JPWO2018074084A1 - 半導体デバイスおよび表示装置ならびに電子機器 - Google Patents
半導体デバイスおよび表示装置ならびに電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018074084A1 JPWO2018074084A1 JP2018546185A JP2018546185A JPWO2018074084A1 JP WO2018074084 A1 JPWO2018074084 A1 JP WO2018074084A1 JP 2018546185 A JP2018546185 A JP 2018546185A JP 2018546185 A JP2018546185 A JP 2018546185A JP WO2018074084 A1 JPWO2018074084 A1 JP WO2018074084A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- actuator
- semiconductor device
- display device
- structures
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
- B81B3/0021—Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/017—Head mounted
- G02B27/0172—Head mounted characterised by optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B30/00—Optical systems or apparatus for producing three-dimensional [3D] effects, e.g. stereoscopic images
- G02B30/20—Optical systems or apparatus for producing three-dimensional [3D] effects, e.g. stereoscopic images by providing first and second parallax images to an observer's left and right eyes
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/30—Image reproducers
- H04N13/332—Displays for viewing with the aid of special glasses or head-mounted displays [HMD]
- H04N13/344—Displays for viewing with the aid of special glasses or head-mounted displays [HMD] with head-mounted left-right displays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/03—Microengines and actuators
- B81B2201/032—Bimorph and unimorph actuators, e.g. piezo and thermo
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/047—Optical MEMS not provided for in B81B2201/042 - B81B2201/045
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/05—Type of movement
- B81B2203/053—Translation according to an axis perpendicular to the substrate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2207/00—Microstructural systems or auxiliary parts thereof
- B81B2207/05—Arrays
- B81B2207/053—Arrays of movable structures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/0101—Head-up displays characterised by optical features
- G02B2027/0132—Head-up displays characterised by optical features comprising binocular systems
- G02B2027/0134—Head-up displays characterised by optical features comprising binocular systems of stereoscopic type
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B35/00—Stereoscopic photography
- G03B35/18—Stereoscopic photography by simultaneous viewing
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/30—Image reproducers
- H04N13/388—Volumetric displays, i.e. systems where the image is built up from picture elements distributed through a volume
- H04N13/395—Volumetric displays, i.e. systems where the image is built up from picture elements distributed through a volume with depth sampling, i.e. the volume being constructed from a stack or sequence of 2D image planes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Stereoscopic And Panoramic Photography (AREA)
Abstract
Description
1.実施の形態(圧電アクチュエータを用いてスクリーン面の移動を行う表示デバイ スの例)
1−1.表示デバイスの構成
1−2.表示装置の構成
1−3.作用・効果
2.変形例
2−1.変形例1(互いに直交する2方向に沿ったそれぞれの幅が互いに異なるアクチュエータを用いた例)
2−2.変形例2(多層構造を有するアクチュエータを用いた例)
3.適用例
図1は、本開示の一実施の形態に係る半導体デバイス(表示デバイス10)を斜視し、その構成を模式的に表したものである。図2は、図1に示した表示素子20Aを斜視し、その構成を模式的に表したものである。この表示デバイス10は、例えば、後述する立体画像を表示可能な表示装置(表示装置1)に用いられるものである。本実施の形態の表示デバイス10は、基板21と、基板21上にマトリクス状に配置されると共に、例えば、スクリーン面となる平面部(平面部22A)を有する複数の構造体(構造体22)と、基板21と複数の構造体22との間にそれぞれ配置された複数の圧電アクチュエータ(アクチュエータ23)とを備えたものである。
表示デバイス10は、上記のように、構造体22と、基板21と構造体22との間に配置されたアクチュエータ23とから構成される複数の表示素子20Aが、基板21上に、例えばマトリクス状に配置されたものである。アクチュエータ23には、構造体22が、例えば接続部24を介して接続されており、このアクチュエータ23を駆動させることで、構造体22が基板21面に対して垂直方向(Z軸方向)に移動可能となっている。
構造体22は、例えば、表面にアルミニウム(Al)等の反射膜が成膜されたポリシリコンによって構成されている。構造体22は、上記のように、基板21上にマトリクス状に複数配置されており、各構造体22が、それぞれ1つの画素を構成している。
図13は、本開示の表示装置1の構成を表したものである。この表示装置1は、立体画像を表示可能な表示装置である。表示装置1は、例えば、画像処理部100と画像表示部200とを備える。
前述したように、近年、ヘッドマウント型の3Dディスプレイの開発が進められており、ピストン型のアレイMEMSミラーによって得られる虚像を3D映像として用いる手法が考えられている。各画素において独立に面内に対して垂直方向に変位するような静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーや、一体のミラー面ではあるが、位置情報に応じて垂直方向に凹凸をつけるMEMSデフォーマブルミラーは、一般に、適応光学等の波面収差の補正に用いられている。そのため、上記のようなMEMS型可変形状ミラーでは、光の波長以下の形状変化で十分であり、また、想定されている表示装置に画素サイズも、数100μm以上と大きい。
次に、本開示の変形例(変形例1,2)について説明する。なお、上記実施の形態の表示デバイス10に対応する構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図15,図16は、本開示の変形例(変形例1)に係る表示素子(表示素子30A,30B)を斜視し、その構成を模式的に表したものである。本開示の表示素子は、本変形例の表示素子30A,30Bにおけるアクチュエータ33A,33Bのように、互いに直交する2方向に沿ったそれぞれの幅が互いに大きく異なるほど、即ち、アクチュエータの形状を細長くすることで、構造体22の平面部22Aの基板21に対する位置の変位量を大きくすることができる。
図18は、本開示の変形例(変形例2)に係る表示素子(表示素子40)を斜視し、その構成を模式的に表したものである。本変形例の表示素子40は、アクチュエータ43を構成する圧電アクチュエータ1ユニットが、例えば接続部46を介して基板21面に対して垂直方向(Z軸方向)に積層された点が、上記実施の形態および変形例とは異なる。
図19は、本開示の表示デバイス10を備えた表示装置1は、上記のように、ヘッドマウントディスプレイ等のウェアラブルディスプレイや持ち運び可能なポータブルディスプレイ、あるいは上記のようにスマートフォンやタブレット等の電子機器に適用することができる。一例として、ヘッドマウントディスプレイ400の概略構成を説明する。
(1)
基板と、
マトリクス状に配置されると共に、平面部を有する複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を備えた半導体デバイス。
(2)
前記複数の構造体の前記平面部は、それぞれ光反射面となっている、前記(1)に記載の半導体デバイス。
(3)
前記複数の構造体の前記平面部には、それぞれ、1または複数の発光素子が搭載されている、前記(1)または(2)に記載の半導体デバイス。
(4)
前記圧電アクチュエータは、カンチレバー型のアクチュエータである、前記(1)乃至(3)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(5)
前記圧電アクチュエータは、複数の前記カンチレバー型のアクチュエータが直列に接続されている、前記(4)に記載の半導体デバイス。
(6)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれ、互いに直交する2方向に沿ったそれぞれの幅が互いに異なる、前記(1)乃至(5)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(7)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれスパイラル形状を有する、前記(1)乃至(6)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(8)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれミアンダ形状を有する、前記(1)乃至(7)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(9)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれ多層構造を有する、前記(1)乃至(8)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(10)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれユニモルフ構造を有する、前記(1)乃至(9)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(11)
前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれバイモルフ構造を有する、前記(1)乃至(10)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(12)
前記複数の構造体と、前記複数の圧電アクチュエータとは、それぞれ接続部によって接続されている、前記(1)乃至(11)のうちのいずれかに記載の半導体デバイス。
(13)
前記接続部の長さは、各前記圧電アクチュエータによる各前記構造体の、前記基板の一の面に対する変動距離よりも長い、前記(12)に記載の半導体デバイス。
(14)
レンズおよび表示デバイスを含む光学系を備え、
前記表示デバイスは、
基板と、
マトリクス状に配置されると共に、平面部を有する複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を有する表示装置。
(15)
レンズおよび表示デバイスを含む光学系を有する表示装置を備え、
前記表示デバイスは、
基板と、
マトリクス状に配置された複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を備えた電子機器。
Claims (15)
- 基板と、
マトリクス状に配置されると共に、平面部を有する複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を備えた半導体デバイス。 - 前記複数の構造体の前記平面部は、それぞれ光反射面となっている、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の構造体の前記平面部には、それぞれ、1または複数の発光素子が搭載されている、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記圧電アクチュエータは、カンチレバー型のアクチュエータである、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記圧電アクチュエータは、複数の前記カンチレバー型のアクチュエータが直列に接続されている、請求項4に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれ、互いに直交する2方向に沿ったそれぞれの幅が互いに異なる、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれスパイラル形状を有する、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれミアンダ形状を有する、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれ多層構造を有する、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれユニモルフ構造を有する、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の圧電アクチュエータは、それぞれバイモルフ構造を有する、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記複数の構造体と、前記複数の圧電アクチュエータとは、それぞれ接続部によって接続されている、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記接続部の長さは、各前記圧電アクチュエータによる各前記構造体の、前記基板の一の面に対する変動距離よりも長い、請求項12に記載の半導体デバイス。
- レンズおよび表示デバイスを含む光学系を備え、
前記表示デバイスは、
基板と、
マトリクス状に配置されると共に、平面部を有する複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を有する表示装置。 - レンズおよび表示デバイスを含む光学系を有する表示装置を備え、
前記表示デバイスは、
基板と、
マトリクス状に配置された複数の構造体と、
前記基板上に配置されると共に、前記複数の構造体をそれぞれ、前記基板の一の面に対して垂直方向に沿って移動させる複数の圧電アクチュエータと
を備えた電子機器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016205224 | 2016-10-19 | ||
JP2016205224 | 2016-10-19 | ||
PCT/JP2017/031931 WO2018074084A1 (ja) | 2016-10-19 | 2017-09-05 | 半導体デバイスおよび表示装置ならびに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018074084A1 true JPWO2018074084A1 (ja) | 2019-08-08 |
JP6955504B2 JP6955504B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=62018466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018546185A Active JP6955504B2 (ja) | 2016-10-19 | 2017-09-05 | 半導体デバイスおよび表示装置ならびに電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210286170A1 (ja) |
JP (1) | JP6955504B2 (ja) |
CN (1) | CN109844609B (ja) |
DE (1) | DE112017005311T5 (ja) |
WO (1) | WO2018074084A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111986569B (zh) * | 2019-05-22 | 2024-03-29 | 半径数码展示公司 | 多态图像显示器 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003272324A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにアクチュエータ |
JP2004504705A (ja) * | 2000-07-18 | 2004-02-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 超小型電子機械システム制御式有機led及びピクセル・アレイ、並びにこれらの用法及び製法 |
CN1483660A (zh) * | 2003-08-15 | 2004-03-24 | �廪��ѧ | 一种用于mems的微型压电驱动器 |
JP2004289143A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにアクチュエータ |
JP2005043544A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ |
JP2005064992A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 光無線装置および光無線システム |
JP2005531420A (ja) * | 2002-06-28 | 2005-10-20 | シリコン・ライト・マシーンズ・コーポレイション | 接触する超小型構造体における凹凸の形成の低減 |
JP2008132577A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sony Corp | 電気機械素子、電子機器及びプロジェクター |
JP2009231981A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JP2011097661A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Stanley Electric Co Ltd | 圧電振動発電機及びこれを用いた発電装置 |
JP2011112764A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置 |
US20130027774A1 (en) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | Selex Sistemi Integrati S.P.A. | Height Adjustable Phase Plate for Generating Optical Vortices |
CN103091835A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-05-08 | 无锡微奥科技有限公司 | 一种垂直大位移mems微镜及加工工艺 |
JP2013137583A (ja) * | 2013-04-12 | 2013-07-11 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1226320A (zh) * | 1996-08-21 | 1999-08-18 | 大宇电子株式会社 | 用于光学投影***中的薄膜致动反射镜阵列 |
US20040160118A1 (en) * | 2002-11-08 | 2004-08-19 | Knollenberg Clifford F. | Actuator apparatus and method for improved deflection characteristics |
CN101128765B (zh) * | 2005-02-23 | 2010-12-01 | 皮克斯特罗尼克斯公司 | 显示方法和装置 |
JP2009517707A (ja) * | 2005-11-30 | 2009-04-30 | ノキア コーポレイション | 画像安定化のための方法及びシステム |
JP4834443B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-12-14 | 株式会社東芝 | 圧電駆動型memsアクチュエータ |
JP4316590B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2009-08-19 | 株式会社東芝 | 圧電駆動型memsアクチュエータ |
US8270056B2 (en) * | 2009-03-23 | 2012-09-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display device with openings between sub-pixels and method of making same |
JP5487960B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-05-14 | 船井電機株式会社 | 振動ミラー素子および振動ミラー素子の製造方法 |
JP5323155B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2013-10-23 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法並びに製造方法 |
CN203164512U (zh) * | 2013-02-05 | 2013-08-28 | 无锡微奥科技有限公司 | 一种垂直大位移mems微镜 |
JP6557503B2 (ja) | 2015-04-22 | 2019-08-07 | 本田技研工業株式会社 | 燃料噴射弁用の昇圧制御装置 |
-
2017
- 2017-09-05 WO PCT/JP2017/031931 patent/WO2018074084A1/ja active Application Filing
- 2017-09-05 US US16/334,502 patent/US20210286170A1/en not_active Abandoned
- 2017-09-05 CN CN201780063002.7A patent/CN109844609B/zh active Active
- 2017-09-05 DE DE112017005311.0T patent/DE112017005311T5/de not_active Withdrawn
- 2017-09-05 JP JP2018546185A patent/JP6955504B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004504705A (ja) * | 2000-07-18 | 2004-02-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 超小型電子機械システム制御式有機led及びピクセル・アレイ、並びにこれらの用法及び製法 |
JP2003272324A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにアクチュエータ |
JP2005531420A (ja) * | 2002-06-28 | 2005-10-20 | シリコン・ライト・マシーンズ・コーポレイション | 接触する超小型構造体における凹凸の形成の低減 |
JP2004289143A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにアクチュエータ |
JP2005043544A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ |
CN1483660A (zh) * | 2003-08-15 | 2004-03-24 | �廪��ѧ | 一种用于mems的微型压电驱动器 |
JP2005064992A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 光無線装置および光無線システム |
JP2008132577A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sony Corp | 電気機械素子、電子機器及びプロジェクター |
JP2009231981A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JP2011097661A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Stanley Electric Co Ltd | 圧電振動発電機及びこれを用いた発電装置 |
JP2011112764A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置 |
US20130027774A1 (en) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | Selex Sistemi Integrati S.P.A. | Height Adjustable Phase Plate for Generating Optical Vortices |
CN103091835A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-05-08 | 无锡微奥科技有限公司 | 一种垂直大位移mems微镜及加工工艺 |
JP2013137583A (ja) * | 2013-04-12 | 2013-07-11 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109844609A (zh) | 2019-06-04 |
DE112017005311T5 (de) | 2019-08-08 |
US20210286170A1 (en) | 2021-09-16 |
JP6955504B2 (ja) | 2021-10-27 |
CN109844609B (zh) | 2021-11-19 |
WO2018074084A1 (ja) | 2018-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI615635B (zh) | 多孔徑成像裝置、成像系統及用以提供多孔徑成像裝置之方法 | |
US10334172B2 (en) | Multi-aperture imaging device, method for producing the same and imaging system | |
US20070070476A1 (en) | Three-dimensional display | |
EP3518025B1 (en) | Near-eye display device | |
WO2010084829A1 (ja) | 空間像表示装置 | |
JP2018533062A (ja) | 広視野ヘッドマウントディスプレイ | |
TWI710804B (zh) | 多孔徑成像裝置、成像系統和提供多孔徑成像裝置的方法 | |
TWI771812B (zh) | 頭戴式顯示裝置及其近眼光場顯示裝置 | |
JP2018532144A (ja) | マルチ開口撮像装置、可搬型装置およびマルチ開口撮像装置の製造方法 | |
JP2008233251A (ja) | 画像表示装置 | |
JP4604932B2 (ja) | 光偏向素子 | |
WO2018074084A1 (ja) | 半導体デバイスおよび表示装置ならびに電子機器 | |
TW201506478A (zh) | 具有可組態之光輸入/輸出埠之光交連切換器 | |
KR20200052362A (ko) | 낮은 설치 높이 및 스위칭가능한 뷰잉 방향을 갖는 다중-조리개 이미징 디바이스, 다중-조리개 이미징 시스템 및 다중-조리개 이미징 디바이스를 제공하기 위한 방법 | |
JP4839795B2 (ja) | 3次元表示装置 | |
US20240053574A1 (en) | Light-field optical image system with dual mode | |
JP5740819B2 (ja) | 空間光変調器の製造方法、空間光変調器、照明光発生装置および露光装置 | |
JP2010244057A (ja) | 可変焦点レンズ | |
JP2011180437A (ja) | 2次元位置決め装置およびそれを用いる可動レンズユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210615 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6955504 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |