KR100270901B1

KR100270901B1 - Linear actuator

Info

Publication number: KR100270901B1
Application number: KR1019970032277A
Authority: KR
Inventors: 수수무 타카다; 카주야 타무라; 쿠니히사 카네꼬; 노부히로 후지와라
Original assignee: 다까다 요시유끼; 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 1996-07-12
Filing date: 1997-07-11
Publication date: 2000-12-01
Also published as: KR980012827A; GB2315371B; GB9714311D0; DE19727344A1; JP3728023B2; GB2315371A; JPH1030611A; DE19727344C2

Abstract

축방향으로 이동이 자유자재인 상태로 배설된 작업로드와, 그 작업로드를 이동시키는 전자식의 서어보 구동부와, 그 서어보 구동부에 의한 작업로프의 기동시에 그 작업로프를 보조로드로 압압하여 그 기동속도를 촉진하는 에어실린더 기구를 포함한다.The work rod disposed freely in the axial direction, the electronic servo drive unit for moving the work rod, and the work rope is pressed by the auxiliary rod when the work rope is started by the servo drive unit. And an air cylinder mechanism for promoting maneuvering speed.

Description

리니어 액츄에이터Linear actuator

본 발명은, 직류 서어보 모우터를 사용한 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to a linear actuator using a direct current servo motor.

축방향으로 이동이 자유자재인 작업로드(rod)와, 자계 중의 코일에 전류를 흐르게 했을 때 발생하는 추진력에 의해서 상기한 작업로드를 이동시키는 전자식 서어보 구동부를 보유하고, 서어보 콘트로울러에 의하여 상기한 서어보 구동부의 코일로의 통전을 제어하여 작업로드를 작동시키는 직류 서어보 모우터식 리니어 액츄에이터는 이미 알려져 있다. 이 리니어 액츄에이터는, 코일로 흐르는 직류전류의 크기와 방향을 제어함으로써 작업로드의 작동을 정밀하게 제어할 수 있는 이점이 있다.It has a work rod freely moving in the axial direction and an electronic servo drive which moves the work load by the propulsion force generated when a current flows in the coil in the magnetic field. BACKGROUND ART A DC servo motor linear actuator for controlling the energization of the servo drive unit to operate a workload is already known. This linear actuator has the advantage of precisely controlling the operation of the workload by controlling the magnitude and direction of the direct current flowing through the coil.

그런데, 상기한 리니어 액츄에이터는, 코일에 발생하는 역기전력 등의 영향에 의해서 기동시의 응답성이 나쁘고, 작업로드의 기동이 늦어서 신속한 이동이 실시되지 않는다는 문제가 있으며, 이 기동의 지연은 작업 고속화의 장애를 가져온다.By the way, the linear actuator described above has a problem in that responsiveness at start-up is poor due to the back electromotive force or the like generated in the coil, and the start-up of the workload is delayed, so that the rapid movement is not carried out. Brings obstacles

또, 상기한 리니어 액츄에이터를 세로로 향해서 설치하고, 작업로드에 장착된 작업기기에서 공작물을 잡거나 혹은 흡착하여 들어 올리도록 한 사용방법을 사용한 경우에는, 작업로드에 가해지는 부하하중 때문에 코일로의 통전량이 많아져서 전력의 소비량도 증가되며, 공작물의 중량이 클 때에는 통전량의 증가에 의해서 코일의 발열량이 많아지므로, 코일의 냉각수단을 부설하지 않으면 안되는 일도 있다.In addition, when the above-mentioned linear actuator is installed in a vertical position and a method of using the work device mounted on the work rod to grab or lift the workpiece is used, the tubing to the coil is caused by the load applied to the work load. Since the total amount increases, the power consumption also increases, and when the weight of the workpiece is large, the amount of heat generated by the coil increases due to the increase in the amount of current supplied, so that cooling means for the coil may be required.

본 발명이 해결하려고 하는 제1의 과제는, 작업로드의 기동시의 응답성을 개선한 리니어 액츄에이터를 제공하는데 있다.A first problem to be solved by the present invention is to provide a linear actuator which improves the responsiveness at the start of a workload.

본 발명이 해결하려고 하는 제2의 과제는, 전력의 소비량이 적은 리니어 액츄에이터를 제공하는데 있다.A second problem to be solved by the present invention is to provide a linear actuator with a low power consumption.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 리니어 액츄에이터는 작업로드의 기동속도를 신속하게 하기 위한 에어실린더기구를 구비하고 있다. 이 에어실린더기구는, 압축공기의 공급 배출에 의하여 작동하는 피스톤과, 그 피스톤에 연동하여 신축하는 보조로드(rod)를 구비하며, 서어보 구동부에 의한 작업로드의 기동시에, 그 작업로드를 보조로드로 압압하여 기동속도를 신속하게 하는 것이다.In order to solve the above problems, the linear actuator of the present invention is provided with an air cylinder mechanism for speeding up the starting speed of a workload. The air cylinder mechanism includes a piston that is operated by supply and discharge of compressed air, and an auxiliary rod that expands and contracts in conjunction with the piston, and assists the workload when starting the work load by the servo drive unit. It is to press the rod to speed up the maneuver.

이 결과, 작업로드의 기동시의 응답성이 개선되고 작업의 고속화를 실현할 수 있다.As a result, the responsiveness at the start of the workload can be improved, and the work can be speeded up.

본 발명의 하나의 구체적인 실시형태에 의하면, 상기한 보조로드의 스트로우크가 작업로드의 스트로우크 보다 짧게 설정됨과 아울러, 그 보조로드와 작업로드가 비연결 상태로 설치되어 있다.According to one specific embodiment of the present invention, the stroke of the auxiliary rod is set to be shorter than the stroke of the workload, and the auxiliary rod and the workload are provided in a non-connected state.

본 발명의 다른 구체적인 실시형태에 의하면, 상기한 작업로드와 보조로드에, 양쪽 로드의 복귀시에 서로 결합하는 결합부가 설치됨으로써, 작업로드의 복귀동작이 보조로드를 개재하여 상기한 에어실린더기구에 의하여 보완되도록 구성된다.According to another specific embodiment of the present invention, in the above-described work rod and the auxiliary rod, a coupling portion coupled to each other at the time of returning both rods is provided so that the return operation of the work rod is provided in the air cylinder mechanism via the auxiliary rod. It is configured to be supplemented by.

본 발명의 또 다른 구체적인 실시형태에 의하면, 상기한 보조로드와 작업로드와의 스트로우크가 실질적으로 동일한 크기로 설정됨과 아울러, 이들 양쪽 로드가 서로 연결되며, 그것에 의하여 작업로드에 가해지는 부하하중의 지지와 그 작업로드의 복귀동작이, 그 보조로드를 개재하여 상기한 에어실린더기구에 의하여 보완되도록 구성된다.According to another specific embodiment of the present invention, the stroke between the auxiliary rod and the workload is set to substantially the same size, and both the rods are connected to each other, whereby the load of the load applied to the workload The support and the return operation of the work rod are configured to be complemented by the above-described air cylinder mechanism via the auxiliary rod.

이와 같이 구성함으로써, 서어보 구동부의 코일에 부하하중을 지지하기 위한 대전류를 흐르게 할 필요가 없어지므로, 소비전력이 적게 됨과 아울러 코일로부터의 발열량도 감소한다.This configuration eliminates the need for a large current for supporting the load load to the coil of the servo drive unit, thereby reducing power consumption and reducing the amount of heat generated from the coil.

본 발명에 있어서 바람직하게는, 상기한 에어실린더기구의 피스톤 및 보조로드가 에어베어링에 의하여, 미끄럼 작동이 자유자재인 상태로 지지되어 있는 것이다. 이것에 의하여 미끄럼부의 미끄럼 저항을 거의 없애 보조로드의 동작을 신속원활하게 하며, 그것에 따라서 작업로드의 기동의 응답성을 한층 더 개선할 수 있다.In the present invention, the piston and the auxiliary rod of the air cylinder mechanism are preferably supported by the air bearing in a state where the sliding operation is free. As a result, the sliding resistance of the sliding part is almost eliminated, thereby facilitating the operation of the auxiliary rod, thereby further improving the response of starting the workload.

제1도는 본 발명의 제1실시예를 표시하는 종단정면도.1 is a longitudinal sectional front view showing the first embodiment of the present invention.

제2도는 제1도에서의 II-II선을 따르는 단면도.2 is a cross-sectional view along the line II-II in FIG.

제3(a)도~제3(c)도는 작업로드의 변위량과 시간의 관계를 표시하는 선도.3 (a) to 3 (c) are diagrams showing the relationship between the displacement amount of the work load and the time.

제4도는 본 발명의 제2실시예를 표시하는 종단정면도.4 is a longitudinal sectional front view showing a second embodiment of the present invention.

제5도는 제2실시예의 변형예의 주요부를 표시하는 종단정면도.5 is a longitudinal sectional front view showing the main parts of a modification of the second embodiment;

제6도는 본 발명의 제3실시예를 표시하는 종단정면도.6 is a longitudinal sectional front view showing a third embodiment of the present invention.

제1도 및 제2도는 본 발명의 제1실시예를 표시하는 것이고, 이 실시예에는 리니어 액츄에이터(1)를 세로로 향해서 설치하여 작업로드(7)를 상하 작동시키는 경우가 표시되어 있다.1 and 2 show the first embodiment of the present invention, which shows the case where the linear actuator 1 is installed vertically and the work load 7 is operated up and down.

상기한 리니어 액츄에이터(1)는, 앞면이 개방된 상자모양의 케이스(2)와, 그 케이스의 앞면을 가리는 커버(3)와, 케이스(2)의 상부에 형성된 에어실린더기구(4)와, 케이스의 하부에 설치된 직류 서어보 모우터의 한 예인 보이스코일형 액츄에이터(5)를 구비하고 있다. 상기한 에어실린더기구(4)의 보조로드(rod)(6)와 보이스코일형 액츄에이터(5)의 작업로드(rod)(7)는 서로 동일 축 선상에 설치되어 있다.The linear actuator 1 includes a box-shaped case 2 having an open front face, a cover 3 covering the front face of the case, an air cylinder mechanism 4 formed on the upper part of the case 2, The voice coil type actuator 5 which is an example of the DC servo motor provided in the lower part of the case is provided. The auxiliary rod 6 of the air cylinder mechanism 4 and the work rod 7 of the voice coil actuator 5 are provided on the same axis line.

상기한 에어실린더기구(4)는, 케이스(2)에 형성된 실린더구멍(9)과, 그 실린더구멍의 개구를 기밀하게 폐쇄하는 끝판(10)과, 상기한 실린더(9) 안을 기밀하게 왕복운동하는 피스톤(11)과, 그 피스톤에 연결된 상기한 보조로드(6)와, 상기한 피스톤(11)으로 구획된 실린더실(12) 및 호흡실(13)과, 그 실린더실(12)에 압축공기를 급배하는 급배포오트(14) 및 호흡실(13)의 개구 호흡포오트(15)를 구비하며, 상기한 급배포오트(14)에는 전자밸브(17)가 접속되어 있다. 따라서 이 실시예에 있어서는, 에어실린더기구(4)의 동작형태는 단동형이다.The air cylinder mechanism 4 includes a cylinder hole 9 formed in the case 2, an end plate 10 for hermetically closing the opening of the cylinder hole, and a reciprocating motion in the cylinder 9 in an airtight manner. The piston 11, the auxiliary rod 6 connected to the piston, the cylinder chamber 12 and the breathing chamber 13 partitioned by the piston 11, and the cylinder chamber 12 An air supply port 14 for supplying and supplying air and an opening breathing port 15 for the breathing chamber 13 are provided, and the air supply valve 14 is connected to the supply port 14. Therefore, in this embodiment, the operation form of the air cylinder mechanism 4 is a single acting type.

상기한 전자밸브(17)는, 압축공기의 공급포오트(P), 출력포오트(A) 및 배출포오트(R)를 구비하고, 솔레노이드(16a)의 여자와 그 해제에 의해서, 출력포오트(A)를 공급포오트(P)와 배출포오트(R)로 전환하여 연통하는 널리 알려진 폐쇄형 3포오트 전자밸브로써 구성되어 있고, 공급포오트(P)는 에어탱크(17)를 개재하여 압축공기원(18)에 접속되어 있다.The solenoid valve 17 is provided with the supply port P, the output port A, and the discharge port R of compressed air, and the output cloth is excited by excitation and the release of the solenoid 16a. It consists of a well-known closed three-port solenoid valve which converts the haute (A) into the supply port (P) and the discharge port (R), and communicates with the supply port (P). It is connected to the compressed air source 18 through it.

상기한 에어실린더기구(4)는, 보이스코일형 액츄에이터(5)의 기동시에 그 작업로드(7)를 보조로드(7)로 압압하여 기동을 촉진하는 것이므로, 보이스코일형 액츄에이터(5)에 비해서 소형이므로, 보조로드(7)의 스트로우크는 작업로드(7)의 스트로우크 보다 짧게 되어 있다.Since the air cylinder mechanism 4 presses the work load 7 with the auxiliary rod 7 at the time of startup of the voice coil actuator 5 to promote starting, the air cylinder mechanism 4 is compared with the voice coil actuator 5. Since it is small, the stroke of the auxiliary rod 7 is shorter than the stroke of the workload 7.

상기한 보이스코일형 액츄에이터(5)는, 센터요크(21)와 그 전후 양측으로 위치하는 보텀요크(22, 22) 및 이들의 각 요크의 상하단을 서로 연결하는 사이드요크(23, 23)로 이루어진 자기틀(24)과, 상기한 보텀요크(22)의 센터요크측의 면에 장착된 자석(25, 25)과 상기한 센터요크(21)에 감겨서 이것에 따라 이동 가능한 가동코일(26)을 보유하는 전자식 서어보 구동부(20)를 구비하고 있다. 상기한 자기틀(24)은, 사이드요크(23, 23)를 통과하는 장착볼트(도면에서의 표시는 생략)에 의해서 케이스(2)에 설치되어 있다. 상기한 서어보 구동부(20)는, 상기한 자석(25, 25)으로 형성된 자계 중의 가동코일(27)에 직류전류를 방향을 바꿔서 흐르게 함으로써, 그 가동코일(26)에 플레밍의 왼손법칙에 의한 상항 또는 하향의 추진력을 발생시켜서, 이 추진력에 의해서 그 가동코일(27)을 센터요크(21)에 따라서 상하 작동시키는 것이다.The voice coil actuator 5 includes a center yoke 21, bottom yokes 22 and 22 positioned at both front and rear sides thereof, and side yokes 23 and 23 which connect upper and lower ends of the respective yokes. The movable coil 26 wound around the magnetic frame 24, the magnets 25 and 25 mounted on the surface of the center yoke side of the bottom yoke 22, and the center yoke 21 described above and movable accordingly. An electronic servo drive unit 20 is provided. The magnetic frame 24 is provided in the case 2 by mounting bolts (not shown in the drawings) passing through the side yokes 23 and 23. Said servo drive part 20 changes the direction of direct current to the movable coil 27 in the magnetic field formed by the magnets 25 and 25, and flows to the movable coil 26 according to the Fleming's left hand law. The upward or downward thrust force is generated and the movable coil 27 is vertically operated along the center yoke 21 by this thrust force.

상기한 가동코일(27)에는, 합성수지 등의 비자성재로 형성된 코일누름부(28)와 코일호울더(27)가 장착나사(30, 30)에 의해서 부착되어 있고, 코일호울더(29)에 도면의 표시를 생략하고 있는 적당한 수단에 의해서 금속제의 이동자(31)가 설치되어 있다. 또, 케이스(2)의 밑면에는 리니어가이드레일(32)이 설치되어 있고, 리니어가이드레일(32)에 따라서 이동하는 리너어가이드(33)는 장착나사(34,‥)에 의해서 이동자(31)에 설치되어 있다.In the movable coil 27, a coil pressing portion 28 and a coil holder 27 formed of a nonmagnetic material such as synthetic resin are attached to the coil holder 29 by mounting screws 30 and 30. The metal mover 31 is provided by suitable means which abbreviate | omits the display of a figure. Moreover, the linear guide rail 32 is provided in the bottom surface of the case 2, The linear guide 33 which moves along the linear guide rail 32 is moved by the mounting screw 34 ,. Installed in

케이스(2)에 있어서의 서어보 구동부(20)와 반대측의 벽면에는 리니어 스케일(36)이 설치되고, 상기한 이동자(31)의 선단에는, 리니어스케일(36)의 눈금을 판독해서 신호를 출력하는 인코더 전기기판(37)이 설치되어 있다.The linear scale 36 is provided on the wall surface on the opposite side to the servo drive unit 20 in the case 2, and the scale of the linear scale 36 is read out at the tip of the mover 31 to output a signal. An encoder electric substrate 37 is provided.

상기한 작업로드(7)는 대경부와 소경부를 보유하고, 소경부의 기단에 형성된 수나사를 이동자(31)의 관통구멍에 설치된 암나사와 결합하여, 층계부를 이동자(31)의 윗면에 맞닿게 함으로써, 이 이동자(31)에 부착되어 있고, 소경부의 선단은 축받이(38)에 의하여 지지되어서 케이스(2) 밖으로 돌출 되며, 이 선단에 에어척이나 흡착패드 등의 적당한 작업공구(도면에서의 표시는 생략)가 설치되어 있다.The work rod 7 has a large diameter portion and a small diameter portion, and combines a male screw formed at the base end of the small diameter portion with a female screw provided in the through hole of the mover 31 to bring the stairway portion into contact with the upper surface of the mover 31. The tip of the small diameter portion is supported by the bearing 38 and protrudes out of the case 2, and a suitable work tool such as an air chuck or a suction pad is attached to the tip (indicated in the drawing). Is omitted).

상기한 케이스(2)의 측벽에는, 전력 및 신호공급용의 다극커넥터(40)가 케이스(2)의 부착보스(2a)에는 중간커넥터(41)가, 코일호울더(29)에는 커넥터(42)가 각각 부착나사에 의해서 설치되어 있다. 다극커넥터(40)에 전기적으로 접속하는 수전(受電)커넥터(43)와 중간커넥터(41) 및 중간커넥터(41)와 커넥터(42)는, 어느 것이든 플랫리본케이블(44)에 의해서 전기적으로 접속되어 있다. 또 다극커넥터(40)에는 서어보 콘트로울러(45)가 개재 되어 직류전원(46)이 접속되어 있다.On the side wall of the case 2, the multi-pole connector 40 for power and signal supply is provided, the intermediate connector 41 is attached to the attachment boss 2a of the case 2, and the coil holder 29 is connected to the connector 42. ) Is provided by mounting screws, respectively. The faucet connector 43, the intermediate connector 41, the intermediate connector 41, and the connector 42, which are electrically connected to the multi-pole connector 40, are electrically connected to each other by the flat ribbon cable 44. Connected. The multi-pole connector 40 has a servo controller 45 interposed therebetween so as to connect a DC power supply 46 to the multipole connector 40.

상기한 서어보 콘트로울러(45)는, 가동코일(26)에 크기 및 방향이 제어된 직류전류를 공급하는 것이고, 이것에 의해서 그 가동코일(26)이 상하작동한다. 또, 그 가동코일(26)과 일체로 이동하는 인코더 전기기판(37)이 리니어스케일(36)의 눈금을 판독하여 작업로드(7)의 위치 신호를 출력하고, 이 신호는 서어보 콘트로울러(45)에 피이드백된다.The above servo controller 45 supplies a direct current having a controlled size and direction to the movable coil 26, whereby the movable coil 26 is operated up and down. In addition, the encoder electric substrate 37 which moves integrally with the movable coil 26 reads the scale of the linear scale 36 and outputs the position signal of the workload 7, and this signal is a servo controller ( 45).

상기한 서어보 콘트로울러(45)에는, 압축공기 공급 수단을 구성하는 콘트로울러(47)가 접속되어 있다. 이 콘트로울러(47)는, 서어보 콘트로울러(45)로부터 가동코일(26)로 그 가동코일을 하향 작동시키는 방향의 전류가 통전되었을 때의 최초에 작동하여 전자밸브(16)의 솔레노이드(16a)를 여자하며, 그것에 의하여 실린더실(12)에 압축공기를 공급하고, 보조로드(6)가 작업로드(7)를 밀어 내리면 솔레노이드(16a)의 여자를 해제하여, 실린더실(12)의 공기를 배출하는 것이다.The servo controller 45 is connected to the servo controller 45 constituting the compressed air supply means. The controller 47 operates initially when the current in the direction in which the movable coil is operated downward from the servo controller 45 to the movable coil 26 is energized, so that the solenoid 16a of the solenoid valve 16 is operated. Excitrate), thereby supplying compressed air to the cylinder chamber 12, and when the auxiliary rod 6 pushes down the work rod 7, the excitation of the solenoid 16a is released, and the air of the cylinder chamber 12 To discharge.

제1도 중의 부호(48)는, 보조로드(6) 및 피스톤(11)의 외주에 끼워 붙인 0링으로 이루어지는 미끄럼시일(seal)이다.Reference numeral 48 in FIG. 1 is a sliding seal made of a zero ring fitted to the outer circumference of the auxiliary rod 6 and the piston 11.

상기한 제1실시예에 있어서, 제1도의 동작상태로부터 서어보 콘트로울러(45)에 의하여 가동코일(26)에 그 코일을 하향 작동시키는 방향 및 크기의 전류를 흐르게 하면, 그 가동코일(26)과 작업로드(7)가 하향작동을 시작한다. 또, 상기한 가동코일(26)로의 통전과 동시에 콘트로울러(47)가 작동하여 전자밸브(16)의 솔레노이드(16a)를 여자함으로써, 에어탱크(17)에 축적되어 있는 압축공기가 전자밸브(16)로부터 신속하게 실린더실(12)에 공급되며, 피스톤(11) 및 보조로드(6)가 급속하게 하향 작동하여 작업로드(7)를 압압이동시킨다. 이 때문에, 그 작업로드(7)는 신속하게 기동하여 설정된 위치까지 이동하게 됨으로, 역기전력의 영향을 받기 어렵다.In the above-described first embodiment, if the current flows in the direction and magnitude for downwardly operating the coil to the movable coil 26 by the servo controller 45 from the operating state of FIG. 1, the movable coil 26 ) And the workload (7) start to run downward. At the same time as the energizing of the movable coil 26, the compressor 47 operates to excite the solenoid 16a of the solenoid valve 16, thereby compressing the compressed air accumulated in the air tank 17 to the solenoid valve ( 16 is quickly supplied to the cylinder chamber 12, and the piston 11 and the auxiliary rod 6 are rapidly operated downward to pressurize the work load (7). For this reason, since the workload 7 is quickly started and moved to the set position, it is hard to be affected by the counter electromotive force.

상기한 작업로드(7)가 이동하면, 콘트로울러(47)에 의한 솔레노이드(16a)의 여자가 해제되어서, 실린더실(12)이 외부와 연통하게 된다.When the workload 7 moves, the excitation of the solenoid 16a by the conveyor 47 is released and the cylinder chamber 12 communicates with the outside.

상기한 가동코일(26)과 작업로드(7)는, 리니어가이드레일(32)과 리니어가이드(33)에 안내되어서 순조롭게 상하작동한다. 그리고, 이동자(31)에 장착된 인코더전기기판(37)이 리니어스케일(36)의 눈금을 판독하여 위치신호를 서어보 콘트로울러(45)에 피이드백하고, 이 피이드백신호에 의하여 서어보 콘트로울러(45)가 가동코일(26)로의 통전량 및 통전 방향을 제어하여, 작업로드(7)를 소정의 정지위치에 정확하게 정지시킨다. 이 경우에 있어서의 가동코일(26)로의 통진량은, 그 가동코일(26)이나 작업로드(7) 등을 포함하는 전체의 부하하중과 균형을 가지는 힘을 발생시킬 수 있는 크기이다.The movable coil 26 and the work load 7 are guided to the linear guide rail 32 and the linear guide 33 to smoothly move up and down. Then, the encoder electrical substrate 37 mounted on the mover 31 reads the scale of the linear scale 36 to feed back the position signal to the servo controller 45, and the servo controller according to the feedback signal. 45 controls the amount of electricity supplied to the movable coil 26 and the direction of energization, thereby accurately stopping the work load 7 at a predetermined stop position. The amount of dust to the movable coil 26 in this case is a magnitude | size which can generate the force which balances the load load of the whole including the movable coil 26, the workload 7, etc.

서어보 콘트로울러(45)로부터 가동코일(26)에 그 코일을 상향작동시키는 방향 및 크기의 전류를 통전하면, 그 가동코일(26) 및 작업로드(7)가 상향 작동함과 아울러, 에어실린더기구(4)의 보조로드(6)를 상향 작동시킴으로써, 그들은 제1도에 표시하는 위치로 복귀한다.When the servo coil 45 is energized with a current having a direction and a magnitude for upwardly operating the coil from the servo controller 45, the movable coil 26 and the work load 7 operate upward, and the air cylinder By operating the auxiliary rod 6 of the instrument 4 upwards, they return to the position shown in FIG.

제3(a)도는 널리 알려진 기존의 보이스코일형 액츄에이터의 작업로드의 변위량과 시간의 관계를 표시하고, (b)도는 상기한 에어실린더기구(4)의 보조로드(6)의 변위량과 시간의 관계를 표시하고, (c)도는 보조로드(6)에 의해서 작업로드(7)를 압암했을 때의 작업로드(7)의 변위량과 시간과의 관계를 표시하고 있다.Figure 3 (a) shows the relationship between the displacement amount and time of the work load of the conventional voice coil type actuator, and (b) shows the displacement amount and time of the auxiliary rod 6 of the air cylinder mechanism 4 described above. The relationship is shown, and (c) shows the relationship between the displacement amount of the work load 7 and the time when the work load 7 is crushed by the auxiliary rod 6.

제3(a),(b),(c)도는 모두 X축은 그 단위가 시간이고 Y축은 작업로드 또는 보조로드의 변위량으로서 3개의 그래프의 변위량과 시간 모두 그 크기는 동일하며, a는 가동코일(27)과 통전했을 때의 시간, b는 기존의 액츄에이터에 의해 필요한 변위량을 얻는데 걸리는 시간, c는 보조로드에 의해 필요한 변위량을 얻는데 걸리는 시간, d는 보조로드와 작업로드에 의해 필요한 변위량을 얻는데 걸리는 시간으로서, b>d>c의 관계에 있다.3 (a), (b), and (c), the X-axis is the unit of time and the Y-axis is the displacement of the workload or the auxiliary rod, and the displacement and time of the three graphs are the same in magnitude, and a is the movable coil. (B) is the time when it is energized, b is the time taken to obtain the displacement required by the existing actuator, c is the time taken to obtain the displacement required by the auxiliary rod, and d is the required displacement obtained by the auxiliary rod and the work rod. The time taken is in the relationship b> d> c.

(A), (B), (C)와의 대비에서 명확하듯이, 기존의 액츄에이터는 필요한 변위량을 얻는데 필요한 시간이 가장 오래 걸리며, 보조로드만에 의해서는 제대로 된 변위량을 얻을 수 없고, 보조로드(6)에 의한 작업로드(7)의 압압에 의해서는 기존의 것보다 빠른 시간 내에 작업로드(7)를 신속하게 필요한 변위량까지 기동시킬 수있다.As is clear from (A), (B), and (C), the conventional actuator takes the longest time necessary to obtain the required displacement, and the auxiliary rod alone cannot obtain the correct displacement. By pressing the work load 7 by 6), it is possible to quickly start the work load 7 to the required displacement amount within a faster time than the conventional one.

상기한 리니어 액츄에이터는, 작업로드(7)의 선단에 장착된 에어척(49)(제4도 참조)에 의하여 공작물(도면에서의 표시는 생략)을 파지하여 들어올리며, 다른 곳으로 반송하는 반송장치로써 사용하는 경우가 있다.The linear actuator described above carries and lifts the workpiece (not shown in the drawing) by the air chuck 49 (see FIG. 4) attached to the tip of the work rod 7 and conveys it to another place. It may be used as a device.

이 경우는, 작업로드(7)를 무부하에서 상향작동시키는 경우에 비하여, 에어척(49)이 파지한 공작물의 중량분만큼 많은 전류를 가동코일(26)에 흐르게 할 필요가 있지만, 공작물의 중량이 무거우면 그만큼 가동코일(26)로의 통전량도 증가하여 소비전력이 많아질 뿐만 아니라, 그 가동코일로부터의 발열량도 많아진다.In this case, as compared with the case in which the work load 7 is operated upward at no load, it is necessary to flow as much current as the weight of the workpiece gripped by the air chuck 49 to the movable coil 26. If the weight is heavy, the amount of current supplied to the movable coil 26 also increases, and power consumption increases, and the amount of heat generated from the movable coil also increases.

제4도는 이와 같은 문제까지도 동시에 해결한 본 발명의 제2실시예를 표시하는 것이고, 이 제2실시예의 리니어 액츄에이터(51)는, 복동형인 에어실린더기구(52)를 구비하고, 이 에어실린더기구(52)의 보조로드(6)와 보이스코일형인 액츄에이터(5)의 작업로드(7)가, 결합핀(53)에 의하여 축방향의 흔들림이 없도록 하나로 연결되어 있다. 그리고, 케이스(2)로부터 돌출하는 작업로드(7)의 선단에는 에어척(49)이 설치되어 있다. 이 경우의 보조로드(6)와 작업로드(7)와의 스트로우크는, 실질적으로 동일한 길이로 설정되어 있다.4 shows a second embodiment of the present invention which solves such problems simultaneously, and the linear actuator 51 of the second embodiment includes a double acting air cylinder mechanism 52, and this air cylinder mechanism The auxiliary rod 6 of 52 and the work rod 7 of the voice coil type actuator 5 are connected together so that the coupling pin 53 does not shake in the axial direction. An air chuck 49 is provided at the tip of the work rod 7 protruding from the case 2. In this case, the stroke between the auxiliary rod 6 and the workload 7 is set to substantially the same length.

또, 피스톤(11)으로 구획된 한 쌍의 실린더실(54a, 54b)과 연이어 통하는 급배포오트(55a, 55b)에는, 비례솔레노이드(57a, 57b)로의 통전량에 의해서 출력공기압을 제어할 수 있는 비례전자식 압력제어밸브(55a, 56b)가 접속되어 있고, 비례솔레노이드(57a, 57b)로의 통전량은 압축공기 공급수단을 구성하는 콘트로울러(58)에 의해서 제어된다.Moreover, the output air pressure can be controlled by the energization amount to the proportional solenoids 57a and 57b to the supply and distribution ports 55a and 55b which are connected to the pair of cylinder chambers 54a and 54b divided by the piston 11. The proportional electromagnetic pressure control valves 55a and 56b are connected, and the amount of energization to the proportional solenoids 57a and 57b is controlled by the controller 58 constituting the compressed air supply means.

제2실시예의 다른 구성은 제1실시예와 동일하므로, 도면의 주요한 동일부분에 동일한 부호를 붙여서 상세한 설명은 생략한다.Since the other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, the same reference numerals are given to the same major parts in the drawings, and detailed description thereof will be omitted.

상기한 제2실시예는, 서어보 콘트로울러(45)로부터 가동코일(26)에 그 코일을 하향 작동시키는 방향 및 크기의 전류를 통전함과 아울러, 콘트로울러(58)에 의해서 비례전자식 압력제어밸브(56a)의 비례솔레노이드(57a)에 통전하면, 실린더실(54a)에 압축공기가 공급되어서 보조로드(6)가 하향 작동되며, 이것에 연결된 작업로드(7)도 하향 작동한다. 따라서, 보조로드(7)에 의해서 작업로드(7)의 기동이 신속하게 되며, 그 작업로드(7)는 신속하게 설정위치까지 하향 작동할 수 있다.In the second embodiment described above, the electric current of the direction and magnitude for downwardly operating the coil from the servo controller 45 to the movable coil 26 is supplied, and the proportional electromagnetic pressure control is performed by the controller 58. When the proportional solenoid 57a of the valve 56a is energized, compressed air is supplied to the cylinder chamber 54a so that the auxiliary rod 6 is operated downward, and the work load 7 connected thereto is also operated downward. As a result, the start of the work load 7 is accelerated by the auxiliary rod 7, and the work load 7 can be quickly operated downward to the set position.

상기한 작업로드(7)가 설정된 정지위치의 근처까지 이동하면, 비례솔레노이드(57a)의 통전이 해제되어서 비례솔레노이드(57b)에 통전됨으로써, 실린더실(54b)에 압축공기가 공급됨과 아울러, 그 실린더실(54b)내의 공기압이 콘트로울러(58)에 의하여, 작업로드(7)에 작용하는 에어척(49) 등에 의한 부하하중과 대략 균형 있는 작용력을 발생시킬 수 있는 공기압으로 조정된다. 계속하여, 서어보 콘트로울러(45)에 의하여 가동코일(26)로의 통전량 및 통전 방향을 제어함으로써, 작업로드(7)가 공작물을 파지하기 위한 소정의 정지위치에서 정확하게 정지된다.When the work load 7 is moved to the vicinity of the set stop position, energization of the proportional solenoid 57a is released and energized to the proportional solenoid 57b, whereby compressed air is supplied to the cylinder chamber 54b, and The air pressure in the cylinder chamber 54b is adjusted by the controller 58 to an air pressure capable of generating an approximately balanced action force with the load load by the air chuck 49 or the like acting on the work load 7. Subsequently, by controlling the energization amount and energization direction to the movable coil 26 by the servo controller 45, the work load 7 is stopped exactly at a predetermined stop position for holding the workpiece.

에어척(49)이 공작물을 파지한 후에, 서어보 콘트로울러(45)에 의해서 가동코일(26)로의 통전을 해제하면, 실린더실(54b)에 공급된 공기압의 작용력에 의하여 보조로드(6)가 상향 작동되어, 작업로드(7)를 끌어올린다.After the air chuck 49 grips the workpiece, when the energization to the movable coil 26 is released by the servo-contractor 45, the auxiliary rod 6 is driven by the action of the air pressure supplied to the cylinder chamber 54b. Is operated upwards, pulling up the work load 7.

상기한 제2실시예는, 에어실린더기구(52)의 아래쪽의 실린더실(54b)에 공급하는 공기압의 작용력을, 작업로드(7)에 작용하는 부하하중과 대략 균형을 가지도록 하고 있으므로, 그 작업로드(7)를 정지위치에서 유지시키기 위하여 가동코일(26)로 흐르게 하는 전류를 적게 할 수 있다.In the second embodiment described above, the action force of the air pressure supplied to the cylinder chamber 54b below the air cylinder mechanism 52 is approximately balanced with the load load acting on the work load 7. In order to keep the work load 7 at the stop position, the current flowing to the movable coil 26 can be reduced.

또, 실린더실(54b)에 공급된 공기압의 작용력에 의해서 작업로드(7)를 상승시킴으로, 에어척(49)이 파지한 공작물의 중량이 무거운 경우라도, 가동코일(26)에이들을 복귀시키기 위한 전류를 흐르게 할 필요가 없고, 이 결과, 전력의 소비가 적게 됨과 아울러, 가동코일의 발열량도 작아진다.In addition, the work rod 7 is raised by the action force of the air pressure supplied to the cylinder chamber 54b, so that even when the weight of the workpiece held by the air chuck 49 is heavy, the movable coil 26 can be used to return them to the movable coil 26. There is no need to flow a current, and as a result, power consumption is reduced and the amount of heat generated by the movable coil is also reduced.

상기한 제2실시예는, 에어실린더기구(52)의 피스톤(11) 및 보조로드(6)의 외주에 미끄럼시일(48)이 있으므로, 미끄럼시일의 미끄럼저항이 크면 보조로드(6)의 하향작동이 지연되는 일이 있다.In the second embodiment described above, since the sliding seal 48 is formed on the outer circumference of the piston 11 and the auxiliary rod 6 of the air cylinder mechanism 52, when the sliding resistance of the sliding seal is large, the auxiliary rod 6 is downwardly moved. Operation may be delayed.

제5도는 이 문제를 해결한 제2실시예의 변형예를 표시하는 것이고, 이 리니어 액츄에이터(61)의 에어실린더기구(62)에는, 피스톤(11)의 외주면과 케이스(2)의 사이, 및 끝판(10)과 보조로드(6)의 사이에 각각, 에어베어링(63)을 구성하는 원주홈이 형성되어 있고, 이 원주홈은, 그 원주홈의 원주방향으로 같은 간격으로 다수개 개구하는 통로(64, 65)에 의해서 압축공기원과 연통하고 있다.5 shows a modification of the second embodiment which solves this problem, and the air cylinder mechanism 62 of the linear actuator 61 includes an outer circumferential surface of the piston 11 and the case 2 and an end plate. Between the 10 and the auxiliary rod 6, a circumferential groove constituting the air bearing 63 is formed, and each of the circumferential grooves has a plurality of passages opening at equal intervals in the circumferential direction of the circumferential groove ( 64, 65) to communicate with the compressed air source.

상기한 변형예의 다른 구성은 제2실시예와 동일하므로, 설명은 생략한다.Since other configurations of the above-described modifications are the same as in the second embodiment, description thereof is omitted.

상기한 변형에는, 에어실린더기구(62)의 피스톤(11) 및 보조로드(6)가 에어베어링(63)에 의해서 부유상태로 지지피어 있으므로, 미끄럼시일(48)을 보유하는 것과 달리 이들의 미끄럼저항을 거의 없앨 수 있어서, 보조로드(6)를 한층 더 신속하게 이동시킬 수 있다.In the above-described deformation, since the piston 11 and the auxiliary rod 6 of the air cylinder mechanism 62 are supported by the air bearing 63 in a floating state, they are slippery, unlike retaining the sliding seal 48. Since the resistance can be almost eliminated, the auxiliary rod 6 can be moved more quickly.

또, 에어실린더기구(52)의 미끄럼저항이 거의 없으므로, 보조로드(6)와 작업로드(7)가 결합핀(53)으로 연결되어 있어도, 작업로드(7)의 정지위치를 정확하게 제어할 수가 있다.In addition, since there is almost no sliding resistance of the air cylinder mechanism 52, even if the auxiliary rod 6 and the work rod 7 are connected by the engaging pin 53, the stop position of the work rod 7 can be accurately controlled. have.

제6도은 본 발명의 제3실시예를 표시하고, 이 리니어 액츄에이터(71)는, 에어실린더기구(52)의 보조로드(6)와, 보이스코일형 액츄에이터(5)의 작업로드(7)와의 선단에, 서로 평행하게 연장되는 아암(72)을 각각 구비하고 있고, 이들의 각 아암(72)의 선단부에는, 서로 결합 가능한 결합부(74)가 설치되고, 아암의 기단부에는, 상기한 결합부(74)가 맞붙는 접촉부(73)가 설치되어 있다.6 shows a third embodiment of the present invention, in which the linear actuator 71 is formed by the auxiliary rod 6 of the air cylinder mechanism 52 and the work rod 7 of the voice coil actuator 5. Arms 72 extending in parallel to each other are provided at the ends, and coupling portions 74 that can be engaged with each other are provided at the distal ends of these arms 72, and the aforementioned engaging portions are provided at the proximal ends of the arms. A contact portion 73 with which 74 is joined is provided.

이들의 각 아암(72, 72)에 있어서의 당접부(73)와 결합부(74)와는, 보조로드(6)와 작업로드(7)가 도면에 표시된 상향작동 위치에 있을 때는 서로의 부착부(73)와 결합부(74) 등이 맞닿고, 보조로드(6)와 작업로드(7)가 작업위치까지 하향작동하고 있는 상태에서는 결합부(74, 74)가 서로 결합하도록 관계가 부여되어 있다.The contact portion 73 and the engaging portion 74 in each of these arms 72 and 72 are attached to each other when the auxiliary rod 6 and the work rod 7 are in the upward operating position shown in the drawing. In the state where the 73 and the engaging portion 74 abut, and the auxiliary rod 6 and the working rod 7 are operated downward to the working position, a relationship is given so that the engaging portions 74 and 74 engage with each other. have.

에어실린더기구(52)의 실린더실(54a, 54b)에 압축공기를 급배하는 전자밸브(76)는, 압력유체의 공급포오트(P), 출력포오트(A, B) 및 배출포오트(EA, EB)를 구비한 스프링센터의 3위치 5포오트밸브로서, 솔레노이드(76a)의 여자에 의하여 공급포오트(P)와 출력포로트(A), 및 출력포오트(B)와 배출포오트(EB)가 연통하고, 솔레노이드(76b)의 여자에 의하여 공급포오트(P)와 출력포오트(B) 및 출력포오트(A)와 배출포오트(EA)가 연통하게 되고, 이들의 솔레노이드의 여자가 함께 해제된 중간정지위치에 있어서 출력포오트(A, B)가 각각 배출포오트(EA, EB)와 연통한다. 상기한 출력포오트(A, B)는 급배포오트(55a, 55b)와 각각 연이어 통하고 있다. 그리고, 이들의 솔레노이드(76a, 76b)의 여자 및 여자해제는 콘트로울러(77)에 의해서 제어된다.The solenoid valve 76 supplying compressed air to the cylinder chambers 54a and 54b of the air cylinder mechanism 52 includes a supply port P, an output port A and B and a discharge port of the pressure fluid ( A three-position five-port valve of a spring center equipped with EA and EB. The excitation of the solenoid 76a causes the supply port P and the output port A to be discharged. The haute (EB) communicates, and the supply port (P) and the output port (B) and the output port (A) and the discharge port (EA) communicate with each other by excitation of the solenoid 76b. In the intermediate stop position where the excitation of the solenoid is released together, the output ports A and B communicate with the discharge ports EA and EB, respectively. The output ports A and B communicate with the rapid distribution ports 55a and 55b, respectively. The excitation and excitation of these solenoids 76a and 76b are controlled by the controller 77.

제3실시예의 다른 구성은 제1실시예와 동일하므로, 도면의 주요 동일한 부분에 동일한 부호를 붙여서, 상세한 설명은 생략한다.Since the other configurations of the third embodiment are the same as those of the first embodiment, the same reference numerals are given to the same major parts in the drawings, and detailed description thereof will be omitted.

상기한 제3실시예는, 전자밸브(76)가 중간 정지위치에 있을 때에, 서어보 콘트로울러(45)로부터 가동코일(26)에 그 코일을 상향작동시키는 방향 및 크기의 전류를 통전하면, 가동코일(26)과 작업로드(7)가 상향 작동되며, 이것에 의하여 결합부(74)가 부착부(73)에 맞닿아 보조로드(6)를 상향 작동시킨다.In the third embodiment described above, when the solenoid valve 76 is in the intermediate stop position, the current flows in a direction and magnitude for operating the coil upward from the servo controller 45 to the movable coil 26. The movable coil 26 and the work rod 7 are operated upward, whereby the engaging portion 74 abuts on the attachment portion 73 to operate the auxiliary rod 6 upward.

서어보 콘트로울러(45)로부터 가동코일(26)에 그 코일을 하향 작동시키는 전류를 통전하면, 이 통전 처음에 콘트로올러(76)에 의하여 솔레노이드(76a)가 여자되므로, 실린더실(54a)에 압축공기가 공급되어서 보조로드(6)가 하향 작동되고, 부착부(73)와 결합부(74)와의 맞닿음에 의하여 작업로드(7)가 압압되어서 그 하향작동이 가속된다. 작업로드(7)가 압압되면 콘트로울러(77)에 의한 솔레노이드(76a)의 여자가 해제되어서, 전자밸브(76)가 중간의 정지위치에 복귀한다.When the electric current for operating the coil downward is energized from the servo controller 45 to the movable coil 26, the solenoid 76a is excited by the contactor 76 at the beginning of the energization, and thus the cylinder chamber 54a. Compressed air is supplied to the auxiliary rod 6 to operate downward, and the work load 7 is pressed by the contact between the attachment portion 73 and the engaging portion 74 to accelerate the downward operation. When the work rod 7 is pressed, the excitation of the solenoid 76a by the controller 77 is released, and the solenoid valve 76 returns to an intermediate stop position.

작업로드의 하향작동 후의 서어보 콘트로울러(47)애 의한 작업로드(7)의 정지위치의 제어는 제1실시예와 동일하다 또, 보조로드(6)와 작업로드(7)가 가장 하향 작동하여도, 양쪽 로드의 결합부 (74)와 (74)의 사이에는 약간의 간극이 있다.The control of the stop position of the workload 7 by the servo controller 47 after the downward operation of the workload is the same as in the first embodiment. In addition, the auxiliary rod 6 and the workload 7 operate most downwardly. Even so, there is a slight gap between the engaging portions 74 and 74 of both rods.

콘트로울러(77)에 의해서 솔레노이드(76b)를 여자하면, 아래쪽의 실린더실(54b)에 압축공기가 공급되어서 보조로드(6)가 상향 작동하지만, 그것이 약간 상향작동된 데에서 결합부(74)가 작업로드(7)의 결합부(74)와 결합하고, 그 작업로드(7)가 보조로드(6)에 의해서 끌어 올려진다. 이때, 양쪽 로드(6, 7)의 결합부(74,74)가 결합하는 것은, 특히 큰 힘이 요구되는 상향작동공정의 기동단계 만으로, 스트로우크의 짧은 보조로드(6)가 상승단으로 복귀가 종료된 후 작업로드(7)는 서어보 구동부(20)의 추진력에 의하여 상승한다.When the solenoid 76b is excited by the controller 77, compressed air is supplied to the lower cylinder chamber 54b so that the auxiliary rod 6 is operated upward, but the coupling portion 74 is slightly operated upward. Is engaged with the engaging portion 74 of the workload 7, and the workload 7 is pulled up by the auxiliary rod 6. At this time, the coupling portions 74 and 74 of both rods 6 and 7 are engaged only at the starting stage of the upward actuation process, in which a large force is required, and the short auxiliary rod 6 of the stroke returns to the rising end. After the end of the work load 7 is raised by the driving force of the servo drive unit 20.

따라서, 작업로드(7)를 상향 작동시킬 메 가동코일(26)에 흐르게 하는 전류는, 에어실린더기구(4)에 의한 보완을 받지 않는 경우에 비하여 짧게 끝난다.Therefore, the electric current which causes the work load 7 to flow to the movable coil 26 to operate upwardly ends shortly compared with the case where it is not supplemented by the air cylinder mechanism 4.

제3실시예의 다른 작용은 제1실시예와 동일하므로, 설명은 생략한다.Since other operations of the third embodiment are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

또한, 도면의 표시를 생략하고 있지만 제3실시예에 있어서의 보조로드(6) 및 피스톤(11)도 미끄럼시일(48)을 없애고 에어베어링(62)에 의하여 부유상태로 지지할 수가 있다.In addition, although the indication of a figure is abbreviate | omitted, the auxiliary rod 6 and the piston 11 in 3rd Example can also be supported by the air bearing 62 in the floating state by removing the sliding seal 48. As shown in FIG.

또, 상기한 실시 예에서는 작업로드(7)를 상하 작동시키는 종형의 리니어 액츄에이터에 대하여 설명했지만, 본 발명은 작업로드(7)를 가로방향으로 움직이는 횡형인 리니어 액츄에이터에도 적용할 수 있는 것이다.In addition, in the above-described embodiment, the vertical linear actuator for vertically operating the work rod 7 is described. However, the present invention can be applied to a horizontal linear actuator which moves the work rod 7 in the horizontal direction.

Claims

축방향으로 이동이 자유자재인 상태로 배설된 작업로드와, 자계 중의 코일에 전류를 흐르게 함으로써 발생하는 추진력에 의해서 상기한 작업로드(7)를 이동시키는 전자식의 서어보 구동부(20)와, 압축공기의 급배에 의하여 작동하는 피스톤(11), 및 그 피스톤(11)에 연동하여 신축하는 “보조로드”(6)를 구비하고, 상기한 서어보 구동부(20)에 의한 작업로드(7)의 기동시에, 그 작업로드(7)를 보조로드(6)로 압압하여 기동속도를 신속하게 하는 에어실린더기구 등을 보유하는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.A work load disposed freely in the axial direction, an electronic servo drive unit 20 for moving the work load 7 by the driving force generated by flowing a current through a coil in the magnetic field, and a compression A piston (11) operated by the supply and discharge of air, and the "auxiliary rod" (6) to expand and contract in conjunction with the piston (11), and the work load (7) by the servo drive unit 20 described above And an air cylinder mechanism for pressing the work rod 7 with the auxiliary rod 6 to speed up the starting speed at the start-up.

제1항에 있어서, 상기한 보조로드(6)의 스트로우크를 작업로드(7)의 스트로우크 보다 짧게 함과 아울러, 그 보조로드(6)와 작업로드(7)를 비연결로 한 것을 특징으로 하는 리니어 액츄이이터.The method according to claim 1, wherein the stroke of the auxiliary rod 6 is shorter than the stroke of the work rod 7, and the auxiliary rod 6 and the work rod 7 are disconnected. Linear actuator.

제1항에 있어서, 상기한 작업로드(7)와 보조로드(6)에, 양쪽 로드의 복귀시에 서로 결합하는 결합부(74)를 설치하고, 작업로드(7)의 복귀동작을 보조로드(6)를 개재하여 상기한 에어실린더기구에 의하여 보완할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.The work rod (7) and the auxiliary rod (6) are provided with engaging portions (74) which engage with each other upon return of both rods, and the return operation of the work rod (7) is provided. A linear actuator, characterized in that complemented by the above-described air cylinder mechanism via (6).

제1항에 있어서, 상기한 보조로드(6)와 작업로드(7)와의 스트로우크를 실질적으로 동일 크기로 하여, 양쪽 로드를 서로 연결하고, 그것에 의하여, 작업로드(7)에는 가해지는 부하하중의 지지와 그 작업로드의 복귀동작을, 그 보조로드를 개재하여 상기한 에어실린더기구에 의하여 보완할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.The load according to claim 1, wherein the strokes between the auxiliary rods 6 and the workloads 7 are substantially the same size, and both rods are connected to each other, whereby the loads applied to the workloads 7 are applied. And the return operation of the work rod can be compensated by the above-described air cylinder mechanism via the auxiliary rod.

제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기한 에어실린더기구의 피스톤(11) 및 로드를 에어베어링에 의해서 미끄럼 작동이 자유자재인 상태로 지지시킨 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.The linear actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the piston (11) and the rod of the air cylinder mechanism are supported by an air bearing in a freely sliding state.