JPWO2007142351A1 - 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記物体を、所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動する移動体で保持し、前記移動体の反射面を介して、前記平面とほぼ平行に前記第1方向に延設されるかつ回折格子を有する固定スケールに光ビームを照射するとともに、前記固定スケールから発生する複数の回折ビームを検出して、前記移動体の位置情報を計測し、前記位置情報に基づいて前記移動体を移動する第3の露光方法である。
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図3に基づいて説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について、図4(A)、図4(B)に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともにその説明を簡略にし、若しくは省略するものとする。
次に、本発明の第3の実施形態について、図5(A)、図5(B)に基づいて説明する。ここで、前述した第2の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともにその説明を簡略にし、若しくは省略するものとする。
次に、本発明の第4の実施形態について図7(A)〜図8(C)に基づいて説明する。
本実施形態では、上式(1)を用いることにより、ウエハステージWSTのZ軸方向の位置を算出し、ウエハステージWSTの位置制御を行うこととしている。
本実施形態では、上式(2)を用いることにより、ウエハステージWSTのY軸方向の位置を算出し、ウエハステージWSTの位置制御を行うこととしている。
Claims (54)
- 移動面内の少なくとも一軸方向に移動する移動体と;
前記移動体の前記移動面に交差する所定面上の移動格子に光を照射する光源と、前記光源との間の位置関係が固定で、前記移動格子で発生する複数の回折光を干渉させる光学系と、前記干渉した光を検出する検出器と、を有する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項1に記載の移動体装置において、
前記移動格子は、前記所定面内の第1軸方向を周期方向とする一次元格子である移動体装置。 - 請求項1に記載の移動体装置において、
前記移動格子は、前記所定面内の第1軸方向とこれに交差する第2軸方向を周期方向とする二次元格子である移動体装置。 - 請求項3に記載の移動体装置において、
前記所定面は、前記移動面にほぼ垂直な面である移動体装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記光学系は、
前記回折光が経由する光学部材と、
前記光学部材を経由した前記回折光が入射する位置に設けられ、前記回折光を干渉させる固定格子と、を有する移動体装置。 - 移動面内の少なくとも一軸方向に移動し、その一部に、前記移動面に交差する反射面を有する移動体と;
前記反射面に光を照射する光源と、前記光源との間の位置関係が固定で、前記一軸方向を周期方向とする一次元格子を有し、前記反射面において反射した光が入射する固定スケールと、前記一次元格子で発生する複数の回折光を干渉させる光学系と、前記干渉した光を検出する検出器と、を有する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項6に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記移動体の一軸方向に関する位置情報を計測する移動体装置。 - 請求項6又は7に記載の移動体装置において、
前記一次元格子は、前記光を反射して複数の回折光を発生し、
前記反射面は、前記回折光を前記光学系に入射させる移動体装置。 - 移動面内の少なくとも一軸方向に移動する移動体と;
前記移動体の前記移動面に交差する面に沿って配列された移動格子に光を照射するとともに、前記移動格子を介した光を検出することにより、前記移動体の位置を計測する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項9に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、
前記移動格子を介した光が入射する光学系と、該光学系を介した光を検出する検出器とを有する移動体装置。 - 移動面内の少なくとも一軸に平行な方向に移動する移動体と;
前記移動体の前記移動面に交差する所定面上の移動格子に光を照射する光源と、前記光源との間の位置関係が固定で、前記移動格子にて回折された光を回折又は反射し、前記移動格子に戻す固定光学素子と、前記移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出器と、を有する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項11に記載の移動体装置において、
前記固定光学素子は、前記一軸に平行な方向を周期方向とする一次元格子を含み、
前記光源は、前記移動格子に対して、前記一軸に平行な光を照射する移動体装置。 - 請求項11に記載の移動体装置において、
前記固定光学素子は、前記一軸方向を周期方向とする一次元格子を含み、
前記光源は、前記移動格子に対して、前記一軸を含む前記移動面に垂直な面内で前記一軸に対してそれぞれ異なる角度だけ傾斜した複数の光を照射し、
前記計測装置は、前記複数の光から生じる各干渉光の前記検出器による検出結果を用いて、前記移動体の前記移動面に垂直な方向の位置を算出する移動体装置。 - 請求項11〜13のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記移動格子において発生する0次光を用いて、前記移動体の前記移動面内の前記一軸と平行な方向に関する位置情報を計測し、前記0次光以外の回折光を用いて、前記移動体の前記移動面内の前記一軸と直交する方向に関する位置情報を計測する移動体装置。 - 請求項14に記載の移動体装置において、
前記固定光学素子は、前記移動格子において発生する0次光が入射する位置に配置された、前記一軸に平行な方向を周期方向とする第1の一次元格子と、前記0次光以外の回折光が入射する位置に配置された、前記一軸と直交する方向を周期方向とする第2の一次元格子と、を含む移動体装置。 - 所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動し、前記平面と鋭角で交差しかつ回折格子が形成される反射面を有する移動体と;
前記平面とほぼ平行に前記第1方向に延設され、かつ前記反射面がその一部と対向する固定光学素子を含み、前記第1方向に沿って前記反射面に光ビームを照射するとともに、前記反射面から発生して前記固定光学素子及び前記反射面で反射される回折ビームを干渉させて検出し、前記移動体の位置情報を計測する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項16に記載の移動体装置において、
前記移動体は、前記反射面が前記第2方向に沿って延設される移動体装置。 - 請求項16又は17に記載の移動体装置において、
前記回折格子は、少なくとも前記第2方向に周期的である移動体装置。 - 請求項16〜18のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記固定光学素子は、前記第1方向に周期的な格子を含み、前記移動体の前記第1方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 請求項16〜19のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記固定光学素子は、前記第2方向に周期的な格子を含み、前記移動体の前記第2方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動する移動体と;
前記平面とほぼ平行に前記第1方向に延設されかつ回折格子を有する固定スケールを含み、前記移動体の反射面を介して前記固定スケールに光ビームを照射するとともに、前記固定スケールから発生する複数の回折ビームを干渉させて検出し、前記移動体の位置情報を計測する計測装置と;を備える移動体装置。 - 請求項21に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記反射面を介して前記複数の回折ビームを検出する移動体装置。 - 請求項21又は22に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記第1方向に沿って前記光ビームを前記反射面に照射し、前記固定スケールは、前記第2方向に関して位置が前記光ビームと実質的に同一である移動体装置。 - 請求項21〜23のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記反射面は、前記第1方向と平行かつ前記平面と直交する面内で前記平面と鋭角で交差する第1面を含む移動体装置。 - 請求項21〜24のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記移動体は、前記反射面が前記第2方向に沿って延設される移動体装置。 - 請求項21〜25のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記回折格子は、少なくとも前記第1方向に周期的であり、前記移動体の前記第1方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 請求項21〜26のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記回折格子は、少なくとも前記第2方向に周期的であり、前記移動体の前記第2方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 請求項21〜27のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記回折格子は、前記第1方向を周期方向とする1次元の第1格子と、前記第2方向を周期方向とする1次元の第2格子とを含み、前記移動体の前記第1及び第2方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 請求項28に記載の移動体装置において、
前記固定スケールは、前記第2方向に関して前記第1格子の両側に前記第2格子が配置され、前記計測装置は、前記2つの第2格子からそれぞれ発生する回折ビームを干渉させて検出し、前記移動体の前記第2方向の位置情報を計測する移動体装置。 - 請求項21〜27のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記回折格子は、前記第1及び第2方向に周期的な2次元格子を含み、前記移動体の前記第1及び第2方向の位置情報が計測される移動体装置。 - 請求項21〜30のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記光ビームの照射によって前記固定スケールから異なる方向に発生する回折ビームを干渉させて検出する移動体装置。 - 請求項21〜31のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記回折格子の周期方向に関して位置を異ならせて複数の光ビームを前記固定スケールに照射する移動体装置。 - 請求項32に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記複数の光ビームのうち対をなす2つの光ビームの照射によって前記固定スケールから発生する回折ビームを干渉させて検出する移動体装置。 - 請求項32又は33に記載の移動体装置において、
前記移動体は、前記反射面に回折格子が形成され、前記複数の光ビームは、前記反射面の回折格子から異なる方向に発生するビームを含む移動体装置。 - 請求項34に記載の移動体装置において、
前記反射面の回折格子はその周期方向が前記固定スケールの回折格子と実質的に同一である移動体装置。 - 請求項34又は35に記載の移動体装置において、
前記反射面の回折格子は、少なくとも前記第2方向に周期的である移動体装置。 - 請求項34〜36のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記反射面の回折格子は、前記第1及び第2方向に周期的な2次元格子を含む移動体装置。 - 請求項32に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記複数の光ビームを異なる方向から前記反射面に照射して、前記固定スケールでの位置を異ならせる移動体装置。 - 請求項21〜38のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記反射面は、前記第1方向に沿って延設され、前記第2方向と平行かつ前記平面と直交する面内で前記平面と鋭角で交差する第2面を含み、
前記計測装置は、前記平面とほぼ平行に前記第2方向に延設されかつ回折格子を有する、前記固定スケールとは別の固定スケールを含み、前記第2面を介して前記別の固定スケールに光ビームを照射するとともに、前記別の固定スケールから発生して前記第2面で反射される複数の回折ビームを干渉させて検出する移動体装置。 - 請求項39に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記第2方向に沿って光ビームを前記第2面に照射し、前記別の固定スケールは、前記第1方向に関して位置が光ビームと実質的に同一である移動体装置。 - 請求項39又は40に記載の移動体装置において、
前記別の固定スケールは、前記第1及び第2方向の少なくとも一方に関して周期的な回折格子を含む移動体装置。 - 請求項39〜41のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記回折格子の周期方向に関して位置を異ならせて複数の光ビームを前記別の固定スケールに照射する移動体装置。 - 請求項42に記載の移動体装置において、
前記移動体は、前記第2面に回折格子が形成され、前記複数の光ビームは、前記第2面の回折格子から異なる方向に発生するビームを含む移動体装置。 - 請求項42に記載の移動体装置において、
前記計測装置は、前記複数の光ビームを異なる方向から前記第2面に照射して、前記別の固定スケールでの位置を異ならせる移動体装置。 - 所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動し、前記第2方向に沿って延設され、前記第1方向と平行かつ前記平面と直交する面内で前記平面と鋭角で交差する第1反射面と、前記第1方向に沿って延設され、前記第2方向と平行かつ前記平面と直交する面内で前記平面と鋭角で交差する第2反射面とを有する移動体と;
前記平面とほぼ平行かつ前記第1及び第2方向にそれぞれ延設される第1及び第2反射部材を含み、前記第1反射面に第1光ビームを照射するとともに、前記第1反射部材及び前記第1反射面で反射する複数の第1回折ビームを干渉させて検出し、前記第2反射面に第2光ビームを照射するとともに、前記第2反射部材及び前記第2反射面で反射する複数の第2回折ビームを干渉させて検出し、前記移動体の前記第1及び第2方向の位置情報を計測する計測装置と;を備え、
前記第1反射面及び前記第1反射部材の少なくとも一方、及び前記2反射面及び前記第2反射部材の少なくとも一方に回折格子が設けられる移動体装置。 - 請求項1〜45のいずれか一項に記載の移動体装置において、
前記計測装置による計測結果を用いて、前記移動体の位置を制御する制御装置を更に備える移動体装置。 - 物体を露光してパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持して移動する移動体を含む請求項1〜46のいずれか一項に記載の移動体装置を具備する露光装置。 - マスクに形成されたパターンを物体上に転写する露光装置であって、
前記マスク及び前記物体の少なくとも一方を保持して移動する移動体を含む請求項1〜46のいずれか一項に記載の移動体装置を具備する露光装置。 - 物体を露光して該物体上にパターンを形成する露光方法であって、
前記物体を保持して移動面に沿って移動する移動体の前記移動面に交差する所定面に光を照射し、該所定面と前記所定面に対して所定の位置関係とされた移動格子とを介した光を用いて前記移動体の位置を計測し、
前記計測結果に基づいて、前記移動体を移動しつつ前記物体を露光する露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記移動格子は、前記所定面に設けられている露光方法。 - 請求項49又は50に記載の露光方法において、
前記所定面は反射面であり、
該反射面を介して前記移動体の位置を計測する露光方法。 - 露光光で物体を露光する露光方法であって、
前記物体を、所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動するとともに、前記平面と鋭角で交差しかつ回折格子が形成される反射面を有する移動体で保持し、
前記第1方向に沿って前記反射面に光ビームを照射するとともに、前記反射面から発生して、前記平面とほぼ平行に前記第1方向に延設される固定光学素子及び前記反射面で反射される回折ビームを干渉させて検出して、前記移動体の位置情報を計測し、
前記位置情報に基づいて前記移動体を移動する露光方法。 - 露光光で物体を露光する露光方法であって、
前記物体を、所定の平面内の互いに直交する第1及び第2方向に移動する移動体で保持し、
前記移動体の反射面を介して、前記平面とほぼ平行に前記第1方向に延設されるかつ回折格子を有する固定スケールに光ビームを照射するとともに、前記固定スケールから発生する複数の回折ビームを検出して、前記移動体の位置情報を計測し、
前記位置情報に基づいて前記移動体を移動する露光方法。 - 請求項49〜53のいずれか一項に記載の露光方法を用いて物体を露光し、該物体上にパターンを形成するリソグラフィ工程と;
前記パターンが形成された物体に処理を施す工程と;
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