【０００３】
［０００７］
一方、特許文献３のガス漏洩検知装置は、半導体製造設備の流路に接続された各バルブに固定して取付け、各バルブから発生する漏れを据え置きの状態で検知するものである。そのため、この検査装置を用いて異なる供試弁の耐圧検査を連続的に実施することは難しい。この装置は、捕集部内に装入されたバルブ全体からのガス漏れを検知するものであり、バルブの一部分からの漏れを検査することはできない。
［０００８］
本発明は、従来の課題を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、漏れを検査する空間を小さく設定してサーチガスの検知を容易にしつつ、この空間への外気の浸入を防ぐことにより供試弁の一部又は全部からの漏れを短時間で一度に正確に検査でき、異なる供試弁を連続して耐圧検査することが可能なバルブの耐圧検査装置を提供することにある。
課題を解決するための手段
［０００９］
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、検査スペース内の上部に供試弁の耐圧検査を実施するチャンバが設けられ、このチャンバは、供試弁の検査部位を包囲するカバー本体とこのカバー本体を検査スペース内で少なくとも上下方向に移動する吊下げ部とを備え、カバー本体は、ガスセンサが装着された被検査空間と、下部に形成されて検査部位を包囲する開口部並びにこの開口部に形成されて内側に向けてエアを吹き出し可能な開口縁とを有し、一方、検査スペースの下部には、この検査スペース内に供試弁を固定するクランプ治具が設けられており、供試弁の耐圧検査時には、供試弁がクランプ治具で検査スペース内の所定位置に固定された状態で、吊下げ部の下降を介して検査部位の一部が開口部により上方から覆われて非密封状態に包囲されると共に、開口縁からのエアによりカバー本体の外部環境領域とカバー本体の被検査空間とが連通する連通領域を区画形成するエアカーテンが構成され、このエアカーテンで開口部を塞ぐことにより外部と被検査空間とを遮断して外部環境領域の雰囲気ガスの影響を受けないようにしつつサーチガスを封入した供試弁の検査部位からのサーチガスの漏れの有無を検知可能な状態に設けられており、クランプ治具に供試弁を着脱することでこの供試弁の連続的な耐圧検査を実施可能としたバルブの耐圧検査装置である。
［００１０］
請求項２に係る発明は、カバー本体における被検査空間内をエアパージするためのエアパージ流路が設けられたバルブの耐圧検査装置である。
［００１１］
［００１２］
［００１３］0003
[0007]
On the other hand, the gas leakage detection device of Patent Document 3 is fixedly attached to each valve connected to the flow path of the semiconductor manufacturing equipment, and detects the leakage generated from each valve in a stationary state. Therefore, it is difficult to continuously perform pressure resistance inspections of different test valves using this inspection device. This device detects a gas leak from the entire valve charged in the collection unit, and cannot inspect a leak from a part of the valve.
[0008]
The present invention has been developed to solve the conventional problems, and the purpose of the present invention is to set a small space for inspecting leaks to facilitate the detection of search gas, and to allow the outside air to enter this space. Provided is a valve pressure resistance inspection device capable of accurately inspecting a part or all of a test valve at once by preventing intrusion and continuously inspecting different test valves for pressure resistance. There is something in it.
Means for solving problems [0009]
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is provided with a chamber for performing a pressure resistance inspection of the test valve in the upper part of the inspection space, and this chamber is a cover main body surrounding the inspection site of the test valve. The cover body is provided with a hanging portion that moves the cover body at least in the vertical direction in the inspection space, and the cover body includes a space to be inspected in which a gas sensor is mounted, an opening formed at the bottom and surrounding the inspection site, and the cover body. It has an opening edge formed in the opening and capable of blowing air inward, while a clamp jig for fixing the test valve in the inspection space is provided at the lower part of the inspection space. At the time of pressure resistance inspection of the test valve, a part of the inspection part is covered from above by the opening through the descent of the hanging part while the test valve is fixed at a predetermined position in the inspection space with a clamp jig. An air curtain is configured to form a communication area in which the external environment area of the cover body and the inspected space of the cover body communicate with each other by the air from the opening edge while being surrounded in an unsealed state. Whether or not there is a leak of search gas from the inspection site of the test valve filled with search gas while blocking the outside and the space to be inspected by closing the opening so that it is not affected by the atmospheric gas in the external environment area. It is a valve pressure resistance inspection device that is provided in a detectable state and enables continuous pressure resistance inspection of the test valve by attaching and detaching the test valve to the clamp jig.
[0010]
The invention according to claim 2 is a valve pressure resistance inspection device provided with an air purge flow path for air purging in the space to be inspected in the cover main body.
[0011]
[0012]
[0013]
【０００４】
発明の効果
［００１４］
請求項１に係る発明によると、カバー本体により検査スペース内に設置された供試弁の一部の検査部位を開口部より非密封状態に包囲することで被検査空間の容積を小さく設定し、カバー本体内において供試弁から漏れ出たサーチガスが検査時間内にガスセンサに到達する程度の気流の流れを許容できるようにしてサーチガスの検知を容易にしつつ、カバー本体の外部環境領域と被検査空間との連通空間をエアカーテンで区画形成することにより、被検査空間を囲むようにして供試弁の検査部位を外部から隔てて外部環境領域の雰囲気ガスの浸入を防いでその影響を抑制できる。これにより、エアカーテンで隔たれた小さい容積の被検査空間に供試弁からのサーチガスを拡散させた後に滞留させ、この供試弁からの漏れをガスセンサで一度に検知してごくわずかなサーチガスの漏れであっても短時間で高精度に耐圧検査を実施できる。しかも、被検査空間から外部環境領域へのサーチガスの漏洩を防ぎ、外部の設備等に悪影響を及ぼすおそれがない。検査スペース内の所定位置にクランプ治具で供試弁を固定し、この供試弁の検査部位に対して吊下げ部により検査スペース内を少なくとも上下方向に移動するカバー本体により供試弁の検査部位を包囲し、その後、エアカーテンで外部環境領域の雰囲気ガスを遮断して耐圧検査する構成であることから、耐圧検査後には、供試弁からカバー本体を上昇させ、アンクランプすることで供試弁を取り外しでき、続いて、同様にして供試弁をクランプ治具で固定し、カバー本体により漏れを検知させることで、自動化により連続して供試弁を耐圧検査することも可能になる。
さらに、供試弁の耐圧検査部位を部分的に耐圧検査することが可能になり、組立て途中の供試弁の一部を耐圧検査することが可能となる。しかも、所定広さの被検査空間で供試弁を包囲することで耐圧検査に要する時間を略一定にでき、被検査空間の容積を小さく設けるようにすれば検査時間の短縮化も可能になる。
［００１５］
供試弁の突出部位を耐圧検査する場合であっても、開口部をエアカーテンにより確実に遮断し、被検査空間内への外部環境領域の雰囲気ガスの浸入を確実に防いでサーチガスを高精度に検知できる。
［００１６］
供試弁のステム軸シール部などの突出部位を耐圧検査する場合であっても、開口部の開口縁から出るエアカーテンにより外部と被検査空間とを確実に遮断し、この被検査空間内への外部環境領域の雰囲気ガスの浸入を確実に防いでサーチガスを高精度に検知できる。
［００１７］
カバー本体の開口縁から内側に向けて吹き0004
Effect of the invention [0014]
According to the invention of claim 1, the volume of the space to be inspected is set small by surrounding the inspection site of a part of the test valve installed in the inspection space by the cover body in an unsealed state from the opening. While facilitating the detection of search gas by allowing the search gas leaking from the test valve inside the cover body to allow the flow of airflow to reach the gas sensor within the inspection time, the external environment area of the cover body and the cover By partitioning the communication space with the inspection space with an air curtain, the inspection site of the test valve can be separated from the outside so as to surround the space to be inspected, and the infiltration of atmospheric gas in the external environment region can be prevented and its influence can be suppressed. As a result, the search gas from the test valve is diffused and then retained in the small volume of the space under test separated by the air curtain, and the leak from the test valve is detected at once by the gas sensor, and a very small amount of search gas is detected. Even if there is a leak, the pressure resistance inspection can be performed with high accuracy in a short time. Moreover, it prevents the search gas from leaking from the space to be inspected to the external environment area, and there is no possibility of adversely affecting external equipment and the like. The test valve is fixed at a predetermined position in the inspection space with a clamp jig, and the test valve is inspected by the cover body that moves at least vertically in the inspection space by the hanging part with respect to the inspection part of the test valve. Since the structure surrounds the part and then shuts off the atmospheric gas in the external environment area with an air curtain to inspect the pressure resistance, after the pressure resistance inspection, the cover body is raised from the test valve and unclamped. The test valve can be removed, and then the test valve is fixed with a clamp jig in the same way, and by detecting leakage with the cover body, it is possible to continuously inspect the test valve for pressure resistance by automation. ..
Further, it becomes possible to partially inspect the pressure resistance of the test valve for pressure resistance, and it is possible to partially inspect the pressure resistance of the test valve in the middle of assembly. Moreover, the time required for pressure resistance inspection can be made substantially constant by surrounding the test valve in a predetermined space to be inspected, and the inspection time can be shortened by providing a small volume of the space to be inspected. ..
[0015]
Even when the pressure resistance of the protruding part of the test valve is inspected, the opening is surely shut off by the air curtain to surely prevent the infiltration of atmospheric gas in the external environment area into the space to be inspected, and the search gas is high. It can be detected accurately.
[0016]
Even when pressure resistance inspection is performed on the protruding part such as the stem shaft seal of the test valve, the air curtain coming out from the opening edge of the opening ensures that the outside and the space to be inspected are shut off and into this space to be inspected. The search gas can be detected with high accuracy by reliably preventing the infiltration of atmospheric gas in the external environment area.
[0017]
Blow inward from the opening edge of the cover body
【０００５】
出したエアが互いに衝突して開口部を塞ぐように包囲することにより、外部環境領域の雰囲気ガスをエアカーテンで遮断してカバー本体内への浸入を阻止し、供試弁全体からのカバー本体内への漏れを確実に検知できる。これにより、供試弁の種類やクラス、サイズが異なる場合であっても、この供試弁をカバー本体に収納した状態で外部の雰囲気ガスの影響を抑えつつ高精度な耐圧検査が実施可能となる。
［００１８］
請求項２に係る発明によると、被検査空間内をエアパージするエアパージ流路を設けることで、このエアパージ流路を通して被検査空間内のサーチガスを迅速に排出でき、耐圧検査後に次の供試弁を短時間で耐圧検査可能となる。さらには、被検査空間への外部からの雰囲気ガスの浸入をエアカーテンで防ぐようにすれば、より早くサーチガスを排出することもできる。
図面の簡単な説明
［００１９］
［図１］本発明のバルブの耐圧検査装置の実施形態を示す概略断面図である。
［図２］供試弁の耐圧検査状態を示す拡大断面図である。
［図３］カバー本体の斜視図である。
［図４］カバー本体の縦中央断面図である。
［図５］図４のＡ－Ａ断面図である。
［図６］カバー本体の底面図である。
［図７］本発明の耐圧検査装置の他の実施形態を示す正面図である。
発明を実施するための形態
［００２０］
以下に、本発明におけるバルブの耐圧検査装置を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１においては、本発明の耐圧検査装置（以下、装置本体１という）の実施形態、図２は耐圧検査装置の拡大断面図、図３はカバー本体を示している。
［００２１］
図１に示した装置本体１は、被検査物である供試弁２にサーチガスを供給してこの供試弁２を耐圧検査可能に設けられ、枠体１０、チャンバ１１、ガスセンサ１２、支持用治具１３、クランプ治具１４を有している。
［００２２］
枠体１０は、供試弁２を内側に装着可能な枠状に形成され、その内部には供試弁２の耐圧検査をおこなうための検査スペースＲが設けられる。枠体１０の一部には開放部２０が設けられ、この開放部２０より、図１における枠体１０の右側あるいは手前側から供試弁２の脱着が可能になっている。図に0005
By surrounding the opening so that the emitted air collides with each other and closes the opening, the atmospheric gas in the external environment area is blocked by the air curtain to prevent the intrusion into the cover body, and the cover body from the entire test valve. Leakage inside can be detected reliably. As a result, even if the type, class, and size of the test valve are different, high-precision pressure resistance inspection can be performed while suppressing the influence of external atmospheric gas while the test valve is housed in the cover body. Become.
[0018]
According to the second aspect of the present invention, by providing an air purge flow path for air purging in the space to be inspected, the search gas in the space to be inspected can be quickly discharged through this air purge flow path, and the next test valve can be used after the pressure resistance test. The pressure resistance can be inspected in a short time. Furthermore, if the air curtain prevents the atmospheric gas from entering the space to be inspected from the outside, the search gas can be discharged more quickly.
Brief description of drawings [0019]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a pressure resistance inspection device for a valve of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a pressure resistance inspection state of the test valve.
FIG. 3 is a perspective view of a cover body.
FIG. 4 is a vertical center sectional view of a cover body.
5 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
FIG. 6 is a bottom view of the cover body.
FIG. 7 is a front view showing another embodiment of the pressure resistance inspection device of the present invention.
A mode for carrying out the invention [0020]
Hereinafter, the valve pressure resistance inspection device according to the present invention will be described in detail based on the embodiment.
FIG. 1 shows an embodiment of the pressure resistance inspection device of the present invention (hereinafter referred to as device main body 1), FIG. 2 shows an enlarged cross-sectional view of the pressure resistance inspection device, and FIG. 3 shows a cover main body.
[0021]
The apparatus main body 1 shown in FIG. 1 is provided with a search gas supplied to a test valve 2 which is an object to be inspected so that the test valve 2 can be inspected for pressure resistance, and is provided with a frame body 10, a chamber 11, a gas sensor 12, and a support. It has a jig 13 and a clamp jig 14.
[0022]
The frame body 10 is formed in a frame shape to which the test valve 2 can be mounted inside, and an inspection space R for performing a pressure resistance inspection of the test valve 2 is provided inside the frame body 10. An opening portion 20 is provided in a part of the frame body 10, and the test valve 2 can be attached / detached from the right side or the front side of the frame body 10 in FIG. 1 from the opening portion 20. In the figure