KR100259714B1 - Test for unit pixel in actuated mirror arrays - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A unit pixel testing device of thin-film micromirror array-actuated(TMA) applies various test signals of real driving signal to a test module and detects the driving state of AMA pixel of the test module, thereby measuring the performance characteristic of a unit pixel. CONSTITUTION: A test signal generator(510) generates plural top test signals and plural bottom test signals by using a clock pulse, a composite synchronizing signal and a vertical synchronizing signal, and provides the top and bottom test signals to a top test signal selector(520) and a bottom test signal selector(530) respectively. The top test signal selector(520) comprises a top switch(523) for selecting the top test signal of high pulse width to be applied to a test module(540) among the various test signals, and a top variable amplifier(526) for adjusting the signal level of the top test signal selected by the top switch(523). The bottom test signal selector(530) comprises a bottom switch(533) for selecting the bottom test signal of high pulse width to be applied to a test module(540) among the various test signals, and a bottom variable amplifier(536) for adjusting the signal level of the bottom test signal selected by the bottom switch(533). The test module(540) is tilted by depending on the top test signal selected by the top test signal selector(520) and the bottom test signal selected by the bottom test signal selector(530).

Description

박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치Test device for unit pixels of thin film optical path controller

본 발명은 박막형 광로 조절 장치(AMA : Actuated Mirror Arrays)의 테스트 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 M×N 개의 각 단위 픽셀(Pixel)에 대한 개별적인 특성을 측정하기 위한 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus for thin film type optical path control devices (AMAs), and more particularly, to measure individual characteristics of each M × N unit pixel constituting the thin film type optical path control devices. A test apparatus for unit pixels of a thin film type optical path control device.

AMA란, 투사형 화상 표시 장치의 일종으로서, M×N(M, N은 자연수) 개의 각 픽셀별로 광원으로부터 입사된 빛을 소정의 각도로 반사시켜 소정 화상을 표시하는 장치를 말하며, 이와 같은 AMA는 직시형 화상 표시 장치를 대표하는 CRT에 비해 저전압에서 동작하고, 소비 전력이 작으며, 변형 없는 화상을 제공할 수 있을 뿐만아니라, 같은 투사형 화상 표시 장치의 일종인 LCD(Liquid Crystal Display), DMD(Deformable Mirror Device)에 비해 광효율이 높은 장점을 지니고 있어, 현재 그 개발이 활발히 진행중이다.AMA is a type of projection image display device, and refers to a device for displaying a predetermined image by reflecting light incident from a light source at a predetermined angle for each pixel of M × N (M, N is a natural number). Compared to the CRT representing a direct-view image display device, it operates at a lower voltage, consumes less power, and provides an image without distortion. In addition, liquid crystal display (LCD) and DMD ( Its light efficiency is higher than that of Deformable Mirror Device, and its development is actively underway.

상술한 AMA는 도 1에 도시된 평면도에서 보는 바와 같이, M×N 개의 단위 픽셀들로 이루어진 AMA 모듈(350)을 형성하고, 그 각각의 단위 픽셀들에 전기적으로 접속하는 M개의 소오스 라인을 가진 소오스 패드(345)와 N개의 게이트 라인을 가진 게이트 패드(335)을 형성한후, 도 2에 도시된 바와 같은 구동 회로에 의해 구동한다.The AMA described above forms an AMA module 350 composed of M × N unit pixels, as shown in the plan view shown in FIG. 1, and has M source lines electrically connected to the respective unit pixels. After the source pad 345 and the gate pad 335 having N gate lines are formed, they are driven by a driving circuit as shown in FIG.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치의 동작 과정에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an operation process of a general M × N thin film type optical path control device will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

도 1 내지 도 2는 전술한 바 있고, 도 3은 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 단위 픽셀의 단면 구조를 도시한 단면도이고, 도 4는 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀을 구동하기 위한 구동 신호를 도시한 파형도이다.1 to 2 have been described above, FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional structure of a unit pixel constituting a general M × N thin film type optical path adjusting device, and FIG. 4 is a unit pixel of a general M × N thin film type optical path adjusting device. It is a waveform diagram which shows the drive signal for driving this.

이하, 본 발명에 대한 이해를 돕기 위해, M×N 개의 단위 픽셀로 이루어진 박막형 광로 조절 장치를 AMA 모듈(350)이라 칭하고, M×N 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 각각의 단위 픽셀을 AMA 픽셀이라 칭한다.Hereinafter, to facilitate understanding of the present invention, a thin film type optical path adjusting device including M × N unit pixels is called an AMA module 350, and each unit pixel constituting the M × N thin film type optical path adjusting device is called an AMA pixel. It is called.

먼저, 외부로부터 동기 신호 및 화상 데이터가 시스템 제어부(310)에 인가되면, 시스템 제어부(320)는 외부로부터 인가된 화상 신호에 대응되게 AMA 모듈(350) 내의 M×N 개의 AMA 픽셀을 개별적으로 구동하기 위하여, 공통 전극부(320), 게이트 구동부(330), 소스 구동부(340)를 구동 제어한다. 이때, 시스템 제어부(310)는 외부로부터 인가된 동기 신호에 의거하여 게이트 구동부(330)와 소스 구동부(340)로부터 각 AMA 픽셀에 구동 신호가 인가되는 타이밍을 포함하여 제어할 것이다.First, when a synchronization signal and image data are externally applied to the system controller 310, the system controller 320 individually drives M × N AMA pixels in the AMA module 350 to correspond to image signals applied from the outside. In order to control the driving, the common electrode 320, the gate driver 330, and the source driver 340 are controlled. In this case, the system controller 310 may control the driving signal to be applied to each AMA pixel from the gate driver 330 and the source driver 340 based on the synchronization signal applied from the outside.

시스템 제어부(330)의 구동 제어에 의해, 게이트 구동부(300)는 소스 구동부(340)에서 제공되는 구동 신호가 AMA 모듈(350)을 구성하는 M×N 개의 AMA 픽셀에 순차적으로 인가될 수 있도록 게이트 신호 온/오프 신호를 발생하고, 소오스 구동부(330)는 외부로부터 인가된 화상 데이터에 대응하는 소오스 신호를 발생한다.By driving control of the system controller 330, the gate driver 300 may gate the drive signal provided from the source driver 340 to be sequentially applied to the M × N AMA pixels constituting the AMA module 350. The signal on / off signal is generated, and the source driver 330 generates a source signal corresponding to the image data applied from the outside.

또한, 공통 전극부(320)는 시스템 제어부(310)의 제어에 의해, AMA 픽셀의 상부 전극(240)에 접지 전압과 같은 공통 신호를 제공하되, 그 초기에 액츄에이터(200)의 복원을 위한 리플레쉬 신호를 포함한다.In addition, the common electrode unit 320 provides a common signal, such as a ground voltage, to the upper electrode 240 of the AMA pixel under the control of the system controller 310, but initially restores the actuator 200 for restoration of the actuator 200. It contains a flash signal.

이후, 게이트 구동부(330)에서 발생된 게이트 신호가 도 3에 도시된 게이트 패드(335)에 구비된 게이트 라인을 따라 AMA 픽셀의 게이트 전극(125)에 제공되면, 게이트 전극(125)은 턴온 되고, 그에 따라 소오스 구동부(340)로부터 소오스 패드(345)를 경유하여 소오스 전극(120)에 제공되는 소오스 신호는 드레인 전극(115)에 인가된다.Thereafter, when the gate signal generated by the gate driver 330 is provided to the gate electrode 125 of the AMA pixel along the gate line of the gate pad 335 shown in FIG. 3, the gate electrode 125 is turned on. Therefore, the source signal provided to the source electrode 120 from the source driver 340 via the source pad 345 is applied to the drain electrode 115.

한편, 드레인 전극(115)은 도전성 금속으로 이루어진 금속층(140)과 배전체(270)를 통해서 하부 전극(220)과 전기적 접속을 이루므로, 드레인 전극(115)에 인가된 소오스 신호는 금속층(140)과 배전체(270)를 경유하여 하부 전극(220)에 인가된다.Meanwhile, since the drain electrode 115 makes an electrical connection with the lower electrode 220 through the metal layer 140 made of a conductive metal and the distributor 270, the source signal applied to the drain electrode 115 is the metal layer 140. And the lower electrode 220 via the distributor 270.

한편, 상부 전극(240)에는 공통 전극부(320)에서 제공되는 공통 전압이 인가되고 있으므로, 하부 전극(220)에 인가된 소오스 신호와 상부 전극(240)에 인가된 공통 전압에 의하여, 도 4에 도시된 바와 같은 구동 신호가 액츄에이터에 인가된다. 이때, 실제의 액츄에이터(200)에 인가되는 구동 신호는 도 4에 도시된 바와 같이, NTSC용 1 필드가 주사되는 16.5ms의 초기 1H 동안, 1H의 초기 0∼2μs동안은 -3V 정도의 복원 신호, 다음 2μs∼4μs 동안은 액츄에이터(200)의 구동에 필요한 전압을 충전하기 위한 프리-차아지(Pre-charge) 신호, 이후는 프리-차아지 신호에 의해 충전된 전압을 인가된 화상 데이터에 대응하는 신호 레벨까지 방전하는 홀딩 신호로 이루어진다.Meanwhile, since the common voltage provided from the common electrode unit 320 is applied to the upper electrode 240, FIG. 4 is applied by the source signal applied to the lower electrode 220 and the common voltage applied to the upper electrode 240. A drive signal as shown in is applied to the actuator. In this case, as shown in FIG. 4, the driving signal applied to the actual actuator 200 is a reconstruction signal of about -3V during the initial 1H of 16.5ms and the initial 0 to 2μs of 1H when 1 field for NTSC is scanned. The pre-charge signal for charging the voltage required for driving the actuator 200 during the next 2 μs to 4 μs, and then the voltage charged by the pre-charge signal corresponds to the applied image data. The holding signal is discharged to the signal level.

따라서, 액츄에이터(200)는 상술한 구동 신호에 의거하여, 초기 복원 신호의 인가시 초기 틸팅각(Initial Tilting Angel)으로 복원하고, 프리 차아지 신호의 인가시 소정의 전압이 충전한후, 홀딩 신호의 인가시 충전된 전압을 방전하여 외부로부터 인가된 화상 데이터에 대응되는 소정 각도를 유지한다.Therefore, the actuator 200 restores to the initial tilting angel upon application of the initial restoration signal based on the above-described driving signal, and after the predetermined voltage is charged when the precharge signal is applied, the holding signal The charged voltage is discharged at the time of application to maintain a predetermined angle corresponding to the image data applied from the outside.

상술한 동작 과정에 의해, 액츄에이터(200)가 소정 각도로 경사진 상태에서, 광원으로부터 입사된 빛은 상부 전극(240)의 표면에서 경사각에 대응하는 소정 각도록 반사된다. 이때, 상부 전극(230)은 알루미늄(Al) 등의 광반사 효율이 좋은 도전체로 구성하여, 공통 전극 및 거울의 역할을 동시에 수행할 것이다.By the operation process described above, in the state in which the actuator 200 is inclined at a predetermined angle, the light incident from the light source is reflected at a predetermined angle corresponding to the inclination angle on the surface of the upper electrode 240. In this case, the upper electrode 230 is composed of a conductor having good light reflection efficiency such as aluminum (Al), and will simultaneously serve as a common electrode and a mirror.

이와 같이, AMA 모듈(350)을 구성하는 M×N개의 AMA 픽셀 각각은 광원으로부터 입사된 빛을 소정 각도로 반사하므로써, 입력된 화상 데이터에 대응하는 소정 화상을 형성하게 된다.In this manner, each of the M × N AMA pixels constituting the AMA module 350 reflects the light incident from the light source at a predetermined angle, thereby forming a predetermined image corresponding to the input image data.

한편, 상술한 동작을 정확히 수행할 수 있도록 박막형 광로 조절 장치를 연구 개발하고, 제조된 박막형 광로 조절 장치가 정확한 동작을 수행하는 지를 측정하기 위하여 종래에는 도 1에 도시된 바와 같은 AMA 모듈(350)의 하부에 M×N(M, N은 양의 정수)의 구동 소자에 전기적으로 접속을 이루고 있는, 게이트 패드(335)에 -5V의 턴온 전압을 인가한후, 각각의 소오스 패드(345)에 소정 시간동안 5V 정도의 구동 신호를 인가하여, 각각의 AMA 픽셀들을 직접 스캐닝하였다.Meanwhile, the AMA module 350 as shown in FIG. 1 is conventionally used to research and develop a thin film type optical path adjusting device to accurately perform the above-described operation, and to measure whether the manufactured thin film type optical path adjusting device performs an accurate operation. A turn-on voltage of −5 V is applied to the gate pad 335, which is electrically connected to the driving element of M × N (M, where N is a positive integer) at the lower side thereof, and then to each source pad 345. A driving signal of about 5V was applied for a predetermined time, so that each AMA pixel was directly scanned.

그러나, 상술한 종래의 방법에서 사용하는 테스트 신호는 1 필의 주사 기간 동안 일정한 신호 레벨을 유지하므로, 실제 액츄에이터(200)에 인가되는 구동 신호가 도시된 도 4를 참조하면, 종래 방법에 의한 테스트 신호와 실제의 구동 신호와는 상이함을 알 수 있다.However, since the test signal used in the above-described conventional method maintains a constant signal level for one fill scan period, referring to FIG. 4 in which a drive signal applied to the actual actuator 200 is shown, the test by the conventional method It can be seen that the signal is different from the actual driving signal.

따라서, 종래의 테스트용 구동 신호를 사용하여 액츄에이터(200)가 동작하는 특성을 측정하는 것은, 실제의 구동 신호에 의한 액츄에이터의 동작 특성을 정확히 측정하기 어려운 문제점이 있었다.Therefore, measuring a characteristic in which the actuator 200 operates by using a conventional test driving signal has a problem in that it is difficult to accurately measure the operating characteristic of the actuator by the actual driving signal.

또한, 종래의 방법에서는 모듈 전체와 회로계의 영향에 의하여, AMA 단위 픽셀의 개별적인 특성을 측정하기에도 어려움이 있었다.In addition, in the conventional method, it is difficult to measure individual characteristics of the AMA unit pixels due to the influence of the entire module and the circuit system.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 1개 또는 다수 개의 단위 픽셀로 이루어진 테스트 모듈을 별도로 구성하고, 테스트 모듈에 실제 구동 신호의 펄스 폭 및 신호 레벨을 가변한 다양한 테스트 신호를 인가한 후, 테스트 모듈을 구성하는 AMA 픽셀의 구동 상태를 검출하므로써, 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 M×N 개의 각 단위 픽셀의 특성을 측정할 수 있도록 구성한 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to configure a test module consisting of one or a plurality of unit pixels separately, the pulse width and signal level of the actual drive signal in the test module After applying various test signals with variable values, and detecting the driving state of the AMA pixels constituting the test module, the thin film type optical path control configured to measure the characteristics of each M × N unit pixel constituting the thin film type optical path control device The present invention provides a test device for unit pixels of a device.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는, 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 단위 픽셀의 동작 특성을 측정하기 위한 테스트 장치로서, 외부로부터 인가되는 수직 동기 신호와 복합 동기 신호를 이용하여 펄스 폭 및 주기를 달리하는 다수 개의 상부 테스트 신호 및 다수 개의 하부 테스트 신호를 발생하는 테스트 신호 발생부; 상기 테스트 신호 발생부에서 발생된 다수 개의 상부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하기 위한 상부 테스트 신호 선택부; 상기 테스트 신호 발생부에서 발생된 다수 개의 하부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하기 위한 하부 테스트 신호 선택부; 상부 테스트 신호 선택부에서 선택된 상부 테스트 신호와 상기 하부 테스트 신호 선택부에서 선택된 하부 테스트 신호에 대응하여 소정 각도로 틸팅하는 상기 단위 픽셀로 이루어지는 테스트 모듈을 포함하여 이루어지는 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, in the present invention, as a test device for measuring the operating characteristics of the unit pixels constituting the thin film type optical path control device, the pulse width and period using a vertical synchronization signal and a composite synchronization signal applied from the outside A test signal generator configured to generate a plurality of upper test signals and a plurality of lower test signals; An upper test signal selector for selecting any one of a plurality of upper test signals generated by the test signal generator; A lower test signal selector for selecting any one of a plurality of lower test signals generated by the test signal generator; A test module comprising a test module comprising an upper test signal selected by the upper test signal selector and the unit pixels tilting at a predetermined angle in response to the lower test signal selected by the lower test signal selector Provide the device.

도 1은 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치의 평면을 도시한 평면도,1 is a plan view showing a plane of a typical M × N thin-film optical path control device,

도 2는 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치를 구동하기 위한 구동 회로,2 is a driving circuit for driving a general M × N thin film type optical path control device,

도 3은 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치를 구성하는 단위 픽셀의 단면을 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing a cross section of a unit pixel constituting a general M × N thin film type optical path adjusting device;

도 4는 일반적인 M×N 박막형 광로 조절 장치를 구동하기 위한 액츄에이터 구동 신호를 도시한 파형도,4 is a waveform diagram showing an actuator driving signal for driving a general M × N thin film type optical path adjusting device;

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 도시한 블록 구성도,FIG. 5 is a block diagram illustrating a test device for a unit pixel of a thin film type optical path control device according to an exemplary embodiment of the present invention; FIG.

도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 도시한 블록 구성도.6 is a block diagram illustrating a test device for a unit pixel of a thin film type optical path adjusting device according to another exemplary embodiment of the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

100 : 구동 기판 110 : 반도체 기판100 driving substrate 110 semiconductor substrate

115 : 드레인 전극 120 : 소오스 전극115: drain electrode 120: source electrode

125 : 게이트 전극 130 : 필드 산화막125 gate electrode 130 field oxide film

135 : 절연층 140 : 금속층135: insulating layer 140: metal layer

145 : 보호층 150 : 식각 방지층145: protective layer 150: etch stop layer

160 : 에어 갭 200 : 액츄에이터160: air gap 200: actuator

210 : 멤브레인 220 : 하부 전극210: membrane 220: lower electrode

230 : 변형층 240 : 상부 전극230: strained layer 240: upper electrode

250 : 스트라이프 260 : 배전홀250: stripe 260: power distribution hole

270 : 배전체 310 : 시스템 제어부270: distributor 310: system control unit

320 : 공통 전극부 330 : 게이트 구동부320: common electrode 330: gate driver

335 : 게이트 패드 340 : 소오스 구동부335: gate pad 340: source driver

345 : 소오스 패드 350 : AMA 모듈345: source pad 350: AMA module

510 : 테스트 신호 발생부 520 : 상부 테스트 신호 선택부510: test signal generator 520: upper test signal selector

523 : 상부 스위치 526 : 상부 가변 증폭부523: upper switch 526: upper variable amplifier

533 : 하부 스위치 536 : 하부 가변 증폭부533: lower switch 536: lower variable amplifier

530 : 하부 테스트 신호 선택부530: lower test signal selector

540 : 테스트 모듈 550 : 픽셀 선택부540: test module 550: pixel selector

본 발명의 장점 및 기타 다른 목적과 장점은 첨부된 도 5 및 도 6을 참조한 하기의 설명에 의해 더욱 명확히 이해될 것이다.Advantages and other objects and advantages of the present invention will be more clearly understood by the following description with reference to the attached FIGS. 5 and 6.

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 도시한 블록 구성도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치를 도시한 블록 구성도이다.FIG. 5 is a block diagram illustrating a test device for a unit pixel of a thin film type optical path control apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a unit pixel of the thin film type optical path control apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention. It is a block diagram which shows a test apparatus.

이하, 상술한 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 설명함에 있어서, 본 발명에 대한 이해를 돕기위하여, NTSC(National Television System Committee) 방식을 예로 들어 설명하되, 다른 방식에서도 용이하게 변경 실시하여, 본 발명의 목적 및 효과를 얻을 수 있을 것이다.Hereinafter, in the following description of the present invention with reference to the accompanying drawings, in order to help the understanding of the present invention, the NTSC (National Television System Committee) method will be described as an example, but also easily changed to other methods, The objects and effects of the invention may be obtained.

도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치는, 테스트 신호 발생부(510), 상부 테스트 신호 선택부(520), 하부 테스트 신호 선택부(530), 테스트 모듈(540)을 포함하여 구성되며, 그 각각의 구성 부재별 기능은 다음과 같다.Referring to FIG. 5, a test device for a unit pixel of a thin film type optical path control apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention may include a test signal generator 510, an upper test signal selector 520, and a lower test signal selector ( 530, including a test module 540, the function of each component is as follows.

먼저, 테스트 신호 발생부(510)는 외부로부터 인가되는 클럭 펄스(Clock Pulse) 및 복합 동기 신호(C SYNC : Composite Synchronizing Signal) 및 수직 동기 신호(Vertical Synchronizing Signal)를 이용하여, 하이 펄스의 펄스 폭이 서로 다른 다수 개의 상부 테스트 신호 및 하부 테스트 신호를 발생하고, 그 발생된 상부 및 하부 테스트 신호를 상부 테스트 신호 선택부(520) 및 하부 테스트 신호 선택부(530)에 제공한다.First, the test signal generator 510 uses a clock pulse, a composite synchronizing signal (C SYNC), and a vertical synchronizing signal (V SYNC) applied from the outside, and a pulse width of a high pulse. A plurality of different upper test signals and lower test signals are generated, and the generated upper and lower test signals are provided to the upper test signal selector 520 and the lower test signal selector 530.

또한, 테스트 모듈(540)을 다수개의 단위 픽셀로 선택하는 경우에는, 상기 다수개의 단위 픽셀중 어느 하나를 선택하기 위한 선택 제어 신호를 발생하고, 그 발생된 신호를 픽셀 선택부(550)에 제공한다.In addition, when the test module 540 is selected as a plurality of unit pixels, a selection control signal for selecting any one of the plurality of unit pixels is generated, and the generated signal is provided to the pixel selector 550. do.

상부 테스트 신호 선택부(520)는 상부 스위치(523) 및 상부 가변 증폭부(526)로 이루어지며, 테스트 신호 발생부(510)으로부터 제공된 다수 개의 상부 테스트 신호중 소망하는 하이 펄스 폭과 신호 레벨을 갖는 상부 테스트 신호를 선택하며, 그와 같은 기능을 수행하기 위해 상부 스위치(523) 및 상부 가변 증폭부(526)은 다음과 같은 기능을 수행한다.The upper test signal selector 520 includes an upper switch 523 and an upper variable amplifying unit 526 and has a desired high pulse width and signal level among a plurality of upper test signals provided from the test signal generator 510. The upper test signal is selected, and the upper switch 523 and the upper variable amplifying unit 526 perform the following functions to perform the same function.

먼저, 상부 스위치(523)는 사용자의 조작에 의거하여, 서로 다른 하이 펄스 폭을 갖는 상부 테스트 신호중 테스트 모듈에 인가하고자 하는 하이 펄스폭을 갖는 상부 테스트 신호를 선택하여 상부 가변 증폭부(526)에 제공한다.First, the upper switch 523 selects the upper test signal having the high pulse width to be applied to the test module among the upper test signals having the different high pulse widths to the upper variable amplifier 526 based on the user's operation. to provide.

상부 가변 증폭부(526)는 사용자에 의하여 조작가능한 증폭도 조절부(도시 생략한)를 구비하며, 사용자의 조작에 의거하여, 상부 스위치(533)에 의해 선택된 상부 테스트 신호의 신호 레벨을 조절한다. 이때, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상술한 상부 테스트 신호의 신호 레벨을 5V∼17V의 전압 범위 내에서 조절하는 것이 바람직할 것이다.The upper variable amplifying unit 526 includes an amplification degree adjusting unit (not shown) that is operable by a user, and adjusts the signal level of the upper test signal selected by the upper switch 533 based on the user's operation. . At this time, in the preferred embodiment of the present invention, it will be preferable to adjust the signal level of the above-described upper test signal within a voltage range of 5V to 17V.

한편, 하부 테스트 신호 선택부(530)는 테스트 신호 발생부(510)에서 발생된 다수 개의 하부 테스트 신호에 대하여 상술한 상부 테스트 신호 선택부(520)와 동일한 기능을 수행한다.The lower test signal selector 530 performs the same function as the upper test signal selector 520 described above with respect to the plurality of lower test signals generated by the test signal generator 510.

테스트 모듈(540)은 상술한 AMA 픽셀과 동일한 구조로 이루어지며, 상부 테스트 신호 선택부(520) 및 하부 테스트 신호 선택부(530)에서 선택된 상부 테스트 신호와 하부 테스트 신호에 의거하여 소정 각도록 틸팅한다.The test module 540 has the same structure as the AMA pixel described above, and is tilted to a predetermined angle based on the upper test signal and the lower test signal selected by the upper test signal selector 520 and the lower test signal selector 530. do.

한편, 도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 이 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치에서는 테스트 모듈(540)에 다수개의 AMA 픽셀로 구성되며, 이때, 본 발명의 일실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치에 픽셀 선택부(550)가 더 구비된다.On the other hand, referring to Figure 6, in the test device for a unit pixel of the thin film type optical path control apparatus according to an embodiment of the present invention is composed of a plurality of AMA pixels in the test module 540, at this time, an embodiment of the present invention The pixel selection unit 550 is further provided in the unit pixel test apparatus of the thin film type optical path control apparatus.

픽셀 선택부(550)는 테스트 모듈(540)에 형성되는 다수개의 단위 픽셀 각각에 대응하는 스위치(예를 들어, MOS 트랜지스터)로 형성되며, 그 각각의 스위치는 테스트 신호 발생부(510)에서 발생된 선택 제어 신호에 의거하여 온/오프되어 상기 하부 테스트 신호 선택부(530)에서 제공되는 하부 테스트 신호를 테스트 모듈(540)에 형성되는 다수개의 단위 픽셀에 선택적으로 인가한다.The pixel selector 550 is formed of a switch (for example, a MOS transistor) corresponding to each of a plurality of unit pixels formed in the test module 540, and each switch is generated by the test signal generator 510. On / off based on the selected control signal, the lower test signal provided by the lower test signal selector 530 is selectively applied to a plurality of unit pixels formed in the test module 540.

이하, 상술한 기능을 수행하는 본 발명의 바람직한 일 실시예 및 다른 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치의 동작 과정에 대하여 상세히 설명하되, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 동작 설명은 본 발명의 다른 실시예에 따른 동작 설명으로도 이해 가능하므로, 이하 후술하는 설명에서는 본 발명의 이 실시예에 따른 박막형 광로 조절 장치용 테스트 신호 발생 장치에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, an operation process of a test device for a unit pixel of a thin film type optical path control device according to an embodiment of the present invention and another embodiment for performing the above function will be described in detail, but the operation according to an embodiment of the present invention will be described. Since the description may be understood as an operation description according to another embodiment of the present invention, the following description will be made of the test signal generator for the thin film type optical path control device according to this embodiment of the present invention.

먼저, 테스트 신호 발생부(510)에 외부로부터 인가된 클럭 펄스, 수직 동기 신호(Vertical Synchronization Signal) 및 복합 동기 신호(Composite Synchronization Signal)가 인가되면, 테스트 신호 발생부(510)에 구비된 동기 분리부(도시 생략된)는 복합 동기 신호에서 수직 동기 신호를 차분하여 수평 동기 신호를 분리한다. 이때, NTSC 용 1 프레임(Frame)은 33ms로서 16.5ms의 필드(Field) 2개에 해당하고, 1개의 필드는 1 주기의 수직 동기 신호에 해당한다. 또한, 수직 동기 신호는 262.5개의 주사선에 해당하고, 그 펄스는 3 주기의 수평 동기 신호에 대항하는 바, 1개의 수평 동기 신호는 63.5μs의 1 주사선에 해당한다.First, when a clock pulse, a vertical synchronization signal, and a composite synchronization signal applied from the outside are applied to the test signal generator 510, synchronization separation provided in the test signal generator 510 is performed. A unit (not shown) separates the horizontal synchronizing signal by subtracting the vertical synchronizing signal from the composite synchronizing signal. At this time, one frame for NTSC is 33ms, which corresponds to two fields of 16.5ms, and one field corresponds to one period of vertical synchronization signal. In addition, the vertical synchronization signal corresponds to 262.5 scan lines, and the pulse corresponds to three horizontal synchronization signals, and one horizontal synchronization signal corresponds to one scan line of 63.5 μs.

이후, 테스트 신호 발생부(440)는 클럭 펄스 및 수직, 수평 동기 신호를 이용하여, 서로 다른 펄스 폭을 갖는 다수 개의 상부 테스트 신호 및 하부 테스트 신호를 발생한다.Thereafter, the test signal generator 440 generates a plurality of upper test signals and lower test signals having different pulse widths by using clock pulses and vertical and horizontal synchronization signals.

예를 들어, 상부 테스트 신호의 펄스 폭이 2μs, 4μs, 6μs…와 같이 2μs주기로 기설정되어 있고, 클럭 펄스가 10Mhz의 주파수를 갖는 경우를 예로 들면, 다음과 같다.For example, the pulse widths of the upper test signal are 2 μs, 4 μs, 6 μs. For example, the case is preset in a 2 μs period and the clock pulse has a frequency of 10 MHz, as follows.

먼저, 상부 테스트 신호의 펄스 폭이 2μs인 경우에, 테스트 신호 발생부(440)에서는 수평 동기 신호의 펄스가 인가된 상태, 즉, 클럭 펄스의 카운트값이 0인 상태에서부터 클럭 펄스의 카운트 값이 20일 때 까지 액티브 펄스를 발생한후, 다음 수직 펄스가 인가될 때 까지 액티브 펄스를 발생하지 않는다.First, when the pulse width of the upper test signal is 2 μs, in the test signal generator 440, the count value of the clock pulse is increased from the state in which the pulse of the horizontal synchronization signal is applied, that is, the count value of the clock pulse is 0. After generating the active pulse until 20, the active pulse is not generated until the next vertical pulse is applied.

즉, 테스트 신호 발생부(440)는 1 수직 동기 신호의 주기인 16.5ms중 하나의 수평 동기 신호 63.5μs 주기의 처음 시작 부분에서 펄스 폭이 2μs인 펄스를 갖는 상부 테스트 신호를 발생한다.That is, the test signal generator 440 generates an upper test signal having a pulse having a pulse width of 2 μs at the beginning of one horizontal sync signal 63.5 μs period out of 16.5 ms, which is a period of one vertical sync signal.

그 다음 신호는 클럭 펄스의 카운트값이 40일 때 까지 액티브 펄스를 발생하고, 다음은 60일 때 까지…… 상술한 과정에 의해 액티브 펄스의 펄스 폭이 2μs 단위로 증가되는 다수 개의 상부 테스트 신호를 발생하고, 그 발생된 다수 개의 상부 테스트 신호를 상부 스위치(523)에 제공한다.The next signal generates an active pulse until the clock pulse count is 40, and then until 60. … By the above-described process, a plurality of upper test signals are generated in which the pulse width of the active pulse is increased in units of 2 μs, and the generated plurality of upper test signals are provided to the upper switch 523.

이후, 사용자의 스위치 조작에 의거하여, 상부 스위치(523)는 테스트 신호 발생부(523)로부터 제공된 다수 개의 상부 테스트 신호중 어느 하나를 상부 가변 증폭부(526)에 제공한다.Then, based on the user's switch operation, the upper switch 523 provides one of the plurality of upper test signals provided from the test signal generator 523 to the upper variable amplifier 526.

상부 가변 증폭부(526)는 사용자의 증폭도 조작에 의거하여, 상부 스위치(523)에서 선택된 상부 테스트 신호의 신호 레벨을 소정 전압 범위 내에서 증폭하고, 그 증폭된 신호를 테스트 모듈에 제공한다. 이때, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상부 테스트 신호의 신호 레벨을 5V∼17V의 범위 내에서 증폭하도록 조절하고, 또한, 상부 가변 증폭부(526)에서 증폭된 상부 테스트 신호는 테스트 모듈(540)의 상부 전극(도시 생략된)에 인가된다.The upper variable amplifying unit 526 amplifies the signal level of the upper test signal selected by the upper switch 523 within a predetermined voltage range, and provides the amplified signal to the test module based on a user's amplification degree manipulation. At this time, in the preferred embodiment of the present invention, the signal level of the upper test signal is adjusted to be amplified within the range of 5V to 17V, and the upper test signal amplified by the upper variable amplifier 526 is the It is applied to an upper electrode (not shown).

한편, 테스트 신호 발생부(510)는 상술한 상부 테스트 신호의 발생 과정과 동일한 방법에 의거하여, 외부로부터 인가된 클럭 펄스, 수직 동기 신호 및 복합 동기 신호의 조합을 통해 서로 다른 다수 개의 펄스 폭을 갖는 하부 테스트 신호를 발생할 수 있을 것이다. 이때, 하부 테스트 신호는 상부 테스트 신호의 액티브 펄스에 의한 리플레쉬 타임을 고려하여, NTSC용 1 필드에 대응하는 수직 동기 신호의 발생후 소정 시간동안 딜레이한후, 액티브 펄스를 발생하여야만 할 것이다. 즉, 사용자의 조작에 의해 상부 스위치(523)에서 선택된 상부 테스트 신호의 펄스폭에 대응하는 시간동안 딜레이한후, 액티브 펄스를 발생하여야만 할 것이다.On the other hand, the test signal generator 510 is configured to generate a plurality of different pulse widths through a combination of a clock pulse, a vertical sync signal, and a complex sync signal applied from the outside based on the same method as the above-described generation of the upper test signal. Having a lower test signal. In this case, the lower test signal should delay for a predetermined time after generation of the vertical synchronization signal corresponding to one field for NTSC in consideration of the refresh time by the active pulse of the upper test signal, and then generate the active pulse. That is, after delaying for a time corresponding to the pulse width of the upper test signal selected by the upper switch 523 by the user's operation, the active pulse should be generated.

예를 들어, 액티브 펄스의 펄스 폭이 2μs, 4μs, 6μs……와 같이 2μs 단위로 증가하는 다수 개의 하부 테스트 신호를 발생하기 위해서는, 다음과 같은 방법으로 설명한다. 이때에도 상부 테스트 신호의 발생에서와 마찬가지로 클럭 펄스는 10Mhz의 주파수를 갖을 것이다.For example, the pulse widths of the active pulses are 2 μs, 4 μs, 6 μs. … In order to generate a plurality of lower test signals increasing in units of 2 μs as described above, the following method will be described. Again, as in the generation of the upper test signal, the clock pulses will have a frequency of 10 MHz.

먼저, 상부 스위치(523)에서 액티브 펄스 폭이 2μs인 상부 테스트 신호가 선택되었다면, 액티브 펄스폭이 2μs인 하부 테스트 신호는, 테스트 신호 발생부(440)에 수평 동기 신호의 액티브 펄스가 인가된 상태, 즉, 클럭 펄스의 카운트값이 0인 상태에서부터 클럭 펄스의 카운트 값이 20일 때 까지 딜레이한 후, 클럭 펄스의 카운트 값이 21에서부터 40일 때 까지 액티브 펄스를 발생하고, 다음 수직 동기 신호의 액티브 펄스가 인가될 때 까지 하부 테스트 신호의 액티브 펄스를 발생하지 않는다.First, if the upper test signal having an active pulse width of 2 μs is selected at the upper switch 523, the lower test signal having an active pulse width of 2 μs is a state in which an active pulse of a horizontal synchronization signal is applied to the test signal generator 440. That is, after the clock pulse count value is 0 and the clock pulse count value is delayed to 20, the active pulse is generated until the count value of the clock pulse is 21 to 40. It does not generate an active pulse of the lower test signal until an active pulse is applied.

상술한 방법과 같이, 하부 테스트 신호는 액츄에이터의 복원 신호를 인가하도록 기설정된 리플레쉬 타임동안 딜레이한후, 2μs, 4μs, 6μs,……등과 같이 2μs 단위로 증가하는 액티브 펄스를 발생한다. 이때, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상부 테스트 신호와 마찬가지로 하부 테스트 신호의 액티브 펄스를 2μs∼16μs의 범위 내에서 선택하는 것이 바람직할 것이다.As with the method described above, the lower test signal is delayed for a predetermined refresh time to apply the restoring signal of the actuator, and then 2 μs, 4 μs, 6 μs,... … This generates an active pulse that increases in 2 μs increments. At this time, in the preferred embodiment of the present invention, as in the upper test signal, it will be preferable to select the active pulse of the lower test signal within the range of 2 μs to 16 μs.

상술한 과정에 의해, 서로 다른 펄스 폭을 갖는 다수 개의 하부 테스트 신호를 발생한 테스트 신호 발생부(510)는, 그 발생된 하부 테스트 신호를 하부 스위치(533)에 제공한다.By the above-described process, the test signal generator 510 which generates a plurality of lower test signals having different pulse widths provides the generated lower test signal to the lower switch 533.

이후, 사용자의 스위치 조작에 의거하여, 하부 스위치(533)는 테스트 신호 발생부(523)로부터 제공된 다수 개의 하부 테스트 신호중 어느 하나를 하부 가변 증폭부(536)에 제공한다.Subsequently, the lower switch 533 provides one of the plurality of lower test signals provided from the test signal generator 523 to the lower variable amplifier 536 based on the user's switch operation.

하부 가변 증폭부(536)는 사용자의 증폭도 조작에 의거하여, 하부 스위치(5323)에서 선택된 하부 테스트 신호의 신호 레벨을 소정 전압 범위 내에서 증폭하고, 그 증폭된 하부 테스트 신호를 픽셀 선택부(550)에 제공한다.The lower variable amplifying unit 536 amplifies the signal level of the lower test signal selected by the lower switch 5323 within a predetermined voltage range, and converts the amplified lower test signal into the pixel selector based on a user's amplification degree operation. 550).

한편, 테스트 신호 발생부(510)는 테스트 모듈(540)에 구비되는 다수 개의 단위 픽셀중 하나를 선택하기 위한 선택 제어 신호를 발생하고, 그 발생된 선택 제어 신호를 하부 가변 증폭부(536)에 제공할 것이다. 이때, 픽셀 선택 신호는 1 수평 주기에 해당하는 63.5μs동안 발생되는 액티브 펄스를 갖는다.The test signal generator 510 generates a selection control signal for selecting one of a plurality of unit pixels included in the test module 540, and transmits the generated selection control signal to the lower variable amplifier 536. Will provide. In this case, the pixel selection signal has an active pulse generated for 63.5 μs corresponding to one horizontal period.

테스트 모듈(540)에 구비되는 단위 픽셀 각각에 대응하여 형성된 픽셀 선택부(550)의 스위치는 테스트 신호 발생부(510)에서 제공되는 선택 제어 신호에 의거하여 온/오프되어 하부 가변 증폭부(536)에서 증폭되어 제공되는 하부 테스트 신호를 테스트 모듈(540)에 구비되는 단위 픽셀에 선택적으로 인가한다.The switch of the pixel selector 550 formed corresponding to each of the unit pixels included in the test module 540 is turned on / off based on the selection control signal provided from the test signal generator 510 and thus the lower variable amplifier 536. The lower test signal amplified by () is selectively applied to the unit pixel provided in the test module 540.

상술한 바와 같이, 테스트 모듈(540)을 1개의 테스트 픽셀로 형성하여, 개별적인 AMA 단위 픽셀이 동작하는 특성을 테스트 할 수도 있을 것이고, 다수개의 테스트 픽셀로 형성한후, 픽셀 선택부(550)에 의해 순차적으로 동작하도록 하므로써, 게이트 구동부(330)에 의해 동작하는 AMA픽셀의 동작 특성을 측정할 수도 있을 것이다.As described above, the test module 540 may be formed of one test pixel to test a characteristic of operating an individual AMA unit pixel. The test module 540 may be formed of a plurality of test pixels. By sequentially operating by, the operating characteristics of the AMA pixel operated by the gate driver 330 may be measured.

따라서, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치용 테스트 신호 발생 장치를 이용하면, 그 펄스 폭과 펄스 발생 주기를 서로 달리하는 다양한 상부 테스트 신호와 하부 테스트 신호를 제공하므로써, 신호 변화에 의한 박막형 광로 조절 장치의 동작 특성을 정확히 측정할 수 있어, AMA 제품의 연구 개발 및 제조된 AMA 제품의 성능 평가에 유용하게 이용할 수 있을 것이다.Therefore, by using the test signal generator for the thin film type optical path control apparatus according to the present invention, by providing a variety of upper and lower test signals having different pulse widths and pulse generation periods, the thin film type optical path adjusting device by the signal change It is possible to accurately measure the operating characteristics of the AMA product can be useful for research and development of AMA products and performance evaluation of manufactured AMA products.

Claims (4)

박막형 광로 조절 장치를 구성하는 단위 픽셀의 동작 특성을 측정하기 위한 테스트 장치로서,A test apparatus for measuring the operating characteristics of the unit pixels constituting the thin film type optical path control device, 외부로부터 인가되는 수직 동기 신호와 복합 동기 신호를 이용하여 펄스 폭 및 주기를 달리하는 다수 개의 상부 테스트 신호 및 다수 개의 하부 테스트 신호를 발생하는 테스트 신호 발생부;A test signal generator configured to generate a plurality of upper test signals and a plurality of lower test signals having different pulse widths and periods by using a vertical synchronization signal and a complex synchronization signal applied from the outside; 상기 테스트 신호 발생부에서 발생된 다수 개의 상부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하기 위한 상부 테스트 신호 선택부;An upper test signal selector for selecting any one of a plurality of upper test signals generated by the test signal generator; 상기 테스트 신호 발생부에서 발생된 다수 개의 하부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하기 위한 하부 테스트 신호 선택부;A lower test signal selector for selecting any one of a plurality of lower test signals generated by the test signal generator; 상부 테스트 신호 선택부에서 선택된 상부 테스트 신호와 상기 하부 테스트 신호 선택부에서 선택된 하부 테스트 신호에 대응하여 소정 각도로 틸팅하는 상기 단위 픽셀로 이루어지는 테스트 모듈을 포함하여 이루어지는 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치.A test module comprising a test module comprising an upper test signal selected by the upper test signal selector and the unit pixels tilting at a predetermined angle in response to the lower test signal selected by the lower test signal selector Device. 제 1 항에 있어서, 상기 상부 테스트 신호 선택부는,The method of claim 1, wherein the upper test signal selector, 상기 상부 테스트 신호 발생부에서 펄스 폭이 서로 다르게 발생된 다수 개의 상부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하는 상부 스위치;An upper switch for selecting any one of a plurality of upper test signals having different pulse widths from the upper test signal generator; 상기 상부 스위치에 의해 선택된 상부 테스트 신호를 소정 신호 레벨로 증폭하는 상부 가변 증폭부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치.And an upper variable amplifying unit configured to amplify the upper test signal selected by the upper switch to a predetermined signal level. 제 1 항에 있어서, 상기 하부 테스트 신호 선택부는,The method of claim 1, wherein the lower test signal selector, 상기 하부 테스트 신호 발생부에서 펄스 폭이 서로 다르게 발생된 다수 개의 하부 테스트 신호중 어느 하나를 선택하는 하부 스위치;A lower switch for selecting any one of a plurality of lower test signals having different pulse widths from the lower test signal generator; 상기 하부 스위치에 의해 선택된 하부 테스트 신호를 소정 신호 레벨로 증폭하는 하부 가변 증폭부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치.And a lower variable amplifier configured to amplify the lower test signal selected by the lower switch to a predetermined signal level. 제 3 항에 있어서, 상기 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치는, 상기 테스트 모듈을 다수 개의 단위 픽셀로 형성하고, 상기 테스트 신호 발생부는 상기 다수 개의 단위 픽셀에 대해 상기 하부 가변 증폭부에서 증폭된 상기 하부 테스트 신호를 선택적으로 인가하기 위한 선택 제어 신호를 발생하며, 상기 테스트 신호 발생부에서 발생된 선택 제어 신호에 의거하여 상기 하부 가변 증폭부에서 증폭된 상기 하부 테스트 신호를 상기 다수 개의 단위 픽셀에 선택적으로 인가하는 픽셀 선택부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막형 광로 조절 장치의 단위 픽셀용 테스트 장치.4. The apparatus of claim 3, wherein the test device for the unit pixel of the thin film type optical path adjusting device comprises: forming the test module with a plurality of unit pixels, and the test signal generator is amplified by the lower variable amplifier for the plurality of unit pixels. Generating a selection control signal for selectively applying the lower test signal; The apparatus for testing unit pixels of the thin film type optical path control device, characterized in that it further comprises a pixel selection unit for selectively applying.
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