JPWO2015049741A1 - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1.用語の説明
2.レーザ装置
2.1 課題
2.2 構成
2.3 動作
2.4 作用
2.5 電極ギャップ可変部
2.6 コネクタ
2.7 電極移動機構部の他の実施の形態
3.電極ギャップ可変部によるビームパラメータの制御
3.1 構成
3.2 動作
3.3 作用
3.4 その他
3.5 電極ギャップ可変部によるビームパラメータの制御方法
3.5.1 ビームサイズの制御方法
3.5.2 ビームダイバージェンスの制御方法
4.電極ギャップ可変部によるパルスエネルギの制御
4.1 構成
4.2 動作
4.3 作用
4.4 電極ギャップ可変部によるパルスエネルギの制御方法
5.電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光の周波数の制御
5.1 構成及び動作
5.2 電極ギャップGと周波数fとの関係
5.3 電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光の周波数の制御方法
6.ダブルチャンバエキシマレーザ装置における電極ギャップ調整
6.1 構成
6.2 ビームパラメータの制御
6.2.1 動作
6.2.2 作用
6.3 パルスエネルギの制御
6.3.1 動作
6.3.2 作用
7.その他
7.1 電極ギャップ可変部の変形例
7.2 エキシマレーザ光源の電源回路
7.3 制御部
1.用語の説明
本開示において使用される用語を、以下のように定義する。「光路」とは、レーザ光が通過する経路である。光路は、レーザ光の進行方向に沿ってレーザ光のビーム断面の略中心を通る軸であってもよい。
2.1 課題
半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置は、レーザガスを含むチャンバの中に1対の放電電極が配置され、この1対の放電電極に高電圧を印加することによって、レーザガスを放電励起し、レーザ発振させている。
図1に、本開示の一態様であるエキシマレーザ装置を示す。尚、本願においては、「エキシマレーザ装置」を単に「レーザ装置」と記載する場合がある。
レーザ制御部30は、露光装置100における露光装置制御部110から目標ビームパラメータBt(目標ビームサイズ、目標ビームダイバージェンス等)と、目標ビームパラメータBtとの差の許容値ΔBmaxを受信してもよい。但し、ビームパラメータについて変更がない場合は、予め、レーザ制御部30における記憶部31に、これらデータを格納しておき、必要な場合に、これらデータを読み込んでもよい。
開示のレーザ装置は、レーザビーム計測部40において計測したビームパラメータBに基づき、電極ギャップ可変部20にフィードバック制御をしているため、ビームパラメータBが所望とする目標のビームパラメータBtとなるように調整することができる。
図2に基づき、開示のレーザ装置におけるレーザチャンバ10及び電極ギャップ可変部について説明する。尚、図2(a)はレーザチャンバ10の要部を示す断面図であり、図2(b)は、図2(a)における一点鎖線2A−2Bにおいて切断した断面図である。尚、図2(b)においては、パルスパワーモジュール13におけるコンデンサC3が2列、放電電極11aの延在方向に複数設けられている場合の断面図を示している。各コンデンサC3の一方側は、電流導入端子28と接続されている接続電極S1と接続されており、他方側は、接地されている接続電極S2と接続されていてもよい。
第1の放電電極11aと接触するコネクタ26は、図3に示されるように、フォーク型コネクタであってもよい。フォーク型とは、例えば枝分かれした構造を意味する。フォーク型コネクタは、第1の放電電極11aと接触する部分がフォーク状に形成された板バネ部26aを備えていてもよい。具体的には、図3(a)に示されるコネクタ26であるフォーク型コネクタ内には、図3(b)に示される弾性部材である板バネ部26aを別途形成した部材として嵌装してもよい。この板バネ部26aは弾性を有する金属材料により形成されていてもよい。尚、図3(a)は、コネクタ26であるフォーク型コネクタを示す斜視図であり、図3(b)は、コネクタ26であるフォーク型コネクタにおける板バネ部26aを示す斜視図である。
第1の放電電極11aを移動させる電極移動機構部は、図4に示されるように、マイクロメータヘッド61aを用いた電極移動機構部61であってもよい。具体的には、電極移動機構部61は、マイクロメータヘッド61a、シリンダ61b、スピンドル61c、ピストン61d、ベローズ61e、バネ61f、シャフト61g等を含んでいてもよい。シリンダ61bは、電気絶縁部24に、Oリング61hを介し接続されていてもよい。シリンダ61bの内部には、ピストン61dが設けられており、ピストン61dの電気絶縁部24側には、ベローズ61e及びバネ61fが設けられていてもよい。ピストン61dの電気絶縁部24側は、シャフト61gの一方の端部と接続されており、シャフト61gの他方の端部は電気絶縁部材71と接続されていてもよい。電気絶縁部材71は、ネジ71aにより第1の放電電極11aに固定されていてもよい。
3.1 構成
図5に基づき、レーザ装置においてパルスレーザ光のビームパラメータを制御するために用いられる部分について説明する。
レーザ制御部30は、ビームプロファイル計測器42によって、V方向のビームサイズを計測し、目標のV方向のビームサイズとなるように電極ギャップ可変部20を制御してもよい。また、レーザ制御部30は、ビームダイバージェンス計測器43によって、V方向のビームダイバージェンスを計測し、目標のV方向のビームダイバージェンスとなるように電極ギャップ可変部20を制御してもよい。
レーザ制御部30は、パルスレーザ光のビームパラメータB(例えば、ビームサイズまたはビームダイバージェンス)を検出して、目標のビームパラメータBtとなるように、電極ギャップ可変部20を制御するので、ビームパラメータを安定的に制御することができる。例えば、レーザ制御部30は、1対の放電電極11a及び11bが消耗して削れた場合においては、ビーム計測部40において計測された情報に基づき、電極ギャップ可変部20により、1対の放電電極11a、11b間のギャップGを調整してもよい。これにより、ビームパラメータを安定化させることができる。
イメージセンサ42a及びイメージセンサ43aは、1次元または2次元のフォトダイオードアレイセンサであってもよい。イメージセンサ42aまたはイメージセンサ43aが、1次元のフォトダイオードアレイセンサである場合には、V方向にフォトダイオードアレイが並ぶように配置してもよい。
電極ギャップ可変部によるビームパラメータの制御方法として、パルスレーザ光のビームパラメータが、パルスレーザ光のビームサイズの場合と、パルスレーザ光のビームダイバージェンスの場合について説明する。
図6に基づき電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光におけるビームサイズの制御方法について説明する。具体的には、レーザ制御部30は、パルスレーザ光のビームサイズが所定のビームサイズである目標ビームサイズに近づくように、電極ギャップ可変部により1対の放電電極11a、11b間におけるギャップGを調整してもよい。
図10に基づき電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光におけるビームダイバージェンスの制御方法について説明する。具体的には、レーザ制御部30は、パルスレーザ光のビームダイバージェンスが所定のビームダイバージェンスである目標ビームダイバージェンスに近づくように、電極ギャップ可変部により1対の放電電極11a、11b間におけるギャップGを調整してもよい。
4.1 構成
図14に基づき、本開示のレーザ装置においてパルスレーザ光のパルスエネルギを制御するために用いられる構成について説明する。
レーザ制御部30は、露光装置100における露光装置制御部110より、目標パルスエネルギEtと、目標のパルスエネルギEtとの差の許容値ΔEmaxを受信してもよい。
レーザ制御部30は、露光装置制御部110から受信した目標パルスエネルギEtに基づいて、電極ギャップ可変部20によって、電極ギャップGを調整しているため、レーザガスの圧力を変化させる場合と比較し、短い時間でパルスレーザ光のパルスエネルギを大きく変化させることができる。
図15に基づき電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光におけるパルスエネルギの制御方法について説明する。
5.1 構成及び動作
図21は、本開示のレーザ装置においてパルスレーザ光の周波数を制御するために用いられる構成を示す。レーザ制御部30による、電極ギャップ可変部20を用いたパルスレーザ光の周波数の制御は、パルスエネルギ計測部17、レーザチャンバ10に設置された電極ギャップ可変部20、レーザ制御部30を含む構成により行ってもよい。
図22に基づき電極ギャップGと周波数fとの関係について説明する。尚、図22(a)は、電極ギャップGが長い電極ギャップGxである場合を示し、図22(b)は、電極ギャップGが短い電極ギャップGyである場合を示す。図22(a)に示されるように、電極ギャップGが長い電極ギャップGxである場合には、放電領域における放電幅Wxは広くなり、図22(b)に示されるように、電極ギャップGが短い電極ギャップGyである場合には、放電領域における放電幅Wyは狭くなる。
図25に基づき電極ギャップ可変部によるパルスレーザ光の周波数の制御方法について説明する。
6.1 構成
ダブルチャンバエキシマレーザ装置について説明する。図28に示されるように、ダブルチャンバエキシマレーザ装置は、MO200、PO300、レーザ制御部230、高反射ミラー261、262、レーザビーム計測部40を含んでいてもよい。MOは、master oscillatorの略語であり、POは、power oscillatorの略語である。尚、レーザ制御部230は、記憶部231を含んでいてもよい。
6.2.1 動作
レーザ制御部230は、露光装置制御部110から目標ビームパラメータBt(目標ビームサイズ、目標ビームダイバージェンス等)と、目標ビームパラメータBtとの差の許容値ΔBmaxとを受信してもよい。
ビームパラメータBと目標ビームパラメータBtとの差ΔBが0に近づくように、MO電極ギャップ可変部220及びPO電極ギャップ可変部320を制御しているため、ビームパラメータBを目標ビームパラメータBtに近づけることができる。
パルスレーザ光におけるビームパラメータを制御する際には、MO電極ギャップ可変部220及びPO電極ギャップ可変部320のいずれか一方を駆動してもよいが、双方を駆動することが、より好ましい。
6.3.1 動作
レーザ制御部230は、露光装置制御部110から目標パルスエネルギEtと、目標パルスエネルギEtとの差の許容値ΔEmaxを受信してもよい。
開示のレーザ装置は、目標パルスエネルギEtに基づいて、PO電極ギャップ可変部320により電極ギャップGを調整してもよい。これにより、PO300のレーザガスの圧力を変化させる場合に比べて、短い時間でPO300から出射されるパルスエネルギEpoを大きく変化させることができる。
パルスレーザ光におけるパルスエネルギを制御する際には、MO電極ギャップ可変部220及びPO電極ギャップ可変部320の双方を駆動してもよいが、PO電極ギャップ可変部320のみを駆動するものであってもよい。
7.1 電極ギャップ可変部の変形例
電極ギャップ可変部は第2の放電電極11bを動かすものであってもよい。即ち、図29に示されるように、レーザチャンバ10内において、第2の放電電極11bを第1の放電電極11aが設けられている側に移動させてもよい。尚、図29(a)は、パルスレーザ光の光路に平行な面におけるレーザチャンバ10の断面図であり、図29(b)は、図29(a)における一点鎖線29A−29Bにおいて切断した断面図である。
次に、図30に基づき、エキシマレーザ光源におけるパルスパワーモジュール13及び充電器12について説明する。図30は、パルスパワーモジュール13及び充電器12等の電気回路を示す。尚、エキシマレーザ光源のレーザチャンバ10内には、熱交換器29が設けられていてもよい。1対の放電電極のうち、第1の放電電極11aは、コネクタ26及び電流導入端子28を介しパルスパワーモジュール13と接続されており、第2の放電電極11bは接地されていてもよい。
次に、図31に基づきレーザ制御部30、レーザ制御部230等の各制御部について説明する。
10a ウインド
10b ウインド
11a 放電電極(第1の放電電極)
11b 放電電極(第2の放電電極)
12 充電器
13 パルスパワーモジュール
13a スイッチ
14 狭帯域化モジュール
14a プリズム
14b グレーティング
15 出力結合ミラー
17 パルスエネルギ計測部
17a ビームスプリッタ
17b 集光レンズ
17c 光センサ
18 クロスフローファン
19 モータ
20 電極ギャップ可変部
21 電極移動機構部
22 ドライバ
23 絶縁体部材
24 電気絶縁部
25 電極ホルダ
26 コネクタ
26a 板バネ部
27 配線
28 電流導入端子
29 熱交換器
30 レーザ制御部
31 記憶部
40 レーザビーム計測部
41 ビームスプリッタ
42 ビームプロファイル計測器
43 ビームダイバージェンス計測器
44 ビームスプリッタ
45 ミラー
50 出射口シャッタ
100 露光装置
110 露光装置制御部
Claims (7)
- 出力結合ミラーを含む光共振器と、
レーザ媒質が入れられており、前記光共振器内の光路に設置されているレーザチャンバと、
レーザチャンバ内に設置されている1対の放電電極と、
前記1対の放電電極の間隔を変化させる電極ギャップ可変部と、
前記1対の放電電極において放電を生じさせることにより前記出力結合ミラーより出射されるレーザ光の光路上に配置されたレーザビーム計測部と、
前記レーザビーム計測部において計測された前記レーザ光のビームパラメータに基づき、前記電極ギャップ可変部により前記1対の放電電極の間隔を調整する制御を行なう制御部と、
を備えるレーザ装置。 - 前記ビームパラメータは、前記レーザ光のビームサイズである請求項1に記載のレーザ装置。
- 前記ビームパラメータは、前記レーザ光のビームダイバージェンスである請求項1に記載のレーザ装置。
- 出力結合ミラーを含む光共振器と、
レーザ媒質が入れられており、前記光共振器内の光路に設置されているレーザチャンバと、
レーザチャンバ内に設置されている1対の放電電極と、
前記1対の放電電極の間隔を変化させる電極ギャップ可変部と、
前記1対の放電電極において放電を生じさせることにより前記出力結合ミラーより出射されるレーザ光の光路上に配置されたパルスエネルギ計測部と、
前記パルスエネルギ計測部において計測された値に基づいて、前記電極ギャップ可変部により前記1対の放電電極の間隔を調整する制御を行なう制御部と、
を備えるレーザ装置。 - 前記1対の放電電極において放電を生じさせるための充電器と、
を備え、
前記制御部は、前記パルスエネルギ計測部において計測された値に基づいて、前記充電器に充電される充電電圧を調整する制御を行なう請求項4に記載のレーザ装置。 - 出力結合ミラーを含む光共振器と、
レーザ媒質が入れられており、前記光共振器内の光路に設置されているレーザチャンバと、
レーザチャンバ内に設置されている1対の放電電極と、
前記1対の放電電極の間隔を変化させる電極ギャップ可変部と、
前記1対の放電電極において放電を生じさせることにより前記出力結合ミラーより出射されるパルスレーザ光の周波数が所定の周波数となるように、前記電極ギャップ可変部により前記1対の放電電極の間隔を調整する制御を行なう制御部と、
を備えるレーザ装置。 - 前記パルスレーザ光の光路上に配置されたパルスエネルギ計測部と、
前記1対の放電電極において放電を生じさせるための充電器と、
を備え、
前記制御部は、前記パルスエネルギ計測部において計測された値に基づいて、前記充電器に充電される充電電圧を調整する制御を行なう請求項6に記載のレーザ装置。
Applications Claiming Priority (1)
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