KR0184297B1 - 분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법 - Google Patents

Abstract

일정 파장범위내에서 반복주사성이 우수한 저렴한 분광기의 파장주사기구 및 그 파장 주사방법을 제공한다.

회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 펄스모터로 구동되는 편심원판캠을 미끄럼 접촉시키고 있다.

Description

분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법

제1도는 본 발명의 분광기의 파장주사기구의 일실시예를 예시하는 단면도.

제2도는 동 제어계통도.

제3도는 동 파장주사의 기본적인 제어흐름을 나타내는 순서도.

제4도는 동 펄스모터의 스텝수에 대한 접촉바의 회동각을 표시하는 그래프.

제5도는 동 분광기의 파장주사기구의 다른 실시예를 예시하는 구성도.

제6도는 동 분광기의 파장주사기구의 또다른 실시예를 예시하는 구성도.

제7a도는 동 분광기의 파장주사기구의 또다른 실시예의 구성을 예시하는 평면도.

제7b도는 그 측면도.

제8도는 종래의 사인바(sine bar)방식의 분광기의 파장주사기구의 구성도.

제9도는 종래의 캠(cam) 방식의 분광기의 파장주사기구의 구성도.

[발명의 분야]

본 발명은 특히 다변량 분석에 적합한 분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법에 관한 것으로, 상세하게는 일정 파장범위를 반복주사할 수 있는 파장주사기구 및 그 파장주사방법에 관한 것이며, 예컨대, 약액농도 모니터전용 분광기등의 분야에서 이용된다.

[종래의 기술]

종래, 소위 체르니-터너형의 분광기(분산형 분광기)에는 파장이 선형인 특성을 가진 사인바 방식, 혹은 파장 또는 파수가 선형인 캠방식이 채택되고 있다.

전자는 예컨대 제8도에 도시되고, 요동자재로 지지된 회절격자(G)에 고정된 접촉바(14)를 펄스모터(18)에 의해 회전되는 나사축(S)에 나사맞춤시킨 너트(N)로 요동시켜, 그 회절격자(G)의 회동각을 변화시키도록한 것이며, 그 회절격자(G)의 회동각의 정현치가 파장과 비례하므로 상기와 같이 호칭되고 있다.

또, 후자는 예컨대 제9도에 도시되고, 회동자재로 지지된 회절격자(G)에 고정된 접촉바(14)의 요동단을 펄스모터(18)에 의해 회전되는 캠(C)에 접촉시킨 것이다.

상기한 종래의 전자의 경우, 정밀도가 높은 이송나사기구를 필요로 하고 고가이며, 또한 끊임없이 반복하여 사용할 수 없기 때문에 예컨대 일정파장범위를 반복주사하는 다변량 분석에 반드시 적합한 것은 아니었다.

또, 후자는 끊임없이 사용할 수 있고, 반복 주사성이 우수하지만, 캠(C)의 정밀도가 직접 분광정밀도에 반영되기 때문에, 복잡한 곡선형상의 캠면을 가진 캠(C)의 제작이 어려웠고, 많은 노력과 시간을 요하고 비용을 상승시켰다.

[발명의 요약]

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어지고, 일정파장 범위내에서의 반복주사성이 우수한 저렴한 분광기의 파장주사기구 및 그 파장주사방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위한 수단을 아래와 같이 구성하고 있다. 즉 청구항 1기재의 발명에서의 광원과, 그 광원으로 부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 회절광을 출사(出謝)시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부(基部)가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판 캠과, 그 편심원판 캠을 회전시키기 위한 펄스모터에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 2기재의 발명에서는 광원과, 그 광원으로부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 반사시키기 위한 제1오목구면경과, 그 제1오목구면경에서 반사된 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 그 회절격자에서 경면반사된 광이 상기 제1오목구면경에서 반사·집광된후에, 그 광을 출사시키기 위한 0차광출사슬릿과, 그 0차 광출사슬릿으로부터 출사된 0차광을 검출하기 위한 0차광검출기와, 상기 회절격자에서 회절된 회절광을 반사시키기 위한 제2오목구면경과, 그 제2오목구면경에서 반사·집광된 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바와, 그 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판캠과, 그 편심원판캠을 회전시키기 위한 펄스모터와, 그 펄스모터를 파장주사를 위해 필요한 제어프로그램에 따라 제어구동시키기 위한 컨트롤러를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 3기재의 발명에서는 청구항 1 또는 청구항 2기재의 분광기의 파장주사기구에 있어서의 상기 편심원판캠이, 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 4기재의 발명에서는 청구항 1또는 청구항 2기재의 분광기의 파장주사기구에 있어서의 상기 편심원판캠이 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 상이한 거리만큼 편심된 위치에 각각 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 각각의 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 각각 순차적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 5기재의 발명에서는 청구항 1 또는 청구항 2기재의 분광기의 파장주사기구에 있어서의 회절격자에 대한 부착각도가 상이한 복수의 접촉바의 기부가 고정되는 한편, 상기 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에는 설정위치가 가변된 캠폴로워가 축지지되고, 그 캠폴로워는 어느 한쪽의 상기 접촉바의 요동단에 선택적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 6기재의 발명에서는 청구항 2, 청구항 3, 청구항 4 또는 청구항 5에 기재된 분광기의 파장주사기구에 있어서의 상기 광원을 점등시키고, 상기 0차광검출기에 의해 0차광을 검출한 시점과, 그 0차광이 검출되지 않게된 시점에 있어서의 상기 펄스모터의 카운트수의 중심치를 구하여 상기 회절격자의 초기위치를 설정·확인한후, 그 펄스모터의 카운트수가 미리 설정된 스펙트럼 측정개시파장과 대응하는 지정치로 될때까지 그 펄스모터를 한스텝씩 진행(步進) 시킨후, 상기 회절광검출기에 의해 회절광의 검출을 행하고, 그 검출신호를 AD 변환시킨후, 상기 컨트롤러내의 연산수단에 수납시켜 분광강도를 연산하고, 이어서, 다음회의 지정치를 설정하고, 예정의 데이타 수납수가 종료될때까지 미리 설정된 지정치에 대한 파장의 회절광을 순차적으로 반복주사하고, 검출·연산하는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 분광기의 파장주사기구는 기본적으로는 가령 제1도, 제2도, 제3도에 도시하는 바와 같이, 광원(1)을 점등시켜 0차광검출기(7)에 의해 0차광을 검출한 시점과, 그 0차광이 검출되지 않게된 시점에 있어서의 펄스모터(18)의 카운트수의 중심치를 구하여 회절격자(G)의 초기위치를 설정·확인한후, 그 펄스모터(18)의 카운트수가 미리 설정된 스펙트럼 측정개시 파장과 대응하는 지정치로 될때까지 그 펄스모터(18)를 한스텝씩 진행시킨후, 회절광 검출기(12)에 의해 회절광의 검출을 행하고, 그 검출신호를 AD 변환시킨후, 컨트롤러(22)내의 연산수단(CPU)(23)에 수납시켜서 분광강도를 연산하고, 이어서, 다음회의 지정치를 설정하여, 예정의 데이타 수납수가 종료될때까지 미리 설정된 지정치에 대한 파장의 회절광을 순차적으로 반복주사하고, 검출·연산할 수가 있다.

청구항 1 및 청구항 2기재의 발명에서는(제5도참조), 회절격자(G)에 기부가 고정된 접촉바(14)의 요동단에 펄스모터(18)에 의해 회전되는 편심원판캠(16)을 미끄럼접촉시켜 펄스모터(18)를 동일방향으로 회전시킴으로써(역회전시킴이 없이) 일정범위의 파장을 반복하여 연속적으로 주사할 수 있다.

청구항 3기재의 발명에서는(제1도참조), 펄스모터(18)에 의해 회전되는 회전체(19)에 부착된 캠폴로워(20)를 접촉바(14)의 요동단에 미끄럼접촉시킴으로써 접촉바(14)의 편마모를 방지할 수 있다.

청구항 4기재의 발명에서는(제6도참조), 회전체(19)의 회전축으로부터 편심된 상이한 위치에 각각 캠폴로워(20A,20B)를 부착함으로써 그 회전체(19)의 1회전으로 좁은 범위를 세밀하게 주사하는 것과 넓은 범위를 대강 주사하는 것의 2단주사가 가능하게 된다.

청구항 5기재의 발명에서는(제7도(a),(b) 참조), 회절격자(G)에 부착된 부착강도가 상이한 복수의 접촉바(14A,14B)에 설정위치가 가변인 캠폴로워(20)를 선택적으로 미끄럼접촉시킴으로써, 그 접촉바(14)의 상이한 부착강도에 대응하는 파장영역의 주사가 가능하게 된다.

[바람직한 실시예의 상세한 설명]

이하에 본 발명의 분광기의 파장주사기구의 실시예를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.

제1도는 파장주사기구의 구성을 나타내며, 부호 1은 광원, 2는 그 광원(1)으로부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿, 3은 그 입사슬릿(2)을 통과한 광을 반사시키기 위한 제1오목구면경, G는 제1오목구면경(3)에서 반사된 광을 회절시키기 위한 회절격자이며, 축(P) 주위에 회동자재로 지지되어 있다.

6은 회절격자(G)에서 경면반사된 광(파선으로 표시)이 제1오목구면경(3)에서 반사·집광된후, 그 광을 출사시키기 위한 0차 광출사슬릿, 7은 그 0차 광출사슬릿(6)으로부터 출사된 0차광을 검출하기 위한 0차 광검출기이다.

8은 회절격자(G)에서 회절된 회절광(분광의 주광속)을 반사시키기 위한 제2오목구면경, 11은 그 제2오목구면경(8)에서 반사·집광된 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿, 12는 그 회절광출사슬릿(11)을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광검출기이다.

14는 회절격자(G)에 기부가 고정된 접촉바, 16은 그 접촉바(14)를 요동시키기 위한 편심원판캠으로써, 그 편심원판캠(16)은 펄스모터(18)에 의해 회동되는 회전체(편심원판)(19)의 회전축으로부터 편심된 위치에 부착된 캠폴로워(20)로 이루어지고, 이 캠폴로워(20)가 접촉바(14)의 요동단(14a)에 미끄럼접촉되어 있다.

22는 파장주사에 필요한 제어를 행하기 위한 컨트롤러로써 그 입력측에는 0차광검출기(7)와 회절광검출기(12)가 접속되고, 그 출력측에는 펄스모터(18)가 접속되어 있다.

이와 같은 구성에 의해 입사슬릿(2)을 통과한 광은 제1오목구변경(3)에 의해 반사되어 평행광속으로 되고, 회절격자(G)에 입사된다. 그 회절격자(G)는 축(P)을 중심으로 회동하고, 그 회절격자(G)에 의한 경면반사광은 제1오목구면경(3)에서 반사되어 0차 광출사슬릿(6)을 경유하고 0차 광검출기(7)에 입사하는 한편, 회절광은 제2오목구면경(8)에서 반사되어 회절광출사슬릿(11)에 집광되고, 특정 파장광으로 되어 회절광 검출기(12)에 입사한다.

다른한편, 편심캠계에 대해서는 반경(Rc)의 캠폴로워(20)가 회전체(19)의 축심으로부터 Ro_f만큼 편심된 위치에 회전자재로 부착되고, 그 회전체(19)가 회절격자(G)로부터 거리(Lgc) 만큼 떨어진 위치에 설치되고, 펄스모터(18)에 의해 화살표시방향으로 회전한다. 또한, 회전체(19)는 원판이 아니라도 무방함은 말할것도 없다.

이때, 그 캠폴로워(20)와 접하는 접촉바(14)는 제4도에 도시한 바와 같이, 회전체(19)가 1회전하는 동안(0→333스텝)에, 1왕복회동하고, 그 접촉바(14)와 일체의 회절격자(G)도 동일 각도만큼 회동함으로써 분광파장(λ)을 변화시킬 수 있다. 이 회동각(ROT)은 격자·캠 중심간 거리(Lgc)와 편심량(Ro_f)과 캠폴로워(20)의 반경(Rc)으로 결정되어, 회전체(19)의 회전각(스텝수)을 축소시키고, 또한 연속왕복동작으로 변환된다. 따라서, 일정한 좁은 스펙트럼 범위를 반복하여 파장주사하는 것에 적합하게 되어 있다. 또한, 동일도면에서 접촉바(14)의 회동각(ROT)의 피크가, 약간 스텝수가 높은 쪽으로 시프트되어 있는 것은 캠폴로워(20)의 축심위치와, 접촉바(14)에 대한 미끄럼접점과의 수평방향의 위치가 쳐진 것에 기인한다.

제2도는 상기한 컨트롤러(22)의 제어계통을 도시하고 또, 제3도는 연속반복, 파장주사의 기본적인 제어흐름을 나타내고 있다. 제1도 내지 제3도를 참조하면서 파장주사방법을 이하에 설명한다.

(1) 광원(1)을 점등시켜 0차광출사슬릿(6)으로부터 출사되는 0차광을 0차광 검출기(7)로 검출하고, 그 검출신호(0-1신호)를 I/O I/F(입출력인터페이스)(25)를 통하여 연산수단(CPU)(23)에 입력시키고(S1), 0차광을 검출한 시점(S2)에 있어서의 펄스모터(18)의 카운트수와 그 0차광이 검출되지않게된 시점(S6)에 있어서의 펄스모터(18)의 카운트 수의 중심치를 구하고(S7), 이것에 의해 회절격자(G)의 초기위치를 설정·확인 한다.

(2) 다음으로, 펄스모터(18)의 카운트수가 미리 RAM(24)에 설정된 스펙트럼 측정개시파장과 대응하는 지정치로 될때까지 그 펄스모터(18)를 한스텝씩 진행시킨 다음, 회절광출사슬릿(11)으로부터 출사되는 회절광을 회절광검출기(12)로 검출(S10) 한후, AD변환(26)하여 CPU(23)에 수납하여(S11), 분광강도의 연산을 행한다.

(3) 다음의 측정대상으로 되는 파장과 대응하는 펄스모터(18)의 지정치가 RAM(24)으로부터 판독되어서 CPU(23)내에 설정되고(S12), 예정의 수납수가 종료될때까지 순차, 연속적으로 파장주사와 분광강도의 연산이 반복하여 행해진다(S8∼S13). 또한 상기한 스텝(12)에 있어서의 다음의 지정치의 설정에 대해서는 참조표(LUT) 등의 공지의 수단으로 행할 수 있다.

이와 같이 편심원판 캠(16)을 사용한 파장주사기구에 의해 펄스모터(18)를 역회전 시킬 필요없이 일정파장 범위내를 되풀이하여 반복주사할 수가 있고, 상기와 같이 제어내용을 극히 간단하게 할 수 있다. 또, 편심원판캠(16)의 제작과정에서는 캠폴로워(20)를 사용함으로써 회전체(19)의 가공진원도에 그다지 높은 정밀도를 요하지 않기 때문에, 종래의 사인바 방식이나 캠방식 보다 저렴한 값으로 제공할 수 있다.

더욱이, 이와 같은 편심원판캠(16)의 사용에 의해 펄스모터 직접구동의 경우의 난점인 분할거칠기를 해소하며, 분할을 세밀화할 수 있다. 또, 특히, 캠폴로워(20) 주위를 가운데 볼록형상의 구면형상으로 함으로써 접촉바(14)의 편마모를 효과적으로 방지할 수 있다.

제5도는 다른 실시예를 예시하며 캠폴로워를 사용하지 않고, 회전체(19)를 진원형으로 형성하고, 이것을 편심시켜서 캠으로서 사용한 가장 간단한 편심원판 캠(16)을 채용하고 있다. 이경우, 그 편심원판 캠(16)의 제작이 용이하며, 또한 비용의 저감ghk가 가능하게 된다.

제6도는 또다른 실시예를 예시하며, 펄스모터(18)에 의해 회전되는 회전체(19)의 회전축으로부터 상이한 거리(Ro_f1≠Ro_f2)만큼 편심된 위치에 각각 캠폴로워(20A, 20B)를 부착하고, 그 각각의 캠폴로워(20A,20B)를 회절격자(G)에 기부가 고정된 접촉바(14)의 요동단(14a)에 각각 미끄럼접촉시킨 것이다. 이 경우, 회전체(19)의 1회전중에, 좁은 범위를 세밀하게 주사하는 것과, 넓은 범위를 대강 주사하는 것의 2단주사가 가능하게 된다.

제7a, b도는 또다른 실시예를 예시하며, 회절격자(G)에 부착강도가 상이한(각도차=θd) 2개의 접촉바(14A,14B)를 고정하는 한편, 캠폴로워(20)를 그 지지축 방향의 2위치에 설정위치가 가변으로 되도록 축지지되게하고, 그 캠폴로워(20)를 어느 한쪽의 접촉바(14A,14B)의 요동단에 선택적으로 미끄럼접촉 대응시킬 수 있도록 한 것이다. 이경우, 접촉바(14A,14B)의 각도차(θd)에 대응하는 파장만 상이한 2개의 파장영역의 주사가 가능하게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 제1발명 및 제2발명의 분광기의 파장주사기구에 의하면, 제작용이한 편심원판캠을 사용함으로써 비용을 저렴하게 제공할 수 있고, 또한 그 편심원판 캠을 펄스모터로 동일방향에 회전시킴으로써 일정범위내의 파장을 반복하여 연속적으로 주사할 수 있어, 펄스모터의 제어가 용이하게되며, 예컨대 약액농도 모니터전용 분광기등의 다변량분석을 행함에 있어 가장 적합하다. 또, 캠계를 개재시킴에 따라 펄스모터 직접구동의 경우보다 분할의 세분화가 가능하게 된다.

제3발명에서는 편심원판 캠으로서 캠폴로워를 사용하고 있으므로, 접촉바에 대한 미끄럼 접촉상태가 원활하게 되며, 그 편마모를 방지할 수 있다. 또 편심원판의 진원가공 정밀도를 필요로 하지 않으므로 제작이 용이하게 되고, 비용을 보다 저감시킬 수 있다.

제4발명에서는, 접촉바의 요동단을 편심거리가 상이한 위치에 부착한 캠폴로워에 접촉되도록 하였으므로, 편심원판캠을 1회전시키는 것만으로 좁은 범위를 세밀하게 주사하는 것과, 넓은 범위를 대강 주사하는 것의 2단주사가 가능하게 된다.

제5발명에서는 회절격자에 부착된 부착각도가 상이한 복수의 접촉바에 대하여, 설정위치가 가변인 캠폴로워를 선택적으로 미끄럼접촉 대응되도록 하였으므로, 접촉바의 부착각도의 차만큼만 상이한 2개의 파장영역을 주사할 수 있다.

제6발명에서는 제1내지 제4발명의 분광기의 파장 주사기구를 사용하고, 첫회의 회절광의 검출과 연산을 종료한 후, 다음회의 지정치를 설정하고, 예정된 데이타 수납수가 종료할때까지 미리 설정된 지정치에 대한 파장의 회절광을 순차적으로 반복주사하고, 검출·연산하므로, 다변량 분석을 극히 능률있게 행할 수 있다.

Claims (6)

1. 광원과, 그 광원으로 부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판캠과, 그 편심원판캠을 회전시키기 위한 펄스모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
2. 광원과, 그 광원으로 부터의 광을 입사시키기 위한 입사슬릿과, 그 입사슬릿을 통과한 광을 반사시키기 위한 제1오목구면경과, 그 제1오목구면경에서 반사된 광을 회절시키기 위한 회동자재의 회절격자와, 그 회절격자에서 경면반사된 광이 상기 제1오목구면경에서 반사·집광된 후에, 그 광을 출사시키기 위한 0차 광출사슬릿과, 그 0차 광출사슬릿으로부터 출사된 0차광을 검출하기 위한 0차 광검출기와, 상기 회절격자에서 회절된 회절광을 반사시키기 위한 제2오목구면경과, 그 제2오목구면경에서 반사·집광된 회절광을 출사시키기 위한 회절광 출사슬릿과, 그 회절광 출사슬릿을 통과한 회절광을 검출하기 위한 회절광 검출기와, 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바와, 그 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉하는 편심원판캠과, 그 편심원판캠을 회전시키기 위한 펄스모터와, 그 펄스모터를 파장주사를 위해 필요한 제어프로그램에 따라 제어구동시키기 위한 컨트롤러를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편심원판캠은 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편심원판캠은 상기 펄스모터에 의해 회전되는 회전체의 회전축으로부터 상이한 거리만큼 편심된 위치에 각각 부착된 캠폴로워로 이루어지고, 그 각각의 캠폴로워는 상기 회절격자에 기부가 고정된 접촉바의 요동단에 각각 순차적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 회절격자에는 그 회절격자에 대한 부착각도가 상이한 복수의 접촉바의 기부가 고정되는 한편, 상기 회전체의 회전축으로부터 편심된 위치에는 설정위치가 가변인 캠폴로워가 축지지되고, 그 캠폴로워는 어느 하나의 상기 접촉바의 요동단에 선택적으로 미끄럼접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 분광기의 파장주사기구.
6. 상기 광원을 점등시키고, 상기 0차광검출기에 의해 0차광을 검출한 시점과, 그 0차광이 검출되지 않게된 시점에 있어서의 상기 펄스모터의 카운트수의 중심치를 구하여 상기 회절격자의 초기위치를 설정·확인한후, 그 펄스모터의 카운트수가 미리 설정된 스펙트럼 측정개시파장과 대응하는 지정치로 될때까지 그 펄스모터를 한스텝씩 진행시킨후, 상기 회절광 검출기에 의해 회절광의 검출을 행하고, 그 검출신호를 AD 변환시킨후 상기 컨트롤러내의 연산수단에 수납시켜 분광강도를 연산하고, 이어서, 다음회의 지정치를 설정하고, 예정의 데이타 수납수가 종료될때까지, 미리 설정된 지정치에 대한 파장의 회절광을 순차적으로 반복주사하고, 검출·연산하는 것을 특징으로 하는 제2항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 기재된 분광기의 파장주사기구의 파장주사방법.