JPWO2019155530A1 - イオン化装置及び質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
a) イオン化室と、
b) 前記イオン化室に設けられた、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、
c) 前記イオン化室に向けて電子ビームを放出する電子ビーム放出部と、
d) 前記イオン化室の壁面のうち前記電子ビーム放出部から放出される前記電子ビームの経路上に形成された、該経路の方向の長さが該方向に直交する断面の幅よりも長い電子ビーム通過口、
e) 前記イオン化室に設けられた、前記電子ビームの照射により生成された前記試料ガスのイオンを放出するイオン出口と
を備えることを特徴とする。
上記実施例では、2つのフィラメント11、12をイオン化室10の内部空間の中心を挟んで対称に配置し、また2つの電子ビーム通過口10a、10bをイオン化室10の内部空間の中心を挟んで対称に形成した構成としたが、これは本発明に必須の構成要件ではない。例えば、1つのフィラメント11をだけ配置し、1つのイオン通過口10aのみをイオン化室10の壁面に形成してもよい。そのような態様のイオン化装置においても、イオン通過口10aにおけるコンダクタンスを従来よりも小さくしてイオン化室10内の分子数密度を従来よりも高めることができる。
10…イオン化室
10a、10b…電子ビーム通過口
10c…イオン出口
11、12…フィラメント
13…リペラ電極
14…試料ガス導入口
15…電圧印加部
20…イオン輸送光学系
30…四重極マスフィルタ
31…前段四重極マスフィルタ
32…多重極イオンガイド
33…コリジョンセル
34…後段四重極マスフィルタ
35…直交加速部
40〜44…イオン検出器
50〜54…チャンバ
60…四重極型質量分析装置
61…三連四重極型質量分析装置
62…飛行時間型質量分析装置
63…四重極−飛行時間型飛行時間型質量分析装置
64…磁場電場二重収束型質量分析装置
71…飛行空間
72…反射器
81…電場セクタ
82…磁場セクタ
a) イオン化室と、
b) 前記イオン化室に設けられた、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、
c) 前記イオン化室に向けて電子ビームを放出する電子ビーム放出部と、
d) 前記イオン化室の壁面のうち前記電子ビーム放出部から放出される前記電子ビームの経路上に形成された、該経路の方向の長さが該方向に直交する断面の幅よりも長い電子ビーム通過口、
e) 前記イオン化室に設けられた、前記電子ビームの照射により生成された前記試料ガスのイオンを放出するイオン出口と
を備えることを特徴とする。
10…イオン化室
10a、10b…電子ビーム通過口
10c…イオン出口
11、12…フィラメント
13…リペラ電極
14…試料ガス導入口
15…電圧印加部
20…イオン輸送光学系
30…四重極マスフィルタ
31…前段四重極マスフィルタ
32…多重極イオンガイド
33…コリジョンセル
34…後段四重極マスフィルタ
35…直交加速部
40〜44…イオン検出器
50〜54…チャンバ
60…四重極型質量分析装置
61…三連四重極型質量分析装置
62…飛行時間型質量分析装置
63…四重極−飛行時間型質量分析装置
64…磁場電場二重収束型質量分析装置
71…飛行空間
72…反射器
81…電場セクタ
82…磁場セクタ
Claims (9)
- a) イオン化室と、
b) 前記イオン化室に設けられた、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、
c) 前記イオン化室に向けて電子ビームを放出する電子ビーム放出部と、
d) 前記イオン化室の壁面のうち前記電子ビーム放出部から放出される前記電子ビームの経路上に形成された、該経路の方向の長さが該方向に直交する断面の幅よりも長い電子ビーム通過口と、
e) 前記イオン化室に設けられた、前記電子ビームの照射により生成された前記試料ガスのイオンを放出するイオン出口と
を備えることを特徴とするイオン化装置。 - 2つの前記電子ビーム通過口が、前記イオン化室の内部空間の中心を挟んで対称に形成されている対称に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のイオン化装置。
- 前記イオン化室の内部に、イオンを前記イオン出口の方向に押す押し出し電場を形成するためのリペラ電極をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のイオン化装置。
- 請求項1に記載のイオン化装置と、
前記イオン化装置で生成されたイオンを所定の質量電荷比に応じて分離する質量分離部と、
前記イオン分離部で分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載のイオン化装置と、
前記イオン化装置で生成されたイオンを質量電荷比に応じて分離する四重極マスフィルタと、
前記四重極マスフィルタで分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載のイオン化装置と、
前記イオン化装置で生成されたイオンを質量電荷比に応じて分離する前段四重極マスフィルタと、
前記前段四重極マスフィルタで選択されたイオンを解離させるイオン解離部と、
前記イオン解離部での解離により生成されたプロダクトイオンを質量電荷比に応じて分離する後段四重極マスフィルタと、
前記後段四重極マスフィルタで分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載のイオン化装置と、
前記イオン化装置で生成されたイオンを質量電荷比に応じて分離する直交加速方式の飛行時間型質量分離部と、
前記飛行時間型質量分離部で分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載のイオン化装置と、
前記イオン化装置で生成されたイオンを質量電荷比に応じて分離する四重極マスフィルタと、
前記四重極マスフィルタで選択されたイオンを解離させるイオン解離部と、
前記イオン解離部での解離により生成されたプロダクトイオンを質量電荷比に応じて分離する直交加速方式の飛行時間型質量分離部と、
前記飛行時間型質量分離部で分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載のイオン化装置と、
扇形磁場と扇形電場により前記イオン化装置で生成されたイオンを質量電荷比に応じて分離する二重収束型質量分離部と、
前記二重収束型質量分離部で分離されたイオンを検出する検出器と
を備えることを特徴とする質量分析装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/004080 WO2019155530A1 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | イオン化装置及び質量分析装置 |
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- 2018-02-06 CN CN201880087773.4A patent/CN111656483B/zh active Active
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- 2018-02-06 JP JP2019570181A patent/JP6908138B2/ja active Active
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