KR0134669Y1 - Tweezer of handling for analysis inferiority of a semiconductor device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 소자의 불량 분석을 위하여 작은 크기의 시편, 예컨대 칩을 대상으로 하는 케미컬 디프로세싱(chemical deprocessing) 작업시 시편을 핸들링하기 위한 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저에 관한 것이다. 이러한 본 고안은 소정 길이를 갖는 양 다리의 상단부가 서로 연결되어 이루어지는 집게 형상의 몸체로 구성되고, 상기 트위저 몸체의 시편 홀딩부를 이루는 양 다리의 내측면에는 홀딩되는 시편의 측면을 끼워 고정할 수 있는 수개의 시편 홀딩홈이 형성되어 구성되며, 상기 트위저 몸체의 상부 헤드부에는 외력의 작용없이도 시편의 초기 홀딩력을 그대로 유지시키기 위한 수단이 설치되어 구성된다. 상기 홀딩력 유지 수단은 트위저 몸체의 양 다리를 연결하도록 설치되는 것으로써 양 다리의 헤드부를 관통하는 횡간 및 이 횡간의 양측에 체결되는 너트로 이루어지는 간격유지부재와, 상기 간격유지부재의 횡간 중앙에 일단이 연결되며 그 타단은 양 다리의 결합부에 형성된 고정체에 고정되도록 설치된 종축과, 상기 종축에 개재되어 간격유지부재를 하방으로 탄력 지지하는 스프링으로 구성된다. 이와 같은 본 고안의 트위저에 의하면, 홀딩되는 시편의 측면이 시편 홀딩부의 홀딩홈에 삽입되어 지지되므로 종래와 같은 시편의 떨어짐을 방지할 수 있고, 또 여러개의 시편을 동시에 처리할 수 있다. 또 초기의 시편 고정 상태가 공정이 끝날 때까지 그대로 유지되므로 시편을 홀딩하기 위하여 작업자가 별도의 외력을 가하지 않아도 된다. 따라서 작업 기간 동안 작업자가 트위저를 쥐고 있어야 하는 불편함을 해소할 수 있어 작업 처리에 소요되는 시간을 절약할 수 있고, 사용이 편리한 효과 등이 있다.The present invention relates to a tweezer for handling specimens for defect analysis of semiconductor devices for handling specimens during chemical deprocessing operations of small sized specimens, such as chips, for defect analysis of semiconductor devices. The present invention is composed of a tong-shaped body consisting of the upper end of both legs having a predetermined length connected to each other, the inner surface of both legs forming the specimen holding portion of the tweezers body can be fixed by inserting the side of the specimen to be held Several specimen holding grooves are formed, and the upper head portion of the tweezers body is provided with means for maintaining the initial holding force of the specimen without the action of external forces. The holding force holding means is installed to connect both legs of the tweezers body, the gap holding member consisting of a transverse penetrating the head portion of both legs and a nut fastened to both sides between the transverse, and once in the center between the transverse holding member It is connected and the other end is composed of a longitudinal axis installed to be fixed to the fixed body formed in the engaging portion of both legs, and a spring that is elastically supporting the spacing holding member downwardly interposed on the longitudinal axis. According to the tweezer of the present invention, the side of the specimen to be held is inserted into and supported by the holding groove of the specimen holding portion, it is possible to prevent the fall of the specimen as in the prior art, it is possible to process several specimens at the same time. In addition, since the initial state of specimen holding is maintained until the end of the process, an operator does not need to apply an external force to hold the specimen. Therefore, it is possible to eliminate the inconvenience that the operator should hold the tweezer during the work period, save time required for work processing, there is an effect such as easy to use.
Description
제1도는 종래 일반적으로 사용되고 있는 시편 핸들링용 트위저의 구조도.1 is a structural diagram of a tweezer for specimen handling generally used in the prior art.
제2도 내지 제5도는 본 고안에 의한 시편 핸들링용 트위저를 설명하기 위한 도면으로써,2 to 5 are views for explaining the tweezers for specimen handling according to the present invention,
제2도는 본 고안의 전체 구조를 보인 평면도이고,2 is a plan view showing the overall structure of the present invention,
제3도는 제2도의 정면도이며,3 is a front view of FIG.
제4도는 제2도의 A부 상세도이고,4 is a detailed view of part A of FIG.
제5도는 제2도의 B부 상세도이다.5 is a detailed view of portion B of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11,12 : 트위저 몸체를 이루는 다리 13 : 시편 홀딩홈11,12: legs forming the tweezer body 13: specimen holding groove
14 : 횡간 15,15' : 너트14: width 15,15 ': nut
16 : 고정체 17 : 종축16: fixed body 17: longitudinal axis
18 : 스프링18: spring
본 고안은 반도체 소자의 불량 분석을 위하여 작은 크기의 시편, 예컨대 칩(또는 다이라고도 함)을 대상으로 행하는 케미컬 디프로세싱(chemical deprocessing) 작업시 시편을 핸들링하기 위한 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저에 관한 것이다.The present invention handles specimens for defect analysis of semiconductor devices for handling specimens during chemical deprocessing operations on small size specimens, such as chips (or dies), for defect analysis of semiconductor devices. It is about dragon tweezers.
반도체 소자의 불량 분석을 위한 방법으로, 깨진 웨이퍼 조각을 대상으로 케미컬 디프로세싱을 하는 방법이 있다. 이러한 케미컬 디프로세싱 작업은 케미컬 디핑, 세척, 건조의 순서로 진행되는 데, 이 때 시편, 즉 칩들을 트위저(tweeger)라는 치구를 사용하여 핸들링하고 있다.As a method for defect analysis of semiconductor devices, there is a method of chemical deprocessing of broken wafer pieces. These chemical deprocessing operations are performed in the order of chemical dipping, washing and drying, wherein the specimens, or chips, are handled using a jig called a tweezer.
이와 같은 소자의 디프로세싱 작업에 사용되는 트위저의 전형적인 한예가 제1도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 살펴보면 다음과 같다.A typical example of a tweezer used for the deprocessing of such a device is shown in FIG. 1, which is briefly described as follows.
도시된 바와 같이, 일반적인 트위저는 양측 다리(1)(2)의 상단부가 서로 연결된 집게 형상을 하고 있으며, 상기 양 다리(1)(2)의 내측에는 시편(도시되지 않음)의 홀딩을 용이하게 하기 위한 빗금 등이 형성되어, 시편을 잡고 화학 용액 처리 등을 할 수 있도록 구성되어 있다. 이와 같은 트위저는 통상적으로 양 다리(1)(2)가 벌려져 있으므로 시편을 잡을 때는 작업자가 양 다리를 누르면서 쥐도록 되어 있다.As shown, the general tweezers have a tong shape in which the upper ends of both legs 1 and 2 are connected to each other, and the holding of a specimen (not shown) inside the two legs 1 and 2 can be easily performed. A hatch or the like is formed to hold the specimen, and is configured to allow chemical solution treatment and the like. Such tweezers are generally open to both legs (1) (2), so that the operator is to hold while holding both legs when holding the specimen.
이와 같이 작업자가 트위저의 양 다리를 잡고 눌러 시편을 홀딩하여 각각의 공정으로 이동시키면서 디프로세스 작업을 수행하는 것이다.In this way, the operator grasps both legs of the tweezer and presses to hold the specimen to move to each process to perform the de-process operation.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 일반적인 트위저에 있어서는, 시편의 회로면을 잡을 경우 패턴이 손상을 입게 될 우려가 있어, 통상 미세한 반도체 소자의 경우에는 시료 표면에 전혀 손상이 없도록 하기 위하여 시편의 측면을 잡고 작업을 하고 있는데, 종래의 트위저 구조상 시편을 잡을 수 있는 면적(접촉면)이 적기 때무에 세척 및 건조 작업시 시편을 떨어뜨리는 경우가 흔히 발생되고, 또 작업 기간 동안 작업자가 트위저의 양 다리를 줄곧 쥐고 있어야 하는 등 사용상의 불편함이 따르는 문제가 있었다.However, in the conventional general tweezers as described above, the pattern may be damaged when the circuit surface of the specimen is held, and in the case of a fine semiconductor device, the side surface of the specimen is usually removed so as not to damage the sample surface at all. In the conventional tweezer structure, because of the small area (contact surface) to hold the specimen, the specimen is often dropped during washing and drying operations, and the operator keeps both legs of the tweezer There was a problem that comes with inconvenience in use, such as to hold.
본 고안은 상기와 같은 문제를 해소하기 위하여 안출한 것으로, 시편과의 접촉 면적을 크게 하여 작업 시간 동안 시편을 떨어뜨리지 않고 용이하게 잡을 수 있는 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, to provide a specimen handling tweezers for defect analysis of semiconductor devices that can be easily caught without dropping the specimen during working time by increasing the contact area with the specimen The purpose is.
본 고안의 다른 목적은, 작업자가 시편을 잡기 위하여 힘을 가하지 않아도 스프링의 복원력에 의해 초기의 시편 홀딩력을 그대로 유지함으로써 사용이 편리한 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a specimen handling tweezer for defect analysis of a semiconductor device that is easy to use by maintaining the initial specimen holding force by the restoring force of the spring even if the operator does not apply a force to hold the specimen.
상기와 같은 본 고안의 목적은, 소정 길이를 갖는 양 다리의 상단부가 서로 연결되어 이루어지는 집게 형상의 몸체로 구성되고, 상기 트위저 몸체의 시편 홀딩부를 이루는 양 다리의 내측면에는 홀딩되는 시편의 측면을 끼워 고정할 수 있는 수개의 시편 홀딩홈이 형성되어 구성되며, 상기 트위저 몸체의 상부 헤드부에는 외력의 작용없이도 시편의 초기 홀딩력을 그대로 유지시키기 위한 수단이 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저를 제공함으로써 달성된다.An object of the present invention as described above, the upper end of both legs having a predetermined length is composed of a tongs-shaped body is connected to each other, the inner surface of both legs forming the specimen holding portion of the tweezers body to hold the side of the specimen to be held A plurality of specimen holding grooves that can be fitted and fixed are formed, and the upper head portion of the tweezers body is provided with means for maintaining the initial holding force of the specimen as it is without external force. This is accomplished by providing a tweezer for specimen handling for analysis.
바람직하게는 상기 트위저 몸체를 이루는 양 다리는 효과적인 탄성 복원력 및 평형 유지를 위하여 곡면 처리되어 형성되고, 상기 양 다리 하부의 시편 홀딩부는 직선 처리되어 구성된다.Preferably both legs constituting the tweezer body is formed by curved surface treatment for effective elastic restoring force and equilibrium, the specimen holding portion of the lower legs are formed in a straight line treatment.
상기 시편 홀딩부에 형성되는 시편 홀딩홈의 폭은 웨이퍼의 두께보다 조금 큰 폭으로 형성되고, 깊이는 1㎜ 내외로 형성된다.The width of the specimen holding groove formed in the specimen holding portion is formed to be slightly larger than the thickness of the wafer, and the depth is formed to be about 1 mm.
그리고, 본 고안의 홀딩력 유지수단은 트위저 몸체의 양 다리를 연결하도록 설치되는 것으로써 양 다리의 헤드부를 관통하는 횡간 및 이 횡간의 양측에 체결되는 너트로 이루어지는 간격유지부재와, 상기 간격유지부재의 횡간 중앙에 일단이 연결되며 그 타단은 양 다리의 결합부에 형성된 고정체에 고정되도록 설치된 종축과, 상기 종축에 개재되어 간격유지부재를 하방으로 탄력 지지하는 스프링으로 구성된다.In addition, the holding force holding means of the present invention is installed so as to connect both legs of the tweezers body, the interval maintaining member consisting of a transverse between the head portion of both legs and the nut fastened to both sides of the transverse, and the gap holding member One end is connected to the center between the transverse, and the other end is composed of a longitudinal axis installed to be fixed to the fixed body formed in the engaging portion of both legs, and a spring that is supported by the longitudinal axis resiliently supporting the space keeping member downward.
이와 같은 본 고안의 트위저에 의하면, 홀딩되는 시편의 측면이 시편 홀딩부의 홀딩홈에 삽입되어 지지되므로 종래와 같은 시편의 떨어짐을 방지할 수 있고, 또 여러개의 시편을 동시에 처리할 수 있다. 따라서 시편의 떨어짐으로 인한 손상을 방지할 수 있으므로 재료비 절감을 기할 수 있다. 또 본 고안의 초기의 시편 고정 상태가 공정이 끝날 때까지 그대로 유지되므로 시편을 홀딩하기 위하여 작업자가 별도의 외력을 가하지 않아도 된다. 따라서 작업 기간 동안 작업자가 트위저를 쥐고 있어야 하는 불편함을 해소할 수 있어 작업 처리에 소요되는 시간을 절약할 수 있고, 사용이 편리한 효과 등이 있다.According to the tweezer of the present invention, the side of the specimen to be held is inserted into and supported by the holding groove of the specimen holding portion, it is possible to prevent the fall of the specimen as in the prior art, it is possible to process several specimens at the same time. Therefore, it is possible to prevent damage due to the falling of the specimen, thereby reducing the material cost. In addition, since the initial state of specimen fixation of the present invention is maintained until the end of the process, the operator does not need to apply an external force to hold the specimen. Therefore, it is possible to eliminate the inconvenience that the operator should hold the tweezer during the work period, save time required for work processing, there is an effect such as easy to use.
이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저를 첨부도면에 도시한 실시예에 의거하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, a specimen handling tweezer for defect analysis of a semiconductor device according to the present invention as described above will be described in more detail based on the embodiment shown in the accompanying drawings.
첨부한 제2도는 본 고안에 의한 트위저의 전체 구조를 보인 평면도이고, 제3도는 제2도의 정면도이며, 제4도는 제2도의 A부 상세도이고, 제5도는 제2도의 B부 상세도이다.2 is a plan view showing the overall structure of the tweezer according to the present invention, FIG. 3 is a front view of FIG. 2, FIG. 4 is a detail view of part A of FIG. 2, and FIG. 5 is a detail view of part B of FIG. .
도면에서 참조 부호 11 및 12는 트위저 몸체를 이루는 양 다리를 보인 것으로, 도시된 바와 같이, 상기한 양 다리(11)(12)는 그의 상단부가 서로 연결되어 집게 형상을 하는 트위저 몸체를 구성하고 있다.In the drawings, reference numerals 11 and 12 show both legs constituting the tweezer body. As shown, both legs 11 and 12 have a tweezer body whose upper ends are connected to each other to form a tongs. .
상기 트위저 몸체의 하부에는 시편(도시되지 않음)을 잡기 위한 시편 홀딩부가 형성되어 있는 바, 이 시편 홀딩부를 이루는 양 다리(11)(12)의 내측면에는 홀딩되는 시편의 측면을 끼워 고정할 수 있는 수개의 시편 홀딩홈(13)이 일정 간격을 유지하여 형성되어 있다.The lower part of the tweezers body is provided with a specimen holding part for holding a specimen (not shown), and the side surfaces of the specimen being held can be fixed to the inner surfaces of both legs 11 and 12 constituting the specimen holding part. Several specimen holding grooves 13 are formed at regular intervals.
상기 트위저 몸체를 이루는 양 다리(11)(12)는 효과적인 탄성 복원력 및 평형 유지를 위하여 곡면 처리되어 있고, 시편 홀딩부는 평면 처리되어 시편을 잡는 부위에 힘이 집중되게 함과 동시에 동일 크기의 시편인 경우에는 여러개의 시편을 동시에 처리할 수 있도록 되어 있다. 따라서 작업시 시편이 떨어지는 문제를 해소할 수 있는 것이다.Both legs 11 and 12 constituting the tweezer body are curved for effective elastic restoring force and equilibrium maintenance, and the specimen holding portion is planarized so that the force is concentrated on the area where the specimen is held. In this case, several specimens can be processed simultaneously. Therefore, it is possible to solve the problem of falling specimen during operation.
상기 시편 홀딩홈(13)은 시편의 두께(750㎛)보다 약간 큰 폭, 예컨대 900㎛ 정도의 크기를 갖도록 형성됨과 동시에 대략 1㎜ 정도의 깊이로 형성되어 시편을 쉽게 끼워 고정할 수 있도록 되어 있으며, 또한 상기한 시편 홀딩홈(13)의 상부는 시편의 패턴 손상을 적게 하기 위하여 완만한 곡선으로 처리되어 있다.The specimen holding groove 13 is formed to have a width slightly larger than the thickness of the specimen (750 μm), for example, about 900 μm, and is formed to a depth of about 1 mm to easily fit the specimen. In addition, the upper portion of the specimen holding groove 13 is treated with a gentle curve in order to reduce the pattern damage of the specimen.
또한 본 고안은 작업자가 작업 동안 시편을 잡지 않고도 시편이 고정 상태가 유지되도록 하기 위한 수단이 강구되어 사용이 보다 편리하도록 구성되어 있다. 즉 트위저 몸체의 헤드부에 외력의 작용 없이도 시편의 초기 홀딩력을 그대로 유지시키는 수단이 설치되어 작업 동안 작업자가 줄곧 시편을 쥐고 있어야 하는 불편을 해소할 수 있도록 구성되어 있는 바, 이를 살펴보면 다음과 같다.In addition, the present invention is designed to be more convenient to use because the means for keeping the specimen fixed while the operator does not hold the specimen during operation is configured. In other words, the means of maintaining the initial holding force of the specimen without the action of the external force on the head portion of the tweezers body is installed so as to solve the inconvenience that the operator should hold the specimen all the time during the operation.
제4도에 도시된 바와 같이, 상기한 바와 같은 본 고안의 홀딩력 유지 수단은 트위저 몸체의 양 다리(11)(12)를 연결하도록 설치되는 것으로써 양 다리(11)(12) 헤드부를 관통하는 횡간(14) 및 이 횡간(14)의 양측에 체결되는 너트(15)(15')로 이루어지는 간격유지부재와, 상기 간격유지부재의 횡간(14) 중앙에 일단이 연결되며 그 타단은 양 다리(11)(12)의 결합부에 형성된 고정체(16)에 고정되도록 설치된 종축(17)과, 상기 종축(17)에 개재되어 간격유지부재를 하방으로 탄력 지지하는 스프링(18)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, the holding force holding means of the present invention as described above is installed to connect both legs 11 and 12 of the tweezers body to penetrate the head portions of both legs 11 and 12. Spacing member comprising a transverse 14 and nuts (15, 15 ') fastened to both sides of the transverse 14, and one end is connected to the center of the transverse 14 of the spacing holding member, the other end is both legs (11) consists of a longitudinal axis (17) installed to be fixed to the fixed body (16) formed in the engaging portion of the 12, and the spring (18) interposed on the longitudinal axis (17) to support the gap retaining member downwardly have.
이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 트위저의 작용 및 그에 따르는 효과를 살펴본다.Hereinafter, the operation of the tweezer according to the present invention as described above and looks at the effects thereof.
일반적인 사용 상태는 종래의 단순한 집게와 같다. 즉 시편을 잡아 반도체 소자의 불량 분석을 위한 공정 단위로 이동시키는 작용은 종래와 같다. 이 때 종래에는 시편의 홀딩이 약하여 공정 중 시편의 트위저로부터 떨어지는 문제가 발생하였으나, 본 고안에서는 시편이 시편 홀딩홈에 삽입된채 지지되므로 작업시 시편의 떨어짐을 방지할 수 있는 것이다. 또한 본 고안은 초기 시편을 잡은 힘이 그대로 유지되어 작업이 끝날 때까지 지지하고 있으므로 작업자가 시편을 작업 기간 동안 잡고 있을 필요가 없다. 부연하면, 초기 본 고안의 트위저는 그 하부의 시편 홀딩부가 맞닿아 있는 상태로 되어 있다. 이와 같은 트위저로 시편을 잡기 위해서는 양 다리를 소정의 넓이로 벌려 시편을 끼운 후 놓게 되면 상부에 구성되어 있는 홀딩력 유지수단의 스프링의 복원력으로 양 다리가 내측으로 수축하면서 시편을 고정하게 되고 이와 같은 시편 고정 상태는 작업이 종료될 때까지 그대로 유지된다. 따라서 작업자가 시편을 홀딩하기 위하여 트위저를 쥘 필요가 없는 것이다.The general state of use is like a conventional simple forceps. That is, the action of catching a specimen and moving it to a process unit for failure analysis of a semiconductor device is the same as in the related art. At this time, in the prior art, the holding of the specimen was weak, so that a problem of falling from the tweezer of the specimen occurred in the process, but in the present design, the specimen is supported while being inserted into the specimen holding groove, thereby preventing the specimen from falling. In addition, the present invention does not require the operator to hold the specimen during the operation because the force to hold the initial specimen is maintained as it is supported until the end of the operation. In other words, the tweezers of the present invention are in a state in which the specimen holding part of the lower part abuts. In order to hold the specimen with such a tweezer, the two legs are spread to a predetermined width, and then the specimen is placed and then placed thereon so that both legs contract inward with the restoring force of the spring of the holding force holding means configured at the top, thereby fixing the specimen. The fixed state remains until the end of work. Thus, the operator does not need to remove the tweezers to hold the specimen.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안의 트위저에 의하면, 홀딩되는 시편의 측면이 시편 홀딩부의 홀딩홈에 삽입되어 지지되므로 종래와 같은 시편의 떨어짐을 방지할 수 있고, 또 여러개의 시편을 동시에 처리할 수 있다. 따라서 시편의 떨어짐으로 인한 손상을 방지할 수 있으므로 재료비 절감을 기할 수 있다. 또 본 고안은 초기의 시편 고정 상태가 고정이 끝날 때까지 그대로 유지되므로 시편을 홀딩하기 위하여 작업자가 별도의 외력을 가하지 않아도 된다. 따라서 작업 기간 동안 작업자가 트위저를 쥐고 있어야 하는 불편함을 해소할 수 있어 작업 처리에 소요되는 시간을 절약할 수 있고, 사용이 편리한 효과 등이 있다.As described in detail above, according to the tweezer of the present invention, since the side of the specimen to be held is inserted into and supported by the holding groove of the specimen holding portion, it is possible to prevent the specimen from falling as in the prior art, and to process several specimens simultaneously. Can be. Therefore, it is possible to prevent damage due to the falling of the specimen, thereby reducing the material cost. In addition, the present invention does not need to apply an external force by the operator to hold the specimen because the initial specimen fixed state is maintained until the end is fixed. Therefore, it is possible to eliminate the inconvenience that the operator should hold the tweezer during the work period, save time required for work processing, there is an effect such as easy to use.
이상에서 설명한 것은 본 고안에 의한 반도체 소자의 불량 분석을 위한 시편 핸들링용 트위저를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the tweezers for handling specimens for defect analysis of semiconductor devices according to the present invention, the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims below. Anyone of ordinary skill in the art will be able to implement various changes.
Claims (4)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100840123B1 (en) * | 2003-10-01 | 2008-06-19 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Pincette for handling specimen of semiconductor wafer |
-
1995
- 1995-12-22 KR KR2019950045677U patent/KR0134669Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100840123B1 (en) * | 2003-10-01 | 2008-06-19 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Pincette for handling specimen of semiconductor wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970046802U (en) | 1997-07-31 |
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