JPWO2014119658A1 - Pressure sensor - Google Patents
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Abstract
感圧センサ１は、第１の基板２と、第１の基板に対向する第２の基板３と、第１の基板の第１の面２１に設けられた第１の電極４と、第１の電極に対向するように、第２の基板の第２の面３１に設けられた第２の電極５と、第１の電極及び第２の電極に対応する位置に開口６１を有し、第１の基板と第２の基板との間に介在するスペーサ６と、を備え、第１の電極は、開口に挿入された挿入部４を少なくとも有し、挿入部の総厚は、スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、第１の基板は、スペーサの一方面６２と接触し、第２の電極の一部は、スペーサの他方面６３と接触しており、第１の電極と、第２の電極と、を含む領域Ｄにおいて、第１の面と第２の面は実質的に平行であることを特徴とする。The pressure-sensitive sensor 1 includes a first substrate 2, a second substrate 3 facing the first substrate, a first electrode 4 provided on the first surface 21 of the first substrate, The second electrode 5 provided on the second surface 31 of the second substrate so as to face the first electrode, and an opening 61 at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, And a spacer 6 interposed between the first substrate and the second substrate. The first electrode has at least the insertion portion 4 inserted into the opening, and the total thickness of the insertion portion is the thickness of the spacer. The first substrate is in contact with one surface 62 of the spacer, and a part of the second electrode is in contact with the other surface 63 of the spacer. In the region D including one electrode and the second electrode, the first surface and the second surface are substantially parallel to each other.
Description
本発明は、抵抗式の感圧センサに関するものである。
文献の参照による組み込みが認められる指定国については、２０１３年２月４日に日本国に出願された特願２０１３−１９１７６号に記載された内容を参照により本明細書に組み込み、本明細書の記載の一部とする。The present invention relates to a resistance type pressure sensitive sensor.
For the designated countries where incorporation by reference of documents is permitted, the contents described in Japanese Patent Application No. 2013-19176 filed in Japan on February 4, 2013 are incorporated herein by reference. Part of the description.
第１の基板と第２の基板との間に導電体層及び抵抗体層を重ねて配置することにより接点部を形成し、当該第１及び第２の基板を接着部材で固定した感圧装置が知られている（例えば特許文献１参照）。 A pressure-sensitive device in which a contact portion is formed by arranging a conductor layer and a resistor layer so as to overlap each other between a first substrate and a second substrate, and the first and second substrates are fixed by an adhesive member. Is known (see, for example, Patent Document 1).
上記の感圧装置では、接着部材が接点部の厚さ寸法よりも薄く形成されている。このため、接点部の近傍において第１及び第２の基板には、引き離される方向に力が常に働き、これにより、基板同士が部分的に剥離して感圧特性が初期値から変化してしまう場合があるという問題がある。また、上記の感圧装置では、接点部の厚さに厚さばらつきがある場合、接点部間に加わる初期荷重も設計値から異なってしまうため、直接初期感圧特性に影響し、初期感圧特性が設計値からずれてしまうという問題がある。 In the above pressure sensitive device, the adhesive member is formed thinner than the thickness dimension of the contact portion. For this reason, a force always acts on the first and second substrates in the direction of separation in the vicinity of the contact portion, whereby the substrates are partially separated from each other, and the pressure-sensitive characteristics change from the initial values. There is a problem that there are cases. In the above pressure-sensitive device, if the thickness of the contact part varies, the initial load applied between the contact parts also differs from the design value. There is a problem that characteristics deviate from design values.
本発明が解決しようとする課題は、微小な荷重を検出することができると共に、安定した感圧特性を長期的に確保することができる感圧センサを提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a pressure sensitive sensor capable of detecting a minute load and ensuring stable pressure sensitive characteristics for a long period of time.
［１］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板の第１の面に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板の第２の面に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極の一部又は前記第１の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第１の電極と、前記第２の電極と、を含む領域において、前記第１の面と前記第２の面は実質的に平行であることを特徴とする。 [1] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, and a first electrode provided on a first surface of the first substrate. A second electrode provided on the second surface of the second substrate so as to face the first electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode. A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode is inserted into the opening. And the total thickness of the insertion portion is substantially the same as the thickness of the spacer, and the part of the first electrode or the first substrate is the thickness of the spacer. One surface is in contact, and a part of the second electrode is in contact with the other surface of the spacer, and the first electrode, the second electrode, In the region containing, and said first surface and the second surface are substantially parallel.
［２］上記発明において、前記挿入部は、前記開口の内壁面から離間していてもよい。 [2] In the above invention, the insertion portion may be separated from the inner wall surface of the opening.
［３］上記発明において、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有し、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触していてもよい。 [3] In the above invention, the first electrode includes a main body including the insertion portion, and a low-profile portion provided around the main body and having a height lower than the main body. The low profile portion may be in contact with one surface of the spacer.
［４］上記発明において、前記本体部は、前記第１の基板上に設けられた第１の電極層と、前記第１の電極層を覆うように設けられ、前記第１の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第２の電極層と、を備え、前記低背部は、前記第１の電極層又は前記第２の電極層の少なくとも一方を備えていてもよい。 [4] In the above invention, the main body is provided so as to cover the first electrode layer provided on the first substrate and the first electrode layer, and the electric power of the first electrode layer is provided. A second electrode layer having an electrical resistance value higher than the resistance value, and the low profile portion may include at least one of the first electrode layer or the second electrode layer.
［５］上記発明において、前記第１の電極層と前記第２の電極層の厚さが異なり、前記低背部は、前記第１の電極層の厚さ又は前記第２の電極層の厚さのうち、大きい方の厚さと実質的に等しい厚さの電極層を有していてもよい。 [5] In the above invention, the thickness of the first electrode layer is different from the thickness of the second electrode layer, and the low profile portion is the thickness of the first electrode layer or the thickness of the second electrode layer. Of these, an electrode layer having a thickness substantially equal to the larger thickness may be provided.
［６］上記発明において、前記低背部は、前記本体部から径方向に連続して形成されていてもよい。 [6] In the above invention, the low-profile portion may be formed continuously in the radial direction from the main body.
［７］上記発明において、前記低背部は、前記本体部から径方向に離間して形成されているダミー電極であってもよい。 [7] In the above invention, the low-profile part may be a dummy electrode formed to be spaced apart from the main body part in the radial direction.
［８］上記発明において、前記第１の電極又は前記第２の電極の少なくとも一方が、弾性ビーズを含有した表面層を有していてもよい。 [8] In the above invention, at least one of the first electrode and the second electrode may have a surface layer containing elastic beads.
［９］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記第１の電極における前記開口に対応する部分と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [9] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, the first substrate is in contact with one surface of the spacer, and a part of the second electrode is formed on the spacer. A portion in contact with the other surface, a portion of the second electrode in contact with the other surface of the spacer, and the spacer The total thickness of the is characterized a portion corresponding to the opening in the first electrode, and a portion corresponding to the opening in the second electrode, the total thickness and substantially equal.
［１０］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極の一部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第１の電極における前記スペーサの一方面と接触している部分と、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記第１の電極における前記開口に対応する部分と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [10] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, a portion of the first electrode is in contact with one side of the spacer, and a portion of the second electrode is A portion of the first electrode that is in contact with the other surface of the spacer, and a portion of the first electrode that is in contact with the one surface of the spacer; The total thickness of the portion of the electrode in contact with the other surface of the spacer and the spacer corresponds to the portion corresponding to the opening in the first electrode and the opening in the second electrode. The total thickness of the portions is substantially equal.
［１１］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有しており、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記低背部と、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記本体部と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [11] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, and the first electrode is provided around the main body including the insertion portion and the main body. A low back portion having a low height, and the low back portion is in contact with one surface of the spacer, and Is in contact with the other surface of the spacer, and the total thickness of the low profile portion, the portion of the second electrode in contact with the other surface of the spacer, and the spacer is The total thickness of the main body and the portion corresponding to the opening in the second electrode is substantially equal.
［１２］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有しており、前記第２の電極は、前記挿入部に対向する第２の本体部と、前記第２の本体部の周囲に設けられ、前記第２の本体部よりも低い高さを有する第２の低背部と、を有しており、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の低背部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記低背部と、前記第２の低背部と、前記スペーサと、の総厚は、前記本体部と、前記第２の本体部と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [12] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, and the first electrode is provided around the main body including the insertion portion and the main body. A low back portion having a low height, and the second electrode includes a second main body portion facing the insertion portion, and a front portion A second low profile portion provided around the second main body portion and having a height lower than that of the second main body portion, the low profile portion being in contact with one surface of the spacer. The second low profile part is in contact with the other surface of the spacer, and the total thickness of the low profile part, the second low profile part, and the spacer is the main body part and the second profile. And a total thickness of the main body portion is substantially equal.
本発明によれば、挿入部は第２の基板に設けられた第２の電極に近接した状態で保持されるため、微小な荷重を含む様々な荷重を検出することができる。また、挿入部が、スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有していると共に、前記第１の電極と、前記第２の電極と、を含む領域において、第１の基板の第１の面と第２の基板の第２の面は実質的に平行であるため、第１及び第２の基板を引き離す方向に働く力が存在しない。また、第２の電極の一部は、スペーサの他方面と接触しているため、接点部間に加わる初期荷重は、挿入部の厚さのみに依存し、第２電極の厚さばらつきの影響をほとんど受けず、安定した初期感圧特性を確保することができる。従って、安定した感圧特性を長期的に確保することができる。 According to the present invention, since the insertion portion is held in the vicinity of the second electrode provided on the second substrate, various loads including a minute load can be detected. In addition, the insertion portion has a thickness substantially the same as the thickness of the spacer, and the first portion of the first substrate in the region including the first electrode and the second electrode. Since the second surface of the second substrate and the second surface of the second substrate are substantially parallel, there is no force acting in the direction of separating the first and second substrates. In addition, since a part of the second electrode is in contact with the other surface of the spacer, the initial load applied between the contact portions depends only on the thickness of the insertion portion, and is affected by the variation in the thickness of the second electrode. The stable initial pressure-sensitive characteristics can be ensured. Therefore, stable pressure sensitive characteristics can be ensured for a long period of time.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<<第１実施形態>>
図１は本実施形態における感圧センサ１を示す断面図である。<< first embodiment >>
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a pressure-
本実施形態における感圧センサ１は、図１に示すように、第１の基板２と、第１の基板２に対向する第２の基板３と、第１の基板２の第１の面２１上に設けられた第１の電極４と、第１の電極４に対向するように、第２の基板３の第２の面３１上に設けられた第２の電極５と、第１の基板２と第２の電極５との間に介在するスペーサ６と、を有している。
As shown in FIG. 1, the pressure-
第１の基板２及び第２の基板３は、可撓性を有する絶縁性フィルムであり、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド樹脂（ＰＩ）やポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）等から構成される。この第１の基板２の第１の面２１には、図１に示すように、後述する第１の電極４が形成されている。また、第２の基板３は、図１に示すように、第１の基板２と平行に配置されており、第２の基板３の第２の面３１には後述する第２の電極５が形成されている。
The
第１の電極４は、図１に示すように、第１の電極層４１と第２の電極層４２から構成されている。第２の電極５も、図１に示すように、第３の電極層５１と第４の電極層５２から構成されている。第１の電極４及び第２の電極５は、特に図示しないが、平面視において円形状や、三角形状、四角形状等の形状を有している。
As shown in FIG. 1, the
第１の電極層４１は、銀ペーストや、金ペースト、銅ペースト等の導電性ペーストを第１の基板２の第１の面２１に印刷して硬化することにより形成されている。また、第３の電極層５１も、第１の電極層４１に用いられた材料と同様の導電性ペーストを第２の基板３の第２の面３１に印刷して硬化することにより形成されている。こうした第１の電極層４１及び第３の電極層５１を形成するための具体的な印刷の方法としては、スクリーン印刷法やグラビアオフセット印刷法、インクジェット法等を例示することができる。なお、以下に説明する導電性ペーストから形成される全ての電極層も同様の印刷方法が用いられる。
The
第２の電極層４２は、図１に示すように、上述の第１の電極層４１を覆うように、導電性ペーストを第１の基板２の第１の面２１上に印刷して硬化させることで形成されている。また、第４の電極層５２も、図１に示すように、上述の第３の電極層５１を覆うように、導電性ペーストを第２の基板３の第２の面３１上に印刷して硬化させることで形成されている。この第２の電極層４２及び第４の電極層５２は、第１の電極層４１及び第３の電極層５１よりも高い電気的抵抗を有しており、こうした第２の電極層４２及び第４の電極層５２を形成する導電性ペーストの具体例としては、カーボンペースト等を例示することができる。本実施形態において、第１の電極層４１及び第３の電極層５１は第２の電極層４２及び第４の電極層５２よりも相対的に薄く形成されているが、特にこれに限定されず、同一の厚さであってもよく、厚く形成されていても良い。
As shown in FIG. 1, the
本実施形態では、図１に示すように、第１の電極４は、後述するスペーサ６の開口６１内に全て挿入されており、本例における第１の電極４が本発明における挿入部の一例に相当する。本実施形態における第１の電極４は、スペーサ６の開口６１の内壁面から離間している。これにより、感圧センサ１の押圧操作をスムーズに行うことができると共に、第１の電極４における径方向（図１中の左右方向）の端部において生じやすい厚さバラツキを吸収することができる。第２の電極５は、第１の電極４と対向するように設けられ、後述するスペーサ６の開口６１よりも広く、外周部近傍で当該開口６１の周縁に接している。なお、第２の電極５の略中央に凸部を設け、当該凸部が第１の電極４と対向するような構成としてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the
なお、第１〜第４の電極層４１、４２、５１、５２を形成するための方法は特に限定されない。例えば、基板の表面にめっき層を形成した後、フォトリソグラフィー法によりレジストパターンを形成し、その後エッチング処理を行うことにより電極層を形成してもよい。 The method for forming the first to fourth electrode layers 41, 42, 51, 52 is not particularly limited. For example, the electrode layer may be formed by forming a plating layer on the surface of the substrate, forming a resist pattern by photolithography, and then performing an etching process.
なお、本実施形態において、第１の電極４は２つの電極層４１、４２から構成されており、第２の電極５も２つの電極層５１、５２から構成されているが、特にこれに限定されない。例えば、第１の電極４と第２の電極５の両方、又は、第１の電極４と第２の電極５の何れか一方が、単一の電極層で構成されていてもよいし、３つ以上の電極層であってもよい。
In the present embodiment, the
スペーサ６は、第１の基板２と第２の電極５との間に介在することにより、第１の電極４と第２の電極５の距離を規定する部材であり、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド樹脂（ＰＩ）やポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）等の絶縁性材料から形成されている。
The
本実施形態では、スペーサ６の上面６２が第１の基板２の第１の面２１と接触していると共に、スペーサ６の下面６３が第２の電極５と接触している。なお、本実施形態におけるスペーサ６の上面６２が本発明におけるスペーサの一方面の一例に相当し、本実施形態におけるスペーサ６の下面６３が本発明におけるスペーサの他方面の一例に相当する。
In the present embodiment, the
また、スペーサ６には、図１に示すように、第１の電極４よりも大きい開口６１が第１の電極層４１に対応するように設けられている。また、スペーサ６の厚さは、第１の電極４の厚さと実質的に等しくなっている。このため、第１の電極４の全体は、スペーサ６の開口６１の中に収まっている。
In addition, the
本実施形態に係る感圧センサ１は、このように、第１の面２１に第１の電極４が設けられた第１の基板２と、スペーサ６と、第２の面３１に第２の電極５が設けられた第２の基板３とが積層されており、第１の基板２とスペーサ６との間、及び、第２の電極５とスペーサ６との間は、粘着材等により固定されている。そして、第１の電極４と、第２の電極５と、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は実質的に平行となっている。このような粘着材として、アクリル樹脂系、ウレタン樹脂系、シリコーン樹脂系等の粘着材を例示することができる。なお、両面粘着性を有するシート等をスペーサ６として用いることにより、第１の基板２とスペーサ６との間、及び、第２の電極５とスペーサ６との間を固定してもよい。因みに、第１の電極４と、第２の電極５と、を含む領域Ｄとは、平面視において、第１の電極４を取り囲む最小の連続領域Ｄ１と、第２の電極５を取り囲む最小の連続領域Ｄ２のうち、大きい方の領域（本例ではＤ２）を意味する。
As described above, the pressure-
第１の電極４と第２の電極５は、特に図示しない圧力検出装置に接続されている。第１の電極４と第２の電極５の間に所定の電圧を印加した状態で、図１中の矢印の方向に荷重が加わると、当該荷重の大きさに応じて第１の電極４と第２の電極５との間の電気抵抗は変化するので、この抵抗変化に基づいて感圧センサに加わる圧力の大きさを検出する。
The
次に、本実施形態の作用について説明する。 Next, the operation of this embodiment will be described.
本実施形態において、スペーサ６は第１の基板２の第１の面２１と第２の電極５との間に挟まれている。また、第１の基板２に設けられた第１の電極４の厚さは、当該スペーサ６の厚さと実質的に等しくなっている。これにより、第１の電極４と第２の電極５とを近接した状態で保持することができると共に、荷重が加わる前における感圧センサ１の抵抗値（初期抵抗）を大きくすることができる。このため、微小な負荷が加わった際における感圧センサ１の抵抗値の変化量が大きくなり、高精度で当該負荷を検出することができる。また、本実施形態では、第１の電極４の全体がスペーサ６の開口６１の中に収まっているため、感圧センサ１に印加された押圧力が集中し易い場所である開口６１の周縁において、第１の電極４が第１の基板２とスペーサ６との間で狭圧されることは無い。これにより、第１の電極４の経時劣化を抑制し、感圧センサ１の耐久性の向上を図ることができる。
In the present embodiment, the
また、上記の構成に加え、第１の電極４と、第２の電極５と、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は実質的に平行となっている。このため、第１の基板２及び第２の基板３の応力により当該基板２、３同士が引き離されることはなく、感圧センサ１を長期にわたって使用しても、安定した感圧特性を確保することができる。
In addition to the above configuration, in the region D including the
さらに、第１の電極４は、スペーサ６の厚さと実質的に同一の厚さを有しており、第２の電極５の一部は、スペーサ６と接触しているため、接点部間に加わる初期荷重は、第１の電極４の厚さのみに依存し、第２の電極５の厚さのばらつきの影響をほとんど受けない。その結果、安定した初期感圧特性を確保することができる。
Furthermore, since the
詳細には、スペーサ６の厚さは実質的に一定である一方で、第１の電極４と第２の電極５の厚さはばらつく可能性があるため、初期荷重は、スペーサ６の厚さとスペーサ６の開口内に挿入される挿入部の厚さとの関係によって決まる。このため、第１の電極と第２の電極のすべてが挿入部になってしまうと、第１の電極４と第２の電極５の両方の厚さばらつきの影響を初期荷重は受けてしまい、結果として、初期感圧特性の値は設計値からずれてしまう場合がある。一方、本実施形態においては、スペーサ６は、第１の基板２と第２の電極５の間に介在されているため、挿入部は第１の電極４のみであり、第２の電極５の厚さがばらついても、初期荷重は影響を受けない。つまり、初期荷重は、第１の電極４の影響しか受けず、比較的安定した初期感圧特性を確保することが出来る。
Specifically, since the thickness of the
<<第２実施形態>>
図２は本発明の第２実施形態での感圧センサ１Ｂを示す断面図であり、図３は本発明における第２実施形態の変形例を示す感圧センサを示す断面図である。ここで、第２実施形態における感圧センサ１Ｂは、第１の電極４Ｂとスペーサ６Ｂが異なること以外は、上述した第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第１実施形態と同一である部分については、第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。<< Second Embodiment >>
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a pressure-
本実施形態における第１の電極４Ｂは、図２に示すように、本体部４３と、当該本体部４３から径方向に連続して形成されるフランジ部４４と、を有している。
As shown in FIG. 2, the
第１の電極４Ｂの本体部４３は、第１の基板２の第１の面２１上に設けられた第１の電極層４１と、当該第１の電極層４１を覆うように形成された第２の電極層４２１から構成されている。
The
一方、第１の電極４Ｂのフランジ部４４は、第１の基板２の第１の面２１上における本体部４３の周囲に形成されており、第２の電極層４２２のみから構成されている。
On the other hand, the
なお、本体部４３及びフランジ部４４の層構成は特に限定されない。例えば、図３に示すように、第１の基板２の第１の面２１上に第１の電極層４１Ｂを形成し、当該第１の電極層４１Ｂの図中下面に、第１の電極層４１Ｂよりも相対的に狭い幅を有する第２の電極層４２１Ｂを形成してもよい。この場合には、第１の電極４Ｂにおける第１の電極層４１Ｂと第２の電極層４２１Ｂとの重複部分が本体部４３を構成し、第１の電極層４１Ｂにおいて第２の電極層４２１Ｂから径方向に突出した部分がフランジ部４４を構成している。本実施形態におけるフランジ部４４が、本発明における低背部の一例に相当する。
In addition, the layer structure of the main-
図２に戻り、本体部４３の第２の電極層４２１とフランジ部４４の第２の電極層４２２は、第２の電極層４２として同時に印刷して硬化することにより形成される。このため、第１の電極層４１を覆う第２の電極層４２１の厚さＷ１は、フランジ部４４の厚さＷ２と実質的に等しくなっている（Ｗ１＝Ｗ２）。また、本体部４３は、フランジ部４４よりも図２中の下側に突出する挿入部４０を有しており、この挿入部４０の厚さＷ３は第１の電極層４１の厚さＷ４と実質的に等しくなっている（Ｗ３＝Ｗ４）。
Returning to FIG. 2, the
本実施形態では、図２に示すように、フランジ部４４と、第２の電極５における第４の電極層５２との間に、スペーサ６Ｂが挟まれている。スペーサ６Ｂとしては、スペーサ６と同じ材料を用いる事ができる。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the
スペーサ６Ｂには第１の電極層４１と対応するように開口６１が設けられており、当該開口６１内には、本体部４３の挿入部４０が挿入されている。また、この挿入部４０の厚さＷ３は、スペーサ６Ｂの厚さＷ５と実質的に等しくなっている（Ｗ３＝Ｗ５）。
The
このため、本実施形態においても、第１の電極４Ｂにおける本体部４３と第２の電極５とを近接した状態で保持することができるため、微小な負荷においても高精度で検出することができる。なお、第２の電極５の略中央に凸部を設け、当該凸部が第１の電極４Ｂの挿入部４０と対向するような構成としてもよい。
For this reason, also in this embodiment, since the main-
また、本実施形態においても、第１の電極４Ｂと、第２の電極５と、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は実質的に平行となっているため、感圧センサ１Ｂを長期にわたって使用しても、安定した感圧特性を確保することができる。なお、本実施形態では、平面視において、第１の電極４Ｂを取り囲む最小の連続領域Ｄ１と、第２の電極５を取り囲む最小の連続領域Ｄ２と、は等しくなっており（Ｄ１＝Ｄ２）、当該領域Ｄ１及びＤ２が上記の領域Ｄに相当する。
Also in the present embodiment, since the
また、挿入部４０の厚さＷ３は、スペーサの厚さＷ５と実質的に同一の厚さを有しており、第１の電極層４１の厚さＷ４のみに実質的に依存している。さらに、フランジ部４４と第２の電極５との間にスペーサ６Ｂが挟まれている。このため、接点部間に加わる初期荷重は、第１の電極層４１の厚さＷ４のみに依存し、その他の電極層の厚さのばらつきの影響をほとんど受けない。その結果、安定した初期感圧特性を確保することができる。また、本実施形態における第１の電極４Ｂの挿入部４０Ｂも、スペーサ６Ｂの開口６１の内壁面から離間している。これにより、感圧センサ１Ｂの押圧操作をスムーズに行うことができると共に、第１の電極４Ｂの径方向（図２中の左右方向）にいて、挿入部４０Ｂの端部の厚さバラツキを吸収することができる。
In addition, the thickness W3 of the
また、電極層の膜厚が大きいほど、膜厚ばらつきが大きくなるため、初期荷重も設計値と異なりやすくなる。このため、第２の電極層４２が第１の電極層４１よりも相対的に厚く形成されている場合においては、第１の電極層４１が有する膜厚ばらつきが相対的に小さくなり、より安定した初期感圧特性を確保することができる。
Moreover, since the film thickness variation increases as the film thickness of the electrode layer increases, the initial load tends to be different from the design value. For this reason, in the case where the
また、本実施形態の場合、本体部４３の周囲に形成されたフランジ部４４が形成されており、当該フランジ部４４も感圧センサとして利用できるため、感圧センサの抵抗変化を大きくすることが可能になり、感圧特性が向上する。
Further, in the case of this embodiment, the
<<第３実施形態>>
図４は本発明の第３実施形態での感圧センサ１Ｃを示す断面図である。ここで、第３実施形態における感圧センサ１Ｃは、第１の電極４Ｃが異なること以外は、上述した第２実施形態と同様であるので、第２実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第２実施形態と同一である部分については、第２実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。<< Third Embodiment >>
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a pressure-
本実施形態における第１の電極４Ｃは、図４に示すように、第１の検出用電極４５と、第１の検出用電極４５から径方向に離間して形成されている第１のダミー電極４６と、を有している。
As shown in FIG. 4, the
第１の検出用電極４５は、第１の基板２の第１の面２１上に設けられた第１の電極層４１と、当該第１の電極層４１を覆うように形成された第２の電極層４２１Ｂから構成されている。
The
一方、第１のダミー電極４６は、第１の基板２の第１の面２１上における第１の検出用電極４５の周囲に形成されており、第２の電極層４２２Ｂのみから構成されている。なお、第２の電極層４２２Ｂは、第２の電極層４２と同様にして形成することができる。また、第１のダミー電極４６の層構成は、第２の電極層４２２Ｂのみに限られない。例えば、第１のダミー電極４６が、第１の電極層４１のみから構成されていてもよく、第１の電極層４１および第２の電極層４２２Ｂの２層から構成されていても良い。本実施形態における第１のダミー電極４６が、本発明の低背部の一例に相当する。
On the other hand, the
第１の検出用電極４５の第２の電極層４２１Ｂと第１のダミー電極４６の第２の電極層４２２Ｂは、同時に印刷して硬化することにより形成される。このため、第１の電極層４１を覆う第２の電極層４２１Ｂの厚さＷ６は、第１のダミー電極４６の厚さＷ７と実質的に等しくなっている（Ｗ６＝Ｗ７）。また、第１の検出用電極４５は、第１のダミー電極４６よりも図４中の下側に突出する挿入部４０Ｂを有しており、この挿入部４０Ｂの厚さＷ８は第１の電極層４１の厚さＷ４と実質的に等しくなっている（Ｗ８＝Ｗ４）。
The
本実施形態では、第１のダミー電極４６と第２の電極５との間にはスペーサ６Ｃが挟まれている。このスペーサ６Ｃとしては、スペーサ６と同じ材料を用いる事ができる。
In the present embodiment, a
スペーサ６Ｃには第１の電極層４１と対応するように開口６１が設けられており、当該開口６１内には、第１の検出用電極４５の挿入部４０Ｂが挿入されている。また、この挿入部４０Ｂの厚さＷ８は、スペーサ６Ｃの厚さＷ９と実質的に等しくなっている（Ｗ８＝Ｗ９）。このため、本実施形態においても、第１の電極４Ｃにおける第１の検出用電極４５と第２の電極５とを近接した状態で保持することができるため、微小な負荷を含むあらゆる負荷を高精度で検出することができる。なお、第２の電極５の略中央に凸部を設け、当該凸部が第２の電極層４２１Ｂと対向するような構成としてもよい。
The
また、本実施形態においても、第１の電極４Ｃと、第２の電極５と、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は実質的に平行となっているため、感圧センサ１Ｃを長期にわたって使用しても、安定した感圧特性を確保することができる。なお、本実施形態も、平面視において、第１の電極４Ｃを取り囲む最小の連続領域Ｄ１と、第２の電極５を取り囲む最小の連続領域Ｄ２と、は等しくなっており（Ｄ１＝Ｄ２）、当該領域Ｄ１及びＤ２が上記の領域Ｄに相当する。
Also in the present embodiment, since the
また、挿入部４０Ｂの厚さＷ８は、スペーサの厚さＷ９と実質的に同一の厚さを有しており、第１の電極層４１の厚さＷ４のみに実質的に依存している。さらに、フランジ部４２２Ｂと第２の電極５との間にスペーサ６Ｃが挟まれている。このため、接点部間に加わる初期荷重は、第１の電極層４１の厚さＷ４のみに依存し、その他の電極層の厚さのばらつきの影響をほとんど受けない。その結果、安定した初期感圧特性を確保することができる。また、本実施形態における第１の電極４Ｃの挿入部４０Ｂも、スペーサ６Ｃの開口６１の内壁面から離間している。これにより、感圧センサ１Ｃの押圧操作をスムーズに行うことができると共に、第１の電極４Ｃの径方向（図４中の左右方向）における挿入部４０Ｂの端部の厚さバラツキを吸収することができる。
In addition, the thickness W8 of the
<<第４実施形態>>
図５は本発明の第４実施形態での感圧センサ１Ｄを示す断面図である。ここで、第４実施形態における感圧センサ１Ｄは、第２の電極５Ｂが異なること以外は、上述した第３実施形態と同様であるので、第３実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第３実施形態又は第１実施形態と同一である部分については、第３実施形態又は第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。<< Fourth embodiment >>
FIG. 5 is a sectional view showing a pressure-
本実施形態における第２の電極５Ｂは、図５に示すように、第１の検出用電極４５に対向するように設けられた第２の検出用電極５３と、当該第２の検出用電極５３から離間して設けられた第２のダミー電極５４と、を有している。
As shown in FIG. 5, the
第２の検出用電極５３は、第２の基板３の第２の面３１上に設けられた第３の電極層５１１と、当該第３の電極層５１１を覆うように形成された第４の電極層５２１から構成されている。
The
一方、第２のダミー電極５４は、第２の基板３の第２の面３１上における第２の検出用電極５３の周囲に形成されている。この第２のダミー電極５４は、第２の基板３の第２の面３１上に設けられた第３の電極層５１２と、当該第３の電極層５１２を覆うように形成された第４の電極層５２２から構成されている。なお、第３の電極層５１１、５１２は、第３の電極層５１と、第４の電極層５２１、５２２は、第４の電極層５２と、同様の材料、方法を用いて形成されている。また、第２のダミー電極５４は、上記の構成に限られず、第３の電極層５１２または第４の電極層５２２のみから構成されていても良い。
On the other hand, the
また、本実施形態において、第２の検出用電極５３は、第１の検出用電極４５と等しい幅を有しているが、特にこれに限定されない。また、第２のダミー電極５４は、第１のダミー電極４６と等しい幅を有しているが、特にこれに限定されない。因みに、本実施形態においても、第１の電極４Ｃと、第２の電極５Ｂと、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は実質的に平行となっている。なお、本実施形態も、平面視において、第１の電極４Ｃを取り囲む最小の連続領域Ｄ１と、第２の電極５Ｂを取り囲む最小の連続領域Ｄ２と、は等しくなっており（Ｄ１＝Ｄ２）、当該領域Ｄ１及びＤ２が上記の領域Ｄに相当する。
In the present embodiment, the
なお、本実施形態においても、第３実施形態と同等の作用効果を得ることが出来る。 In this embodiment, the same operational effects as in the third embodiment can be obtained.
なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、第１〜第４実施形態で説明した構成を上下反対にしてもよい。即ち、第１の基板２の第１の面２１に第２の電極を設けると共に、第２の基板３の第２の面３１に第１の電極を設けてもよい。
For example, the configuration described in the first to fourth embodiments may be turned upside down. In other words, the second electrode may be provided on the
また、例えば、第１の電極又は第２の電極の少なくとも一方を、ナイロン等の弾性に富んだビーズを分散させた導電性ペーストを用いて印刷する等の方法により、当該電極の表面に弾性ビーズを含有する層を形成してもよい。これにより、弾性ビーズを電極の表面に含有している分だけ、電極の表面に凹凸形状を有することになる。このため、感圧センサに加わる荷重の変化に対して、第１及び第２の電極間における抵抗変化がなだらかとなり、より正確に当該負荷の検出を行うことが可能となる。また、この場合、電極の表面が凹凸形状を有しており、膜厚ばらつきが大きくなるため、初期荷重がより設計値と異なりやすくなる場合がある。しかし、この場合においても、スペーサ６と接触する電極層に関しては、当該電極層の厚さのばらつきの影響をほとんど受けることはない。このため、この効果を保ちつつ、上述のなだらかな抵抗変化による正確な負荷の検出を実現することができる。
Further, for example, at least one of the first electrode and the second electrode is printed on the surface of the electrode by a method such as printing using a conductive paste in which beads having high elasticity such as nylon are dispersed. A layer containing may be formed. As a result, the surface of the electrode has a concavo-convex shape as much as elastic beads are contained on the surface of the electrode. For this reason, the resistance change between the first and second electrodes becomes gentle with respect to the change in the load applied to the pressure sensor, and the load can be detected more accurately. In this case, since the surface of the electrode has an uneven shape and the film thickness variation increases, the initial load may be more easily different from the design value. However, even in this case, the electrode layer in contact with the
以下に、本発明をさらに具体化した実施例及び比較例により本発明の効果を確認した。以下の実施例及び比較例は、上述した実施形態における感圧特性の経時的な安定性を確認するためのものである。 Below, the effect of the present invention was confirmed by examples and comparative examples that further embody the present invention. The following examples and comparative examples are for confirming the stability over time of the pressure-sensitive characteristics in the above-described embodiment.
＜実施例１＞
実施例１では、実施形態２において説明した図２に示すような感圧センサを作製した。<Example 1>
In Example 1, a pressure-sensitive sensor as shown in FIG.
具体的には、まず、第１の基板２として厚さ１００［μｍ］のポリエチレンテレフタレートを使用し、スクリーン印刷法により当該第１の基板２に銀ペースト（ＦＡ−３５３ 藤倉化成（株）製）を印刷し、温度１５０℃で３０分熱乾燥して硬化させることにより、厚さ１０［μｍ］、直径６［ｍｍ］の第１の電極層４１を形成した。
Specifically, first, polyethylene terephthalate having a thickness of 100 [μm] is used as the
次いで、当該第１の電極層４１の上に、カーボンペースト（ＢＴＵ−５００ｋ （株）アサヒ化学研究所）を用いて同様の印刷を行い、温度１５０℃で６０分熱乾燥して硬化させることにより、厚さ１０［μｍ］、直径８［ｍｍ］の第２の電極層４２を形成し、第１の電極層４１と併せてこれを第１の電極４Ｂとした。
Next, the same printing is performed on the
次に、第２の基板３として、第１の基板２と同等の条件により、厚さ１０［μｍ］、直径７．５［ｍｍ］の第３の電極層５１を形成した。
Next, a
次いで、第２の電極層４２と同等の条件により、厚さ１０［μｍ］、直径８［ｍｍ］の第４の電極層５２を形成し、第３の電極層５１と併せてこれを第２の電極５とした。
Next, a
次に、スペーサ６Ｂとして、直径７［ｍｍ］の開口６１が設けられた厚さ１０［μｍ］の両面粘着シート（ＴＬ−４１０Ｓ−０２ リンテック社製）を、開口６１の中心が第１の電極４Ｂの中心と対応するように第１の電極４Ｂの端部の上に貼り付けた。そして、第１の電極４Ｂと第２の電極５とが対向するように第２の基板３を第１の基板２に張り付けることで感圧センサ１Ｂを作製した。
Next, a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet (TL-410S-02 manufactured by Lintec Corporation) having a thickness of 10 [μm] provided with an
以上に説明した構成の実施例１のサンプルに対して、以下の２つの試験を行った。 The following two tests were performed on the sample of Example 1 having the above-described configuration.
１つ目の試験は、次のような荷重と抵抗値の測定試験である。具体的には、感圧センサ１Ｂの第１の電極４Ｂと第２の電極５を圧力検出装置に接続し、φ２０ｍｍ、ゴム硬度２０度、フラットのシリコンラバーのアクチュエーターにて、１ｍｍ／ｍｉｎのアクチュエーター速度で荷重と抵抗値の関係を測定した。
The first test is a load and resistance measurement test as follows. Specifically, the
また、２つ目の試験は、荷重と抵抗値の関係の経時変化を確認する試験である。具体的には、上記の条件にて、感圧センサ１Ｂの作製直後における荷重と抵抗値の関係を測定すると共に、感圧センサ１Ｂを作製してから２００時間後における荷重と抵抗値の関係を測定した。
The second test is a test for confirming the change with time of the relationship between the load and the resistance value. Specifically, under the above conditions, the relationship between the load and the resistance value immediately after the production of the
＜実施例２＞
実施例２では、第１の電極４Ｂのフランジ部４４を省略すると共にスペーサ６として厚さ１０［μｍ］の両面粘着シート（リンテック社製）を用い、第１の電極層４１の直径を５［ｍｍ］とし、第２の電極層４２の直径を６［ｍｍ］とし、第３の電極層５１の直径を８［ｍｍ］とし、第４の電極層５２の直径を９［ｍｍ］としたこと以外は実施例１と同様にして、図１に記載されているような構成の感圧センサ１を作製した。<Example 2>
In Example 2, the
この感圧センサ１についても、実施例１と同等の条件で、上記の２つの試験を行った。
For the
＜実施例３＞
実施例３では、図５に示すような構造の感圧センサ１Ｄを作製した。<Example 3>
In Example 3, a pressure-
具体的には、実施例１と同様の方法により、厚さ１０［μｍ］、直径４［ｍｍ］の第１の電極層４１を第１の基板２に形成した。次いで、当該第１の電極層４１の上に、厚さ１０［μｍ］、直径４．５［ｍｍ］の第２の電極層４２１Ｂを形成すると共に、当該第２の電極層４２１Ｂの中心から３．５［ｍｍ］離れた場所に幅２．０［ｍｍ］の第２の電極層４２２Ｂの中心が来るように第２の電極層４２２Ｂを形成した。
Specifically, the
次いで、第２の基板３に、実施例１と同様の方法により、厚さ１０［μｍ］、直径４［ｍｍ］の第３の電極層５１１を形成すると共に、当該第３の電極層５１１の中心から３．５［ｍｍ］離れた場所に幅１．０［ｍｍ］の第３の電極層５１２の中心が来るように第３の電極層５１２Ｂを形成した。そして、厚さ１０［μｍ］、直径４．５［ｍｍ］の第４の電極層５２１を第３の電極層５１１の上に形成すると共に、厚さ１０［μｍ］、幅２．０［ｍｍ］の第４の電極層５２２を第３の電極層５１２の上に形成した。次いで、実施例１と同様の方法で、第２の基板３を第１の基板２に張り付けることで感圧センサ１Ｄを作製した。
Next, a
この感圧センサ１Ｄについて、実施例１と同等の条件で、上述した荷重と抵抗値の測定試験を行った。
For the
＜比較例１＞
比較例１では、第１の電極を第２の電極５と同様な構成としたこと以外は実施例１と同様の構成を有する感圧センサを作製した。<Comparative Example 1>
In Comparative Example 1, a pressure-sensitive sensor having the same configuration as that of Example 1 except that the first electrode had the same configuration as that of the
この感圧センサについて、実施例１と同等の条件で、上述した荷重と抵抗値の測定試験を行った。 This pressure sensor was subjected to the above-described load and resistance measurement test under the same conditions as in Example 1.
＜比較例２＞
比較例２では、第２の電極５Ｃを第１の電極４Ｂと同様な構成としたこと以外は実施例１と同様にして、図６に記載されているような構成の感圧センサを作製した。この場合においては、第１の電極４Ｂと、第２の電極５Ｃと、を含む領域Ｄにおいて、第１の面２１と第２の面３１は非平行となっている。なお、本例では、平面視において、第１の電極４Ｂを取り囲む最小の連続領域Ｄ１と、第２の電極５Ｃを取り囲む最小の連続領域Ｄ２と、は等しくなっており（Ｄ１＝Ｄ２）、当該領域Ｄ１及びＤ２が領域Ｄに相当する。<Comparative example 2>
In Comparative Example 2, a pressure-sensitive sensor having a configuration as shown in FIG. 6 was produced in the same manner as in Example 1 except that the
この感圧センサについても、実施例１と同等の条件で、上記の２つの試験を行った。 This pressure sensor was also subjected to the above two tests under the same conditions as in Example 1.
＜比較例３＞
比較例３では、スペーサを第１の電極上ではなく第１の基板上に貼り付けたこと以外は実施例１と同様にして、上述の特許文献１の図２に記載されているような構成の感圧センサを作製した。<Comparative Example 3>
In Comparative Example 3, the configuration as described in FIG. 2 of
この感圧センサについて、実施例１と同等の条件で、上述した荷重と抵抗値の測定試験を行った。 This pressure sensor was subjected to the above-described load and resistance measurement test under the same conditions as in Example 1.
実施例１の測定結果を図７、図８及び表１に示し、実施例２の測定結果を図７、図９及び表１に示し、実施例３の測定結果を図７に示し、比較例１の測定結果を図７に示し、比較例２の測定結果を図７、図１０及び表１に示し、比較例３の測定結果を図７に示す。
図７に示す結果によると、荷重が０Ｎにおける実施例１の感圧センサの抵抗値は約１０００００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約３００Ωであることが分かった。また、荷重が０Ｎにおける実施例２の感圧センサの抵抗値は約１２０００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約１０５０Ωであることが分かった。さらに、荷重が０Ｎにおける実施例３の感圧センサの抵抗値は約１０００００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約１０５０Ωであることが分かった。 According to the results shown in FIG. 7, it was found that the resistance value of the pressure-sensitive sensor of Example 1 at a load of 0N was about 100,000Ω, and the resistance value at a load of 5N was about 300Ω. Further, it was found that the resistance value of the pressure sensor of Example 2 at a load of 0 N was about 12000Ω, and the resistance value at a load of 5N was about 1050Ω. Furthermore, it was found that the resistance value of the pressure-sensitive sensor of Example 3 at a load of 0 N was about 100,000Ω, and the resistance value at a load of 5N was about 1050Ω.
一方、図７に示す結果によると、比較例１の感圧センサは荷重が約１Ｎに達するまで抵抗値の変化がなく、印加された荷重を検出できていないことが分かった。また、荷重が５Ｎにおける比較例２及び比較例３の感圧センサの抵抗値は、実施例１の感圧センサ１Ｂと同程度の約３００Ωである一方で、荷重が０Ｎにおける抵抗値はそれぞれ約１５００Ω、約１１００Ωであった。これにより、荷重０Ｎ〜５Ｎにおける比較例２、３の感圧センサの抵抗値変化量は、荷重０Ｎ〜５Ｎにおける実施例１〜３の感圧センサの抵抗値変化量に比べて大幅に小さいことが分かった。
On the other hand, according to the results shown in FIG. 7, it was found that the pressure-sensitive sensor of Comparative Example 1 had no change in resistance value until the load reached about 1 N, and the applied load could not be detected. In addition, the resistance values of the pressure sensitive sensors of Comparative Example 2 and Comparative Example 3 at a load of 5 N are about 300Ω, which is similar to the pressure
また、図８、図９及び表１に示す結果によると、実施例１及び実施例２の感圧センサは、作製直後の荷重および抵抗値の特性と、作製から２００時間経過後の荷重および抵抗値の特性との間に有意な差は見られず、荷重および抵抗値の特性の経時変化は小さいことが分かった。 Further, according to the results shown in FIGS. 8 and 9 and Table 1, the pressure-sensitive sensors of Example 1 and Example 2 have the characteristics of the load and resistance immediately after fabrication, and the load and resistance after 200 hours from fabrication. No significant difference was observed between the characteristics of the values and the time-dependent changes in the characteristics of the load and resistance were found to be small.
一方、比較例２の感圧センサは、図１０及び表１に示す結果によると、作製直後および荷重と抵抗値の特性と、作製から２００時間経過後の荷重および抵抗値の特性との間に差が見られ、荷重および抵抗値の特性の経時変化は大きいことが分かった。 On the other hand, according to the results shown in FIG. 10 and Table 1, the pressure-sensitive sensor of Comparative Example 2 is between the characteristics of the load and resistance value immediately after fabrication and the load and resistance value after 200 hours from fabrication. Differences were observed, and it was found that changes with time in the characteristics of the load and the resistance value were large.
以上のように、実施例１の感圧センサ１Ｂによれば、微小な荷重をより大きな抵抗値の変化として精度よく検出できると共に、長期にわたって使用しても安定した感圧特性を確保することが可能であることが確認された。
As described above, according to the pressure-
１、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ・・・感圧センサ
２・・・第１の基板
２１・・・第１の面
３・・・第２の基板
３１・・・第２の面
４、４Ｂ、４Ｃ・・・第１の電極
４０・・・挿入部
４１・・・第１の電極層
４２、４２１、４２２・・・第２の電極層
４３・・・本体部
４４・・・低背部
４５・・・第１の検出用電極
４６・・・第１のダミー電極
５、５Ｂ・・・第２の電極
５１、５１１、５１２・・・第３の電極層
５２、５２１、５２２・・・第４の電極層
５３・・・第２の検出用電極
５４・・・第２の検出用電極
６・・・スペーサ
６１・・・開口
６２・・・上面
６３・・・下面DESCRIPTION OF
［１］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板の第１の面に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板の第２の面に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極の一部又は前記第１の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極において前記第１の基板に最も近い面の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第１の電極と、前記第２の電極と、を含む領域において、前記第１の面と前記第２の面は実質的に平行であることを特徴とする。
［２］上記発明において、前記第２の電極は、前記第２の基板上に設けられた第３の電極層と、前記第３の電極層を覆うように設けられ、前記第３の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第４の電極層と、を備えていてもよい。
[1] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, and a first electrode provided on a first surface of the first substrate. A second electrode provided on the second surface of the second substrate so as to face the first electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode. has, and a spacer interposed between the first substrate and the second substrate, the first electrodes has an insertion portion inserted into the opening, the insertion portion The total thickness of the first electrode has substantially the same thickness as the spacer, and a part of the first electrode or the first substrate is in contact with one surface of the spacer, some of the surface closest to the first substrate in the second electrode is in contact with the other surface of said spacer, said first electrode, said second electrode In the region containing, and said first surface and the second surface are substantially parallel.
[2] In the above invention, the second electrode is provided so as to cover the third electrode layer provided on the second substrate and the third electrode layer, and the third electrode layer And a fourth electrode layer having an electrical resistance value higher than the electrical resistance value.
［３］上記発明において、前記挿入部は、前記開口の内壁面から離間していてもよい。 [ 3 ] In the above invention, the insertion portion may be separated from the inner wall surface of the opening.
［４］上記発明において、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有し、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触していてもよい。 [ 4 ] In the above invention, the first electrode includes a main body including the insertion portion, and a low-profile portion provided around the main body and having a height lower than the main body. The low profile portion may be in contact with one surface of the spacer.
［５］上記発明において、前記本体部は、前記第１の基板上に設けられた第１の電極層と、前記第１の電極層を覆うように設けられ、前記第１の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第２の電極層と、を備え、前記低背部は、前記第１の電極層又は前記第２の電極層の少なくとも一方を備えていてもよい。 [ 5 ] In the above invention, the main body is provided so as to cover the first electrode layer provided on the first substrate and the first electrode layer, and the electric power of the first electrode layer is provided. A second electrode layer having an electrical resistance value higher than the resistance value, and the low profile portion may include at least one of the first electrode layer or the second electrode layer.
［６］上記発明において、前記第１の電極層と前記第２の電極層の厚さが異なり、前記低背部は、前記第１の電極層の厚さ又は前記第２の電極層の厚さのうち、大きい方の厚さと実質的に等しい厚さの電極層を有していてもよい。 [ 6 ] In the above invention, the thicknesses of the first electrode layer and the second electrode layer are different, and the low profile portion is the thickness of the first electrode layer or the thickness of the second electrode layer. Of these, an electrode layer having a thickness substantially equal to the larger thickness may be provided.
［７］上記発明において、前記低背部は、前記本体部から径方向に連続して形成されていてもよい。 [ 7 ] In the above invention, the low profile portion may be continuously formed in the radial direction from the main body portion.
［８］上記発明において、前記低背部は、前記本体部から径方向に離間して形成されているダミー電極であってもよい。 [ 8 ] In the above invention, the low profile portion may be a dummy electrode that is formed to be separated from the main body portion in the radial direction.
［９］上記発明において、前記第１の電極又は前記第２の電極の少なくとも一方が、弾性ビーズを含有した表面層を有していてもよい。 [ 9 ] In the above invention, at least one of the first electrode and the second electrode may have a surface layer containing elastic beads.
［１０］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記第１の電極における前記開口に対応する部分と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [ 10 ] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, the first substrate is in contact with one surface of the spacer, and a part of the second electrode is formed on the spacer. A portion in contact with the other surface, a portion of the second electrode in contact with the other surface of the spacer, and the spacer. When the total thickness of the is characterized a portion corresponding to the opening in the first electrode, and a portion corresponding to the opening in the second electrode, the total thickness and substantially equal.
［１１］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極の一部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記第１の電極における前記スペーサの一方面と接触している部分と、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記第１の電極における前記開口に対応する部分と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [ 11 ] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, a portion of the first electrode is in contact with one side of the spacer, and a portion of the second electrode is A portion in contact with the other surface of the spacer, a portion in contact with the one surface of the spacer in the first electrode; The total thickness of the portion of the two electrodes in contact with the other surface of the spacer and the spacer corresponds to the portion corresponding to the opening in the first electrode and the opening in the second electrode. And a total thickness of the portion to be processed is characterized by being substantially equal.
［１２］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有しており、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記低背部と、前記第２の電極における前記スペーサの他方面と接触している部分と、前記スペーサと、の総厚は、前記本体部と、前記第２の電極における前記開口に対応する部分と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [ 12 ] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, and the first electrode is provided around the main body including the insertion portion and the main body. A low back portion having a low height, and the low back portion contacts one side of the spacer, and the second back portion A part of the pole is in contact with the other surface of the spacer, and the total thickness of the low profile, the portion of the second electrode in contact with the other surface of the spacer, and the spacer is: It is substantially the same as the total thickness of the main body and the portion of the second electrode corresponding to the opening.
［１３］本発明に係る感圧センサは、第１の基板と、前記第１の基板に対向する第２の基板と、前記第１の基板に設けられた第１の電極と、前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板に設けられた第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、前記第１の電極は、前記挿入部を含む本体部と、前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有しており、前記第２の電極は、前記挿入部に対向する第２の本体部と、前記第２の本体部の周囲に設けられ、前記第２の本体部よりも低い高さを有する第２の低背部と、を有しており、前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触し、前記第２の低背部は、前記スペーサの他方面と接触しており、前記低背部と、前記第２の低背部と、前記スペーサと、の総厚は、前記本体部と、前記第２の本体部と、の総厚と実質的に等しいことを特徴とする。 [ 13 ] A pressure-sensitive sensor according to the present invention includes a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode provided on the first substrate, and the first substrate. A second electrode provided on the second substrate so as to face the electrode, and an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, A spacer interposed between the first substrate and the second substrate, wherein at least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening. The thickness is substantially the same as the thickness of the spacer, and the first electrode is provided around the main body including the insertion portion and the main body. A low back portion having a low height, and the second electrode has a second body portion facing the insertion portion, A second low-profile portion provided around the second main-body portion and having a height lower than that of the second main-body portion, and the low-profile portion contacts one surface of the spacer. The second low profile portion is in contact with the other surface of the spacer, and the total thickness of the low profile portion, the second low profile portion, and the spacer is determined by the main body portion and the first profile. The total thickness of the two main body portions is substantially equal.
本発明によれば、挿入部は第２の基板に設けられた第２の電極に近接した状態で保持されるため、微小な荷重を含む様々な荷重を検出することができる。また、挿入部が、スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有していると共に、前記第１の電極と、前記第２の電極と、を含む領域において、第１の基板の第１の面と第２の基板の第２の面は実質的に平行であるため、第１及び第２の基板を引き離す方向に働く力が存在しない。また、第２の電極において前記第１の基板に最も近い面の一部は、スペーサの他方面と接触しているため、接点部間に加わる初期荷重は、挿入部の厚さのみに依存し、第２電極の厚さばらつきの影響をほとんど受けず、安定した初期感圧特性を確保することができる。従って、安定した感圧特性を長期的に確保することができる。 According to the present invention, since the insertion portion is held in the vicinity of the second electrode provided on the second substrate, various loads including a minute load can be detected. In addition, the insertion portion has a thickness substantially the same as the thickness of the spacer, and the first portion of the first substrate in the region including the first electrode and the second electrode. Since the second surface of the second substrate and the second surface of the second substrate are substantially parallel, there is no force acting in the direction of separating the first and second substrates. In addition, since a part of the surface of the second electrode closest to the first substrate is in contact with the other surface of the spacer, the initial load applied between the contact portions depends only on the thickness of the insertion portion. Thus, it is possible to ensure a stable initial pressure-sensitive characteristic without being affected by the thickness variation of the second electrode. Therefore, stable pressure sensitive characteristics can be ensured for a long period of time.
＜実施例２＞
実施例２では、第１の電極４Ｂのフランジ部４４を省略すると共にスペーサ６として厚さ２０［μｍ］の両面粘着シート（リンテック社製）を用い、第１の電極層４１の直径を５［ｍｍ］とし、第２の電極層４２の直径を６［ｍｍ］とし、第３の電極層５１の直径を８［ｍｍ］とし、第４の電極層５２の直径を９［ｍｍ］としたこと以外は実施例１と同様にして、図１に記載されているような構成の感圧センサ１を作製した。
<Example 2>
In Example 2, the
次いで、第２の基板３に、実施例１と同様の方法により、厚さ１０［μｍ］、直径４［ｍｍ］の第３の電極層５１１を形成すると共に、当該第３の電極層５１１の中心から３．５［ｍｍ］離れた場所に幅１．０［ｍｍ］の第３の電極層５１２の中心が来るように第３の電極層５１２を形成した。そして、厚さ１０［μｍ］、直径４．５［ｍｍ］の第４の電極層５２１を第３の電極層５１１の上に形成すると共に、厚さ１０［μｍ］、幅２．０［ｍｍ］の第４の電極層５２２を第３の電極層５１２の上に形成した。次いで、実施例１と同様の方法で、第２の基板３を第１の基板２に張り付けることで感圧センサ１Ｄを作製した。
Next, a
実施例１の測定結果を図７、図８及び表１に示し、実施例２の測定結果を図７、図９及び表１に示し、実施例３の測定結果を図７に示し、比較例１の測定結果を図７に示し、比較例２の測定結果を図７、図１０及び表１に示し、比較例３の測定結果を図７に示す。
図７に示す結果によると、荷重が０Ｎにおける実施例１の感圧センサの抵抗値は約１０００００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約９００Ωであることが分かった。また、荷重が０Ｎにおける実施例２の感圧センサの抵抗値は約３００００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約１５００Ωであることが分かった。さらに、荷重が０Ｎにおける実施例３の感圧センサの抵抗値は約１０００００Ωであり、荷重が５Ｎにおける抵抗値は約１５００Ωであることが分かった。 According to the results shown in FIG. 7, it was found that the resistance value of the pressure-sensitive sensor of Example 1 at a load of 0 N was about 100,000 Ω, and the resistance value at a load of 5 N was about 900 Ω. Further, it was found that the resistance value of the pressure-sensitive sensor of Example 2 at a load of 0 N was about 30000 Ω, and the resistance value at a load of 5 N was about 1500 Ω. Furthermore, it was found that the resistance value of the pressure-sensitive sensor of Example 3 at a load of 0 N was about 100,000 Ω, and the resistance value at a load of 5 N was about 1500 Ω.
一方、図７に示す結果によると、比較例１の感圧センサは荷重が約０．６Ｎに達するまで抵抗値の変化がなく、印加された荷重を検出できていないことが分かった。また、荷重が５Ｎにおける比較例２及び比較例３の感圧センサの抵抗値は、それぞれ約２０００Ω、約２５０Ωである一方で、荷重が０Ｎにおける抵抗値はそれぞれ約４５００Ω、約１５００Ωであった。これにより、荷重０Ｎ〜５Ｎにおける比較例２、３の感圧センサの抵抗値変化量は、荷重０Ｎ〜５Ｎにおける実施例１〜３の感圧センサの抵抗値変化量に比べて大幅に小さいことが分かった。 On the other hand, according to the results shown in FIG. 7, it was found that the pressure-sensitive sensor of Comparative Example 1 did not change the resistance value until the load reached about 0.6 N and could not detect the applied load. The resistance values of the pressure sensitive sensors of Comparative Example 2 and Comparative Example 3 at a load of 5 N are about 2000Ω and about 250 Ω, respectively, while the resistance values at a load of 0N are about 4500 Ω and about 1500 Ω, respectively. there were. Thereby, the resistance value change amount of the pressure sensors of Comparative Examples 2 and 3 at loads 0N to 5N is significantly smaller than the resistance value change amount of the pressure sensors of Examples 1 to 3 at loads 0N to 5N. I understood.
Claims (8)
前記第１の基板に対向する第２の基板と、
前記第１の基板の第１の面に設けられた第１の電極と、
前記第１の電極に対向するように、前記第２の基板の第２の面に設けられた第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極に対応する位置に開口を有し、前記第１の基板と前記第２の基板との間に介在するスペーサと、を備え、
前記第１の電極及び前記第２の電極の少なくとも一方は、前記開口に挿入された挿入部を有し、
前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、
前記第１の電極の一部又は前記第１の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、
前記第２の電極の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、
前記第１の電極と、前記第２の電極と、を含む領域において、前記第１の面と前記第２の面は実質的に平行であることを特徴とする感圧センサ。A first substrate;
A second substrate facing the first substrate;
A first electrode provided on a first surface of the first substrate;
A second electrode provided on the second surface of the second substrate so as to face the first electrode;
A spacer having an opening at a position corresponding to the first electrode and the second electrode, and interposed between the first substrate and the second substrate,
At least one of the first electrode and the second electrode has an insertion portion inserted into the opening,
The total thickness of the insertion portion has substantially the same thickness as the spacer,
A part of the first electrode or the first substrate is in contact with one surface of the spacer;
A portion of the second electrode is in contact with the other surface of the spacer;
In the region including the first electrode and the second electrode, the first surface and the second surface are substantially parallel to each other.
前記挿入部は、前記開口の内壁面から離間していることを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to claim 1,
The pressure sensor according to claim 1, wherein the insertion portion is separated from an inner wall surface of the opening.
前記第１の電極は、
前記挿入部を含む本体部と、
前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有し、
前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触していることを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to claim 1 or 2,
The first electrode is
A main body including the insertion portion;
A low-profile portion provided around the main body portion and having a lower height than the main body portion;
The low-profile portion is in contact with one surface of the spacer.
前記本体部は、
前記第１の基板上に設けられた第１の電極層と、
前記第１の電極層を覆うように設けられ、前記第１の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第２の電極層と、を備え、
前記低背部は、前記第１の電極層又は前記第２の電極層を備えることを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to claim 3,
The main body is
A first electrode layer provided on the first substrate;
A second electrode layer provided so as to cover the first electrode layer and having an electrical resistance value higher than the electrical resistance value of the first electrode layer,
The low-profile portion includes the first electrode layer or the second electrode layer.
前記第１の電極層と前記第２の電極層の厚さは実質的に異なっており、
前記低背部は、前記第１の電極層の厚さ又は前記第２の電極層の厚さのうち、大きい方の厚さと実質的に等しい厚さの電極層を有することを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to claim 4,
The thicknesses of the first electrode layer and the second electrode layer are substantially different;
The low profile portion includes an electrode layer having a thickness substantially equal to a larger thickness of the thickness of the first electrode layer or the thickness of the second electrode layer. Sensor.
前記低背部は、
前記本体部から径方向に連続して形成されていることを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to any one of claims 3 to 5,
The low profile is
A pressure-sensitive sensor, which is formed continuously in a radial direction from the main body.
前記低背部は、
前記本体部から径方向に離間して形成されているダミー電極であることを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to any one of claims 3 to 5,
The low profile is
A pressure-sensitive sensor, wherein the pressure-sensitive sensor is a dummy electrode formed to be spaced apart from the main body portion in the radial direction.
前記第１の電極又は前記第２の電極の少なくとも一方が、弾性ビーズを含有した表面層を有することを特徴とする感圧センサ。The pressure-sensitive sensor according to any one of claims 1 to 7,
At least one of the first electrode or the second electrode has a surface layer containing elastic beads.
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