KR100205005B1 - Semiconductor manufacture apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스를 사용하는 반도체 제조장치에 가스의 공급을 제어하는 가스공급장치에 관한 것으로, 가스봄브박스의 모든 정보를 가스공급장치에서 받아 원격제어 할 수 있도록 하여, 가스봄브의 가스압력 및 가스무게를 원격으로 점검 할 수 있고, 가스 교환 시에 가스공급장치에서 밸브 조작이 바로 되므로 가스 교환에 따른 시간이 소비가 적고, 모든 인터록 기능을 반도체 제조장치에서 단일화 하므로 불필요한 에러의 발생이 최소화 되며, 기타 가스공급에 따른 필요한 제어를 가스공급장치에서 모두 수행할 수 있다.The present invention relates to a gas supply device for controlling the supply of gas to a semiconductor manufacturing apparatus using gas, so that all the information of the gas spring box can be received from the gas supply device for remote control, so that the gas pressure and gas of the gas spring Since the weight can be checked remotely, and the valve operation is immediately performed at the gas supply device during gas exchange, the time required for gas exchange is reduced, and all the interlock functions are unified in the semiconductor manufacturing device, minimizing unnecessary errors. All the necessary controls for other gas supplies can be performed at the gas supply system.
Description
본 발명에 따른 반도체 제조장치의 가스봄브박스 원격제어를 나타내는 블록도.Block diagram showing a gas bomb box remote control of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 가스봄브박스 20 : 출력부10: gas spring box 20: output unit
21 : 표시부 22 : 알람부21: display unit 22: alarm unit
30 : 제어부 31 : 인터록부30 control unit 31 interlock unit
32 : 패널조작부32: panel operation unit
본 발명은 가스를 사용하는 반도체 제조장치에 관한 것으로, 특히 가스봄브박스(gas bombe box)를 원격제어(remote control)하는 반도체 제조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus using gas, and more particularly, to a semiconductor manufacturing apparatus for remote control of a gas bombe box.
반도체 제조장치의 기술이 발달해 오면서 반도체 제조장치와 더불어 가스공급장치도 상당한 발전을 거듭해 오고 있다.As the technology of the semiconductor manufacturing apparatus has been developed, the gas supply apparatus has been developed with the semiconductor manufacturing apparatus.
반도체 제조공정 중에서 가스를 사용하는 반도체 장치(이하, '메인설비'라 약칭함)에 사용되는 가스는 가스봄브(gas bombe : 가스가 담겨있는 용기)에 담겨져 생산지역 외부 별도의 장소에 위치하고 있다. 다수개의 가스봄브를 제어하여 생산지역에 가스를 공급하는 가스봄브박스도 하나의 설비화되어 발전되고 있다. 가스봄브박스는 자동으로 가스밸브를 제어하고, 가스봄브의 압력이 저하되거나 증가 시에 가스 공급을 잠시 중단 하는 인터록(interlock) 기능을 한다던지, 또는 가스 누설(leak) 발생시 자동으로 밸브를 차단하고 알람(alarm)을 발생하고, 가스누설 등에 의한 화재 발생시 스프링클러(sprinkler)를 작동시키는 등의 기능을 한다.In the semiconductor manufacturing process, gas used in semiconductor devices using gas (hereinafter, referred to as 'main facility') is contained in a gas bomb (a container containing gas) and is located in a separate place outside the production area. A gas spring box for supplying gas to a production area by controlling a plurality of gas springs is also being developed as a single facility. The gas spring box automatically controls the gas valve and functions as an interlock function to temporarily stop the gas supply when the pressure of the gas spring decreases or increases, or shut off the valve automatically when a gas leak occurs. It generates an alarm and operates a sprinkler when a fire occurs due to gas leakage.
그러나, 이러한 가스봄브박스는 사용상 여러 가지 문제점이 있다. 메인설비는 생산지역에 위치해 있고, 가스봄브박스는 생산지역 외부에 별도로 위치해 있으므로, 가스봄브박스의 압력 또는 무게 등을 확인하기 위해서는 외부에 위치한 가스봄브박스로 일일이 돌아 다니며 확인 하여야 한다. 이러한 경우 가스 교환시기를 놓치는 경우가 많이 발생하는 문제점이 있다. 또한, 메인설비와 가스봄브박스에 가스공급을 제어하는 제어장치가 각각 설치되어 있으므로, 가스의 공급비율이 저하되어 최소 한계치를 초과하면 메인설비에 의해 가스 공급이 차단되고 에러가 발생 되는데, 또한 가스봄브박스 자체에서도 압력 저하되면 밸브가 차단되게 되므로, 이중 제어로 인한 불필요한 에러가 증가하는 문제점이 있다. 그리고, 가스 교환 시에는 가스라인을 연결하는 과정에서 가스공급장치와 가스봄브박스 모두를 조작해야 하므로 생산지역과 외부지역을 수 차례 왕복해야하는 문제점이 있다.However, these gas bombboxes have various problems in use. The main equipment is located in the production area, and the gas spring box is located separately outside the production area, so to check the pressure or weight of the gas spring box, you have to go around and check the gas spring box located outside. In this case, there is a problem that many miss the gas exchange time. In addition, since the control device for controlling the gas supply is installed in the main equipment and the gas spring box, respectively, when the supply ratio of the gas is lowered and the minimum limit value is exceeded, the gas supply is blocked by the main equipment and an error occurs. Since the valve is blocked when the pressure drops in the spring box itself, there is a problem that unnecessary errors due to the dual control increases. In addition, when gas exchange is performed, both the gas supply device and the gas spring box must be operated in the process of connecting the gas lines, and thus there is a problem in that the production area and the external area must be shuttled several times.
본 발명의 목적은 가스봄브박스의 모든 정보를 반도체 제조장치에서 입력받아 원격제어 할 수 있도록 하는 것이다.An object of the present invention is to receive all information of the gas spring box from the semiconductor manufacturing apparatus to be remotely controlled.
이상과 같은 목적에 따른 본 발명의 반도체 제조장치는 : 다수의 가스를 담고 있는 다수의 가스봄브를 제어하는 가스봄브박스로부터 가스의 압력 및 무게를 포함하는 가스봄브에 대한 정보를 입력받고, 이 입력받은 정보를 출력하는 출력부와 ; 상기 정보에 응답하여 가스밸브 조작에 대한 제어신호를 가스봄브박스로 출력하는 제어부를 포함하는 데 그 특징이 있다.The semiconductor manufacturing apparatus of the present invention according to the above object: receiving information about the gas spring including the pressure and weight of the gas from the gas spring box for controlling a plurality of gas spring containing a plurality of gases, this input An output unit for outputting received information; It characterized in that it comprises a control unit for outputting a control signal for the gas valve operation to the gas spring box in response to the information.
상기 출력부는, 가스봄브의 1차 압력과 2차 압력 및 가스의 무게를 표시하는 표시부와, 상기 가스봄브의 가스가 소정의 기준량 이하일 때 알람을 발생하는 알람기능과 반도체 장치에 가스가 도포 되는 각각의 스텝을 표시하고 상기 가스의 1차 압력과 2차 압력이 소정의 기준값 이하일 때 알람을 발생하는 알람기능을 갖는 알람부를 포함한다.The output unit may include a display unit which displays the primary pressure, the secondary pressure of the gas bomb, and the weight of the gas, an alarm function that generates an alarm when the gas of the gas bomb is below a predetermined reference amount, and each of which the gas is applied to the semiconductor device. And an alarm unit having an alarm function of displaying a step and generating an alarm when the primary pressure and the secondary pressure of the gas are equal to or less than a predetermined reference value.
상기 제어부는, 가스공급라인의 가스 누설시 자동으로 가스밸브를 차단하고, 가스누설 등에 의한 화재 발생시 스프링클러를 작동시키는 기능과 가스밸브의 조작이 틀리는 경우 가스밸브의 개폐를 금지시키는 기능을 갖는 인터록부와, 가스 교환 시에 가스밸브의 조작을 수동조작 또는 자동조작이 되게 하는 판넬조작부를 포함한다.The control unit, the interlock portion having a function to automatically shut off the gas valve in the case of gas leakage of the gas supply line, to operate the sprinkler in the event of a fire due to gas leakage, and to prevent the opening and closing of the gas valve if the operation of the gas valve is wrong. And a panel operation unit for allowing the operation of the gas valve to be manual operation or automatic operation during gas exchange.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 가스를 사용하는 반도체 제조장치에서 가스봄브박스를 원격 제어하는 것이다.The present invention is to remotely control the gas spring box in the semiconductor manufacturing apparatus using the gas.
첨부된 도면은 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 가스봄브박스 원격제어를 나타내는 블록도이다.The accompanying drawings are block diagrams showing a gas bomb box remote control of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.
첨부된 도면에 있어서, 가스를 사용하는 반도체 제조장치(이하, '메인설비'라 약칭함)는 가스봄브를 제어하는 가스봄브박스(10)로부터 가스의 압력 및 가스의 무게를 포함하는 가스봄브박스(10)에 대한 모든 정보를 입력 받고, 이 입력받은 정보를 출력하는 출력부(20)와, 상기 정보에 응답하여 가스밸브 조작에 대한 제어신호를 가스봄브박스(10)로 출력하는 제어부(30)를 구비하고 있다.In the accompanying drawings, a semiconductor manufacturing apparatus using gas (hereinafter, abbreviated as 'main equipment') includes a gas spring box including a pressure of gas and a weight of gas from the gas spring box 10 that controls the gas spring. An output unit 20 for receiving all information about the 10 and outputting the received information, and a control unit 30 for outputting a control signal for gas valve operation to the gas spring box 10 in response to the information. ).
첨부된 도면을 참조하여, 메인설비는 가스봄브박스(10)로부터 가스봄브 및 가스가 공급되는 가스라인의 모든 정보를 입력 받는다.With reference to the accompanying drawings, the main facility receives all information of the gas spring and the gas line supplied gas from the gas spring box 10.
상기 출력부(20)는 표시부(21)와 알람부(25)를 포함한다. 상기 표시부(21)는, 가스봄브의 1차 압력과 2차 압력을 각각의 1차 압력 표시기(22)와 2차 압력 표시기(23)에 표시하고, 가스의 무게를 무게표시기(24)에 표시한다. 그리고, 알람부(25)는, 반도체 장치에 가스가 도포되는 단계(deposition step)를 스텝표시기(26)에 표시하고, 가스봄브의 현재의 가스량을 가스표시기(27)에 표시하고, 가스가 소정의 기준 설정량 보다 저하되면 알람을 구동하여 가스교환기시를 알리고, 가스봄브의 1차 압력과 2차 압력이 소정의 기준값 이하일 때 알람을 구동하여 현재 가스 봄브의 압력이 저하되어 있음을 알린다.The output unit 20 includes a display unit 21 and an alarm unit 25. The display unit 21 displays the primary pressure and the secondary pressure of the gas bomb on each of the primary pressure indicator 22 and the secondary pressure indicator 23, and displays the weight of the gas on the weight indicator 24. do. Then, the alarm unit 25 displays the deposition step of applying gas to the semiconductor device on the step indicator 26, displays the current gas amount of the gas bomb on the gas indicator 27, and the gas is predetermined. When lower than the reference set amount of, the alarm is driven to inform the gas exchange time, and when the primary pressure and the secondary pressure of the gas bomb is less than the predetermined reference value, the alarm is driven to indicate that the current pressure of the gas cylinder is lowered.
상기 제어부(30)는 인터록부(31)와 판넬조작부(32)를 포함한다. 상기 인터록부(31)는 가스를 공급하는 가스라인에서 가스의 누설이 발생하면 부저(32)를 작동시키고, 자동으로 가스 밸브를 차단한다. 가스누설 등에 의한 화재 발생시 스크링클러 작동하고, 가스밸브의 조작이 틀리는 경우 가스밸브의 개폐를 차단한다. 판넬조작부(35)는 가스 교환 시에 밸브조작을 수동밸브(36), 자동밸브(37)로 선택 조작 가능하게 한다.The control unit 30 includes an interlock unit 31 and a panel operation unit 32. The interlock unit 31 operates the buzzer 32 when gas leakage occurs in the gas line for supplying gas, and automatically shuts off the gas valve. When a fire occurs due to gas leakage, etc., the sprinkler is operated. If the operation of the gas valve is wrong, shut off the gas valve. The panel operation part 35 enables the valve operation to be selectively operated by the manual valve 36 and the automatic valve 37 at the time of gas exchange.
이상과 같은 반도체 제조장치는 가스봄브의 가스압력 및 가스무게를 원격으로 점검할 수 있고, 가스 교환시에 반도체 제조장치에서 밸브 조작이 바로 되므로 가스 교환에 따른 시간의 소비가 적고, 모든 인터록 기능을 반도체 제조장치에서 단일화 하므로 불필요한 에러의 발생이 최소화 된다.The semiconductor manufacturing apparatus as described above can check the gas pressure and the gas weight of the gas bomb remotely, and since the valve operation is immediately performed in the semiconductor manufacturing apparatus at the time of gas exchange, the time required for gas exchange is reduced, and all interlock functions are provided. Unification in semiconductor manufacturing equipment minimizes the occurrence of unnecessary errors.
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| KR1019950056429A KR100205005B1 (en) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | Semiconductor manufacture apparatus |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100481182B1 (en) * | 2002-11-14 | 2005-04-07 | 삼성전자주식회사 | Gas suppling device of semiconductor manufacturing equipment having interlock apparatus and the interlock method |
| KR101782745B1 (en) * | 2016-08-12 | 2017-09-28 | 윤승찬 | fluid supply system for supply machine remote control and method using the same |
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1995
- 1995-12-26 KR KR1019950056429A patent/KR100205005B1/en not_active IP Right Cessation
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| KR970052074A (en) | 1997-07-29 |
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