JPWO2014178248A1 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
第1のn型窒化物半導体層と、第2のn型窒化物半導体層と、n型電子注入層と、発光層と、をこの順に備え、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度は、第1のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下であり、n型電子注入層の平均n型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上である窒化物半導体発光素子である。
Description
本発明は、窒化物半導体発光素子に関する。
窒素を含むIII−V族化合物半導体材料(以下、「窒化物半導体材料」と呼ぶ)は、赤外領域から紫外領域の波長を有する光のエネルギに相当するバンドギャップを有している。そのため、窒化物半導体材料は、赤外領域から紫外領域の波長を有する光を発光する発光素子の材料や、その領域の波長を有する光を受光する受光素子の材料などに有用である。
また、窒化物半導体材料は、原子間の結合力が強く、絶縁破壊電圧が高く、飽和電子速度が大きい。そのため、窒化物半導体材料は、耐高温かつ高出力な高周波トランジスタなどの電子デバイスの材料としても有用である。さらに、窒化物半導体材料は、環境を害することがほとんどなく、取り扱い易い材料としても注目されている。
上記の特性を有する窒化物半導体材料を用いた窒化物半導体発光素子においては、発光層に量子井戸構造が採用されることが一般的である。発光層に量子井戸構造を採用した窒化物半導体発光素子に電圧が印加されると、発光層の量子井戸層において、電子とホールとが再結合されて光が発生する。量子井戸構造を有する発光層としては、単一量子井戸(Single Quantum Well;SQW)構造であってもよいが、量子井戸層とバリア層とが交互に積層された多重量子井戸(Multiple Quantum Well;MQW)構造とする場合が多い。
発光層の量子井戸層としてはInGaNを用い、バリア層としてはGaNを用いるのが一般的である。これにより、たとえば、発光ピーク波長が約450nmの青色LED(Light Emitting Device)を作製することができ、黄色蛍光体と組み合わせて白色LEDを作製することもできる。バリア層としてAlGaNを用いた場合には、バリア層と量子井戸層とのバンドギャップエネルギー差が増大するため発光効率が増すとも考えられるが、GaNに比べてAlGaNの方が良質な結晶が得られにくいという問題も有している。
また、n型窒化物半導体層としては、GaNあるいはInGaNを用いるのが一般的である。
たとえば、特開2004−343147号公報(特許文献1)には、活性層の下にInを含む窒化物半導体層を有するn側多層膜層を有する構造のLED素子が開示されている。特許文献1に記載のLED素子によれば、活性層の下のn側多層膜層が何らかの作用を行い、発光素子の出力を向上させるとされており、その理由としては、活性層の結晶性を向上させることによるためと推察されている。
また、特開2002−299685号公報(特許文献2)には、2×1017cm-3〜2×1019cm-3の範囲でSiがドープされた平滑層上に、スペーサ層および活性領域がこの順に積層され、平滑層がスペーサ層よりもずっと高濃度にドープされたIII族窒化物LEDが開示されている。特許文献2のIII族窒化物LEDにおいては、平滑層が低温のIII族窒化物半導体層の平坦な二次元成長を回復させる機能を有しており、III族窒化物LEDの効率と信頼性の両方を高めることができるとされている。
また、特開2005−203520号公報(特許文献3)には、GaN基板からなる支持基板上に、SiドープGaN半導体からなるバッファ層と、SiドープAl0.18Ga0.82N半導体からなる第3のAlGaN半導体層9と、InAlGaN半導体からなる井戸層35a〜35cおよびバリア層37a〜37dを備えた発光領域とを有し、ピーク波長が359ナノメートルの光を発光する発光ダイオードが開示されている。
また、特開平9−153645号公報(特許文献4)には、AlNバッファ層上に、膜厚約2.0μmで電子濃度2×1018/cm3のシリコンドープGaNから成る高キャリア濃度n+層と、膜厚約1.0μmで電子濃度2×1018/cm3のシリコンドープのAl0.3Ga0.7Nから成るn層と、全膜厚約0.11μmの発光層と、膜厚約1.0μmでホール濃度5×1017/cm3であって濃度1×1020/cm3にマグネシウムがドープされたAl0.3Ga0.7Nから成るp層と、膜厚約0.2μmでホール濃度7×1017/cm3であってマグネシウム濃度2×1020/cm3のマグネシウムドープのGaNから成るコンタクト層とが積層され発光ピーク波長380nmである発光ダイオードが開示されている。
さらに、特開平10−173231号公報(特許文献5)には、キャリア濃度が1×1019/cm3のSiドープn+GaN層上に、キャリア濃度が1×1018/cm3のSiドープnGaN層およびn型In0.15Ga0.85N層をこの順に成長させた構造を有する発光素子が開示されている。特許文献5に記載の発光素子においては、活性層全体に均一に電流が流れ、均一な発光が得られるとされている。
多重量子井戸発光層中のバリア層としてGaNよりもバンドギャップの大きいAlGaNあるいはInGaAlNを用いた場合に、n側の層がInGaNあるいはGaNであるときには、発光層からn側の層へのホールのオーバーフローが起こりやすくなり、その結果、特に動作電流密度を高くした場合には、窒化物半導体発光素子の投入電流に対する発光量の比である電流−発光効率(W/A)、および投入電力に対する発光量の比である電力−発光効率(W/W)が低下することが問題となっていた。
本発明の目的は、動作電流密度が高い場合においても発光効率を高くすることができる窒化物半導体発光素子を提供することにある。
本発明は、第1のn型窒化物半導体層と、第2のn型窒化物半導体層と、n型電子注入層と、発光層と、p型窒化物半導体層と、をこの順に備え、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度は、第1のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下であり、n型電子注入層の平均n型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上である窒化物半導体発光素子である。これは、本発明者が鋭意検討した結果、上記の構成を採用した場合には、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くすることができることを見い出したことによるものである。
本発明によれば、動作電流密度が高い場合においても発光効率を高くすることができる窒化物半導体発光素子を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
本明細書において、「バリア層」は、量子井戸層に挟まれた層を意味する。また、量子井戸層に挟まれていないバリア層は、「最初のバリア層」または「最後のバリア層」と表記され、量子井戸層に挟まれた層とは表記を変えるものとする。
また、本明細書においては、「ドーパント濃度」という用語と、n型ドーパントまたはp型ドーパントのドープに伴って発生する電子およびホールの濃度である「キャリア濃度」という用語とを用いているが、その関係については後述する。
また、本明細書において、「キャリアガス」とは、III族原料ガス、V族原料ガスおよびドーパント原料ガス以外のガスを意味する。キャリアガスを構成する原子は窒化物半導体層などには取り込まれない。
また、本明細書において、「アンドープ」とは意図的にドーピングを行なわないことを意味しており、アンドープ層であっても隣接する層からのドーパントの拡散によりドーパントを含むことがある。
また、本明細書において、「n型窒化物半導体層」は、その中に電子の流れを実用上妨げない程度の厚さの低キャリア濃度のn型層あるいはアンドープ層を含んでいてもよい。「実用上妨げない」とは窒化物半導体発光素子の動作電圧が実用的なレベルであることを言う。
また、本明細書において、「p側窒化物半導体層」も、ホールの流れを実用上妨げない程度の厚さの低キャリア濃度のp型層あるいはアンドープ層を含んでいてもよい。「実用上妨げない」とは窒化物半導体発光素子の動作電圧が実用的なレベルであることを言う。
また、本明細書において、「AlGaN」という表記は、原子としてAl、GaおよびNを含んでいるという意味であって、組成は特に限定されていない。InGaN、AlGaInN、およびAlONについても同様である。
また、本明細書において、「窒化物半導体」は、理想的には、窒素(N)とその他の元素(Al,Ga,In)との原子数比が1:1になるが、ドーパントが含まれている場合もあり、また実際に形成される物質は必ずしも理想的なものではないため、原子数比が1:1からずれることがある。また、本明細書において、AlxGa1-xNと記載する場合であっても、窒素(N)とその他の元素(Al,Ga)との原子数比が完全に1:1だけのものを意図するものではない。原子数比の1:1からのずれは、本願明細書の記載上は、無視するものとする。
また、本明細書において、窒化物半導体におけるバンドギャップEg(eV)と、InあるいはAlの混晶比xとの関係は、Joachim Piprek, “Semiconductor Optoelectric Devices”, Academic Press, 2003, p.191に記載されている以下の式(I)および(II)を用いることとする。
Eg(InxGa1-xN)=1.89x+3.42(1−x)−3.8x(1−x) …(I)
Eg(AlxGa1-xN)=6.28x+3.42(1−x)−1.3x(1−x) …(II)
[窒化物半導体発光素子の構成]
図1に、本発明の窒化物半導体発光素子の一例である実施の形態の窒化物半導体発光素子の模式的な断面図を示し、図2に、実施の形態の窒化物半導体発光素子を上面から見たときの模式的な平面図を示す。
Eg(AlxGa1-xN)=6.28x+3.42(1−x)−1.3x(1−x) …(II)
[窒化物半導体発光素子の構成]
図1に、本発明の窒化物半導体発光素子の一例である実施の形態の窒化物半導体発光素子の模式的な断面図を示し、図2に、実施の形態の窒化物半導体発光素子を上面から見たときの模式的な平面図を示す。
実施の形態の窒化物半導体発光素子は、基板101と、基板101上に順次設けられた、バッファ層102と、窒化物半導体下地層106と、第1のn型窒化物半導体層108と、第2のn型窒化物半導体層110と、n型電子注入層112と、発光層114と、p型窒化物半導体層116と、p型窒化物半導体層118とを備えている。
p型窒化物半導体層118上には透明電極層122が設けられており、透明電極層122上にはp電極124が設けられている。また、第1のn型窒化物半導体層108上にはn電極126が設けられている。さらに、n電極126の表面の一部およびp電極124の表面の一部を露出させるように、窒化物半導体発光素子の表面は透明絶縁保護膜128で覆われている。
[基板]
基板101としては、たとえば、サファイア、GaN、SiC、Si若しくはZnOなどの基板を用いることができる。基板101の厚さは特に限定されないが、窒化物半導体層の成長時における基板101の厚さは900μm以上1200μmであることが好ましく、窒化物半導体発光素子の使用時の基板101の厚さは50μm以上300μm以下であることが好ましい。
基板101としては、たとえば、サファイア、GaN、SiC、Si若しくはZnOなどの基板を用いることができる。基板101の厚さは特に限定されないが、窒化物半導体層の成長時における基板101の厚さは900μm以上1200μmであることが好ましく、窒化物半導体発光素子の使用時の基板101の厚さは50μm以上300μm以下であることが好ましい。
また、基板101の上面には、凸部101aおよび凹部101bを有する凹凸形状が形成されていてもよく、上面の少なくとも一部が平坦であってもよい。また、基板101の上面の凸部101aおよび凹部101bの形状は特に限定されないが、凸部101aは、平面視において略正三角形の頂点に配された略円形であることが好ましく、隣り合う凸部101aの頂点の間隔は1μm以上5μm以下であることがより好ましい。また、凸部101aの断面形状は台形状であってもよく、この場合には、台形の頂点部が丸みを帯びた形状であることがより好ましい。
なお、基板101は、基板101上への窒化物半導体層の成長後に除去されることによって、本発明の窒化物半導体発光素子は、基板101を有していない窒化物半導体発光素子とされてもよい。
[バッファ層]
バッファ層102としては、たとえば、AlON層(Nに対するOの比率が数原子%程度)またはAls0Gat0Ou0N1-u0(0≦s0≦1、0≦t0≦1、0≦u0≦1、s0+t0≠0)からなる式で表わされる窒化物半導体層などを用いることができる。
バッファ層102としては、たとえば、AlON層(Nに対するOの比率が数原子%程度)またはAls0Gat0Ou0N1-u0(0≦s0≦1、0≦t0≦1、0≦u0≦1、s0+t0≠0)からなる式で表わされる窒化物半導体層などを用いることができる。
ここで、バッファ層102を構成するAlON層としては、Nのごく一部(0.5原子%以上2原子%以下)が酸素に置き換えられていることが好ましい。この場合には、基板101の成長面の法線方向に伸長するようにバッファ層102が形成されるため、結晶粒の揃った柱状結晶の集合体からなるバッファ層102を得ることができる。
また、バッファ層102の厚さは、特に限定されないが、3nm以上100nm以下であることが好ましく、5nm以上50nm以下であることがより好ましい。
窒化物半導体下地層106のX線ロッキングカーブの半値幅を向上させるために、バッファ層102としては、公知のスパッタ法により形成されたAlON層を用いることが好ましい。
また、バッファ層102としては、たとえば、500℃程度の低温でMOCVD法によって成長するGaN層を用いてもよい。
[窒化物半導体下地層]
窒化物半導体下地層106としては、たとえば、Alx0Gay0Inz0N(0≦x0≦1、0≦y0≦1、0≦z0≦1、x0+y0+z0≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層などを用いることができる。
窒化物半導体下地層106としては、たとえば、Alx0Gay0Inz0N(0≦x0≦1、0≦y0≦1、0≦z0≦1、x0+y0+z0≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層などを用いることができる。
なお、窒化物半導体下地層106を含む以下の窒化物半導体各層は、たとえばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法によって形成することができるが、これに限定されず、たとえば、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法またはVPE(Vapor Phase Epitaxy)法などにより形成することもできる。
また、窒化物半導体下地層106としては、たとえば柱状結晶の集合体からなるバッファ層102中の転位などの結晶欠陥を引き継がないようにするために、III族元素としてGaを含む窒化物半導体層を用いることが好ましい。
窒化物半導体下地層106は、アンドープ層としてもよく、たとえばn型ドーパントが1×1016/cm3以上1×1020/cm3以下の範囲でドーピングされていてもよい。ここで、n型ドーパントとしては、たとえば、Si、GeおよびSnからなる群から選択された少なくとも1種などを用いることができ、なかでもSiを用いることが好ましい。n型ドーパントにSiを用いた場合には、n型ドーピングガスとしてシランまたはジシランを用いることが好ましい。同様のことが、後述する各n型ドーピング窒化物半導体層にも言える。
窒化物半導体下地層106の成長時における基板101の温度は、800℃以上1250℃以下であることが好ましく、900℃以上1150℃以下であることがより好ましい。窒化物半導体下地層106の成長時における基板101の温度が800℃以上1250℃以下である場合、特に900℃以上1150℃以下である場合には、結晶欠陥の少ない結晶性に優れた窒化物半導体下地層106を成長させることができる。
窒化物半導体下地層106の厚さをできるだけ厚くすることによって、窒化物半導体下地層106中の欠陥は減少するが、基板との熱膨張率差に伴うウエハ(基板上に窒化物半導体層を形成したもの)の反りが大きくなるという問題があり、窒化物半導体下地層106の厚さをある程度以上厚くしたとしても窒化物半導体下地層106における欠陥減少効果が飽和する。これにより、窒化物半導体下地層106の厚さは、1μm以上8μm以下であることが好ましく、3μm以上5μm以下であることがより好ましい。
[第1のn型窒化物半導体層]
第1のn型窒化物半導体層108としては、たとえば、Alx1Gay1Inz1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1≦1、x1+y1+z1≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、なかでも、Alx1Ga1-x1N(0≦x1≦1、好ましくは0≦x1≦0.5、より好ましくは0≦x1≦0.1)層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましい。
第1のn型窒化物半導体層108としては、たとえば、Alx1Gay1Inz1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1≦1、x1+y1+z1≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、なかでも、Alx1Ga1-x1N(0≦x1≦1、好ましくは0≦x1≦0.5、より好ましくは0≦x1≦0.1)層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましい。
動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くする観点からは、第1のn型窒化物半導体層108のn型ドーパント濃度は、2×1018/cm3以上とすることが好ましい。また、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くする観点からは、第1のn型窒化物半導体層108のn型ドーパント濃度は、5×1019/cm3以下とすることが好ましい。
第1のn型窒化物半導体層108の厚さはできるだけ厚い方が第1のn型窒化物半導体層108の抵抗は減少する。一方、第1のn型窒化物半導体層108の厚さを厚くした場合には窒化物半導体発光素子の製造コストの上昇を招く。両者の兼ね合いから、第1のn型窒化物半導体層108の厚さは、1μm以上10μm以下であることが好ましいが、これに限定されるものではない。
第1のn型窒化物半導体層108は、単層であってもよく、組成・ドーピング濃度・その両方について異なる2層以上の複数層であってもよい。第1のn型窒化物半導体層108が複数層である場合には、それぞれの層が同一の組成からなっていてもよく、少なくとも1層が異なる組成であってもよい。第1のn型窒化物半導体層108が複数層である場合には、それぞれの層が同一の厚さであってもよく、少なくとも1層が異なる厚さであってもよい。
なお、後述の実施例に示すように、まずn型GaN層であるn型窒化物半導体層を成長し、一旦成長炉から取り出してから、別の炉で同一のn型GaN層であるn型窒化物半導体層を再び成長させるという2つの成長工程によって、第1のn型窒化物半導体層108を形成してもよい。しかしながら、第1のn型窒化物半導体層108の構成は特に限定されない。
第1のn型窒化物半導体層108は、後述するn電極のコンタクト層を兼ねているため、少なくともn電極126のコンタクト層となる部分については1×1018/cm3以上の高ドープ濃度であることが好ましい。
[第2のn型窒化物半導体層]
第2のn型窒化物半導体層110としては、たとえば、Alx2Gay2Inz2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2≦1、x2+y2+z2≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、なかでも、Alx2Ga1-x2N(0≦x2≦1、好ましくは0≦x2≦0.3、より好ましくは0≦x2≦0.1)層またはInz2Ga1-z2N(0≦z2≦1、好ましくは0≦z2≦0.3、より好ましくは0≦z2≦0.1)層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましい。
第2のn型窒化物半導体層110としては、たとえば、Alx2Gay2Inz2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2≦1、x2+y2+z2≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、なかでも、Alx2Ga1-x2N(0≦x2≦1、好ましくは0≦x2≦0.3、より好ましくは0≦x2≦0.1)層またはInz2Ga1-z2N(0≦z2≦1、好ましくは0≦z2≦0.3、より好ましくは0≦z2≦0.1)層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましい。
第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度は、第1のn型窒化物半導体層108の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下とされ、好ましくは0.5倍以下とされる。
第2のn型窒化物半導体層110の厚さは特に限定されないが、50nm以上500nm以下であることが好ましい。
第2のn型窒化物半導体層110は、単層であってもよく、組成・ドーピング濃度・その両方について異なる2層以上の複数層であってもよい。第2のn型窒化物半導体層110が複数層である場合には、それぞれの層が同一の組成からなっていてもよく、少なくとも1層が異なる組成であってもよい。第2のn型窒化物半導体層110が複数層である場合には、それぞれの層が同一の厚さであってもよく、少なくとも1層が異なる厚さであってもよい。
なお、第2のn型窒化物半導体層110の代わりに、n型ドーパントをドープしないこと以外は第2のn型窒化物半導体層110と同様にして作製したアンドープの窒化物半導体層を用いてもよい。
[n型電子注入層]
n型電子注入層112は、たとえば、Alx3Gay3Inz3N(0≦x3≦1、0≦y3≦1、0≦z3≦1、x3+y3+z3≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、第2のn型窒化物半導体層110よりバンドギャップが大きいことが好ましい。なかでも、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましく、n型電子注入層112が第2のn型窒化物半導体層110よりバンドギャップが大きいAlx3Gay3Inz3Nからなる場合には、発光層114に良好に電子を注入する観点などからは、Alの組成比x3をx2よりも0.01以上0.1以下の範囲で大きくすることが好ましく、x2より0.05以下の範囲で大きくすることがより好ましい。
n型電子注入層112は、たとえば、Alx3Gay3Inz3N(0≦x3≦1、0≦y3≦1、0≦z3≦1、x3+y3+z3≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができ、第2のn型窒化物半導体層110よりバンドギャップが大きいことが好ましい。なかでも、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましく、n型電子注入層112が第2のn型窒化物半導体層110よりバンドギャップが大きいAlx3Gay3Inz3Nからなる場合には、発光層114に良好に電子を注入する観点などからは、Alの組成比x3をx2よりも0.01以上0.1以下の範囲で大きくすることが好ましく、x2より0.05以下の範囲で大きくすることがより好ましい。
n型電子注入層112のn型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層110のn型ドーパント濃度の1.5倍以上であり、好ましくは2倍以上である。第2のn型窒化物半導体層110が複数層からなる場合には、n型電子注入層112の平均n型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度に対してドーパント濃度の1.5倍以上とされ、好ましくは2倍以上とされる。
n型電子注入層112は単層であってもよく、組成および/またはドーパント濃度の異なる複数層であってもよい。たとえば、発光層114に隣接する5nm程度の厚さのn型電子注入層112は、製造時におけるドーパントの拡散を想定して意図的にドーピングを行なわない層としてもよい。
n型電子注入層112の厚さは、10nm以上100nm以下であることが好ましい。n型電子注入層112の厚さが10nm以上である場合には、n型電子注入層112のn型電子注入層としての機能が向上する傾向にあり、100nm以下である場合には空乏層が第2のn型窒化物半導体層110に広がりにくくなり、静電耐圧が低くなる場合がある。
なお、n型電子注入層112は、発光層114を挟み込むn型クラッド層としての働きを有する。
[発光層]
図3に、実施の形態の窒化物半導体発光素子の第1のn型窒化物半導体層108、第2のn型窒化物半導体層110、n型電子注入層112、発光層114およびp型窒化物半導体層116のバンドギャップエネルギーおよびn型ドーパント濃度の一例を示す。図3の縦軸は積層方向の厚さを示しており、上方向がp型窒化物半導体層116に近い側を意味している。また、図3の横軸はバンドギャップエネルギーの大きさおよびn型ドーパント濃度の高さを示しており、図3の右側の線がバンドギャップエネルギーの大きさを示し、図3の左側の線がn型ドーパント濃度の高さを示しており、図3の横軸の右方向がそれぞれバンドギャップエネルギーが大きいことおよびn型ドーパント濃度が高いことを意味している。
図3に、実施の形態の窒化物半導体発光素子の第1のn型窒化物半導体層108、第2のn型窒化物半導体層110、n型電子注入層112、発光層114およびp型窒化物半導体層116のバンドギャップエネルギーおよびn型ドーパント濃度の一例を示す。図3の縦軸は積層方向の厚さを示しており、上方向がp型窒化物半導体層116に近い側を意味している。また、図3の横軸はバンドギャップエネルギーの大きさおよびn型ドーパント濃度の高さを示しており、図3の右側の線がバンドギャップエネルギーの大きさを示し、図3の左側の線がn型ドーパント濃度の高さを示しており、図3の横軸の右方向がそれぞれバンドギャップエネルギーが大きいことおよびn型ドーパント濃度が高いことを意味している。
図3に示すように、発光層114は、量子井戸層14W(14W1〜14W8)と、バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)とを備えている。量子井戸層14Wとバリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)とは交互に積層されており、各量子井戸層14Wは、それぞれ、バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)の間に挟まれており、バリア層14B(14B1〜14B5)は、それぞれ、量子井戸層14W(14W1〜14W8)の間に挟まれている。
n型電子注入層112の直上には、最初のバリア層14BZが設けられている。最もp型窒化物半導体層116側に位置する第1の量子井戸層14W1の直上には最後のバリア層14B0が設けられている。
なお、この説明において、各バリア層および各量子井戸層を識別するために、p型窒化物半導体層116からn型電子注入層112に向かって番号を付し、たとえば、量子井戸層14W1、バリア層14B1、量子井戸層14W2、バリア層14B2・・・などと表記することとする。
バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)と量子井戸層14Wとの間に、バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)および量子井戸層14Wとは異なる1層以上の半導体層が含まれていてもよい。また、発光層114の一周期(バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)の厚さと量子井戸層14Wの厚さとの和)の長さは、たとえば、5nm以上100nm以下とすることができる。
量子井戸層14Wとしては、それぞれ独立に、たとえば、Alc1Gad1In(1-c1-d1)N(0≦c1<1、0<d1≦1)の式で表わされる窒化物半導体層を用いることができる。なかでも、量子井戸層14Wとしては、Alを含まないIne1Ga(1-e1)N(0<e1≦1)であることが好ましい。量子井戸層14WのInの組成を変えることにより、量子井戸層14Wのバンドギャップエネルギーを調整することが可能になる。たとえば、波長が375nm以下の紫外光を発光させる場合には、発光層114のバンドギャップエネルギーを大きくする必要があるため、各量子井戸層14Wは、Alを含むことになる。
複数の量子井戸層14Wのうち、たとえば基板101側に位置する量子井戸層14Wのいくつかにn型ドーパントを含んでいてもよい。これにより、窒化物半導体発光素子の駆動電圧が低下する傾向にある。
各量子井戸層14Wの厚さは特に限定されないが、互いに同一であることが好ましい。各量子井戸層14Wの厚さが互いに同一である場合には、各量子井戸層14Wの量子準位も同一になるため、各量子井戸層14Wにおける電子とホールとの再結合により各量子井戸層14Wにおいて同じ波長の光が生じる。これにより、窒化物半導体発光素子の発光スペクトル幅が狭くなるため好ましい。一方、各量子井戸層14Wの組成および/または厚さを意図的に異ならせた場合には、窒化物半導体発光素子の発光スペクトル幅をブロードにすることができる。
各量子井戸層14Wの厚さは1nm以上7nm以下であることが好ましい。各量子井戸層14Wの厚さが1nm以上7nm以下の範囲内にある場合には、大電流密度での駆動時における窒化物半導体発光素子の発光効率をより向上させることができる。
各バリア層14B(14B0、14B1〜14B7、14BZ)としては、それぞれ、たとえば、各量子井戸層14Wを構成する窒化物半導体材料よりもバンドギャップエネルギーが大きい窒化物半導体材料を用いることができ、それぞれ独立に、AlfGagIn(1-f-g)N(0≦f<1、0<g≦1)の式で表わされる窒化物半導体層を用いることが好ましく、Alを含むAlhGa(1-h)N(0<h≦1)の式で表わされる窒化物半導体層を用いることがより好ましく、GaおよびAlを含むAlhGa(1-h)N(0<h<1)の式で表わされる窒化物半導体層を用いることがさらに好ましい。
各バリア層14B(14B1〜14B7)の厚さは特に限定されないが、1nm以上10nm以下であることが好ましく、3nm以上7nm以下であることがより好ましい。各バリア層14B(14B1〜14B7)の厚さが薄いほど動作電圧が低下するが、各バリア層14B(14B1〜14B7)の厚さを極端に薄くすると、大電流密度での動作時における窒化物半導体発光素子の発光効率が低下する傾向にある。最初のバリア層14BZの厚さは、特に限定されず、1nm以上10nm以下であることが好ましい。最後のバリア層14B0の厚さは、特に限定されないが、1nm以上40nm以下であることが好ましい。
バリア層14B(14B1〜14B7)および最初のバリア層14BZはアンドープとしたが、n型ドーパント濃度は特に限定されず、必要に応じて適宜設定されることが好ましい。また、複数のバリア層14B(14B1〜14B7)のうち、基板101側に位置するバリア層14B(14B1〜14B7)にはn型ドーパントをドープさせ、p型窒化物半導体層116側に位置するバリア層14B(14B1〜14B7)には基板101側に位置するバリア層14B(14B1〜14B7)よりも低い濃度のn型ドーパントをドープさせる、またはn型ドーパントをドープさせないことが好ましい。
また、各バリア層14B(14B1〜14B7)、最初のバリア層14BZおよび最後のバリア層14B0には、p型窒化物半導体層116およびp型窒化物半導体層118の成長時の熱拡散によりp型ドーパントがドープされることがある。
量子井戸層14Wの層数は特に限定されないが、1層以上20層以下であることが好ましく、3層以上15層以下であることがより好ましく、4層以上12層以下であることがさらに好ましい。
[p型窒化物半導体層]
p型窒化物半導体層116,118としては、それぞれ独立に、たとえばAlx4Gay4Inz4N(0≦x4≦1、0≦y4≦1、0≦z4≦1、x4+y4+z4≠0)層にp型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましく、特にp型窒化物半導体層116としてはp型ドーパントがドープされたAlx4Ga(1-x4)N(0<x4≦0.4、好ましくは0.1≦x4≦0.3)層、p型窒化物半導体層118としてはそれよりもバンドギャップの小さい層を用いることが好ましい。
p型窒化物半導体層116,118としては、それぞれ独立に、たとえばAlx4Gay4Inz4N(0≦x4≦1、0≦y4≦1、0≦z4≦1、x4+y4+z4≠0)層にp型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましく、特にp型窒化物半導体層116としてはp型ドーパントがドープされたAlx4Ga(1-x4)N(0<x4≦0.4、好ましくは0.1≦x4≦0.3)層、p型窒化物半導体層118としてはそれよりもバンドギャップの小さい層を用いることが好ましい。
p型ドーパントとしては、特に限定されないが、たとえばマグネシウムを用いることが好ましい。p型窒化物半導体層116,118におけるキャリア濃度は1×1017/cm3以上であることが好ましい。p型ドーパントの活性率は、0.01程度であることから、p型窒化物半導体層116,118におけるp型ドーパント濃度(キャリア濃度とは異なる)は1×1019/cm3以上であることが好ましい。
p型窒化物半導体層116,118の合計の厚さは、特に限定されないが、50nm以上300nm以下であることが好ましい。p型窒化物半導体層116,118の合計の厚さを薄くすることにより、p型窒化物半導体層116,118の成長時における加熱時間を短くすることができる。これにより、p型窒化物半導体層116,118におけるp型ドーパントの発光層114への拡散を抑制することができる。
なお、p型窒化物半導体層116は、発光層114を挟み込むp型クラッド層としての働きを有する。
[n電極、透明電極、p電極、透明絶縁保護膜]
透明電極層122、p電極124およびn電極126は、窒化物半導体発光素子に駆動電力を供給するための電極である。図2に示すように、p電極124およびn電極126は、パッド電極部分のみで構成されているが、たとえば電流拡散を目的とする細長い突出部(枝電極)などが接続されていてもよい。
透明電極層122、p電極124およびn電極126は、窒化物半導体発光素子に駆動電力を供給するための電極である。図2に示すように、p電極124およびn電極126は、パッド電極部分のみで構成されているが、たとえば電流拡散を目的とする細長い突出部(枝電極)などが接続されていてもよい。
透明電極層122は、たとえば、ITO(Indium Tin Oxide)またはIZO(Indium Zinc Oxide)などの透明導電膜からなることが好ましく、20nm以上200nm以下の厚さを有していることが好ましい。
p電極124およびn電極126は、たとえば、ニッケル層、アルミニウム層、チタン層および金層がこの順序で積層されて構成されていることが好ましいが、同じ構成である必要はなく、別の構成であってもよい。p電極124およびn電極126にワイヤボンディングを行なう場合を想定すると、p電極124およびn電極126の厚さは1μm以上であることが好ましい。
また、p電極124よりも下、好ましくは透明電極122よりも下に、電流がp電極124の直下に注入されることを防止するための絶縁層が設けられていることが好ましい。これにより、p電極124に遮蔽される発光量が減少して、光取り出し効率が向上する。
また、透明絶縁保護膜128としては、たとえばSiO2からなる膜を用いることができるが、これに限定されるものではない。
[キャリア濃度とドーパント濃度について]
キャリア濃度は電子またはホールの濃度を意味し、n型ドーパントの量またはp型ドーパントの量だけでは決定されない。このようなキャリア濃度は窒化物半導体発光素子の電圧対容量特性の結果に基づいて算出されるものであり、電流が注入されていない状態のキャリア濃度のことを指しており、イオン化した不純物、ドナー化した結晶欠陥、およびアクセプター化した結晶欠陥から発生したキャリアの合計である。
キャリア濃度は電子またはホールの濃度を意味し、n型ドーパントの量またはp型ドーパントの量だけでは決定されない。このようなキャリア濃度は窒化物半導体発光素子の電圧対容量特性の結果に基づいて算出されるものであり、電流が注入されていない状態のキャリア濃度のことを指しており、イオン化した不純物、ドナー化した結晶欠陥、およびアクセプター化した結晶欠陥から発生したキャリアの合計である。
しかしながら、n型キャリア濃度は、n型ドーパントであるSi等の活性化率が高いことから、n型ドーパント濃度とほぼ同じと考えることができる。また、n型ドーパント濃度はSIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy;二次イオン質量分析)にて深さ方向の濃度分布を測定することにより容易に求めることができる。さらに、ドーパント濃度の相対関係(比率)は、キャリア濃度の相対関係(比率)とほぼ同じである。これらのことから、本発明においては、実際に測定の容易なドーパント濃度で定義している。そして、測定により得られたn型ドーパント濃度を厚さ方向に平均することによって、平均n型ドーパント濃度を得ることができる。
[作用効果]
本発明の窒化物半導体発光素子においては、第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度を、第1のn型窒化物半導体層108の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下とし、n型電子注入層112の平均n型ドーパント濃度を、第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上としている。これは、本発明者が鋭意検討した結果、このように、発光層114に最も近いn型電子注入層112のキャリア濃度を高くした場合には、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くすることができるとともに、n型電子注入層112の下方に低キャリア濃度の第2のn型窒化物半導体層を設けることにより、静電耐圧の悪化を抑制できることを見い出したことによるものである。
本発明の窒化物半導体発光素子においては、第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度を、第1のn型窒化物半導体層108の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下とし、n型電子注入層112の平均n型ドーパント濃度を、第2のn型窒化物半導体層110の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上としている。これは、本発明者が鋭意検討した結果、このように、発光層114に最も近いn型電子注入層112のキャリア濃度を高くした場合には、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くすることができるとともに、n型電子注入層112の下方に低キャリア濃度の第2のn型窒化物半導体層を設けることにより、静電耐圧の悪化を抑制できることを見い出したことによるものである。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、n型電子注入層112は、第2のn型窒化物半導体層110よりバンドギャップが大きいことが好ましい。この場合には、発光層114内への電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、発光層114は、量子井戸層およびバリア層を含み、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなることが好ましい。この場合には、発光層114内における電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、n型電子注入層112の厚さは、10nm以上100nm以下であることが好ましい。この場合には、発光層114内への電子の注入を良好に行なうことができるため、静電耐圧の悪化を抑制しつつ、動作電圧を低減することができるとともに、発光層114内における電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
さらに、本発明の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長(発光スペクトルのピークに対応する波長)は、250nm以上445nm以下であることが好ましい。本発明は、発光ピーク波長が250nm以上445nm以下といった短波長の光を発光する窒化物半導体発光素子に対して非常に有効に作用する。
さらに、本発明の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、250nm以上445nm以下であることが好ましい。本発明は、発光ピーク波長が250nm以上445nm以下といった短波長の光を発光する窒化物半導体発光素子に対して非常に有効に作用する。
<実施例1>
以下に、図4の模式的断面図に示される実施例1の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。
以下に、図4の模式的断面図に示される実施例1の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。
まず、図4に示すように、凸部101aおよび凹部101bからなる凹凸加工が上面に施された100mm径のサファイア基板である基板101を準備した。凸部101aの形状は、平面視において略円形を為し、隣り合う3個の凸部101aが平面視において略正三角形の頂点に位置するように配置されている。隣り合う凸部101aの頂点の間隔は2μmであり、凸部101aの平面視における略円形の直径は1.2μm程度であり、凸部101aの高さは0.6μm程度であった。さらに、基板101の上面の凸部101aおよび凹部101bは、図4に示す断面を有しており、凸部101aは先端部を有していた。
次に、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面に対してRCA洗浄を行なった。そして、チャンバにRCA洗浄後の基板101を設置してN2とO2とArとを導入し、基板101を650℃に加熱し、Alターゲットをスパッタする反応性スパッタ法により、凸部101aおよび凹部101bを有する基板101の表面上に、基板101の表面の法線方向に伸長する結晶粒の揃った柱状結晶の集合体からなるAlON結晶からなる厚さ35nmのバッファ層102を形成した。
次に、バッファ層102が形成された基板101を第1のMOCVD装置内に収容した。そして、MOCVD法により、バッファ層102上に、アンドープGaNからなる窒化物半導体下地層106を成長させ、引き続いてSiドープn型GaNからなる第1のn型窒化物半導体層108Aを成長させた。このとき、窒化物半導体下地層106の厚さを3.8μmとし、第1のn型窒化物半導体層108Aの厚さを3μmとし、第1のn型窒化物半導体層108Aにおけるn型ドーパント濃度を1×1019/cm3とした。
なお、窒化物半導体下地層106の厚さをできるだけ厚くすることによって、窒化物半導体下地層106中の欠陥は減少するが、窒化物半導体下地層106の厚さをある程度以上厚くしたとしても窒化物半導体下地層106における欠陥減少効果が飽和した。これにより、窒化物半導体下地層106の厚さは、1μm以上8μm以下であることが好ましく、3μm以上5μm以下であることがより好ましいことがわかった。
次に、第1のMOCVD装置から取り出した基板101を第2のMOCVD装置内に収容した。基板101の温度を1250℃に設定して、厚さ1.5μmのn型GaN層からなる第1のn型窒化物半導体層108B(n型ドーパント濃度:1×1019/cm3)を成長させることによって、第1のn型窒化物半導体層108Aと第1のn型窒化物半導体層108Bとの2層の積層体からなる第1のn型窒化物半導体層108(平均n型ドーパント濃度:1×1019/cm3)を形成した。
次に、基板101の温度を940℃に保持した状態で、厚さ360nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層110(平均n型ドーパント濃度:1×1018/cm3)を成長した。
次に、厚さ20nmのSiドープn型Al0.03Ga0.97Nからなるn型電子注入層112(平均n型ドーパント濃度:1.5×1019/cm3)を成長させた。
次に、基板101の温度を840℃に下げて、発光層114を成長させた。具体的には、図3に示すように、アンドープAl0.05Ga0.95Nからなる各バリア層14B(14BZ、14B1〜14B7、14B0)と、アンドープIn0.11Ga0.89Nからなる量子井戸層14W(14W1〜14W8)とを1層ずつ交互に成長させた。バリア層14BZおよび14B1〜14B7の厚さは4.3nmとし、各量子井戸層(14W1〜14W8)の厚さは2.9nmとし、バリア層14B0の厚さは8nmに設定した。
次に、基板101の温度を1200℃に上げて、最後のバリア層14B0の上面上に、p型窒化物半導体層116,118として、それぞれ、p型Al0.2Ga0.8N層、p型GaN層を成長させた。最終的に目標とするp型ドーパント濃度とするため、p型ドーパント原料流量は一定とはせず、適宜変化させた。
なお、上述の各層のMOCVD成長において、Gaの原料ガスとしてはTMG(トリメチルガリウム)を用い、Alの原料ガスとしてはTMA(トリメチルアルミニウム)を用い、Inの原料ガスとしてはTMI(トリメチルインジウム)を用い、Nの原料ガスとしてはNH3を用いた。また、n型ドーパントであるSiの原料ガスとしてはSiH4を用い、p型ドーパントであるMgの原料ガスとしてはCp2Mgを用いた。しかし、原料ガスは上記ガスに限定されず、MOCVD用原料ガスとして用いられるガスであれば限定されることなく用いることができる。具体的には、Gaの原料ガスとしてTEG(トリエチルガリウム)を用いることができ、Alの原料ガスとしてTEA(トリエチルアルミニウム)を用いることができ、Inの原料ガスとしてTEI(トリエチルインジウム)を用いることができ、Nの原料ガスとしてDMHy(ジメチルヒドラジン)などの有機窒素化合物を用いることができ、Siの原料ガスとしてSi2H6または有機Siなどを用いることができる。
次に、第1のn型窒化物半導体層108Bの表面の一部が露出するように、p型窒化物半導体層118、p型窒化物半導体層116、発光層114、n型電子注入層112、第2のn型窒化物半導体層110および第1のn型窒化物半導体層108Bの一部をエッチングした。このエッチングにより露出した第1のn型窒化物半導体層108Bの上面上にAuからなるn電極126を形成した。また、p型窒化物半導体層118の上面上に、ITOからなる透明電極層122とAuからなるp電極124とを順に形成した。また、主として透明電極層122および上記エッチングによって露出した各層の側面を覆うようにSiO2からなる透明絶縁保護膜128を形成した。
次に、基板101を440×530μmサイズのチップに分割し、各チップを表面実装型パッケージにマウントし、p電極124およびn電極126をワイヤボンド法によってパッケージ側の電極に接続し、チップを樹脂封止した。これにより、実施例1の窒化物半導体発光素子が得られた。実施例1の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、約405nmであり、動作電流50mA(約42mA/cm2)で72.5mWの光出力(発光強度)が得られた。
また、実施例1の窒化物半導体発光素子の効果を調べるため、n型電子注入層112の形成を省略したこと以外は実施例1と同様にして、比較例の窒化物半導体発光素子を製造した。
そして、実施例1の窒化物半導体発光素子と、比較例の窒化物半導体発光素子とをそれぞれ電流密度が120mA/cm2という大電流密度で動作させた結果、実施例1の窒化物半導体発光素子の発光効率は、比較例の窒化物半導体発光素子の発光効率と比較して、数%〜10%改善できることが確認された。
また、実施例1の窒化物半導体発光素子のn型電子注入層112のAlx3Gay3Nの組成式のAlの組成比x3を0〜0.09の範囲で変化させた場合(x3=0,0.01,0.03,0.05,0.07,0.09)、およびn型電子注入層112の平均n型ドーパント濃度を7×1018/cm3〜3×1019/cm3の範囲で変化させた場合(7×1018/cm3,1×1019/cm3,1.5×1019/cm3,2.2×1019/cm3,3×1019/cm3)のいずれにおいても上記と同様の結果が得られたが、Alの組成比x3を0.01以上0.05以下とした場合に特に発光効率の改善効果が優れることが確認された。
<実施例2>
以下に、図5の模式的断面図に示される実施例2の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
以下に、図5の模式的断面図に示される実施例2の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
次に、基板101の温度を940℃に保持した状態で、厚さ295nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層210A(n型ドーパント濃度:6×1018/cm3)、厚さ50nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層210B(n型ドーパント濃度:7×1017/cm3)、および厚さ15nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層210C(n型ドーパント濃度:6×1018/cm3)をこの順にMOCVD法により成長させることによって、第2のn型窒化物半導体層210A,210B,210Cの3層の積層体からなる第2のn型窒化物半導体層210を形成した。なお、第2のn型窒化物半導体層210の平均n型ドーパント濃度は、{6×1018×(295+15)+7×1017×50}/(295+50+15)≒5.26×1018/cm3であった。
その後は、Alx3Gay3Nの組成式のAlの組成比x3を0.02としてn型電子注入層112(平均n型ドーパント濃度:1.5×1019/cm3)を形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2の窒化物半導体発光素子を製造した。実施例2の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、405nmであった。
そして、実施例2の窒化物半導体発光素子を電流密度が120mA/cm2という大電流密度で動作させた結果、実施例2の窒化物半導体発光素子の発光効率は、比較例の窒化物半導体発光素子の発光効率と比較して、数%〜10%改善できることが確認された。
また、実施例2の窒化物半導体発光素子においては、n型ドーパントが、それぞれ、中濃度、低濃度および中濃度にドープされた第2のn型窒化物半導体層210A,210B,210Cの3層の積層体から第2のn型窒化物半導体層210が構成されているため、窒化物半導体発光素子の静電耐圧を悪化させることなく、動作電圧をさらに低減できることが確認された。
また、実施例2の窒化物半導体発光素子のn型電子注入層112の厚さを5〜100nmの変化させた場合(5nm、10nm、20nm、50nmおよび100nm)のいずれにおいても上記と同様の結果が得られたが、n型電子注入層112の厚さを10nm以上100nm以下とした場合に特に発光効率の改善効果が優れることが確認された。
<実施例3>
以下に、図6の模式的断面図に示される実施例3の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
以下に、図6の模式的断面図に示される実施例3の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
次に、基板101の温度を940℃に保持した状態で、厚さ64nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層310A(n型ドーパント濃度:7×1017/cm3)をMOCVD法により成長させた後に、厚さ2nmのアンドープIn0.04Ga0.96N層と厚さ2nmのアンドープGaN層との交互積層体である超格子構造の第2のn型窒化物半導体層310BをMOCVD法により成長させることによって、第2のn型窒化物半導体層310A,310Bの2層の積層体からなる第2のn型窒化物半導体層310を形成した。なお、第2のn型窒化物半導体層310の平均n型ドーパント濃度は、(7×1017×64)/(64+2+2)≒6.59×1017/cm3であった。
その後は、Alx3Gay3Nの組成式のAlの組成比x3を0.03としてn型電子注入層112(平均n型ドーパント濃度:1.5×1019/cm3)を形成するとともに、アンドープIn0.18Ga0.82Nからなる量子井戸層14W(14W1〜14W8)を形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例3の窒化物半導体発光素子を製造した。実施例3の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、445nmであった。
そして、実施例3の窒化物半導体発光素子を電流密度が120mA/cm2という大電流密度で動作させた結果、実施例3の窒化物半導体発光素子の発光効率は、実施例1および2の窒化物半導体発光素子と比較して、発光効率をさらに2〜5%程度改善できることが確認された。これは、超格子構造を有する第2のn型窒化物半導体層310が、第2のn型窒化物半導体層310上に成長される窒化物半導体層の結晶欠陥を緩和できたことによるものであると考えられる。
また、実施例3においては、発光ピーク波長が445nmという約450nmの窒化物半導体発光素子において、n型電子注入層112の直下の層をアンドープIn0.04Ga0.96N層とアンドープGaN層との交互積層体である超格子構造の第2のn型窒化物半導体層310Bとしたが、このような超格子構造を発光ピーク波長が405nmおよび385nmといったより短波長の窒化物半導体発光素子に適用してもよい。
<実施例4>
以下に、図7の模式的断面図に示される実施例4の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
以下に、図7の模式的断面図に示される実施例4の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。まず、実施例1と同様にして、凸部101aおよび凹部101bの形成後の基板101の上面にバッファ層102、窒化物半導体下地層106、第1のn型窒化物半導体層108Aおよび第1のn型窒化物半導体層108Bをこの順に形成した。
次に、基板101の温度を940℃に保持した状態で、厚さ280nmのSiドープn型GaNからなる第2のn型窒化物半導体層410A(n型ドーパント濃度:7×1017/cm3)をMOCVD法により成長させた後に、厚さ2nmのアンドープAl0.02Ga0.98N層と厚さ2nmのアンドープGaN層との交互積層体である超格子構造の第2のn型窒化物半導体層410BをMOCVD法により成長させることによって、第2のn型窒化物半導体層410A,410Bの2層の積層体からなる第2のn型窒化物半導体層410を形成した。なお、第2のn型窒化物半導体層410の平均n型ドーパント濃度は、(7×1017×280)/(280+2+2)≒6.90×1017/cm3であった。
その後は、Alx3Gay3Nの組成式のAlの組成比x3を0.07としてn型電子注入層112(平均n型ドーパント濃度:1.5×1019/cm3)を形成するとともに、各バリア層14B(14BZ、14B1〜14B7、14B0)をアンドープAlGaInNから形成し、さらには量子井戸層14W(14W1〜14W8)をアンドープIn0.06Ga0.94Nから形成したこと以外は実施例1と同様にして、実施例4の窒化物半導体発光素子を製造した。実施例4の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は385nm、光出力は50mAであった。
これにより、発光ピーク波長が385nmと短波長であった場合でも、高キャリア濃度の電流注入層112によって、良好な電流注入とホールのオーバーフロー防止が実現されるとともに、第2のn型窒化物半導体層410BにInGaNを用いないことにより、第2のn型窒化物半導体層410Bによる光吸収量を低減することができるため、発光効率を向上することができることが確認された。
また、発光ピーク波長の短波長化のためには、発光層114内の各バリア層14B(14BZ、14B1〜14B7、14B0)をAlGaNとすることが好ましいが、さらにInを加えた四元混晶のAlGaInNとすることによって、Inの組成揺らぎに伴う結晶欠陥の影響を低減することができる。また、量子井戸層14W(14W1〜14W8)についても、結晶欠陥を低減するために、GaN層に対してInを混合することによっても発光ピーク波長が長波長化するため、さらにAlを加えることによって波長を調整するとともに結晶欠陥の影響を低減することができる。
<実施例5>
以下に、図8の模式的断面図に示される実施例5の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。
以下に、図8の模式的断面図に示される実施例5の窒化物半導体発光素子の製造方法について説明する。
まず、図8に示すように、基板として4インチ径のSi基板501を用いた。窒化物系半導体層の結晶成長に先立って、フッ酸系のエッチャントでSi基板501の表面酸化膜を除去した後に、MOCVD装置のチャンバ内にSi基板501をセットした。
次に、MOCVD装置内でSi基板501を1100℃に加熱し、チャンバ内圧力13.3kPaの水素雰囲気にてSi基板501の表面((111)面)のクリーニングを行なった。
次に、Si基板501の温度とチャンバ内圧力を維持しつつ、NH3(12.5slm)をチャンバ内に流すことによって、Si基板501の表面の窒化を行なった。引き続いて、流量が117μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって、Si基板501の表面上に、厚さ200nmのアンドープのAlN層502をMOCVD法により成長させた。
次に、Si基板501の温度を1150℃に上昇させ、流量が57μmol/minのTMGと、流量が97μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって、AlN層502の表面上に、厚さ400nmのアンドープのAl0.7Ga0.3N層503をMOCVD法により成長させた。
次に、流量が99μmol/minのTMGと、流量が55μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって、Al0.7Ga0.3N層503の表面上に、厚さ400nmのアンドープのAl0.4Ga0.6N層504をMOCVD法により成長させた。
次に、流量が137μmol/minのTMGと、流量が18μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって、Al0.4Ga0.6N層504の表面上に、厚さ400nmのアンドープのAl0.1Ga0.9N層505をMOCVD法により成長させた。
次に、Si基板501の温度は同一とした状態で、厚さ5nmのAlN層と厚さ20nmのAl0.1Ga0.9N層とを1層ずつ交互に50周期積層した多層バッファ層構造506をAl0.1Ga0.9N層505の表面上にMOCVD法により形成した。このとき、AlN層は、流量が102μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって成長させた。また、Al0.1Ga0.9N層は、流量が720μmol/minのTMGと、流量が80μmol/minのTMAと、流量が12.5slmのNH3とをチャンバ内に流すことによって成長させた。
その後は、Alx3Gay3Nの組成式のAlの組成比x3を0.04としてn型電子注入層112(平均n型ドーパント濃度:1.5×1019/cm3)を形成したこと以外は実施例2と同様にして、実施例5の窒化物半導体発光素子を製造した。実施例5の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、405nmであった。
そして、実施例5の窒化物半導体発光素子を電流密度が120mA/cm2という大電流密度で動作させた結果、実施例5の窒化物半導体発光素子の発光効率は、Si基板501の光吸収により、実施例1〜4の窒化物半導体発光素子の発光効率よりも低くなっているが、比較例の窒化物半導体発光素子の発光効率よりも改善できることが確認された。なお、実施例5の窒化物半導体発光素子においては、Si基板501を除去することによって、発光効率のさらなる向上を見込むことができる。
<本願発明の効果に関する考察>
本願に記載の新規構造で良好な結果が得られた理由として、本願発明者らは以下のモデルを考えている。
本願に記載の新規構造で良好な結果が得られた理由として、本願発明者らは以下のモデルを考えている。
1.ホールブロック効果:たとえば短波長の発光ピーク波長(約420nm以下の場合、実施例1、2および5の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長405nmなど)の窒化物半導体発光素子においては、青色(約450nm)よりも量子井戸層のバンドギャップが大きくなることに伴って、ホールが発光層のn型窒化物半導体層側まで移動しやすくなるが、その際、高ドープ濃度のn型電子注入層が、ホールのn型窒化物半導体層側へのリークを防ぐホールブロック層として働くために、窒化物半導体発光素子の発光効率が向上すると考えられる。これは、80℃以上といった高温での窒化物半導体発光素子の特性向上にもつながる。
2.電子注入効果:発光層に隣接するn型電子注入層として、n型電子注入層の直下の第2のn型窒化物半導体層よりも平均n型ドーパント濃度の高いn型窒化物半導体層を導入することによって、発光層への電子の注入が容易になる。この効果は、n型電子注入層のバンドギャップが大きい方がより顕著になる。これにより、動作電圧を低減することができる。また「2次元電子層効果」、つまりn型電子注入層と第2のn型窒化物半導体層との間にバンドギャップ差があるときにバンドの曲がりに伴って、2次元電子層が形成される効果によっても、電子の横方向の広がりが促進され、動作電圧の低減効果が生じる可能性がある。
3.静電耐圧向上効果:本発明者らは、第2のn型窒化物半導体層のn型キャリア濃度をn型電子注入層のキャリア濃度よりも低くするとともに、n型電子注入層をたとえば20nmと薄くすることにより、(i)n型電子注入層と第2のn型窒化物半導体層との間の電子にとっての障壁が小さくなる、および(ii)窒化物半導体発光素子に電圧を印加して発光させる際、空乏層が薄いn型電子注入層を越えて、平均n型ドーパント濃度の低い第2のn型窒化物半導体層に広がることによって、電圧勾配が減少して、静電耐圧が増加する、という効果があると想定している。
なお、ここに記載した理由はあくまでも推測であり、別の理由で本発明の効果が得られている可能性もある。
<まとめ>
本発明は、第1のn型窒化物半導体層と、第2のn型窒化物半導体層と、n型電子注入層と、発光層と、p型窒化物半導体層と、をこの順に備え、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度は、第1のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下であり、n型電子注入層の平均n型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上である窒化物半導体発光素子である。このような構成とすることにより、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くすることができる。
本発明は、第1のn型窒化物半導体層と、第2のn型窒化物半導体層と、n型電子注入層と、発光層と、p型窒化物半導体層と、をこの順に備え、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度は、第1のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下であり、n型電子注入層の平均n型ドーパント濃度は、第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上である窒化物半導体発光素子である。このような構成とすることにより、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率を高くすることができる。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、n型電子注入層は、第2のn型窒化物半導体層よりバンドギャップが大きいことが好ましく、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなることがより好ましい。このような構成とすることにより、発光層内における電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、発光層は、量子井戸層およびバリア層を含み、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなることが好ましい。このような構成とすることにより、発光層内における電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
また、本発明の窒化物半導体発光素子において、n型電子注入層の厚さは、10nm以上100nm以下であることが好ましい。このような構成とすることにより、発光層内への電子の注入を良好に行なうことができるため、静電耐圧の悪化を抑制しつつ、動作電圧を低減することができるとともに、発光層内における電子・ホールの閉じ込めをより良好に行なうことができるため、動作電流密度が高い場合においても窒化物半導体発光素子の発光効率をより高くすることができる。
さらに、本発明の窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、250nm以上445nm以下であることが好ましい。本発明は、発光ピーク波長が250nm以上445nm以下といった短波長の光を発光する窒化物半導体発光素子に対して非常に有効に作用する。
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および各実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の窒化物半導体発光素子は、たとえば、一般照明、液晶用バックライト、表示、可視光通信、および紫外線光源等に利用することができる。
14W1,14W2,14W3,14W4,14W5,14W6 量子井戸層、14B0,14B1,14B2,14B3,14B4,14B5,14BZ バリア層、101 基板、101a 凸部、101b 凹部、102 バッファ層、106 窒化物半導体下地層、108,108A,108B 第1のn型窒化物半導体層、110,210,210A,210B,210C,310,310A,310B,410,410A,410B 第2のn型窒化物半導体層、112 n型電子注入層、114 発光層、116,118 p型窒化物半導体層、122 透明電極層、124 p電極、126 n電極、128 透明絶縁保護膜、501 Si基板、502 AlN層、503 Al0.7Ga0.3N層、504 Al0.4Ga0.6N層、505 Al0.1Ga0.9N層、506 多層バッファ層構造。
Claims (5)
- 第1のn型窒化物半導体層と、
第2のn型窒化物半導体層と、
n型電子注入層と、
発光層と、
p型窒化物半導体層と、をこの順に備え、
前記第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度は、前記第1のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の0.53倍以下であり、
前記n型電子注入層の平均n型ドーパント濃度は、前記第2のn型窒化物半導体層の平均n型ドーパント濃度の1.5倍以上である、窒化物半導体発光素子。 - 前記n型電子注入層は、前記第2のn型窒化物半導体層よりバンドギャップが大きい、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記発光層は、量子井戸層およびバリア層を含み、前記バリア層は、GaおよびAlを含む窒化物半導体からなる、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記n型電子注入層の厚さは、10nm以上100nm以下である、請求項1から3のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体発光素子の発光ピーク波長は、250nm以上445nm以下である、請求項1から4のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
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