KR0121566Y1 - 습식식각장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 습식식각장치에 있어서, 반응조의 상단에 연결되어 약액을 주입시키는 주입관과, 반응조의 상단에 연결되어 세정액을 주입시키는 세정액주입관과, 반응조의 하면에 연결되어 약액을 배기시키기 위한 배기관과, 반응조 하단에 연결되어 배기펌프를 이용하여 약액을 배기시키기 위한 배기펌프관을 포함하여 이루어지되, 로보트암의 작동불량 발생시 알람신호를 받아 펌프가 작동하여 배기펌프관과 배기관을 통하여 동시에 약액이 배기되고, 세정액주입관에서 세정액을 공급하여 웨이퍼를 세정하는 것을 특징으로 하는 습식식각장치에 관한 것이다.

Description

습식식각장치
제1도는 종래의 습식식각장치를 설명하기 위하여 도시된 도면.
제2도는 본 고안의 습식식각장치를 설명하기 위하여 도시된 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10. 2 : 반응조 11, 21 : 배기관
12, 22 : 주입관 23 : 배기펌프관
24 : 세정액주입관
본 고안은 습식식각장치에 관한 것으로서, 특히 습식식각 약액이 담긴 반응조의 자동화장치에서 웨이퍼(wafer)를 보트(boat)에 옮겨 반응조에 넣는 로보트암(Robot Arm)의 작동불량 발생시 식각공정이 진행중인 웨이퍼가 반응조 내의 약액에 의해 과도하게 식각되는 것을 방지하기 위한 습식식각장치에 관한 것이다.
습식식각장치에 있어서, 습식식각 약액(chemical)이 담긴 반응조(bath)에서 웨이퍼에 약 1분 정도 동안 습식식각 공정을 진행시키며, 공정이 완료되면 약액은 배기관을 통해 배기된다 .
제1도는 종래의 습식식각장치를 설명하기 위하여 도시된 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참고하여 종래의 습식식각장치를 설명하면 다음과 같다.
종래의 습식식각장치는 제1도와 같이, 반응조(10) 상단에 형성되어, 약액을 주입하기 위한 주입관(12)와, 반응조(10)의 저면에 형성되어, 약액을 배기시키기 위한 배기관(11)으로 이루어진다.
그러나 웨이퍼를 보트에 옮겨 반응조에 넣은 동작을 하는 로보트암이 습식식각 공정중 작동불량이 발생한 경우에 작업자가 이를 인식하여 웨이퍼를 옮기거나 반응조 내의 약액을 배기시켜도 약 2분 40초 정도의 시간이 경과된다.
그러므러 웨이퍼는 공정시간(약 1분)을 초과하도록 습식식각 약액에 담겨져 과도한 습식식각이 발생하게 된다.
본 고안의 습식식각장치는 이러한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 식각공정 중에 로버트암의 작동불량으로 공정시간이 초과되어 웨이퍼상에 과도한 식각이 일어나는 것을 방지하고자 함에 목적이 있다.
본 고안은 습식식각장치에 있어서, 반응조의 상단에 연결되어 약액을 주입시키는 주입관과, 반응조의 상단에 연결되어 세정액을 주입시키는 세정액주입관과, 반응조 하면에 연결되어 약액을 배시시키기 위한 배기관과, 반응조 하단에 연결되어 배기펌프를 이용하여 약액을 배기시키기 위한 배기펌프관을 포함하여 이루어지되, 로보트암의 작동불량 발생시 알람신호를 받아 펌프가 작동하여 배기펌프관과 배기관을 통하여 동시에 약액이 배기되고, 세정액주입관에서 세정액을 공급하여 웨이퍼를 세정하는 것을 특징으로 하는 습식식각장치에 관한 것이다.
제2도는 본 고안의 습식식각장치의 일실시예를 설명하기 위하여 도시된 도면이다.
본 고안의 습식식각장치는 제2도와 같이, 반응조(20) 상단에 약액을 주입시키기 위한 주입관(22)과, 반응조(20)하면에 형성되어, 약액을 배기시키기 위한 배기관(21)과, 반응조 측면에 형성된 배기펌프에 연결되어, 약액을 배기시키기 위한 배기펌프관(23)과, 반응조의 다른 일측에 형성되어, 웨이퍼를 세정하기 위한 세정액을 주입하기 위한 세정액주입관(24)으로 이루어진다.
본 고안의 습식식각장치의 동작은 제2도를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.
본 고안의 습식식각장치는 반응조(20) 상단에 형성된 주입관(22)을 통하여 약액을 반응조(20)에 공급하여 식각공정 진행시키는 과정 중에, 로보트암의 작동불량 발생시 알람신호를 받아 펌프가 작동하여 반응조 측면에 형성된 배기펌프관(23)으로, 그리고 반응조(20)의 양측 하면에 각각 형성된 배기관(21)을 통하여 동시에 약액이 배기되며, 이때 약액이 총배기되는 데는 약 20초정도 경과된다.
그리고 반응조(20)상단에 형성된 세정액주입관(24)에서 세정액으로 순수를 공급하여 웨이퍼를 세정한다.
본 고안의 습식식각장치는 로보트암의 작동불량시 반응조의 하면에 형성된 각각의 배기관과 또한 반응조의 측면에 형성된 배기펌프관을 통하여 동시에 약액을 배기시키고, 세정액으로는 순수를 주입하여 웨이퍼를 세정함으로써 공정시간이 초과되어 웨이퍼상에 과도한 식각이 일어나는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 습식식각장치에 있어서, 반응조의 상단에 연결되어, 약액을 주입시키는 주입관과, 반응조의 상단에 연결되어, 세정액을 주입시키는 세정액주입관과, 상기 반응조 하면에 연결되어, 상기 약액을 배기시키기 위한 배기관과, 상기 반응조 하단에 연결되어 배기펌프를 이용하여 약액을 배기시키기 위한 배기펌프관을 포함하여 이루어지되, 로보트암의 작동불량 발생시 알람신호를 받아 펌프가 작동하여 상기 배기펌프관과 상기 배기관을 통하여 동시에 약액이 배기되고, 상기 세정액주입관에서 세정액을 공급하여 웨이퍼를 세정하는 것을 특징으로 하는 습식식각장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정액주입관으로는 세정액으로는 순수가 주입되어, 상기 순수에 의해 웨이퍼가 세정되도록 하는 것을 특징으로 하는 습식식각장치.
KR2019950033317U 1995-11-14 1995-11-14 습식식각장치 KR0121566Y1 (ko)

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