JPWO2018168878A1 - ゲートバルブ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、このゲートバルブ装置はリンク機構を用いているので、滑り摩擦による摩耗を防ぐことができ、ゲートバルブ装置による真空容器の開口の閉塞性の悪化を防止することができる。
さらに、リンク機構によりスライド部を進退移動させているので、スライド部には進退移動の間に速度変化が生じるため、その速度変化を活かして弁体の移動速度を減速させながら閉塞させることができる。そのため、弁体や弁体に設けられたシール部材等に加わる衝撃を小さくすることができる。その結果、弁体やシール部材等の破損を防ぐことができる。
この構成であれば、リンク機構がガイド部の内側に位置する構成となるため、ゲートバルブ装置の小型化することが可能となる。
スライド部の回転を防止し、弁体により開口をより安定的に閉塞するためには、前記転動体が、前記スライド部がスライド移動する方向に沿って複数個設けられていることが好ましい。
このような構成であれば、スライド部は、一対の側壁のそれぞれの内面と、スライド移動する方向に沿って複数点で接触しているので、スライド移動させる際に、リンク機構との接続部を回転中心として回転することを防止できる。
このような構成であれば、付勢体によって、転動体がスライド部又はガイド部に押し付けられるので、転動体と、ガイド部又はスライド部との間のガタ付きをなくし、スライド部をガイド部に対してより安定してスライド移動させることができる。
この構成であれば、支持軸周りの構成を簡単にすることができ、ゲートバルブ装置を小型化することができる。
この構成であれば、弁体を交換する場合に弁体とともに進退移動機構及び支持軸を真空容器から取り外す必要が無く、弁体のメンテナンスを容易にすることができる。また、弁体の一方の端部に設けられた進退移動機構及び支持軸のみを取り外すこともでき、それらのメンテナンスも容易にすることができる。
10、11・・・真空容器
10H、11H・・・開口
2・・・弁体
P・・・対向位置
Q・・・退避位置
R・・・閉塞位置
3・・・支持軸
4・・・進退移動機構
41・・・ガイド部
41b、41c・・・一対の側壁
42・・・スライド部
43・・・リンク機構
44・・・駆動部
45・・・転動体
本実施形態のゲートバルブ装置100は、例えばスパッタリングやCVDなどのプラズマを用いた真空処理装置に用いられるものである。このゲートバルブ装置100は、図1〜図3に示すように、2つの真空容器10、11の間に設けられてそれら2つの真空容器10、11の開口10H、11Hを連通又は遮断するものである。2つの真空容器10、11は、ロードロック室を形成する真空容器、予備加熱室を形成する真空容器又は基板処理室を形成する真空容器の何れか2つである。
このように構成した本実施形態のゲートバルブ装置100によれば、リンク機構43を用いて弁体2を真空容器11の開口11H、つまり筐体6の開口6H2に対して進退移動させているので、カム機構を用いた場合に比べて摺動により生じる塵埃を低減することができる。その結果、ゲートバルブ装置100の動作に起因する基板Wの汚染を防ぐことができる。
また、このゲートバルブ装置100はリンク機構43を用いているので、滑り摩擦による摩耗を防ぐことができ、ゲートバルブ装置100による真空容器11の開口11H、つまり筐体6の開口6H2の閉塞性の悪化を防止することができる。
さらに、リンク機構43によりスライド部42を進退移動さているので、スライド部42には進退移動の間に速度変化が生じるため、その速度変化を活かして弁体2の移動速度を減速させながら閉塞位置Rとなるようにすることができる。そのため、弁体2や弁体2に設けられたシール部材21等に加わる衝撃を小さくすることができる。その結果、弁体2やシール部材21等の破損を防ぐことができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
このようなものであれば、一対の側壁41b、41cのそれぞれの内面に、スライド方向に沿って複数個(例えば2つ)のローラ45が接触するように設けられているので、スライド部42自身が、軸部材43cを回転中心にして回転することを防止できる。これにより、弁体2は、閉塞位置Rにおいて、開口6H2をより安定的に閉塞することができる。
なお、側壁41b(又は側壁41c)の内面に、スライド方向に沿って複数個のローラ45が接触し、側壁41c(又は側壁41b)の内面に1つのローラ45が接触するようにしても、同様の効果を得ることができる。
図11に示すように、付勢体46は、スライド部42のスライド方向に対して垂直な方向に沿って伸び縮みできるように、その一端がスライド部42に取付けられる。側壁41c側のローラ45は付勢体46の他端に接続されており、これによりスライド部42に対して前記垂直な方向に変位できるように構成されている。そして、この付勢体46は、弁体2が対向位置P、退避位置Q、閉塞位置R及びこれらの間の位置のいずれにあっても、ローラ45及びスライド部12の間で常に圧縮されており、復元力が働くように構成されている。
なお、この実施形態において付勢体46は圧縮コイルバネであったが、これに限定されない。付勢体46は、圧縮方向の荷重を受けて反発力(復元力)を生じるものであればよく、例えばゴムなどの弾性部材であってもよい。
また、付勢体46は、側壁41b側のローラ45に接続されてもよく、一対の側壁41b、41cのいずれ側のローラ45に接続されていてもよい。
Claims (6)
- 真空容器の開口を開閉する弁体と、
前記弁体の両端部に設けられ、前記弁体を回転させるための支持軸と、
前記弁体及び前記支持軸の間に介在して設けられ、前記弁体を前記支持軸に直交する方向に進退移動させる進退移動機構とを備え、
前記進退移動機構は、
前記支持軸側に設けられたガイド部と、
前記弁体側に設けられ、前記ガイド部をスライド移動するスライド部と、
一端が前記スライド部に接続されたリンク機構と、
前記リンク機構の他端が接続され、前記リンク機構を駆動させる駆動部とを備えるゲートバルブ装置。 - 前記ガイド部は、相対向する一対の側壁を有するものであり、
前記スライド部は、前記一対の側壁の内面をスライド移動するものであり、
前記リンク機構は、前記一対の側壁の間に設けられている、請求項1記載のゲートバルブ装置。 - 前記スライド部は、転動体を介して前記ガイド部に対してスライド移動するものである、請求項1又は2記載のゲートバルブ装置。
- 前記転動体は、前記スライド部がスライド移動する方向に沿って複数個設けられている、請求項2を引用する請求項3記載のゲートバルブ装置。
- 前記転動体は、前記スライド部又は前記ガイド部の一方に設けられており、
前記進退移動機構は、前記転動体を前記スライド部又は前記ガイド部の他方に対して押し付ける付勢体を有するものである、請求項3又は4記載のゲートバルブ装置。 - 前記駆動部は、前記支持軸の内部を通じて前記リンク機構の他端に接続されている、請求項1乃至5の何れか一項に記載のゲートバルブ装置。
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