JPWO2011010448A1 - Rotation transmission mechanism, transport device and drive device - Google Patents

Rotation transmission mechanism, transport device and drive device Download PDF

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Abstract

【課題】少ない段数で、高い減速比を得ることができる回転伝達機構、この回転伝達機構が用いられた搬送装置、駆動装置を提供すること。【解決手段】回転伝達機構１０は、内側回転体１と、内側回転体１と同軸で配置された外側回転体２とを有する。また、回転伝達機構１０は、入力側（下段）１０Ａに配置された駆動回転体５及び回転体６と、出力側（上段）１０Ｂに配置された２つの遊星回転体３、４とを有する。回転伝達機構１０の中央には、中空部９が形成される。入力側１０Ａで、駆動回転体５がモータ１６により回転されると、出力側１０Ｂで２つの遊星回転体３、４が内側回転体１の周囲を自転しながら公転する。このとき、遊星回転体３、４は、非常にゆっくりと内側回転体１の周囲を公転する。これにより、少ない段数で高い減速比を得ることができる。中空部９は、例えばケーブルを通す穴として利用される。【選択図】図１A rotation transmission mechanism capable of obtaining a high reduction ratio with a small number of stages, and a transport device and a drive device using the rotation transmission mechanism are provided. A rotation transmission mechanism includes an inner rotator and an outer rotator arranged coaxially with the inner rotator. The rotation transmission mechanism 10 includes a drive rotator 5 and a rotator 6 disposed on the input side (lower stage) 10A, and two planetary rotators 3 and 4 disposed on the output side (upper stage) 10B. A hollow portion 9 is formed in the center of the rotation transmission mechanism 10. When the driving rotator 5 is rotated by the motor 16 on the input side 10A, the two planetary rotators 3 and 4 revolve while rotating around the inner rotator 1 on the output side 10B. At this time, the planetary rotators 3 and 4 revolve around the inner rotator 1 very slowly. Thereby, a high reduction ratio can be obtained with a small number of stages. The hollow portion 9 is used as, for example, a hole for passing a cable. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、回転伝達機構、この回転伝達機構を用いた搬送装置及び駆動装置に関する。   The present invention relates to a rotation transmission mechanism, a conveyance device using the rotation transmission mechanism, and a drive device.

従来から、様々な技術分野で、遊星歯車を用いた減速機構が広く用いられている。   Conventionally, reduction mechanisms using planetary gears have been widely used in various technical fields.

例えば、下記特許文献１には、回転可能な太陽歯車と、太陽歯車の周囲を自転しながら公転する遊星歯車と、遊星歯車による公転を次の段の太陽歯車の回転に変える遊星キャリアとを備えた減速機構が記載されている。この減速機構は、太陽歯車（入力軸を含む）、遊星歯車及び遊星キャリア（出力軸を含む）が軸方向に３段階に重ね合わされて形成され、モータの回転軸（入力軸）の回転を段階的に減速させ、出力軸から取り出している。   For example, the following Patent Document 1 includes a rotatable sun gear, a planetary gear that revolves while rotating around the sun gear, and a planet carrier that changes the revolution of the planetary gear to the rotation of the sun gear of the next stage. A speed reduction mechanism is described. This reduction mechanism is formed by superimposing a sun gear (including an input shaft), a planetary gear, and a planet carrier (including an output shaft) in three stages in the axial direction, and rotating the rotation shaft (input shaft) of the motor. Is decelerated and taken out from the output shaft.

特開２００２−３４９６４３号公報（段落［００２６］［００２７］図１）Japanese Patent Laying-Open No. 2002-34943 (paragraphs [0026] [0027] FIG. 1)

ところで、高精度の制御が要求される精密機器などに用いられる減速機構は、高い減速比が要求される場合が多い。しかしながら、特許文献１の減速機構の構成により、高い減速比を得ようとすると、遊星歯車などを軸方向に何段階にも重ね合わせて形成しなければならない。また、減速段数を増やさずに高い減速比を得ようとすると、径方向の幅が大きくなってしまうため、小型化が難しいという問題がある。   By the way, in many cases, a reduction mechanism used in a precision instrument requiring high-precision control requires a high reduction ratio. However, in order to obtain a high reduction ratio with the configuration of the speed reduction mechanism disclosed in Patent Document 1, planetary gears and the like must be formed in an overlapping manner in the axial direction. Further, when trying to obtain a high reduction ratio without increasing the number of reduction stages, there is a problem that it is difficult to reduce the size because the radial width increases.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、少ない減速段数で高い減速比を得ることができる小型が容易な回転伝達機構、この回転伝達機構を用いた搬送装置、駆動装置を提供することを目的とする。   In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a rotation transmission mechanism that can easily obtain a high reduction ratio with a small number of reduction stages, a conveyance device using the rotation transmission mechanism, and a drive device. With the goal.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを具備する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
本発明では、駆動回転体が駆動源により回転されると、第１の内周部で駆動回転体に当接する第２の回転体が一の回転方向に回転される（例えば、これを正回転とする。）。また、第１の外周面で駆動回転体に当接する第１の回転体が一の回転方向とは逆の回転方向に回転される（例えばこれを逆回転とする。）。
この場合、複数の遊星回転体は、第２の段で第１の回転体の第２の外周部及び第２の回転体の第２の内周部に当接しているため、複数の遊星回転体は、自転しながら第１の回転体の周囲を公転する（例えばこれを正公転とする。）。このとき、第２の内周部及び第２の外周部のそれぞれの絶対値的な回転速度にわずかな差が発生するため、遊星回転体を第１の回転体の周囲で非常にゆっくりと公転させることができる。
これにより、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、高い減速比を得ることができる。また、本発明では、２段で高い減速比を得ることが可能であるため、回転伝達機構の小型化も容易である。In order to achieve the above object, a rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotating body and a second rotation. A body, a drive rotator, and a plurality of planetary rotators.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
In the present invention, when the drive rotator is rotated by the drive source, the second rotator that is in contact with the drive rotator at the first inner peripheral portion is rotated in one rotation direction (for example, it is rotated forward). And). In addition, the first rotating body that is in contact with the driving rotating body on the first outer peripheral surface is rotated in a rotation direction opposite to the one rotation direction (for example, this is set as reverse rotation).
In this case, since the plurality of planetary rotating bodies are in contact with the second outer peripheral portion of the first rotating body and the second inner peripheral portion of the second rotating body in the second stage, a plurality of planetary rotations are performed. The body revolves around the first rotating body while rotating (for example, this is assumed to be normal revolution). At this time, since a slight difference occurs in the absolute rotational speeds of the second inner peripheral portion and the second outer peripheral portion, the planetary rotating body revolves very slowly around the first rotating body. Can be made.
Thereby, the rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention can obtain a high reduction ratio. In the present invention, since a high reduction ratio can be obtained in two stages, the rotation transmission mechanism can be easily downsized.

本発明の一形態に係る搬送装置は、アーム機構と、第１の回転伝達体とを具備する。
前記アーム機構は、搬送対象物を載置する載置部を有し、伸縮可能である。
前記第１の回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する第１の回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、出力部とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記出力部は、前記アーム機構を伸縮させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する。
本発明では、高い減速比を有する第１の回転伝達機構によりアーム機構を伸縮させることができるため、高精度でアーム機構の伸縮動作を制御することができる。The conveyance apparatus which concerns on one form of this invention comprises an arm mechanism and a 1st rotation transmission body.
The arm mechanism has a placement portion on which a conveyance object is placed and is extendable and contractible.
The first rotation transmission mechanism is a first rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And an output unit.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The output unit outputs a revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism in order to expand and contract the arm mechanism.
In the present invention, since the arm mechanism can be expanded and contracted by the first rotation transmission mechanism having a high reduction ratio, the expansion and contraction operation of the arm mechanism can be controlled with high accuracy.

本発明の一形態に係る駆動装置は、回転伝達機構と、被駆動部とを具備する。
前記回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記被駆動部は、前記各遊星回転体の公転による、前記回転伝達機構の出力により駆動される。The drive device which concerns on one form of this invention comprises a rotation transmission mechanism and a to-be-driven part.
The rotation transmission mechanism is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotating body, a second rotating body, a driving rotating body, and a plurality of planetary rotating bodies. And have.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The driven part is driven by the output of the rotation transmission mechanism by the revolution of each planetary rotating body.

以上のように、本発明によれば、少ない減速段数で高い減速比を得ることができる小型が容易な回転伝達機構、この回転伝達機構を用いた搬送装置、駆動装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a rotation transmission mechanism that can easily obtain a high reduction ratio with a small number of reduction stages, a transport device using the rotation transmission mechanism, and a drive device.

本発明の一実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。It is a figure which shows the rotation transmission mechanism which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回転伝達機構の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the rotation transmission mechanism which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回転伝達機構が有する各回転体の半径（内径、または外径）の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the radius (inner diameter or outer diameter) of each rotary body which the rotation transmission mechanism which concerns on one Embodiment of this invention has. 他の実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。It is a figure which shows the rotation transmission mechanism which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係る回転伝達機構が有する各ギアのピッチ円半径及び歯数の組み合わせの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the combination of the pitch circle radius and the number of teeth of each gear which the rotation transmission mechanism which concerns on other embodiment has. 本発明の一実施形態に係る搬送装置の上面図である。It is a top view of the conveying apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る搬送装置の断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。It is sectional drawing of the conveying apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, and is the figure which looked at the conveying apparatus from the side. 上部駆動機構の断面図であり、上部駆動機構を側方から見た図である。It is sectional drawing of an upper drive mechanism, and is the figure which looked at the upper drive mechanism from the side. 比較例に係る搬送装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conveying apparatus which concerns on a comparative example. 他の実施の形態に係る搬送装置を示す断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。It is sectional drawing which shows the conveying apparatus which concerns on other embodiment, and is the figure which looked at the conveying apparatus from the side. 本発明の一形態に係る駆動装置の構造を示す、機能的なブロック図である。It is a functional block diagram which shows the structure of the drive device which concerns on one form of this invention.

本発明の一形態に係る回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを具備する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
本発明では、駆動回転体が駆動源により回転されると、第１の内周部で駆動回転体に当接する第２の回転体が一の回転方向に回転される。また、第１の外周面で駆動回転体に当接する第１の回転体が一の回転方向とは逆の回転方向に回転駆動される。
この場合、複数の遊星回転体は、第２の段で第１の回転体の第２の外周部及び第２の回転体の第２の内周部に当接しているため、複数の遊星回転体は、自転しながら第１の回転体の周囲を公転する。このとき、第２の内周部及び第２の外周部のそれぞれの絶対値的な回転速度にわずかな差が発生するため、遊星回転体を第１の回転体の周囲で非常にゆっくりと公転させることができる。
これにより、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、高い減速比を得ることができる。また、本発明では、２段で高い減速比を得ることが可能であるため、回転伝達機構の小型化も容易である。A rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And a plurality of planetary rotating bodies.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
In the present invention, when the drive rotator is rotated by the drive source, the second rotator that contacts the drive rotator at the first inner peripheral portion is rotated in one rotation direction. In addition, the first rotating body that is in contact with the driving rotating body on the first outer peripheral surface is rotationally driven in a rotation direction opposite to the one rotation direction.
In this case, since the plurality of planetary rotating bodies are in contact with the second outer peripheral portion of the first rotating body and the second inner peripheral portion of the second rotating body in the second stage, a plurality of planetary rotations are performed. The body revolves around the first rotating body while rotating. At this time, since a slight difference occurs in the absolute rotational speeds of the second inner peripheral portion and the second outer peripheral portion, the planetary rotating body revolves very slowly around the first rotating body. Can be made.
Thereby, the rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention can obtain a high reduction ratio. In the present invention, since a high reduction ratio can be obtained in two stages, the rotation transmission mechanism can be easily downsized.

上記回転伝達機構において、前記第１の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び前記底面を貫通する貫通口とをさらに有していてもよい。
本発明では、第２の回転体に貫通口を設けることで、例えば、ケーブルなどの配線や、冷水パイプなどを通す穴として、様々な用途に用いることができる。In the rotation transmission mechanism, the first rotating body may further include a top surface, a bottom surface, and a through-hole that penetrates the top surface and the bottom surface.
In this invention, by providing a through-hole in the 2nd rotary body, it can be used for various uses, for example as a hole which lets wiring, such as a cable, a cold water pipe, etc. pass.

上記回転伝達機構において、前記第１の回転体、前記第２の回転体、前記駆動回転体、及び前記各遊星回転体は、歯車により形成されてもよい。   In the rotation transmission mechanism, the first rotating body, the second rotating body, the driving rotating body, and each planetary rotating body may be formed by gears.

本発明の一形態に係る搬送装置は、アーム機構と、第１の回転伝達体とを具備する。
前記アーム機構は、搬送対象物を載置する載置部を有し、伸縮可能である。
前記第１の回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する第１の回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、出力部とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記出力部は、前記アーム機構を伸縮させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する。
本発明では、高い減速比を有する第１の回転伝達機構によりアーム機構を伸縮させることができるため、高精度でアーム機構の伸縮動作を制御することができる。The conveyance apparatus which concerns on one form of this invention comprises an arm mechanism and a 1st rotation transmission body.
The arm mechanism has a placement portion on which a conveyance object is placed and is extendable and contractible.
The first rotation transmission mechanism is a first rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And an output unit.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The output unit outputs a revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism in order to expand and contract the arm mechanism.
In the present invention, since the arm mechanism can be expanded and contracted by the first rotation transmission mechanism having a high reduction ratio, the expansion and contraction operation of the arm mechanism can be controlled with high accuracy.

上記搬送装置は、第２の回転伝達機構をさらに具備していてもよい。
前記第２の回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する第２の回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体と、出力部とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記出力部は、前記アーム機構を旋回させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する。
本発明では、高い減速比を有する第２の回転伝達機構によりアーム機構を旋回させることができるため、高精度でアーム機構の旋回動作を制御することができる。The said conveying apparatus may further comprise the 2nd rotation transmission mechanism.
The second rotation transmission mechanism is a second rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotation body, a second rotation body, and a drive rotation body. And a plurality of planetary rotating bodies and an output unit.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The output unit outputs a revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism in order to turn the arm mechanism.
In the present invention, since the arm mechanism can be turned by the second rotation transmission mechanism having a high reduction ratio, the turning operation of the arm mechanism can be controlled with high accuracy.

上記搬送装置は、内軸と、外軸とをさらに具備していてもよい。
前記内軸は、回転可能であり、前記第１の回転伝達機構の前記出力部の回転運動を前記アーム機構に伝達する。
前記外軸は、回転可能であり、前記内軸の外側に前記内軸と同軸で配置され、前記第２の回転伝達機構の前記出力部の回転運動を前記アーム機構に伝達する。The transport apparatus may further include an inner shaft and an outer shaft.
The inner shaft is rotatable and transmits the rotational motion of the output portion of the first rotation transmission mechanism to the arm mechanism.
The outer shaft is rotatable and is arranged on the outer side of the inner shaft so as to be coaxial with the inner shaft, and transmits the rotational movement of the output portion of the second rotation transmission mechanism to the arm mechanism.

上記搬送装置において、前記第２の回転伝達機構は、前記第１の回転伝達機構の同心軸上で、前記第１の回転伝達機構の上方に配置されてもよい。
この場合、前記第２の回転伝達機構の前記第２の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び底面を貫通する貫通口とをさらに有していてもよい。
また、この場合、前記内軸は、前記第２の回転伝達機構の前記貫通口を介して、前記アーム機構及び前記第１の回転伝達機構の出力部に連結されてもよい。
本発明では、アーム機構が旋回される場合、第１の回転伝達機構及び第２の回転伝達機構が、それぞれの回転伝達機構に設けられた駆動源により同方向に同速度で回転されることになる。本発明では、内軸が第２の回転伝達機構の貫通口を貫通された構成とされているので、アーム機構が旋回されたときでも第１の回転伝達機構及び第２の回転伝達機構の、それぞれの駆動源の空間的な位置は変わらない。よって、アーム機構が旋回されたときに、駆動源に接続されるケーブルが搬送装置の周囲に巻きついてしまうことを防止することができる。その結果、アーム機構を３６０度無制限に旋回させることができる。In the transport apparatus, the second rotation transmission mechanism may be disposed above the first rotation transmission mechanism on a concentric shaft of the first rotation transmission mechanism.
In this case, the second rotating body of the second rotation transmission mechanism may further include a top surface, a bottom surface, and a through hole penetrating the top surface and the bottom surface.
In this case, the inner shaft may be coupled to the arm mechanism and the output portion of the first rotation transmission mechanism via the through hole of the second rotation transmission mechanism.
In the present invention, when the arm mechanism is turned, the first rotation transmission mechanism and the second rotation transmission mechanism are rotated in the same direction and at the same speed by the drive sources provided in the respective rotation transmission mechanisms. Become. In the present invention, since the inner shaft is configured to penetrate the through hole of the second rotation transmission mechanism, even when the arm mechanism is turned, the first rotation transmission mechanism and the second rotation transmission mechanism are The spatial position of each drive source does not change. Therefore, it is possible to prevent the cable connected to the drive source from being wound around the transport device when the arm mechanism is turned. As a result, the arm mechanism can be turned 360 degrees without limitation.

上記搬送装置において、前記第２の回転伝達機構は、前記第１の回転伝達機構の同心軸上で、前記第１の回転伝達機構の下方に配置されてもよい。
この場合、前記第２の回転伝達機構の前記第２の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び底面を貫通する貫通口とをさらに有していてもよい。
第２の回転伝達機構の貫通口は、例えば、第１の回転伝達機構の駆動源に接続されるケーブルを通す穴として利用される。本発明では、アーム機構が旋回される場合、第２の回転伝達機構の回転により、アーム機構と一緒に第１の回転伝達機構も回転することになる。この場合、第１の回転機構の駆動源も回転する。しかしながら、本発明では、貫通口が第１の回転伝達機構の駆動源に接続されたケーブルを通す穴として利用されているので、ケーブルをあらかじめとぐろ状に巻いておく必要もなく、ケーブルの繰り返しの曲げ変位も発生しない。また、ケーブルが搬送装置の周囲に巻きついてしまうことも防止することができる。In the transport apparatus, the second rotation transmission mechanism may be disposed below the first rotation transmission mechanism on a concentric shaft of the first rotation transmission mechanism.
In this case, the second rotating body of the second rotation transmission mechanism may further include a top surface, a bottom surface, and a through hole penetrating the top surface and the bottom surface.
The through hole of the second rotation transmission mechanism is used as, for example, a hole for passing a cable connected to the drive source of the first rotation transmission mechanism. In the present invention, when the arm mechanism is turned, the first rotation transmission mechanism is rotated together with the arm mechanism by the rotation of the second rotation transmission mechanism. In this case, the drive source of the first rotation mechanism also rotates. However, in the present invention, since the through hole is used as a hole through which the cable connected to the drive source of the first rotation transmission mechanism is passed, it is not necessary to wind the cable in the shape of a ring in advance, and the cable can be repeated. No bending displacement occurs. It is also possible to prevent the cable from being wrapped around the transport device.

本発明の一形態に係る駆動装置は、回転伝達機構と、被駆動部とを具備する。
前記回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記被駆動部は、前記各遊星回転体の公転による、前記回転伝達機構の出力により駆動される。The drive device which concerns on one form of this invention comprises a rotation transmission mechanism and a to-be-driven part.
The rotation transmission mechanism is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotating body, a second rotating body, a driving rotating body, and a plurality of planetary rotating bodies. And have.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The driven part is driven by the output of the rotation transmission mechanism by the revolution of each planetary rotating body.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。図１（Ａ）は、一部が破断された回転伝達機構の上面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示すＦ−Ｆ’線の断面図であり、回転伝達機構を側方から見た図である。図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）に示すＧ−Ｇ’線の断面図であり、回転伝達機構を上方から見た図である。図１（Ａ）では、図１（Ａ）に示すＥ−Ｅ’から左は、出力板を省略して図示している。(First embodiment)
FIG. 1 is a view showing a rotation transmission mechanism according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a top view of a rotation transmission mechanism partially broken, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line FF ′ shown in FIG. It is the figure which looked at from the side. FIG. 1C is a cross-sectional view taken along the line GG ′ shown in FIG. 1B and is a view of the rotation transmission mechanism as viewed from above. In FIG. 1A, the output plate is omitted on the left side from EE ′ shown in FIG.

これらの図に示すように、回転伝達機構１０は、２段型の回転伝達機構であり、入力側（下段）１０Ａ（図１（Ｃ）参照）と、出力側（上段）１０Ｂ（図１（Ａ）参照）とにより形成される。回転伝達機構１０は、回転伝達機構１０の中心部において、軸Ｏ−Ｏ’に沿って中空部９が形成される。   As shown in these drawings, the rotation transmission mechanism 10 is a two-stage rotation transmission mechanism, and includes an input side (lower stage) 10A (see FIG. 1C) and an output side (upper stage) 10B (FIG. 1 ( A) see). In the rotation transmission mechanism 10, a hollow portion 9 is formed along the axis O-O ′ at the center of the rotation transmission mechanism 10.

回転伝達機構１０は、回転伝達機構１０の内側を形成する内側回転体（第１の回転体）１と、回転伝達機構１０の外側を形成する外側回転体（第２の回転体）２とを有する。回転伝達機構１０は、内側回転体１と外側回転体２との間に配置され、これらの回転体に当接する、第１の遊星回転体３、第２の遊星回転体４、駆動回転体５及び回転体６を有する。回転伝達機構１０は、遊星回転体３、４の公転を出力する出力板１１を有する。   The rotation transmission mechanism 10 includes an inner rotation body (first rotation body) 1 that forms the inside of the rotation transmission mechanism 10 and an outer rotation body (second rotation body) 2 that forms the outside of the rotation transmission mechanism 10. Have. The rotation transmission mechanism 10 is disposed between the inner rotator 1 and the outer rotator 2, and is in contact with these rotators, the first planetary rotator 3, the second planetary rotator 4, and the drive rotator 5. And a rotating body 6. The rotation transmission mechanism 10 includes an output plate 11 that outputs the revolution of the planetary rotating bodies 3 and 4.

内側回転体１は、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として回転可能とされている。内側回転体１は、入力側１０Ａの直径と、出力側１０Ｂの直径とが異なるように形成されている。内側回転体１には、上面及び底面の中央を貫通するように貫通口８が形成される。内側回転体１は、入力側１０Ａ（下段）に第１の外周面１ａを有しており、出力側１０Ｂ（上段）に第２の外周面１ｂを有している。以降の説明では、入力側における、内側回転体１の外半径をＲ１１とし、出力側１０Ｂにおける、内側回転体１の外半径をＲ１２として説明する。The inner rotator 1 is rotatable about the axis OO ′. The inner rotating body 1 is formed such that the diameter of the input side 10A and the diameter of the output side 10B are different. A through-hole 8 is formed in the inner rotating body 1 so as to penetrate the center of the upper surface and the bottom surface. The inner rotator 1 has a first outer peripheral surface 1a on the input side 10A (lower stage) and a second outer peripheral surface 1b on the output side 10B (upper stage). In the following description, the outer radius of the inner rotating body 1 on the input side will be R 11, and the outer radius of the inner rotating body 1 on the output side 10B will be described as R 12 .

外側回転体２は、内側回転体１と同軸で配置され、内側回転体１と同様に、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として回転可能とされている。外側回転体２も内側回転体１と同様に、入力側１０Ａの直径と、出力側１０Ｂの直径とが異なるように形成されている。外側回転体２は、入力側１０Ａ（下段）で、内側回転体１の第１の外周面１ａに対向する第１の内周面２ａと、出力側１０Ｂ（上段）で、内側回転体１の第２の外周面１ｂに対向する第２の内周面２ｂとを有する。以降の説明では、入力側１０Ａにおける、外側回転体２の内半径をＲ２１とし、出力側１０Ｂにおける、外側回転体２の内半径をＲ２２として説明する。The outer rotator 2 is disposed coaxially with the inner rotator 1 and is rotatable about the axis OO ′ as a central axis, like the inner rotator 1. Similarly to the inner rotator 1, the outer rotator 2 is formed so that the diameter of the input side 10A and the diameter of the output side 10B are different. The outer rotating body 2 has an input side 10A (lower stage), a first inner peripheral face 2a facing the first outer peripheral face 1a of the inner rotating body 1, and an output side 10B (upper stage). And a second inner peripheral surface 2b facing the second outer peripheral surface 1b. In the following description, the input side 10A, the inner radius of the outer rotating body 2 and R 21, at the output side 10B, illustrating the inner radius of the outer rotating body 2 as R 22.

駆動回転体５は、円柱形状であり、入力側１０Ａに配置され、内側回転体１の外周面１ａ及び外側回転体２の内周面２ａに当接する。駆動回転体５は、モータの出力軸１５を介してモータ１６と接続されている。以降では、駆動回転体５の半径をＲｉｎとして説明する。The drive rotator 5 has a cylindrical shape, is disposed on the input side 10 </ b> A, and contacts the outer peripheral surface 1 a of the inner rotator 1 and the inner peripheral surface 2 a of the outer rotator 2. The drive rotator 5 is connected to a motor 16 via an output shaft 15 of the motor. Hereinafter, the radius of the drive rotator 5 will be described as R in .

回転伝達機構１０の入力側１０Ａにおいて、内側回転体１を挟んで駆動回転体５と対向する位置に回転体６が配置される。回転体６は、円柱形状であり、駆動回転体の半径Ｒｉｎと実質的に同じ半径を有している。この回転体６は、駆動回転体５と異なり、典型的には、モータには、接続されない。しかし、これに限られず、回転体６は、モータと接続されてもよい。この場合、回転体６は、モータにより駆動回転体５の回転と同調するように回転される。On the input side 10 </ b> A of the rotation transmission mechanism 10, the rotating body 6 is disposed at a position facing the driving rotating body 5 with the inner rotating body 1 interposed therebetween. The rotating body 6 has a cylindrical shape and has substantially the same radius as the radius R in of the driving rotating body. Unlike the drive rotator 5, the rotator 6 is typically not connected to a motor. However, it is not restricted to this, The rotary body 6 may be connected with a motor. In this case, the rotating body 6 is rotated by the motor so as to synchronize with the rotation of the driving rotating body 5.

第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４は、円柱形状であり、出力側１０Ｂに配置され、それぞれ、内側回転体１の第２の外周面１ｂ及び外側回転体２の第２の内周面２ｂに当接する。第１の遊星回転体３と、第２の遊星回転体４とは、内側回転体１を挟み込んで対向する位置に配置される。第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４には、それぞれ支軸１２及び支軸１３が設けられている。以降の説明では、第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４の半径をＲ３として説明する。The first planetary rotator 3 and the second planetary rotator 4 have a cylindrical shape and are arranged on the output side 10B. The second outer peripheral surface 1b of the inner rotator 1 and the second outer rotator 2 are respectively second. It contacts the inner peripheral surface 2b. The first planetary rotator 3 and the second planetary rotator 4 are disposed at positions facing each other with the inner rotator 1 interposed therebetween. The first planetary rotator 3 and the second planetary rotator 4 are each provided with a support shaft 12 and a support shaft 13. In the following description, the radius of the first planetary rotary member 3 and the second planetary rotary member 4 as R 3.

出力板１１は、支軸１２及び支軸１３により支持されており、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として回転可能とされている。出力板１１には、中央に開口１４が設けられている。この開口１４と、上述の貫通口８により、回転伝達機構の中空部９が形成される。   The output plate 11 is supported by the support shaft 12 and the support shaft 13, and is rotatable about the axis O-O '. The output plate 11 is provided with an opening 14 in the center. The opening 14 and the above-described through-hole 8 form a hollow portion 9 of the rotation transmission mechanism.

なお、回転伝達機構１０の中央に設けられた中空部９は、多種多様の用途に用いることができるが、例えば、ケーブルなどの配線や、冷水パイプなどを通す穴として利用される。   In addition, although the hollow part 9 provided in the center of the rotation transmission mechanism 10 can be used for a wide variety of uses, for example, it is used as a hole through which wiring such as a cable or a cold water pipe passes.

［動作説明］
次に、回転伝達機構１０の動作について説明する。[Description of operation]
Next, the operation of the rotation transmission mechanism 10 will be described.

図２は、回転伝達機構１０の動作を説明するための図である。図２（Ａ）は、入力側１０Ａ（下段）の動作を説明するため図であり、図２（Ｂ）は、出力側（上段）の動作を説明するための図である。   FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the rotation transmission mechanism 10. 2A is a diagram for explaining the operation on the input side 10A (lower stage), and FIG. 2B is a diagram for explaining the operation on the output side (upper stage).

まず、図２（Ａ）を参照して、入力側の動作について説明する。   First, the operation on the input side will be described with reference to FIG.

図２（Ａ）に示すように、モータ１６により駆動回転体５が反時計回りに回転されると、第１の外周面１ａで駆動回転体５に当接する内側回転体１が、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として、時計回りに回転される（逆回転）。一方、第１の内周面２ａで駆動回転体５に当接する外側回転体２は、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として、反時計回りに回転される（正回転）。このとき、駆動回転体５に対向する位置に配置された回転体６は、外側回転体２及び内側回転体１の回転により、定位置で反時計回りに回転される。   As shown in FIG. 2A, when the drive rotator 5 is rotated counterclockwise by the motor 16, the inner rotator 1 that contacts the drive rotator 5 at the first outer peripheral surface 1a is It is rotated clockwise (reverse rotation) with O ′ as the central axis. On the other hand, the outer rotator 2 contacting the drive rotator 5 on the first inner peripheral surface 2a is rotated counterclockwise about the axis O-O '(forward rotation). At this time, the rotating body 6 disposed at a position facing the driving rotating body 5 is rotated counterclockwise at a fixed position by the rotation of the outer rotating body 2 and the inner rotating body 1.

ここで、駆動回転体５が反時計回りに一回転された場合について考える。   Here, consider a case where the drive rotor 5 is rotated once counterclockwise.

駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、駆動回転体５と、内側回転体１の外周面１ａとの接点Ｃが、第１の外周面１ａに沿って２πＲｉｎ移動する。入力側１０Ａにおける、内側回転体１の外半径は、Ｒ１１であるため、内側回転体１は、時計回りに以下の式（１）に示す角度θ１回転される。
θ１＝２πＲｉｎ／Ｒ１１・・・（１）。When the drive rotator 5 is rotated once counterclockwise, the contact C between the drive rotator 5 and the outer peripheral surface 1a of the inner rotator 1 moves 2πR in along the first outer peripheral surface 1a. At the input side 10A, the outer radius of the inner rotary body 1 are the R 11, the inner rotary body 1 is the angle theta 1 rotation shown in Equation (1) below clockwise.
θ 1 = 2πR in / R 11 (1).

同様に、駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、駆動回転体５と、外側回転体２の外周面１ａとの接点Ｄが、第１の内周面２ａに沿って２πＲｉｎ移動する。入力側１０Ａにおける、外側回転体２の外半径は、Ｒ２１であるため、外側回転体２は、反時計回りに以下の式（２）に示す角度θ２回転される。
θ２＝２πＲｉｎ／Ｒ２１・・・（２）。Similarly, when the drive rotator 5 is rotated once counterclockwise, the contact D between the drive rotator 5 and the outer peripheral surface 1a of the outer rotator 2 becomes 2πR in along the first inner peripheral surface 2a. Moving. At the input side 10A, the outer radius outer rotating body 2, since it is R 21, the outer rotating body 2, is the angle theta 2 rotates shown in equation (2) below counterclockwise.
θ 2 = 2πR in / R 21 (2).

次に、図２（Ｂ）を参照して、出力側１０Ｂの動作について説明する。   Next, the operation of the output side 10B will be described with reference to FIG.

図２（Ｂ）に示すように、入力側１０Ａで、内側回転体１が時計回りに回転されると、出力側１０Ｂでも内側回転体１は、時計回りに回転される（逆回転）。同様に、入力側１０Ａで、外側回転体２が反時計回りに回転されると、出力側１０Ｂでも外側回転体２は、反時計回りに回転される（正回転）。   As shown in FIG. 2B, when the inner rotating body 1 is rotated clockwise on the input side 10A, the inner rotating body 1 is also rotated clockwise (reverse rotation) on the output side 10B. Similarly, when the outer rotating body 2 is rotated counterclockwise on the input side 10A, the outer rotating body 2 is also rotated counterclockwise on the output side 10B (forward rotation).

内側回転体１の時計回りの回転（逆回転）、及び外側回転体２の反時計回りの回転（正回転）により、第２の外周面１ｂ及び第２の内周面２ｂの間に配置された遊星回転体３、４の自転及び公転が開始される。この場合、第２の内周面２ｂ及び第２の外周面１ｂのそれぞれの絶対値的な回転速度にわずかな差が発生するため、遊星回転体３，４を内側回転体１の周囲で非常にゆっくりと公転させることができる。   Due to the clockwise rotation (reverse rotation) of the inner rotating body 1 and the counterclockwise rotation (forward rotation) of the outer rotating body 2, the inner rotating body 1 is disposed between the second outer peripheral surface 1 b and the second inner peripheral surface 2 b. The rotation and revolution of the planetary rotors 3 and 4 are started. In this case, a slight difference occurs in the absolute rotational speeds of the second inner peripheral surface 2b and the second outer peripheral surface 1b, so that the planetary rotators 3 and 4 are Can be revolved slowly.

ここで、駆動回転体５が反時計回りに一回転された場合を考える。   Here, consider a case where the drive rotor 5 is rotated once counterclockwise.

駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、入力側１０Ａで、内側回転体１が時計回りに角度θ１回転されるため、出力側１０Ｂでも内側回転体１が時計回りに角度θ１回転される。同様に、駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、入力側１０Ａで、外側回転体２が反時計回りに角度θ２回転されるため、出力側１０Ｂでも外側回転体２が反時計回りに角度θ２回転される。When the drive rotator 5 is rotated once counterclockwise, the inner rotator 1 is rotated clockwise by the angle θ 1 on the input side 10A, and therefore the inner rotator 1 is rotated clockwise by the angle θ on the output side 10B. It is rotated once . Similarly, when the drive rotator 5 is rotated once counterclockwise, the outer rotator 2 is rotated counterclockwise by the angle θ 2 on the input side 10A, and therefore the outer rotator 2 is also counterclockwise on the output side 10B. is the angle theta 2 rotates clockwise.

内側回転体１が時計回りにθ１回転されると、内側回転体１の第２の外周面１ｂと、第１の遊星回転体３との接点Ａは、図２（Ｂ）に示すＡ１の位置まで移動される。出力側１０Ｂにおける、内側回転体１の外半径は、Ｒ１２であるので、円弧ＡＡ１は、以下の式（３）で表される。
ＡＡ１＝Ｒ１２・θ１・・・（３）。When the inner rotating body 1 is theta 1 rotates clockwise, the second outer peripheral surface 1b of the inner rotating body 1, contact A between the first planetary rotary body 3 of A1 shown in FIG. 2 (B) Moved to position. At the output side 10B, the outer radius of the inner rotating body 1, because it is R 12, arc AA 1 is expressed by the following equation (3).
AA 1 = R 12 · θ 1 (3).

同様に、外側回転体２が反時計回りにθ２回転されると、外側回転体２の第２の内周面２ｂと、第１の遊星回転体３との接点Ｂは、Ｂ２の位置まで移動される。出力側１０Ｂにおける、外側回転体の内半径は、Ｒ２２であるので、円弧ＢＢ２は、以下の式（４）で表される。
ＢＢ２＝Ｒ２２・θ２・・・（４）。Similarly, when the outer rotary member 2 is rotated theta 2 in the counterclockwise direction, and the second inner circumferential surface 2b of the outer rotating body 2, the contact B of the first planetary rotary body 3, to the position of B2 Moved. At the output 10B, the inner radius of the outer rotary member, since it is R 22, arc BB 2 is expressed by the following equation (4).
BB 2 = R 22 · θ 2 (4).

このとき、第１の遊星回転体３の中心Ｏ３が点Ｏの周りを、反時計回りに角度θ回転し、中心O３がO３’まで移動したとする。また、このときの第１の遊星回転体３と、内側回転体１の第２の外周面１ｂとの接点をＡ’とし、第１の遊星回転体３と、外側回転体２の第２の内周面２ｂとの接点をＢ’とする。At this time, it is assumed that the center O 3 of the first planetary rotating body 3 rotates around the point O by an angle θ counterclockwise, and the center O 3 moves to O 3 ′. Further, the contact point between the first planetary rotating body 3 and the second outer peripheral surface 1b of the inner rotating body 1 at this time is A ′, and the first planetary rotating body 3 and the second rotating body 2 of the outer rotating body 2 are The contact point with the inner peripheral surface 2b is B ′.

この場合、円弧Ａ’Ａ１（第１の遊星回転体３と、内側回転体１の接点の相対的な移動距離）は、以下の式（５）で表され、円弧Ｂ’Ｂ２（第１の遊星回転体３と、外側回転体２の接点の相対的な移動距離）は、以下の式（６）で表される。
Ａ’Ａ１＝Ｒ１２・θ１＋Ｒ１２・θ・・・（５）
Ｂ’Ｂ２＝Ｒ２２・θ２−Ｒ２２・θ・・・（６）。In this case, the arc A′A 1 (relative movement distance between the contact points of the first planetary rotator 3 and the inner rotator 1) is expressed by the following equation (5), and the arc B′B 2 (first The relative movement distance of the contact point between the planetary rotator 1 and the outer rotator 2 is expressed by the following equation (6).
A′A 1 = R 12 · θ 1 + R 12 · θ (5)
B′B 2 = R 22 · θ 2 −R 22 · θ (6).

ここで、第１の遊星回転体３が、内側回転体１と、外側回転体２との間を滑らずに回転するためには、円弧Ａ’Ａ１＝円弧Ｂ’Ｂ２の条件が必要であるため、以下の式（７）が成立する。Here, in order for the first planetary rotator 3 to rotate without slipping between the inner rotator 1 and the outer rotator 2 , the condition of arc A′A 1 = arc B′B 2 is necessary. Therefore, the following equation (7) is established.

Ｒ１２・θ１＋Ｒ１２・θ＝Ｒ２２・θ２−Ｒ２２・θ・・・（７）。 R 12 · θ 1 + R 12 · θ = R 22 · θ 2 -R 22 · θ ··· (7).

上記式（７）をθについて整理すると、以下の式（８）で表される。   When the above equation (7) is arranged with respect to θ, it is expressed by the following equation (8).

θ＝（Ｒ２２・θ２−Ｒ１２・θ１）／（Ｒ２２＋Ｒ１２）・・・（８）。θ = (R 22 · θ 2 −R 12 · θ 1 ) / (R 22 + R 12 ) (8).

この式（８）に、上記式（１）及び式（２）を代入すると、角度θは、以下の式（９）により表される。
θ＝２πＲｉｎ（Ｒ２２／Ｒ２１−Ｒ１２／Ｒ１１）／（Ｒ２２＋Ｒ１２）・・・（９）。When the above formulas (1) and (2) are substituted into this formula (8), the angle θ is expressed by the following formula (9).
θ = 2πR in (R 22 / R 21 −R 12 / R 11 ) / (R 22 + R 12 ) (9).

すなわち、駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、第１の遊星回転体の中心Ｏ３が点Ｏの周りを反時計回りに上記式（９）に示す角度θ回転される。この場合、第１の遊星回転体３は、内側回転体１の第２の外周面１ｂに沿って、内側回転体１の周囲を角度θ公転する。なお、第１の遊星回転体と対向する位置に配置された第２の遊星回転体４も、第１の遊星回転体と同様に、内側回転体１の第２の外周面１ｂに沿って、内側回転体１の周囲を角度θ公転する。That is, when the drive rotator 5 is rotated once counterclockwise, the center O 3 of the first planetary rotator is rotated counterclockwise around the point O by the angle θ shown in the above equation (9). In this case, the first planetary rotator 3 revolves around the inner rotator 1 by the angle θ along the second outer peripheral surface 1 b of the inner rotator 1. In addition, the second planetary rotator 4 arranged at a position facing the first planetary rotator is also along the second outer peripheral surface 1b of the inner rotator 1 similarly to the first planetary rotator. The angle θ revolves around the inner rotating body 1.

上述のように、第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４には、それぞれ支軸１２、１３が設けられ、この支軸１２、１３により、出力板１１が回転可能に支持されている。従って、出力板１１は、駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として、反時計回りに角度θ回転される。   As described above, the first planetary rotator 3 and the second planetary rotator 4 are each provided with the support shafts 12 and 13, and the output plates 11 are rotatably supported by the support shafts 12 and 13. ing. Therefore, when the drive rotor 5 is rotated once counterclockwise, the output plate 11 is rotated counterclockwise by the angle θ about the axis O-O ′.

以上より、本実施形態に係る回転伝達機構１０の減速比は、以下の式（１０）により表される。
（減速比）＝θ／２π＝Ｒｉｎ（Ｒ２２／Ｒ２１−Ｒ１２／Ｒ１１）／（Ｒ２２＋Ｒ１２）・・・（１０）。From the above, the reduction ratio of the rotation transmission mechanism 10 according to the present embodiment is expressed by the following equation (10).
(Reduction ratio) = θ / 2π = R in (R 22 / R 21 −R 12 / R 11 ) / (R 22 + R 12 ) (10).

図３は、上記各回転体１〜５の半径（内径、または外径）の一例を示す表である。   FIG. 3 is a table showing an example of the radius (inner diameter or outer diameter) of each of the rotating bodies 1 to 5.

図３に示す例では、駆動回転体５の半径がＲｉｎが５ｍｍ（Ｒｉｎ＝５ｍｍ）、入力側１０Ａにおける、内側回転体１の外半径Ｒ１１が５０ｍｍ（Ｒ１１＝５０ｍｍ）、出力側１０Ｂにおける、内側回転体１の外半径Ｒ１２が４０ｍｍ（Ｒ１２＝４０ｍｍ）とされた。また、入力側１０Ａにおける、外側回転体２の内半径Ｒ２１が６０ｍｍ（Ｒ２１＝６０ｍｍ）、出力側１０Ｂにおける、外側回転体２の内径Ｒ２２が５０ｍｍ（Ｒ２２＝５０ｍｍ）第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４の半径Ｒ３が５ｍｍ（Ｒ３＝５ｍｍ）とされた。In the example shown in FIG. 3, the radius of the driving rotator 5 is R in the 5 mm (R in = 5 mm), at the input side 10A, the outer radius R 11 of the inner rotary body 1 is 50 mm (R 11 = 50 mm), the output side The outer radius R 12 of the inner rotating body 1 in 10B was set to 40 mm (R 12 = 40 mm). In addition, the inner planet R 21 of the outer rotating body 2 on the input side 10A is 60 mm (R 21 = 60 mm), and the inner diameter R 22 of the outer rotating body 2 on the output side 10B is 50 mm (R 22 = 50 mm). The radius R 3 of the rotating body 3 and the second planetary rotating body 4 was set to 5 mm (R 3 = 5 mm).

この場合、回転伝達機構１０の減速比は、１／５４０となる。なお、内側回転体１の外半径や、外側回転体の内半径などの値については、もちろん他の値も取り得る。   In this case, the reduction ratio of the rotation transmission mechanism 10 is 1/540. Of course, other values may be taken for values such as the outer radius of the inner rotating body 1 and the inner radius of the outer rotating body.

上記説明したように、本実施形態に係る回転伝達機構１０は、１／１００以上の高い減速比を容易に実現することができる。また、回転伝達機構１０は、２段で高い減速比を得ることが可能であるため、回転伝達機構１０の小型化、薄型化も容易に実現することができる。   As described above, the rotation transmission mechanism 10 according to the present embodiment can easily realize a high reduction ratio of 1/100 or more. Further, since the rotation transmission mechanism 10 can obtain a high reduction ratio in two stages, the rotation transmission mechanism 10 can be easily reduced in size and thickness.

さらに、駆動回転体５の回転軸、つまり、入力軸が回転伝達機構１０の中心軸（軸Ｏ−Ｏ’）からオフセットされているため、回転伝達機構１０の中央に中空部９を形成し、中空部９を様々な用途に用いることができる。中空部９は、上述したように、例えば、ケーブルなどの配線や、冷水パイプなどを通す穴として利用される。   Furthermore, since the rotation axis of the drive rotator 5, that is, the input shaft is offset from the center axis (axis OO ′) of the rotation transmission mechanism 10, a hollow portion 9 is formed in the center of the rotation transmission mechanism 10, The hollow portion 9 can be used for various purposes. As described above, the hollow portion 9 is used, for example, as a hole through which wiring such as a cable or a cold water pipe passes.

（第２実施形態）
次に本発明の第２の実施形態に係る回転伝達機構について説明する。なお、第２実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同一の構成、機能を有する部材については、同一符号を付し説明を省略、または簡略化する。(Second Embodiment)
Next, a rotation transmission mechanism according to the second embodiment of the present invention will be described. In the description of the second embodiment, members having the same configuration and function as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.

図４は、第２実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。図４（Ａ）は、一部が破断された回転伝達機構の上面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すＦ−Ｆ’線の断面図であり、回転伝達機構を側方から見た図である。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）に示すＧ−Ｇ’線の断面図であり、回転伝達機構を上方から見た図である。図４（Ａ）では、図４（Ａ）に示すＥ−Ｅ’から左は、出力板を省略して図示している。   FIG. 4 is a view showing a rotation transmission mechanism according to the second embodiment. FIG. 4A is a top view of the rotation transmission mechanism partially broken. 4B is a cross-sectional view taken along the line F-F ′ shown in FIG. 4A, and is a view of the rotation transmission mechanism as viewed from the side. FIG. 4C is a cross-sectional view taken along the line G-G ′ shown in FIG. 4B and is a view of the rotation transmission mechanism as viewed from above. In FIG. 4A, the output plate is omitted on the left side from E-E ′ shown in FIG.

第２実施形態では、上述の第１実施形態で説明した各回転体１〜６が、ギア（歯車）により形成されている点で第１実施形態と異なっていため、その点を中心に説明する。   In the second embodiment, each of the rotating bodies 1 to 6 described in the first embodiment is different from the first embodiment in that the rotating bodies 1 to 6 are formed by gears (gears). .

図４に示すように、回転伝達機構２０は、回転伝達機構２０の内側に配置され、軸Ｏ−Ｏ’を中心に回転可能な太陽ギア２１と、太陽ギア２１と同軸で配置され、太陽ギア２１の外側で回転可能なリングギア２２とを有する。回転伝達機構２０の入力側２０Ａ（下段）には、モータに接続された駆動ギア２５と、駆動ギア２５に対向する位置に設けられるギア２６とが配置される。また、回転伝達機構２０の出力側２０Ｂ（上段）には、太陽ギア２１の周囲を自転しながら公転する第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４とが配置される。   As shown in FIG. 4, the rotation transmission mechanism 20 is disposed inside the rotation transmission mechanism 20, and is disposed coaxially with the sun gear 21 that is rotatable about the axis OO ′, and the sun gear 21. 21 and a ring gear 22 rotatable on the outside of 21. On the input side 20 </ b> A (lower stage) of the rotation transmission mechanism 20, a drive gear 25 connected to the motor and a gear 26 provided at a position facing the drive gear 25 are arranged. A first planetary gear 23 and a second planetary gear 24 that revolve while rotating around the sun gear 21 are arranged on the output side 20B (upper stage) of the rotation transmission mechanism 20.

太陽ギア２１は、第１実施形態で説明した内側回転体１に、リングギア２２は、外側回転体２に、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４は、第１の遊星回転体３及び第２の遊星回転体４にそれぞれ対応している。また、駆動ギア２５は、駆動回転体５に、ギア２６は、回転体６にそれぞれ対応している。   The sun gear 21 is the inner rotating body 1 described in the first embodiment, the ring gear 22 is the outer rotating body 2, the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 are the first planetary rotating body. 3 and the second planetary rotating body 4 respectively. The drive gear 25 corresponds to the drive rotator 5, and the gear 26 corresponds to the rotator 6.

第２実施形態の説明では、入力側２０Ａにおける、太陽ギア２１のピッチ円半径（外径）をＲ１１とし、出力側２０Ｂにおける、太陽ギア２１のピッチ円半径（外径）をＲ１２として説明する。同様に、入力側２０Ａにおける、リングギア２２のピッチ円半径（内径）をＲ２１とし、出力側２０Ｂにおける、リングギア２２のピッチ円半径（内径）をＲ２２として説明する。また、駆動ギア２５のピッチ円半径をＲｉｎとし、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４のピッチ円半径をＲ３とする。In the description of the second embodiment described, the input side 20A, the pitch circle radius of the sun gear 21 (outer diameter) and R 11, at the output side 20B, the pitch circle radius of the sun gear 21 (outer diameter) as R 12 To do. Similarly, the input side 20A, the pitch circle radius of the ring gear 22 (the inner diameter) and R 21, at the output side 20B, illustrating the pitch circle radius of the ring gear 22 (the inner diameter) as R 22. Further, the pitch radius of the drive gear 25 and R in, the pitch circle radius of the first planetary gear 23 and the second planetary gears 24 and R 3.

図５は、上記各ギア２１〜２６のピッチ円半径及び歯数の組み合わせの一例を示す表である。なお、図５に示す例では、モジュールｍ（ｍ＝ピッチ円直径／歯数Ｎ）は、０．５とした。   FIG. 5 is a table showing an example of combinations of pitch circle radii and the number of teeth of each of the gears 21 to 26. In the example shown in FIG. 5, the module m (m = pitch circle diameter / number of teeth N) is set to 0.5.

ここで、モジュールｍが０．５の場合、上記各ギア２１〜２６のピッチ円半径Ｒ（Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒｉｎ、Ｒ３）と、各ギア２１〜２６の歯数Ｎ（Ｎ１１、Ｎ１２、Ｎ２１、Ｎ２２、Ｎｉｎ、Ｎ３）の関係は、以下の式（１１）で表される。
Ｒ＝１／４Ｎ（Ｒ１１＝１／４Ｎ１１、Ｒ１２＝１／４Ｎ１２、Ｒ２１＝１／４Ｎ２１、Ｒ２２＝１／４Ｎ２２、Ｒｉｎ＝１／４Ｎｉｎ、Ｒ３＝１／４Ｎ３）・・・（１１）。Here, when the module m is 0.5, the pitch circle radii R (R 11 , R 12 , R 21 , R 22 , R in , R 3 ) of the gears 21 to 26 and the gears 21 to 26 are set. The relationship between the number of teeth N (N 11 , N 12 , N 21 , N 22 , N in , N 3 ) is expressed by the following formula (11).
R = 1 / 4N (R 11 = 1 / 4N 11, R 12 = 1 / 4N 12, R 21 = 1 / 4N 21, R 22 = 1 / 4N 22, R in = 1 / 4N in, R 3 = 1 / 4N 3 ) (11).

式（１１）を上記式（１０）に代入すると、減速比は、以下の式（１２）で表される。   When equation (11) is substituted into equation (10) above, the reduction ratio is expressed by equation (12) below.

（減速比）＝Ｎｉｎ（Ｎ２２／Ｎ２１−Ｎ１２／Ｎ１１）／（Ｎ２２＋Ｎ１２）・・・（１２）。(Reduction ratio) = N in (N 22 / N 21 −N 12 / N 11 ) / (N 22 + N 12 ) (12).

この式（１２）に図４に示す各ギア２１〜２６の歯数Ｎを代入すると、減速比を求めることができ、図５に示す例では、減速比は、１／５４０となることが分かる。   If the number of teeth N of each of the gears 21 to 26 shown in FIG. 4 is substituted into this equation (12), the reduction ratio can be obtained. In the example shown in FIG. 5, the reduction ratio is 1/540. .

以上、第２実施形態は、簡単に説明したが、基本的な動作や、奏する効果については、上述の第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。   Although the second embodiment has been described briefly above, the basic operation and effects to be achieved are the same as those of the first embodiment described above, and thus the description thereof is omitted.

（搬送装置の第１実施形態）
次に、回転伝達機構の利用形態の一例として、回転伝達機構を搭載した搬送装置について説明する。(1st Embodiment of a conveying apparatus)
Next, as an example of a usage form of the rotation transmission mechanism, a conveyance device equipped with the rotation transmission mechanism will be described.

図６は、本実施形態に係る搬送装置の上面図であり、図７は、搬送装置の断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。なお、図７では、アーム機構の図示を省略している。   FIG. 6 is a top view of the transport apparatus according to the present embodiment, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the transport apparatus, as viewed from the side. In FIG. 7, the arm mechanism is not shown.

これらの図に示すように、本実施形態に係る搬送装置１００は、アーム機構３０と、アーム機構３０を駆動するためのベース部１２０とを備える。   As shown in these drawings, the transport apparatus 100 according to the present embodiment includes an arm mechanism 30 and a base portion 120 for driving the arm mechanism 30.

ベース部１２０は、アーム機構３０を伸縮及び旋回させるための上部駆動機構４０と、下部駆動機構５０とを備えている。上部駆動機構４０は、上部回転伝達機構４１と、これを駆動する上部モータ４２とを有する。下部駆動機構５０は、下部回転伝達機構５１と、これを駆動する下部モータ５２とを有する。   The base unit 120 includes an upper drive mechanism 40 and a lower drive mechanism 50 for expanding and contracting and turning the arm mechanism 30. The upper drive mechanism 40 includes an upper rotation transmission mechanism 41 and an upper motor 42 that drives the upper rotation transmission mechanism 41. The lower drive mechanism 50 includes a lower rotation transmission mechanism 51 and a lower motor 52 that drives the lower rotation transmission mechanism 51.

また、ベース部１２０は、下部回転伝達機構５１の回転をアーム機構３０に伝達する回転可能な内軸６１と、上部回転伝達機構４１の回転をアーム機構３０に伝達する、内軸６１の外側で回転可能な外軸６２とを備えている。   Further, the base portion 120 has a rotatable inner shaft 61 that transmits the rotation of the lower rotation transmission mechanism 51 to the arm mechanism 30 and an outer side of the inner shaft 61 that transmits the rotation of the upper rotation transmission mechanism 41 to the arm mechanism 30. And a rotatable outer shaft 62.

さらに、ベース部１２０は、外軸６２に連結された、アーム機構３０を旋回可能に支持する旋回台６３と、ボールベアリング８１を介して外軸６２を支持するフランジ部７１と、フランジ部７１、上部駆動機構４０、及び下部駆動機構５０を支持する支柱７２とを備えている。   Further, the base portion 120 is connected to the outer shaft 62 and supports the arm mechanism 30 so as to be rotatable, a flange portion 71 that supports the outer shaft 62 via a ball bearing 81, a flange portion 71, The upper drive mechanism 40 and the support | pillar 72 which supports the lower drive mechanism 50 are provided.

アーム機構３０は、平行リンク機構３６と、平行リンク機構３６の先端側に設けられた載置台取り付け基部３８と、載置台取り付け基部３８に取り付けられた載置台３７とを含む。平行リンク機構３６は、第１のリンクバー３１〜第４のリンクバー３４と、これらのリンクバーよりも短い第５のリンクバー３５とにより構成される。   The arm mechanism 30 includes a parallel link mechanism 36, a mounting base mounting base 38 provided on the distal end side of the parallel link mechanism 36, and a mounting base 37 attached to the mounting base mounting base 38. The parallel link mechanism 36 includes a first link bar 31 to a fourth link bar 34 and a fifth link bar 35 shorter than these link bars.

第１のリンクバー３１の一端部は、旋回台６３の中央から突出する内軸６１と連結され、第１のリンクバー３１の他端部は、第５のリンクバー３５を介して、第４のリンクバー３４の一端部と連結されている。第２のリンクバー３２の一端部は、ボールベアリング８２を介して旋回台６３に回転可能に取り付けられた従動軸６４に連結されている。第２のリンクバー３２の他端部は、第５のリンクバー３５を介して第３のリンクバー３３に連結されている。   One end portion of the first link bar 31 is connected to the inner shaft 61 protruding from the center of the swivel base 63, and the other end portion of the first link bar 31 is connected to the fourth link bar 35 via the fifth link bar 35. Are connected to one end of the link bar 34. One end of the second link bar 32 is connected to a driven shaft 64 rotatably attached to the swivel base 63 via a ball bearing 82. The other end of the second link bar 32 is connected to the third link bar 33 via the fifth link bar 35.

第３のリンクバー３３及び第４のリンクバー３４の先端側には、載置台取り付け基部３８が設けられる。載置台取り付け基部３８には、搬送対象物（図示せず）を載置する載置台３７が取り付けられる。本実施形態では、搬送対象物は、典型的には、半導体ウェハ基板、例えばディスプレイに用いられるガラス基板等である。   On the distal end side of the third link bar 33 and the fourth link bar 34, a mounting table mounting base 38 is provided. A mounting table 37 for mounting a transport object (not shown) is mounted on the mounting table mounting base 38. In this embodiment, the conveyance target is typically a semiconductor wafer substrate, for example, a glass substrate used for a display.

外軸６２と旋回台６３とは固定されており、アーム機構３０は、外軸６２の回転により、旋回台６３とともに旋回可能とされている。また、アーム機構３０は、内軸６１の回転により伸縮（屈曲）可能とされている。載置台３７は、平行リンク機構３６の伸縮（屈曲）により、旋回台６３の遠心方向に、直線的に移動可能とされている。   The outer shaft 62 and the swivel base 63 are fixed, and the arm mechanism 30 can be swung together with the swivel base 63 by the rotation of the outer shaft 62. The arm mechanism 30 can be expanded and contracted (bent) by the rotation of the inner shaft 61. The mounting table 37 is linearly movable in the centrifugal direction of the swivel base 63 by expansion and contraction (bending) of the parallel link mechanism 36.

上部回転伝達機構４１及び下部回転伝達機構５１は、同軸で配置され、上部回転伝達機構４１は、下部回転伝達機構５１の上方に（下部回転伝達機構５１は、上部回転伝達機構４１の下方に）配置される。上部モータ４２及び下部モータ５２には、それぞれ、電力供給等に用いられるケーブル４３、５３が設けられる。   The upper rotation transmission mechanism 41 and the lower rotation transmission mechanism 51 are arranged coaxially, and the upper rotation transmission mechanism 41 is above the lower rotation transmission mechanism 51 (the lower rotation transmission mechanism 51 is below the upper rotation transmission mechanism 41). Be placed. The upper motor 42 and the lower motor 52 are provided with cables 43 and 53 used for power supply or the like, respectively.

上部駆動機構４０及び下部駆動機構５０は、支柱７２に固定されており、これにより、上部駆動機構４０及び下部駆動機構５０は、ベース部１２０の内部において、所定の位置に固定される。   The upper drive mechanism 40 and the lower drive mechanism 50 are fixed to the column 72, whereby the upper drive mechanism 40 and the lower drive mechanism 50 are fixed at predetermined positions inside the base portion 120.

内軸６１は、ボールベアリング８３を介して外軸６２に回転可能に支持されている。内軸６１の上端部は、旋回台６３から突出し、アーム機構３０の第１のリンクバー３１に連結されている。内軸６１の下端部は、カップリング６５を介して下部回転伝達機構５１の出力板６９に連結される。内軸６１は、上部回転伝達機構４１に設けられた中空部６０（図８参照）を介して、アーム機構３０と、下部回転伝達機構５１とを連結している。つまり、上部回転伝達機構４１の中空部６０は、内軸６１を通す穴として利用される。   The inner shaft 61 is rotatably supported by the outer shaft 62 via a ball bearing 83. The upper end portion of the inner shaft 61 protrudes from the swivel base 63 and is connected to the first link bar 31 of the arm mechanism 30. The lower end portion of the inner shaft 61 is connected to the output plate 69 of the lower rotation transmission mechanism 51 through the coupling 65. The inner shaft 61 connects the arm mechanism 30 and the lower rotation transmission mechanism 51 via a hollow portion 60 (see FIG. 8) provided in the upper rotation transmission mechanism 41. That is, the hollow portion 60 of the upper rotation transmission mechanism 41 is used as a hole through which the inner shaft 61 passes.

外軸６２の上部は、上述のように旋回台６３に固定されており、外軸６２の下部は、旋回板６６に連結されている。旋回板６６は、中央に開口を有する円板状の部材であり支柱６７を介して上部回転伝達機構４１の出力板６８に連結されている。   The upper portion of the outer shaft 62 is fixed to the swivel base 63 as described above, and the lower portion of the outer shaft 62 is connected to the swivel plate 66. The swivel plate 66 is a disk-shaped member having an opening at the center, and is connected to the output plate 68 of the upper rotation transmission mechanism 41 via a support column 67.

図８は、上部駆動機構４０の断面図であり、上部駆動機構４０を側方から見た図である。なお、図８の説明では、上述の第２実施形態に係る回転伝達機構２０（ギアにより形成された回転伝達機構）と同様の機能及び構成を有する部材については同一符号を付し、異なる点を中心に説明する。   FIG. 8 is a cross-sectional view of the upper drive mechanism 40 and is a view of the upper drive mechanism 40 as viewed from the side. In the description of FIG. 8, members having the same functions and configurations as those of the rotation transmission mechanism 20 (rotation transmission mechanism formed by gears) according to the second embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and different points are provided. The explanation is centered.

上部回転伝達機構４１は、太陽ギア２１、リングギア２２、第１の遊星ギア２３、第２の遊星ギア２４、駆動ギア２５、ギア２６及び出力板６８を有する。上部回転伝達機構４１は、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４と、出力板６８との間に介在された回転可能な出力軸４４をさらに有している。   The upper rotation transmission mechanism 41 includes a sun gear 21, a ring gear 22, a first planetary gear 23, a second planetary gear 24, a drive gear 25, a gear 26, and an output plate 68. The upper rotation transmission mechanism 41 further includes a rotatable output shaft 44 interposed between the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 and the output plate 68.

また、上部回転伝達機構４１は、上部回転伝達機構４１のベースとなるベース部材４５と、ベース部材４５に固定され、上部回転伝達機構４１の側周部を形成する側壁部材４６と、側壁部材４６に固定され、出力軸４４を上方から押さえる押さえ板４７とを有している。   The upper rotation transmission mechanism 41 includes a base member 45 serving as a base of the upper rotation transmission mechanism 41, a side wall member 46 that is fixed to the base member 45 and forms a side periphery of the upper rotation transmission mechanism 41, and the side wall member 46. And a holding plate 47 that holds the output shaft 44 from above.

太陽ギア２１は、軸Ｏ−Ｏ’を中心に回転可能であり、太陽ギア２１の中央は、中空とされている。太陽ギア２１は、外周部において、入力側２０Ａ（下段）で駆動ギア２５及びギア２６に噛み合わされ、出力側２０Ｂ（上段）で第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４と噛み合わされている。   The sun gear 21 can rotate around the axis O-O ′, and the center of the sun gear 21 is hollow. The sun gear 21 is meshed with the drive gear 25 and the gear 26 on the input side 20A (lower stage) and meshed with the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 on the output side 20B (upper stage) on the outer peripheral portion. Yes.

リングギア２２は、太陽ギア２１と同軸で配置されており、内周部において、入力側２０Ａで駆動ギア２５及びギア２６と噛み合わされ、出力側２０Ｂで第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４と噛み合わされている。   The ring gear 22 is arranged coaxially with the sun gear 21, and meshes with the drive gear 25 and the gear 26 on the input side 20A on the inner periphery, and the first planetary gear 23 and the second planetary gear on the output side 20B. Meshed with the gear 24.

入力側２０Ａに配置される駆動ギア２５は、連結部４８を介して、上部モータ４２の出力軸１５に固定され、上部モータ４２の回転運動を上部回転伝達機構４１に入力する。上部モータ４２は、上部回転伝達機構４１のベース部材４５に固定される。上部回転伝達機構４１の入力側２０Ａにおいて、太陽ギア２１を挟み込んで駆動ギア２５と対向する位置に配置されるギア２６は、ニードルベアリング８５を介して、ベース部材４５に固定された軸７５に回転可能に支持されている。   The drive gear 25 disposed on the input side 20 </ b> A is fixed to the output shaft 15 of the upper motor 42 via the connecting portion 48, and inputs the rotational motion of the upper motor 42 to the upper rotation transmission mechanism 41. The upper motor 42 is fixed to the base member 45 of the upper rotation transmission mechanism 41. On the input side 20 </ b> A of the upper rotation transmission mechanism 41, the gear 26 that is disposed at a position facing the drive gear 25 with the sun gear 21 interposed therebetween rotates around the shaft 75 fixed to the base member 45 via the needle bearing 85. Supported as possible.

上部回転伝達機構４１の出力側２０Ｂに配置され、太陽ギア２１の周囲を公転する、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４は、それぞれニードルベアリング８６、８７を介して軸７６、７７に回転可能に支持されている。   The first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 that are arranged on the output side 20B of the upper rotation transmission mechanism 41 and revolve around the sun gear 21 are shafts 76 and 77 via needle bearings 86 and 87, respectively. Is rotatably supported.

第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４を回転可能に支持する軸７６、７７は、出力軸４４に固定されている。これにより、出力軸４４は、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が太陽ギア２１の周囲を公転した際に、軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として回転可能とされている。   The shafts 76 and 77 that rotatably support the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 are fixed to the output shaft 44. As a result, the output shaft 44 can rotate about the axis O-O ′ when the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 revolve around the sun gear 21.

出力軸４４には、中央に軸Ｏ−Ｏ’に沿って上面及び底面を貫通するように貫通口４９が形成されている。出力軸４４は、出力軸４４の上部４４ａの外径が出力軸の下部４４ｂの外径よりも大きく形成されている。   The output shaft 44 is formed with a through hole 49 at the center so as to penetrate the top surface and the bottom surface along the axis O-O ′. The output shaft 44 is formed such that the outer diameter of the upper portion 44a of the output shaft 44 is larger than the outer diameter of the lower portion 44b of the output shaft.

出力軸の下部４４ｂの外周面と、ベース部材４５との間には、第１のＯリング８８が設けられ、出力軸の上部４４ａの外周面と、押さえ板４７との間には、第２のＯリング８９が設けられる。この２つのＯリング８８、８９により、出力軸４４、ベース部材４５、側壁部材４６及び押さえ板４７に囲まれた空間が封止される。この封止された空間には、グリース、油などの潤滑剤が注入される。   A first O-ring 88 is provided between the outer peripheral surface of the lower portion 44 b of the output shaft and the base member 45, and a second O-ring 88 is provided between the outer peripheral surface of the upper portion 44 a of the output shaft and the pressing plate 47. O-ring 89 is provided. The space surrounded by the output shaft 44, the base member 45, the side wall member 46, and the pressing plate 47 is sealed by the two O rings 88 and 89. Lubricants such as grease and oil are injected into the sealed space.

これにより、上記各ギア２１〜２６の回転運動を滑らかにすることができ、また、ベース部材４５や押さえ板４７に対する出力軸４４の回転運動を滑らかにすることができる。なお、搬送装置１００が真空中で使用される場合には、潤滑剤として、真空用グリース（例えば、ソルベイソレキシス社製ＹＶＡＣ１）が用いられればよい。   Thereby, the rotational motion of each of the gears 21 to 26 can be made smooth, and the rotational motion of the output shaft 44 with respect to the base member 45 and the pressing plate 47 can be made smooth. In addition, when the conveying apparatus 100 is used in a vacuum, vacuum grease (for example, YVAC1 manufactured by Solvay Isolex) may be used as the lubricant.

出力板６８は、出力軸４４の上方で出力軸４４に固定され、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４の公転により、出力軸４４とともに軸Ｏ−Ｏ’を中心軸として回転可能とされている。出力板６８には、中央に開口１４が形成され、この開口１４と、出力軸４４の貫通口４９により上部回転伝達機構の中空部６０が形成される。   The output plate 68 is fixed to the output shaft 44 above the output shaft 44, and can rotate about the axis OO ′ as a central axis together with the output shaft 44 by the revolution of the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24. It is said that. An opening 14 is formed in the center of the output plate 68, and a hollow portion 60 of the upper rotation transmission mechanism is formed by the opening 14 and the through hole 49 of the output shaft 44.

なお、下部回転伝達機構５１の構成については、上部回転伝達機構４１の構成と同様であるため、詳細については説明を省略する。下部回転伝達機構５１については、上部回転伝達機構４１と同様の機能、構成を有する部材は、同一符号を付して説明する。   Note that the configuration of the lower rotation transmission mechanism 51 is the same as the configuration of the upper rotation transmission mechanism 41, and therefore, detailed description thereof is omitted. Regarding the lower rotation transmission mechanism 51, members having the same functions and configurations as the upper rotation transmission mechanism 41 will be described with the same reference numerals.

［動作説明］
次に搬送装置１００の動作について説明する。[Description of operation]
Next, the operation of the transport apparatus 100 will be described.

まず、下部駆動機構５０の駆動により、アーム機構３０が伸縮（屈曲）される場合の動作について説明する。   First, an operation when the arm mechanism 30 is expanded and contracted (bent) by driving the lower drive mechanism 50 will be described.

下部モータ５２が駆動されると、モータの出力軸１５に固定された駆動ギア２５が、例えば、上部から見て反時計回りに回転される。駆動ギア２５が反時計回りに回転されると、駆動ギア２５と噛み合う太陽ギア２１が時計回りに回転され、リングギア２２が反時計回りに回転される。太陽ギア２１及びリングギア２２が回転されると、入力側２０Ａでは、太陽ギア２１及びリングギア２２に噛み合うギア２６が定位置で反時計回りに回転される。   When the lower motor 52 is driven, the drive gear 25 fixed to the output shaft 15 of the motor is rotated counterclockwise, for example, as viewed from above. When the drive gear 25 is rotated counterclockwise, the sun gear 21 meshing with the drive gear 25 is rotated clockwise, and the ring gear 22 is rotated counterclockwise. When the sun gear 21 and the ring gear 22 are rotated, on the input side 20A, the gear 26 that meshes with the sun gear 21 and the ring gear 22 is rotated counterclockwise at a fixed position.

一方、出力側２０Ｂでは、太陽ギア２１及びリングギア２２が回転されると、これらのギア２１、２２に噛み合う第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が、自転しながら、太陽ギア２１の周囲を反時計回りに公転する。第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が太陽ギア２１の周囲を反時計回りに公転すると、ニードルベアリング８６、８７及び軸７６、７７を介して、２つの遊星回転体２３、２４に連結された出力軸４４が反時計回りに回転される。出力軸４４の反時計回りの回転により、出力板６９及び内軸６１が反時計回りに回転され、アーム機構３０が伸縮される。この場合、アーム機構３０の載置台３７は、平行リンク機構３６の伸縮により、旋回台６３の遠心方向に直線的に移動される。   On the other hand, on the output side 20B, when the sun gear 21 and the ring gear 22 are rotated, the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 meshing with the gears 21 and 22 rotate while the sun gear 21 rotates. Revolves around the counterclockwise. When the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 revolve around the sun gear 21 in the counterclockwise direction, the two planetary rotators 23 and 24 are passed through the needle bearings 86 and 87 and the shafts 76 and 77. The connected output shaft 44 is rotated counterclockwise. Due to the counterclockwise rotation of the output shaft 44, the output plate 69 and the inner shaft 61 are rotated counterclockwise, and the arm mechanism 30 is expanded and contracted. In this case, the mounting table 37 of the arm mechanism 30 is linearly moved in the centrifugal direction of the swivel table 63 by the expansion and contraction of the parallel link mechanism 36.

次に、上部駆動機構４０の駆動により、アーム機構３０が旋回される場合の動作について説明する。   Next, an operation when the arm mechanism 30 is turned by driving the upper drive mechanism 40 will be described.

上部モータ４２が駆動されると、駆動ギア２５、太陽ギア２１、リングギア２２、ギア２６、第１の遊星ギア２３、第２の遊星ギア２４及び出力軸４４が回転される。出力軸４４が回転されると、出力板６８、支柱６７、旋回板６６、外軸６２、及び旋回台６３が回転され、アーム機構３０が旋回される。なお、内軸６１が固定された状態で外軸６２だけが回転されると、アーム機構３０が旋回しながら伸縮してしまう。そこで、アーム機構３０が伸縮しないように、下部駆動機構５０により内軸６１も外軸６２と同じ方向に同じ速度で回転させる。   When the upper motor 42 is driven, the drive gear 25, the sun gear 21, the ring gear 22, the gear 26, the first planetary gear 23, the second planetary gear 24, and the output shaft 44 are rotated. When the output shaft 44 is rotated, the output plate 68, the column 67, the swivel plate 66, the outer shaft 62, and the swivel base 63 are rotated, and the arm mechanism 30 is swung. If only the outer shaft 62 is rotated while the inner shaft 61 is fixed, the arm mechanism 30 expands and contracts while turning. Therefore, the inner shaft 61 is rotated in the same direction as the outer shaft 62 at the same speed by the lower drive mechanism 50 so that the arm mechanism 30 does not expand and contract.

次に、比較例に係る搬送装置３００を例に挙げて、モータに接続されるケーブルの巻きつきなどの問題点について説明する。   Next, taking the conveyance device 300 according to the comparative example as an example, problems such as winding of a cable connected to the motor will be described.

図９は、比較例に係る搬送装置３００を示す斜視図である。   FIG. 9 is a perspective view showing a transport apparatus 300 according to a comparative example.

図９に示すように搬送装置３００は、複数のリンクバー９１〜９５及び基板保持部９６を有するアーム機構９０と、アーム機構９０を伸縮させる第１のモータ１０１と、第１のモータ１０１に接続された第１のケーブル１０２と、第１のリンクバー９１の基端部及び第１のモータ１０１を連結する軸１０３とを有している。   As shown in FIG. 9, the transfer apparatus 300 is connected to an arm mechanism 90 having a plurality of link bars 91 to 95 and a substrate holding part 96, a first motor 101 that expands and contracts the arm mechanism 90, and the first motor 101. The first cable 102 and the shaft 103 connecting the base end portion of the first link bar 91 and the first motor 101 are provided.

また、搬送装置３００は、旋回台１１１を有し、内部に第１のモータを搭載する搬送装置本体１１０と、搬送装置本体１１０に設けられた第１のギア１１２とを有している。搬送装置３００は、搬送装置本体１１０及びアーム機構９０を旋回させる第２のモータ１０４と、第２のモータに接続された第２のケーブル１０５と、第１のギア１１２に噛み合わされ、第２のモータ１０４の出力軸１０６に設けられた第２のギア１０７とを有している。   Further, the transfer device 300 includes a swivel base 111, and includes a transfer device body 110 on which a first motor is mounted, and a first gear 112 provided on the transfer device body 110. The transport device 300 is meshed with the second motor 104 that rotates the transport device main body 110 and the arm mechanism 90, the second cable 105 connected to the second motor, and the first gear 112, and the second gear And a second gear 107 provided on the output shaft 106 of the motor 104.

この搬送装置３００では、第１のモータ１０１が駆動されると、軸１０３が回転され、アーム機構９０が伸縮さされる。また、第２のモータ１０４が駆動されると、第２のギア１０７及び第１のギア１１２が回転され、搬送装置本体１１０及びアーム機構９０が旋回される。   In the transport apparatus 300, when the first motor 101 is driven, the shaft 103 is rotated and the arm mechanism 90 is expanded and contracted. Further, when the second motor 104 is driven, the second gear 107 and the first gear 112 are rotated, and the transport device main body 110 and the arm mechanism 90 are turned.

第２のモータ１０４が駆動され、アーム機構９０が旋回される場合、アーム機構９０とともに、搬送装置本体１１０が回転されるため、搬送装置本体１１０内に搭載された第１のモータ１０１も同時に回転してしまう。このとき、第１のモータ１０１に接続された第１のケーブル１０２が搬送装置３００の周囲に巻きついてしまう。その結果、ケーブルに負担がかかってしまい、ケーブルが断線してしまう恐れがある。また、ケーブルが搬送装置に巻きついてしまうため、アーム機構９０を一方向に３６０°以上旋回できないといった問題もある。   When the second motor 104 is driven and the arm mechanism 90 is turned, the transport device main body 110 is rotated together with the arm mechanism 90, so that the first motor 101 mounted in the transport device main body 110 is also rotated simultaneously. Resulting in. At this time, the first cable 102 connected to the first motor 101 is wound around the transport device 300. As a result, a load is applied to the cable, and the cable may be disconnected. In addition, since the cable is wound around the transfer device, there is a problem that the arm mechanism 90 cannot be rotated in one direction by 360 ° or more.

ここで、ケーブルの巻きつきの問題を回避するために、第１のケーブル１０２をそのまま下に垂らす方法も考えられる。しかしながら、この場合、アーム機構９０の旋回時に、第１のケーブル１０２にねじれによる負担がかかり、第１のケーブル１０２が断線してしまう恐れがある。第１のケーブル１０２に加わる、ねじれによる負荷を低減するためには、第１のケーブル１０２を長く下まで垂らす必要がある。この場合、搬送装置３００全体の高さが大きくなるという問題が生じる。   Here, in order to avoid the problem of winding of the cable, a method of hanging the first cable 102 as it is can be considered. However, in this case, when the arm mechanism 90 is turned, a load due to twisting is applied to the first cable 102, and the first cable 102 may be disconnected. In order to reduce the load due to twisting applied to the first cable 102, it is necessary to hang the first cable 102 down long. In this case, there arises a problem that the overall height of the transfer device 300 increases.

また、ケーブルの巻きつきの問題を回避するために、ベルト及びプーリを用いてアーム機構を旋回させるといった方法も考えられる。しかしながら、ベルト及びプーリを用いてアーム機構の旋回動作を制御する場合、プーリの正逆回転の際に、ベルトのテンションが変わってしまい、旋回動作の精密な制御ができないといった問題が生じる。   In order to avoid the problem of cable winding, a method of turning the arm mechanism using a belt and a pulley is also conceivable. However, when the swing operation of the arm mechanism is controlled using the belt and the pulley, there is a problem that the tension of the belt is changed during the forward / reverse rotation of the pulley, and the swing operation cannot be precisely controlled.

ここで、搬送装置３００の位置精度向上、部品点数削減、省スペース化のために、第２のモータ１０４を第１のモータ１０１の直下に配置し、第２のモータ１０４で直接、搬送装置本体１１０を回転させる方法が考えられる。しかしながら、この場合、第１のケーブル１０２が第２のモータ１０４に巻きついてしまうという問題が生じる。   Here, in order to improve the positional accuracy of the transfer device 300, reduce the number of parts, and save space, the second motor 104 is disposed immediately below the first motor 101, and the transfer motor main body is directly connected to the second motor 104. A method of rotating 110 is conceivable. However, in this case, there arises a problem that the first cable 102 is wound around the second motor 104.

本実施形態に係る搬送装置１００では、上部駆動機構４０及び下部駆動機構５０は、それぞれ支柱７２に固定されているため、上部駆動機構４０自体、及び下部駆動機構５０自体が回転することはない。したがって、上部モータ４２及び下部モータ５２に接続されたケーブル４３、５３が、搬送装置１００に巻きついてしまうことはなく、ケーブル４３、５３が破断されてしまうなどといった問題は発生しない。   In the transport apparatus 100 according to the present embodiment, the upper drive mechanism 40 and the lower drive mechanism 50 are respectively fixed to the support columns 72, so that the upper drive mechanism 40 itself and the lower drive mechanism 50 themselves do not rotate. Therefore, the cables 43 and 53 connected to the upper motor 42 and the lower motor 52 are not wound around the transport apparatus 100, and the problem that the cables 43 and 53 are broken does not occur.

このように、本実施形態に係る搬送装置１００は、ケーブルの巻きつきの問題を解消することができる。これは、上部回転伝達機構４１の中空部６０が内軸６１を通す穴として利用されるため、アーム機構３０を旋回させたときでも、上部駆動機構４０の上部モータ４２と下部駆動機構５０の下部モータ５２との空間的な位置が変わらないためであり、上部駆動機構４０と下部駆動機構５０とが互いに干渉することがないためである。   Thus, the transport apparatus 100 according to the present embodiment can solve the problem of cable winding. This is because the hollow portion 60 of the upper rotation transmission mechanism 41 is used as a hole through which the inner shaft 61 passes. Therefore, even when the arm mechanism 30 is turned, the upper motor 42 of the upper drive mechanism 40 and the lower portion of the lower drive mechanism 50 are used. This is because the spatial position of the motor 52 does not change, and the upper drive mechanism 40 and the lower drive mechanism 50 do not interfere with each other.

さらに、本実施形態に係る搬送装置１００に搭載された、上部回転伝達機構４１及び下部回転伝達機構５１は、上述のように、高い減速比（例えば、１／５００程度）を有している。したがって、本実施形態では、アーム機構３０の旋回動作及び伸縮動作を高精度で制御することができる。   Furthermore, the upper rotation transmission mechanism 41 and the lower rotation transmission mechanism 51 mounted on the transport apparatus 100 according to the present embodiment have a high reduction ratio (for example, about 1/500) as described above. Therefore, in this embodiment, the turning operation and the expansion / contraction operation of the arm mechanism 30 can be controlled with high accuracy.

（搬送装置の第２実施形態）
次に、搬送装置の第２実施形態について説明する。(2nd Embodiment of a conveying apparatus)
Next, a second embodiment of the transfer device will be described.

図１０は、本発明の第２実施形態に係る搬送装置を示す断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。第２実施形態に係る搬送装置の上面図については、上述の図６と同様であり、上部駆動機構、または下部駆動機構の側方断面図については、上述の図８と同様である。なお、第２実施形態に係る搬送装置２００の説明では、上述の第１実施形態に係る搬送装置１００と同様の機能及び構成を有する部材については、同一符号を付し、説明を省略、または簡略化する。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing a transport apparatus according to the second embodiment of the present invention, and is a view of the transport apparatus as viewed from the side. The top view of the transport device according to the second embodiment is the same as that of FIG. 6 described above, and the side sectional view of the upper drive mechanism or the lower drive mechanism is the same as that of FIG. In the description of the transport apparatus 200 according to the second embodiment, members having the same functions and configurations as those of the transport apparatus 100 according to the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified. Turn into.

第２実施形態に係る搬送装置２００においては、上部駆動機構４０が内軸６１を回転させ、下部駆動機構５０が外軸を回転させる点、及び下部回転伝達機構５１の中空部６０がケーブル４３を通す穴として利用されている点が上述の第１実施形態の搬送装置１００と異なっている。従って、その点を中心に説明する。   In the transport apparatus 200 according to the second embodiment, the upper drive mechanism 40 rotates the inner shaft 61, the lower drive mechanism 50 rotates the outer shaft, and the hollow portion 60 of the lower rotation transmission mechanism 51 connects the cable 43. The point utilized as the hole to pass differs from the conveyance apparatus 100 of 1st Embodiment mentioned above. Therefore, this point will be mainly described.

図１０に示すように、搬送装置２００は、上部回転伝達機構４１及び上部モータ４２を有する上部駆動機構４０と、下部回転伝達機構５１及び下部モータ５２を有し、上部駆動機構４０の下方に配置された下部駆動機構５０とを備えている。   As shown in FIG. 10, the transport device 200 includes an upper drive mechanism 40 having an upper rotation transmission mechanism 41 and an upper motor 42, a lower rotation transmission mechanism 51 and a lower motor 52, and is disposed below the upper drive mechanism 40. The lower drive mechanism 50 is provided.

上部駆動機構４０の出力板６８は、カップリング６５を介して内軸６１の下端部と連結されている。下部駆動機構５０の出力板６９は、支柱７４、支柱７３及び旋回板６６を介して外軸６２の下部に連結されている。   The output plate 68 of the upper drive mechanism 40 is connected to the lower end portion of the inner shaft 61 via the coupling 65. The output plate 69 of the lower drive mechanism 50 is connected to the lower portion of the outer shaft 62 via a support column 74, a support column 73 and a turning plate 66.

上部駆動機構４０は、支柱７３及び支柱７４に固定され、下部駆動機構５０は、支柱７２に固定される。   The upper drive mechanism 40 is fixed to the column 73 and the column 74, and the lower drive mechanism 50 is fixed to the column 72.

上部モータ４２に接続されるケーブル４３は、下部回転伝達機構５１の中空部６０を介して搬送装置２００の外部に引き出される。つまり、下部回転伝達機構５１の中空部６０は、上部モータ４２のケーブル４３を通す穴として利用される。   The cable 43 connected to the upper motor 42 is drawn out of the conveying device 200 through the hollow portion 60 of the lower rotation transmission mechanism 51. That is, the hollow portion 60 of the lower rotation transmission mechanism 51 is used as a hole through which the cable 43 of the upper motor 42 passes.

次に、搬送装置２００の動作について説明する。   Next, the operation of the transport apparatus 200 will be described.

上部駆動機構４０の上部モータ４２が駆動されると、駆動ギア２５、太陽ギア２１、リングギア２２、ギア２６、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が回転し、出力軸４４及び出力板６８が所定の減速比（例えば、１／５００程度）で回転する。出力板６８が回転されると、出力板６８にカップリング６５を介して連結された内軸６１が回転され、アーム機構３０が伸縮される。   When the upper motor 42 of the upper drive mechanism 40 is driven, the drive gear 25, the sun gear 21, the ring gear 22, the gear 26, the first planetary gear 23, and the second planetary gear 24 rotate, and the output shaft 44 and The output plate 68 rotates at a predetermined reduction ratio (for example, about 1/500). When the output plate 68 is rotated, the inner shaft 61 connected to the output plate 68 via the coupling 65 is rotated, and the arm mechanism 30 is expanded and contracted.

一方、下部駆動機構５０の下部モータ５２が駆動されると、下部回転伝達機構５１の出力板６９、支柱７４、支柱７３、上部駆動機構４０、旋回板６６、外軸６２、旋回台６３が回転され、アーム機構３０が旋回される。   On the other hand, when the lower motor 52 of the lower drive mechanism 50 is driven, the output plate 69, the column 74, the column 73, the upper drive mechanism 40, the swivel plate 66, the outer shaft 62, and the swivel 63 of the lower rotation transmission mechanism 51 rotate. Then, the arm mechanism 30 is turned.

下部モータ５２が駆動され、アーム機構３０が旋回されるとき、上部駆動機構４０自体が回転されるので上部モータ４２及び上部モータ４２に接続されたケーブル４３も同時に回転してしまう。   When the lower motor 52 is driven and the arm mechanism 30 is turned, the upper drive mechanism 40 itself is rotated, so that the upper motor 42 and the cable 43 connected to the upper motor 42 are also rotated at the same time.

しかしながら、搬送装置２００では、下部回転伝達機構５１の中空部６０がケーブル４３を通す穴として利用されているため、ケーブル４３が搬送装置２００の周囲に巻きついてしまうことを防止することができる。これにより、ケーブル４３が破断してしまうことを防止することができる。さらに、搬送装置２００においても、第１実施形態に係る搬送装置１００と同様に、高い減速比を有する回転伝達機構４１、５１が用いられているため、アーム機構３０の旋回動作及び伸縮動作を高精度で制御することができる。   However, since the hollow portion 60 of the lower rotation transmission mechanism 51 is used as a hole through which the cable 43 passes in the transport device 200, the cable 43 can be prevented from being wrapped around the transport device 200. Thereby, it is possible to prevent the cable 43 from being broken. Further, in the transport apparatus 200, as in the transport apparatus 100 according to the first embodiment, the rotation transmission mechanisms 41 and 51 having a high reduction ratio are used. It can be controlled with accuracy.

（駆動装置に係る実施の形態）
次に、回転伝達機構を搭載した駆動装置について説明する。
上記したように、回転伝達機構１０（または、回転伝達機構２０、４１、５１以下同様）は、単純な構造により高減速比が実現されており、小型化、薄型化も容易である。この回転伝達機構１０は、上記した搬送装置１００、２００以外にも、さまざまな種類の駆動装置に用いることができる。(Embodiment related to driving device)
Next, a drive device equipped with a rotation transmission mechanism will be described.
As described above, the rotation transmission mechanism 10 (or the rotation transmission mechanisms 20, 41, 51 and the following) is a simple structure that achieves a high reduction ratio, and can be easily reduced in size and thickness. The rotation transmission mechanism 10 can be used for various types of driving devices other than the above-described conveying devices 100 and 200.

本実施形態では、種々の駆動装置を例に挙げ、回転伝達機構１０の利用形態について説明する。   In the present embodiment, various types of driving devices will be described as examples, and a usage mode of the rotation transmission mechanism 10 will be described.

図１１は、駆動装置の構造を示す、機能的なブロック図である。
図１１に示すように、駆動装置１５０は、モータ等により構成された駆動源１５１と、回転伝達機構１０と、回転伝達機構１０を介して駆動源１５１により駆動される被駆動部１５２とを有する。FIG. 11 is a functional block diagram showing the structure of the driving device.
As shown in FIG. 11, the drive device 150 includes a drive source 151 configured by a motor or the like, a rotation transmission mechanism 10, and a driven part 152 driven by the drive source 151 via the rotation transmission mechanism 10. .

駆動装置１５０としては、上記搬送装置１００、２００の他、例えば、一軸方向に移動可能なＸ軸テーブル装置、面内２軸方向に移動可能なＸＹ軸テーブル装置、直交する３軸方向に移動可能なＸＹＺ軸テーブル装置、回転テーブル装置、巻き上げ式の昇降装置、人型ロボット、動物型ロボット、レスキューロボット、工作装置、電動シリンダ、電動ジャッキ、コンベア、クレーン、フォークリフトなどが挙げられる。また、駆動装置１５０としては、ラジコン装置、自動ドア、自動ポンプ、送風装置、印刷装置、自動販売機、自動改札機、エレベータ、エスカレータ、つり用自動リールなどが挙げられる。   As the driving device 150, in addition to the transport devices 100 and 200, for example, an X-axis table device that can move in one axial direction, an XY-axis table device that can move in two in-plane directions, and a movable in three orthogonal directions XYZ axis table device, rotary table device, hoisting type lifting device, humanoid robot, animal type robot, rescue robot, machine tool, electric cylinder, electric jack, conveyor, crane, forklift and the like. Examples of the driving device 150 include a radio control device, an automatic door, an automatic pump, a blower device, a printing device, a vending machine, an automatic ticket gate, an elevator, an escalator, and an automatic reel for fishing.

なお、駆動装置１５０は、これらに限定されない。回転伝達機構１０の利用形態として挙げられる駆動装置１５０は、典型的には、駆動源１５１に駆動される装置であれば、何であっても構わない。   The driving device 150 is not limited to these. The drive device 150 listed as a usage form of the rotation transmission mechanism 10 is typically any device as long as it is a device driven by the drive source 151.

回転伝達機構１０は、駆動源１５１からの入力を高減速比で、被駆動部１５２へ出力する。   The rotation transmission mechanism 10 outputs the input from the drive source 151 to the driven unit 152 at a high reduction ratio.

被駆動部１５２は、回転伝達機構１０の出力により駆動される部材である。被駆動部１５２は、駆動装置１５０の種類によって異なる。   The driven part 152 is a member driven by the output of the rotation transmission mechanism 10. The driven unit 152 differs depending on the type of the driving device 150.

例えば、駆動装置１５０が回転テーブル装置の場合、被駆動部１５２は回転テーブルであり、駆動装置１５０が巻き上げ式の昇降装置の場合、被駆動部１５２は、回転によりロープを巻き上げるドラムである。駆動装置１５０が人型ロボットや動物型ロボットの場合、被駆動部１５２は例えば、関節部である。また、駆動装置１５０がＸ軸テーブル装置の場合、被駆動部１５２は、Ｘ軸テーブルであり、駆動装置１５０が電動シリンダ、電動ジャッキの場合、被駆動部１５２は、ロッドである。   For example, when the driving device 150 is a rotary table device, the driven unit 152 is a rotary table, and when the driving device 150 is a hoisting type lifting device, the driven unit 152 is a drum that winds a rope by rotation. When the driving device 150 is a humanoid robot or an animal type robot, the driven unit 152 is, for example, a joint unit. When the driving device 150 is an X-axis table device, the driven portion 152 is an X-axis table. When the driving device 150 is an electric cylinder or an electric jack, the driven portion 152 is a rod.

被駆動部１５２は、回転伝達機構１０の出力により回転運動される場合と、回転伝達機構１０の出力により直線運動される場合とが挙げられる。   The driven part 152 includes a case where it is rotated by the output of the rotation transmission mechanism 10 and a case where it is linearly moved by the output of the rotation transmission mechanism 10.

被駆動部１５２が回転運動される場合、回転伝達機構１０の高減速比により、被駆動部１５２を高精度に回転制御（位置制御）することができる。例えば、回転テーブルを高精度に回転制御したり、人型ロボットの関節部を高精度に回転制御したりすることができる。また、回転伝達機構１０の高減速比により、被駆動部１５２を強い力（トルク）で回転させることができる。例えば、巻き上げ式の昇降装置のドラムを強い力で回転させることができる。この場合、駆動源１５１としてパワーの小さなモータが用いられても、大きなパワーの昇降装置を得ることができる。   When the driven part 152 is rotated, the driven part 152 can be rotationally controlled (position control) with high accuracy by the high reduction ratio of the rotation transmission mechanism 10. For example, it is possible to control the rotation of the rotary table with high accuracy and to control the rotation of the joint portion of the humanoid robot with high accuracy. Further, the driven portion 152 can be rotated with a strong force (torque) by the high reduction ratio of the rotation transmission mechanism 10. For example, the drum of the hoisting type lifting device can be rotated with a strong force. In this case, even if a low power motor is used as the drive source 151, a large power lifting device can be obtained.

被駆動部１５２が直線運動される場合、例えば、ボールネジなどにより、回転伝達機構１０の回転運動が直線運動に変換される。この場合、回転伝達機構の高減速比により、被駆動部１５２を高精度に直線制御（位置制御）することができる。例えば、Ｘ軸テーブル装置のＸ軸テーブルを高精度に直線制御（位置制御）することができる。
また、回転伝達機構の高減速比により、被駆動部１５２を高推進力で直線駆動させることができる。例えば、電動シリンダ、電動ジャッキのロッドを高推進力で直線駆動させることができる。この場合、駆動源としてパワーの小さなモータが用いられても、大きなパワーの電動シリンダや、電動ジャッキなどを得ることができる。When the driven part 152 is linearly moved, the rotational movement of the rotation transmission mechanism 10 is converted into a linear movement by, for example, a ball screw. In this case, the driven unit 152 can be linearly controlled (position control) with high accuracy by the high reduction ratio of the rotation transmission mechanism. For example, the X-axis table of the X-axis table device can be linearly controlled (position control) with high accuracy.
Further, the driven portion 152 can be linearly driven with a high propulsive force due to the high reduction ratio of the rotation transmission mechanism. For example, the electric cylinder and the rod of the electric jack can be linearly driven with a high propulsive force. In this case, even if a motor with low power is used as a drive source, an electric cylinder with high power or an electric jack can be obtained.

なお、回転伝達機構１０（または、回転伝達機構２０、４１、５１）の中空部９（または、中空部６０）は、ケーブルや冷水パイプを通す穴としてさまざまな用途に用いられる。しかしながら、中空部９は、必ずしも回転伝達機構１０に設けられていなくてよい。回転伝達機構１０に中空部９が設けられていなくとも、被駆動部１４２を高精度に位置制御したり、高推進力で駆動させたりすることは可能である。   In addition, the hollow part 9 (or hollow part 60) of the rotation transmission mechanism 10 (or rotation transmission mechanism 20, 41, 51) is used for various uses as a hole which lets a cable or a cold water pipe pass. However, the hollow portion 9 is not necessarily provided in the rotation transmission mechanism 10. Even if the rotation transmission mechanism 10 is not provided with the hollow portion 9, it is possible to control the position of the driven portion 142 with high accuracy or drive it with high thrust.

（各種変形例）
本発明に係る実施の形態は、以上説明した実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。(Various modifications)
Embodiments according to the present invention are not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made.

上記各実施形態では、搬送装置１００（または、搬送装置２００、以下同様）に用いられる上部回転伝達機構４１及び下部回転伝達機構５１は、ギアにより形成されるとして説明した。しかし、これに限られず、搬送装置１００に用いられる回転伝達機構４１、５１は、回転体により形成されてももちろん構わない。   In each of the embodiments described above, the upper rotation transmission mechanism 41 and the lower rotation transmission mechanism 51 used in the conveyance device 100 (or the conveyance device 200, the same applies hereinafter) have been described as being formed by gears. However, the present invention is not limited to this, and the rotation transmission mechanisms 41 and 51 used in the transport apparatus 100 may of course be formed of a rotating body.

上記各実施形態では、駆動回転体５（または、駆動ギア２５、以下同様）と、回転体６（または、ギア２６、以下同様）との相対位置が、軸Ｏ−Ｏ’の周囲で１８０°離れた位置であるとして説明した。しかし、上記相対位置は、必ずしも軸Ｏ−Ｏ’の周囲で１８０°離れた位置でなくてもよい。第１の遊星回転体と、第２の遊星回転体の相対位置についても同様である。   In each of the above embodiments, the relative position between the drive rotator 5 (or drive gear 25, and so on) and the rotator 6 (or gear 26, and so on) is 180 ° around the axis OO ′. It explained that it was a distant position. However, the relative position does not necessarily have to be 180 ° apart around the axis O-O ′. The same applies to the relative positions of the first planetary rotator and the second planetary rotator.

上記各実施形態では、遊星回転体３、４の個数は、２つであるとして説明した。しかし、これに限られず、遊星回転体の個数は、２つ以上であってもよい。同様に、駆動回転体５及び回転体６の個数も２つ以上で合っても構わない。   In each of the above embodiments, the number of planetary rotors 3 and 4 has been described as two. However, the present invention is not limited to this, and the number of planetary rotating bodies may be two or more. Similarly, the number of the drive rotators 5 and the rotators 6 may be two or more.

１…内側回転体
２…外側回転体
３…第１の遊星回転体
４…第２の遊星回転体
５…駆動回転体
６…回転体
８、４９…貫通口
９、６０…中空部
１０、２０…回転伝達機構
１１、６８、６９…出力板
１６…モータ
２１…太陽ギア
２２…リングギア
２３…第１の遊星ギア
２４…第２の遊星ギア
２５…駆動ギア
２６…ギア
３０…アーム機構
３７…載置台
４０…上部駆動機構
４１…上部回転伝達機構
４２…上部モータ
４３、５３…ケーブル
４４…出力軸
５０…下部駆動機構
５１…下部回転伝達機構
５２…下部モータ
６１…内軸
６２…外軸
１００、２００…搬送装置
１５０…駆動装置
１５１…駆動源
１５２…被駆動部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inner rotary body 2 ... Outer rotary body 3 ... 1st planetary rotary body 4 ... 2nd planetary rotary body 5 ... Drive rotary body 6 ... Rotary body 8, 49 ... Through-hole 9, 60 ... Hollow part 10, 20 Rotation transmission mechanism 11, 68, 69 ... Output plate 16 ... Motor 21 ... Sun gear 22 ... Ring gear 23 ... First planetary gear 24 ... Second planetary gear 25 ... Drive gear 26 ... Gear 30 ... Arm mechanism 37 ... Mounting table 40 ... Upper drive mechanism 41 ... Upper rotation transmission mechanism 42 ... Upper motor 43, 53 ... Cable 44 ... Output shaft 50 ... Lower drive mechanism 51 ... Lower rotation transmission mechanism 52 ... Lower motor 61 ... Inner shaft 62 ... Outer shaft 100 , 200 ... Conveying device 150 ... Driving device 151 ... Driving source 152 ... Driven part

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを具備する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
本発明では、駆動回転体が駆動源により回転されると、第１の内周部で駆動回転体に当接する第２の回転体が一の回転方向に回転される（例えば、これを正回転とする。）。また、第１の外周部で駆動回転体に当接する第１の回転体が一の回転方向とは逆の回転方向に回転される（例えばこれを逆回転とする。）。
この場合、複数の遊星回転体は、第２の段で第１の回転体の第２の外周部及び第２の回転体の第２の内周部に当接しているため、複数の遊星回転体は、自転しながら第１の回転体の周囲を公転する（例えばこれを正公転とする。）。このとき、第２の内周部及び第２の外周部のそれぞれの絶対値的な回転速度にわずかな差が発生するため、遊星回転体を第１の回転体の周囲で非常にゆっくりと公転させることができる。
これにより、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、高い減速比を得ることができる。また、本発明では、２段で高い減速比を得ることが可能であるため、回転伝達機構の小型化も容易である。 In order to achieve the above object, a rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotating body and a second rotation. A body, a drive rotator, and a plurality of planetary rotators.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
In the present invention, when the drive rotator is rotated by the drive source, the second rotator that is in contact with the drive rotator at the first inner peripheral portion is rotated in one rotation direction (for example, it is rotated forward). And). In addition, the first rotating body that contacts the driving rotating body at the first outer peripheral portion is rotated in a rotation direction opposite to the one rotation direction (for example, this is referred to as reverse rotation).
In this case, since the plurality of planetary rotating bodies are in contact with the second outer peripheral portion of the first rotating body and the second inner peripheral portion of the second rotating body in the second stage, a plurality of planetary rotations are performed. The body revolves around the first rotating body while rotating (for example, this is assumed to be normal revolution). At this time, since a slight difference occurs in the absolute rotational speeds of the second inner peripheral portion and the second outer peripheral portion, the planetary rotating body revolves very slowly around the first rotating body. Can be made.
Thereby, the rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention can obtain a high reduction ratio. In the present invention, since a high reduction ratio can be obtained in two stages, the rotation transmission mechanism can be easily downsized.

本発明の一形態に係る搬送装置は、アーム機構と、第１の回転伝達体とを具備する。
前記アーム機構は、搬送対象物を載置する載置部を有し、伸縮可能である。
前記第１の回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する第１の回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体と、出力部とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記出力部は、前記アーム機構を伸縮させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する。
本発明では、高い減速比を有する第１の回転伝達機構によりアーム機構を伸縮させることができるため、高精度でアーム機構の伸縮動作を制御することができる。 The conveyance apparatus which concerns on one form of this invention comprises an arm mechanism and a 1st rotation transmission body.
The arm mechanism has a placement portion on which a conveyance object is placed and is extendable and contractible.
The first rotation transmission mechanism is a first rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And a plurality of planetary rotating bodies and an output unit.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The output unit outputs a revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism in order to expand and contract the arm mechanism.
In the present invention, since the arm mechanism can be expanded and contracted by the first rotation transmission mechanism having a high reduction ratio, the expansion and contraction operation of the arm mechanism can be controlled with high accuracy.

本発明の一実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。It is a figure which shows the rotation transmission mechanism which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回転伝達機構の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the rotation transmission mechanism which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回転伝達機構が有する各回転体の半径（内半径、または外半径）の一例を示す図である。It is a diagram illustrating an example of a radius (inner radius or an outer half diameter) of each rotating body rotation transmitting mechanism has according to an embodiment of the present invention. 他の実施形態に係る回転伝達機構を示す図である。It is a figure which shows the rotation transmission mechanism which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係る回転伝達機構が有する各ギアのピッチ円半径及び歯数の組み合わせの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the combination of the pitch circle radius and the number of teeth of each gear which the rotation transmission mechanism which concerns on other embodiment has. 本発明の一実施形態に係る搬送装置の上面図である。It is a top view of the conveying apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る搬送装置の断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。It is sectional drawing of the conveying apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, and is the figure which looked at the conveying apparatus from the side. 上部駆動機構の断面図であり、上部駆動機構を側方から見た図である。It is sectional drawing of an upper drive mechanism, and is the figure which looked at the upper drive mechanism from the side. 比較例に係る搬送装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conveying apparatus which concerns on a comparative example. 他の実施の形態に係る搬送装置を示す断面図であり、搬送装置を側方から見た図である。It is sectional drawing which shows the conveying apparatus which concerns on other embodiment, and is the figure which looked at the conveying apparatus from the side. 本発明の一形態に係る駆動装置の構造を示す、機能的なブロック図である。It is a functional block diagram which shows the structure of the drive device which concerns on one form of this invention.

本発明の一形態に係る回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体とを具備する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
本発明では、駆動回転体が駆動源により回転されると、第１の内周部で駆動回転体に当接する第２の回転体が一の回転方向に回転される。また、第１の外周部で駆動回転体に当接する第１の回転体が一の回転方向とは逆の回転方向に回転駆動される。
この場合、複数の遊星回転体は、第２の段で第１の回転体の第２の外周部及び第２の回転体の第２の内周部に当接しているため、複数の遊星回転体は、自転しながら第１の回転体の周囲を公転する。このとき、第２の内周部及び第２の外周部のそれぞれの絶対値的な回転速度にわずかな差が発生するため、遊星回転体を第１の回転体の周囲で非常にゆっくりと公転させることができる。
これにより、本発明の一形態に係る回転伝達機構は、高い減速比を得ることができる。また、本発明では、２段で高い減速比を得ることが可能であるため、回転伝達機構の小型化も容易である。 A rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention is a rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And a plurality of planetary rotating bodies.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
In the present invention, when the drive rotator is rotated by the drive source, the second rotator that contacts the drive rotator at the first inner peripheral portion is rotated in one rotation direction. In addition, the first rotating body that is in contact with the driving rotating body at the first outer peripheral portion is rotationally driven in a rotation direction opposite to the one rotation direction.
In this case, since the plurality of planetary rotating bodies are in contact with the second outer peripheral portion of the first rotating body and the second inner peripheral portion of the second rotating body in the second stage, a plurality of planetary rotations are performed. The body revolves around the first rotating body while rotating. At this time, since a slight difference occurs in the absolute rotational speeds of the second inner peripheral portion and the second outer peripheral portion, the planetary rotating body revolves very slowly around the first rotating body. Can be made.
Thereby, the rotation transmission mechanism according to an aspect of the present invention can obtain a high reduction ratio. In the present invention, since a high reduction ratio can be obtained in two stages, the rotation transmission mechanism can be easily downsized.

本発明の一形態に係る搬送装置は、アーム機構と、第１の回転伝達体とを具備する。
前記アーム機構は、搬送対象物を載置する載置部を有し、伸縮可能である。
前記第１の回転伝達機構は、第１の段と、第２の段とを有する第１の回転伝達機構であって、第１の回転体と、第２の回転体と、駆動回転体と、複数の遊星回転体と、出力部とを有する。
前記第１の回転体は、第１の外周部と、第２の外周部とを有する。
前記第１の外周部は、前記第１の段に設けられる。
前記第２の外周部は、前記第２の段に設けられる。
前記第２の回転体は、第１の内周部と、第２の内周部とを有する。
前記第１の内周部は、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する。
前記第２の内周部は、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する。
前記駆動回転体は、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される。
前記各遊星回転体は、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する。
前記出力部は、前記アーム機構を伸縮させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する。
本発明では、高い減速比を有する第１の回転伝達機構によりアーム機構を伸縮させることができるため、高精度でアーム機構の伸縮動作を制御することができる。 The conveyance apparatus which concerns on one form of this invention comprises an arm mechanism and a 1st rotation transmission body.
The arm mechanism has a placement portion on which a conveyance object is placed and is extendable and contractible.
The first rotation transmission mechanism is a first rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, and includes a first rotary body, a second rotary body, and a drive rotary body. And a plurality of planetary rotating bodies and an output unit.
The first rotating body has a first outer peripheral portion and a second outer peripheral portion.
The first outer peripheral portion is provided in the first stage.
The second outer peripheral portion is provided in the second stage.
The second rotating body has a first inner peripheral portion and a second inner peripheral portion.
The first inner peripheral portion faces the first outer peripheral portion in the first stage.
The second inner peripheral portion faces the second outer peripheral portion in the second stage.
The drive rotator contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source.
Each planetary rotating body abuts on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage, and revolves around the first rotating body.
The output unit outputs a revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism in order to expand and contract the arm mechanism.
In the present invention, since the arm mechanism can be expanded and contracted by the first rotation transmission mechanism having a high reduction ratio, the expansion and contraction operation of the arm mechanism can be controlled with high accuracy.

上記搬送装置において、前記第２の回転伝達機構は、前記第１の回転伝達機構の同心軸上で、前記第１の回転伝達機構の下方に配置されてもよい。
この場合、前記第２の回転伝達機構の前記第２の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び底面を貫通する貫通口とをさらに有していてもよい。
第２の回転伝達機構の貫通口は、例えば、第１の回転伝達機構の駆動源に接続されるケーブルを通す穴として利用される。本発明では、アーム機構が旋回される場合、第２の回転伝達機構の回転により、アーム機構と一緒に第１の回転伝達機構も回転することになる。この場合、第１の回転伝達機構の駆動源も回転する。しかしながら、本発明では、貫通口が第１の回転伝達機構の駆動源に接続されたケーブルを通す穴として利用されているので、ケーブルをあらかじめとぐろ状に巻いておく必要もなく、ケーブルの繰り返しの曲げ変位も発生しない。また、ケーブルが搬送装置の周囲に巻きついてしまうことも防止することができる。 In the transport apparatus, the second rotation transmission mechanism may be disposed below the first rotation transmission mechanism on a concentric shaft of the first rotation transmission mechanism.
In this case, the second rotating body of the second rotation transmission mechanism may further include a top surface, a bottom surface, and a through hole penetrating the top surface and the bottom surface.
The through hole of the second rotation transmission mechanism is used as, for example, a hole for passing a cable connected to the drive source of the first rotation transmission mechanism. In the present invention, when the arm mechanism is turned, the first rotation transmission mechanism is rotated together with the arm mechanism by the rotation of the second rotation transmission mechanism. In this case, the drive source of the first rotation transmission mechanism also rotates. However, in the present invention, since the through hole is used as a hole through which the cable connected to the drive source of the first rotation transmission mechanism is passed, it is not necessary to wind the cable in the shape of a ring in advance, and the cable can be repeated. No bending displacement occurs. It is also possible to prevent the cable from being wrapped around the transport device.

同様に、駆動回転体５が反時計回りに一回転されると、駆動回転体５と、外側回転体２の内周面２ａとの接点Ｄが、第１の内周面２ａに沿って２πＲｉｎ移動する。入力側１０Ａにおける、外側回転体２の内半径は、Ｒ２１であるため、外側回転体２は、反時計回りに以下の式（２）に示す角度θ２回転される。
θ２＝２πＲｉｎ／Ｒ２１・・・（２）。 Similarly, when the driving rotor 5 is one revolution counterclockwise, the drive rotor 5, the contact D between the inner peripheral surface 2 a of the outer rotating body 2, along the first inner circumferential surface 2a Move 2πR in . At the input side 10A, the inner radius of the outer rotating body 2, since it is R 21, the outer rotating body 2, is the angle theta 2 rotates shown in equation (2) below counterclockwise.
θ 2 = 2πR in / R 21 (2).

図３は、上記各回転体１〜５の半径（内半径、または外半径）の一例を示す表である。 Figure 3 is a table showing an example of the radius of each rotary body 5 (the inner radius or the outer half diameter).

第２実施形態の説明では、入力側２０Ａにおける、太陽ギア２１のピッチ円半径（外半径）をＲ１１とし、出力側２０Ｂにおける、太陽ギア２１のピッチ円半径（外半径）をＲ１２として説明する。同様に、入力側２０Ａにおける、リングギア２２のピッチ円半径（内半径）をＲ２１とし、出力側２０Ｂにおける、リングギア２２のピッチ円半径（内半径）をＲ２２として説明する。また、駆動ギア２５のピッチ円半径をＲｉｎとし、第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４のピッチ円半径をＲ３とする。 In the description of the second embodiment, the input side 20A, the pitch circle radius of the sun gear 21 (outer half diameter) and R 11, at the output side 20B, the pitch circle radius of the sun gear 21 (outer half diameter) R 12 Will be described. Similarly, the input side 20A, the pitch circle radius of the ring gear 22 (the inner radius) and R 21, at the output side 20B, illustrating the pitch circle radius of the ring gear 22 (the inner radius) as R 22. Further, the pitch radius of the drive gear 25 and R in, the pitch circle radius of the first planetary gear 23 and the second planetary gears 24 and R 3.

一方、出力側２０Ｂでは、太陽ギア２１及びリングギア２２が回転されると、これらのギア２１、２２に噛み合う第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が、自転しながら、太陽ギア２１の周囲を反時計回りに公転する。第１の遊星ギア２３及び第２の遊星ギア２４が太陽ギア２１の周囲を反時計回りに公転すると、ニードルベアリング８６、８７及び軸７６、７７を介して、２つの遊星ギア２３、２４に連結された出力軸４４が反時計回りに回転される。出力軸４４の反時計回りの回転により、出力板６９及び内軸６１が反時計回りに回転され、アーム機構３０が伸縮される。この場合、アーム機構３０の載置台３７は、平行リンク機構３６の伸縮により、旋回台６３の遠心方向に直線的に移動される。 On the other hand, on the output side 20B, when the sun gear 21 and the ring gear 22 are rotated, the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 meshing with the gears 21 and 22 rotate while the sun gear 21 rotates. Revolves around the counterclockwise. When the first planetary gear 23 and the second planetary gear 24 revolve around the sun gear 21 counterclockwise, they are connected to the two planetary gears 23, 24 via needle bearings 86, 87 and shafts 76, 77. The output shaft 44 thus rotated is rotated counterclockwise. Due to the counterclockwise rotation of the output shaft 44, the output plate 69 and the inner shaft 61 are rotated counterclockwise, and the arm mechanism 30 is expanded and contracted. In this case, the mounting table 37 of the arm mechanism 30 is linearly moved in the centrifugal direction of the swivel table 63 by the expansion and contraction of the parallel link mechanism 36.

なお、回転伝達機構１０（または、回転伝達機構２０、４１、５１）の中空部９（または、中空部６０）は、ケーブルや冷水パイプを通す穴としてさまざまな用途に用いられる。しかしながら、中空部９は、必ずしも回転伝達機構１０に設けられていなくてよい。回転伝達機構１０に中空部９が設けられていなくとも、被駆動部１５２を高精度に位置制御したり、高推進力で駆動させたりすることは可能である。

In addition, the hollow part 9 (or hollow part 60) of the rotation transmission mechanism 10 (or rotation transmission mechanism 20, 41, 51) is used for various uses as a hole which lets a cable or a cold water pipe pass. However, the hollow portion 9 is not necessarily provided in the rotation transmission mechanism 10. Even the rotation transmitting mechanism 10 need not hollow portion 9 is provided, or the position control of the drive unit 1 5 2 with high precision, it is possible to or driven at high thrust.

Claims (9)

第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、
前記第１の段に設けられた第１の外周部と、前記第２の段に設けられた第２の外周部とを有する第１の回転体と、
前記第１の段で前記第１の外周部に対向する第１の内周部と、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する第２の内周部とを有する第２の回転体と、
前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される駆動回転体と、
前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する複数の遊星回転体と
を具備する回転伝達機構。A rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage,
A first rotating body having a first outer periphery provided in the first stage and a second outer periphery provided in the second stage;
A second inner peripheral portion facing the first outer peripheral portion in the first step and a second inner peripheral portion facing the second outer peripheral portion in the second step; A rotating body,
A driving rotator that is in contact with the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a driving source;
A rotation transmission mechanism comprising: a plurality of planetary rotators that revolve around the first rotator in contact with the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage. 請求項１に記載の回転伝達機構であって、
前記第１の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び前記底面を貫通する貫通口とをさらに有する回転伝達機構。The rotation transmission mechanism according to claim 1,
The first transmission body further includes a top surface, a bottom surface, and a through-hole that penetrates the top surface and the bottom surface. 請求項１に記載の回転伝達機構であって、
前記第１の回転体、前記第２の回転体、前記駆動回転体、及び前記各遊星回転体は、歯車により形成される回転伝達機構。The rotation transmission mechanism according to claim 1,
The first rotating body, the second rotating body, the driving rotating body, and the planetary rotating bodies are rotation transmission mechanisms formed by gears. 搬送対象物を載置する載置部を有し、伸縮可能なアーム機構と、
第１の段と、第２の段とを有する第１の回転伝達機構であって、前記第１の段に設けられた第１の外周部と、前記第２の段に設けられた第２の外周部とを有する第１の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する第１の内周部と、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する第２の内周部とを有する第２の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される駆動回転体と、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する複数の遊星回転体と、前記アーム機構を伸縮させるために前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する出力部とを有する第１の回転伝達機構と
を具備する搬送装置。An arm mechanism that has a placement unit for placing the object to be conveyed and can be extended and contracted;
A first rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, wherein the first outer peripheral part provided in the first stage and the second provided in the second stage A first rotating body having a first outer peripheral portion, a first inner peripheral portion facing the first outer peripheral portion at the first stage, and a second outer peripheral portion facing the second outer peripheral section at the second stage. A second rotator having a second inner peripheral portion, and a drive rotator that contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source. And a plurality of planetary rotating bodies that abut on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage and revolve around the first rotating body, and extend and contract the arm mechanism. And a first rotation transmission mechanism having an output unit that outputs the revolving motion of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism. 請求項４に記載の搬送装置であって、
第１の段と、第２の段とを有する第２の回転伝達機構であって、前記第１の段に設けられた第１の外周部と、前記第２の段に設けられた第２の外周部とを有する第１の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する第１の内周部と、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する第２の内周部とを有する第２の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される駆動回転体と、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する複数の遊星回転体と、前記アーム機構を旋回させるために、前記複数の遊星回転体の公転運動を前記アーム機構に出力する出力部とを有する第２の回転伝達機構
をさらに具備する搬送装置。It is a conveyance apparatus of Claim 4, Comprising:
A second rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, wherein the first outer peripheral part provided in the first stage and the second provided in the second stage A first rotating body having a first outer peripheral portion, a first inner peripheral portion facing the first outer peripheral portion at the first stage, and a second outer peripheral portion facing the second outer peripheral section at the second stage. A second rotator having a second inner peripheral portion, and a drive rotator that contacts the first outer peripheral portion and the first inner peripheral portion in the first stage and is rotated by a drive source. And a plurality of planetary rotating bodies that abut on the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in the second stage and revolve around the first rotating body, and rotate the arm mechanism. Therefore, the transport apparatus further includes a second rotation transmission mechanism having an output unit that outputs the revolution movement of the plurality of planetary rotating bodies to the arm mechanism. 請求項５に記載の搬送装置であって、
回転可能であり、前記第１の回転伝達機構の前記出力部の回転運動を前記アーム機構に伝達する内軸と、
回転可能であり、前記内軸の外側に前記内軸と同軸で配置され、前記第２の回転伝達機構の前記出力部の回転運動を前記アーム機構に伝達する外軸と
をさらに具備する搬送装置。It is a conveyance apparatus of Claim 5, Comprising:
An inner shaft that is rotatable and transmits the rotational movement of the output portion of the first rotation transmission mechanism to the arm mechanism;
A conveying device further comprising: an outer shaft that is rotatable, is disposed coaxially with the inner shaft outside the inner shaft, and transmits the rotational motion of the output portion of the second rotation transmission mechanism to the arm mechanism. . 請求項６に記載の搬送装置であって、
前記第２の回転伝達機構は、前記第１の回転伝達機構の同心軸上で、前記第１の回転伝達機構の上方に配置され、
前記第２の回転伝達機構の前記第２の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び底面を貫通する貫通口とをさらに有し、
前記内軸は、前記第２の回転伝達機構の前記貫通口を介して、前記アーム機構及び前記第１の回転伝達機構の出力部に連結される
搬送装置。It is a conveyance apparatus of Claim 6, Comprising:
The second rotation transmission mechanism is disposed above the first rotation transmission mechanism on a concentric shaft of the first rotation transmission mechanism,
The second rotating body of the second rotation transmission mechanism further includes a top surface, a bottom surface, and a through-hole penetrating the top surface and the bottom surface,
The inner shaft is coupled to the arm mechanism and the output portion of the first rotation transmission mechanism via the through-hole of the second rotation transmission mechanism. 請求項６に記載の搬送装置であって、
前記第２の回転伝達機構は、前記第１の回転伝達機構の同心軸上で、前記第１の回転伝達機構の下方に配置され、
前記第２の回転伝達機構の前記第２の回転体は、上面と、底面と、前記上面及び底面を貫通する貫通口とをさらに有する
搬送装置。It is a conveyance apparatus of Claim 6, Comprising:
The second rotation transmission mechanism is disposed below the first rotation transmission mechanism on a concentric shaft of the first rotation transmission mechanism,
The second rotating body of the second rotation transmission mechanism further includes a top surface, a bottom surface, and a through-hole penetrating the top surface and the bottom surface. 第１の段と、第２の段とを有する回転伝達機構であって、前記第１の段に設けられた第１の外周部と、前記第２の段に設けられた第２の外周部とを有する第１の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部に対向する第１の内周部と、前記第２の段で前記第２の外周部に対向する第２の内周部とを有する第２の回転体と、前記第１の段で前記第１の外周部及び前記第１の内周部に当接し、駆動源により回転される駆動回転体と、前記第２の段で前記第２の外周部及び前記第２の内周部に当接し、前記第１の回転体の周囲を公転する複数の遊星回転体とを有する回転伝達機構と、
前記複数の遊星回転体の公転による、前記回転伝達機構の出力により駆動される被駆動部と
を具備する駆動装置。A rotation transmission mechanism having a first stage and a second stage, wherein the first outer peripheral part provided in the first stage and the second outer peripheral part provided in the second stage A first rotating body having a first inner periphery facing the first outer periphery at the first stage, and a second opposing the second outer periphery at the second stage. A second rotating body having an inner circumferential portion, a driving rotating body that contacts the first outer circumferential portion and the first inner circumferential portion in the first stage and is rotated by a driving source, A rotation transmission mechanism having a plurality of planetary rotating bodies that contact the second outer peripheral portion and the second inner peripheral portion in a second stage and revolve around the first rotating body;
And a driven part driven by the output of the rotation transmission mechanism by the revolution of the plurality of planetary rotating bodies.
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