JPWO2019106960A1 - バルブ、バルブの異常診断方法、及びコンピュータプログラム - Google Patents
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 title claims abstract description 94
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 115
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 33
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 13
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 4
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/046—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor with electric means, e.g. electric switches, to control the motor or to control a clutch between the valve and the motor
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/047—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor characterised by mechanical means between the motor and the valve, e.g. lost motion means reducing backlash, clutches, brakes or return means
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1226—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston the fluid circulating through the piston
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/50—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means
- F16K31/508—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means the actuating element being rotatable, non-rising, and driving a non-rotatable axially-sliding element
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
- F16K31/528—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot
- F16K31/5286—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot comprising a sliding valve
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0033—Electrical or magnetic means using a permanent magnet, e.g. in combination with a reed relays
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
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Abstract
Description
近年、ALD(Atomic Layer Deposition)等、半導体製造プロセスが高度化、複雑化し、ガスユニットに搭載される流体制御機器の機器数が増えている。また、流体制御機器の高度化により、電気配線や駆動圧を供給するエアチューブなど、流体制御機器周りの配線も複雑化している。
また、電気配線やエアチューブの複雑化は折れやねじれに起因した動作不良を招くおそれがあるし、配線の接続先が紛らわしくなってメンテナンス等では不便である。さらには、配線をシンプルにすることで電磁性能を担保し、ノイズの低減や応答遅延の防止を実現したいとの要求もあるため、バルブの動作異常を判定するための機能や構造は、このような実情にも配慮して、電気配線やエアチューブの複雑化を招かないものであるほうがよい。
なお、コンピュータプログラムは、コンピュータプログラム読取可能な各種の記録媒体に記録して提供することができる。
以下、本発明の実施形態に係るバルブ及び当該バルブの異常診断方法について説明する。
図1に示されるように、本実施形態に係るバルブV1は、バルブ本体3とバルブ本体3に連結された駆動圧制御装置4とを備える。
駆動圧制御装置4には、ライン外の駆動圧供給源Gからバルブ本体3に駆動圧を導入する導入路として、駆動圧導入路431、432、433を備えている。駆動圧導入路431はライン外の駆動圧供給源Gに接続している。駆動圧導入路432は、自動弁411及び自動弁412を介して、駆動圧導入路431と駆動圧導入路433を連結している。駆動圧導入路433は、バルブ本体3の駆動圧導入口3aに連結している。
なお、自動弁411、412はいずれも、通常の電磁弁やエアー作動型電磁弁、あるいは電気弁など、各種の弁によって構成することができる。
なお、バルブ本体3とケーシング40は適宜、ネジ止めや接着剤による接着等の手段によって一体化させることができる。
また、常にバルブ本体3と一体的に連結された駆動圧制御装置4の自動弁411のところまで駆動圧が供給されており、バルブ本体3の駆動圧導入口3aに近いところで駆動圧が一定圧力に高められた状態が維持される。その結果、バルブ本体3は開閉の際、駆動圧の圧力変化を受けにくく、開閉速度を一定に保つことができ、ひいては材料ガスの制御の精度を向上させることができる。
図2〜図4に示されるように、ガスユニット1は、本実施形態に係る3つの流体供給ラインL1、L2、L3を備えている。
ここで、「流体供給ライン(L1、L2、L3)」とは、ガスユニット(1)の構成単位の一つであって、プロセス流体が流通する経路と、当該経路上に配設された一群の流体制御機器によって構成され、プロセス流体を制御し、独立して被処理体を処理することが可能な最小の構成単位である。ガスユニットは通常、当該流体供給ラインを複数、並設させて構成されている。また、以下の説明において言及する「ライン外」とは、この流体供給ラインを構成しない部分又は機構であって、ライン外の機構には、流体供給ラインの駆動に必要な電力を供給する電力供給減や駆動圧を供給する駆動圧供給源、流体供給ラインと通信可能に構成された装置等が含まれる。
この流量制御装置Fは例えば、流量レンジ可変型流量制御装置によって構成することができる。流量レンジ可変型流量制御装置は、切換弁の操作により自動的に流量制御域を切換選択できる装置である。
この流量レンジ可変型流量制御装置は、流量制御装置の流量検出部への流体通路として例えば、小流量用と大流量用の流体通路を有している。小流量用流体通路を通して小流量域の流体を流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを小流量域の検出に適した検出レベルに切換えし、大流量用流体通路を通して大流量域の流体を前記流量検出部へ流通させると共に、流量制御部の検出レベルを大流量域の流量の検出に適した検出レベルに切換えすることにより、大流量域と小流量域の流体を夫々切り換えて流量制御する。
また、流量のレンジを三段階にすることもできる。この場合、オリフィスを大流量用オリフィスと中流量用オリフィスと小流量用オリフィスの三種類とすると共に、一方の流体通路に第一の切換用バルブと第二の切換用バルブと大流量オリフィスを直列状に介在させ、また他方の流体通路に小流量オリフィスと中流量オリフィスを介在させ、更に、両切換バルブ間を連通する通路と、小流量オリフィスと中流量オリフィス間を連通する通路とを連通させる。
この流量レンジ可変型流量制御装置によれば、流量制御範囲を拡大させつつ、高い制御精度を維持することができる。
この差圧式流量制御装置は、バルブ駆動部を備えたコントロールバルブ部と、コントロールバルブの下流側に設けられたオリフィスと、オリフィスの上流側の流体圧力P1の検出器と、オリフィスの下流側の流体圧力P2の検出器と、オリフィスの上流側の流体温度Tの検出器とを有している。そして、内蔵する制御演算回路により、各検出器からの検出圧力及び検出温度を用いて流体流量QをQ=C1・P1/√T・((P2/P1)m−(P2/P1)n)1/2(但しC1は比例定数、m及びnは定数)により演算すると共に、演算流量と設定流量との差を演算する。
差圧式流量制御装置によれば、インラインの形態で且つ取付姿勢に制約を受けることもなく使用でき、そのうえ圧力の変動に対しても制御流量がほとんど影響されることなしに、高精度な流量計測又は流量制御をリアルタイムで行うことができる。
動作情報取得機構は例えば、流量制御装置Fに内蔵される各種のセンサや流量制御を行う演算装置、これらのセンサや演算装置等の情報の処理を実行する情報処理モジュール等によって構成することができる。
特に、同一の流体供給ラインL1、L2、L3を構成するバルブV1について、流量制御装置Fを介してライン外の機構から駆動圧を供給させたり、通信可能にさせたりすることで、各バルブV1の動作情報を流量制御装置Fに集約させることができる。その結果、各バルブV1の動作情報と流量制御装置Fの動作情報と合わせてライン全体の動作情報が構成される。
このバルブV1は、動作情報取得機構として磁気センサM2と磁石M1を有している。磁気センサM2は、ダイヤフラム51の周縁を押さえる押えアダプタ52の内側であって、ステム53に対向する面に取り付けられている。また、磁石M1は、バルブV1の開閉動作に応じて摺動するステム53の押えアダプタ52近傍に取り付けられている。
磁気センサM2は、所定の位置に取り付けられた磁石M1との間の距離変化をセンシングすることにより、バルブV1の開閉状態のみならず、開度を計測することができる。
さらに、図6に示されるように、バルブV1に内蔵されている情報処理モジュールは、磁気センサM2によって取得されたデータに基づき、バルブV1の異常の有無の判定を行う機能部として異常判定部を有する。この異常判定部は、磁気センサM2によって検出された磁石M1と磁気センサM2の距離変化と、予め測定された正常時の磁石M1と磁気センサM2の距離変化とを対比し、異常の有無を判定する。
ここで、異常判定部によって実行可能な処理について説明する。
まず、異常判定部は、異常診断時のステム53の上面又は下面の位置が正常時の上面又は下面の位置にあるか否かによって異常の有無を判定することができる。即ち、磁気センサM2と磁石M1の距離変化に基づき、ステム53の作動時の上面位置と下面位置が計測される。この上面位置と下面位置が、予め測定された正常時の上面位置と下面位置と一致するか否かを判別し、一致すれば異常なしと判定でき、一致しなければ異常ありと判定できる。
また、温度センサは例えば、流体の温度を測定するセンサであり、流路の近傍に設置して当該箇所の温度を測定することで、当該設置個所の温度を、流路内を流通する流体の温度とみなすことができる。
また、リミットスイッチは例えば、ピストンの近傍に固定され、ピストンの上下動に応じてスイッチが切り替えられる。これにより、バルブV1の開閉回数や開閉頻度、開閉速度等を検知することができる。
ここで、ガスユニット1を構成する流体制御機器は、ライン外の機構と所定の流体制御機器とを直接、接続する第一の接続手段と、当該第一の接続手段から分岐して、あるいは当該第一の接続手段が接続する流体制御機器を介して、ライン外の機構と他の流体制御機器とを接続する第二の接続手段によって接続されている。具体的には、流体供給ラインL1であれば、後に詳述する図7において、ライン外からの電力供給及びライン外との通信では、メインケーブル10と延長ケーブル11が第一の接続手段を構成し、サブケーブル111、112、113、114が第二の接続手段を構成する。また、後に詳述する図8において、ライン外からの駆動圧の供給では、メインチューブ20、延長チューブ21、及びサブチューブ214が第一の接続手段を構成し、延長チューブ211、212、213、サブチューブ215、216、217、218が第二の接続手段を構成する。
メインケーブル10は、ガスユニット近傍に設けられた分岐コネクタC1によって延長ケーブル11と分岐ケーブル101に分岐し、分岐ケーブル101は分岐コネクタC2によって延長ケーブル12と分岐ケーブル102に分岐し、分岐ケーブル102は分岐コネクタC3を介して延長ケーブル13に接続する。
また、サブケーブル112が接続しているバルブV12からはサブケーブル113が導出され、サブケーブル113はバルブV13に接続する。さらに、サブケーブル113が接続しているバルブV13からはサブケーブル114が導出され、サブケーブル114はバルブV14に接続する。
即ち、延長ケーブル12は流量制御装置F2に接続している。延長ケーブル12が接続している流量制御装置F2からは、サブケーブル121、122が導出され、サブケーブル121はバルブV21に接続し、サブケーブル122はバルブV22に接続する。
また、サブケーブル122が接続しているバルブV22からはサブケーブル123が導出され、サブケーブル123はバルブV23に接続する。さらに、サブケーブル123が接続しているバルブV23からはサブケーブル124が導出され、サブケーブル124はバルブV24に接続する。
即ち、延長ケーブル13は流量制御装置F3に接続している。延長ケーブル13が接続している流量制御装置F3からは、サブケーブル131、132が導出され、サブケーブル131はバルブV31に接続し、サブケーブル132はバルブV32に接続する。
また、サブケーブル132が接続しているバルブV32からはサブケーブル133が導出され、サブケーブル133はバルブV33に接続する。さらに、サブケーブル133が接続しているバルブV33からはサブケーブル134が導出され、サブケーブル134はバルブV34に接続する。
また、バルブV12、V13においても、サブケーブル112はサブケーブル113と接続し、サブケーブル113はサブケーブル114と接続している。このサブケーブル112、113、114の接続についても、バルブV12、V13内に設けられた情報処理モジュールを介したものであってもよいし、サブケーブル112、113を分岐させるものであってもよい。
いずれの接続についても、ライン外の機構とバルブV11、V12、V13、V14が流量制御装置F1を介して通信可能に接続されると共に、電力が供給されるようになっていればよい。
メインチューブ20は、ガスユニット近傍に設けられた分岐継手J1により、流体供給ラインL1、L2、L3毎に駆動圧を供給するための延長チューブ21、22、23に分岐する。
延長チューブ211はさらに、継手J111によって延長チューブ212とサブチューブ215に分岐する。サブチューブ215はバルブV11に接続しており、これによりバルブV11に駆動圧が供給される。
同様に、延長チューブ212はさらに、継手J112によって延長チューブ213とサブチューブ216に分岐する。サブチューブ216はバルブV12に接続しており、これによりバルブV12に駆動圧が供給される。
また、延長チューブ213はさらに、継手J113によってサブチューブ217とサブチューブ218に分岐する。サブチューブ217はバルブV13に接続しており、これによりバルブV13に駆動圧が供給される。また、サブチューブ218はバルブV14に接続しており、これによりバルブV14に駆動圧が供給される。
即ち、延長チューブ22は継手J12によって延長チューブ221とサブチューブ224に分岐する。サブチューブ224は流量制御装置F2に接続しており、これにより流量制御装置F2に駆動圧が供給される。
延長チューブ221はさらに、継手J121によって延長チューブ222とサブチューブ225に分岐する。サブチューブ225はバルブV21に接続しており、これによりバルブV21に駆動圧が供給される。
同様に、延長チューブ222はさらに、継手J122によって延長チューブ223とサブチューブ226に分岐する。サブチューブ226はバルブV22に接続しており、これによりバルブV22に駆動圧が供給される。
また、延長チューブ223はさらに、継手J123によってサブチューブ227とサブチューブ228に分岐する。サブチューブ227はバルブV23に接続しており、これによりバルブV23に駆動圧が供給される。また、サブチューブ228はバルブV24に接続しており、これによりバルブV24に駆動圧が供給される。
即ち、延長チューブ23は継手J13によって延長チューブ231とサブチューブ234に分岐する。サブチューブ234は流量制御装置F3に接続しており、これにより流量制御装置F3に駆動圧が供給される。
同様に、延長チューブ232はさらに、継手J132によって延長チューブ233とサブチューブ236に分岐する。サブチューブ236はバルブV32に接続しており、これによりバルブV32に駆動圧が供給される。
また、延長チューブ233はさらに、継手J133によってサブチューブ237とサブチューブ238に分岐する。サブチューブ237はバルブV33に接続しており、これによりバルブV33に駆動圧が供給される。また、サブチューブ238はバルブV34に接続しており、これによりバルブV34に駆動圧が供給される。
なお、流体供給ラインL2、L3についてもこれと同様にすることができる。
なお、流量制御装置F1、F2、F3に集約された各流体供給ラインL1、L2、L3の動作情報を、メインケーブル10を介して外部の情報処理装置に対して送信し、当該情報処理装置において異常の有無を診断させたり、動作を解析させたりすることもできる。なお、外部の情報処理装置は、ライン外の機構の一部を構成するものであってもよいし、ライン外の機構と通信可能に接続された装置であってもよい。また、当該外部の情報処理装置は所謂サーバコンピュータ等によって構成することができる。
ガスユニット1と異なり、ガスユニット2を構成する流体供給ラインL1、L2、L3は夫々、別個にライン外の機構と接続されている。
なお、各流体供給ラインL1、L2、L3において、流量制御装置FからバルブV1への接続はガスユニット1と同様である。
なお、各流体供給ラインL1、L2、L3において、継手J11、J12、J13から流量制御装置FやバルブV1への接続はガスユニット1と同様である。
また、本発明の実施形態は上述した実施形態に限定されることはなく、当業者であれば、本発明の範囲を逸脱しない範囲において、構成、手段、あるいは機能の変更や追加等が種々、可能である。
また、いずれの位置センサを用いる場合でも、位置検出精度は±0.01mmから±0.001mmに収まるものを選定することが望ましい。当該半導体製造プロセス向けのバルブとしては微細な流体制御を実現するために±0.01mm程度の微細な開度制御が必要になる半面、±0.001mmを超える検出精度を用いるとバルブV1近傍の真空ポンプ等が発生させる振動を検出しノイズを生じてしまうためである。
以上の本実施形態において、バルブV1とは構造を異にした他の実施形態に係るバルブV2について、図13〜図18を参照して説明する。
図13に示されるバルブV2は、エア作動式のダイレクトダイヤフラムバルブであり、図14〜図16に示されるように、バルブボディ6、ボンネット部7、カバー部8、アクチュエータ部9を備える。
基台部61は平面視矩形状からなり、複数のバルブV2によって上述したガスユニット1(2)を構成する場合には、基板あるいはマニホールドブロック上に設置される部分となる。
この円筒部62には、軸心方向に長さを有し、ボンネット部7が配設される側であって基台部61とは反対側の一端が開口すると共に、外側から凹部62a側へ貫通したスリット62bが設けられている。このスリット62bを介して、ボンネットウォール75から延び出したフレキシブルケーブル76が内側から外側へ導出される。
なお、本例におけるボンネット74は、ボンネット74内に配設されたボンネットウォール75と共に、ダイヤフラム72の周縁を上面側から押さえる部材であり、上述したバルブV1における押えアダプタ52に相当する部材である。また、本例でダイヤフラム押え73と称しているものは、バルブV1におけるステム53と同様に、ダイヤフラム72を押圧する機能を果たすものである。
このダイヤフラム押え73は、略円柱状の基体部731と、ダイヤフラム72に当接する側の一端側において拡径した拡径部732からなる。
ダイヤフラム72はボンネット74の下端部とバルブボディ6との間に挟持されており、この部分でダイヤフラム72とバルブボディ6との間のシールが形成される。
ボンネット74の内部には、ダイヤフラム押え73が貫挿される貫挿孔741aが中心部に形成された略円盤状の仕切部741が設けられている。
仕切部741の上方ないしは、アクチュエータ部9が配設される側に形成される凹部74aには、ボンネットウォール75が収容される。仕切部741とボンネットウォール75には夫々、互いに対応する位置にネジ穴741bと貫通孔75eが設けられており、ボンネット74にボンネットウォール75がボルト75fによって螺設される。
また、ボンネット74の仕切部741には、ボンネットウォール75に取り付けられている圧力センサPに連通する連通孔741dが設けられている。連通孔741dを介して圧力センサPが設けられていることにより、仕切部741、ダイヤフラム72、及びダイヤフラム押えによって画定された閉空間S2内の圧力を測定することができる。
このカバー部8は、カバー81と平板状のプレート82、83を備える。
カバー81の両側面には、アクチュエータボディ91が嵌め込まれる位置に対応してネジ孔31aが設けられている。これにより、バルブボディ6が内側にはめ込まれた状態でネジ孔31aにネジ81bを螺入させ、ネジ81bの先端をバルブボディ6に圧接させると、バルブボディ6をカバー81の内側に挟持することができる。
このプレート82の下方には、舌片状に切り欠いた切欠部82aが形成されており、フレキシブルケーブル76はこの切欠部82aを介して、コネクタ78が設けられた回路基板77へ導出される。
このプレート83には、中央部に略矩形状の貫通孔83aが設けられており、回路基板77に設けられたコネクタ78はこの貫通孔83aから外側へ抜け出る。
このアクチュエータ部9は図14及び図15に示されるように、アクチュエータボディ91、アクチュエータキャップ92、ピストン93、バネ94を備える。なお、図16においては、アクチュエータ部9の内部構造を省略しているが、内部構造は図14及び図15に示されるとおりである。
このアクチュエータボディ91は図16に示されるように略円柱形状からなり、中心部には、ピストン93とダイヤフラム押え73が貫挿される貫挿孔91aが長さ方向に沿って設けられている。図13及び図14に示されるように、貫挿孔91a内ではピストン93とダイヤフラム押え73が当接しており、ダイヤフラム押え73はピストン93の上下動に連動して上下動する。
アクチュエータキャップ92の上端面には、ピストン93の駆動圧導入路932に連通する開口部92aが設けられている。
アクチュエータキャップ92の下端部は、アクチュエータボディ91の上部が螺合して閉止されている。
このピストン93の軸心方向略中央は円盤状に拡径しており、当該箇所は拡径部931を構成している。ピストン93は、拡径部931の上面側においてバネ94の付勢力を受ける。また、拡径部931の下端側には、駆動圧が供給される駆動圧導入室S1が形成される。
一方、駆動圧導入室S1にエアが導入されなくなると、ピストン93がバネ94の付勢力に従って下方に押し下げられる。これにより、ダイヤフラム72がシート71に当接して閉弁した状態となって、流体の流通が遮断される。
圧力センサPは図15に示されるように、ボンネットウォール75の下面、ないしは流路側に取り付けられており、連通孔741dを介して、ダイヤフラム72、ボンネット74の仕切部741、及びダイヤフラム押え73によって画定された閉空間S2に連通している。この圧力センサPは、圧力変化を検出する感圧素子や、感圧素子によって検出された圧力の検出値を電気信号に変換する変換素子等によって構成される。これにより圧力センサPは、ダイヤフラム72、ボンネット74の仕切部741、及びダイヤフラム押え73によって画定された閉空間S2内の圧力を検出することができる。
なお、圧力センサPが連通孔741dに通じる箇所にはパッキン26が介装されており、気密状態が担保されている。
なお、圧力センサPは、ゲージ圧あるいは大気圧のいずれを検出するものでもよい。
この磁気センサM4によって以下の通り、弁の開閉動作検知することができる。即ち、磁石M3がダイヤフラム押え73の上下動に応じて上下動するのに対し、磁気センサM4はボンネットウォール75及びボンネット74と共にバルブボディ6内に固定されている。この結果、ダイヤフラム押え73の上下動に従って上下動する磁石M3と、位置が固定されている磁気センサM4との間に発生する磁界の変化に基づき、ダイヤフラム押え73の動作、ひいては弁の開閉動作を検知することができる。
また、本実施形態に係るバルブV2においても、磁気センサM4を含む位置センサには、位置検出精度が±0.01mmから±0.001mmに収まるものを選定することが望ましい。当該半導体製造プロセス向けのバルブとしては微細な流体制御を実現するために±0.01mm程度の微細な開度制御が必要になる半面、±0.001mmを超える検出精度を用いるとバルブ近傍の真空ポンプ等が発生させる振動を検出しノイズを生じてしまうためである。
また、処理モジュールは回路基板77とは別に、バルブV2内に格納されていてもよいし、圧力センサP又は磁気センサM4の一部として構成されていてもよい。
また、コネクタ78の種類や形状は、各種の規格に応じて適宜に設計し得る。
なお、このようなダイヤフラム押え73の動作不良の判別は、磁気センサM4が、バルブV2の開閉動作に応じてピストン93やダイヤフラム押え73のように上下動しないダイヤフラム押え73に取り付けられていることで、ダイヤフラム押え73の相対的な動作を識別できるために可能となっている。したがって、ダイヤフラム押え73の動作を識別し、動作不良を判別可能とする点において、磁気センサM4が取り付けられるべき部材は、バルブV2の開閉動作にかかわらず所定の位置に固定されているものであればよい。
このように、バルブV2では、ピストン93とダイヤフラム押え73が別体で構成されていても、ダイヤフラム押え73の動作不良を判別することができる。
10、10a、10b、10c メインケーブル
101、102 分岐ケーブル
11、12、13 延長ケーブル
111、112、113、114 サブケーブル
121、122、123、124 サブケーブル
131、132、133、134 サブケーブル
20、20a、20b、20c メインチューブ
21、22、23 延長チューブ
211、212、213 延長チューブ
214、215、216、217、218 サブチューブ
221、222、223 延長チューブ
224、225、226、227、228 サブチューブ
231、232、233 延長チューブ
234、235、236、327、238 サブチューブ
3 バルブ本体
3a 駆動圧導入口
4 駆動圧制御装置
40 ケーシング
411、412 自動弁
421、422 弁駆動部
431、432、433 駆動圧導入路
44 排気通路
45 配線
51 ダイヤフラム
52 押えアダプタ
53 ステム
6 バルブボディ
61 基台部
62 円筒部
7 ボンネット部
71 シート
72 ダイヤフラム
73 ダイヤフラム押え
74 ボンネット
75 ボンネットウォール
76 フレキシブルケーブル
77 回路基板
78 コネクタ
8 カバー部
81 カバー
82 プレート
83 プレート
9 アクチュエータ部
91 アクチュエータボディ
92 アクチュエータキャップ
93 ピストン
94 バネ
L1、L2、L3 流体供給ライン
C1、C2、C3 分岐コネクタ
F(F1、F2、F3) 流量制御装置
J1 分岐継手
J11、J111、J112、J113 継手
J12、J121、J122、J123 継手
J13、J131、J132、J133 継手
M1、M3 磁石
M2、M4 磁気センサ
V1(V11〜V14、V21〜24、V31〜34)、V2 バルブ
P 圧力センサ
S1 駆動圧導入室
S2 閉空間
Claims (8)
- 動作異常を検知可能なバルブであって、
バルブの開閉動作に応じて摺動するステムと、
ダイヤフラムの周縁を押さえる押えアダプタと、
前記押えアダプタに取り付けられ、前記ステムの所定の箇所との距離変化を検出する位置センサと、
前記位置センサによって検出された異常診断時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化と、予め測定された正常時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化とを対比し、異常の有無を判定する異常判定手段と、を有する、
バルブ。 - 前記押えアダプタ近傍の所定の箇所に取り付けられた磁石、をさらに有し、
前記位置センサは、前記押えアダプタの内側であって、前記ステムに対向する面に取り付けられ、前記磁石との距離変化を検出する磁気センサからなり、
前記異常判定手段は、前記磁気センサによって検出された異常診断時の前記磁石と前記磁気センサの距離変化と、予め測定された正常時の前記磁石と前記磁気センサの距離変化とを対比し、異常の有無を判定する、
請求項1記載のバルブ。 - 前記異常判定手段は、異常診断時の前記ステムの上面又は下面の位置が正常時の上面又は下面の位置にあるか否かによって異常の有無を判定する、
請求項1又は2記載のバルブ。 - 前記異常判定手段は、異常診断時の前記ステムのストロークが正常時のストロークと一致するか否かによって異常の有無を判定する、
請求項1又は2記載のバルブ。 - 前記異常判定手段は、異常診断時の前記ステムの作動速度が正常時の作動速度と一致するか否かによって異常の有無を判定する、
請求項1又は2記載のバルブ。 - 前記位置センサの位置検出精度は±0.01mmから±0.001mmである、
請求項1乃至5いずれかの項に記載のバルブ - バルブの開閉動作に応じて摺動するステムと、
ダイヤフラムの周縁を押さえる押えアダプタと、
前記押えアダプタに取り付けられ、前記ステムの所定の箇所との距離変化を検出する位置センサと、を備えたバルブの異常診断方法であって、
前記位置センサによって検出された異常診断時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化と、予め測定された正常時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化とを対比し、異常の有無を判定する工程、を有する、
バルブの異常診断方法。 - バルブの開閉動作に応じて摺動するステムと、
ダイヤフラムの周縁を押さえる押えアダプタと、
前記押えアダプタに取り付けられ、前記ステムの所定の箇所との距離変化を検出する位置センサと、を備えたバルブの異常を診断するためのコンピュータプログラムであって、
コンピュータに対し、
前記位置センサによって検出された異常診断時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化と、予め測定された正常時の前記所定の箇所と前記位置センサの距離変化とを対比し、異常の有無を判定する処理、を実行させる、
コンピュータプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023010370A JP7495759B2 (ja) | 2017-11-29 | 2023-01-26 | バルブ、及びバルブの異常診断方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017229482 | 2017-11-29 | ||
JP2017229482 | 2017-11-29 | ||
PCT/JP2018/037417 WO2019106960A1 (ja) | 2017-11-29 | 2018-10-05 | バルブ、バルブの異常診断方法、及びコンピュータプログラム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023010370A Division JP7495759B2 (ja) | 2017-11-29 | 2023-01-26 | バルブ、及びバルブの異常診断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019106960A1 true JPWO2019106960A1 (ja) | 2020-11-19 |
Family
ID=66665521
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019557045A Pending JPWO2019106960A1 (ja) | 2017-11-29 | 2018-10-05 | バルブ、バルブの異常診断方法、及びコンピュータプログラム |
JP2023010370A Active JP7495759B2 (ja) | 2017-11-29 | 2023-01-26 | バルブ、及びバルブの異常診断方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023010370A Active JP7495759B2 (ja) | 2017-11-29 | 2023-01-26 | バルブ、及びバルブの異常診断方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20200393060A1 (ja) |
JP (2) | JPWO2019106960A1 (ja) |
KR (1) | KR102325938B1 (ja) |
CN (1) | CN111201396A (ja) |
SG (1) | SG11202003896RA (ja) |
TW (1) | TWI689674B (ja) |
WO (1) | WO2019106960A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
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- 2018-10-05 SG SG11202003896RA patent/SG11202003896RA/en unknown
- 2018-10-05 US US16/765,863 patent/US20200393060A1/en not_active Abandoned
- 2018-10-05 KR KR1020207010548A patent/KR102325938B1/ko active IP Right Grant
- 2018-10-05 WO PCT/JP2018/037417 patent/WO2019106960A1/ja active Application Filing
- 2018-10-05 JP JP2019557045A patent/JPWO2019106960A1/ja active Pending
- 2018-10-05 CN CN201880066457.9A patent/CN111201396A/zh active Pending
- 2018-11-22 TW TW107141683A patent/TWI689674B/zh active
-
2023
- 2023-01-26 JP JP2023010370A patent/JP7495759B2/ja active Active
- 2023-04-19 US US18/136,844 patent/US20230258281A1/en active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019106960A1 (ja) | 2019-06-06 |
CN111201396A (zh) | 2020-05-26 |
TW201925663A (zh) | 2019-07-01 |
KR20200047712A (ko) | 2020-05-07 |
KR102325938B1 (ko) | 2021-11-12 |
TWI689674B (zh) | 2020-04-01 |
JP2023038357A (ja) | 2023-03-16 |
US20200393060A1 (en) | 2020-12-17 |
US20230258281A1 (en) | 2023-08-17 |
JP7495759B2 (ja) | 2024-06-05 |
SG11202003896RA (en) | 2020-05-28 |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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