KR100187019B1 - 기판 건조 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 및 반도체 제조 과정에서 기판을 세정한 후 건조시키는 종래의 기판 건조 장치가 흡수 롤러를 자주 교체해야 하는 문제점이 있기 때문에, 상기 흡수 롤러가 함유한 세정액을 탈수 롤러로 탈수케 함으로써 상기 흡수 롤러의 세정제 함유량이 항상상기 흡수 롤러의 최대 흡수 능력 이하가 되도록하여 상기 흡수 롤러의 건조 성능을 향상시킨 기판 건조 방법과, 상기 흡수 롤러에 밀착되어 상기 흡수 롤러를 탈수시키는 탈수 롤러를 설치하고 상기 탈수 롤러 하부에 세정액을 수거할 수 있도록 폐액통을 설치함으로써 흡수 롤러의 잦은 교체가 필요 없고 주위의 오염도 방지되는 기판 건조 장치에 관한 것이다.

Description

기판 건조장치 및 방법
제1도는 종래 기판 건조 장치의 사시도.
제2도는 본 발명에 의한 기판 건조 장치의 도면으로서,
(a)는 기판 건조 장치의 정면도,
(b)는 기판 건조 장치의 주요부의 사시도,
제3도는 본 발명의 요부 구성인 탈수 롤러부의 도면으로서,
(a)는 스프링과 조절 나사를 이용한 탈수 롤러부의 도면,
(b)는 실린더를 이용한 탈수 롤러부의 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
17 : 탈수 롤러 18 : 탈수판
20 : 밀착 조절 유니트 21, 21' : 가동 베어링이 블록
22 : 밀착 스프링 24 : 밀착 조절 나사
25 : 실린더
본 발명은 LCD 및 반도체 제조 과정에서 기판을 세정한 후 건조시키는 기판 건조 장치와 기판 건조 방법에 관한 것으로서, 기판 상의 세정액을 흡수하는 흡수 롤러와, 상기 흡수 롤러에 밀착되어 상기 흡수 롤러를 탈수시키는 탈수 롤러를 포함하여 구성된 기판 건조 장치와, 상기 흡수 롤러가 함유한 세정액을 상기 탈수 롤러로 탈수케 함으로써 상기 흡수 롤러의 세정액 흡수량이 항상 상기 흡수 롤러의 최대 흡수 능력 이하가 되도록 하여 기판을 건조시키도록 하는 기판 건조 방법에 관한 것이다.
종래의 기판 건조 장치는 제1도에 도시된 바와 같이 세정이 끝난 기판(50a)을 이송하는 이송 롤러(미도시)와, 상기 기판(50a)의 상하 양측에서 상기 기판(50a) 상의 세정액을 흡수하는 2개의 흡수 롤러(1)와, 상기 이송 롤러(미도시)와 상기 흡수 롤러(1)를 구동시키는 구동장치(2)와, 상기 흡수 롤러(1) 축의 양단을 지지하고 상하 이동 가능한 베어링 블록(3)과, 상기 베어링 블록(3)의 상하 이동을 안내하고 지지하는 가이드 바(4)와, 상기 베어링 블록(3)의 상측에 위치되고 상기 베어링 블록(3)의 위치를 조절하여 상기 흡수 롤러(1) 사이의 간격을 제어하는 조절 나사(5)와, 상기 가이드 바(4)가 취부되는 베이스(6)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래 기판 건조 장치는 세정이 끝난 기판(50a)이 상기 이송 롤러(미도시)에 의해 상기 흡수 롤러(1) 사이에 진입되면, 상기 흡수 롤러(1)는 상기 기판(50a)의 상하면에 밀착되어 회전되면서 상기 기판(50a) 상의 세정액을 흡수하게 된다. 상기 기판(50a)의 두께가 변하거나 상기 기판(50a)과 상기 흡수 롤러(1)의 접촉량 변경이 요구될 때에는 상기 조절 나사(5)로 상기 베어링 블록(3)의 위치를 조정함으로써 상기 흡수 롤러(1) 사이의 간격을 조절될 수 있다.
그러나, 상기의 기판 건조 장치는 상기 기판(50a)이 계속 이송되어 오면 상기 흡수 롤러(1)에는 다량의 세정액이 함유되게 되어 건조 성능이 떨어지게 되므로 상기 흡수 롤러(1)를 자주 교체해 주어야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 흡수 롤러를 교체하지 않아도 상기 흡수 롤러이 건조 성능이 항상 양호한 상태로 유지되는 기판 건조 방법과 그 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명에 의한 기판 건조 방법은 탈수 롤러를 사용하여 흡수 롤러의 세정제 함유량이 항상 흡수 롤러의 최대 흡수 능력 이하가 되도록 한 것을 특징으로 하고, 기판 건조 장치는 흡수 롤러에 밀착되어 상기 흡수 롤러가 흡수한 세정액을 탈수시키는 탈수 롤러와, 상기 탈수 롤러를 상기 흡수 롤러에 밀착시키는 밀착 조절 유니트를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 건조 방법과, 기판 건조 장치의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 기판 건조 방법은 제2도 및 제3도에 도시된 바와 같이 기판(50b)상의 세정액을 흡수 롤러(11)로 흡수하는 제1과정과, 탈수 롤러(17)를 상기 흡수 롤러(11)에 밀착시켜 맞물려 회전되도록 함으로써 상기 흡수 롤러(11)가 흡수한 세정액을 탈수시키는 제2과정과, 상기 탈수 롤러(17) 표면에 잔류된 세정액을 탈수판(18)으로 긁어내는 제3과정과, 탈수된 세정액을 폐액통(19)에 수집하는 제4과정으로 구성되어 있다.
상기 흡수 롤러(11)의 세정액 흡수량이 항상 상기 흡수 롤러(11)의 최대 흡수 능력 이하가 되도록 상기 제2과정은 스프링(22)의 탄성을 이용하여 상기 탈수 롤러(17)를 상기 흡수 롤러(11)에 밀착시켜 탈수토록 하는 연속 탈수 방법 또는 기판(50b) 처리 매수를카운팅하여 일정 매수가 처리된 후 실린더(25)가 작동되어 상기 탈수 롤러(17)를 상기 흡수 롤러(11)에 일정 시간 동안 밀착시켜 탈수토록 하는 간헐적 탈수 방법이 사용된다.
상기의 기판 건조 방법을 이용한 본 발명의 기판 건조 장치는 세정이 끝난 기판(50b)을 이송하는 이송 롤러(미도시)와, 상기 기판(50b)상의 세정액을 흡수하여 상기 기판(50b)을 건조시키는 상·하측의 흡수 롤러(11)와, 상기 이송 롤러(미도시)와 상기 흡수 롤러(11)를 구동시키는 구동장치(12)와, 상기 흡수 롤러(11) 축의 양단을 지지하고 상하 이동 가능한 베어링 블록(13)과, 상기 베어링 블록(13)의 상하 이동을 안내하고 지지하는 가이드 바(14)와, 상기 베어링 블록(13)의 상측에 위치되고 상기 베어링 블록(13)의 위치를 조절하여 상기 흡수 롤러(11)사이의 간격을 제어하는 조절 나사(15)와, 상기 가이드 바(14)가 취부되는 베이스(16)와, 상기 흡수 롤러(11)에 밀착되어 맞물려 회전되면서 상기 흡수 롤러(11)를 탈수시키는 2개의 탈수 롤러(17)로 구성된다.
이때, 상기 탈수 롤러(17)는 제1·2 탈수 롤러로 구성되어 상기 상·하측 흡수 롤러(11)에 각각 밀착되게 되는데, 하측 롤러에는 그 전방에서 제1탈수 롤러가 밀착되어 탈수시키고, 상측 롤러에는 그 후방에서 제2 탈수 롤러가 밀착되어 탈수시키게 된다.
또한, 상기 탈수 롤러(17)의 하측에 위치되어 상기 탈수 롤러(17) 표면에 잔류된 세정액을 긁어내는 탈수판(18)과, 상기 탈수 롤러(17)의 하측에 바닥면이 일정 정도 경사지도록 설치되어 상기 탈수 롤러(17)와 상기 탈수판(18)에 의해 제거된 세정액을 모아 저장시키는 폐액통(19)과, 상기 탈수 롤러(17)를 상기 흡수 롤러(11)에 밀착시키는 밀착조절 유니트(20)로 구성된다.
상기 밀착 조절 유니트(20)는 상기 탈수 롤러(17)축의 양단에 각각 위치되고, 상기 축을 지지하고 이동 가능한 가동 베어링 블록(21)과, 상기 가동 베어링 블록(21)을 탄발시키는 스프링(22)과, 상기 가동 베어링 블록(21)과 상기 스프링(22)의 외측에 위치되어 상기 부품들(21, 22)을 지지하는 케이스(23)와, 상기 가동 베어링 블록(21)의 위치를 제어하는 밀착 조절 나사(24)로 되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용 효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.
세정이 끝난 기판(50b)이 상기 흡수 롤러(11)에 진입되면 상기 흡수 롤러(11)는 상기 기판(50b)의 상하면에 각각 밀착되어 회전되면서 상기 기판(50b) 상의 세정액을 흡수하게 된다.
이때, 상기 스프링(22)의 탄성에 의해 상기 탈수 롤러(17)가 상기 흡수 롤러(11)에 밀착되고 서로 맞물려 회전되면서, 상기 흡수 롤러(11)가 흡수한 세정액을 탈수시켜 하측의 상기 폐액통(19)으로 보내게 되고, 상기 탈수판(18)이 상기 탈수 롤러(17) 표면에 잔류된 세정액을 긁어내려 상기 폐액통(19)으로 보내게 된다.
제3도의 (b)에 도시된 본 발명의 다른 실시예는 가동 베어링 블록(21')을 전후 이동시키는 실린더(25)와, 상기 기판(50b)의 처리 매수를 카운팅하여 상기 실린더(25)를 제어하는 센서(미도시)를 포함하여 구성되어, 상기 흡수 롤러(11)가 상기 기판(50b) 상의 세정액을 흡수하면 그 처리 매수를 상기 센서(미도시)가 카운팅하게 된다.
상기 흡수 롤러(11)가 일정 매수의 상기 기판(50b)을 처리하면 기판(50b) 이송이 일시 정지되고, 상기 센서(미도시)에 의해 상기 실린더(25)가 작동되어 상기 흡수 롤러(11)에 상기 탈수 롤러(17)를 밀착시켜 상기 흡수 롤러(11)를 탈수시키게 된다. 일정 시간이 지나면 상기 실린더(25)가 작동되어 상기 탈수 롤러(17)를 이격시키고 다시 상기 기판(50b)이 이송되어 건조된다.
상기와 같이 본 발명은 흡수 롤러의 흡수량을 항상 상기 흡수 롤러의 최대 흡수 능력 이하가 되도록 탈수시킴으로써, 상기 흡수 롤러를 교체하지 않고도 상기 흡수 롤러의 건조 성능이 항상 양호한 상태로 유지되는 잇점이 있다.
또한, 탈수된 세정액을 폐액통을 통해 전량 수거함으로써 오염을 방지하는 또 다른 잇점이 있다.

Claims (8)

  1. 세정이 끝난 기판을 이송시키는 이송 롤러와, 상기 기판의 상하측에 위치되어 상기 기판 상의 세정액을 흡수하여 건조시키는 흡수 롤러를 포함하여 구성된 기판 건조 장치에 있어서, 상기 흡수 롤러에 밀착되어 상기 흡수 롤러가 흡수한 세정액을 탈수시키는 탈수 롤러와, 상기 탈수 롤러를 밀착시키는 밀착 조절 유니트로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡수 롤러는 상·하측 롤러로 구성되고, 상기 탈수 롤러는 제1·2 탈수 롤러로 구성되어, 하측 롤러의 전방에 제1 탈수 롤러가 위치되고 상측 롤러의 후방에 제2 탈수 롤러가 위치되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 탈수 롤러는 그 하측에 상기 탈수 롤러 표면에 잔류된 수분을 제거하는 탈수판과, 바닥이 일정 정도 경사지도록 설치되어 상기 탈수 롤러와 탈수판에 의해 제거된 세정액을 모아 저장시키는 폐액통이 설치된 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 밀착 조절 유니트는 상기 탈수 롤러 축의 양측에 위치되어 상기 가이드 바를 따라 상하 이동 가능토록 설치된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 밀착 조절 유니트는 상기 탈수 롤러 축을 지지하는 가동 베어링 블록과, 상기 가동 베어링 블록을 탄발시켜 상기 탈수 롤러를 상기 흡수 롤러에 밀착시키는 스프링과, 상기 가동 베어링 블록과 상기 스프링의 외측에 위치되어 상기 부품들을 지지하고 상하 이동되는 케이스와, 상기 가동 베어링 블록의 위치를 제어하는 조절 나사로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 밀착 조절 유니트는 상기 탈수 롤러 축의 양단을 지지하는 가동 베어링 블록과, 상기 가동 베어링 블록을 전후 이동시키는 실린더와, 상기 기판의 처리 매수를 카운팅하여 상기 실린더를 작동시키는 기판 감지 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  7. 세정후 이송된 기판 상의 세정액을 흡수 롤러로 흡수하는 제1과정과, 탈수 롤러를 상기 흡수 롤러에 밀착시켜 맞물려 회전되도록 함으로써 상기 흡수 롤러가 흡수한 세정액을 탈수시키는 제2과정과, 탈수 롤러의 표면에 잔류된 세정액을 긁어내리는 제3과정과, 탈수된 세정액을 폐액통에 수집하는 제4과정으로 이루어진 기판 건조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2과정은 상기 흡수 롤러의 세정액 흡수량이 항상 상기 흡수 롤러의 최대 흡수 능력 이하가 되도록 탈수시키는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
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