JPWO2018143420A1

JPWO2018143420A1 - Liquid supply system

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Publication number: JPWO2018143420A1
Application number: JP2018566133A
Authority: JP
Inventors: 清隆古田; 浩一森; 寛 ▲高▼田
Original assignee: Eagle Industry Co Ltd
Current assignee: Eagle Industry Co Ltd
Priority date: 2017-02-03
Filing date: 2018-02-02
Publication date: 2019-11-21
Also published as: RU2019122417A3; EP3578820A1; RU2019122417A; CN110177944A; WO2018143420A1; KR20190098228A; US20200032785A1

Abstract

効率良く冷却することが可能な液体供給システムを提供する。内部にポンプ室Ｐ１、Ｐ２が備えられ、かつ液体の吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられている容器１３０と、前記容器１３０の送出口１３１ｃから排出される前記液体を外部へ導く送出管３２０と、前記吸入口１３１ｂから前記ポンプ室Ｐ１，Ｐ２を通り、更に、前記ポンプ室Ｐ１，Ｐ２から前記送出口１３１ｃに向けて鉛直方向下方に前記液体が流れる流路と、前記流路内に配置される第１開口部６０１と、前記第１開口部６０１よりも前記流路内の下流側に設けられる第２開口部６０４と、前記第１開口部６０１と前記第２開口部６０４とを接続するガス抜き管６０２と、を備え、前記第１開口部６０１よりも前記第２開口部６０４が鉛直方向上方に配置されていることを特徴とする液体供給システム。Provided is a liquid supply system capable of efficiently cooling. A container 130 provided with pump chambers P1 and P2 and provided with a liquid inlet 131b and an outlet 131c, and a delivery pipe 320 for guiding the liquid discharged from the outlet 131c of the container 130 to the outside. A flow path through which the liquid flows from the suction port 131b through the pump chambers P1 and P2 and further downward in the vertical direction from the pump chambers P1 and P2 toward the delivery port 131c; Connecting the first opening 601 to the first opening 601, the second opening 604 provided downstream of the first opening 601 in the flow path, and the first opening 601 and the second opening 604. A liquid supply system, wherein the second opening 604 is disposed above the first opening 601 in the vertical direction.

Description

本発明は、液体を供給する液体供給システムに関する。 The present invention relates to a liquid supply system for supplying a liquid.

循環流路に対して液体を循環させる液体供給システムとして、ベローズにより形成されたポンプ室を有するベローズポンプを用いたものが知られている（特許文献１参照）。このシステムは、鉛直上下方向に並べられた２つのポンプ室を有し、各ポンプ室を構成するベローズは、アクチュエータによって上下方向に駆動される軸に固定され、軸の運動に連動して上下方向に伸縮する。 As a liquid supply system for circulating a liquid with respect to a circulation channel, a system using a bellows pump having a pump chamber formed by a bellows is known (see Patent Document 1). This system has two pump chambers arranged vertically in the vertical direction, and the bellows constituting each pump chamber is fixed to a shaft driven in the vertical direction by an actuator, and is moved in the vertical direction in conjunction with the movement of the shaft. Extends and contracts.

ポンプ装置の全体は断熱のために真空容器に収容され、真空容器の上方にアクチュエータが設置される。ポンプ装置に外部から液体を供給する吸入管と、ポンプ装置からの液体を外部へ排出する送出管は、断熱のために外気からできるだけ離した位置でポンプ装置に接続することが望ましい。そのため、吸入管及び送出管は、真空容器の上方から真空容器内に入り、ポンプ装置より低い位置まで延び、Ｕ字形状でポンプ装置の底部の開口に接続される。ポンプ装置と接続される配管をこのような形状にすることで、外部からの熱に対する高い断熱性能が実現される。このような構成のベローズポンプは、液体窒素や液体ヘリウム等の超低温液体を超伝導機器等の被冷却装置に供給する用途で好適に用いられる。 The entire pump device is housed in a vacuum vessel for heat insulation, and an actuator is installed above the vacuum vessel. It is desirable that the suction pipe for supplying the liquid to the pump apparatus from the outside and the delivery pipe for discharging the liquid from the pump apparatus to the outside are connected to the pump apparatus at a position as far as possible from the outside air for heat insulation. Therefore, the suction pipe and the delivery pipe enter the vacuum container from above the vacuum container, extend to a position lower than the pump apparatus, and are connected to the opening at the bottom of the pump apparatus in a U shape. By making piping connected with a pump apparatus into such a shape, the high heat insulation performance with respect to the heat from the outside is implement | achieved. The bellows pump having such a configuration is preferably used in an application for supplying an ultra-low temperature liquid such as liquid nitrogen or liquid helium to a cooled apparatus such as a superconducting device.

ところで、常温環境下で組み立てられたりメンテナンスされたりしたベローズポンプを低温液体の供給に用いるべく稼働させる場合、まずポンプ装置の構成部材を常温から低温液体の温度まで冷却する工程が必要になる。構成部材の温度が高いとベローズ室内で低温液体が蒸発し、気液混合状態となり、ポンプが適切に作動しないからである。ポンプ装置を冷却する方法としては、ポンプ装置に低温液体を流し込んで構成部材と低温液体との間で熱交換を行わせ、徐々に構成部材の温度を下げていく方法がある。この方法では、ポンプ装置の底部から流入した低温液体は、まず下部のベローズポンプ室、次いで上部のベローズポンプ室、といったように徐々にポンプ装置内を満たしていき、低温液体の水位が上昇していく。しかしながら、この冷却方法でベローズポンプを稼働可能な温度まで冷却するためには長大な時間を要するという課題がある。 By the way, when a bellows pump assembled or maintained in a room temperature environment is operated to be used for supplying a cryogenic liquid, first, a step of cooling the constituent members of the pump device from the room temperature to the temperature of the cryogenic liquid is required. This is because if the temperature of the constituent member is high, the low-temperature liquid evaporates in the bellows chamber and enters a gas-liquid mixed state, and the pump does not operate properly. As a method for cooling the pump device, there is a method in which a cryogenic liquid is poured into the pump device to cause heat exchange between the component member and the cryogenic liquid, and the temperature of the component member is gradually lowered. In this method, the cryogenic liquid that has flowed in from the bottom of the pump device gradually fills the pump device, such as the lower bellows pump chamber and then the upper bellows pump chamber, and the water level of the cryogenic liquid rises. Go. However, there is a problem that it takes a long time to cool the bellows pump to a temperature at which the bellows pump can be operated by this cooling method.

その理由は、ポンプ装置内の低温液体の水位が低い状態では、ポンプ構成部材と低温液体との接液面積が小さいため、冷却工程の初期では冷却効率が低い。また、ポンプ構成部材の温度が高い状態では、低温液体が蒸発してポンプ室内にガスが滞留し、低温液体の流入を阻害する。また、２つのベローズポンプ室が上下に並べられた構成のため、上のポンプ室を第１ポンプ室、下のポンプ室を第２ポンプ室とすると、ポンプ装置に流し込まれた液体が第２ポンプ室の排出口から流出してしまい、第２ポンプ室の排出口の高さより上に水位が上昇しにくい。そのため、第２ポンプ室の排出口より上に第１ポンプ室がある場合、第１ポンプ室の冷却に時間がかかる。また、ポンプ構成部材は高吐出圧を得るために高剛性の金属材料が用いられるが、熱伝導率の高い金属の表面に低温液体が接すると、低温液体が気化して生じたガスにより金属の表面が覆われる。この現象は膜沸騰と呼ばれる。この金属表面に形成されるガス層が断熱層として作用し、低温液体とポンプ構成部材との熱伝達を阻害する。 The reason for this is that, when the water level of the cryogenic liquid in the pump device is low, the liquid contact area between the pump constituent member and the cryogenic liquid is small, so the cooling efficiency is low at the beginning of the cooling process. Further, when the temperature of the pump constituent member is high, the cryogenic liquid evaporates and the gas stays in the pump chamber, thereby inhibiting the inflow of the cryogenic liquid. Further, since the two bellows pump chambers are arranged vertically, when the upper pump chamber is the first pump chamber and the lower pump chamber is the second pump chamber, the liquid poured into the pump device is the second pump chamber. It flows out of the discharge port of the chamber, and the water level does not easily rise above the height of the discharge port of the second pump chamber. Therefore, when the first pump chamber is above the outlet of the second pump chamber, it takes time to cool the first pump chamber. The pump component is made of a highly rigid metal material in order to obtain a high discharge pressure. However, when the cryogenic liquid comes into contact with the surface of the metal having a high thermal conductivity, the gas generated by the vaporization of the cryogenic liquid is used. The surface is covered. This phenomenon is called film boiling. The gas layer formed on the metal surface acts as a heat insulating layer, and inhibits heat transfer between the low temperature liquid and the pump component.

国際公開第２０１６／００６６４８号International Publication No. 2016/006648

本発明の目的は、効率良く冷却することが可能な液体供給システムを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a liquid supply system that can be efficiently cooled.

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
すなわち、本発明の液体供給システムは、
内部にポンプ室が備えられ、かつ液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、
前記送出口から排出される前記液体を外部へ導く送出管と、
前記吸入口から前記ポンプ室を通り、更に、前記ポンプ室から前記送出口に向けて鉛直方向下方に前記液体が流れる流路と、
前記流路内に配置される第１開口部と、前記第１開口部よりも前記流路内の下流側に設けられる第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部とを接続するガス抜き管と、
を備え、
前記第１開口部よりも前記第２開口部が鉛直方向上方に配置されていることを特徴とする。The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
That is, the liquid supply system of the present invention is
A container having a pump chamber therein and provided with a liquid inlet and outlet;
A delivery pipe for guiding the liquid discharged from the delivery port to the outside;
A flow path through which the liquid flows from the suction port through the pump chamber, and further vertically downward from the pump chamber toward the delivery port;
A first opening disposed in the flow path, a second opening provided downstream of the first opening in the flow path, and the first opening and the second opening. A venting pipe to be connected;
With
The second opening is arranged vertically above the first opening.

本発明の液体供給システムは、ポンプ室から鉛直方向下方に液体が流れる流路を含むことになる。従って、鉛直方向下方に液体が溜まっていると、容器内にガスが生じた場合に、容器内のガスが排出されなくなる。例えば常温環境下にある液体供給システムを超低温液体の循環に用いるための稼働前の冷却工程において、冷却用にシステムに流し込んだ液体が容器内で蒸発することで、このような状況が生じる可能性がある。
本発明の液体供給システムによれば、このように容器内にガスが存在する場合、すなわちポンプ室を通る流路内にガスが存在する場合、ガス抜き管を通して流路内のガスを容器の外部に排出することができる。従って、容器内にガスが溜まることを抑制できる。容器内にガスが溜まっていると、低温液体を流し込んでシステムを冷却する場合に、低温液体を流し込みにくくなり、冷却工程に要する時間が長くなることがあるが、本発明によれば、容器内にガスが溜まることを抑制できるため、冷却工程に要する時間を短縮できる。従って、低温液体を流し込むことにより液体供給システムを効率良く冷却することができる。本発明によれば、常温環境下にある液体供給システムを冷却する工程に要する時間を短縮できるので、システムの設置作業やメンテナンス作業の工数増加を抑制できる。また、冷却工程における低温液体の消費量を抑制できる。The liquid supply system of the present invention includes a flow path through which liquid flows vertically downward from the pump chamber. Therefore, if the liquid is accumulated in the lower part in the vertical direction, the gas in the container is not discharged when the gas is generated in the container. For example, in a cooling process before operation for using a liquid supply system in a room temperature environment for circulation of ultra-low temperature liquid, such a situation may occur if the liquid poured into the system for cooling evaporates in the container There is.
According to the liquid supply system of the present invention, when gas is present in the container as described above, that is, when gas is present in the flow path passing through the pump chamber, the gas in the flow path is removed from the container through the gas vent pipe. Can be discharged. Therefore, accumulation of gas in the container can be suppressed. If gas is accumulated in the container, when the system is cooled by pouring the cryogenic liquid, it becomes difficult to pour the cryogenic liquid and the time required for the cooling process may be increased. Therefore, the time required for the cooling process can be shortened. Therefore, the liquid supply system can be efficiently cooled by pouring the low temperature liquid. According to the present invention, since the time required for the process of cooling the liquid supply system in a room temperature environment can be shortened, an increase in man-hours for system installation work and maintenance work can be suppressed. Moreover, the consumption of the low temperature liquid in a cooling process can be suppressed.

前記第２開口部が前記送出管内に設けられているとよい。 The second opening may be provided in the delivery pipe.

これにより、ポンプ室の上部に溜まるガスを送出管に排出することができ、送出管や液体が供給された先に設けられるガス抜き機構を共有することができ、システム全体として液体が外部に接触する箇所を少なくすることができるため、熱交換が起こり難く、低温液体の消費量を抑制できる。 As a result, the gas accumulated in the upper part of the pump chamber can be discharged to the delivery pipe, and the gas vent mechanism provided at the delivery pipe and the liquid supply destination can be shared. Since the number of locations to be reduced can be reduced, heat exchange is unlikely to occur and consumption of the low-temperature liquid can be suppressed.

本発明は、ベローズポンプを備える液体供給システムに適用できる。すなわち、
前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、
鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、
を有し、前記ポンプ室は、
前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、
前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、
からなり、前記流路は、
前記吸入口から前記第１ポンプ室を通り前記送出口に向けて液体が流れる第１流路と、
前記吸入口から前記第２ポンプ室を通り前記送出口に向けて液体が流れる第２流路と、
を含み、
前記ガス抜き管は、前記第１流路及び前記第２流路のうち少なくとも一方に設けられている構成としてもよい。The present invention can be applied to a liquid supply system including a bellows pump. That is,
A shaft member that reciprocates in the vertical direction in the container;
A first bellows and a second bellows that are arranged side by side in the vertical direction and expand and contract with the reciprocation of the shaft member;
The pump chamber has
A first pump chamber formed by a space surrounding an outer peripheral surface of the first bellows;
A second pump chamber formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the second bellows;
And the flow path is
A first flow path through which liquid flows from the suction port through the first pump chamber toward the delivery port;
A second flow path through which liquid flows from the suction port through the second pump chamber toward the delivery port;
Including
The gas vent pipe may be provided in at least one of the first flow path and the second flow path.

この液体供給システムでは、鉛直上方にあるポンプ室にガスが溜まりやすい。上記構成によれば、第１流路及び第２流路の少なくとも一方にガス抜き管が設けられるので、上方にあるポンプ室を通る流路に溜まったガスを容易に外部に排出することができる。この液体供給システムによれば、低温液体を第１ポンプ室及び第２ポンプ室に流し込むことにより各ポンプ室を効率良く冷却することができる。 In this liquid supply system, gas tends to accumulate in the pump chamber located vertically above. According to the above configuration, since the gas vent pipe is provided in at least one of the first flow path and the second flow path, the gas accumulated in the flow path passing through the upper pump chamber can be easily discharged to the outside. . According to this liquid supply system, each pump chamber can be efficiently cooled by pouring low temperature liquid into the first pump chamber and the second pump chamber.

前記第１ポンプ室は前記第２ポンプ室より鉛直方向上方に設けられ、
前記第１開口部は、前記第１ポンプ室の出口より鉛直方向上方に設けられる構成としてもよい。The first pump chamber is provided vertically above the second pump chamber,
The first opening may be provided vertically above the outlet of the first pump chamber.

この液体供給システムでは、鉛直方向上方にある第１ポンプ室の出口の近傍の領域に、ガスが溜まりやすい。上記構成によれば、この第１ポンプ室の出口より鉛直方向上方にガス抜き管の第１開口部が設けられるので、容器内のガスを容易に排出することができる。 In this liquid supply system, gas tends to accumulate in a region in the vicinity of the outlet of the first pump chamber that is above the vertical direction. According to the said structure, since the 1st opening part of a degassing pipe is provided in the perpendicular direction upper direction from the exit of this 1st pump chamber, the gas in a container can be discharged | emitted easily.

なお、上記各構成は、可能な限り組み合わせて採用し得る。 In addition, said each structure can be employ | adopted combining as much as possible.

以上説明したように、本発明の液体供給システムは、効率良く冷却することができる。 As described above, the liquid supply system of the present invention can be efficiently cooled.

図１は本発明の実施例に係る液体供給システムの概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system according to an embodiment of the present invention. 図２は本発明の実施例に係る液体供給システムの概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system according to an embodiment of the present invention. 図２は本発明の実施例に係る液体供給システムの模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a liquid supply system according to an embodiment of the present invention.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. .

（実施例）
図１〜図３を参照して、本発明の実施例に係る液体供給システムについて説明する。本実施例に係る液体供給システムは、例えば、超電導機器を超低温状態に維持させるために好適に用いることができる。すなわち、超電導機器においては、超電導コイルなどを常時冷却させる必要がある。そこで、超電導コイルなどが備えられた被冷却装置に超低温の液体（液体窒素や液体ヘリウム）を常時供給することで、被冷却装置は常時冷却される。より具体的には、被冷却装置を通る循環流路を設け、かつ、この循環流路中に本実施例に係る液体供給システムを取り付けることにより、超低温の液体を循環させて、被冷却装置を常時冷却させることが可能となる。(Example)
A liquid supply system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The liquid supply system according to the present embodiment can be suitably used, for example, to maintain the superconducting device in an ultra-low temperature state. That is, in a superconducting device, it is necessary to always cool a superconducting coil or the like. Therefore, the apparatus to be cooled is always cooled by always supplying an ultra-low temperature liquid (liquid nitrogen or liquid helium) to the apparatus to be cooled provided with a superconducting coil. More specifically, by providing a circulation flow path that passes through the apparatus to be cooled, and by attaching the liquid supply system according to the present embodiment in the circulation flow path, the ultra low temperature liquid is circulated to It becomes possible to always cool.

＜液体供給システムの全体構成＞
図１、図２は本発明の実施例に係る液体供給システム全体の概略構成図であり、液体供給システム全体の概略構成を断面的に示した図である。なお、図１、図２は、液体供給システムをその中心軸線を含む面で切断した断面による概略構成を示しているが、説明の便宜上、円筒形状の液体供給システムの周方向の異なる位相における断面を１枚の図面で表している。具体的には、図１、図２の中心軸線より左側には、ガス抜き管が明確になる位相（図３のＢＢで示す位相）における断面を示し、図１の中心軸線より右側には、第２ポンプ室を通る第２流路が明確になる位相（図３のＤＤで示す位相）における断面を示し、図２の中心軸線より右側には、第１ポンプ室を通る第１流路が明確になる位相（図３のＣＣで示す位相）における断面を示している。<Overall configuration of liquid supply system>
FIG. 1 and FIG. 2 are schematic configuration diagrams of the entire liquid supply system according to the embodiment of the present invention, and are sectional views showing a schematic configuration of the entire liquid supply system. 1 and 2 show a schematic configuration of a cross section obtained by cutting the liquid supply system along a plane including its central axis, but for convenience of description, cross sections at different phases in the circumferential direction of the cylindrical liquid supply system. Is shown in one drawing. Specifically, on the left side of the central axis in FIGS. 1 and 2, a cross section at a phase (phase indicated by BB in FIG. 3) where the degassing pipe becomes clear is shown, and on the right side of the central axis in FIG. The cross section in the phase (phase shown by DD of FIG. 3) in which the second flow path passing through the second pump chamber becomes clear is shown, and the first flow path passing through the first pump chamber is on the right side of the central axis in FIG. The cross section in the phase (phase shown by CC of FIG. 3) which becomes clear is shown.

本実施例に係る液体供給システム１０は、液体供給システム本体（以下、システム本体１００と称する）と、システム本体１００が内部に設置される真空容器２００と、配管（吸入管３１０及び送出管３２０）とを備えている。吸入管３１０及び送出管３２０は、いずれも真空容器２００の外部から真空容器２００の内部に入り込み、システム本体１００に接続されている。真空容器２００の内部は密閉されており、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側の空間は真空状態が維持されている。これにより、この空間は断熱機能を備えている。液体供給システム１０は、通常、水平面上に設置される。液体供給システム１０が設置された状態において、図１、図２における上方が鉛直方向上方となり、図１、図２における下方が鉛直方向下方となる。 The liquid supply system 10 according to the present embodiment includes a liquid supply system main body (hereinafter referred to as the system main body 100), a vacuum container 200 in which the system main body 100 is installed, and piping (a suction pipe 310 and a delivery pipe 320). And. Both the suction pipe 310 and the delivery pipe 320 enter the inside of the vacuum container 200 from the outside of the vacuum container 200 and are connected to the system main body 100. The inside of the vacuum container 200 is sealed, and the space outside the system main body 100, the suction pipe 310, and the delivery pipe 320 is maintained in a vacuum state in the vacuum container 200. Thereby, this space has a heat insulating function. The liquid supply system 10 is usually installed on a horizontal plane. In the state in which the liquid supply system 10 is installed, the upper side in FIGS. 1 and 2 is the upper side in the vertical direction, and the lower side in FIGS. 1 and 2 is the lower side in the vertical direction.

システム本体１００は、駆動源となるリニアアクチュエータ１１０と、リニアアクチュエータ１１０により鉛直方向に往復移動する軸部材１２０と、容器１３０とを備えている。なお、リニアアクチュエータ１１０は任意の箇所に固定され、固定される箇所は容器１３０でもよいし、他の図示しない箇所でもよい。容器１３０は、ケース部１３１を備えている。軸部材１２０は、容器１３０の外部から、ケース部１３１の天井部に設けられた開口部１３１ａを介して容器内部に入り込むように設置されている。また、ケース部１３１の底部には、流体の吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられている。上記の吸入管３１０は吸入口１３１ｂが設けられた位置に接続され、送出管３２０は、送出口１３１ｃが設けられた位置に接続されている。 The system main body 100 includes a linear actuator 110 serving as a driving source, a shaft member 120 that reciprocates in the vertical direction by the linear actuator 110, and a container 130. The linear actuator 110 is fixed at an arbitrary place, and the place to be fixed may be the container 130 or another place not shown. The container 130 includes a case portion 131. The shaft member 120 is installed from the outside of the container 130 so as to enter the inside of the container through an opening 131 a provided in the ceiling part of the case part 131. Further, a fluid suction port 131b and a delivery port 131c are provided at the bottom of the case portion 131. The suction pipe 310 is connected to a position where the suction port 131b is provided, and the delivery pipe 320 is connected to a position where the delivery port 131c is provided.

ケース部１３１の内部においては、複数の部材が備えられており、これら複数の部材により区画された複数の空間によって、複数のポンプ室と、液体の流路と、断熱用の真空室が形成されている。以下、このケース部１３１の内部の構成について、より詳細に説明する。 A plurality of members are provided in the case portion 131, and a plurality of spaces partitioned by the plurality of members form a plurality of pump chambers, a liquid flow path, and a heat insulating vacuum chamber. ing. Hereinafter, the internal configuration of the case portion 131 will be described in more detail.

軸部材１２０は、内部に中空部を有する軸本体部１２１と、軸本体部１２１の外周面側を囲むように設けられる円筒部１２２と、軸本体部１２１と円筒部１２２を連結する連結部１２３とを有している。また、円筒部１２２の上端には上端側外向きフランジ部１２２ａが設けられ、円筒部１２２の下端には下端側外向きフランジ部１２２ｂが設けられている。 The shaft member 120 includes a shaft main body portion 121 having a hollow portion therein, a cylindrical portion 122 provided so as to surround the outer peripheral surface side of the shaft main body portion 121, and a connecting portion 123 that connects the shaft main body portion 121 and the cylindrical portion 122. And have. Further, an upper end side outward flange portion 122 a is provided at the upper end of the cylindrical portion 122, and a lower end side outward flange portion 122 b is provided at the lower end of the cylindrical portion 122.

ケース部１３１は、略円筒状の胴体部１３１Ｘと、底板部１３１Ｙとを備えている。また、胴体部１３１Ｘには、高さ方向の中央付近に設けられる第１内向きフランジ部１３１Ｘａと、上方に設けられる第２内向きフランジ部１３１Ｘｂとが設けられている。 The case portion 131 includes a substantially cylindrical body portion 131X and a bottom plate portion 131Y. The body portion 131X is provided with a first inward flange portion 131Xa provided near the center in the height direction and a second inward flange portion 131Xb provided above.

胴体部１３１Ｘの内部には、第１内向きフランジ部１３１Ｘａよりも下方に備えられ、軸方向に延びる第１流路１３１Ｘｃが、周方向に間隔を空けて複数形成されている。第１流路１３１Ｘｃは、流路１３１ｄと第１ポンプ室Ｐ１の入口４０１とを接続する。
また、胴体部１３１Ｘの内部には、第１内向きフランジ部１３１Ｘａよりも上方に備えられ、軸方向に延びる第３流路１３１Ｘｇが、周方向に間隔を空けて複数形成されている。第３流路１３１Ｘｇは、第２ポンプ室Ｐ２の出口４０４に接続する。
また、胴体部１３１Ｘの内部には、第１流路１３１Ｘｃが設けられている領域よりも更に径方向外側において、軸方向に伸びる円筒状の空間で構成された第２流路１３１Ｘｄも設けられている。第２流路１３１Ｘｄは第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２に接続し、第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２の高さまで伸びる。
また、ケース部１３１の底部には、径方向外側に向かって伸び、第１流路１３１Ｘｃに繋がる流路１３１ｄが円周状に一様に形成されている。
更に、ケース部１３１における底板部１３１Ｙには、径方向外側に向かって伸びる流路１３１ｅが円周状に一様に形成されている。流路１３１ｅは、第２ポンプ室Ｐ２の入口４０３に接続する。
つまり、これらの流路１３１ｄ及び流路１３１ｅは、中心軸線側から径方向外側に向かって、放射状に３６０°全ての方向に液体が流れ得るように構成されている。第１ポンプ室Ｐ１を通る流路は、流路１３１ｄと、第１流路１３１Ｘｃと、第２流路１３１Ｘｄと、からなる。第２ポンプ室Ｐ２を通る流路は、流路１３１ｅと、第３流路１３１Ｘｇと、第２流路１３１Ｘｄと、からなる。A plurality of first flow paths 131Xc that are provided below the first inward flange portion 131Xa and extend in the axial direction are formed in the body portion 131X at intervals in the circumferential direction. The first flow path 131Xc connects the flow path 131d and the inlet 401 of the first pump chamber P1.
Further, a plurality of third flow paths 131Xg that are provided above the first inward flange portion 131Xa and extend in the axial direction are formed in the body portion 131X at intervals in the circumferential direction. The third channel 131Xg is connected to the outlet 404 of the second pump chamber P2.
In addition, a second flow path 131Xd configured by a cylindrical space extending in the axial direction is further provided inside the body portion 131X at a radially outer side than a region where the first flow path 131Xc is provided. Yes. The second flow path 131Xd is connected to the outlet 402 of the first pump chamber P1, and extends to the height of the outlet 402 of the first pump chamber P1.
A flow path 131d that extends radially outward and is connected to the first flow path 131Xc is uniformly formed on the bottom of the case portion 131 in a circumferential shape.
Further, the bottom plate portion 131Y of the case portion 131 is uniformly formed with a circumferential channel 131e extending outward in the radial direction. The channel 131e is connected to the inlet 403 of the second pump chamber P2.
In other words, the flow channel 131d and the flow channel 131e are configured so that the liquid can flow radially in all directions from 360 ° toward the radially outer side. The flow path passing through the first pump chamber P1 includes a flow path 131d, a first flow path 131Xc, and a second flow path 131Xd. The flow path passing through the second pump chamber P2 includes a flow path 131e, a third flow path 131Xg, and a second flow path 131Xd.

また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２が設けられている。これらの第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２は、鉛直方向に並べて配置されている。第１ベローズ１４１の上端側は軸部材１２０における円筒部１２２の上端側外向きフランジ部１２２ａに固定されており、第１ベローズ１４１の下端側はケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されている。また、第２ベローズ１４２の上端側はケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａに固定されており、第２ベローズ１４２の下端側は軸部材１２０における円筒部１２２の下端側外向きフランジ部１２２ｂに固定されている。そして、第１ベローズ１４１の外周面を囲む空間により第１ポンプ室Ｐ１が形成されており、第２ベローズ１４２の外周面を囲む空間により第２ポンプ室Ｐ２が形成されている。 In addition, a first bellows 141 and a second bellows 142 that expand and contract with the reciprocation of the shaft member 120 are provided inside the container 130. The first bellows 141 and the second bellows 142 are arranged side by side in the vertical direction. The upper end side of the first bellows 141 is fixed to the upper end side outward flange portion 122a of the cylindrical portion 122 of the shaft member 120, and the lower end side of the first bellows 141 is fixed to the first inward flange portion 131Xa of the case portion 131. Has been. The upper end side of the second bellows 142 is fixed to the first inward flange portion 131Xa of the case portion 131, and the lower end side of the second bellows 142 is the lower end side outward flange portion 122b of the cylindrical portion 122 of the shaft member 120. It is fixed to. A first pump chamber P1 is formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the first bellows 141, and a second pump chamber P2 is formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the second bellows 142.

また、容器１３０の内部には、軸部材１２０の往復移動に伴って伸縮する第３ベローズ１５１及び第４ベローズ１５２も設けられている。第３ベローズ１５１の上端側はケース部１３１の天井部に固定されており、第３ベローズ１５１の下端側は軸部材１２０に固定されている。これにより、ケース部１３１に設けられた開口部１３１ａが塞がれている。第４ベローズ１５２の上端側はケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂに固定されており、第４ベローズ１５２の下端側は軸部材１２０における連結部１２３に固定されている。そして、軸部材１２０の軸本体部１２１の内部の中空部により形成される第１空間Ｋ１と、第３ベローズ１５１の外周面側及び第４ベローズ１５２の内周面側などにより形成される第２空間Ｋ２と、第１ベローズ１４１及び第２ベローズ１４２の内周面側と円筒部１２２の外周面側により形成される第３空間Ｋ３は繋がっている。これら第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３により形成される空間は密閉されている。本実施例では、これらにより形成される密閉空間は真空状態が維持されており、断熱機能を備えている。 The container 130 is also provided with a third bellows 151 and a fourth bellows 152 that expand and contract as the shaft member 120 reciprocates. The upper end side of the third bellows 151 is fixed to the ceiling portion of the case portion 131, and the lower end side of the third bellows 151 is fixed to the shaft member 120. Thereby, the opening part 131a provided in the case part 131 is closed. The upper end side of the fourth bellows 152 is fixed to a second inward flange portion 131Xb provided in the case portion 131, and the lower end side of the fourth bellows 152 is fixed to the connecting portion 123 in the shaft member 120. The second space formed by the first space K1 formed by the hollow portion inside the shaft main body 121 of the shaft member 120, the outer peripheral surface side of the third bellows 151, the inner peripheral surface side of the fourth bellows 152, and the like. The space K <b> 2 is connected to the third space K <b> 3 formed by the inner peripheral surface side of the first bellows 141 and the second bellows 142 and the outer peripheral surface side of the cylindrical portion 122. A space formed by the first space K1, the second space K2, and the third space K3 is sealed. In the present embodiment, the sealed space formed by these is maintained in a vacuum state and has a heat insulating function.

更に、容器１３０の内部には、４つの逆止弁１６０（取り付けられた位置に応じて、適宜、第１逆止弁１６０Ａ，第２逆止弁１６０Ｂ，第３逆止弁１６０Ｃ及び第４逆止弁１６０Ｄと称する）が設けられている。また、第１逆止弁１６０Ａと第２逆止弁１６０Ｂは、第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２を介してリニアアクチュエータ１１０とは反対側（鉛直方向下方側）に配置されている。そして、第３逆止弁１６０Ｃと第４逆止弁１６０Ｄは、第１逆止弁１６０Ａと第２逆止弁１６０Ｂよりも鉛直方向上方側に配置されている。 Furthermore, inside the container 130, there are four check valves 160 (first check valve 160A, second check valve 160B, third check valve 160C and fourth check valve according to the position of attachment). A stop valve 160D). In addition, the first check valve 160A and the second check valve 160B are disposed on the opposite side (vertical direction lower side) from the linear actuator 110 via the first pump chamber P1 and the second pump chamber P2. The third check valve 160C and the fourth check valve 160D are arranged on the upper side in the vertical direction than the first check valve 160A and the second check valve 160B.

また、第１逆止弁１６０Ａと第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路上に設けられている。これら第１逆止弁１６０Ａ及び第３逆止弁１６０Ｃは、第１ポンプ室Ｐ１によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第１ポンプ室Ｐ１に対して、上流側に第１逆止弁１６０Ａが設けられ、下流側に第３逆止弁１６０Ｃが設けられている。更に具体的には、第１逆止弁１６０Ａは、ケース部１３１の底部に形成された流路１３１ｄ上に設けられている。また、第３逆止弁１６０Ｃは、ケース部１３１に設けられた第２内向きフランジ部１３１Ｘｂの付近に形成される流路上に設けられている。具体的には、第１ポンプ室Ｐ１の上部に設けられる。ポンプ室の上部とは、ポンプ室として機能する領域において鉛直方向中央から上側、或いは、第１ポンプ室Ｐ１に存在する気体を排出し第１ポンプ室Ｐ１を液体で満たすことができる位置である。 Further, the first check valve 160A and the third check valve 160C are provided on a flow path passing through the first pump chamber P1. The first check valve 160A and the third check valve 160C play a role of stopping the backflow of the fluid flowing by the pumping action by the first pump chamber P1. More specifically, the first check valve 160A is provided on the upstream side with respect to the first pump chamber P1, and the third check valve 160C is provided on the downstream side. More specifically, the first check valve 160 </ b> A is provided on a flow path 131 d formed at the bottom of the case portion 131. The third check valve 160C is provided on a flow path formed in the vicinity of the second inward flange portion 131Xb provided in the case portion 131. Specifically, it is provided in the upper part of the first pump chamber P1. The upper part of the pump chamber is a position where the gas existing in the first pump chamber P1 can be discharged and the first pump chamber P1 can be filled with the liquid in the region functioning as the pump chamber from the center in the vertical direction.

そして、第２逆止弁１６０Ｂと第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２を通る流路上に設けられている。これら第２逆止弁１６０Ｂ及び第４逆止弁１６０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２によるポンプ作用によって流れる流体の逆流を止める役割を担っている。より具体的には、第２ポンプ室Ｐ２に対して、上流側に第２逆止弁１６０Ｂが設けられ、下流側に第４逆止弁１６０Ｄが設けられている。更に具体的には、第２逆止弁１６０Ｂは、ケース部１３１の底板部１３１Ｙに形成された流路１３１ｅ上に設けられている。また、第４逆止弁１６０Ｄは、ケース部１３１の第１内向きフランジ部１３１Ｘａの付近に形成された流路上に設けられている。具体的には、第２ポンプ室Ｐ２の上部に設けられる。ポンプ室の上部とは、ポンプ室として機能する領域において鉛直方向中央から上側、或いは、第２ポンプ室Ｐ２に存在する気体を排出し第２ポンプ室Ｐ２を液体で満たすことができる位置である。この第３流路１３１Ｘｇの出口は、第３逆止弁１６０Ｃから流体が流出する高さと同じ位置に設けられている。 The second check valve 160B and the fourth check valve 160D are provided on the flow path passing through the second pump chamber P2. The second check valve 160B and the fourth check valve 160D play a role of stopping the backflow of the fluid flowing by the pumping action by the second pump chamber P2. More specifically, the second check valve 160B is provided on the upstream side with respect to the second pump chamber P2, and the fourth check valve 160D is provided on the downstream side. More specifically, the second check valve 160B is provided on the flow path 131e formed in the bottom plate portion 131Y of the case portion 131. The fourth check valve 160D is provided on a flow path formed in the vicinity of the first inward flange portion 131Xa of the case portion 131. Specifically, it is provided in the upper part of the second pump chamber P2. The upper part of the pump chamber is a position where the gas existing in the second pump chamber P2 can be discharged and the second pump chamber P2 can be filled with the liquid in the region functioning as the pump chamber from the upper side in the vertical direction. The outlet of the third flow path 131Xg is provided at the same position as the height at which the fluid flows out from the third check valve 160C.

＜液体供給システム全体の動作説明＞
液体供給システム全体の動作について説明する。リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が下降する際においては、第１ベローズ１４１は縮み、第２ベローズ１４２は伸びる。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の液体圧力は低くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が開き、第３逆止弁１６０Ｃは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる液体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けていく（矢印Ｓ１１参照）。そして、第１逆止弁１６０Ａを通り抜けた液体は、ケース部１３１における胴体部１３１Ｘの内部の第１流路１３１Ｘｃを通り、第１ポンプ室Ｐ１へと送られる。また、第２ポンプ室Ｐ２の液体圧力は高くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が閉じ、第４逆止弁１６０Ｄは弁が開いた状態となる。これにより、第２ポンプ室Ｐ２内の液体は、第４逆止弁１６０Ｄを通り抜けて（矢印Ｔ１２参照）、第３流路１３１Ｘｇ、第２流路１３１Ｘｄへと送られる。その後、液体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。<Operation description of the entire liquid supply system>
The overall operation of the liquid supply system will be described. When the shaft member 120 is lowered by the linear actuator 110, the first bellows 141 contracts and the second bellows 142 extends. At this time, since the liquid pressure in the first pump chamber P1 becomes low, the first check valve 160A is opened and the third check valve 160C is closed. Thereby, the liquid (see arrow S10) sent from the outside of the liquid supply system 10 through the suction pipe 310 is sucked into the container 130 from the suction port 131b and passes through the first check valve 160A (see arrow S11). ). Then, the liquid that has passed through the first check valve 160A passes through the first flow path 131Xc inside the body portion 131X in the case portion 131 and is sent to the first pump chamber P1. Further, since the liquid pressure in the second pump chamber P2 is increased, the second check valve 160B is closed and the fourth check valve 160D is opened. Thereby, the liquid in the second pump chamber P2 passes through the fourth check valve 160D (see arrow T12) and is sent to the third flow path 131Xg and the second flow path 131Xd. Thereafter, the liquid passes through the delivery port 131 c and is delivered to the outside of the liquid supply system 10 through the delivery pipe 320.

そして、リニアアクチュエータ１１０によって、軸部材１２０が上昇する際においては、第１ベローズ１４１は伸び、第２ベローズ１４２は縮む。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の液体圧力は高くなるため、第１逆止弁１６０Ａは弁が閉じ、第３逆止弁１６０Ｃは弁が開いた状態となる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１内の液体は、第３逆止弁１６０Ｃを通り抜けて（矢印Ｔ１１参照）、胴体部１３１Ｘの内部の第２流路１３１Ｘｄへと送られる。その後、液体は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０により液体供給システム１０の外部へと送出される。また、第２ポンプ室Ｐ２の液体圧力は低くなるため、第２逆止弁１６０Ｂは弁が開き、第４逆止弁１６０Ｄは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１０の外部から吸入管３１０により送られる液体（矢印Ｓ１０参照）は、吸入口１３１ｂから容器１３０内に吸入されて、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けていく（矢印Ｓ１２参照）。そして、第２逆止弁１６０Ｂを通り抜けた液体は、第２ポンプ室Ｐ２へと送られる。 When the shaft member 120 is raised by the linear actuator 110, the first bellows 141 is extended and the second bellows 142 is contracted. At this time, since the liquid pressure in the first pump chamber P1 is increased, the first check valve 160A is closed, and the third check valve 160C is opened. As a result, the liquid in the first pump chamber P1 passes through the third check valve 160C (see arrow T11) and is sent to the second flow path 131Xd inside the body portion 131X. Thereafter, the liquid passes through the delivery port 131 c and is delivered to the outside of the liquid supply system 10 through the delivery pipe 320. Further, since the liquid pressure in the second pump chamber P2 is lowered, the second check valve 160B is opened and the fourth check valve 160D is closed. As a result, the liquid (see arrow S10) sent from the outside of the liquid supply system 10 through the suction pipe 310 is sucked into the container 130 from the suction port 131b and passes through the second check valve 160B (see arrow S12). ). Then, the liquid that has passed through the second check valve 160B is sent to the second pump chamber P2.

以上のように、本実施例に係る液体供給システム１０においては、軸部材１２０が下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、吸入管３１０側から送出管３２０側に液体を流すことができる。従って、いわゆる脈動を抑制することができる。 As described above, in the liquid supply system 10 according to the present embodiment, the liquid can flow from the suction pipe 310 side to the delivery pipe 320 side regardless of whether the shaft member 120 is lowered or raised. Therefore, so-called pulsation can be suppressed.

ここで、吸入口１３１ｂから第１ポンプ室Ｐ１を通り送出口１３１ｃに向けて超低温液体が流れる流路を第１流路と称し、吸入口１３１ｂから第２ポンプ室Ｐ２を通り送出口１３１ｃに向けて超低温液体が流れる流路を第２流路と称する。第１流路は、上記の説明から明らかなように、吸入口１３１ｂから進入した超低温流体が、矢印Ｓ１１方向に流れた後に、矢印Ｔ１１方向に流れていき、送出口１３１ｃへと流れていく流路である。また、第２流路は、吸入口１３１ｂから進入した超低温流体が、矢印Ｓ１２方向に流れた後に、矢印Ｔ１２方向及び矢印Ｔ１３方向へと流れていき、送出口１３１ｃへと流れていく流路である。 Here, the flow path through which the cryogenic liquid flows from the suction port 131b through the first pump chamber P1 toward the delivery port 131c is referred to as a first flow channel, and from the suction port 131b through the second pump chamber P2 toward the delivery port 131c. The flow path through which the ultra-low temperature liquid flows is referred to as a second flow path. As is clear from the above description, the first flow path is a flow in which the cryogenic fluid that has entered from the suction port 131b flows in the direction of arrow S11, then flows in the direction of arrow T11, and flows to the delivery port 131c. Road. The second flow path is a flow path in which the ultra-low temperature fluid that has entered from the inlet 131b flows in the direction of the arrow S12, then flows in the directions of the arrow T12 and the arrow T13, and flows to the delivery port 131c. is there.

本実施例においては、第１流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１１参照）と、第２流路において鉛直方向上方から下方に転じる位置の高さ（矢印Ｔ１３参照）が同一となるように構成されている。 In the present embodiment, the height of the first channel in the vertical direction from the top to the bottom (see arrow T11) and the height of the second channel in the vertical direction from the top to the bottom (see arrow T13). Are configured to be the same.

液体供給システム１０が駆動している場合における流体の流れをまとめると次の通りである。軸部材１２０が下降する際においては、第１流路のうち第１ポンプ室Ｐ１よりも上流側では流体が流れ、下流側は流体が流れない。また、第２流路のうち第２ポンプ室Ｐ２よりも下流側では流体が流れ、上流側は流体が流れない。これに対して、軸部材１２０が上昇する際においては、第１流路のうち第１ポンプ室Ｐ１よりも下流側では流体が流れ、上流側は流体が流れない。また、第２流路のうち第２ポンプ室Ｐ２よりも上流側では流体が流れ、下流側は流体が流れない。 The flow of the fluid when the liquid supply system 10 is driven is summarized as follows. When the shaft member 120 is lowered, the fluid flows on the upstream side of the first pump chamber P1 in the first flow path, and the fluid does not flow on the downstream side. Further, in the second flow path, the fluid flows on the downstream side of the second pump chamber P2, and the fluid does not flow on the upstream side. On the other hand, when the shaft member 120 moves up, fluid flows on the downstream side of the first pump chamber P1 in the first flow path, and no fluid flows on the upstream side. Further, in the second flow path, the fluid flows on the upstream side of the second pump chamber P2, and the fluid does not flow on the downstream side.

＜ガス抜き管＞
図１〜図３を参照して、本実施例に係る液体供給システムに備えられたガス抜き管について説明する。図３は、図１、図２のＡＡ断面を模式的に示す図である。<Degassing pipe>
With reference to FIGS. 1-3, the degassing pipe | tube with which the liquid supply system which concerns on a present Example was equipped is demonstrated. FIG. 3 is a diagram schematically showing the AA cross section of FIGS. 1 and 2.

図３に示すように、第２ポンプ室Ｐ２の径方向外側には、周方向に等間隔を空けて、ガス抜き管６０２と、第２ポンプ室Ｐ２の出口４０４に接続される第３流路１３１Ｘｇと、第１ポンプ室Ｐ１の入口４０１に接続される第１流路１３１Ｘｃと、部材同士の締結に用いられるボルト６０３とが配置されている。
ガス抜き管６０２は、図１、図２に示すように、第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２に設けられる逆止弁１６０Ｃの近傍の空間に第１開口部６０１を有し、容器１３０内を鉛直方向上方から下方へ延び、送出口１３１ｃに至る。更に、ガス抜き管６０２は、送出口１３１ｃを通り、送出管３２０の内部に設けられ、図１に示すように、第１開口部６０１より高い位置にある第２開口部６０４まで延びる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１を通る流路内の出口近傍にあるガスは、ガス抜き管６０２を通して、外部の第１開口部６０１より高い位置まで排出される。ガス抜き管６０２は、液体供給システム１０の外部において、ガス排出機構に接続されるとよい。これにより、効率的に容器１３０内のガスを排出することができる。As shown in FIG. 3, on the radially outer side of the second pump chamber P2, a third flow path connected to the gas vent pipe 602 and the outlet 404 of the second pump chamber P2 at equal intervals in the circumferential direction. 131Xg, the 1st flow path 131Xc connected to the inlet 401 of the 1st pump chamber P1, and the volt | bolt 603 used for fastening of members are arrange | positioned.
As shown in FIGS. 1 and 2, the gas vent pipe 602 has a first opening 601 in a space near the check valve 160C provided at the outlet 402 of the first pump chamber P1, and the inside of the container 130 is vertically The direction extends from the upper side to the lower side and reaches the outlet 131c. Further, the gas vent pipe 602 passes through the outlet 131c, is provided inside the delivery pipe 320, and extends to the second opening 604 that is higher than the first opening 601 as shown in FIG. Thereby, the gas in the vicinity of the outlet in the flow path passing through the first pump chamber P1 is discharged through the gas vent pipe 602 to a position higher than the external first opening 601. The gas vent pipe 602 may be connected to a gas discharge mechanism outside the liquid supply system 10. Thereby, the gas in the container 130 can be discharged efficiently.

＜液体供給システムの冷却＞
本実施例に係る液体供給システム１０を、液体窒素や液体ヘリウム等の超低温液体の循環に使用する場合、常温環境下にある液体供給システム１０を、稼働前に作動液体である低温液体と同程度の温度まで冷却する必要がある。本実施例では、システム稼働時に流通させる低温液体と同じ液体をシステム冷却用に用いる。なお、システム冷却用の液体と、システム稼働時に流通させる液体とは異なるものであってもよい。<Cooling of liquid supply system>
When the liquid supply system 10 according to the present embodiment is used for circulation of an ultra-low temperature liquid such as liquid nitrogen or liquid helium, the liquid supply system 10 in a room temperature environment is about the same as a low-temperature liquid that is a working liquid before operation. It is necessary to cool to a temperature of In this embodiment, the same liquid as the low-temperature liquid circulated when the system is operating is used for system cooling. The system cooling liquid may be different from the liquid circulated when the system is operating.

システム冷却は、吸入管３１０から低温液体を流し込み、液体供給システム１０の構成部材であるケース部１３１等と低温液体との間で熱交換を行わせ、徐々に構成部材の温度を下げていくことで行う。本実施例では、容器１００の底部に吸入口１３１ｂ及び送出口１３１ｃが設けられているため、冷却工程において流し込まれた低温液体は、まず第２ポンプ室Ｐ２、次いで第１ポンプ室Ｐ１の順に徐々にシステム内を満たしていき、低温液体の水位が上昇していく。水位の上昇に伴い、冷却用の低温液体と熱交換する構成部材が増加していき、システムの下部から上部へと冷却が進んでいく。 In the system cooling, a low-temperature liquid is poured from the suction pipe 310, heat is exchanged between the case 131 and the low-temperature liquid, which are constituent members of the liquid supply system 10, and the temperature of the constituent members is gradually lowered. To do. In this embodiment, since the suction port 131b and the delivery port 131c are provided at the bottom of the container 100, the low-temperature liquid poured in in the cooling step is gradually gradually in the order of the second pump chamber P2 and then the first pump chamber P1. As the system fills up, the water level of the cryogenic liquid rises. As the water level rises, the number of components that exchange heat with the cryogenic liquid for cooling increases, and cooling proceeds from the lower part to the upper part of the system.

＜本実施例に係る液体供給システムの優れた点＞
本実施例の液体供給システム１０において、上記のように低温液体の循環に用いるための稼働前冷却を行う場合、冷却工程の初期段階では、容器内で低温液体が蒸発し、生じたガスが容器内の上部に滞留し、気液混合状態となる。本実施例の場合、第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２近傍の空間からガスが溜まっていき、ガスの量が増加すると第１ポンプ室Ｐ１や第２ポンプ室Ｐ２もガスが溜まる可能性がある。そうすると、吸入管３１０から低温液体を流し込んでシステムを冷却しようとしても、ガスの存在により低温液体の流入が阻害され、容器内の低温液体の水位が上昇しにくくなる。低温液体を流し込むことによるシステム冷却は、システム構成部材と低温液体とが接触して熱交換することにより行われるので、水位の上昇が阻害されると冷却は効率的に行われない。<Excellent points of the liquid supply system according to this embodiment>
In the liquid supply system 10 of the present embodiment, when cooling before operation for use in circulation of a low-temperature liquid as described above, the low-temperature liquid evaporates in the container in the initial stage of the cooling process, and the generated gas is stored in the container. It stays in the upper part and becomes a gas-liquid mixed state. In the case of the present embodiment, gas accumulates from the space near the outlet 402 of the first pump chamber P1, and if the amount of gas increases, gas may also accumulate in the first pump chamber P1 and the second pump chamber P2. Then, even if an attempt is made to cool the system by flowing a cryogenic liquid from the suction pipe 310, the inflow of the cryogenic liquid is hindered by the presence of gas, and the water level of the cryogenic liquid in the container is unlikely to rise. Since the system cooling by pouring the cryogenic liquid is performed by the heat exchange between the system constituent members and the cryogenic liquid, the cooling is not efficiently performed if the rise in the water level is hindered.

本実施例の液体供給システム１０によれば、ガス抜き管６０２を通して、容器内に溜まったガスを外部に排出することができる。従って、冷却工程の初期段階で容器の上部にガスが溜まることを抑制でき、冷却用の低温液体の容器内への流入が阻害されにくくなる。そのため、低温液体の容器内での水位の上昇が阻害されにくくなり、低温液体とシステム構成部材との熱効交換がより効率良く行われる。従って、低温液体を流し込むことによるシステム冷却を効率良く行うことができる。よって、常温環境下にある液体供給システムを稼働のために冷却するための工程に要する時間を短縮でき、システムの設置作業やメンテナンス作業の工数増加を抑制できる。また、冷却工程における低温液体の消費量を抑制できる。 According to the liquid supply system 10 of the present embodiment, the gas accumulated in the container can be discharged to the outside through the gas vent pipe 602. Therefore, it is possible to suppress the accumulation of gas in the upper part of the container in the initial stage of the cooling process, and the inflow of the low-temperature liquid for cooling into the container is hardly inhibited. Therefore, the rise in the water level in the container of the cryogenic liquid is less likely to be hindered, and the heat exchange between the cryogenic liquid and the system component is performed more efficiently. Accordingly, the system can be efficiently cooled by pouring the low temperature liquid. Therefore, the time required for the process for cooling the liquid supply system in the room temperature environment for operation can be shortened, and an increase in man-hours for system installation work and maintenance work can be suppressed. Moreover, the consumption of the low temperature liquid in a cooling process can be suppressed.

（その他）
本実施例では、ガス抜き管６０２の第１開口部６０１が、第１ポンプ室Ｐ１の出口４０２の近傍の空間に設けられる例を説明したが、ガス抜き管の開口部は液体供給システムの構成に応じて適宜設定される。ガス抜き管の開口部は、ポンプ室を通る流路内で、鉛直方向で最も高い位置又はその近傍の位置に開口するのが望ましい。このような構成とすることで、容器内の水位が上昇した場合でも、容器内の上部に残るガスを確実に排出することができ、また容器内の液体がガス抜き管に流れ込んでしまうことを抑制できる。また、ガス抜き管は排出管３２０の内部に配置されるため、ガス抜き管に流入したガスがガス抜き管内部で液化しないように、ガス抜き管の内部が排出管３２０を流通する液体の温度の影響を受けにくい断熱構造とするのが好ましい。また、本発明は、ポンプ室出口から下流側において流路が鉛直方向下方に延び、更に下流側において鉛直方向上方に延びる形状になっている構成の液体供給システムに適用して上述した効果を奏する。本実施例では、ポンプ室出口から下方に延び、再び上方に延びる形状の流路の一例として、容器の底部に設けられる液体の送出口１３１ｃに接続される排出管３２０を例示し、排出管の内部にガス抜き管が設けられる例を示した。しかし、ポンプ室出口から下方に延び、再び上方に延びる形状の流路は、この例に限らない。例えば、容器内部において流路がＵ字形状に折り返される構成を有する液体供給システムにも、本発明を適用することができる。(Other)
In the present embodiment, the example in which the first opening 601 of the gas vent pipe 602 is provided in the space near the outlet 402 of the first pump chamber P1 has been described, but the opening of the gas vent pipe is the configuration of the liquid supply system. It is set appropriately according to It is desirable that the opening of the gas vent pipe opens at the highest position in the vertical direction or in the vicinity thereof in the flow path passing through the pump chamber. By adopting such a configuration, even when the water level in the container rises, the gas remaining in the upper part of the container can be surely discharged, and the liquid in the container flows into the gas vent pipe. Can be suppressed. In addition, since the gas vent pipe is arranged inside the exhaust pipe 320, the temperature of the liquid that the gas vent pipe circulates through the exhaust pipe 320 so that the gas flowing into the gas vent pipe does not liquefy inside the gas vent pipe. It is preferable to have a heat insulating structure that is not easily affected by the above. In addition, the present invention is applied to a liquid supply system having a configuration in which the flow path extends downward in the vertical direction on the downstream side from the outlet of the pump chamber, and further extends upward in the vertical direction on the downstream side. . In the present embodiment, as an example of a flow path extending downward from the pump chamber outlet and extending upward again, the discharge pipe 320 connected to the liquid outlet 131c provided at the bottom of the container is illustrated as an example. An example in which a gas vent pipe is provided inside is shown. However, the flow path having a shape extending downward from the pump chamber outlet and extending upward again is not limited to this example. For example, the present invention can be applied to a liquid supply system having a configuration in which a flow path is folded in a U shape inside a container.

本実施例では、ベローズの外周面を囲むポンプ室が２つ鉛直方向上下（ベローズ伸縮方向）に直列に配置されたベローズポンプを有する液体供給システムに本発明を適用した例を説明したが、本発明が適用可能な液体供給システムはこれに限定されない。本発明は液体を吸入して送出するポンプ一般に適用でき、ポンプ室が備えられた容器の底面から液体が排出され、底面より高い位置まで導かれる構造の液体供給システムに適用して好適な効果が得られる。このような構造の液体供給システムでは、Ｕ字形状の配管を用いて液体が容器の外部へ排出されるため、容器内部にガスが溜まると外部に排出されにくい。本発明を適用することにより、容器内部に溜まったガスを容易に外部に排出することができる。 In the present embodiment, an example in which the present invention is applied to a liquid supply system having a bellows pump in which two pump chambers surrounding the outer peripheral surface of the bellows are arranged in series vertically in the vertical direction (bellows expansion and contraction direction) has been described. The liquid supply system to which the invention is applicable is not limited to this. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be generally applied to a pump that sucks and delivers liquid, and has a preferable effect when applied to a liquid supply system having a structure in which liquid is discharged from a bottom surface of a container provided with a pump chamber and guided to a position higher than the bottom surface. can get. In the liquid supply system having such a structure, since the liquid is discharged to the outside of the container using the U-shaped pipe, it is difficult for the liquid to be discharged to the outside when the gas is accumulated inside the container. By applying the present invention, the gas accumulated inside the container can be easily discharged to the outside.

本実施例においては、真空容器２００の内部のうち、システム本体１００，吸入管３１０及び送出管３２０の外側を真空状態にして断熱機能を備えさせる構成を採用している。また、本実施例においては、第１空間Ｋ１と第２空間Ｋ２と第３空間Ｋ３により形成される密閉空間を真空状態にして断熱機能を備えさせる構成を採用している。しかしながら、これらの空間にも超低温液体を流すことで、循環流路を流れる液体の温度を低温に維持させることも可能である。 In the present embodiment, a configuration is adopted in which the outside of the system main body 100, the suction pipe 310, and the delivery pipe 320 is evacuated to provide a heat insulating function. Further, in this embodiment, a configuration is adopted in which the sealed space formed by the first space K1, the second space K2, and the third space K3 is evacuated to have a heat insulating function. However, it is also possible to maintain the temperature of the liquid flowing through the circulation channel at a low temperature by flowing an ultra-low temperature liquid in these spaces.

１０液体供給システム
１００システム本体
１１０リニアアクチュエータ
１２０軸部材
１２１軸本体部
１２２円筒部
１２２ａ上端側外向きフランジ部
１２２ｂ下端側外向きフランジ部
１２３連結部
１３０容器
１３１ケース部
１３１ａ開口部
１３１ｂ吸入口
１３１ｃ送出口
１３１ｄ流路
１３１ｅ流路
１３１Ｘ胴体部
１３１Ｘａ第１内向きフランジ部
１３１Ｘｂ第２内向きフランジ部
１３１Ｘｃ第１流路
１３１Ｘｄ第２流路
１３１Ｘｇ第３流路
１３１Ｙ底板部
１４１第１ベローズ
１４２第２ベローズ
１５１第３ベローズ
１５２第４ベローズ
１６０逆止弁
１６０Ａ第１逆止弁
１６０Ｂ第２逆止弁
１６０Ｃ第３逆止弁
１６０Ｄ第４逆止弁
２００真空容器
３１０吸入管
３２０送出管
４０１第１ポンプ室入口
４０２第１ポンプ室出口
４０３第２ポンプ室入口
４０４第２ポンプ室出口
６０１第１開口部
６０２ガス抜き管
６０３ボルト
６０４第２開口部
Ｐ１第１ポンプ室
Ｐ２第２ポンプ室DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Liquid supply system 100 System main body 110 Linear actuator 120 Shaft member 121 Shaft main body part 122 Cylindrical part 122a Upper end side outward flange part 122b Lower end side outward flange part 123 Connection part 130 Container 131 Case part 131a Opening part 131b Inlet 131c Feed Outlet 131d Flow path 131e Flow path 131X Body part 131Xa First inward flange part 131Xb Second inward flange part 131Xc First flow path 131Xd Second flow path 131Xg Third flow path 131Y Bottom plate part 141 First bellows 142 Second bellows 151 3rd bellows 152 4th bellows 160 Check valve 160A 1st check valve 160B 2nd check valve 160C 3rd check valve 160D 4th check valve 200 Vacuum vessel 310 Suction pipe 320 Delivery pipe 401 1st pump chamber Mouth 402 first pump chamber outlet 403 second pump chamber inlet 404 second pump chamber outlet 601 first opening 602 venting pipe 603 volts 604 second opening P1 first pump chamber P2 second pump chamber

Claims

内部にポンプ室が備えられ、かつ液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、
前記送出口から排出される前記液体を外部へ導く送出管と、
前記吸入口から前記ポンプ室を通り、更に、前記ポンプ室から前記送出口に向けて鉛直方向下方に前記液体が流れる流路と、
前記流路内に配置される第１開口部と、前記第１開口部よりも前記流路内の下流側に設けられる第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部とを接続するガス抜き管と、
を備え、
前記第１開口部よりも前記第２開口部が鉛直方向上方に配置されていることを特徴とする液体供給システム。A container provided with a pump chamber therein and provided with a liquid inlet and outlet;
A delivery pipe for guiding the liquid discharged from the delivery port to the outside;
A passage through which the liquid flows from the suction port through the pump chamber, and further vertically downward from the pump chamber toward the delivery port;
A first opening disposed in the flow path, a second opening provided downstream of the first opening in the flow path, and the first opening and the second opening. A venting pipe to be connected;
With
The liquid supply system, wherein the second opening is disposed above the first opening in the vertical direction.

前記第２開口部が前記送出管内に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体供給システム。 The liquid supply system according to claim 1, wherein the second opening is provided in the delivery pipe.

前記容器内において、鉛直方向に往復移動する軸部材と、
鉛直方向に並べて配置され、かつ前記軸部材の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ及び第２ベローズと、
を有し、前記ポンプ室は、
前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、
前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室と、
からなり、前記流路は、
前記吸入口から前記第１ポンプ室を通り前記送出口に向けて液体が流れる第１流路と、
前記吸入口から前記第２ポンプ室を通り前記送出口に向けて液体が流れる第２流路と、
を含み、
前記ガス抜き管は、前記第１流路及び前記第２流路のうち少なくとも一方に設けられていることを特徴とする液体供給システム。A shaft member that reciprocates in the vertical direction in the container;
A first bellows and a second bellows that are arranged side by side in the vertical direction and expand and contract with the reciprocation of the shaft member;
The pump chamber has
A first pump chamber formed by a space surrounding an outer peripheral surface of the first bellows;
A second pump chamber formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the second bellows;
And the flow path is
A first flow path through which liquid flows from the suction port through the first pump chamber toward the delivery port;
A second flow path through which liquid flows from the suction port through the second pump chamber toward the delivery port;
Including
The liquid supply system according to claim 1, wherein the gas vent pipe is provided in at least one of the first flow path and the second flow path.

前記第１ポンプ室は前記第２ポンプ室より鉛直方向上方に設けられ、
前記第１開口部は、前記第１ポンプ室の出口より鉛直方向上方に設けられる請求項３に記載の液体供給システム。The first pump chamber is provided vertically above the second pump chamber,
The liquid supply system according to claim 3, wherein the first opening is provided vertically above the outlet of the first pump chamber.