JPWO2019142254A1 - Electronic module - Google Patents

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Abstract

電子モジュールは、第一基板11と、第一電子素子13と、第二基板21と、第二放熱層29と、封止部90と、を有している。前記第一基板11の一方側に、前記第一電子素子13に電気的に接続されていない非接続導体層50が設けられている。前記第二放熱層29が面内方向で凹んだ凹部130を有する、前記第二放熱層29が周縁よりも面内方向の内方で開口部140を有する、又は、前記第二放熱層29が複数の第二放熱層パターン150を有することで、第二基板21の一方側の面が露出する。The electronic module has a first substrate 11, a first electronic element 13, a second substrate 21, a second heat radiation layer 29, and a sealing portion 90. On one side of the first substrate 11, a non-connection conductor layer 50 that is not electrically connected to the first electronic element 13 is provided. The second heat dissipation layer 29 has a concave portion 130 that is recessed in the in-plane direction, the second heat dissipation layer 29 has an opening 140 inward in the in-plane direction from the periphery, or the second heat dissipation layer 29 has By having the plurality of second heat radiation layer patterns 150, one surface of the second substrate 21 is exposed.

Description

本発明は、電子素子を封止部内に含み、放熱層を有する電子モジュールに関する。   The present invention relates to an electronic module including an electronic element in a sealing portion and having a heat dissipation layer.

複数の電子素子が封止樹脂内に設けられた電子モジュールが従来から知られている(例えば特開2014−45157号参照)。このような電子モジュールにおいて電子素子をより多くしたいニーズがある。   2. Description of the Related Art An electronic module in which a plurality of electronic elements are provided in a sealing resin is conventionally known (see, for example, JP-A-2014-45157). There is a need to increase the number of electronic elements in such an electronic module.

より多くの電子素子を設ける手段として、電子素子を層状に積み重ねていく態様を採用することが考えられる。その際には、電子素子(第一電子素子)の一方側(例えばおもて面側)に別の電子素子(第二電子素子)を設けることが考えられる。   As a means for providing more electronic elements, it is conceivable to adopt a mode in which electronic elements are stacked in layers. In that case, it is conceivable to provide another electronic element (second electronic element) on one side (for example, the front surface side) of the electronic element (first electronic element).

さらに電子素子の数を増やすとなると、第一基板及び第二基板の面方向での大きさが大きくなってしまう。このように、第一基板及び第二基板の面方向の大きさが大きくなると、熱処理工程で第一基板及び第二基板が反ってしまうことがある。   When the number of electronic elements is further increased, the size of the first substrate and the second substrate in the plane direction increases. As described above, when the size of the first substrate and the second substrate in the plane direction increases, the first substrate and the second substrate may be warped in the heat treatment process.

この点、基板の反りを防止するために、例えば、回路パターンが形成される金属回路板の厚さを金属放熱板の厚さよりも大きくし、金属放熱板のセラミックス基板の反対側の面の表面積を、金属回路板のセラミックス基板と反対側の面の表面積よりも大きくすることで、セラミックス基板に発生する熱応力によるセラミックス基板の反りを抑制することが提案されている(特開2016−72281号)。しかしながら、特開2016−72281号で提案されている態様も、基板の反り、特に周縁部における反りを抑制するという観点からは不十分なものであった。   In this regard, in order to prevent the board from warping, for example, the thickness of the metal circuit board on which the circuit pattern is formed is made larger than the thickness of the metal heat sink, and the surface area of the surface of the metal heat sink opposite to the ceramic substrate is reduced. Is larger than the surface area of the surface of the metal circuit board on the side opposite to the ceramic substrate, thereby suppressing the warpage of the ceramic substrate due to thermal stress generated in the ceramic substrate. ). However, the mode proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-72281 is also insufficient from the viewpoint of suppressing the warpage of the substrate, particularly the warpage at the peripheral edge.

発明者が検討したところによると、封止樹脂を流し込む際等の熱処理工程において、金型で押圧される第一基板は圧力と熱によって反りが解消されるが、金型で押圧されない第二基板は反りが解消され難いことが判明した。   According to studies made by the inventor, in a heat treatment step such as pouring a sealing resin, the first substrate pressed by the mold is released from warpage by pressure and heat, but the second substrate not pressed by the mold It was found that the warpage was difficult to eliminate.

本発明は、このような点を鑑みてなされたものであり、基板における反り、特に周縁部が封止部内方に向かう反りを防止できる電子モジュールを提供する。   The present invention has been made in view of such a point, and provides an electronic module capable of preventing a warp in a substrate, particularly, a warp of a peripheral portion toward an inside of a sealing portion.

[概念1]
本発明による電子モジュールは、
第一基板と、
前記第一基板の一方側に設けられた第一電子素子と、
前記第一電子素子の一方側に設けられた第二基板と、
前記第二基板の一方側に設けられた第二放熱層と、
少なくとも前記第一電子素子を封止する封止部と、
を備え、
前記第一基板の一方側に、前記第一電子素子に電気的に接続されていない非接続導体層が設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ凹部を有することで前記凹部を介して前記第二基板が露出する、前記第二放熱層が周縁よりも面内方向の内方で開口部を有することで前記開口部を介して前記第二基板が露出する、又は、前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有することで前記第二放熱層パターンの間で前記第二基板が露出してもよい。
[Concept 1]
The electronic module according to the present invention comprises:
A first substrate,
A first electronic element provided on one side of the first substrate,
A second substrate provided on one side of the first electronic element,
A second heat dissipation layer provided on one side of the second substrate,
A sealing portion for sealing at least the first electronic element,
With
On one side of the first substrate, a non-connection conductor layer that is not electrically connected to the first electronic element is provided,
The second substrate is exposed through the concave portion by the second heat radiation layer having a concave portion recessed in the in-plane direction, and the second heat radiation layer has an opening inward in the in-plane direction from the periphery. The second substrate is exposed through the opening, or the second substrate is exposed between the second heat radiation layer patterns by the second heat radiation layer having a plurality of second heat radiation layer patterns. May be.

[概念2]
本発明の概念1による電子モジュールにおいて、
前記第二基板の他方側に、前記第一電子素子に電気的に接続されていない非接続導体層が設けられていなくてもよい。
[Concept 2]
In an electronic module according to concept 1 of the present invention,
The non-connection conductor layer that is not electrically connected to the first electronic element may not be provided on the other side of the second substrate.

[概念3]
本発明の概念1又は2のいずれかによる電子モジュールは、
前記第一基板の他方側に設けられた第一放熱層をさらに備え、
前記第一放熱層が一つの第一放熱層パターンから構成され、
前記第一放熱層パターンが、面内方向で凹んだ凹部及び面内方向の内方で開口部を有さなくてもよい。
[Concept 3]
An electronic module according to either concept 1 or 2 of the present invention comprises:
Further comprising a first heat dissipation layer provided on the other side of the first substrate,
The first heat dissipation layer is composed of one first heat dissipation layer pattern,
The first heat radiation layer pattern may not have a concave portion that is concave in the in-plane direction and an opening in the in-plane direction.

[概念4]
本発明の概念1乃至3のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記第二基板は平面視において略矩形状からなり、
前記分割線は前記第二基板の対向する辺の中心を含む仮想線に沿って設けられてもよい。
[Concept 4]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 3 of the present invention,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The second substrate has a substantially rectangular shape in plan view,
The division line may be provided along an imaginary line including a center of an opposite side of the second substrate.

[概念5]
本発明の概念1乃至4のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と前記分割線の延在する方向とが平面視において平行になっている又は10度以内の角度で延在してもよい。
[Concept 5]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 4 of the present invention,
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers closest to each other in the in-plane direction and the direction in which the dividing line extends may be parallel in plan view or may extend at an angle of 10 degrees or less. .

[概念6]
本発明の概念1乃至4のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と前記分割線の延在する方向とが平面視において80度以上90度以下の角度で延在してもよい。
[Concept 6]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 4 of the present invention,
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers closest to each other in the in-plane direction and the direction in which the dividing line extends may extend at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less in plan view.

[概念7]
本発明の概念1乃至6のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ凹部を有し、
前記第二基板は略矩形状からなり、
前記凹部は前記第二基板の対向する辺の中心を通過する仮想線上に設けられることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
[Concept 7]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 6 of the present invention,
The second heat radiation layer has a concave portion that is concave in an in-plane direction,
The second substrate has a substantially rectangular shape,
The electronic module according to claim 1, wherein the concave portion is provided on an imaginary line passing through the center of the opposite side of the second substrate.

[概念8]
本発明の概念1乃至7のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ2つの凹部を有し、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と2つの前記凹部の幅方向の中心を結んだ直線の方向とが平面視において平行になっている、又は10度以内の角度で延在してもよい。
[Concept 8]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 7 of the present invention,
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat radiation layer has two concave portions that are concave in an in-plane direction,
The direction of the straight line connecting the nearest non-connection conductor layers in the in-plane direction and the direction of the straight line connecting the centers of the two recesses in the width direction are parallel in plan view, or within 10 degrees. It may extend at an angle.

[概念9]
本発明の概念1乃至7のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ2つの凹部を有し、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と2つの前記凹部の幅方向の中心を結んだ直線の方向とが平面視において80度以上90度以下の角度で延在してもよい。
[Concept 9]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 7 of the present invention,
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat radiation layer has two concave portions that are concave in an in-plane direction,
The direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers closest to each other in the in-plane direction and the direction of the straight line connecting the centers of the two recesses in the width direction extend at an angle of 80 ° or more and 90 ° or less in plan view. May be.

[概念10]
本発明の概念1乃至9のいずれか1つによる電子モジュールにおいて、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
少なくとも1つ以上の前記第二放熱層パターンは、前記第二放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部又は周縁よりも面内方向の内方で開口部を有してもよい。
[Concept 10]
In an electronic module according to any one of concepts 1 to 9 of the present invention,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
At least one or more of the second heat radiation layer patterns may have a concave portion in which the second heat radiation layer pattern is depressed in the in-plane direction or an opening in the in-plane direction more than the periphery.

本発明において、第一基板の一方側に第一電子素子及び第二電子素子に電気的に接続されていない非接続導体層を設ける態様を採用した場合には、第一基板における反りを防止できる。本発明において、第二放熱層が面内方向で凹んだ凹部を有することで凹部を介して第二基板が露出する態様を採用した場合又は第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有することで第二放熱層パターンの間で第二基板が露出する態様を採用した場合には、第二基板における反り、特に第二基板の周縁部が封止部内方に向かって反ることを防止できる。   In the present invention, in a case where an aspect in which a non-connection conductor layer that is not electrically connected to the first electronic element and the second electronic element is provided on one side of the first substrate is used, warpage of the first substrate can be prevented. . In the present invention, in the case where the second substrate is exposed through the concave portion by having the concave portion in the in-plane direction, the second heat radiation layer has a plurality of second heat radiation layer patterns. In the case where the aspect in which the second substrate is exposed between the second heat radiation layer patterns is employed, it is possible to prevent the second substrate from being warped, particularly to prevent the peripheral portion of the second substrate from being warped inward of the sealing portion. it can.

図1は、本発明の第1の実施の形態で用いられうる電子モジュールの側方断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of an electronic module that can be used in the first embodiment of the present invention. 図2は、図1に示す電子モジュールに対応する平面図である。FIG. 2 is a plan view corresponding to the electronic module shown in FIG. 図3は、図1に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第1の実施の形態で用いられうる電子モジュールの側方断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of an electronic module which is different from the embodiment shown in FIG. 1 and which can be used in the first embodiment of the present invention. 図4は、図3に示す電子モジュールに対応する平面図である。FIG. 4 is a plan view corresponding to the electronic module shown in FIG. 図5は、本発明の第1の実施の形態で用いられうる端子部等も示した電子モジュールの側方断面図である。FIG. 5 is a side cross-sectional view of the electronic module also showing a terminal portion and the like that can be used in the first embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第2の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 6 is a plan view of an electronic module that can be used in the second embodiment of the present invention. 図7は、図6に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第2の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 7 is a plan view of an electronic module which is different from the form shown in FIG. 6 and can be used in the second embodiment of the present invention. 図8は、本発明の第3の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 8 is a plan view of an electronic module that can be used in the third embodiment of the present invention. 図9は、図8に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第3の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 9 is a plan view of an electronic module which is different from the mode shown in FIG. 8 and can be used in the third embodiment of the present invention. 図10は、本発明の第4の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 10 is a plan view of an electronic module that can be used in the fourth embodiment of the present invention. 図11は、図10に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第4の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 11 is a plan view of an electronic module which is different from the form shown in FIG. 10 and can be used in the fourth embodiment of the present invention. 図12は、図10及び図11に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第4の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 12 is a plan view of an electronic module which is different from the forms shown in FIGS. 10 and 11 and can be used in the fourth embodiment of the present invention. 図13は、本発明の第5の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 13 is a plan view of an electronic module that can be used in the fifth embodiment of the present invention. 図14は、本発明の第6の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 14 is a plan view of an electronic module that can be used in the sixth embodiment of the present invention. 図15は、図14に示す態様とは異なる態様であり、本発明の第6の実施の形態で用いられうる電子モジュールの平面図である。FIG. 15 is a plan view of an electronic module which is different from the form shown in FIG. 14 and can be used in the sixth embodiment of the present invention.

第1の実施の形態
《構成》
本実施の形態において、「一方側」は図1の上方側を意味し、「他方側」は図1の下方側を意味する。図1の上下方向を「第一方向」と呼び、左右方向を「第二方向」と呼び、紙面の表裏方向を「第三方向」と呼ぶ。第二方向及び第三方向を含む面内方向を「面内方向」といい、一方側から見た場合には「平面視」という。
First Embodiment << Configuration >>
In the present embodiment, "one side" means the upper side of FIG. 1, and "the other side" means the lower side of FIG. The vertical direction in FIG. 1 is referred to as a “first direction”, the horizontal direction is referred to as a “second direction”, and the front / back direction of the drawing is referred to as a “third direction”. The in-plane direction including the second direction and the third direction is referred to as “in-plane direction”, and when viewed from one side, is referred to as “plan view”.

図1に示すように、電子モジュールは、第一放熱層19と、第一放熱層19の一方側に設けられた第一基板11と、第一基板11の一方側に設けられた第一電子素子13と、第一電子素子13の一方側に設けられた第二電子素子23と、第二電子素子23の一方側に設けられた第二基板21と、第二基板21の一方側に設けられた第二放熱層29と、第一電子素子13及び第二電子素子23を封止する封止樹脂等から構成される封止部90と、を有してもよい。   As shown in FIG. 1, the electronic module includes a first heat dissipation layer 19, a first substrate 11 provided on one side of the first heat dissipation layer 19, and a first electronic device provided on one side of the first substrate 11. The element 13, the second electronic element 23 provided on one side of the first electronic element 13, the second substrate 21 provided on one side of the second electronic element 23, and provided on one side of the second substrate 21 And a sealing portion 90 made of a sealing resin for sealing the first electronic element 13 and the second electronic element 23.

第一基板11の一方側に、第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層50が設けられてもよい。   An unconnected conductor layer 50 that is not electrically connected to the first electronic element 13 and the second electronic element 23 may be provided on one side of the first substrate 11.

第二放熱層29は、周縁部よりも内方側で第二基板21を露出させた露出部を有してもよい。本実施の形態では、図2に示すように、第二放熱層29が面内方向で凹んだ凹部130を有し、凹部130を介して第二基板21が露出する態様となっている。図2に示す態様では、平面視において半円形状からなる凹部130が示されているが、凹部130の形状は様々なものを採用することができ、平面視において矩形上、三角形状等の多角形形状からなる凹部を採用することもできる。   The second heat radiation layer 29 may have an exposed portion that exposes the second substrate 21 on the inner side than the peripheral edge. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the second heat dissipation layer 29 has a recess 130 that is recessed in the in-plane direction, and the second substrate 21 is exposed via the recess 130. In the embodiment shown in FIG. 2, a concave portion 130 having a semicircular shape is shown in plan view, but various shapes can be adopted for the concave portion 130, such as a rectangular shape, a triangular shape, or the like in plan view. A concave portion having a rectangular shape may be employed.

第一基板11は平面視において略矩形状となってもよい。同様に、第二基板21も平面視において略矩形状となってもよい。本実施の形態において「略矩形状」とは対向する2対の辺を有する四角形のことを意味し、例えば平面視における角部が直角であってもよいが、丸みを帯びていてもよいし切り欠かれていてもよい。   The first substrate 11 may have a substantially rectangular shape in plan view. Similarly, the second substrate 21 may have a substantially rectangular shape in plan view. In the present embodiment, “substantially rectangular shape” means a quadrangle having two pairs of opposing sides. For example, a corner in plan view may be a right angle, but may be rounded. It may be notched.

本実施の形態の電子モジュールは、接続体60,70を有してもよい。接続体60,70は、第一電子素子13と第二電子素子23との間に設けられた第一接続体60と、第二電子素子23の第一接続体60と反対側に設けられた第二接続体70とを有してもよい。   The electronic module according to the present embodiment may include connectors 60 and 70. The connectors 60 and 70 are provided on the first connector 60 provided between the first electronic element 13 and the second electronic element 23 and on the opposite side of the second connector 23 from the first connector 60. And a second connector 70.

接続体60,70は、ヘッド部61,71と、ヘッド部61,71からヘッド部61,71の厚み方向で延びた柱部62,72とを有してもよい。接続体60,70が第一接続体60及び第二接続体70を有する態様では、第一接続体60が、第一ヘッド部61と、第一ヘッド部61から第一ヘッド部61の厚み方向で延びた第一柱部62とを有してもよい。また、第二接続体70が、第二ヘッド部71と、第二ヘッド部71から第二ヘッド部71の厚み方向で延びた第二柱部72とを有してもよい。   The connection bodies 60 and 70 may have head parts 61 and 71 and pillar parts 62 and 72 extending from the head parts 61 and 71 in the thickness direction of the head parts 61 and 71. In the aspect in which the connecting bodies 60 and 70 have the first connecting body 60 and the second connecting body 70, the first connecting body 60 is formed in the thickness direction of the first head 61 and the first head 61 from the first head 61. And a first pillar portion 62 extending in the direction. Further, the second connector 70 may include the second head 71 and a second pillar 72 extending from the second head 71 in the thickness direction of the second head 71.

第一基板11の一方側には一つ又は複数の第一導体層12が設けられてもよい。第二基板21の他方側には一つ又は複数の第二導体層22が設けられてもよい。第一電子素子13及び第二電子素子23の各々又はいずれか一方はスイッチング素子であってもよいし、制御素子であってもよい。スイッチング素子としてはMOSFETやIGBT等を用いてもよい。第一電子素子13及び第二電子素子23の各々は半導体素子から構成されてもよく、半導体材料としてはシリコン、炭化ケイ素、窒化ガリウム等であってもよい。   One or a plurality of first conductor layers 12 may be provided on one side of the first substrate 11. One or more second conductor layers 22 may be provided on the other side of the second substrate 21. Each or one of the first electronic element 13 and the second electronic element 23 may be a switching element or a control element. A MOSFET, an IGBT, or the like may be used as the switching element. Each of the first electronic element 13 and the second electronic element 23 may be composed of a semiconductor element, and the semiconductor material may be silicon, silicon carbide, gallium nitride, or the like.

第一電子素子13と第一接続体60との間にははんだ等の導電性接着剤(図示せず)が設けられ、第一電子素子13と第一接続体60は導電性接着剤を介して接続されてもよい。同様に、第一接続体60と第二電子素子23との間にははんだ等の導電性接着剤(図示せず)が設けられ、第一接続体60と第二電子素子23は導電性接着剤を介して接続されてもよい。同様に、第二電子素子23と第二接続体70との間にははんだ等の導電性接着剤(図示せず)が設けられ、第二電子素子23と第二接続体70は導電性接着剤を介して接続されてもよい。   A conductive adhesive (not shown) such as solder is provided between the first electronic element 13 and the first connector 60, and the first electronic element 13 and the first connector 60 are connected via the conductive adhesive. May be connected. Similarly, a conductive adhesive (not shown) such as solder is provided between the first connection body 60 and the second electronic element 23, and the first connection body 60 and the second electronic element 23 are electrically conductively bonded. It may be connected via an agent. Similarly, a conductive adhesive (not shown) such as solder is provided between the second electronic element 23 and the second connector 70, and the second electronic element 23 and the second connector 70 are electrically conductively bonded. It may be connected via an agent.

図1及び図2に示すように、封止部90が第二基板21の他方側の面及び側面だけを覆い一方側の面を覆わない態様を採用してもよいし、図3及び図4に示すように、封止部90が第二基板21の他方側の面も覆う態様を採用してもよい。図1及び図2に示す態様では、凹部130の他に第二放熱層29の周縁領域でも第二基板21の一方側の面が露出されることになるが、図3及び図4に示す態様では、凹部130だけで第二基板21の一方側の面が露出されることになる。   As shown in FIGS. 1 and 2, a mode in which the sealing portion 90 covers only the other side surface and the side surface of the second substrate 21 and does not cover one side surface may be adopted. As shown in (2), a mode in which the sealing portion 90 also covers the surface on the other side of the second substrate 21 may be adopted. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, one surface of the second substrate 21 is exposed in the peripheral region of the second heat radiation layer 29 in addition to the concave portion 130, but is shown in FIGS. In this case, only the recess 130 exposes the one surface of the second substrate 21.

第一基板11及び第二基板21としては、セラミック基板、絶縁樹脂層等を採用することができる。導電性接着剤としては、はんだの他、AgやCuを主成分とする材料を用いることもできる。第一接続体60及び第二接続体70の材料としてはCu等の金属を用いることができる。なお、基板11,21としては例えば回路パターニングを施した金属基板を用いることもでき、この場合には、基板11,21が導体層12,22を兼ねることになる。   As the first substrate 11 and the second substrate 21, a ceramic substrate, an insulating resin layer, or the like can be employed. As the conductive adhesive, in addition to solder, a material containing Ag or Cu as a main component can be used. As a material of the first connector 60 and the second connector 70, a metal such as Cu can be used. In addition, as the substrates 11 and 21, for example, a metal substrate subjected to circuit patterning can be used. In this case, the substrates 11 and 21 also serve as the conductor layers 12 and 22.

図5に示すように、第一導体層12及び第二導体層22の両方又はいずれか一方は端子部100と接続されてもよく、端子部100の先端側は封止部90の外方に露出して、制御基板等の外部装置と接続可能となってもよい。図5に示す態様では、端子部100は、第一導体層12に導電性接着剤を介して接続される第一端子部110と、第二導体層22に導電性接着剤を介して接続される第二端子部120と、を有している。   As shown in FIG. 5, one or both of the first conductor layer 12 and the second conductor layer 22 may be connected to the terminal portion 100, and the distal end side of the terminal portion 100 is located outside the sealing portion 90. It may be exposed and connectable to an external device such as a control board. In the embodiment shown in FIG. 5, the terminal portion 100 is connected to the first conductor layer 12 via a conductive adhesive, and the first terminal portion 110 is connected to the second conductor layer 22 via a conductive adhesive. And a second terminal portion 120.

第一電子素子13がMOSFET等のスイッチング素子である場合には、図5に示すように、第一接続体60側の面(一方側の面)に第一ゲート電極13g及び第一ソース電極13sが設けられてもよい。また、第二電子素子23がMOSFET等のスイッチング素子である場合には、第二接続体70側の面(一方側の面)に第二ゲート電極23g及び第二ソース電極23sが設けられてもよい。この場合、第二接続体70が第二電子素子23の第二ソース電極23sに導電性接着剤を介して接続されてもよい。また、第一接続体60が第一電子素子13の第一ソース電極13sと第二電子素子23の第二接続体70と反対側の面(他方側の面)に設けられた第二ドレイン電極23dとを導電性接着剤を介して接続してもよい。第一電子素子13の第一接続体60と反対側の面(他方側の面)に第一ドレイン電極13dが設けられ、この第一ドレイン電極13dは第一導体層12と導電性接着剤を介して接続されてもよい。第一ゲート電極13gは接続子30と導電性接着剤を介して接続され、この接続子30は第一導体層12と導電性接着剤を介して接続されてもよい。第二ゲート電極23gは接続子40と導電性接着剤を介して接続されて、この接続子40は第二導体層22と導電性接着剤を介して接続されてもよい。   When the first electronic element 13 is a switching element such as a MOSFET, as shown in FIG. 5, the first gate electrode 13g and the first source electrode 13s are provided on the first connection body 60 side (one side). May be provided. In the case where the second electronic element 23 is a switching element such as a MOSFET, the second gate electrode 23g and the second source electrode 23s are provided on the surface (one surface) on the second connector 70 side. Good. In this case, the second connector 70 may be connected to the second source electrode 23s of the second electronic element 23 via a conductive adhesive. In addition, the second drain electrode provided on the surface (the other surface) of the first electronic element 13 opposite to the first source electrode 13 s of the first electronic element 13 and the second connection element 70 of the second electronic element 23. 23d may be connected via a conductive adhesive. A first drain electrode 13d is provided on a surface (the other surface) of the first electronic element 13 opposite to the first connection body 60. The first drain electrode 13d is formed by applying a conductive adhesive to the first conductor layer 12. It may be connected via. The first gate electrode 13g is connected to the connector 30 via a conductive adhesive, and the connector 30 may be connected to the first conductor layer 12 via a conductive adhesive. The second gate electrode 23g is connected to the connector 40 via a conductive adhesive, and the connector 40 may be connected to the second conductor layer 22 via a conductive adhesive.

端子部100と導体層12,22との接合は、はんだ等の導電性接着剤を利用する態様だけではなく、レーザ溶接を利用してもよいし、超音波接合を利用してもよい。   The joining between the terminal portion 100 and the conductor layers 12 and 22 is not limited to a mode using a conductive adhesive such as solder, but may be laser welding or ultrasonic bonding.

《作用・効果》
次に、上述した構成からなる本実施の形態による作用・効果の一例について説明する。なお、「作用・効果」で説明するあらゆる態様を、上記構成で採用することができる。
《Action and effect》
Next, an example of the operation and effect of the present embodiment having the above-described configuration will be described. It should be noted that any of the modes described in the “operation / effect” can be adopted in the above configuration.

本実施の形態において、第一基板11の一方側に第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層50を設ける態様を採用した場合には、第一基板11における反りを防止できる。つまり、電子モジュールにおいて第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層50を設けられる場合には、当該非接続導体層50は樹脂封止する際に金型によって押圧されるために用いられることが一般的である。このため、第一基板11の一方側に非接続導体層50が設けられている場合には、第一基板11側については特段の工夫を加えずとも、金型による押圧力によって第一基板11の反りを防止できる。問題となるのは第二基板21側であるが、本実施の形態において、第二放熱層29が面内方向で凹んだ凹部130を有することで凹部130を介して第二基板21が露出する態様を採用した場合には、第二基板21における反り、特に第二基板21の周縁部が封止部内方に向かって(図1の下方に)反ることを防止できる。   In the present embodiment, when an aspect in which the non-connection conductor layer 50 that is not electrically connected to the first electronic element 13 and the second electronic element 23 is provided on one side of the first substrate 11 is adopted, Warpage of the substrate 11 can be prevented. That is, in the case where the non-connection conductor layer 50 that is not electrically connected to the first electronic element 13 and the second electronic element 23 is provided in the electronic module, the non-connection conductor layer 50 is made of gold when resin-sealed. It is generally used to be pressed by a mold. For this reason, when the non-connection conductor layer 50 is provided on one side of the first substrate 11, the first substrate 11 can be pressed by the mold without any special measures on the first substrate 11 side. Warpage can be prevented. Although the problem is on the second substrate 21 side, in the present embodiment, the second substrate 21 is exposed via the concave portion 130 because the second heat radiation layer 29 has the concave portion 130 concaved in the in-plane direction. When the aspect is adopted, it is possible to prevent the second substrate 21 from being warped, particularly the peripheral portion of the second substrate 21 from being warped inward (downward in FIG. 1).

第二放熱層29が面内方向で凹んだ凹部130を有することで凹部130を介して第二基板21が露出する態様を採用した場合には、第二基板21の他方側に、第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層50が設けられていなくてもよい。このような非接続導体層50が設けられていなくても、凹部130を介して第二基板21の一方側の面を露出させることで、第二基板21における反りを防止できるためである。   In a case where the second heat radiation layer 29 has a concave portion 130 which is concave in the in-plane direction and the second substrate 21 is exposed via the concave portion 130, the first electron beam is provided on the other side of the second substrate 21. The non-connection conductor layer 50 that is not electrically connected to the element 13 and the second electronic element 23 may not be provided. This is because even if the non-connection conductor layer 50 is not provided, the second substrate 21 can be prevented from warping by exposing the one surface of the second substrate 21 through the recess 130.

前述したように、第一基板11の一方側に非接続導体層50が設けられている場合には、第一基板11側については特段の工夫を加えずとも、金型による押圧力によって第一基板11の反りを防止できることから、第一基板11の一方側の面を周縁内方で露出させる露出部は設けられなくてもよい。つまり、第一放熱層19が一つの第一放熱層パターンから構成され、第一放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部及び面内方向の内方で開口部を有さない態様となってもよい。但し、これに限られることはなく、第一基板11の一方側に非接続導体層50が設けられている場合であっても、第一放熱層19が複数の第一放熱層パターンから構成されたり、第一放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部を有したり、第一放熱層パターンが面内方向の内方で開口部を有する態様を採用することもできる。   As described above, when the non-connection conductor layer 50 is provided on one side of the first substrate 11, the first substrate 11 side can be pressed by the pressing force of the mold without any special measures. Since the warpage of the substrate 11 can be prevented, an exposed portion that exposes one surface of the first substrate 11 inside the peripheral edge may not be provided. That is, the first heat radiation layer 19 is formed of one first heat radiation layer pattern, and the first heat radiation layer pattern has no concave portion recessed in the in-plane direction and no opening in the in-plane direction. Is also good. However, the present invention is not limited to this, and even when the non-connection conductor layer 50 is provided on one side of the first substrate 11, the first heat radiation layer 19 is constituted by a plurality of first heat radiation layer patterns. Alternatively, a mode in which the first heat radiation layer pattern has a concave portion depressed in the in-plane direction, or the first heat radiation layer pattern has an opening in the in-plane direction.

凹部130が第二基板21の対向する一対の辺の中心を通過する仮想線VL(図2及び図4参照)上に設けられる態様を採用した場合には、平面視における第二基板21の辺の中心位置での歪みを緩和することができ、ひいては第二基板21が歪むことを効率よく防止できる。   In a case where the recess 130 is provided on a virtual line VL (see FIGS. 2 and 4) passing through the centers of a pair of opposed sides of the second substrate 21, the side of the second substrate 21 in a plan view is adopted. Can be alleviated at the center position, and the second substrate 21 can be efficiently prevented from being distorted.

凹部130が第二基板21の対向する二対の辺の中心を通過する仮想線VL上に設けられる態様を採用した場合には、平面視における第二基板21の辺の中心位置での歪みをより確実に緩和することを期待できる。   In a case where the recess 130 is provided on the imaginary line VL passing through the centers of the two opposite sides of the second substrate 21, the distortion at the center position of the side of the second substrate 21 in plan view is reduced. It can be expected that it will be alleviated more reliably.

図1乃至図4に示す態様では、4つの非接続導体層50が第一基板11の角部に設けられ、2つの凹部130が第二基板21の対向する辺に対応して設けられる態様となっている。そして、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図1乃至図4に示す態様では第三方向)と2つの凹部130の幅方向(図1乃至図4に示す態様では第二方向)における中心とを結んだ直線とが、平面視において平行になっている又は10度以内の角度で延在している態様となっている。このような態様によれば、金型に押圧されて平坦形状になりやすい第一基板11に封止部90を介して引っ張られるようにして、図1乃至図4に示す態様では面内の長手方向において第二基板21が凹部130を中心として平坦形状となり、第二基板21の長手方向における反りを防止できる。なお、このような効果を発揮するのは、凹部130では第二放熱層29が設けられないことから、電子モジュールの第二基板21側での剛性が下がっていることにもよると考えられる。本実施の形態において「略平行」とは、平行になっている場合と10度以内の角度で延在している場合の両方を含んでいる。   In the embodiments shown in FIGS. 1 to 4, four non-connection conductor layers 50 are provided at corners of the first substrate 11, and two concave portions 130 are provided corresponding to opposing sides of the second substrate 21. Has become. Then, the direction of the straight line (third direction in the embodiment shown in FIGS. 1 to 4) connecting the non-connection conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction and the width direction of the two concave portions 130 (shown in FIGS. 1 to 4) In this embodiment, a straight line connecting the center in the second direction) is parallel or extends at an angle of 10 degrees or less in plan view. According to such an embodiment, the first substrate 11 that is likely to be pressed into a flat shape by the mold is pulled via the sealing portion 90, and in the embodiment shown in FIGS. In the direction, the second substrate 21 has a flat shape with the recess 130 as a center, so that the second substrate 21 can be prevented from warping in the longitudinal direction. It is considered that such an effect is exhibited because the rigidity of the electronic module on the second substrate 21 side is reduced because the second heat radiation layer 29 is not provided in the concave portion 130. In the present embodiment, “substantially parallel” includes both a case where they are parallel and a case where they extend at an angle of 10 degrees or less.

第2の実施の形態
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described.

本実施の形態では、図6に示すように、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図6では第三方向)と2つの凹部130の幅方向(図6に示す態様では第三方向)における中心とを結んだ直線との関係が、第1の実施の形態と異なっている。本実施の形態では、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図6に示す態様では第三方向)と2つの凹部130の幅方向(図6に示す態様では第三方向)における中心とを結んだ直線とが80度以上90度以下の角度で延在している。本実施の形態では、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the direction of a straight line (third direction in FIG. 6) connecting the nearest non-connection conductor layers 50 in the in-plane direction and the width direction of two concave portions 130 (FIG. The relationship with the straight line connecting the center in the third direction (in the embodiment shown in FIG. 3) is different from that of the first embodiment. In the present embodiment, the direction of a straight line (third direction in the embodiment shown in FIG. 6) connecting the nearest non-connection conductor layers 50 in the in-plane direction and the width direction of the two concave portions 130 (the embodiment shown in FIG. 6) A straight line connecting the center in the third direction) extends at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less. In the present embodiment, all aspects described in the above embodiments can be adopted. The members described in the above embodiments will be described using the same reference numerals.

本実施の形態では、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図6に示す態様では第三方向)と2つの凹部130の幅方向(図6に示す態様では第三方向)における中心とを結んだ直線とが80度以上90度以下の角度で(略直交して)延在している。このような態様によれば、金型に押圧されて平坦形状になりやすい第一基板11に封止部90を介して引っ張られるようにして、図1乃至図4に示す態様では面内の短手方向において第二基板21が凹部130を中心として平坦形状となり、第二基板21の短手方向における反りを防止できる。なお、本実施の形態において「略直交」とは、80度以上90度以下の角度で延在する態様のことを意味している。   In the present embodiment, the direction of a straight line (third direction in the embodiment shown in FIG. 6) connecting the nearest non-connection conductor layers 50 in the in-plane direction and the width direction of the two concave portions 130 (the embodiment shown in FIG. 6) A straight line connecting the center in the (third direction) extends at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less (substantially orthogonally). According to such an embodiment, the first substrate 11 which is likely to be pressed by the mold and tends to have a flat shape is pulled through the sealing portion 90, and in the embodiments shown in FIGS. In the hand direction, the second substrate 21 has a flat shape with the concave portion 130 as a center, so that the second substrate 21 can be prevented from warping in the short direction. In this embodiment, “substantially orthogonal” means an aspect that extends at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less.

前述したように、本実施の形態では第1の実施の形態の態様を採用することができる。このため、図7に示すように、略矩形状からなる第二放熱層29の各辺に対応して凹部130が設けられ、第二放熱層29の対向する辺に設けられた凹部130の幅方向の中心を結んだ直線の一つと面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図6に示す態様では第三方向)とが略平行となり、第二放熱層29の対向する辺に設けられた凹部130の幅方向の中心を結んだ直線の別の一つと面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図6に示す態様では第三方向)とが略直交するようにしてもよい。この場合には、より確実に、第二基板21の各辺における歪みを凹部130によって防止することができる。   As described above, in the present embodiment, the mode of the first embodiment can be adopted. For this reason, as shown in FIG. 7, the recesses 130 are provided corresponding to each side of the second heat dissipation layer 29 having a substantially rectangular shape, and the width of the recess 130 provided on the opposite side of the second heat dissipation layer 29 is provided. One of the straight lines connecting the centers of the directions is substantially parallel to the direction of the straight line (the third direction in the embodiment shown in FIG. 6) connecting the non-connecting conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction. The direction of a straight line connecting another non-connection conductor layer 50 closest in the in-plane direction to another one of the straight lines connecting the centers in the width direction of the concave portions 130 provided on the opposite sides of the concave portion 130 (in the embodiment shown in FIG. (Three directions) may be substantially orthogonal to each other. In this case, the distortion on each side of the second substrate 21 can be more reliably prevented by the recess 130.

第3の実施の形態
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。
Third Embodiment Next, a third embodiment of the present invention will be described.

本実施の形態では、図8及び図9に示すように、第二放熱層29が周縁よりも面内方向の内方で開口部140を有している。本実施の形態でも、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 8 and 9, the second heat radiation layer 29 has the opening 140 in the in-plane direction from the periphery. Also in the present embodiment, all aspects described in the above embodiments can be adopted. The members described in the above embodiments will be described using the same reference numerals.

本実施の形態のような開口部140を設けることで、第二基板21の一方側の面を露出させることができ、第二基板21における反りを防止できる。図8に示す態様では、非接続導体層50の数と同数だけ開口部140が設けられ、各非接続導体層50に関し、非接続導体層50と当該非接続導体層50に対して面内方向で最も近い開口部140との面内方向における距離が略同一となっている。本実施の形態で「略同一」とは、平均値に対して5%以内の範囲に入っていることを意味し、非接続導体層50と当該非接続導体層50に対して面内方向で最も近い開口部140との面内方向における距離をAとするならば、非接続導体層50と当該非接続導体層50に対して面内方向で最も近い開口部140との面内方向における距離の各々は、A×0.95以上でありかつA×1.05以下となっている。   By providing the opening 140 as in the present embodiment, one surface of the second substrate 21 can be exposed, and the second substrate 21 can be prevented from warping. In the embodiment shown in FIG. 8, the same number of openings 140 as the number of the non-connection conductor layers 50 are provided, and for each of the non-connection conductor layers 50, the in-plane direction with respect to the non-connection conductor layer 50 and the non-connection conductor layer 50 And the distance in the in-plane direction with the nearest opening 140 is substantially the same. In this embodiment, “substantially the same” means that the average value is within a range of 5% or less, and the non-connection conductor layer 50 and the non-connection conductor layer 50 are in the in-plane direction. If the distance in the in-plane direction with respect to the nearest opening 140 is A, the distance in the in-plane direction between the non-connection conductor layer 50 and the nearest in-plane direction with respect to the non-connection conductor layer 50 will be described. Are A × 0.95 or more and A × 1.05 or less.

図9に示す態様では、図8に開示された開口部140に加えて、第二放熱層29の面内方向の中心部に開口部140が設けられている。このような態様を採用した場合には、金型に押圧されて平坦形状になりやすい第一基板11に封止部90を介して引っ張られるようにして、第二放熱層29の面内方向の中心部に設けられた開口部140を介して平坦形状となり、第二基板21の反りを防止できるようになる。   In the embodiment shown in FIG. 9, in addition to the opening 140 shown in FIG. 8, an opening 140 is provided at the center of the second heat radiation layer 29 in the in-plane direction. When such a mode is adopted, the second heat radiation layer 29 is pulled in the in-plane direction of the second heat radiation layer 29 by being pulled by the first substrate 11, which is likely to be pressed into a mold and having a flat shape, through the sealing portion 90. A flat shape is formed via the opening 140 provided at the center, and the second substrate 21 can be prevented from warping.

前述したように、本実施の形態では上記各実施の形態の態様を用いることができ、例えば、第二基板21の他方側に、第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層が設けられていなくてもよい。また、第一放熱層19が一つの第一放熱層パターンから構成され、第一放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部及び面内方向の内方で開口部を有さない態様となってもよい。また、第二放熱層29が凹部130を有してもよい。   As described above, in the present embodiment, the aspects of the above embodiments can be used. For example, the second substrate 21 is electrically connected to the first electronic element 13 and the second electronic element 23 on the other side. It is not necessary to provide the unconnected conductor layer that is not provided. In addition, the first heat radiation layer 19 is constituted by one first heat radiation layer pattern, and the first heat radiation layer pattern has an indentation in the in-plane direction and no opening in the in-plane direction. Is also good. Further, the second heat radiation layer 29 may have the recess 130.

第4の実施の形態
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。
Fourth Embodiment Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.

本実施の形態では、図10に示すように、第二放熱層29が複数の第二放熱層パターン150を有し、第二放熱層パターン150の間で第二基板21が露出する態様となっている。本実施の形態でも、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 10, the second heat dissipation layer 29 has a plurality of second heat dissipation layer patterns 150, and the second substrate 21 is exposed between the second heat dissipation layer patterns 150. ing. Also in the present embodiment, all aspects described in the above embodiments can be adopted. The members described in the above embodiments will be described using the same reference numerals.

本実施の形態によれば、複数の第二放熱層パターン150を有することから、複数の第二放熱層パターン150の間に第二基板21の一方側を露出させる分割線が形成されることになる。このような分割線が形成されることで、第二基板21の一方側の面を露出させることができ、第二基板21における反りを防止できる。   According to the present embodiment, since a plurality of second heat radiation layer patterns 150 are provided, a dividing line exposing one side of the second substrate 21 is formed between the plurality of second heat radiation layer patterns 150. Become. By forming such a dividing line, the surface on one side of the second substrate 21 can be exposed, and the second substrate 21 can be prevented from warping.

本実施の形態の分割線は第二基板21の対向する辺(図10では、図10の上方側の辺と下方側の辺)の中心を含む仮想線VLに沿って設けられてもよい。このような態様を採用した場合には、平面視における第二基板21の辺の中心位置での歪みを緩和することができ、ひいては第二基板21が歪むことを効率よく防止できる。   The dividing line of the present embodiment may be provided along a virtual line VL including the center of the opposing sides of the second substrate 21 (the upper side and the lower side in FIG. 10). When such an embodiment is adopted, distortion at the center position of the side of the second substrate 21 in plan view can be reduced, and the second substrate 21 can be efficiently prevented from being distorted.

本実施の形態の分割線は第二基板21の対向する二対の辺の中心を含む仮想線VLに沿って設けられてもよい。このような態様を採用した場合には、平面視における第二基板21の辺の中心位置での歪みをより確実に緩和することを期待できる。   The dividing line of the present embodiment may be provided along a virtual line VL including the centers of two pairs of opposing sides of the second substrate 21. When such an aspect is adopted, it can be expected that distortion at the center position of the side of the second substrate 21 in plan view can be more reliably alleviated.

前述したように、本実施の形態では上記各実施の形態の態様を用いることができ、例えば、第二基板21の他方側に、第一電子素子13及び第二電子素子23に電気的に接続されていない非接続導体層50が設けられていなくてもよい。また、第一放熱層19が一つの第一放熱層パターンから構成され、第一放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部及び面内方向の内方で開口部を有さない態様となってもよい。また、図11に示すように第二放熱層29の第二放熱層パターン150が凹部130を有してもよいし、図12に示すように第二放熱層パターン150が開口部140を有してもよい。   As described above, in the present embodiment, the aspects of the above embodiments can be used. For example, the second substrate 21 is electrically connected to the first electronic element 13 and the second electronic element 23 on the other side. The unconnected conductor layer 50 that is not required may not be provided. In addition, the first heat radiation layer 19 is constituted by one first heat radiation layer pattern, and the first heat radiation layer pattern has an indentation in the in-plane direction and no opening in the in-plane direction. Is also good. Further, the second heat radiation layer pattern 150 of the second heat radiation layer 29 may have the concave portion 130 as shown in FIG. 11, or the second heat radiation layer pattern 150 may have the opening 140 as shown in FIG. You may.

第5の実施の形態
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。
Fifth Embodiment Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

本実施の形態では、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図13では第三方向)と分割線の延在する方向とが平面視において平行になっている又は10度以内の角度で(略平行に)延在している態様となっている。本実施の形態でも、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。   In the present embodiment, the direction of a straight line (third direction in FIG. 13) connecting non-connecting conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction and the direction in which the dividing line extends are parallel in plan view. Or, it is an aspect that extends at an angle within 10 degrees (substantially parallel). Also in the present embodiment, all aspects described in the above embodiments can be adopted. The members described in the above embodiments will be described using the same reference numerals.

本実施の形態では、金型によって押圧される面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向と分割線の延在する方向とが平面視において略平行になっている。このような態様によれば、金型に押圧されて平坦形状になりやすい第一基板11に封止部90を介して引っ張られるようにして、図13に示す態様では面内の長手方向において第二基板21が分割線を介して平坦形状となり、第二基板21の長手方向における反りを防止できる。なお、このような効果を発揮するのは、分割線では第二放熱層29が設けられないことから、電子モジュールの第二基板21側での剛性が下がっていることにもよると考えられる。   In the present embodiment, the direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction pressed by the mold and the direction in which the dividing line extends are substantially parallel in plan view. According to such an embodiment, the first substrate 11 that is likely to be pressed by the mold and tends to have a flat shape is pulled through the sealing portion 90, and in the embodiment shown in FIG. The two substrates 21 have a flat shape through the dividing lines, and the second substrate 21 can be prevented from warping in the longitudinal direction. It is considered that the reason why such an effect is exerted is that the rigidity of the electronic module on the second substrate 21 side is reduced since the second heat radiation layer 29 is not provided in the dividing line.

第6の実施の形態
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。
Sixth Embodiment Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.

本実施の形態では、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向と面内方向における分割線の方向との関係が、第5の実施の形態と異なっている。本実施の形態では、面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図14では第三方向)と分割線の延在する方向(図14では第三方向)とが平面視において80度以上90度以下の角度で延在している態様となっている。本実施の形態でも、上記各実施の形態で説明したあらゆる態様を採用することができる。上記各実施の形態で説明した部材については同じ符号を用いて説明する。   In the present embodiment, the relationship between the direction of a straight line connecting the non-connection conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction and the direction of the dividing line in the in-plane direction is different from that of the fifth embodiment. In the present embodiment, the direction of the straight line (third direction in FIG. 14) connecting the non-connecting conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction is the direction in which the dividing line extends (third direction in FIG. 14). It is an aspect that extends at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less in plan view. Also in the present embodiment, all aspects described in the above embodiments can be adopted. The members described in the above embodiments will be described using the same reference numerals.

面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向(図14に示す態様では第三方向)と面内における分割線の方向とが80度以上90度以下の角度で(略直交して)延在している。このような態様によれば、金型に押圧されて平坦形状になりやすい第一基板11に封止部90を介して引っ張られるようにして、図14に示す態様では面内の短手方向において第二基板21が分割線を介して平坦形状となり、第二基板21の短手方向における反りを防止できる。   The direction of the straight line (third direction in the embodiment shown in FIG. 14) connecting the nearest non-connection conductor layers 50 in the in-plane direction and the direction of the dividing line in the plane are at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less (substantially). (Perpendicular). According to such an embodiment, the first substrate 11 which is likely to be pressed by the mold and has a flat shape is pulled through the sealing portion 90, and in the embodiment shown in FIG. The second substrate 21 has a flat shape via the dividing line, and the second substrate 21 can be prevented from warping in the lateral direction.

変形例として、図15に示すように直交する2つの分割線が設けられてもよい。この場合には、例えば、一つの分割線の延在する方向が面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向に対して略平行に延在し、別の一つの分割線の延在する方向が面内方向で最も近い非接続導体層50同士を結んだ直線の方向に略直交して延在する態様となってもよい。この場合には、より一層、第二基板21の各辺における歪みを分割線によって防止することが期待できる。   As a modification, two orthogonal dividing lines may be provided as shown in FIG. In this case, for example, the direction in which one division line extends extends substantially parallel to the direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction, and another one division line A mode in which the direction in which the line extends extends substantially orthogonal to the direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers 50 closest to each other in the in-plane direction may be adopted. In this case, it can be expected that the distortion on each side of the second substrate 21 can be further prevented by the dividing line.

前述したように、本実施の形態では上記各実施の形態の態様を用いることができ、例えば、第二放熱層29の第二放熱層パターン150が凹部130を有してもよいし、第二放熱層パターン150が開口部140を有してもよい。   As described above, in the present embodiment, the aspects of the above embodiments can be used. For example, the second heat radiation layer pattern 150 of the second heat radiation layer 29 may have the concave portion 130, The heat radiation layer pattern 150 may have the opening 140.

上述した各実施の形態の記載及び図面の開示は、請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した実施の形態の記載又は図面の開示によって請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。また、出願当初の請求項の記載はあくまでも一例であり、明細書、図面等の記載に基づき、請求項の記載を適宜変更することもできる。   The description of each embodiment described above and the disclosure of the drawings are merely examples for describing the invention described in the claims, and are described in the claims by the description of the above-described embodiments or the disclosure of the drawings. The invention is not limited. The description of the claims at the beginning of the application is merely an example, and the description of the claims can be appropriately changed based on the description in the specification, drawings, and the like.

11 第一基板
13 第一電子素子
19 第一放熱層
21 第二基板
23 第二電子素子
29 第二放熱層
50 非接続導体層
90 封止部
130 凹部
140 開口部
150 第二放熱層パターン
Reference Signs List 11 first substrate 13 first electronic element 19 first heat dissipation layer 21 second substrate 23 second electronic element 29 second heat dissipation layer 50 unconnected conductor layer 90 sealing portion 130 concave portion 140 opening 150 second heat dissipation layer pattern

Claims (10)

第一基板と、
前記第一基板の一方側に設けられた第一電子素子と、
前記第一電子素子の一方側に設けられた第二基板と、
前記第二基板の一方側に設けられた第二放熱層と、
少なくとも前記第一電子素子を封止する封止部と、
を備え、
前記第一基板の一方側に、前記第一電子素子に電気的に接続されていない非接続導体層が設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ凹部を有することで前記凹部を介して前記第二基板が露出する、前記第二放熱層が周縁よりも面内方向の内方で開口部を有することで前記開口部を介して前記第二基板が露出する、又は、前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有することで前記第二放熱層パターンの間で前記第二基板が露出することを特徴とする電子モジュール。
A first substrate,
A first electronic element provided on one side of the first substrate,
A second substrate provided on one side of the first electronic element,
A second heat dissipation layer provided on one side of the second substrate,
A sealing portion for sealing at least the first electronic element,
With
On one side of the first substrate, a non-connection conductor layer that is not electrically connected to the first electronic element is provided,
The second substrate is exposed through the concave portion by the second heat radiation layer having a concave portion recessed in the in-plane direction, and the second heat radiation layer has an opening inward in the in-plane direction from the periphery. The second substrate is exposed through the opening, or the second substrate is exposed between the second heat radiation layer patterns by the second heat radiation layer having a plurality of second heat radiation layer patterns. An electronic module, comprising:
前記第二基板の他方側に、前記第一電子素子に電気的に接続されていない非接続導体層が設けられていないことを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。   The electronic module according to claim 1, wherein a non-connection conductor layer that is not electrically connected to the first electronic element is not provided on the other side of the second substrate. 前記第一基板の他方側に設けられた第一放熱層をさらに備え、
前記第一放熱層は一つの第一放熱層パターンから構成され、
前記第一放熱層パターンは、面内方向で凹んだ凹部及び面内方向の内方で開口部を有さないことを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
Further comprising a first heat dissipation layer provided on the other side of the first substrate,
The first heat dissipation layer is composed of one first heat dissipation layer pattern,
2. The electronic module according to claim 1, wherein the first heat radiation layer pattern has no concave portion recessed in the in-plane direction and no opening in the in-plane direction. 3.
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記第二基板は平面視において略矩形状からなり、
前記分割線は前記第二基板の対向する辺の中心を含む仮想線に沿って設けられることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The second substrate has a substantially rectangular shape in plan view,
2. The electronic module according to claim 1, wherein the division line is provided along a virtual line including a center of an opposite side of the second substrate. 3.
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と前記分割線の延在する方向とが平面視において平行になっている又は10度以内の角度で延在していることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers closest to each other in the in-plane direction and the direction in which the dividing line extends are parallel or extend at an angle of 10 degrees or less in plan view. The electronic module according to claim 1, wherein:
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
複数の前記第二放熱層パターンの間には、前記第二基板を露出させるための分割線が設けられ、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と前記分割線の延在する方向とが平面視において80度以上90度以下の角度で延在していることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
A dividing line for exposing the second substrate is provided between the plurality of second heat radiation layer patterns,
The straight line direction connecting the nearest non-connection conductor layers in the in-plane direction and the direction in which the dividing line extends extend at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less in plan view. The electronic module according to claim 1.
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ凹部を有し、
前記第二基板は略矩形状からなり、
前記凹部は前記第二基板の対向する辺の中心を通過する仮想線上に設けられることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
The second heat radiation layer has a concave portion that is concave in an in-plane direction,
The second substrate has a substantially rectangular shape,
The electronic module according to claim 1, wherein the concave portion is provided on an imaginary line passing through the center of the opposite side of the second substrate.
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ2つの凹部を有し、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と2つの前記凹部の幅方向の中心を結んだ直線の方向とが平面視において平行になっている、又は10度以内の角度で延在していることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat radiation layer has two concave portions that are concave in an in-plane direction,
The direction of the straight line connecting the nearest non-connection conductor layers in the in-plane direction and the direction of the straight line connecting the centers of the two recesses in the width direction are parallel in plan view, or within 10 degrees. The electronic module according to claim 1, wherein the electronic module extends at an angle.
2つ以上の非接続導体層が前記第一基板に設けられ、
前記第二放熱層が面内方向で凹んだ2つの凹部を有し、
前記面内方向で最も近い非接続導体層同士を結んだ直線の方向と2つの前記凹部の幅方向の中心を結んだ直線の方向とが平面視において80度以上90度以下の角度で延在していることを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
Two or more unconnected conductor layers are provided on the first substrate,
The second heat radiation layer has two concave portions that are concave in an in-plane direction,
The direction of the straight line connecting the non-connection conductor layers closest to each other in the in-plane direction and the direction of the straight line connecting the centers of the two recesses in the width direction extend at an angle of 80 degrees or more and 90 degrees or less in plan view. The electronic module according to claim 1, wherein:
前記第二放熱層が複数の第二放熱層パターンを有し、
少なくとも1つ以上の前記第二放熱層パターンは、前記第二放熱層パターンが面内方向で凹んだ凹部又は周縁よりも面内方向の内方で開口部を有することを特徴とする請求項1に記載の電子モジュール。
The second heat dissipation layer has a plurality of second heat dissipation layer patterns,
The at least one or more of the second heat radiation layer patterns has a concave portion in which the second heat radiation layer pattern is depressed in the in-plane direction or an opening in the in-plane direction more than the periphery. An electronic module according to claim 1.
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