KR100281621B1

KR100281621B1 - 무리테이너형 구름 베어링

Info

Publication number: KR100281621B1
Application number: KR1019970047973A
Authority: KR
Inventors: 츠기오 마츠시타; 히로시 우노; 카주오 츠루; 노부히토 사카이
Original assignee: 타카미츄 무토; 고요 세이코 가부시키가이샤
Priority date: 1996-09-30
Filing date: 1997-09-22
Publication date: 2001-02-15
Also published as: GB2317656B; GB9719282D0; JP3624998B2; JPH10103361A; GB2317656A; US5904426A; KR19980024828A

Abstract

리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링의 각각의 내부 및 외부 링은 이들의 트랙 표면에 형성된, 불소 함유 합성 수지로된 마모 저항성 고체막을 구비한다. 고체막은 내부 및 외부 링의 윤활에 효과적인, 예를 들면 불소 함유 그리스와 같은 증기압이 낮은 극소량의 그리스를 수용하며, 이들 사이에 구름 요소가 유지되며, 그리고 고체막에 의해 먼지 생성이 억제된다. 그리스의 양은 베어링의 개방 공간 체적의 5％를 초과하지 않는다.

Description

무리테이너형 구름 베어링{NON-RETAINER TYPE ROLLING BEARING}

본 발명은 리테이너를 사용하지 않는 형태의 무리테이너형(non-retainer type) 구름 베어링에 관한 것으로, 특히 외경에 비해 궤도륜의 벽 두께가 얇은 구름 베어링에 관한 것이다.

궤도륜의 벽 두께가 얇은 형태의 구름 베어링은 예를 들면, 여러 가지 종류의 기계의 회전 지지부를 제작하는 데에 비교적 직경이 큰 베어링이 필요한 경우에 사용된다. 그러나, 이러한 형태의 베어링의 경우에는, 특히 베어링 리테이너의 강도가 약하다.

그 결과 베어링이 회전함에 따라, 리테이너가 변형되어, 진원도(眞圓度; roundness)가 낮아져, 내부 궤도륜 또는 외부 궤도륜과 불규칙하게 접촉하는 일이 많이 발생하여, 리테이너가 고르지 못하게 마모되고 또한 마모 먼지를 발생시키게 된다. 이러한 먼지는 청정한 환경에서 제조되어야만 하는 반도체 등의 제조에 악영향을 끼치므로, 전술한 바와 같은 형태의 공지된 베어링은 이와 같은 청정한 환경에서는 사용될 수 없다.

이에 따라, 본 출원인은 리테이너가 설치되어 있지 않아서 베어링의 원주방향으로 인접한 회전체간의 간격이 좁아짐으로써 보다 많은 수의 회전체를 수용할 수 있는 무리테이너형 구름 베어링을 사용할 것을 제안하였다.

그러나, 이와 같이 인접한 회전체들은 그들간의 간격이 보다 좁아짐으로써 상호 간섭하기 쉽다. 이에 따라, 회전체가 마모되기도 하고, 회전체의 미끄러짐에 의해 궤도륜의 궤도면에 마모가 유발되기도 하며, 그리고 회전체들간의 이동 속도가 달라져서 회전체들이 불규칙하게 분포되기도 하며, 또한 회전 토오크가 변동되기도 하는 등의 문제를 초래하는 경향이 있다.

이와 같은 문제점들은 회전체의 수와 치수를 최적의 것으로 선정하는 등, 제조상의 관리를 철저히 할 수 있다면 어느 정도는 개선될 수 있다. 그러나, 이와 같은 제조상의 관리는 매우 번잡하고 어렵다.

따라서, 본 발명의 목적은 제조시 어렵고 번잡한 조건들을 관리할 필요없이 용이하게 제조될 수 있는 무리테이너형 구름 베어링을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 바람직하지 못한 먼지를 거의 발생시키지 않고 윤활성 및 내마모성이 충분히 높은 궤도륜을 구비한 무리테이너형 구름 베어링을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 회전체의 동작의 원활화 등 구름 운동 특성이 향상되는 무리테이너형 구름 베어링을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구름 베어링 상반부의 단면도.

도 2는 도 1의 (2)-(2) 선을 따라 취한 단면도.

도 3은 베어링이 설치된 장치의 평면도.

도 4(a) 및 도 4(b)는 베어링의 내부 궤도륜과 외부 궤도륜에 형성된 고체막의 구조를 도시한 모식도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

A : 구름 베어링

1 : 내부 궤도륜

2 : 외부 궤도륜

3 : 회전체

4 : 세퍼레이터

5 : 고체막

상기 목적들은 기본적으로 궤도륜의 궤도면에 복수 개의 회전체가 유지되어 있고, 상기 궤도면에는 불소 함유 합성수지로 이루어진 고체막이 형성되어 있으며, 이 고체막에는 미량의 저증기압 그리스(grease)가 부착되어 있는 무리테이너형 베어링에 의하여 달성된다.

본 발명의 무리테이너형 베어링에 있어서 리테이너가 마련되어 있지 않다는 것은, 리테이너를 구비하는 공지의 베어링의 단점인 먼지 발생이 없다는 것을 의미한다. 궤도륜의 궤도면에 불소 함유 합성수지의 고체막과 미량의 저증기압 그리스가 존재하므로 궤도면과 회전체간의 마찰에 대한 내마모성이 크게 향상된다. 따라서, 베어링 링과 회전체간의 바람직하지 못한 마모와 이에 따른 먼지 발생이 억제되며 동작의 원활화가 도모된다. 저증기압 그리스는 비산되거나 증발되는 일이 거의 없으며, 고체막의 마모에 의하여 발생되는 먼지를 포획하므로 먼지 발생이 더욱 효과적으로 억제된다.

회전체로는 세라믹 재료로 형성된 볼이면 좋다. 세라믹 재료로 형성되면 볼들의 상호 간섭에 의해 불안정하게 운동하거나 볼들의 미끄러지는 것을 상당히 방지할 수 있기 때문이다. 베어링의 전체 궤도면에 고체막을 형성하고, 세라믹 볼을 사용하면, 이 베어링은 부식 환경에서도 사용하기에도 적합하다.

베어링의 궤도륜은 원주방향으로 서로 인접한 두 개의 회전체 마다 사이에 볼 형상의 복수 개의 무부하 세퍼레이터(separator)를 추가로 포함하는 것이 바람직하다. 세퍼레이터는 회전체가 하중을 받아 서로를 간섭하는 것을 방지하여 베어링의 동작의 원활화를 도모한다.

베어링의 궤도륜은 베어링강과, 마르텐사이트계 스테인레스강, 또는 석출 경화형 스테인레스강으로 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 목적, 특징 및 장점은 후술되는 설명으로 더욱 명확하게 이해될 것이다.

본 발명의 일부로서 바람직한 실시예를 보여주고 있는 첨부 도면은 본 발명의 실시예를 예시함과 아울러 본 발명의 원리를 설명하기 위한 것이다.

모든 도면에서, 동일한 요소들은 동일한 도면 부호로 지시되어 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구름 베어링을 도 1 및 도 2를 참고로 설명하겠다. 베어링(A)은 앵귤러 볼 베어링(angular ball bearing)으로서, 리테이너가 마련되어 있지 않다. 베어링(A)은 내부 궤도륜(1)과, 외부 궤도륜(2)과, 이들 궤도륜에 형성된 궤도면(1a,2a)에서 구름 운동하는 복수 개의 회전체(3)와, 그리고 볼 형상의 복수 개의 세퍼레이터(4)를 포함한다.

내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)은 각기 궤도홈(1b 또는 2b)을 구비하며, 회전체(3)는 상기 궤도홈 내에서 구름 운동한다. 외부 궤도륜(2)은 이것의 궤도륜(2b)의 일측면에 카운터보어(2c)를 구비하여, 회전체(3)를 적소에 배치하는 것을 용이하게 한다. 회전체(3)는 내부 궤도륜(1)및 외부 궤도륜(1,2)의 원주방향으로, 또는 궤도홈(1b,2b)을 따라 서로 일정 간격을 두고 배치된다. 각 세퍼레이터(4)는 두 개의 인접한 회전체(3) 사이에 배치된다. 세퍼레이터(4)는 부하를 받지 않도록 회전체(3)보다 작은 직경으로 형성된다. 내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)의 두께는 베어링의 외경에 비해 얇다.

내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)은 궤도면(1a,2a)을 포함한 전체 표면에 고체막(5)이 형성된다. 내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)의 적어도 일방의 고체막(5)에는 윤활제와 같은 미량의 저증기압 그리스(도시하지 않음)가 부착되어 있다.

내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)은 일본 공업 표준(JIS) 규격 SUJ2의 고탄소 크롬 베어링강으로 형성된다. 이 밖에도, 내부 궤도륜과 외부 궤도륜은 JIS 규격 SUS440C의 마르텐사이트계 스테인레스강, 또는 JIS규격 SUS630의 석출 경화형 스테인레스강을 적절히 경화 열처리하여 얻은 재료로 형성해도 좋다.

회전체(3)는 질화규소를 주성분으로 하는 세라믹 재료로 형성된다. 세라믹 재료는 질화규소(Si₃N₄)를 주성분으로 하고, 소결 보조제로서 알루미나(Al₂O₃) 또는 이트리아(Y₂O₃)를 포함하며, 필요하다면 질화알루미늄(ALN)과, 산화티타늄(TiO₂) 또는 스피넬(MgAl₂O₄)을 추가로 포함할 수도 있다. 이 외에도, 세라믹 재료는, 예를 들면 알루미나(Al₂O₃), 탄화규소(SiC), 지르코니아(ZrO₂), 산화마그네슘(MgO) 그리고 질화알루미늄(AlN)중에서 선택될 수도 있다. 또한, 회전체(3)는 전술한 바와 같은 금속 재료로 형성될 수도 있다.

세퍼레이터(4)는 JIS 규격 SUS440C의 마르텐사이트계 스테인레스강, 또는 JIS 규격 SUS630의 석출 경화형 스테인레스강을 적절히 경화 열처리하여 얻은 재료로 형성될 수도 있다. 세퍼레이터(4)의 직경은 회전체(3)의 직경보다 10 내지 50 미크론 작은 것이 바람직하다.

고체막(5)은 불소 함유 합성수지로 형성된다. 보다 구체적으로 말하면, 예컨대 바인더(binder)로서의 열경화성 합성수지에 불소 함유 합성수지를 분산시켜 형성된다. 특히, 열경화성 수지로서, 이미드-이미드 또는 아미드-이미드 결합[예를 들면, 축합 중합(縮合重合) 반응에 의하여 생성된 폴리이미드 또는 폴리아미드-이미드 수지]을 갖는 수지와 같이 고온에서도 접착 강도가 거의 떨어지지 않으면서 내열성과, 접착성과, 치수 안정성 그리고 내마찰성 및 내마모성이 높은 것을 사용하는 것이 바람직하다. 불소 함유 합성수지로는, 예를 들면 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 또는 ETFE(에틸렌테트라플루오로에틸렌)을 사용하는 것이 바람직하다. PTFE가 사용될 경우, 입자 직경이 2 내지 3 미크론이며 평균 분자량이 1×10⁴내지 5×10⁴인 중합체를 선택하는 것이 바람직하다.

저증기압 그리스로는, 예를 들면 불소 함유 그리스가 있는데, 이 그리스는 베어링의 내부 공간 용적의 5％를 초과하지 않는 미량으로 사용된다. 그리스는 내부 궤도륜(1) 또는 외부 궤도륜(2)의 궤도홈에 도포되며, 베어링이 회전됨에 따라 다른 영역으로도 분산된다.

전술한 바와 같은 고체막(5)과 저증기압 그리스를 함께 사용함으로써, 내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2), 그리고 회전체(3) 사이의 윤활이 현저히 향상되고, 이들의 마찰 및 마모가 현저히 감소된다.

세퍼레이터(4)가 회전체(3)의 상호 간섭을 방지함에 따라, 회전체(3)의 거동이 안정화되며 토오크 변동이 억제되어 베어링의 원활한 동작이 도모된다. 또한, 고체막(5)이나 그리스는 전술한 바와 같은 재료로 제조됨으로써 고체막 자체의 내마모성이 높아지며, 그리스는 쉽게 비산되거나 증발되지 않는다. 더욱이, 고체막(5)에 의하여 발생된 마모 먼지도 그리스에 의하여 포획되므로 그러한 먼지가 비산하는 것도 현저히 감소된다.

따라서, 본 발명을 구체화 한 구름 베어링(A)은 수명이 길며, 진공의 고온 또는 저온의 열악한 환경, 또는 부식 환경에서조차도 우수한 구름 특성을 나타낸다.

이하, PVD 또는 CVD 장치에 있어서 반도체 웨이퍼 등을 운반하는데 사용되는 시스템(50)을 도시한 도 3을 참고로 설명하겠다. 중공축(51)을 중심으로 하여 2개의 모터(52)가 설치되어 있다. 모터(52)의 회전자에는 신축 아암(53)이 부착된다. 신축 아암(53)의 말단부에는 반도체 웨이퍼(54) 등을 탑재하는 운반대(55)가 부착된다. 모터(52)의 회전자와 중공축(51)과의 사이에 레이디얼 구름 베어링(A)이 배치된다.

본 발명은 전술한 실시예로만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 다양한 변형 또는 수정이 가능하다.

1. 본 발명의 실시예를 앵귤러 볼 베어링을 예로 하여 설명하였지만, 본 발명은 다른 종류의 구름 베어링에도 적용 가능하다.

2. 고체막(5)을 내부 궤도륜(1)과 외부 궤도륜(2)에 형성하는 것으로 설명하였지만, 고체막을 회전체(3)와 세퍼레이터(4)에 형성해도 좋다. 고체막(5)을 내부 궤도륜(1) 및 외부 궤도륜(1,2)의 궤도면 뿐만 아니라 외측면에도 형성하는 것으로 설명하였지만, 외측면에 반드시 형성할 필요는 없다.

3. 고체막(5)의 재료는 상기 실시예에서 설명한 것 이외에, 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물로 형성해도 무방하다. 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)은 일반식 -CxF₂x-O-(x는1 내지 4의 정수)으로 표현되는 단위를 주요 구성 단위로 하고 평균 분자량이 수백만 이상으로서, 경화 반응에 의해 분자 사이에 우레탄 결합이 형성된 삼차원 망상(網狀) 구조로 되어 있다.

삼차원 망상 구조는 화학 구조에 관한 표현으로, 고체막의 단면이 망상으로 되어 있는 것이 아니라, 고체막의 분자들 사이가 망상으로 되도록 연속해서 서로 결합되어 조밀하고 균질한 구조로 되어 있음을 의미한다.

이러한 화합물로는 아래의 화학식 1에 도시된 바와 같이 이것의 말단에 이소시아네이트 작용기를 갖는 불소 함유 중합체의 화학 구조를 변경함으로써 얻을 수 있다.

이소시아네이트 작용기를 갖는 불소 함유 중합체로는 퍼플루오로폴리에테르(PFPE) 유도체, 구체적으로 예를 들면 몬테카티니(Montecatini)사의 상품명 폰블린 제트 유도체(FONBLIN Z DISOC 등)가 적합하게 사용될 수 있다.

다음, 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)을 형성하는 방법의 일예를 설명하겠다.

(a) 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)을 형성하기 위하여 준비된 용액에, 베어링 구성 요소[내부 궤도륜(1) 및 외부 궤도륜(2)과 회전체(3)]를 분리 또는 조립된 상태로 침지(浸漬)하여 수차례 회전시킴으로써, 이들 베어링 구성 요소의 전표면에 액상막을 부착시킬 수 있다(부착 처리).

여기에서 사용된 용액은 분자 말단에 이소시아네이트 작용기를 갖는 불소 함유 중합체[폰블린 제트 유도체]를, 그것의 농도가 1질량%가 될 때까지 용매(불소 함유 용매, SV90D)로 희석시킴으로써 얻는다.

(b) 액상막을 부착시킨 베어링(A)을 전체적으로 40 내지 50℃에서 약 1분간 가열시켜, 액상막에 함유된 용매를 제거한다(건조 처리). 막은 여전히 액상이며 유동성이 있다.

(c) 그 후, 예를 들면 100 내지 200℃에서 20 시간 동안 가열한다(경화 처리). 그 결과, 액상막의 화학 구조가 변경되며, 이에 따라 경화 반응에 의해 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)이 형성된다.

특히, 액상막의 불소 함유 중합체의 분자들은 화학식 2 내지 화학식 5로 표현된 바와 같은 4 종류의 경화 반응을 거쳐, 말단의 이소시아네이트기(NCO)가 제거되고, 각 작용기를 갖는 불소 함유 중합체가 우레탄 결합에 의해 함께 결합되어 삼차원 망상 구조를 형성한다.

우레탄 결합은 화학식 2 및 화학식 3으로 표현된 경화 반응의 결과로서 도 4a에 모식적으로 도시된 바와 같이 일차원 가교결합(cross-linkage)을 형성하며, 화학식 4 및 화학식 5로 표현된 경화 반응의 결과로서 도 4b에 모식적으로 도시된 바와 같은 삼차원 가교결합을 형성한다. 도 4a 및 도 4b는 화학식 6으로 표현된 바와 같이, 상기 화학식 1을 단순화하여 모식적으로 도시한 도면이다.

삼차원 망상 구조를 갖는 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)은 피복 대상물 위에 치밀한 피복층을 형성함과 동시에 자가 윤활 특성도 갖고 있다. 따라서, 베어링의 구성 요소들 중 어느 것의 구름 운동 또는 미끄럼 동작 중의 마모 또는 박리에 의해 먼지가 발생되는 것을 억제한다. 또한, 베어링 구성 요소간의 직접 접촉을 방지할 수 있다.

또한, 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)에 대해서 분자들 사이의 우레탄 결합에 의해 형성된 삼차원 망상 구조에, 플루오로폴리에테르와 같은 불소 함유 중합체를 유동 가능하게 분산 첨가한 구조로 형성할 수도 있다. 이 경우, 전술한 성형 방법 중 부착 처리(a)를 위하여 준비될 용액은, 달단에 이소시아네이트 작용기를 갖는 불소 함유 중합체[예를 들면, 상품명 폰블린 제트 유도체(FONBLIN Z DISOC)]와 이소시아네이트 작용기를 갖지 않는 불소 함유 중합체[예를 들면, 상품명 폰블린 제트 유도체(FONBLIN Z-60)]가 적정 비율로 혼합되어 있는 불소 함유 화합물과 같은 혼합액일 수도 있다. 이 경우에는, 작용기를 갖지 않는 불소 함유 중합체가 경화 처리(c) 중에 작용기를 갖는 불소 함유 중합체와 결합하지 않으므로, 이것이 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)의 내부에서 유동 가능하게 되고, 고체막으로부터 새나와 윤활 작용을 할 수 있게 된다.

불소 함유 중합체는 작용기를 갖지 않는 상기 불소 함유 중합체로만 한정되는 것은 아니며, 변형예는 화학식 7 내지 화학식 9로 표현된 작용기를 갖는 불소 함유 중합체에서 선택해도 좋다.

본 발명에 따르면, 고체막과 저증기압 그리스는, 그것들 자체의 먼지 뿐만 아니라 베어링의 궤도륜과 회전체에 의하여 발생되는 마무 먼지를 현저히 감소시킬 수 있으며, 마찰 저항도 낮출 수 있기 때문에 베어링의 먼지 억제 특성과 동작 안정성의 향상에 크게 기여할 수 있다.

본 발명 바람직한 실시예에 따르면, 세라믹제 회전체는 서로 간섭하더라도 먼지를 거의 발생시키지 않는다.

본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 볼 형상의 무부하 세퍼레이터에 의하여, 회전체가 부하를 받아 서로 간섭하는 것을 방지한다. 따라서, 회전체들간의 서로 다른 속도에 의한 불규칙 운동으로 인한 회전체의 미끄러짐 또는 회전체의 고르지 못한 분포를 방지할 수 있어, 베어링의 동작 안정성이 보장된다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 베어링의 궤도륜은 베어링강으로 형성하더라도, 그것의 전표면에 고체막을 형성하면 내식성을 향상시킬 수 있어서가격이 저렴하고 부식 환경에 사용하기에 적합하다.

따라서, 본 발명의 구름 베어링은, 예컨대 반도체 제조 공정과 같이 고정밀도의 가공이 요구되는 곳에서 사용하면, 청정 분위기를 오염시키는 일이 없어서 반도체 제품의 수율의 향상에 기여할 수 있고, 또한 고온 또는 부식 환경에서도 수명을 길게 하는 데에 기여할 수 있다.

본 발명을 바람직한 실시예를 참고로 하여 설명하였지만, 본 발명의 영역과 정신을 벗어남이 없이 첨부된 청구 범위 내에서 다양한 수정이 이루어질 수 있음을 알 수 있다.

Claims

리테이너를 구비하지 않는 무리테이너형 구름 베어링으로서,

베어링의 궤도륜에는 복수 개의 회전체를 지지하는 궤도면에 불소 함유 합성수지로 이루어진 고체막이 형성되어 있고, 상기 고체막에는 저증기압의 그리스가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
리테이너를 구비하지 않는 무리테이너형 구름 베어링으로서,

베어링의 궤도륜에는 복수 개의 회전체를 지지하는 궤도면에 내마모성 고체막이 형성되어 있고, 이 고체막에는 그 고체막의 마모에 의하여 발생된 먼지 포획 및 윤활 작용을 하는 윤활제가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성수지인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 윤활제는 저증기압 그리스인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성수지이며, 상기 윤활제는 미량의 저증기압 그리스인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제2항에 있어서, 복수 개의 볼 형상의 세퍼레이터를 더 포함하고, 각각의 상기 세퍼레이터는 원주방향으로 상호 인접한 두 개의 상기 회전체 사이마다 배치되며, 각 세퍼레이터의 직경은 상기 회전체의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제6항에 있어서, 상기 회전체는 세라믹 재료로 이루어져 있으며, 상기 세퍼레이터는 스테인레스강으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제6항에 있어서, 상기 궤도륜의 재료는 베어링강과, 마르텐사이트계 스테인레스강, 그리고 석출 경화형 스테인레스강으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
리테이너를 구비하지 않는 무리테이너형 구름 베어링으로서,

베어링의 내부 궤도륜은 궤도면 상에 내마모성의 고체막과, 이 고체막에 의하여 발생된 마모 먼지를 포획함과 아울러 윤활 작용을 하는 윤활제를 포함하고 있으며,

외부 궤도륜도 또한, 궤도면 상에 내마모성의 고체막 및 상기 고체막에 의하여 발생된 마모 먼지를 포획함과 아울러 윤활 작용을 하는 윤활제를 포함하고 있고,

상기 내부 궤도륜과 외부 궤도륜의 궤도면 사이에는 볼로 구성된 복수 개의 회전체가 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 상기 내부 궤도륜과 외부 궤도륜의 전체면을 덮는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성수지인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 윤활제는 미량의 저증기압 그리스인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성수지이며, 상기 윤활제는 미량의 저증기압 그리스인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 외부 궤도륜은 궤도홈을 구비하고, 이 궤도홈의 일측부에 카운터보어를 구비하는 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 복수 개의 볼 형상의 세퍼레이터를 더 포함하고, 각각의 상기 세퍼레이터는 원주방향으로 상호 인접한 두 개의 상기 회전체 사이마다 배치되며, 각 세퍼레이터의 직경은 상기 회전체의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 윤활제는 불소 함유 그리스인 것을 특징으로 하는 무리테이너형 구름 베어링.