KR0139984Y1 - Plate transferring apparatus in exposure light apparatus - Google Patents

Abstract

본 고안은 노광장비용 변위조정장치에 관한 것으로서, 미세구동 및 초기 위치의 세팅이 용이하며 큰 하중의 X-Y 스테이지의 수직 변위를 조정하기 위하여, 평판 유리가 올려지는 X-Y 스테이지를 구비하며, 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 구비한 플레이트 이송장치에 있어서, 상기 변위조정장치는, X-Y 스테이지를 지지하는 레버와, 그 레버의 타측을 상하 구동시키는 편심부를 구비한다.The present invention relates to a displacement adjusting device for exposure equipment, which includes a XY stage on which a flat glass is lifted to adjust the vertical displacement of the XY stage with a high load, which is easy to fine drive and to set the initial position. A plate feed apparatus comprising at least three displacement adjusting devices for finely driving a vertically and vertically, wherein the displacement adjusting device includes a lever for supporting the XY stage and an eccentric portion for vertically driving the other side of the lever.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 평판 유리가 올려지는 X-Y 스테이지가 설치되며 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 구비한 노광장비용 플레이트 이송장치에 있어서, 상기 변위조정장치는, 상기 X-Y 스테이지를 지지하는 동시에 상하 구동시키는 편심부를 구비하여 된 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, in the plate transfer apparatus for exposure equipment provided with an XY stage on which the flat glass is mounted and having at least three displacement adjusting devices for finely driving the XY stage up and down, the displacement The adjustment device is characterized by including an eccentric portion for supporting the XY stage and driving the device up and down.

Description

노광장비용 플레이트 이송장치Plate Feeder for Exposure Equipment

본 고안은 노광장비용 변위조정장치에 관한 것으로서, 상세하게는 노광대상물이 올려지는 스테이지의 수직 변위를 조정할 수 잇는 변위조정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a displacement adjusting device for exposure equipment, and more particularly, to a displacement adjusting device capable of adjusting a vertical displacement of a stage on which an exposure object is placed.

정보화 사회에서의 가장 핵심적인 역할을 하고 있는 반도체 기억소자나, 액정 표시 소자와 같은 평판 디스플레이는 그 수요가 늘어나고 있다. 이러한 액정 디스플레이 소자의 제작에 있어서는 노광 대상물인 평판유리위에 노광광빔을 이용하여 다양한 패턴을 중첩해서 새겨주는 노광 과정이 중요하다.The demands are increasing for semiconductor memory devices and liquid crystal display devices that play a key role in the information society. In the production of such a liquid crystal display element, an exposure process in which various patterns are inscribed by using an exposure light beam on the flat glass, which is an exposure object, is important.

이러한 노광과정을 수행하는 노광장치는, 회로패턴이 새겨진 레티클이 올려지는 레티클스테이지와, 레티클의 패턴이 새겨질 평판유리를 노광 위치로 이동시키는 플레이트 이송장치와, 그 사이에 노광광원을 집중해 주기 위한 렌즈계를 포함한다. 이들의 상호 동작에 의해 레티클의 회로 패턴의 이미지는 평판유리에 새겨지게 된다. 여기에서, 상기 플레이트 이송장치는 올려진 평판유리를 x, y 방향으로 이송시키는 X-Y 스테이지를 구비한다.An exposure apparatus for performing such an exposure process includes a reticle stage on which a reticle having a circuit pattern engraved thereon, a plate transfer device for moving the flat glass on which the pattern of the reticle is carved to an exposure position, and a light source for concentrating an exposure light source therebetween. It includes a lens system. These interactions cause the image of the circuit pattern of the reticle to be engraved on the flat glass. Here, the plate transfer device is provided with an X-Y stage for transferring the raised flat glass in the x, y direction.

이러한 노광과정에 있어서, 노광위치까지 이송된 평판유리(5)에 노광광빔을 정확히 조사하기 위하여, 그 노광광빔이 평판유리에 수직으로 조사되어야 한다. 따라서, 그 평판유리의 수평도를 조정할 수 있는 변위조정장치가 필요하다.In this exposure process, in order to accurately irradiate the exposure light beam to the flat glass 5 transferred to the exposure position, the exposure light beam should be irradiated perpendicularly to the flat glass. Therefore, there is a need for a displacement adjusting device capable of adjusting the horizontality of the flat glass.

이러한 변위조정장치로 종래에는 전기에 의해 물리적인 치수가 변하는 압전액츄에이터나, 볼스크류와 리니어 모터를 이용한 변위조정장치가 사용되었다. 즉, 압전액츄에이터나 볼스크류와 리니어모터를 이용한 변위조정장치를 평판유리가 올려진 X-Y 스테이지 하면에 복수개 설치하여 그 X-Y 스테이지의 수직변위를 조정하는 것에 의해 레티클의 수평도를 조정하였다.As such a displacement adjusting device, a piezoelectric actuator whose physical dimensions are changed by electricity or a displacement adjusting device using a ball screw and a linear motor has been used. That is, a plurality of displacement adjusting devices using a piezoelectric actuator, a ball screw and a linear motor were installed on the lower surface of the X-Y stage on which the flat glass was mounted, and the horizontal displacement of the reticle was adjusted by adjusting the vertical displacement of the X-Y stage.

그러나, 상기 압전액츄에이터를 이용한 경우는 그 신장량이 수㎛에 불과하여 평판유리가 올려져 있는 X-Y 스테이지의 초기 위치를 결정하기가 어려웠고, 볼스크류와 리니어 모터를 이용한 경우 큰 하중의 X-Y 스테이지를 지지하기 위하여 볼 스크류의 크기 및 필요한 모터가 커지게 되어 작은 공간에 장착이 어려웠다.However, when the piezoelectric actuator was used, it was difficult to determine the initial position of the XY stage on which the flat glass was placed because the extension amount was only a few μm, and when using the ball screw and the linear motor, the XY stage with large load was supported. In order to increase the size of the ball screw and the required motor was difficult to mount in a small space.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 미세구동 및 초기 위치의 세팅이 용이하며, 큰 하중의 X-Y 스테이지의 수직 변위를 조정할 수 있는 복수개의 변위조정장치를 구비한 노광장비용 플레이트 이송장치를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and is easy to set the micro-drive and the initial position, the plate for exposure equipment having a plurality of displacement adjusting device that can adjust the vertical displacement of the XY stage of large load It is to provide a transfer device.

도 1은 본 고안의 제1실시예에 따른 플레이트 이송장치의 평면도.1 is a plan view of a plate transport apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 플레이트 이송장치의 측면도.Figure 2 is a side view of the plate conveying apparatus shown in FIG.

도 3는 도 2에 도시된 변위조정장치의 확대 측면도.Figure 3 is an enlarged side view of the displacement adjusting device shown in FIG.

도 4는 본 고안의 제2실시예에 따른 플레이트 이송장치의 평면도.4 is a plan view of a plate transport apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 플레이트 이송장치의 측면도.5 is a side view of the plate feeder shown in FIG.

도 6은 도 5에 도시된 변위조정장치의 확대 측면도.Figure 6 is an enlarged side view of the displacement adjusting device shown in FIG.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

5 ... 평판유리 10, 40 ... X-Y 스테이지5 ... flat glass 10, 40 ... X-Y stage

20a,20b,20c ... 제1,2,3변위조정장치20a, 20b, 20c ... 1st, 2nd, 3rd displacement adjusting device

50a,50b,50c ... 베1,2,3변우조정장치50a, 50b, 50c ... bet 1, 2, 3

22 ... 레버 24, 54 ... 모터22 ... lever 24, 54 ... motor

25, 55 ... 웜 26, 56 ... 편심부25, 55 ... worm 26, 56 ... eccentric

27, 57 ... 베어링 28, 58 ... 웜기어27, 57 ... bearing 28, 58 ... worm gear

29 ... 볼조인트 29a ... 볼29 ... ball joint 29 a ... ball

30,60 ... 베이스 31 ... 지지돌기부30,60 ... Base 31 ... Supporting projection

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 플레이트 이송장치는평판 유리가 올려지는 X-Y 스테이지를 구비하며, 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 구비한 플레이트 이송장치에 있어서,In order to achieve the above object, the plate conveying apparatus according to the present invention is provided with a plate conveying device having at least three displacement adjusting device having an XY stage, the flat glass is mounted, the XY stage up and down In

상기 변위조정장치는, X-Y 스테이지를 지지하는 레버와, 그 레버의 타측을 상하 구동시키는 편심부를 구비하여 된 것을 특징으로 한다.The displacement adjusting device is characterized by comprising a lever for supporting the X-Y stage, and an eccentric portion for driving the other side of the lever up and down.

상기와 같은 또 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 플레이트 이송장치는, 평판 유리가 올려지는 X-Y 스테이지가 설치되며, 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 구비한 노광장비용 플레이트 이송장치에 있어서, 상기 변위조정장치는, 상기 X-Y 스테이지를 지지하는 동시에 상하 구동시키는 편심부를 구비하여 된 것을 특징으로 한다.In order to achieve another object as described above, the plate conveying apparatus according to the present invention, the XY stage on which the flat glass is mounted is provided, the furnace provided with at least three displacement adjusting device for finely driving the XY stage up and down In the high cost plate conveying apparatus, the displacement adjusting apparatus is provided with an eccentric portion for supporting the XY stage and for driving up and down.

이하, 본 고안의 제1실시예에 따른 노광장비용 플레이트 이송장치를 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a plate transfer apparatus for exposure apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 내지 도 3를 참조하면, 본 고안의 플레이트 이송장치는 평판 유리(5)가 올려지는 X-Y 스테이지(10)와 그 X-Y 스테이지(10)를 상하로 미세구동시키는 제1,2,3변위조정장치(20a)(20b)(20c)를 포함한다. 이때, 상기 3개의 변위조정장치는 상기 X-Y 스테이지(10)의 하면의 4곳의 가장자리중 3곳의 가장자리와 베이스(30)와의 사이에 설치되어, 이 3개의 변위조정장치(20a)(20b)(20c)를 조정하는 것에 의해 노광광빔(미도시)이 평판유리(5)에 수직으로 조사되도록 X-Y 스테이지(10)의 수평도를 조정할 수 있다. 여기서 제1,2,3변위조정장치는 그 구성과 작용이 모두 같다.1 to 3, the plate transfer apparatus of the present invention is the first, second, third displacement adjustment for fine driving the XY stage 10 and the XY stage 10 up and down the plate glass 5 is raised Devices 20a, 20b and 20c. At this time, the three displacement adjusting devices are provided between the three edges of the four edges of the lower surface of the XY stage 10 and the base 30, and the three displacement adjusting devices 20a and 20b. By adjusting 20c, the horizontality of the XY stage 10 can be adjusted so that an exposure light beam (not shown) is irradiated perpendicularly to the flat glass 5. Here, the first, second and third displacement adjusting devices have the same configuration and operation.

상기 변위조정장치는, 베이스(30)에서 돌출된 지지돌기부(31)에 힌지결합되는 레버(22)와, 그 레버(22)를 상하 구동시키는 편심부(26)로 구성된다. 이때, 상기 X-Y 스테이지(10)는 볼(29a)이 끼워져 있는 볼조인트(29)에 의해 레버(22)에 지지된다. 여기서 볼조인트(29)는 레버(22)에 의해 X-Y 스테이지(10)가 수직이동될 때, 그 X-Y 스테이지(10)가 수평방향으로 움직이지 않도록 하기 위하여 설치된다.The displacement adjusting device includes a lever 22 hinged to the support protrusion 31 protruding from the base 30, and an eccentric portion 26 for driving the lever 22 up and down. At this time, the X-Y stage 10 is supported by the lever 22 by the ball joint 29 in which the ball 29a is fitted. Here, the ball joint 29 is installed so that the X-Y stage 10 does not move in the horizontal direction when the X-Y stage 10 is vertically moved by the lever 22.

상기 편심부(26)는, 구동력을 제공하는 모터(24)와, 그 모터(24)와 결합된 웜(25)과, 그 웜(25)과 기어결합되는 웜기어(28)와, 그 웜기어(28)에 그 중심에서 편심되게 고정된 베어링(27)을 구비한다. 이때, 상기 베어링(27)은 레버(22)의 타측에 접촉되는 외측부(27a)와 상기 웜기어(28)에 고정되는 내측부(27b)로 대별된다. 상기 내측부(27b)는 웜기어(28)와 함께 편심되게 회전하며, 상기 외측부(27a)는 레버(22)와 접촉되어 회전하지 않고 그 레버(22)를 접촉면을 상하로 움직인다.The eccentric portion 26 includes a motor 24 providing a driving force, a worm 25 coupled to the motor 24, a worm gear 28 geared to the worm 25, and a worm gear ( 28 is provided with a bearing 27 fixed eccentrically at its center. At this time, the bearing 27 is roughly divided into an outer portion 27a which is in contact with the other side of the lever 22 and an inner portion 27b which is fixed to the worm gear 28. The inner portion 27b rotates eccentrically with the worm gear 28, and the outer portion 27a is in contact with the lever 22 to move the lever 22 up and down without contacting the lever 22.

이와 같은 구조의 플레이트 이송장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the plate feeder of such a structure as follows.

상기 X-Y 스테이지(10)를 구동시켜 평판 유리(5)를 노광위치까지 이동시킨 후, 모터(24)를 구동시켜 노광광빔이 평판유리(5)에 수직으로 조사될 수 있도록 X-Y 스테이지(10)의 수평도를 조정한다.After driving the XY stage 10 to move the flat glass 5 to an exposure position, the motor 24 is driven to allow the exposure light beam to be irradiated perpendicularly to the flat glass 5. Adjust the horizontal level.

이러하기 위하여 모터(24)를 구동하면 그 회전량은 웜(25)을 통하여 웜기어(28)로 전달되고, 그 웜기어(28)가 회전함에 따라 그 중심에서 편심되게 설치된 베어링(27)을 회전시킨다. 베어링(27)이 회전됨에 따라, 베어링(27)과 접촉되어 있는 레버(22)는 주기적인 수직 운동을 하게 되며, 이 수직운동은 볼조인트(29)에 지지되어 있는 X-Y 스테이지(10)를 수직이동시킨다. 이때, 상기 레버(22)의 타측과 접촉되어 있는 베어링(27)의 외측부(27b)는 회전되지 않고, 내측부(27a)만이 회전되므로 그 외측에 접촉되어 있는 레버(22)는 베어링(27)에 대해 미끄럼이 발생하지 않는다. 이와 같이 구동되는 3개의 변위조정장치(26)의 수직 이동량을 적절히 조정하는 것에 의해 X-Y 스테이지(20)의 수평 위치를 조정할 수 있다.To this end, when the motor 24 is driven, the amount of rotation is transmitted to the worm gear 28 through the worm 25, and as the worm gear 28 rotates, the bearing 27 eccentrically installed at its center is rotated. . As the bearing 27 is rotated, the lever 22 in contact with the bearing 27 undergoes a vertical vertical movement, which is perpendicular to the XY stage 10 supported by the ball joint 29. Move it. At this time, the outer portion 27b of the bearing 27 which is in contact with the other side of the lever 22 is not rotated, and only the inner portion 27a is rotated so that the lever 22 which is in contact with the outer side is connected to the bearing 27. No slip occurs. The horizontal position of the X-Y stage 20 can be adjusted by suitably adjusting the vertical movement amount of the three displacement adjusting apparatus 26 driven in this way.

상술한 바와 같이, 본 고안의 플레이트 이송장치에서는, 웜기어에 편심되게 설치된 베어링에 의해 상기 X-Y 스테이지를 상하 운동시킬 수 있다. 이때, 모터에 의한 회전은 웜기어에 의해 1차 감속되어 베어링에 의해 상하 운동으로 되고, 이 운동은 다시 레버에 의해 2차 감속되어 X-Y 스테이지로 전달된다. 한편, 레버는 베어링에 의해 지지되므로, 레버와 베어링과의 미끄러짐이 발생하지 않는다. 한편, X-Y 스테이지를 상하 이동시키는 것은 베어링이므로, 큰 하중의 X-Y 스테이지를 지지할 수 있다.As described above, in the plate feed apparatus of the present invention, the X-Y stage can be moved up and down by a bearing eccentrically installed on the worm gear. At this time, the rotation by the motor is first decelerated by the worm gear, and is moved up and down by the bearing, and this motion is secondly decelerated by the lever and transmitted to the X-Y stage. On the other hand, since the lever is supported by the bearing, slippage between the lever and the bearing does not occur. On the other hand, since it is a bearing which moves an X-Y stage up and down, it can support a large load X-Y stage.

다음, 본 고안의 제2실시예에 따른 노광장비용 플레이트 이송장치를 설명한다.Next, a plate transfer apparatus for exposure apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 6를 참조하면, 본 고안의 플레이트 이송장치는 평판 유리(5)가 올려지는 X-Y 스테이지(40)와 그 X-Y 스테이지(40)를 상하로 미세구동시키는 제1,2,3변위조정장치(50a)(50b)(50c)를 포함한다. 이때, 상기 3개의 변위조정장치는 상기 X-Y 스테이지(40)의 하면의 4곳의 가장자리중 3곳의 가장자리와 베이스(60)와의 사이에 설치되어, 이 3개의 변위조정장치(50a)(50b)(50c)를 조정하는 것에 의해 노광광빔(미도시)이 평판유리(5)에 수직으로 조사되도록 X-Y 스테이지(40)의 수평도를 조정할 수 있다. 여기서, 제1,2,3변위조정장치(50a)(50b)(50c)는 그 구성과 작용이 모두 같다.4 to 6, the plate feeder of the present invention is the first, second, third displacement adjustment for fine driving the XY stage 40 and the XY stage 40 on which the flat glass 5 is raised up and down. Devices 50a, 50b and 50c. At this time, the three displacement adjusting devices are provided between the three edges of the four edges of the lower surface of the XY stage 40 and the base 60, and the three displacement adjusting devices 50a and 50b. By adjusting 50c, the horizontality of the XY stage 40 can be adjusted so that an exposure light beam (not shown) is irradiated perpendicularly to the flat glass 5. Here, the first, second and third displacement adjusting devices 50a, 50b and 50c have the same configuration and function.

상기 변위조정장치는, 베이스(60)에 설치되어 X-Y 스테이지(40)를 지지하는 동시에 상하 구동시키는 편심부(56)를 구비한다.The displacement adjusting device includes an eccentric portion 56 provided on the base 60 to support the X-Y stage 40 and to drive up and down.

상기 편심부(56)는 베이스(60)의 소정부에 설치되는 모터(54)에 결합된 웜(55)에 기어결합되는 웜기어(58)와 그 웜기어(58)에 대해 그 중심에서 편향되게 고정된 베어링(57)을 구비한다.The eccentric portion 56 is fixed to be deflected from its center with respect to the worm gear 58 and the worm gear 58 which are geared to the worm 55 coupled to the motor 54 installed in the predetermined portion of the base 60. Bearing 57 is provided.

이때, 상기 베어링(57)은 곧바로 X-Y 스테이지(40)의 하면과 접촉되는 외측부(57a)와 상기 웜기어(58)에 고정되는 내측부(57b)로 대별된다. 상기 내측부(57b)는 웜기어(58)와 함께 편심되게 회전하며, 상기 외측부(57a)는 X-Y 스테이지(40)와 접촉되어 회전하지 않고 X-Y 스테이지(40)를 상하로 움직인다.At this time, the bearing 57 is roughly divided into an outer portion 57a directly contacting the bottom surface of the X-Y stage 40 and an inner portion 57b fixed to the worm gear 58. The inner portion 57b rotates eccentrically with the worm gear 58, and the outer portion 57a contacts the X-Y stage 40 to move the X-Y stage 40 up and down without rotating.

이와 같은 구조의 플레이트 이송장치의 동작에 있어서, 제1실시예와 동일한 기능은 생략하고 설명하면 다음과 같다.In the operation of the plate feeder having such a structure, the same functions as those of the first embodiment will be omitted and explained as follows.

상기 X-Y 스테이지(40)를 구동시켜 평판 유리(5)를 노광위치까지 이동시킨 후, 모터(54)를 구동시켜 노광광빔이 평판유리(5)에 수직으로 조사될 수 있도록 X-Y 스테이지(40)의 수평도를 조정한다.After driving the XY stage 40 to move the flat glass 5 to an exposure position, the motor 54 is driven to allow the exposure light beam to be irradiated perpendicularly to the flat glass 5. Adjust the horizontal level.

이러하기 위하여, 모터(24)를 구동하면 그 회전량은 웜(55)을 통하여 웜기어(58)로 전달되고, 그 웜기어(58)가 회전함에 따라 그 중심에서 편심되게 설치된 베어링(57)을 회전시킨다.To this end, when the motor 24 is driven, the amount of rotation is transmitted to the worm gear 58 through the worm 55, and as the worm gear 58 rotates, the bearing 57 eccentrically installed at its center is rotated. Let's do it.

베어링(57)이 회전됨에 따라, 베어링(57)과 접촉되어 있는 X-Y 스테이지(40)는 수직 운동을 하게 된다. 이때, 상기 베어링(57)의 외측부(57a)은 회전되지 않고 내측부(57b)만이 회전되므로 그 외측부(57a)에 접촉되어 있는 X-Y 스테이지는 베어링(57)에 대해 미끄럼이 발생하지 않는다.As the bearing 57 is rotated, the X-Y stage 40 in contact with the bearing 57 is in a vertical motion. At this time, since the outer portion 57a of the bearing 57 is not rotated and only the inner portion 57b is rotated, the X-Y stage in contact with the outer portion 57a does not slip with respect to the bearing 57.

이상, 본 고안에 따른 플레이트 이송장치를 상기와 같이 2개의 실시예에 의해 설명하였지만, 모터의 회전비를 감속시킬 수 있는 하모닉 드라이브를 사용하여 상기와 같은 구성을 만들 수 있다.As described above, the plate transfer apparatus according to the present invention has been described by the two embodiments as described above, but the above configuration can be made by using a harmonic drive capable of reducing the rotation ratio of the motor.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 플레이트 이송장치에서는, 모터에 의해 구동되는 웜기어에 편심되게 설치된 베어링에 의해 상기 X-Y 스테이지를 상하 운동시킬 수 있다. 한편, X-Y 스테이지는 베어링에 의해 지지되므로, 베어링과의 미끄러짐이 발생하지 않는다. 한편, X-Y 스테이지를 상하 이동시키는 것은 베어링이므로, 큰 하중의 X-Y 스테이지를 지지할 수 있다.As described above, in the plate conveying apparatus according to the present invention, the X-Y stage can be moved up and down by a bearing installed eccentrically to a worm gear driven by a motor. On the other hand, since the X-Y stage is supported by the bearing, no slip with the bearing occurs. On the other hand, since it is a bearing which moves an X-Y stage up and down, it can support a large load X-Y stage.

본 고안은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 고안의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (3)

저부인 베이스(30)와, 평판유리(5)가 올려지는 X-Y 스테이지(10)와, 상기 베이스(30)와 상기 X-Y 스테이지(10) 사이에 설치되어 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 포함하는 노광장비용 플레이트 이송장치에 있어서, 상기 변위조정장치는, 상기 X-Y 스테이지(10)를 지지하는 동시에 상기 베이스(30)에 일측이 힌지결합된 레버(22)와, 상기 베이스(30)에 설치되는 모터(24)와, 상기 모터(24)의 출력축에 결합된 웜(25)과, 상기 웜(25)과 기어 결합되도록 상기 베이스(30)에 회전 가능하게 설치되는 웜기어(28)와, 상기 레버(22)를 지지하면서 상기 웜기어(28)에 편심되게 설치되는 베어링(27);을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장비용 플레이트 이송장치.At least 3 which is provided between the base 30 which is a bottom part, the XY stage 10 in which the flat glass 5 is mounted, and the base 30 and the XY stage 10, and drives the XY stage up and down finely. In the plate conveying apparatus for exposure equipment comprising two displacement adjusting device, the displacement adjusting device comprises: a lever 22 supporting the XY stage 10 and one side hinged to the base 30; A worm gear rotatably installed on the base 30 to be geared with the motor 24 installed on the base 30, the worm 25 coupled to the output shaft of the motor 24, and the worm 25. And a bearing (27) mounted eccentrically to the worm gear (28) while supporting the lever (28). 저부인 베이스(60)와, 평판유리(5)가 올려지는 X-Y 스테이지(40)와, 상기 베이스(30)와 상기 X-Y 스테이지 사이(40)에 설치되어 그 X-Y 스테이지를 상하로 미세구동시키는 적어도 3개의 변위조정장치를 포함하는 노광장비용 플레이트 이송장치에 있어서,At least 3, which is provided between the base 60, the bottom part, the XY stage 40 on which the flat glass 5 is placed, and the base 30 and the XY stage 40, and finely drives the XY stage up and down. In the plate conveying apparatus for exposure equipment comprising two displacement adjusting devices, 상기 변위조정장치는, 상기 베이스에 설치되는 모터(54)와, 상기 모터(54)의 출력축에 결합되는 웜(55)과, 상기 웜(55)과 기어 결합되도록 상기 베이스(60)에 회전 가능하게 설치되는 웜기어(58)와, 상기 X-Y 스테이지(40)의 하면을 지지하면서 상기 웜(55)에 편심되게 설치되는 베어링(57);을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장비용 플레이트 이송장치.The displacement adjusting device is rotatable to the base 60 to be geared with the motor 54, the worm 55 coupled to the output shaft of the motor 54, and the worm 55 is installed in the base And a bearing (57) which is eccentrically installed on the worm (55) while supporting the lower surface of the worm gear (58) and the XY stage (40). 제1항에 있어서, 상기 X-Y 스테이지(10)와 상기 레버(22) 사이에는 볼(29a)이 끼워진 볼 조인트(29)가 위치되는 것을 특징으로 하는 노광장비용 플레이트 이송장치.2. A plate conveying apparatus according to claim 1, wherein a ball joint (29) in which a ball (29a) is fitted is located between the X-Y stage (10) and the lever (22).