KR0143559B1 - Method for manufacturing a magnetic head - Google Patents

Abstract

본원 발명은 산화물 자성체의 고주파특성을 이용하여 고주파영역에서의 기록 및 재생능력을 향상시킨 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 소재 가공공정과, 권선홈 가공공정과, 트랙홈 가공공정과, 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정과, 유리본딩 및 권선홈 가공공정과, 경사절단공정을 포함하여 이루어지는 자기헤드의 제조방법에 있어서; 트랙홈 가공공정과 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정 사이에 산화물 자성기판에 금속자성막을 도포하는 자성막 증착공정과, 트랙 상부의 자성막을 제거하는 자성막 제거공정과, 상기 자성막 제거부 위에 절연막을 증착하는 절연막 증착공정을 순차적으로 수행함으로써 유리에 의한 절연막을 중심으로 서로 대면되도록 산화물 자성체가 위치하고, 갭의 양끝부분에는 고포화 자속밀도의 금속자성막이 증착되고, 갭의 중심부근에는 금속자성막이 존재하지 않도록 구성되어 자기특성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a magnetic head having improved recording and reproducing ability in a high frequency region using a high frequency characteristic of an oxide magnetic material, and a method of manufacturing the same, comprising: a material processing process, a winding groove processing process, a track groove processing process, and a track A manufacturing method of a magnetic head comprising a fitting and glass rod insertion step, a glass bonding and winding groove machining step, and an oblique cutting step; A magnetic film deposition process for applying a metal magnetic film to an oxide magnetic substrate between a track groove processing process, a track alignment process, and a glass rod insertion process, a magnetic film removal process for removing a magnetic film on an upper track, and an insulating film on the magnetic film removal unit. An oxide magnetic material is positioned so as to face each other around an insulating film made of glass by sequentially performing the deposition insulating film deposition process. A metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density is deposited at both ends of the gap, and a metal magnetic film is located near the center of the gap. It is configured not to improve the magnetic properties.

Description

자기헤드 및 그 제조방법Magnetic Head and Manufacturing Method Thereof

제1도는 종래 기술에 의한 적층헤드의 갭(gap)을 나타내는 도면.1 shows a gap of a stacking head according to the prior art.

제2도는 종래 기술에 의한 복합형 헤드의 갭을 보인 상태도로써,2 is a state diagram showing a gap of a hybrid head according to the prior art,

(a)는 TSS형 갭의 상태도,(a) is a state diagram of a TSS type gap,

(b)는 크로스형 갭의 상태도.(b) is a state diagram of a cross gap.

제3도는 종래 기술에 의한 복합형 헤드의 제조공정을 나타내는 도면.3 is a view showing a manufacturing process of a hybrid head according to the prior art.

제4도는 본원 발명에 의한 복합형 헤드의 제조공정을 나타내는 도면.4 is a view showing a manufacturing process of a hybrid head according to the present invention.

제5도는 (a)(b)는 본원 발명에 의한 복합형 헤드의 갭을 나타내는 상태도.5 is a state diagram showing a gap of the hybrid head according to the present invention (a) and (b).

＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＊ Explanation of symbols for main parts of drawing

41 : 산화물자성체 42 : 금속자성막41: magnetic oxide material 42: magnetic metal film

43 : 유리43: glass

본원 발명은 산화물자성체와 금속자성막을 접합시킨 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로 특히, 산화물 자성체의 고주파특성을 이용하여 고주파영역에서의 기록 및 재생능력을 향상시킨 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head in which an oxide magnetic material is bonded to a metal magnetic film, and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to a magnetic head and a method of manufacturing the same, which improve recording and reproducing ability in a high frequency region by using the high frequency characteristics of the oxide magnetic material. .

최근의 고화질, 고밀도 자기기록 추세에따라 메탈테이프 및 증착테이프와 같은 고항자력의 자기기록용 매체들이 등장하였고, 보자력이 큰 매체는 단파장기록에 있어서 자계에 의한 자기감자의 손실을 줄일 수 있기 때문에 고밀도기록이 가능하도록 하였다.In accordance with the recent trend of high-definition and high-density magnetic recording, high-magnitude magnetic recording media such as metal tapes and deposition tapes have emerged, and media with high coercivity can reduce the loss of magnetic potatoes due to the magnetic field in short wavelength recording. Records were made available.

일반적으로 사용되는 가정용 비디오 테이프의 경우 VHS나 β타입의 Co-γFe₂O₃테이프의 보자력은 690[Oe], S-VHS용 Co-γFe₂O₃테이프의 보자력은 900[Oe], 8㎜용 메탈테이프의 보자력은 1500[Oe]이다.In the case of commonly used home video tape, the coercive force of VHS or β type Co-γFe ₂ O ₃ tape is 690 [Oe], and the coercive force of S-VHS Co-γFe ₂ O ₃ tape is 900 [Oe], 8㎜ The coercive force of the dragon metal tape is 1500 [Oe].

일반적으로 매체의 자기특성을 살리기 위한 자기기록 헤드의 조건으로서 매체의 보자력(Hc)과 자기헤드의 포화자속밀도(Bs) 사이에는 Bs/Hc=5~10의 비가 되어야 한다. 그러나, 매체로 사용되는 Mn-Zn 단결정 페라이트의 포화자속밀도(Bs)는 4600정도이기 때문에 VHS나 β타입의 기록에는 무리가 없으나(690*5=3450), S-VHS용 헤드(900*5=4500) 또는 8㎜용 메탈테이프(1500*5=7500)에 대하여는 기록재생시 매체보다 헤드가 먼저 포화되어 상기 포화자속밀도(Bs) 보다 강한 신호는 찌그러짐이 발생하는 문제점이 있다.In general, a ratio of Bs / Hc = 5 to 10 should be set between the coercive force Hc of the medium and the saturation magnetic flux density Bs of the magnetic head as a condition of the magnetic recording head for utilizing the magnetic properties of the medium. However, since the saturation magnetic flux density (Bs) of Mn-Zn single crystal ferrite used as a medium is about 4600, VHS or β type recording is not unreasonable (690 * 5 = 3450), but the head for S-VHS (900 * 5) = 4500) or 8 mm metal tape (1500 * 5 = 7500), the head is saturated before the medium during recording and reproduction, and thus a signal stronger than the saturation magnetic flux density Bs is crushed.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 고보자력 테이프에 대응하는 자기헤드로서 제1도에 도시된 바와 같이 비자성체 기판에 금속자성막을 증착시켜 사용하였으나 상기 금속자성막의 경우 저항이 작기 때문에 고주파에서의 출력이 현격히 저하되어 맴돌이 전류의 손실이 발생하였고, 상기 맴돌이 전류의 손실이 최소가 되도록 적층헤드를 구성하기 위해서는 제조방법이 기존의 VTR과 많은 차이가 발생하기 때문에 설비 투자에 문제점이 있다.In order to solve the above problems, as a magnetic head corresponding to a high coercive force tape, a magnetic metal film is deposited on a non-magnetic substrate as shown in FIG. 1, but in the case of the metal magnetic film, since the resistance is small, the output is performed at a high frequency. This remarkably lowered loss of eddy currents, and there is a problem in the equipment investment because the manufacturing method is a lot different from the existing VTR to configure the stacking head to minimize the loss of the eddy currents.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제2도(a)의 TSS형 헤드 또는 제2도(b)의 크로스(CROSS)형 헤드 등과 같이 헤드 갭(Gap) 부근에만 고포화자속밀도를 갖는 센더스트(sendust:Fe+Al+Si) 또는 아몰포스(amorphous:비정질) 등의 물질을 장착시키는 복합형 헤드를 사용하였다.In order to solve the above problems, a sender having a high saturation magnetic flux density only in the vicinity of the head gap Gap, such as the TSS head of FIG. 2 (a) or the cross head of FIG. A composite head mounted with materials such as sendust: Fe + Al + Si) or amorphous (amorphous) was used.

상기와 같은 종래 기술에 의한 복합형 헤드의 제조방법은 제3도에 도시된 바와 같이 단결정 페라이트를 일정한 방향으로 절단한 소재블럭을 연마기로 연마하여 기준면이 되도록 소재가공을 하는 제1공정(A)과, 상기 소재블럭에 권선홈과 보강홈을 가공하는 제2공정(B)과, 트랙홈을 파내어 트랙의 폭을 결정하는 제3공정(C)과, 먼지나 오염물질을 제거하도록 세정공정을 실시한 후 자성막을 증착시키는 제4공정(D)과, 절연막을 증착하는 제5공정(E)과, 두 소재블럭의 치구를 이용하여 트랙을 맞춘 후 유리봉을 삽입하는 제6공정(F)과, 상기 유리봉을 융착시킨후 외부의 권선홈을 파내는 제7공정(G)과, 경사절단공정에서 커팅(cutting)을 실시하는 제8공정(H)으로 이루어진다.In the method of manufacturing a hybrid head according to the related art as described above, as shown in FIG. 3, a first step (A) of processing a material block to be a reference plane is performed by grinding a block of material cut in a predetermined direction with a single crystal ferrite using a polishing machine. And a second step (B) of processing the winding grooves and the reinforcement grooves in the material block, a third step (C) of digging the track grooves to determine the width of the tracks, and a cleaning step to remove dust or contaminants. A fourth step (D) for depositing a magnetic film after the deposition, a fifth step (E) for depositing an insulating film, a sixth step (F) for inserting glass rods after aligning tracks using the jig of two material blocks; And a seventh step (G) of digging the outer winding groove after the glass rod is fused, and an eighth step (H) of cutting in the inclined cutting process.

상기와 같은 복합형 헤드는 고주파에서 맴돌이 전류손실이 발생하고, 재생출력에서 의사갭에 의한 리플(ripple)이 발생하여 노이즈로 작용하는 문제점이 있다.In the hybrid head as described above, eddy current loss occurs at a high frequency, and ripple due to a pseudo gap occurs in the reproduction output, thereby acting as a noise.

본원 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 메탈갭(Metal in Gap:MIG) 형태를 취하고 페라이트 헤드의 고주파 특성을 이용하는 동시에 갭부분에 고포화자속밀도의 물질을 증착하여 자기특성을 향상시킬 수 있는 자기헤드 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, taking the form of a metal gap (MIG) and using the high frequency characteristics of the ferrite head and at the same time by depositing a material of high saturation magnetic flux density in the gap portion magnetic properties It is an object of the present invention to provide a magnetic head and a method of manufacturing the same that can be improved.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본원 발명에 의한 자기헤드 및 그 제조방법은 소재 가공공정과, 권선홈 가공공정과, 트랙홈 가공공정과, 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정과, 유리본딩 및 권선홈 가공공정과, 경사절단공정을 포함하여 이루어지는 자기헤드의 제조방법에 있어서; 트랙홈 가공공정과 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정 사이에 산화물 자성기판에 금속자성막을 도포하는 자성막 증착공정과, 트랙 상부의 자성막을 제거하는 자성막 제거공정과, 상기 자성막 제거부 위에 절연막을 증착하는 절연막 증착공정을 순차적으로 수행함으로써 유리에 의한 절연막을 중심으로 서로 대면되도록 산화물 자성체가 위치하고, 갭의 양끝부분에는 고포화 자속밀도의 금속자성막이 증착되고, 갭의 중심부근에는 금속자성막이 존재하지 않도록 구성되어 자기특성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.Magnetic head and the manufacturing method according to the present invention for achieving the above object is a material processing process, winding groove processing process, track groove processing process, track fitting and glass rod insertion process, glass bonding and winding groove A manufacturing method of a magnetic head comprising a machining step and an oblique cutting step; A magnetic film deposition process for applying a metal magnetic film to an oxide magnetic substrate between a track groove processing process, a track alignment process, and a glass rod insertion process, a magnetic film removal process for removing a magnetic film on an upper track, and an insulating film on the magnetic film removal unit. An oxide magnetic material is positioned so as to face each other around an insulating film made of glass by sequentially performing the deposition insulating film deposition process. A metal magnetic film having a high saturation magnetic flux density is deposited at both ends of the gap, and a metal magnetic film is located near the center of the gap. It is configured so as not to improve the magnetic properties.

이하, 본원 발명에 의한 자기헤드 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of a magnetic head and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail.

본원 발명에 의한 자기헤드의 제조방법은 제4도에 도시된 바와 같이 소재를 가공하는 제1공정(A)과, 권선홈을 가공하는 제2공정(B)과, 트랙홈을 가공하는 제3공정(C)과, 자성막을 증착시키는 제4공정(D)과, 트랙상단의 자성막을 랩핑(Lapping)하여 제거하는 제5공정(E)과, 절연막을 증착하는 제6공정(F)과, 양블럭을 트랙맞춤하여 유리봉을 삽입하는 제7공정(G)과, 유리본딩및 외부권선홈을 가공하는 제8공정(H)과, 경사절단공정을 수행하는 제9공정(I)로 이루어진다.The method of manufacturing a magnetic head according to the present invention includes a first step (A) of processing a raw material, a second step (B) of processing a winding groove, and a third step of processing a track groove as shown in FIG. Step (C), a fourth step (D) for depositing a magnetic film, a fifth step (E) for lapping and removing a magnetic film on the track top, a sixth step (F) for depositing an insulating film, The seventh step (G) for track-fitting the two blocks to insert the glass rod, the eighth step (H) for processing the glass bonding and the outer winding groove, and the ninth step (I) for the inclined cutting process .

상기 제5공정에서 중심부분의 금속자성막이 제거되기 때문에 상기 트랙홈을 가공하는 제3공정(C)에서는 트랙폭을 가능한 작게 가공한다.Since the metal magnetic film of the center portion is removed in the fifth step, the track width is processed as small as possible in the third step (C) of processing the track groove.

결국, 상기와 같은 과정에 의해 제조된 본원 발명의 복합형 헤드는 제5도(a)(b)에 도시된 바와 같이 갭의 중심부근에는 금속자성막(42)이 존재하지 않고 절연막을 중심으로 산화물 자성체(41)인 페라이트가 마주보도록 형성되고, 갭의 양끝 부분에는 고포화자속밀도의 금속자성막(42)이 증착된 트랙홈 구멍이 형성되고, 트랙홈에는 유리(43)가 증착된다.As a result, in the hybrid head of the present invention manufactured by the above process, the magnetic metal film 42 does not exist near the center of the gap as shown in FIG. Ferrite, which is an oxide magnetic material 41, is formed to face each other, track grooves in which metal magnetic films 42 of high saturation magnetic flux density are formed are formed at both ends of the gap, and glass 43 is deposited in the track grooves.

상기와 같은 본원 발명에 의한 자기헤드 및 그 제조방법은 고주파특성을 이용하는 동시에 포화자속밀도가 높기 때문에 고보자력 매체에 대응이 가능하고, 메탈갭 헤드에서 발생하는 의사갭을 없앨 수 있어서 자기특성을 향상시킬 수 있는 잇점이 있다.As described above, the magnetic head and the method of manufacturing the same according to the present invention use high frequency characteristics and have a high saturation magnetic flux density, thereby making it possible to cope with a high coercive force medium, and to eliminate the pseudo gap generated in the metal gap head, thereby improving the magnetic characteristics. There is an advantage to this.

Claims (2)

소재 가공공정과, 권선홈 가공공정과, 트랙홈 가공공정과, 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정과, 유리본딩 권선홈 가공공정과, 경사절단공정을 포함하여 이루어지는 자기헤드의 제조방법에 있어서; 트랙홈 가공공정과 트랙맞춤 및 유리봉 삽입공정 사이에 산화물 자성기판에 금속자성막을 도포하는 자성막 증착공정과, 트랙 상부의 자성막을 제거하는 자성막 제거공정과, 상기 자성막 제거부위에 절연막을 증착하는 절연막 증착공정을 순차적으로 수행하여 페라이트의 고주파특성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.A method for manufacturing a magnetic head comprising a material processing step, a winding groove processing step, a track groove processing step, a track fitting and a glass rod insertion step, a glass bonding winding groove processing step, and an inclined cutting step; A magnetic film deposition process for applying a metal magnetic film to an oxide magnetic substrate between a track groove processing process, a track alignment process, and a glass rod insertion process, a magnetic film removal process for removing a magnetic film on an upper track, and an insulating film on the magnetic film removal area. Method of manufacturing a magnetic head, characterized in that to improve the high-frequency characteristics of the ferrite by sequentially performing an insulating film deposition process to deposit. 유리에 의한 절연막을 중심으로 서로 대면되도록 산화물 자성체가 위치하고, 갭의 양끝부분에는 고포화 자속밀도의 금속자성막이 증착되고, 갭의 중심부근에는 금속자성막이 존재하지 않도록 구성되는 것을 특징으로 하는 자기헤드.Oxide magnetic material is positioned so as to face each other around the insulating film made of glass, and a magnetic metal film of high saturation magnetic flux density is deposited on both ends of the gap, and the magnetic head is formed so that the metal magnetic film does not exist near the center of the gap. .

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