드레스 전극, 백색 유전체, 격벽 등이 형성된다. PDP에서 색상을 구현하기 위한 형광체는 투과형의 경우는 전면판에, 반사형의 경우는 배면판에 형성된다.

현재, PDP 제조 공정 중 전극 형성을 위해 일반적으로 사용되어지고 있는 방법으로 인쇄법, 감광성 재료를 이용한 포토법, 스퍼터링법 등이 있다. 인쇄법의 경우 생산설비가 간단하고 재료의 이용 효율이 높아 생산비용 면에서 유리하지만 고정세화 및 대형화 측면에서 한계가 있으며, 포토법 및 스퍼터링법은 박막화 및 고정세화가 가능 하지만 생산단가가 높은 단점을 가지고 있다. 또한, 상기의 방법들은 전극의 단선(open), 단락(short)과 같은 문제가 발생하였을 때 복구(repair)가 까다로운 단점을 지니고 있다.

본 발명은 고정세화 및 대형화가 가능하고, 생산단가가 높지 않으며, 전극 패턴 이상의 수정이 용이한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP의 어드레스 전극 형성 공정도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 유리기판 11 : DFR(dry film resist)

12 : 분사 노즐 13 : Ag 페이스트

14 : 연마기 15 : 알칼리성 용액

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 특징적인 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법은, 소정의 하부층 상에 전극 패턴이 음각된 드라이 필름 레지스트를 라미네이팅하는 제1 단계; 상기 제1 단계를 마친 전체 구조 상부에 상기 드라이 필름 레지스트가 매립될 정도로 전극용 페이스트를 도포하는 제2 단계; 상기 전극용 페이스트를 연마하여 상기 드라이 필름 레지스트를 노출시키는 제3 단계; 상기 드라이 필름 레지스트를 제거하는 제4 단계; 및 상기 하부층 상에 잔류하는 상기 전극용 페이스트를 소성하는 제5 단계를 포함하여 이루어진다.

즉, 본 발명은 DFR(dry film resist) 패터닝법을 사용하여 통상의 인쇄법에서 사용되고 있는 저가의 Ag 페이스트(paste)의 사용이 가능하도록 함으로써 생산단가를 낮추고, Ag 페이스트의 분사/건조/연마를 통해 전극 패턴의 이상(단선, 단락)이 발생한 경우 공정 진행 중에 용이하게 수정이 가능하도록 하였다.

이하, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 보다 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예를 소개하기로 한다.

첨부된 도면 도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP의 어드레스 전극 형성 공정을 도시한 것으로, 이하 이를 참조하여 설명한다.

본 실시예에 따른 PDP의 전극 형성 공정은, 우선 도 1에 도시된 바와 같이 배면판용 유리기판(10) 상에 DFR(dry film resist)(11)을 라미네이팅(laminating)하고, 노광 및 현상 공정을 통해 전극의 형태로 패터닝(patterning)한다. 이때, 전극이 형성될 영역이 음각된다.

다음으로, 도 2에 도시된 바와 같이 패터닝된 DFR(11)이 형성된 전체구조 상부에 어드레스 전극 재료인 Ag 페이스트(paste)를 도포한다. 이때, Ag 페이스트의 도포는 분사 노즐(spray nozzle)(12)을 이용하며, 페이스트의 분사는 상온에서 실시한다.

이어서, 도 3에 도시된 바와 같이 도포된 Ag 페이스트(13)를레벨링(leveling) 하고, 건조시킨다.

다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이 연마기(14)를 사용하여 도포된 Ag 페이스트(13)를 연마해 낸다. 이때, Ag 페이스트(13)의 연마는 DFR(11)이 노출될 정도로 실시하는 것이 보통이나, Ag 페이스트(13)의 원하는 높이 즉, 전극 높이를 맞추기 위해서는 DFR(11)이 노출된 이후에도 DFR(11) 및 Ag 페이스트(13)의 연마를 실시할 수 있다.

계속하여, 도 5에 도시된 바와 같이 알칼리성 용액(15)을 사용하여 잔류하는 DFR(11)을 제거하여 어드레스 전극(13)을 형성한다.

이후, 어드레스 전극(13)의 소성을 실시한다.

상기와 같은 공정을 통해 형성된 어드레스 전극(13)은 DFR(11) 패터닝을 통해 형성되었으므로 고정세화를 이루기 용이하며, 고가의 감광성 페이스트를 대신하여 저가의 Ag 페이스트를 사용하므로 재료비의 절감을 이룰 수 있다. 또한 연마 공정을 통해 전극의 두께 균일도를 확보할 수 있으며, DFR(11) 제거 전에 전극 패턴을 미리 검사할 수 있어 단선, 단락과 같은 패턴 이상 발생시 건조된 상태에서 즉시 수정이 가능하게 된다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

예컨대, 전술한 실시예에서는 어드레스 전극을 형성하는 경우를 일례로 들어 설명하였으나, 본 발명은 PDP의 모든 전극 형성시에 적용될 수 있다.

또한, 전술한 실시예에서는 Ag 페이스트를 전극 재료로 사용하는 경우를 일례로 들어 설명하였으나, 본 발명은 Ag 페이스트가 아닌 다른 전도성 페이스트를 전극 재료로 사용하는 경우에도 적용될 수 있다.

본 발명은 DFR 패터닝을 이용하여 PDP의 고정세화가 가능하도록 하며, 저가의 Ag 페이스트를 사용할 수 있어 생산단가를 절감하는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 연마 공정을 통해 전극 두께의 균일도를 향상시킬 수 있으며, DFR 상에서 건조된 전극 패턴을 미리 검사 할 수 있어 전극의 이상 발생시 수정이 용이하기 때문에 수율 향상을 기대할 수 있다.

Claims (5)

1. 소정의 하부층 상에 전극 패턴이 음각된 드라이 필름 레지스트를 라미네이팅하는 제1 단계;

   상기 제1 단계를 마친 전체 구조 상부에 상기 드라이 필름 레지스트가 매립될 정도로 전극용 페이스트를 도포하는 제2 단계;

   상기 전극용 페이스트를 연마하여 상기 드라이 필름 레지스트를 노출시키는 제3 단계;

   상기 드라이 필름 레지스트를 제거하는 제4 단계; 및

   상기 하부층 상에 잔류하는 상기 전극용 페이스트를 소성하는 제5 단계

   를 포함하여 이루어진 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 전극용 페이스트가,

   Ag 페이스트인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.
3. 제2항에 있어서,

   상기 제2 단계에서,

   노즐 분사 방식을 이용하여 상기 전극용 페이스트를 도포하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 제2 단계가,

   상온에서 실시되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 제2 단계 수행 후,

   상기 전극용 페이스트를 레벨링하는 제6 단계와,

   상기 전극용 페이스트를 건조시키는 제7 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.