JPWO2020159666A5 - - Google Patents

Description

図２及び図３に関して上記で述べた実施形態のいずれかにおいては、第１のポジショナ106は、単軸AODシステム又は多軸AODシステムとして提供され得る。（例えば上述したような）AODシステム内でのAODの構成に応じて、AODは、縦モードAOD又は剪断モードAODとして特徴付けることができ、直線偏光又は円偏光されたレーザエネルギービームを回折できるようになっていてもよい。このように、レーザエネルギービームの波長に応じて、またAODシステム中のAODのAOセルを形成する材料に応じて、AOD内のAOセルの回折軸がこれに入射するレーザエネルギービームの偏光面に平行又は垂直（あるいは少なくとも実質的に平行又は垂直）となるように内部のAODを方向付けることができる。例えば、レーザエネルギービームの波長は、電磁波スペクトルの紫外線域又は可視緑光域にあり、AODのAOセルは、石英のような材料から形成され、AOセルの回折軸が入射したレーザエネルギービームの偏光面に垂直（又は少なくとも実質的に垂直）になるようにAODを方向付けることができる。他の例においては、レーザエネルギービームの波長がいわゆる電磁波スペクトルの中波長赤外域又は長波長赤外域（すなわち、３μm（又はその前後）から15μm（又はその前後）の範囲にわたる波長）にあり、AODのAOセルが結晶ゲルマニウムのような材料から形成される場合には、AOセルの回折軸が入射したレーザエネルギービームの偏光面に平行（又は少なくとも実質的に平行）になるようにAODを方向付けることができる。

一般的に、第２のAOD404は、第２の回転軸が第１の回転軸と異なったものとなるように第１のAOD402に対して方向付けられる。例えば、第２の回転軸は、第１の回転軸に直交していてもよく、あるいは第１の回転軸に対して斜めになっていてもよい。しかしながら、他の実施形態においては、第２のAOD404は、第２の回転軸が第１の回転軸に平行（又は少なくとも実質的に平行）となるように第１のAOD402に対して方向付けられる。この場合において、第２のAOD404上に投影した場合に第１のAOD402の偏向平面が第２のAOD404の偏向平面の方向に対して（例えば、90度又はその前後）回転するように第１のAOD402の偏向平面を（例えば、90度又はその前後だけ）回転させるように１以上の光学的構成要素をビーム経路114’に配置することができる。例えば、上述したように偏向平面を回転させ得る方法の例に関して、国際公開第WO2019/060590A1を参照されたい。

一般的に、第１のAOD402内のAOセルは、第２のAOD404内のAOセルと同一か、あるいはこれと異なり得る材料から形成されている。さらに、第１のAOD402が入射レーザエネルギービームを偏光するために使用する音波の種類（すなわち、剪断モード又は縦モード）は、第２のAOD404が入射レーザエネルギービームを偏光するために使用する音波の種類と同じであってもよいし、あるいはこれと異なっていてもよい。

一体化ビームダンプシステム700及び1000に関する上記説明からすれば、フレーム702及び1002によって提供される上記面は、レーザエネルギーがそれぞれのビームトラップに向かって伝搬し得る内部領域を規定することは理解できるであろう。例えば、フレーム702によって提供される上記面は内部領域726を規定し、フレーム1002によって提供される上記面は内部領域1028を規定する。好ましくない塵や他の粒子又は物体がこれらの内部領域に進入することを防止し、あるいはこれを最小限にするために、一体化ビームダンプシステム700又は1000のいずれかは、必要に応じて、内部領域に及ぶ１以上のプレートを含んでいてもよい。例えば、一体化ビームダンプシステム700は、（例えば、その第１の側方で）フレーム702に連結される第１のプレート728、（例えば、その第１の側方とは反対側の第２の側方で）フレーム702に（例えば、ネジ、接着材、クランプなど、あるいはこれらを任意に組み合わせたものにより）連結される第２のプレート730（図７においては点線で示されている）、又はこれらを組み合わせたものを含んでいてもよい。同様に、一体化ビームダンプシステム1000は、（例えば、その第１の側方で）フレーム1002に連結される第１のプレート1030、（例えば、その第１の側方とは反対側の第２の側方で）フレーム1002に（例えば、ネジ、接着材、クランプなど、あるいはこれらを任意に組み合わせたものにより）連結される第２のプレート1032（図10においては点線で示されている）、又はこれらを組み合わせたものを含んでいてもよい。一体化ビームダンプシステム1000に関しては、上記ではフレーム1002が面1008を提供するものとして説明されているが、面1008は、（例えば、ネジ、接着材、クランプなど、あるいはこれらを任意に組み合わせたものにより）第１のプレート1030に連結されるブロック（例えばブロック1034）により提供されていてもよい。

Claims (18)

1. ビーム経路に沿って伝搬可能なレーザエネルギービームを生成可能なレーザ源と、
   前記ビーム経路内に配置され、前記ビーム経路を偏向可能な第１の偏向器と、
   前記第１の偏向器の出力と光学的に連結され、前記ビーム経路を偏向可能な第２の偏向器と、
   前記第１の偏向器に連結されるコントローラと
   を備え、
   前記コントローラは、前記ビーム経路を複数のスキャンフィールド内で偏向するように前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御するように構成され、前記複数のスキャンフィールドのうち少なくとも２つは互いに重なっておらず、互いに接していない、
   レーザ加工装置。
2. 前記レーザ源は、電磁波スペクトルの紫外（UV）域の波長を有するレーザエネルギービームを生成可能である、請求項１の装置。
3. 前記レーザ源は、電磁波スペクトルの長波長赤外（LWIR）域の波長を有するレーザエネルギービームを生成可能である、請求項１の装置。
4. スキャンレンズを含む第１のスキャンヘッドと、
   スキャンレンズを含む第２のスキャンヘッドと、
   前記複数のスキャンフィールドのうち第１のスキャンフィールド内で偏向された前記ビーム経路を前記第１のスキャンヘッドに導くように配置される少なくとも１つの光学的構成要素と、
   前記複数のスキャンフィールドのうち第２のスキャンフィールド内で偏向された前記ビーム経路を前記第２のスキャンヘッドに導くように配置される少なくとも１つの光学的構成要素と
   をさらに備える、請求項１の装置。
5. 前記第１のスキャンヘッド及び前記第２のスキャンヘッドの少なくとも一方は、前記ビーム経路を偏向可能なポジショナを含む、請求項４の装置。
6. 前記ポジショナは、ガルバノメータミラーシステムを含む、請求項５の装置。
7. 前記複数のスキャンフィールドのうち少なくとも１つは、矩形の形状を有する、請求項１の装置。
8. 前記複数のスキャンフィールドのうち少なくとも１つは、正方形の形状を有する、請求項１の装置。
9. 前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の少なくとも一方は、音響光学偏向器（AOD）を含む、請求項１の装置。
10. 前記コントローラは、前記複数のスキャンフィールドのそれぞれの内部の複数の位置に前記ビーム経路を偏向するように前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御するようにさらに構成される、請求項１の装置。
11. レーザエネルギービームが伝搬可能なビーム経路を偏向可能な第１の偏向器と、前記第１の偏向器の出力と光学的に連結され、前記ビーム経路を偏向可能な第２の偏向器とを備える装置とともに使用されるコントローラであって、
    プロセッサと、
    前記プロセッサによりアクセス可能なメモリであって、前記プロセッサにより実行された際に、前記コントローラに複数のスキャンフィールド内で前記ビーム経路を偏向するように前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御させる命令を格納したメモリと
    を備え、
    前記複数のスキャンフィールドのうち少なくとも２つは、互いに重なっておらず、互いに接していない第１のスキャンフィールド及び第２のスキャンフィールドである、
    コントローラ。
12. 前記第１のスキャンフィールド内の第１の複数の位置と前記第２のスキャンフィールド内の第２の複数の位置とに前記ビーム経路を偏向するように、第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御するようにさらに構成される、請求項11のコントローラ。
13. 前記第１のスキャンフィールド及び前記第２のスキャンフィールドの少なくとも一方は、矩形の形状を有する、請求項11のコントローラ。
14. 前記第１のスキャンフィールド及び前記第２のスキャンフィールドの少なくとも一方は、正方形の形状を有する、請求項11のコントローラ。
15. レーザエネルギービームが伝搬可能なビーム経路を偏向可能な第１の偏向器と、前記第１の偏向器の出力と光学的に連結され、前記ビーム経路を偏向可能な第２の偏向器と、前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御するように構成されるコントローラとを備える装置とともに使用される非一過性コンピュータ読取可能媒体であって、前記コントローラにより実行された際に、前記コントローラに、
    複数のスキャンフィールド内で前記ビーム経路を偏向させるように前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御させる
    命令を格納し、
    前記複数のスキャンフィールドのうち少なくとも２つは、互いに重なっておらず、互いに接していない第１のスキャンフィールド及び第２のスキャンフィールドである、
    非一過性コンピュータ読取可能媒体。
16. 前記コントローラにより実行された際に、前記コントローラに、前記第１のスキャンフィールド内の第１の複数の位置と前記第２のスキャンフィールド内の第２の複数の位置とに前記ビーム経路を偏向するように前記第１の偏向器及び前記第２の偏向器の動作を制御させる命令を格納している、請求項15の非一過性コンピュータ読取可能媒体。
17. 前記第１のスキャンフィールド及び前記第２のスキャンフィールドの少なくとも一方は、矩形の形状を有する、請求項15の非一過性コンピュータ読取可能媒体。
18. 前記第１のスキャンフィールド及び前記第２のスキャンフィールドの少なくとも一方は、正方形の形状を有する、請求項15の非一過性コンピュータ読取可能媒体。