KR100246965B1 - 반도체 제조설비의 축이음장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회전력을 제공하는 동력장치(12)의 회전축(26)과 설비(17)의 구동축(28) 사이에 정확한 회전력을 전달하도록 연결 설치되는 반도체 제조설비의 축이음장치에 관한 것이다.

본 발명은 동력장치(12)의 회전축(26)과, 설비(17)의 구동축(28) 및 상기 회전축(26)으로부터 상기 구동축(28)으로 회전력을 전달하기 위해상기 회전축(26)과 구동축(28)을 연결시키는커플링(30)으로 구성된 반도체 제조설비의 축이음장치에 있어서,상기 회전축(26) 및 구동축(28)의 외주면이 동일형상의 다각면으로 형성되고, 이 회전축(26)과 구동축(28)의 외부를 덮어씌워 이들을 연결시키는 상기 커플링(30)의 내주면이 상기 회전축(26) 및 구동축(28)의 외주면과 부합되는 대응 다각면으로 형성됨을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면 회전축(26)과 구동축(28) 및 커플링(30)의 결합 부위의 형상이 다각형으로 형성됨에 따라 공회전 및 마모가 없어 동력장치의 회전력이 정확히 전달되어 동력 전달에 따른 공정 불량이 방지되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비의 축이음장치{Shaft connection device for semiconductor manufacturing facilities}

본 발명은 반도체 제조설비의 축이음장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 회전력을 제공하는 동력장치의 회전축과 설비의 구동축 사이에 정확한 회전력을 전달하도록 연결 설치되는 반도체 제조설비의 축이음장치에 관한 것이다.

도1을 참조하여 종래의 축이음장치에 대하여 설명하면, 축이음장치(10)는 회전력을 제공하는 동력장치(12)와, 이 동력장치(12)의 연결 설치된 회전축(14)과, 이 회전축(14)과 소정 간격 이격 위치되어 설비(17) 내부에 연결 설치되는 구동축(16) 및 회전축(14)과 구동축(16) 사이의 각 단부를 압착하여 연결 설치되는 커플링(18)으로 구성되어 있다.

이러한 커플링(18)은 동력장치(12)의 회전축(14)과 설비(17)의 구동축(16)이 상호 이격 설치된 사이에 연결 설치되어 회전축(14)의 회전력을 구동축(16)에 전달하게 된다.

이러한 커플링(18)의 회전축(14)과 구동축(16)과의 연결 관계에 대하여 도2를 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

커플링(18)은 소정 길이를 갖는 두 개의 고정편이 한 쌍을 이루어 체결구(20)에 의해 상호 결합되는 형상으로 내측 부위에 회전축(14)과 구동축(16)의 단부 소정 부위가 위치되기 위한 홈(20)이 형성되어 있다.

이렇게 형성된 홈(22)의 양측 단부 소정 부위에 회전축(14)과 구동축(16)의 일부가 위치되어 체결구(20)의 체결력에 의해 양쪽 고정편이 상호 체결됨에 따라 양쪽 고정편의 양측 부위에 위치되는 회전축(14)과 구동축(16)은 압착 고정된다.

따라서, 이렇게 설치된 커플링(18)은 회전축(14)의 회전력을 구동축(16)에 전달하는 전달 매체로서 작용하게 되고, 구동축(16)은 전달 받은 회전력에 의해 웨이퍼를 소정 위치로 이송하는데 사용되거나 다른 동작의 구동 원리로 작용하게 된다.

그러나, 동력장치의 회전축과 설비의 구동축 및 커플링 내부에 형성된 홈의 형상이 회전 중심에 대하여 원형을 이루고 있음에 따라 체결구가 느슨하게 체결되거나 회전축과 구동축을 연결하는 부위가 마모되면 회전축 또는 구동축의 연결 부위에서 공회전이 발생되어 회전력이 충분히 전달되지 않으며, 이에 따라 반도체 제조 공정상 불량을 유발하게 되는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 동력장치에 의한 회전력이 구동축에 정확하게 전달되도록 하여 공정 불량을 방지하도록 하는 반도체 제조설비의 축이음장치를 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체 제조설비의 축이음장치의 체결 상태를 나타낸 사시도이다.

도2는 종래의 구성에 따른 커플링의 체결 상태를 나타낸 단면도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 축이음장치의 체결 상태를 나타낸 사시도이다.

도4는 본 발명의 구성에 따른 커플링의 체결 상태를 나타낸 단면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 24: 축이음장치 12: 동력장치

14, 26: 회전축 16, 28: 구동축

17: 설비 18, 30: 커플링

20: 체결구 22, 32: 홈

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 동력장치의 회전축과, 설비의 구동축 및 상기 회전축으로부터 상기 구동축으로 회전력을 전달하기 위해상기 회전축과 구동축을 연결시키는커플링으로 구성된 반도체 제조설비의 축이음장치에 있어서,상기 회전축 및 구동축의 외주면이 동일형상의 다각면으로 형성되고, 이 회전축과 구동축의 외부를 덮어씌워 이들을 연결시키는 상기 커플링의 내주면이 상기 회전축 및 구동축의 외주면과 부합되는 대응 다각면으로 형성됨을 특징으로 한다.

또한,상기 커플링과 결합되는 회전축 및 구동축의 결합부위만이 상기 커플링의 내주면과 동일형상의 다각면으로 형성됨이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3과 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 축이음장치의 설치 관계를 나타낸 사시도와 단면도로서, 종래와 동일한 부분에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도3과 도4를 참조하여 설명하면, 축이음장치(24)는 상호 이격 위치된 회전축(26)과 구동축(28) 사이에 회전축(26)과 구동축(28)의 단부 소정 부위를 압착하는 형상으로 커플링(30)이 연결 설치되어 있다.

상술한 회전축(26)과 구동축(28)의 커플링(30)과 연결되는 부위의 형상은 도4의 화살표 A 와 B 로 도시된 바와 같이 회전 중심에 대해 장축과 단축을 갖는 팔각형 형상으로 형성되어 있으며, 본 발명은 도3과 도4에 도시된 바와 같이 팔각형 형상으로 한정하는 것이 아니라 그 이상 또는 그 이하의 다각형 형상 또는 타원형 형상이면 가능하다.

또한, 이들 회전축(26)과 구동축(28) 사이를 연결하는 커플링(30)의 홈(32) 형상은 상술한 다각형 형상과 부합되는 형상으로 형성되어 있다.

따라서, 회전축(26)과 구동축(28)의 외측 형상과 커플링(30)의 내측 홈(32) 형상이 장축과 단축을 갖는 형상으로 상호 부합하여 결합됨에 따라 결합 부위에서 미끄럼 현상이 방지되고, 이에 따라 동력장치(12)에 의한 회전력을 정확하게 제어할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 회전축과 구동축 및 커플링의 결합 부위의 형상이 다각형으로 형성됨에 따라 마모 및 미끄럼 현상을 방지하게 되어 공회전 없이 동력장치의 회전력을 정확히 전달하게 됨으로 동력 전달에 따른 공정 불량이 방지되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. (정정) 동력장치의 회전축과, 설비의 구동축 및 상기 회전축으로부터 상기 구동축으로 회전력을 전달하기 위해상기 회전축과 구동축을 연결시키는커플링으로 구성된 반도체 제조설비의 축이음장치에 있어서,

   상기 회전축 및 구동축의 외주면이 동일형상의 다각면으로 형성되고, 이 회전축과 구동축의 외부를 덮어씌워 이들을 연결시키는 상기 커플링의 내주면이 상기 회전축 및 구동축의 다각면과 부합되는 대응 다각면으로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 축이음장치.
2. (정정) 제1항에 있어서,상기 커플링과 결합되는 회전축 및 구동축의 결합부위만이 상기 커플링의 내주면과 동일형상의 다각면으로 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 축이음장치.