KR100254683B1 - High porous thick film getter for field emission display and vaccum method using the same - Google Patents

Abstract

PURPOSE: An HPTF getter is provided to be capable of a high-vacuum panel at getter activation by installing a many amount of HPTF getters in a panel. CONSTITUTION: An HPTF getter(22) with a link for supporting a getter, which is used for high vacuum along an inner side of a sealing wall(20), is formed at an inner side of the sealing wall formed on an upper substrate. A fixing frame having a groove part is formed on an inner side of the sealing wall(20) so as to easily fix the link to the groove part of the fixing frame. The HPTF getter(22) is activated by connecting a dumet wire(26) to both ends of the HPTF getter(22) and making a current flow through the dumet wire from an outer side of the sealing wall(20) is formed.

Description

전계방출표시소자의 에이치피티에프 게터 및 그를 이용한 진공방법HFC getter of field emission display device and vacuum method using the same

본 발명의 전계방출표시소자용 게터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 전계방출표시소자의 부피를 줄이고, 게터활성시 유리 기판에 직접적인 열이 가해지지 않을뿐만 아니라 높은 진공도를 얻을 수 있도록 전계방출표시소자의 에이치피티에프(HPTF) 게터 및 그를 이용한 진공방법에 관한 것이다.The present invention relates to a getter for a field emission display device, and more particularly, to reduce the volume of the field emission display device and to provide a high vacuum degree as well as not directly applying heat to the glass substrate when the getter is activated. An HTF getter of a device and a vacuum method using the same.

일반적으로 전계방출표시소자의 내부 진공 유지를 위해 게터를 형성시키는 바, 이에 사용되는 게터는 증발성 게터(Evaporable Gatter)와 비증발성 게터(NEG:Non-Evaporable Getter)가 있다.In general, a getter is formed to maintain an internal vacuum of the field emission display device, and a getter used therein includes an evaporable getter and a non-evaporable getter.

또한 게터의 활성화 방법으로는, 전류에 의한 저항 가열법, 증발성 게터에 사용되는 RF(Radio Frequency)가열법, 레이져 또는 적외선 가열법에 의해 게터를 활성화시키며, 또다른 활성화 방법으로는 전계방출표시소자 패널 전체를 가열시켜 활성화시키는 방법이 있다. 그중 많이 사용되는 방법으로 저항 가열법과 RF 가열법이 편리하게 사용되고 있다.In addition, as a method of activating the getter, the getter is activated by a resistance heating method using a current, a radio frequency (RF) heating method used for an evaporative getter, or a laser or infrared heating method. There is a method of heating the entire device panel to activate it. Among them, the resistance heating method and the RF heating method are conveniently used.

예를 들어 증발성 게터를 사용할 경우에는, 이 게터를 형성시키기 위한 구조가 복잡해지고, 게터의 활성화시 내부 온도가 800∼1250℃까지 상승하는 고온 문제로, 글래스에 파손문제가 발생되어 진공도를 유지 못하는 단점이 있고 또한 공정도 어렵고 소자의 두께가 두터워지는 단점이 있다.For example, when an evaporable getter is used, the structure for forming the getter becomes complicated, and a high temperature problem in which the internal temperature rises to 800 to 1250 ° C when the getter is activated causes breakage problems in the glass, thus maintaining the vacuum degree. There is a disadvantage that it is difficult and also difficult to process and the thickness of the device has the disadvantage.

또한 증발성 게터는 마그네슘, 바륨, 알루미늄 등의 금속성으로 이루어져 있어 진공도를 높이기 위해 게터를 활성화시킨 후에는 그 소자 내부 자체가 도전되는 문제도 발생하여 전극 컨트롤이 잘되지 않는 문제도 있었다.In addition, since the evaporable getter is made of metal such as magnesium, barium, and aluminum, after the activator of the getter is activated to increase the degree of vacuum, the inside of the device may be electrically conductive, resulting in poor electrode control.

상기와 같은 문제점으로 인하여 종래에는 백챔버를 이용하지 않고 패널 내부에 직접 실장하여 사용할 수 있는 HPTF(High Porous Thick Film) 게터를 개발하여 사용하여 왔었다.Due to the above problems, conventionally, HPTF (High Porous Thick Film) getters, which can be directly mounted inside a panel without using a back chamber, have been developed and used.

종래의 HPTF 게터는 도 1 과 도 2 에 도시된 바와 같이, 니크롬판상에 게터물질로 이루어진 게터가 상하판으로 겹쳐진 유리기판(8) 상에 실링 페이스트(6)로 밀봉하고, 그 중앙부위가 디스플레이 에리어의 측면 니크롬층(3)에 HPTF 게터(2)를 길게 형성하고, 평판으로 이루어진 상하판의 유리기판(8)상의 한쪽면에는 가스배기홀(10)이 형성되어 있었다.In the conventional HPTF getter, as shown in FIGS. 1 and 2, a getter made of a getter material on a nichrome plate is sealed with a sealing paste 6 on a glass substrate 8 in which an upper and lower plates are superimposed, and a center portion thereof is displayed. The HPTF getter 2 was formed long in the side nichrome layer 3 of the area, and the gas exhaust hole 10 was formed in one side on the glass substrate 8 of the upper and lower plates which consisted of flat plates.

상기 HPTF 게터는 백챔버를 이용하지 않고 패널 내부에 직접 실장하는 것으로 많이 사용되고 있으나 이는 HPTF 게터(2)가 상하판으로 이루어진 유리기판(8)사에 형성시키는 것으로, 전원인가시, 내부에서 발생되는 가스는 배기홀(10)을 통하여 배출되는 HPTF 게터(2)의 주변에 고열이 발생됨으로 인하여 HPTF 게터(2)와 접하게되는 상하판의 유리기판(8)인 패널에 영향을 주므로 파손되는 문제점이 크게 대두되고 있다.The HPTF getter is used to directly mount the inside of the panel without using a back chamber, but this is formed by the HPTF getter 2 formed on the glass substrate 8 made of upper and lower plates. The gas is damaged due to the high heat generated around the HPTF getter 2 discharged through the exhaust hole 10 and thus affects the panel which is the glass substrate 8 of the upper and lower plates contacting the HPTF getter 2. It's coming up big.

따라서, 본 발명의 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 패널내부에 많은 양의 HPTF 게터를 설치하여 게터활성시 고진공의 패널을 제작할 수 있는 전계방출표시소자의 HPTF 게터 및 그를 이용한 진공방법을 제공함에 있다.Therefore, the present invention was made in view of the above problems, and an object of the present invention is to install a large amount of HPTF getters inside the panel, the HPTF getter of the field emission display device that can produce a high-vacuum panel when the getter is active; It is to provide a vacuum method using the same.

도 1 은 종래의 HPTF 게터를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional HPTF getter.

도 2 는 종래의 HPTF 게터가 유리기판상에 설치한 것을 나타내는 도면.2 is a view showing a conventional HPTF getter installed on a glass substrate.

도 3 은 본 발명의 전계방출표시소자에 형성된 HPTF 게터를 나타내는 도면.3 shows an HPTF getter formed in the field emission display device of the present invention.

도 4 는 본 발명의 HPTF 게터를 고정시키고 있는 것을 나타내는 도면.4 is a view showing the fixing of the HPTF getter of the present invention.

도 5 는 본 발명의 다른 방법을 나타내는 도면.5 illustrates another method of the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

20: 실링벽 22: HPTF 게터20: sealing wall 22: HPTF getter

24: 상부기판 28: 게터지지용 고리24: upper substrate 28: getter support ring

30: 고정틀30: fixing frame

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 전계방출표시소자의 HPTF 게터는, 상부기판상에 진공을 위해 형성된 실링벽의 내측에 실링벽의 내측을 따라 게터지지용 고리를 갖는 HPTF 게터를 형성하고, 상기 HPTF 게터를 실링벽 내측에 홈부를 갖는 고정틀을 형성하여 상기 게터지지용 고리를 고정틀의 홈부에 고정되도록 구성된 특징이 있다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the HPTF getter of the field emission display device of the present invention, HPTF having a getter support ring along the inside of the sealing wall on the inside of the sealing wall formed for vacuum on the upper substrate The getter is formed, and the HPTF getter forms a fixing frame having a groove portion inside the sealing wall, so that the getter supporting ring is fixed to the groove portion of the fixing frame.

상기와 같이 구성된 HPTF 게터(22)는 상부기판(24)상에 형성된 실링벽(20)의 내측에 실링벽(20)의 내측을 따라 고진공을 위한 게터지지용 고리(28)를 갖는 HPTF 게터(22)를 형성한다.The HPTF getter 22 configured as described above has an HPTF getter having a getter support ring 28 for high vacuum along the inner side of the sealing wall 20 on the inner side of the sealing wall 20 formed on the upper substrate 24 ( 22).

그리고 상기 HPTF 게터(22)를 실링벽(20) 내측에 홈부(25)를 갖는 고정틀(30)을 형성하여 상기 게터지지용 고리(28)를 고정틀(30)의 홈부(25)에 간단하게 고정하여 HPTF 게터(22)의 자리 이동을 방지한다.In addition, the HPTF getter 22 is formed with a fixing frame 30 having a groove 25 inside the sealing wall 20 to easily fix the getter support ring 28 to the groove 25 of the fixing frame 30. To prevent displacement of the HPTF getter 22.

또한 상기와 같이 구성된 본 발명의 전계방출표시소자의 HPTF 게터를 이용한 진공방법을 첨부된 도면을 참조하여 아래와 같이 상세하게 설명한다.In addition, the vacuum method using the HPTF getter of the field emission display device of the present invention configured as described above will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

도 3 은 본 발명의 전계방출표시소자에 형성된 HPTF 게터를 나타내는 도면이고, 도 4 는 본 발명의 HPTF 게터를 고정시키고 있는 것을 나타내는 도면이고, 도 5 는 본 발명의 다른 방법을 나타내는 도면이다.3 is a view showing an HPTF getter formed in the field emission display device of the present invention, FIG. 4 is a view showing the fixing of the HPTF getter of the present invention, and FIG. 5 is a view showing another method of the present invention.

전계방출표시소자의 패널내부에 진공도를 높이기 위하여 상부기판(24)상에 형성된 실링벽(20)의 내부측벽을 따라 길게 HPTF 게터(22)를 형성한다.In order to increase the degree of vacuum in the panel of the field emission display device, an HPTF getter 22 is formed along the inner side wall of the sealing wall 20 formed on the upper substrate 24.

상기 HPTF 게터(22)는 실링벽(20)의 내측을 따라 고정할 수 있도록 게터지지용 고리(28)를 갖도록 구성하여 상기 HPTF 게터(22)를 실링벽(20) 내측에 고정하도록 홈부(25)를 갖는 고정틀(30)을 형성하여, 상기 홈부(25)에 게터지지용 고리(28)를 끼워 고정한다.The HPTF getter 22 is configured to have a getter support ring 28 so as to be fixed along the inner side of the sealing wall 20 so as to fix the HPTF getter 22 inside the sealing wall 20. ) To form a fixing frame (30), the getter support ring (28) is fixed to the groove portion (25).

또한 상기와 같이 고정된 HPTF 게터(22)를 실링벽(20)의 외측에서 레이져를 이용하여 HPTF 게터(22)를 활성화시켜 진공시키면 패널내부 사방에서 HPTF 게터(22)가 활성화되어 진공도를 높일 수 있다.In addition, when the HPTF getter 22 fixed as described above is activated and vacuumed by using the laser on the outside of the sealing wall 20, the HPTF getter 22 is activated inside the panel to increase the degree of vacuum. have.

상기 HPTF 게터(22)를 고정하는 게터지지용 고리(28)와 고정틀(30)은 각각 실링벽(20)의 측벽에 하나씩 설치하여도 되고, 2개이상씩 설치하여도 아무런 문제가 없다.The getter support ring 28 and the fixing frame 30 for fixing the HPTF getter 22 may be installed on each sidewall of the sealing wall 20, or two or more may be installed.

또한 본 발명과는 다른 방법으로 도 5 에 도시한 바와 같이 레이져를 사용하지 않고, HPTF게터(22)의 양쪽 끝에 듀멧와이어(Dumet Wire)(26)를 연결하여 실링벽(20)의 외측에서 듀멧와이어(26)를 통하여 전류를 흘려주므로써 HPTF 게터(22)를 활성화시킬 수 있도록 구성하고 있다.Also, as shown in FIG. 5, the Dumet wires 26 are connected to both ends of the HPTF getter 22 without using a laser as shown in FIG. It is configured to activate the HPTF getter 22 by flowing a current through the wire 26.

따라서, 본 발명의 전계방출표시소자의 HPTF 게터를 이용한 진공방법으로, 전계방출표시소자의 부피를 줄이고, 게터활성시 유리 기판에 직접적으로 열이 가해지지 않으므로 유리 기판에 손상을 입히지 않을 뿐만 아니라, 패널의 내부측 사면측에서 HPTF 게터를 활성화시키므로 높은 진공도를 얻을 수 있는 효과가 있다.Therefore, in the vacuum method using the HPTF getter of the field emission display device of the present invention, the volume of the field emission display device is reduced, and since the heat is not directly applied to the glass substrate when the getter is activated, the glass substrate is not damaged. Since the HPTF getter is activated on the inner side of the panel, a high degree of vacuum can be obtained.

Claims (2)

전계방출표시소자의 에이치피티에프 게터에 있어서,In the H.P. getter of the field emission display device, 상부기판(24)상에 진공을 위해 형성된 실링벽(20)의 내측에 실링벽(20)의 내측을 따라 게터지지용 고리(28)를 갖는 HPTF 게터(22)를 형성하고, 상기 HPTF 게터(22)를 실링벽(20) 내측에 홈부(25)를 갖는 고정틀(30)을 형성하여 상기 게터지지용 고리(28)를 고정틀(30)의 홈부(25)에 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자의 에이치피티에프 게터.An HPTF getter 22 having a getter support ring 28 is formed on the upper substrate 24 along the inner side of the sealing wall 20 formed for vacuum, and the HPTF getter ( 22 to form a fixing frame 30 having a groove portion 25 inside the sealing wall 20 to the getter support ring 28 is configured to be fixed to the groove portion 25 of the fixing frame 30 HF getter of the emission display device. 전계방출표시소자의 에이치피티에프 게터의 진공방법에 있어서,In the vacuum method of the H.P. getter of the field emission display device, 상부기판(24)상에 진공을 위해 형성된 실링벽(20)의 내측에 실링벽(20)의 내측을 따라 게터지지용 고리(28)를 갖는 HPTF 게터(22)를 형성하는 단계와, 상기 HPTF 게터(22)를 실링벽(20) 내측에 홈부(25)를 갖는 고정틀(30)을 형성하여 게터지지용 고리(28)를 고정틀(30)의 홈부에 고정하는 단계와, 실링벽(20)의 외측에서 레이져를 이용하여 HPTF 게터를 활성화시켜 진공하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출표시소자의 에이치피티에프 게터를 이용한 진공방법.Forming an HPTF getter 22 having a getter support ring 28 along the inside of the sealing wall 20 inside the sealing wall 20 formed for vacuum on the upper substrate 24; Fixing the getter 22 to the groove of the fixing frame 30 by forming the fixing frame 30 having the groove 25 inside the sealing wall 20, and the sealing wall 20. A vacuum method using an H.P type getter of a field emission display device, characterized in that the step of activating and vacuuming the HPTF getter using a laser from the outside.

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